JP6599416B2 - Manufacturing line monitoring device, manufacturing line monitoring program, manufacturing line monitoring method, manufacturing line monitoring system - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、製造ラインを監視する技術に関する。   Embodiments described herein relate generally to a technique for monitoring a production line.

従来、製造ラインのメンテナンスとして、予防保全による定期的なオーバーホールによって運転中に故障させない対策が採られてきた。このようなメンテナンスによれば、例えば、製造ラインにおける駆動モーターに温度計や電流計を装備し、これらを現場のオペレータが目視確認することによって製造ラインに異常がないかが確認される。また、故障が発生してしまった場合は、製造ラインを止めて、故障が発生した部品の修理または交換が行われていた。   Conventionally, as a maintenance of the production line, measures have been taken to prevent failure during operation by periodic overhaul by preventive maintenance. According to such maintenance, for example, a drive motor in the production line is equipped with a thermometer or an ammeter, and an operator at the site visually confirms whether or not there is any abnormality in the production line. Further, when a failure occurs, the production line is stopped, and the failed part is repaired or replaced.

また、関連する技術として、特許文献1が開示されている。   Moreover, patent document 1 is disclosed as a related technique.

特開2012−160056号公報JP2012-160056

しかしながら、製造コストを低減させるために、メンテナンスのための人員数は削減される傾向にあり、したがって、製造ラインの異常を事前に発見する予防保全が困難となり、製造ラインのメンテナンスは、実質、故障が発生してからの事後対応となってしまい、この場合、製造ラインは停止されることとなる。つまり、製造ラインのメンテナンスとしては予防保全が望ましいが、それには大きなコストを要する、という問題があった。   However, in order to reduce manufacturing costs, the number of maintenance personnel tends to be reduced, and therefore preventive maintenance to detect abnormalities in the production line in advance becomes difficult. In this case, the production line is stopped. In other words, preventive maintenance is desirable as maintenance of the production line, but there is a problem that it requires a large cost.

本発明の実施形態は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、より低コストで予防保全を行う技術を提供することを目的とする。   Embodiments of the present invention have been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a technique for performing preventive maintenance at a lower cost.

上述した課題を解決するため、本発明の実施形態は、製造ラインを構成する製造装置近傍に設けられたセンサによる測定値を示すセンサデータを受信する受信部と、センサデータにより示される測定値が予め設定された所定の範囲を示す第1センサ閾値を超えるか否かを判定するセンサ判定部と、センサ判定部により測定値が第1センサ閾値を超えると判定された場合、クライアント端末に対して、製造装置が正常に動作していない旨をクライアント端末のユーザに提示するセンサ異常通知を送信する通知部とを備える。   In order to solve the above-described problem, an embodiment of the present invention includes a receiving unit that receives sensor data indicating a measured value by a sensor provided in the vicinity of a manufacturing apparatus constituting a manufacturing line, and a measured value indicated by the sensor data. A sensor determination unit that determines whether or not a first sensor threshold value indicating a predetermined range that is set in advance is exceeded, and when the sensor determination unit determines that the measurement value exceeds the first sensor threshold value, the client terminal And a notification unit that transmits a sensor abnormality notification that indicates to the user of the client terminal that the manufacturing apparatus is not operating normally.

本実施の形態に係る製造ライン監視システムの全体構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the whole structure of the manufacturing line monitoring system which concerns on this Embodiment. ゲートウェイ端末、サーバ装置、クライアント端末のハードウェア構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of a gateway terminal, a server apparatus, and a client terminal. ゲートウェイ端末、サーバ装置の機能構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the function structure of a gateway terminal and a server apparatus. 通知処理の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a notification process.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。まず、本実施の形態に係る製造ライン監視システムの全体構成について、図1を参照しつつ説明する。図1は、本実施の形態に係る製造ライン監視システムの概略図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, the overall configuration of the production line monitoring system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic diagram of a production line monitoring system according to the present embodiment.

図1に示すように、本実施の形態に係る製造ライン監視システムは、製造現場に設置される構成として、製造ライン9、検査装置50、製造ラインPLC(Programmable Logic Controller)60、データ収集PLC70、ゲートウェイ端末80を備え、また、遠隔地に設置される構成として、サーバ装置10、クライアント端末20を備える。なお、サーバ装置10とクライアント端末20は互いに異なる場所に設置されるものとする。 As shown in FIG. 1, the production line monitoring system according to the present embodiment includes a production line 9, an inspection device 50, a production line PLC (Programmable Logic Controller) 60, a data collection PLC 70, as configurations installed at the production site. The gateway terminal 80 is provided, and the server apparatus 10 and the client terminal 20 are provided as a configuration installed in a remote place. In addition, the server apparatus 10 and the client terminal 20 shall be installed in a mutually different place.

