JP6603671B2 - 応力のプリズム結合測定におけるコントラストの向上方法 - Google Patents
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Description
導波モードスペクトルを測定する方法であって、
プリズムの結合面と導波路サンプルの表面との間に、結合インタフェースを形成するステップであって、前記導波路サンプルが、正規化された勾配|λ/n dn/dz|>0.0004で、屈折率が減少する表面領域を有し、該表面領域が、表面から前記導波路サンプルの内部に延び、前記プリズムが、入射面及び出射面を有する、ステップと、
前記入射面および前記出射面の少なくとも一方の、光源から発する光ビームの経路の一部に、不透明な遮光要素を配置するステップであって、前記一部が、前記結合面と前記導波路サンプルとの間の接触平面に最も近い部分である、ステップと、
前記光ビームの少なくとも一部を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記光ビームの前記一部が、前記光ビームの前記光路に沿った、前記結合面の一部に到達するのを阻止する、ステップ、及び
前記結合インタフェースから反射された光の第1の部分を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記第1の部分が検出器に到達するのを阻止する、ステップ
の少なくとも一方のステップと、
前記結合インタフェースから反射された光の第2の部分を、前記検出器に到達させるステップと、
前記第2の部分を、前記検出器の最低次モードに対応する位置において、前記最低次モードの最大可能有効結合長の7倍以下、又は7mmのいずれか短い方で検出するステップと、
を備えた、方法。
前記最低次モードに対応する前記位置が、前記最大可能有効結合長の5倍以下である、実施形態1記載の方法。
前記少なくとも1つの遮光要素が、前記プリズムの縁の30mm以内に位置して成る、実施形態2記載の方法。
前記少なくとも1つの遮光要素が、前記プリズムの縁の7mm以内に位置して成る、実施形態2記載の方法。
前記導波路サンプルが、屈折率が減少する深い領域を更に有し、該深い領域が、前記導波路の表面から、少なくとも170λ/nの深さまで浸透し、正規化された傾き
前記深い領域の深さが、少なくとも200λ/nである、実施形態5記載の方法。
前記少なくとも1つの遮光要素が、前記プリズムの複数の縁から少なくとも30mmの距離に位置し、照明された相互作用長、又は前記最低次モードと最高次モードとの間の検出された相互作用長に実質的な差をもたらす、実施形態6記載の方法。
前記遮光要素が、前記プリズムの各々の縁から100mm以内に位置して成る、実施形態7記載の方法。
導波モードスペクトルを測定する方法であって、
プリズムの結合面と導波路の表面との間に、結合インタフェースを形成するステップであって、前記導波路が、正規化された勾配|λ/n dn/dz|>0.0004で、屈折率が減少する表面領域を有し、該表面領域が表面から前記導波路サンプルの内部に延び、前記プリズムが入射面及び出射面を有する、ステップと、
前記入射面および前記出射面の少なくとも一方の、光源から発する光ビームの経路の一部に、不透明な遮光要素を配置するステップであって、前記一部が、前記結合面と前記導波路サンプルとの間の接触平面に最も近い部分であり、前記遮光要素が透過率を有し、該透過率が、前記接触平面からの距離の可変関数であって、前記接触平面からの距離が増加するにつれて、前記透過率が増加し、前記可変透過率を有する前記遮光要素が、円形開口ではない、ステップと、
前記光ビームの少なくとも一部を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記光ビームの前記一部が、前記光ビームの前記光路に沿った、前記結合面の一部に到達するのを阻止する、ステップ、及び
前記結合インタフェースから反射された光の第1の部分を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記第1の部分が検出器に到達するのを阻止する、ステップ
の少なくとも一方のステップと、
前記結合インタフェースから反射された光の第2の部分を、前記検出器に到達させるステップと、
前記第2の部分を、前記検出器の最低次モードに対応する位置において、前記最低次モードの最大可能有効結合長の7倍以下、又は7mmのいずれか短い方で検出するステップと、
を備えた、方法。
前記遮光要素が、空間的に変化する吸収を有する平板である、実施形態9記載の方法。
前記遮光要素が、前記プリズム−サンプル間結合平面から遠位にある、第1の側により多くの開放空間を備えた形状を有して成る、実施形態9記載の方法。
前記遮光要素が、本質的に不透明な材料から成る、実施形態11記載の方法。
前記第1の側から、前記プリズム−サンプル間結合平面までの、前記開放空間の変化が、V字型の切欠きによって達成される、実施形態11記載の方法。
