JP6607851B2 - イオン注入装置におけるデュアルモード動作用のシステム、及びイオン注入装置を動作させる方法 - Google Patents
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- イオン注入装置におけるデュアルモード動作用のシステムであって、
イオンビームのビーム幅を、当該イオンビームの第1の局所的伝搬方向に直交する第1方向に調整するための可動のビームブロッカーと、
第1状態時に前記イオンビームを当該イオンビームの第2の局所的伝搬方向に直交する第2方向に走査し、第2状態において前記イオンビームを乱さずに透過させるスキャナと、
前記イオンビームの幅を調整し、該調整に合わせて前記スキャナの状態を前記第1状態と前記第2状態との間で変更するための一組の信号を、前記可動のビームブロッカー及び前記スキャナに送信するモード選択器と、
質量分析磁石とを備え、
前記可動のビームブロッカーが前記質量分析磁石内に配置され、
前記モード選択器が、
前記可動のビームブロッカー上に入射するリボンビームの部分を遮断して、前記リボンビームの一部分がスポットビームとして透過するように設定された第1開口幅を有するための第1信号を、前記可動のビームブロッカーに送信し、
前記可動のビームブロッカーが前記第1開口幅を有する際に、前記スポットビームを走査するための第2信号を前記スキャナに送信する
ように構成されているシステム。 - 前記可動のビームブロッカーが第1位置と第2位置との間を移動するように構成され、前記第1位置において、前記イオンビームが、当該イオンビームの第1ビーム幅に対する第1ビーム高の比率によって定義される第1アスペクト比を有するリボンビームを形成し、前記第2位置において、前記イオンビームが、当該イオンビームの第2ビーム幅に対する第2ビーム高の比率によって定義される第2アスペクト比を有するスポットビームを形成し、前記第1アスペクト比が第2アスペクト比よりも小さい、請求項1に記載のシステム。
- 前記イオンビームを発生するためのイオン源をさらに備え、前記可動のビームブロッカーが前記イオン源のアークチャンバ内に配置されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記イオンビームを発生するためのイオン源をさらに備え、前記可動のビームブロッカーが前記イオン源のアークチャンバの外側に配置されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記モード選択器が、
リボンビームを遮断することなしに透過させるように設定された第2開口幅を有するための第3信号を、前記可動のビームブロッカーに送信し、
前記可動のビームブロッカーが前記第2開口幅を有する際に、前記スキャナを前記第2状態に維持するための第4信号を前記スキャナに送信するように構成されている、請求項1に記載のシステム。 - イオン注入装置を動作させる方法であって、
前記イオン注入装置の動作のモードを変更するための入力を受信するステップと、
前記イオン注入装置の質量分析磁石内に配置された可動のビームブロッカーに第1信号を送信して、イオンビームを透過させる開口幅を調整するステップと、
前記第1信号に合わせた第2信号をスキャナに送信して、前記スキャナの状態を第1状態と第2状態との間で変更するステップとを含み、前記第1状態において、前記スキャナは前記イオンビームを走査するように構成され、前記第2状態において、前記スキャナは前記イオンビームを乱さずに透過させるように構成され、
前記第1信号は、前記開口幅を、前記可動のビームブロッカー上に入射するリボンビームの部分を遮断するように設定された第1開口幅まで減少させるための、前記可動のビームブロッカーに対する信号であり、前記リボンビームの一部分がスポットビームとして透過し、前記第2信号は、前記可動のビームブロッカーが前記第1開口幅を有する際に、前記スキャナを前記第1状態に維持するための信号である方法。 - 前記第1信号は、前記開口幅を、リボンビームを遮断することなしに透過させるように設定された第2開口幅まで増加させるための、前記可動のビームブロッカーに対する信号であり、前記第2信号は、前記可動のビームブロッカーが前記第2開口幅を有する際に、前記スキャナを第2状態に維持するための信号である、請求項6に記載の方法。
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