製造ライン9は、本実施の形態においては、複数の製造装置を有して、これらの装置によりフィルムを製造するものとし、その製造工程には、少なくとも、製造工程においてフィルム原料を溶解させるヒータ90を有し、また、その検査工程には、製造工程により連続的に製造されたフィルムをワークとして搬送する複数の搬送用ロール91、ワークの裏面を撮像するカメラ92、カメラ92による撮像範囲を照らす照明93、ワークの表面を撮像するカメラ94、カメラ94による撮像範囲を照らす照明95を有する。カメラ92及び94により撮像された撮像画像は、検査装置50によるワークの検査に用いられ、評価工程において検査装置50による検査結果に基づく欠陥評価がなされる。この欠陥評価によれば、ワークの搬送方向における所定の位置間隔毎に良品または不良品と判定される。また、ヒータ90近傍にはその温度を測定する温度センサ90aが設けられ、搬送用ロール91の駆動部近傍にはその振動を測定する振動センサ91aが設けられ、照明93の近傍にはその照度を測定する照度センサ93aが設けられる。温度センサ90aはヒータ90の温度を出力し、振動センサ91aは搬送用ロール91の振動として、加速度、速度、変位を出力し、照度センサ93aは照明93の照度を出力する。   In the present embodiment, the production line 9 has a plurality of production apparatuses and produces films using these apparatuses, and the production process includes at least a heater 90 that dissolves film raw materials in the production process. In addition, the inspection process illuminates a plurality of transport rolls 91 for transporting a film continuously manufactured by the manufacturing process as a workpiece, a camera 92 for imaging the back surface of the workpiece, and an imaging range by the camera 92 An illumination 93, a camera 94 that images the surface of the workpiece, and an illumination 95 that illuminates the imaging range of the camera 94 are provided. The captured images captured by the cameras 92 and 94 are used for workpiece inspection by the inspection apparatus 50, and defect evaluation based on the inspection result by the inspection apparatus 50 is performed in the evaluation process. According to this defect evaluation, it is determined as a non-defective product or a defective product at every predetermined position interval in the workpiece conveyance direction. Further, a temperature sensor 90 a for measuring the temperature is provided in the vicinity of the heater 90, a vibration sensor 91 a for measuring the vibration is provided in the vicinity of the driving unit of the transport roll 91, and the illuminance is set in the vicinity of the illumination 93. An illuminance sensor 93a for measurement is provided. The temperature sensor 90 a outputs the temperature of the heater 90, the vibration sensor 91 a outputs acceleration, speed, and displacement as vibration of the transport roll 91, and the illuminance sensor 93 a outputs the illuminance of the illumination 93.

検査装置50は、カメラ92及び94により撮像された撮像画像に基づいて、ワークを検査して欠陥を検出する。検出される欠陥としては、ピンホール、黒点、FE(Fish EYE)、傷、などが挙げられ、検査装置50は、1つのワーク毎に欠陥種別とその数またはその大きさとを、検査データとしてデータ収集PLC70へ出力する。なお、この検査装置50は、PC(Personal Computer)に検査を行うためのプログラムがインストールされたものであり、その筐体における熱排出箇所の近傍に、温度を測定する温度センサ50aが設けられる。温度センサ50aは検査装置50の温度を出力する。   The inspection device 50 inspects the workpiece and detects a defect based on the captured images captured by the cameras 92 and 94. Defects to be detected include pinholes, black spots, FE (Fish EYE), scratches, and the like, and the inspection apparatus 50 uses defect types and their numbers or sizes as inspection data for each workpiece. Output to the collection PLC 70. The inspection device 50 has a program installed on a PC (Personal Computer) for inspection, and a temperature sensor 50a for measuring temperature is provided in the vicinity of the heat discharge location in the casing. The temperature sensor 50a outputs the temperature of the inspection device 50.

製造ラインPLC(Programmable Logic Controller)60は、製造ライン9の各設備に接続され、稼働状況を示す各種信号を受信し、信号値を製造ラインデータとしてデータ収集PLC70へ出力する。稼働状況を示す信号として、製造ライン9が故障したことを示す故障信号、駆動部のインバータ制御出力、ワークの搬送速度を示す搬送ライン速度、製造ライン9の運転周波数、などが挙げられる。   A production line PLC (Programmable Logic Controller) 60 is connected to each facility of the production line 9, receives various signals indicating the operation status, and outputs signal values to the data collection PLC 70 as production line data. Examples of the signal indicating the operation status include a failure signal indicating that the production line 9 has failed, an inverter control output of the driving unit, a transfer line speed indicating the work transfer speed, and an operating frequency of the manufacturing line 9.

データ収集PLC70は、検査装置50より出力される検査データ、製造ラインPLC60より出力される製造ラインデータ、各種センサ90a〜93a,50aより出力される値をセンサデータとして取得し、取得した検査データ、製造ラインデータ、センサデータをゲートウェイ端末80へ出力する。   The data collection PLC 70 acquires inspection data output from the inspection device 50, manufacturing line data output from the manufacturing line PLC 60, values output from the various sensors 90a to 93a, 50a as sensor data, and acquired inspection data, The production line data and sensor data are output to the gateway terminal 80.

ゲートウェイ端末80は、データ収集PLC70により出力された検査データ、製造ラインデータ、センサデータを受信し、受信したこれらのデータを遠隔地に設置されたサーバ装置10へネットワークを介して送信する。   The gateway terminal 80 receives the inspection data, the production line data, and the sensor data output from the data collection PLC 70, and transmits the received data to the server device 10 installed at a remote place via the network.

サーバ装置10は、ゲートウェイ端末80により送信された検査データ、製造ラインデータ、センサデータを蓄積して、これらの各種データをクライアント端末20から閲覧可能にする。また、サーバ装置10は、クライアント端末20による指示に基づいて各種データに対して判定を行い、必要に応じて判定結果をクライアント端末20へ通知する。   The server device 10 accumulates the inspection data, the production line data, and the sensor data transmitted from the gateway terminal 80 and makes it possible to browse these various data from the client terminal 20. Further, the server device 10 makes a determination on various data based on an instruction from the client terminal 20, and notifies the client terminal 20 of a determination result as necessary.