前記V字型の切欠きが、約30度〜約50度の角度γを成す、実施形態13記載の方法。
前記遮光要素が、前記プリズムの少なくとも1つの縁から、100mm以内に配置されて成る、実施形態9記載の方法。
前記遮光要素が、前記プリズムの少なくとも1つの縁から、10mm以内に配置されて成る、実施形態9記載の方法。
前記プリズムの入力側及び出力側の両方に遮光要素が配置されて成る、実施形態9記載の方法。
距離の可変関数である前記透過率を有する前記遮光要素が、前記プリズムの1つの側の前記光路に配置され、空間的に変化しない透過率を有する長方形の遮光要素が、前記プリズムの対向する側の前記光路に配置されて成る、実施形態9記載の方法。
20 イオン交換基板
30 基板ホルダー
40 結合プリズム
42 入射面
44 結合面
46 出射面
50 基板−プリズム間インタフェース
52 インタフェース流体
60 光源
66 光学フィルター
70 光学散乱要素
80 集光光学系
90 収集光学系
100 TM/TE偏光子
110 検出器
120 フレーム取込み器
150 コントローラ
152 プロセッサ
154 メモリ
Claims (10)
- 導波モードスペクトルを測定する方法であって、
プリズムの結合面と導波路サンプルの表面との間に、結合インタフェースを形成するステップであって、前記導波路サンプルが、正規化された勾配|λ/n dn/dz|>0.0004(ここで、λは波長、nは屈折率、zは深度座標である)で、屈折率が減少する表面領域を有し、該表面領域が、表面から前記導波路サンプルの内部に延び、前記プリズムが、入射面及び出射面を有する、ステップと、
前記入射面および前記出射面の少なくとも一方の、光源から発する光ビームの光路の一部に、不透明な遮光要素を配置するステップであって、前記一部が、前記結合面と前記導波路サンプルとの間の接触平面に最も近い部分である、ステップと、
前記光ビームの少なくとも一部を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記光ビームの前記一部が、前記光ビームの前記光路に沿った、前記結合面の一部に到達するのを阻止する、ステップ、及び
前記結合インタフェースから反射された光の第1の部分を、前記不透明な遮光要素で遮断するステップであって、前記第1の部分が検出器に到達するのを阻止する、ステップ
の少なくとも一方のステップと、
前記結合インタフェースから反射された光の第2の部分を、前記検出器に到達させるステップと、
前記第2の部分を、前記検出器の最低次モードに対応する位置において、前記最低次モードの最大可能有効結合長の7倍以下、又は7mmのいずれか短い方で検出するステップと、
を備えたことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つの遮光要素が、前記プリズムの縁の30mm以内に位置して成ることを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 前記導波路が、屈折率が減少する深い領域を更に有し、該深い領域が、前記導波路の表面から、少なくとも170λ/nの深さまで浸透し、正規化された傾き
- 前記深い領域の深さが、少なくとも200λ/nであり、前記少なくとも1つの遮光要素が、前記プリズムの複数の縁から少なくとも30mmの距離に位置し、照明された相互作用長、又は前記最低次モードと最高次モードとの間の検出された相互作用長に、実質的な差をもたらすことを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記遮光要素が、前記プリズムの各々の縁から100mm以内に位置して成ることを特徴とする、請求項4記載の方法。
- 前記遮光要素が透過率を有し、該透過率が、前記接触平面からの距離の可変関数であって、前記接触平面からの距離が増加するにつれて、前記透過率が増加し、前記可変透過率を有する前記遮光要素が円形開口ではないことを特徴とする、請求項1記載の方法。
- 距離の可変関数である前記透過率を有する前記遮光要素が、前記プリズムの1つの側の前記光路に配置され、空間的に変化しない透過率を有する長方形の遮光要素が、前記プリズムの対向する側の前記光路に配置されて成ることを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記遮光要素が、空間的に変化する吸収を有する平板であることを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記遮光要素が、本質的に不透明な材料から成ることを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記第1の側から、前記プリズム−サンプル間結合平面までの、開放空間の変化が、V字型の切欠きによって達成され、該V字型の切欠きが約30度〜約50度の角度γを成すことを特徴とする、請求項9記載の方法。
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