クライアント端末20は、製造ライン9の設置場所、サーバ装置10の設置場所とも異なる場所に設置された、製造ライン9のメンテナンス担当者が利用するPCである。このクライアント端末20は、ブラウザによってサーバ装置10に蓄積された各種データを閲覧することができ、また、サーバ装置10による各種データに対する判定に関する指示を行い、この判定に基づく通知を受信する。   The client terminal 20 is a PC used by a person in charge of maintenance of the production line 9 installed at a location different from the installation location of the production line 9 and the installation location of the server device 10. The client terminal 20 can browse various data stored in the server device 10 by a browser, and gives an instruction regarding determination on various data by the server device 10 and receives a notification based on this determination.

次に、ゲートウェイ端末、サーバ装置、クライアント端末のハードウェア構成について説明する。図2は、ゲートウェイ端末、サーバ装置、クライアント端末のハードウェア構成を示すブロック図である。   Next, the hardware configuration of the gateway terminal, server device, and client terminal will be described. FIG. 2 is a block diagram illustrating hardware configurations of the gateway terminal, the server device, and the client terminal.

図2に示すように、ゲートウェイ端末80、サーバ装置10、クライアント端末20は、いずれも、CPU(Central Processing Unit)11、主記憶装置であるメモリ12、不揮発性の記憶装置13、及び他の装置との通信を行う外部I/F(interface)14を備える。ゲートウェイ端末80、サーバ装置10、クライアント端末20それぞれの外部I/F14は、いずれもネットワークに接続し、ゲートウェイ端末80及びクライアント端末20はサーバ装置10とデータを送受信可能に接続される。   As shown in FIG. 2, the gateway terminal 80, the server device 10, and the client terminal 20 all include a CPU (Central Processing Unit) 11, a memory 12 that is a main storage device, a nonvolatile storage device 13, and other devices. An external I / F (interface) 14 is provided for performing communication with the device. The external I / Fs 14 of the gateway terminal 80, the server device 10, and the client terminal 20 are all connected to a network, and the gateway terminal 80 and the client terminal 20 are connected to the server device 10 so as to be able to transmit and receive data.

次に、ゲートウェイ端末、サーバ装置の機能構成について説明する。図3は、ゲートウェイ端末、サーバ装置の機能構成を示すブロック図である。   Next, functional configurations of the gateway terminal and the server device will be described. FIG. 3 is a block diagram illustrating functional configurations of the gateway terminal and the server device.

に示すように、ゲートウェイ端末80は、取得部801、管理部802、送信部803を機能として備える。これらの各機能は、ゲートウェイ端末80において、記憶装置13に保存されているプログラムがメモリ12にロードされ、CPU11がロードされたプログラムを演算実行することで実現される。 As illustrated in FIG. 3 , the gateway terminal 80 includes an acquisition unit 801, a management unit 802, and a transmission unit 803 as functions. Each of these functions is realized in the gateway terminal 80 by loading a program stored in the storage device 13 into the memory 12 and the CPU 11 performing an operation on the loaded program.

取得部801は、検査データ、製造ラインデータ、センサデータを取得する。管理部802は、取得部801により取得された各種データと、取得タイミングにおける日時とを対応付ける。送信部803は、管理部802により日時と対応付けられた各種データを、ネットワークを介して、サーバ装置10へ送信する。なお、この各種データの送信は、取得部801が各種データを取得する周期以上の長さを有する周期で行われ、送信部803はこの周期間に取得された各種データをまとめてサーバ装置10へ送信する。   The acquisition unit 801 acquires inspection data, production line data, and sensor data. The management unit 802 associates various data acquired by the acquisition unit 801 with the date and time at the acquisition timing. The transmission unit 803 transmits various data associated with the date and time by the management unit 802 to the server device 10 via the network. The transmission of the various data is performed in a cycle having a length equal to or longer than the cycle in which the acquisition unit 801 acquires the various data, and the transmission unit 803 collects the various data acquired during the cycle to the server device 10. Send.

また、サーバ装置10は、受信部101、蓄積部102、設定部103、欠陥判定部104、センサ判定部105、通知部106、変換部107を機能として備える。これらの各機能は、ゲートウェイ端末80と同様に、サーバ装置10において、記憶装置13に保存されている製造ライン監視プログラムがメモリ12にロードされ、CPU11がロードされた製造ライン監視プログラムを演算実行することで実現される。   In addition, the server device 10 includes a receiving unit 101, an accumulation unit 102, a setting unit 103, a defect determination unit 104, a sensor determination unit 105, a notification unit 106, and a conversion unit 107 as functions. Similar to the gateway terminal 80, each of these functions is executed by the server device 10 in which the production line monitoring program stored in the storage device 13 is loaded into the memory 12 and the CPU 11 is loaded with the production line monitoring program. This is realized.

受信部101は、ゲートウェイ端末80の送信部803により送信された各種データを受信する。蓄積部102は、受信部101により受信された各種データを互いに対応付けて、サーバ装置10の記憶装置13に時系列順に蓄積する。設定部103は、クライアント端末20からの指示に基づいて、ワークの欠陥種別と、この欠陥種別と関連する特定のセンサとを対応付け、また、後述する第1欠陥閾値を欠陥判定部104に設定し、後述する第1センサ閾値をセンサ判定部105に設定する。ここで、第1欠陥閾値は、所定の値として設定され、第1センサ閾値は、上限及び下限、上限のみ、または下限のみのいずれかを示す値として設定されるものとし、以降、これらを総称して設定範囲と称する。欠陥判定部104は、設定部103により設定された第1欠陥閾値、及びこの第1欠陥閾値に対して所定量だけ低い値である第2欠陥閾値により、検査データに対する判定を行う。センサ判定部105は、設定部103により設定された第1センサ閾値、及びこの第1センサ閾値に対して、その設定範囲内に上限または下限に対して所定量だけ異なる第2センサ閾値により、センサデータに対する判定を行う。通知部106は、センサ判定部105、または欠陥判定部104及びセンサ判定部105による判定に基づいて、クライアント端末20に対して、ワークまたはセンサの測定対象の異常または警告を通知する。変換部107は、蓄積部102により蓄積された各種データを、メンテナンス担当者が製造ライン9の状況を容易に把握できるように、クライアント端末20により閲覧可能な形式に変換する。   The reception unit 101 receives various data transmitted by the transmission unit 803 of the gateway terminal 80. The accumulation unit 102 associates the various types of data received by the reception unit 101 with each other and accumulates the data in the storage device 13 of the server device 10 in chronological order. The setting unit 103 associates the defect type of the workpiece with a specific sensor related to the defect type based on an instruction from the client terminal 20, and sets a first defect threshold to be described later in the defect determination unit 104. Then, a first sensor threshold to be described later is set in the sensor determination unit 105. Here, the first defect threshold is set as a predetermined value, and the first sensor threshold is set as a value indicating either the upper limit and the lower limit, only the upper limit, or only the lower limit. This is referred to as a setting range. The defect determination unit 104 determines the inspection data based on the first defect threshold set by the setting unit 103 and the second defect threshold that is lower than the first defect threshold by a predetermined amount. The sensor determination unit 105 detects the first sensor threshold value set by the setting unit 103 and the second sensor threshold value that differs from the first sensor threshold value by a predetermined amount with respect to the upper limit or the lower limit within the setting range. Make a decision on the data. The notification unit 106 notifies the client terminal 20 of an abnormality or warning of the workpiece or sensor measurement target based on the determination by the sensor determination unit 105 or the defect determination unit 104 and the sensor determination unit 105. The conversion unit 107 converts various data stored in the storage unit 102 into a format that can be browsed by the client terminal 20 so that the person in charge of maintenance can easily grasp the status of the production line 9.

蓄積部102による各種データの対応付けは、その出力周期が最長であるデータに、この周期内に時間的に収まる他のデータを関連付けることによってなされるものとする。例えば、検査装置50による出力が1秒毎であり、製造ラインPLC60による出力が0.2秒毎、各種センサによる出力が0.1秒毎であれば、1つの検査データに対して、5つの製造ラインデータ、10の各種センサデータがそれぞれ対応付けられることとなる。   Assume that the storage unit 102 associates various data with data having the longest output cycle by associating other data that is temporally within this cycle. For example, if the output from the inspection apparatus 50 is every 1 second, the output from the production line PLC 60 is every 0.2 seconds, and the output from various sensors is every 0.1 seconds, The production line data and the various sensor data of 10 are associated with each other.

通知部106による通知に関して、ワークに関する異常通知は、ワーク上に存在する欠陥の数、大きさなどがすでに許容範囲を超えていることを示し、ワークに関する警告通知は、ワーク上に存在する欠陥の数、大きさなどが今後許容範囲を超える可能性を示す。また、測定対象に関する異常通知は、センサの測定対象がすでに正常に動作していないことを示し、測定対象に関する警告通知は、センサの測定対象が今後正常に動作しなくなる可能性を示す。これらの通知は、具体的には、通知部106がクライアント端末20へ電子メールを送信することによりなされるものとし、この電子メールのタイトルまたは本文に記載されたテキストによって、通知の種別やその具体的な状況がメンテナンス担当者に把握されるものとする。   Regarding the notification by the notification unit 106, the abnormality notification regarding the workpiece indicates that the number and size of defects existing on the workpiece has already exceeded the allowable range, and the warning notification regarding the workpiece indicates the defect existing on the workpiece. The possibility that the number, size, etc. will exceed the allowable range in the future is shown. Further, the abnormality notification regarding the measurement target indicates that the measurement target of the sensor has not been normally operated, and the warning notification regarding the measurement target indicates the possibility that the measurement target of the sensor will not normally operate in the future. Specifically, these notifications are made when the notification unit 106 transmits an e-mail to the client terminal 20, and the type of notification and its specifics are determined depending on the title or text of the e-mail. It is assumed that the general situation is grasped by the person in charge of maintenance.

変換部107によるデータの変換には、各種データのグラフ化と、HTML化とが含まれる。グラフ化によれば、検査データ、製造ラインデータ、センサデータについて、縦軸をデータ値、横軸を時間として表現したグラフが生成される。このグラフについては、検査データ、製造ラインデータ、センサデータ間の関連性をメンテナンス担当者が容易に把握できるようにするため、各種データそれぞれは互いに同一の時間スケールを用いるものとし、同一のタイミングにおける各種データのデータ値が揃う状態となっていることが望ましい。また、HTML化によれば、各種データのグラフを閲覧するための特定のアプリケーションを導入することなく、クライアント端末20のブラウザから各種データのグラフを閲覧可能となる。   Data conversion by the conversion unit 107 includes graphing of various data and conversion into HTML. According to the graphing, for the inspection data, production line data, and sensor data, a graph is generated in which the vertical axis represents the data value and the horizontal axis represents the time. As for this graph, in order to make it easy for maintenance personnel to grasp the relationship between inspection data, production line data, and sensor data, each type of data uses the same time scale. It is desirable that the data values of various data are in a uniform state. In addition, according to HTML conversion, various data graphs can be viewed from the browser of the client terminal 20 without introducing a specific application for browsing various data graphs.

また、変換部107は、HTML化によって、クライアント端末20からの指示を受け付けるインターフェイスを提供する。このインターフェイスによれば、設定項目として、第1欠陥閾値としての値を入力可能なテキストボックス、第1センサ閾値の設定方法として下限及び上限、下限のみ、上限のみ、のいずれかひとつを選択可能なラジオボックス、このラジオボックスの選択に応じて表示される、第1センサ閾値としての値を入力可能な1つまたは2つのテキストボックス、検査データにおける欠陥種別それぞれについて用意され、1つの欠陥種別に対して少なくとも1つ以上対応付けられるセンサ種別を示すチェックボックス、が提供される。なお、このセンサ種別を示すチェックボックスと同様に、1つの欠陥種別に対して少なくとも1つ以上対応付けられる稼働状況の種別を示すチェックボックスが更に提供されても良い。   Also, the conversion unit 107 provides an interface for receiving an instruction from the client terminal 20 by using HTML. According to this interface, it is possible to select any one of a text box in which a value as a first defect threshold can be input as a setting item, and a lower limit and upper limit, only a lower limit, and only an upper limit as a first sensor threshold setting method. A radio box, one or two text boxes that can be input as a value for the first sensor threshold, displayed according to the selection of the radio box, are prepared for each defect type in the inspection data. A check box indicating a sensor type associated with at least one sensor. Similar to the check box indicating the sensor type, a check box indicating a type of operation status associated with at least one defect type may be further provided.

次に、ワークの欠陥及びセンサによる測定値に基づいてクライアント端末への通知を行う通知処理の動作について説明する。図4は、通知処理の動作を示すフローチャートである。なお、このフローチャートにおいては、予め、設定部によって、欠陥種別の1つであるFEに対してセンサ種別の1つであるヒータ近傍の温度センサが対応付けられ、また、FE個数に対して第1欠陥閾値が設定され、ヒータ近傍の温度センサに対して下限のみを有する第1センサ閾値が設定されているものとする。また、この通知処理は、受信部による各種データの受信毎に実行されるものとする。   Next, the operation of the notification process for notifying the client terminal based on the workpiece defect and the measured value by the sensor will be described. FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the notification process. In this flowchart, the setting unit associates in advance a temperature sensor in the vicinity of the heater, which is one of the sensor types, with the FE, which is one of the defect types, and the first number of FEs. It is assumed that a defect threshold is set and a first sensor threshold having only a lower limit is set for a temperature sensor near the heater. In addition, this notification process is executed every time various data is received by the receiving unit.

図4に示すように、まず、欠陥判定部104は、検査データを参照し、ワークにFEが存在するか否かを判定する(S101)。   As shown in FIG. 4, first, the defect determination unit 104 refers to the inspection data and determines whether or not FE exists in the workpiece (S101).

FEが存在する場合(S101,YES)、欠陥判定部104は、FE個数が、第1欠陥閾値に対して所定量だけ低い値を有する第2欠陥閾値より大きいか否かを判定する(S102)。   When FE exists (S101, YES), the defect determination unit 104 determines whether or not the number of FEs is larger than a second defect threshold value having a value lower than the first defect threshold value by a predetermined amount (S102). .

FE個数が第2欠陥閾値よりも大きい場合(S102,YES)、センサ判定部105は、温度センサ90aにより測定されたヒータ温度が第2センサ閾値より小さいか否かを判定する(S103)。ここで、第2センサ閾値は、第1センサ閾値に対して範囲内に所定量だけ異なる値を有するものであり、下限のみが設定される本実施形態においては第1センサ閾値より所定量だけ大きい値を有する。   When the number of FEs is larger than the second defect threshold (S102, YES), the sensor determination unit 105 determines whether the heater temperature measured by the temperature sensor 90a is smaller than the second sensor threshold (S103). Here, the second sensor threshold has a value different from the first sensor threshold by a predetermined amount within the range, and in the present embodiment in which only the lower limit is set, the second sensor threshold is larger than the first sensor threshold by a predetermined amount. Has a value.

ヒータ温度が第2センサ閾値よりも小さい場合(S103,YES)通知部106は、ワークに関する異常通知としてのFE個数異常、及び測定対象に関する異常通知としてのヒータ異常をクライアント端末20へ通知する(S104)。 When the heater temperature is lower than the second sensor threshold value (S103, YES) , the notification unit 106 notifies the client terminal 20 of an abnormality in the number of FEs as an abnormality notification related to a workpiece and a heater abnormality as an abnormality notification related to a measurement target ( S104).

一方、ヒータ温度が第2センサ閾値以上である場合(S103,NO)、欠陥判定部104は、FE個数が第1欠陥閾値より大きいか否かを判定する(S105)。   On the other hand, when the heater temperature is equal to or higher than the second sensor threshold (S103, NO), the defect determination unit 104 determines whether or not the number of FEs is larger than the first defect threshold (S105).

FE個数が第1欠陥閾値より大きい場合(S105,YES)、通知部106は、FE個数異常をクライアント端末20へ通知する(S106)。   When the number of FEs is larger than the first defect threshold (S105, YES), the notification unit 106 notifies the client terminal 20 of the FE number abnormality (S106).

一方、FE個数が第1欠陥閾値以下である場合(S105,NO)、通知部106は、ワークに関する警告通知としてのFE個数警告をクライアント端末20へ通知する(S107)。   On the other hand, when the number of FEs is equal to or less than the first defect threshold value (S105, NO), the notification unit 106 notifies the client terminal 20 of an FE number warning as a warning notification related to the workpiece (S107).

また、ステップS102において、FE個数が第2欠陥閾値以下である場合(S102,NO)、センサ判定部105は、ヒータ温度が第1センサ閾値より小さいか否かを判定する(S108)。   In step S102, when the number of FEs is equal to or smaller than the second defect threshold (S102, NO), the sensor determination unit 105 determines whether the heater temperature is lower than the first sensor threshold (S108).

ヒータ温度が第1センサ閾値よりも小さい場合(S108,YES)、通知部106はヒータ異常をクライアント端末20へ通知する(S109)。   When the heater temperature is lower than the first sensor threshold value (S108, YES), the notification unit 106 notifies the client terminal 20 of the heater abnormality (S109).

一方、ヒータ温度が第1センサ閾値以上である場合(S108,NO)、センサ判定部105は、ヒータ温度が第2センサ閾値より小さいか否かを判定する(S110)。   On the other hand, when the heater temperature is equal to or higher than the first sensor threshold (S108, NO), the sensor determination unit 105 determines whether the heater temperature is lower than the second sensor threshold (S110).

ヒータ温度が第2センサ閾値よりも小さい場合(S110,YES)、通知部106は、測定対象に関する警告通知としてのヒータ警告をクライアント端末20へ通知する(S111)。   When the heater temperature is lower than the second sensor threshold value (S110, YES), the notification unit 106 notifies the client terminal 20 of a heater warning as a warning notification regarding the measurement target (S111).

一方、ヒータ温度が第2センサ閾値以上である場合(S110,NO)、センサ判定部105は、通知処理を終了する。   On the other hand, when the heater temperature is equal to or higher than the second sensor threshold (S110, NO), the sensor determination unit 105 ends the notification process.

また、ステップS101において、ワークにFEが存在しない場合(S101,NO)、センサ判定部105は、ヒータ温度が第1センサ閾値より小さいか否かを判定する(S108)。   In Step S101, when FE does not exist in a work (S101, NO), sensor judgment part 105 judges whether heater temperature is smaller than the 1st sensor threshold (S108).

上述したように、通知処理によれば、第1欠陥閾値に基づく判定によるワークに関する異常、及び第2欠陥閾値に基づく判定によるワークに関する警告が通知され、第1センサ閾値に基づく判定による測定対象に関する異常、及び第2センサ閾値に基づく判定による測定対象に関する警告が通知される。ワークに関する通知、測定対象に関する通知のいずれについても、設定された閾値と異なる閾値による判定を行うことにより、異常が発生する前に、その可能性をメンテナンス担当者が把握することができる。また、互いに相関性が高いと推定される欠陥種別とセンサ種別とを対応付け、これらについて、第2欠陥閾値による判定基準を満たし、且つ第2センサ閾値による判定基準を満たした場合に、ワーク及び測定対象に異常が生じたものと見做し、その旨を通知することによって、欠陥数または大きさが第1欠陥閾値に達する前に、または、センサによる測定値が第1センサ閾値により定められる範囲を超える前に、両者に異常が生じたことをメンテナンス担当者が把握することができる。   As described above, according to the notification process, the abnormality related to the workpiece based on the determination based on the first defect threshold and the warning related to the workpiece based on the determination based on the second defect threshold are notified, and the measurement target based on the determination based on the first sensor threshold is related. A warning regarding the measurement object based on the abnormality and the determination based on the second sensor threshold is notified. For both the notification regarding the workpiece and the notification regarding the measurement target, the maintenance person can grasp the possibility of the occurrence of an abnormality by making a determination based on a threshold different from the set threshold. In addition, when the defect type and the sensor type that are estimated to be highly correlated with each other are associated with each other and the determination criterion based on the second defect threshold is satisfied and the determination criterion based on the second sensor threshold is satisfied, By assuming that an abnormality has occurred in the measurement object and notifying that effect, the measurement value by the sensor is determined by the first sensor threshold before the number or size of defects reaches the first defect threshold. Before exceeding the range, the maintenance person can grasp that an abnormality has occurred in both.

本実施の形態において、製造ライン監視プログラムは上述した製造ライン監視装置としてのサーバ装置の内部に予めインストールされているものとして記載したが、本発明における製造ライン監視プログラムは記憶媒体に記憶されたものも含まれる。ここで記憶媒体とは、磁気テープ、磁気ディスク(ハードディスクドライブ等)、光ディスク(CD−ROM、DVDディスク等)、光磁気ディスク(MO等)、フラッシュメモリ等、サーバ装置に対し脱着可能な媒体や、さらにネットワークを介することで伝送可能な媒体等、上述したサーバ装置におけるコンピュータで読み取りや実行が可能な全ての媒体をいう。   In the present embodiment, the production line monitoring program is described as being installed in advance in the server device as the above-described production line monitoring device. However, the production line monitoring program in the present invention is stored in a storage medium. Is also included. Here, the storage medium is a magnetic tape, magnetic disk (hard disk drive, etc.), optical disk (CD-ROM, DVD disk, etc.), magneto-optical disk (MO, etc.), flash memory, etc. Furthermore, it refers to all media that can be read and executed by a computer in the above-described server device, such as media that can be transmitted via a network.

本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although the embodiment of the present invention has been described, this embodiment is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

9 製造ライン、10 サーバ装置、20 クライアント端末、50 検査装置、80 ゲートウェイ端末、101 受信部、102 蓄積部、103 設定部、104 欠陥判定部、105 センサ判定部、106 通知部、107 変換部。 9 Production line, 10 Server device, 20 Client terminal , 50 Inspection device, 80 Gateway terminal , 101 Receiving unit, 102 Storage unit, 103 Setting unit, 104 Defect determination unit, 105 Sensor determination unit, 106 Notification unit, 107 Conversion unit

Claims (4)

クライアント端末とネットワークを介して接続された製造ライン監視装置であって、
製造ラインを構成する製造装置近傍に設けられたセンサによる測定値を示すセンサデータと、前記製造ラインにより製造されるワーク上の欠陥を検査する検査装置より出力され、欠陥種別及び該欠陥種別により示される欠陥の数または大きさを示す欠陥データとを受信する受信部と、
前記センサデータにより示される測定値が予め設定された所定の範囲を示すセンサ閾値を超えるか否かを判定するセンサ判定部と、
前記欠陥データにより示される欠陥の数または大きさが予め設定された欠陥閾値より大きいか否かを判定する欠陥判定部と、
前記欠陥判定部によって、前記欠陥種別により示される欠陥の数または大きさが前記欠陥閾値より大きいと判断され、且つ、前記センサ判定部によって、前記欠陥種別に予め対応付けられたセンサによる測定値が前記センサ閾値を超えると判断された場合、前記クライアント端末に対して、前記ワークに異常が生じたことを提示するワーク異常通知と、前記製造装置に異常が生じたことを提示する製造装置異常通知とを送信する通知部と
を備える製造ライン監視装置。
A production line monitoring device connected to a client terminal via a network,
Sensor data indicating a measurement value by a sensor provided in the vicinity of a manufacturing apparatus constituting the manufacturing line, and output from an inspection apparatus for inspecting a defect on a workpiece manufactured by the manufacturing line, and indicated by the defect type and the defect type A receiver for receiving defect data indicating the number or size of defects to be generated;
A sensor determination unit for determining whether or not a measurement value indicated by the sensor data exceeds a sensor threshold value indicating a predetermined range set in advance;
A defect determination unit that determines whether the number or size of defects indicated by the defect data is greater than a preset defect threshold;
By the defect determination unit, it is determined that the number or size of defects indicated by the previous Kiketsu Recessed type is larger than the defect threshold, and, by the sensor judgment section, associated in advance before Kiketsu Recessed type sensor If the measured value due is determined to exceed said sensor threshold, presenting that to the client terminal, and a work abnormality notification to present that an abnormality in the workpiece has occurred, the abnormality in the manufacturing apparatus has occurred A production line monitoring device comprising: a notification unit that transmits a production device abnormality notification.
クライアント端末と、該クライアント端末とネットワークを介して接続された製造ライン監視装置とを備える製造ライン監視システムであって、
前記クライアント端末は、
所定の欠陥種別と該所定の欠陥種別に対応する所定のセンサとを示す指示情報を前記製造ライン監視装置へ送信するとともに、製造ラインにより製造されるワークに異常が生じたことを提示するワーク異常通知と、前記製造ラインを構成する製造装置に異常が生じたことを提示する製造装置異常通知とを前記製造ライン監視装置より受信し、
前記製造ライン監視装置は、
前記製造装置近傍に設けられたセンサによる測定値を示すセンサデータと、前記ワーク上の欠陥を検査する検査装置より出力され、欠陥種別及び該欠陥種別により示される欠陥の数または大きさを示す欠陥データとを受信する受信部と、
前記センサデータにより示される測定値が予め設定された所定の範囲を示すセンサ閾値を超えるか否かを判定するセンサ判定部と、
前記欠陥データにより示される欠陥の数または大きさが予め設定された欠陥閾値より大きいか否かを判定する欠陥判定部と、
前記クライアント端末から前記指示情報を受信し、該指示情報に基づいて、前記欠陥データにより示される所定の欠陥種別と、前記センサデータにより示される所定のセンサとを対応付ける設定部と、
前記欠陥判定部によって、前記所定の欠陥種別により示される欠陥の数または大きさが前記欠陥閾値より大きいと判断され、且つ、前記センサ判定部によって、前記設定部により前記所定の欠陥種別に対応付けられたセンサによる測定値が前記センサ閾値を超えると判断された場合、前記クライアント端末に対して、前記ワーク異常通知と、前記製造装置異常通知とを送信する通知部とを備えることを特徴とする製造ライン監視システム。
A production line monitoring system comprising a client terminal and a production line monitoring device connected to the client terminal via a network,
The client terminal is
A work abnormality that transmits instruction information indicating a predetermined defect type and a predetermined sensor corresponding to the predetermined defect type to the manufacturing line monitoring device and presents an abnormality in the work manufactured by the manufacturing line Receiving from the manufacturing line monitoring device a notification and a manufacturing device abnormality notification indicating that an abnormality has occurred in the manufacturing device constituting the manufacturing line;
The production line monitoring device is
Wherein the sensor data indicating a value measured by a sensor provided in the manufacturing apparatus vicinity is output from the inspection apparatus for inspection before the defects on verge over click, the number or size of defects indicated by the defect type and the defect type A receiving unit for receiving defect data indicating
A sensor determination unit for determining whether or not a measurement value indicated by the sensor data exceeds a sensor threshold value indicating a predetermined range set in advance;
A defect determination unit that determines whether the number or size of defects indicated by the defect data is greater than a preset defect threshold;
A setting unit that receives the instruction information from the client terminal and associates a predetermined defect type indicated by the defect data with a predetermined sensor indicated by the sensor data based on the instruction information;
The defect determination unit determines that the number or size of defects indicated by the predetermined defect type is greater than the defect threshold, and the sensor determination unit associates the defect type with the predetermined defect type. And a notification unit configured to transmit the work abnormality notification and the manufacturing apparatus abnormality notification to the client terminal when it is determined that a measured value by the obtained sensor exceeds the sensor threshold value. Production line monitoring system.
クライアント端末とネットワークを介して接続されたコンピュータにより実行される製造ライン監視プログラムであって、
製造ラインを構成する製造装置近傍に設けられたセンサによる測定値を示すセンサデータと、前記製造ラインにより製造されるワーク上の欠陥を検査する検査装置より出力され、欠陥種別及び該欠陥種別により示される欠陥の数または大きさを示す欠陥データとを受信し、
前記センサデータにより示される測定値が予め設定された所定の範囲を示すセンサ閾値を超えるか否かを判定し、
前記欠陥データにより示される欠陥の数または大きさが予め設定された欠陥閾値より大きいか否かを判定し、
記欠陥種別により示される欠陥の数または大きさが前記欠陥閾値より大きいと判断され、且つ、前記欠陥種別に予め対応付けられたセンサによる測定値が前記センサ閾値を超えると判断された場合、前記クライアント端末に対して、前記ワークに異常が生じたことを提示するワーク異常通知と、前記製造装置に異常が生じたことを提示する製造装置異常通知とを送信する
処理を前記コンピュータに実行させる製造ライン監視プログラム。
A production line monitoring program executed by a computer connected to a client terminal via a network,
Sensor data indicating a measurement value by a sensor provided in the vicinity of a manufacturing apparatus constituting the manufacturing line, and output from an inspection apparatus for inspecting a defect on a workpiece manufactured by the manufacturing line, and indicated by the defect type and the defect type Receive defect data indicating the number or size of defects
Determining whether the measured value indicated by the sensor data exceeds a sensor threshold value indicating a predetermined range set in advance;
Determining whether the number or size of defects indicated by the defect data is greater than a preset defect threshold;
It is determined that the number or size of defects indicated by the previous Kiketsu Recessed type is larger than the defect threshold, and, it is determined that the previous Kiketsu Recessed measured by pre-sensor associated with the type exceeds the sensor threshold In this case, the computer transmits a work abnormality notification that indicates that an abnormality has occurred in the work and a manufacturing apparatus abnormality notification that indicates that an abnormality has occurred in the manufacturing apparatus to the client terminal. Production line monitoring program to be executed.
クライアント端末とネットワークを介して接続されたコンピュータにより実行される製造ライン監視方法であって、
前記コンピュータが、
製造ラインを構成する製造装置近傍に設けられたセンサによる測定値を示すセンサデータと、前記製造ラインにより製造されるワーク上の欠陥を検査する検査装置より出力され、欠陥種別及び該欠陥種別により示される欠陥の数または大きさを示す欠陥データとを受信し、
前記センサデータにより示される測定値が予め設定された所定の範囲を示すセンサ閾値を超えるか否かを判定し、
前記欠陥データにより示される欠陥の数または大きさが予め設定された欠陥閾値より大きいか否かを判定し、
記欠陥種別により示される欠陥の数または大きさが前記欠陥閾値より大きいと判断され、且つ、前記欠陥種別に予め対応付けられたセンサによる測定値が前記センサ閾値を超えると判断された場合、前記クライアント端末に対して、前記ワークに異常が生じたことを提示するワーク異常通知と、前記製造装置に異常が生じたことを提示する製造装置異常通知とを送信する製造ライン監視方法。
A production line monitoring method executed by a computer connected to a client terminal via a network,
The computer is
Sensor data indicating a measurement value by a sensor provided in the vicinity of a manufacturing apparatus constituting the manufacturing line, and output from an inspection apparatus for inspecting a defect on a workpiece manufactured by the manufacturing line, and indicated by the defect type and the defect type Receive defect data indicating the number or size of defects
Determining whether the measured value indicated by the sensor data exceeds a sensor threshold value indicating a predetermined range set in advance;
Determining whether the number or size of defects indicated by the defect data is greater than a preset defect threshold;
It is determined that the number or size of defects indicated by the previous Kiketsu Recessed type is larger than the defect threshold, and, it is determined that the previous Kiketsu Recessed measured by pre-sensor associated with the type exceeds the sensor threshold A manufacturing line monitoring method for transmitting, to the client terminal, a work abnormality notification indicating that an abnormality has occurred in the work and a manufacturing apparatus abnormality notification indicating that an abnormality has occurred in the manufacturing apparatus. .
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