JP6595817B2 - Electrode for generating plasma, electrode panel and plasma reactor - Google Patents

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Description

本発明は、プラズマ発生用電極、電極パネルおよびプラズマリアクタに関し、とくに、内燃機関(エンジン)からの排ガスに含まれるPM(粒子状物質)を除去するための装置に好適なプラズマ発生用電極、電極パネルおよびプラズマリアクタに関する。   The present invention relates to a plasma generating electrode, an electrode panel, and a plasma reactor, and more particularly to a plasma generating electrode and electrode suitable for an apparatus for removing PM (particulate matter) contained in exhaust gas from an internal combustion engine (engine). The present invention relates to a panel and a plasma reactor.

エンジン、とくにディーゼルエンジンから排出される排ガスには、CO(一酸化炭素)、HC(炭化水素)、NOx(窒素酸化物)およびPM(Particulate Matter:粒子状物質)などが含まれる。   Exhaust gas discharged from an engine, particularly a diesel engine, includes CO (carbon monoxide), HC (hydrocarbon), NOx (nitrogen oxide), PM (particulate matter), and the like.

排ガスに含まれるPMを除去する手法として、たとえば、PMをDPF(Diesel particulate filter)で捕集し、燃料のポスト噴射または排気管内噴射により排ガスを昇温させて、DPFに捕集されたPMを燃焼させる手法が提案されている。しかしながら、PMを燃焼させる際に燃料を消費することによる燃費の悪化の問題がある。また、いわゆる街乗り(市街地走行)では、排ガスの温度がPMを燃焼させる高温にならないため、かかる手法は、街乗りに多用される小型車には不向きである。   As a method for removing PM contained in exhaust gas, for example, PM is collected by a DPF (Diesel particulate filter), and the temperature of exhaust gas is raised by fuel post-injection or in-pipe injection, and the PM collected in the DPF is collected. Combustion techniques have been proposed. However, there is a problem of deterioration in fuel consumption due to consumption of fuel when burning PM. Further, in so-called city riding (city driving), the temperature of exhaust gas does not reach a high temperature for burning PM, so that this method is not suitable for small cars frequently used for city riding.

そこで、排ガスの流れ方向と平行、かつ、その流れ方向と直交する方向に互いに対向するように配置された複数の平板状の誘電体にそれぞれ電極を内蔵し、電極間に電圧を印加することにより、低温プラズマ(非平衡プラズマ)を発生させて、誘電体間を流れる排ガス中のPMを酸化して除去する手法が提案されている。   Therefore, by incorporating electrodes in a plurality of plate-like dielectrics arranged so as to face each other in a direction parallel to and perpendicular to the flow direction of the exhaust gas, and applying a voltage between the electrodes, A method has been proposed in which low temperature plasma (non-equilibrium plasma) is generated to oxidize and remove PM in exhaust gas flowing between dielectrics.

特許第4220778号公報Japanese Patent No. 4220778

電極101は、たとえば、図5に示されるように、縦方向に延びる複数の縦線状部102および横方向に延びる複数の横線状部103による格子状をなし、四角形状の網目104を多数有している。電極101間に電圧が印加されると、放電が生じ、誘電体間に誘電体バリア放電によるプラズマが発生する。   For example, as shown in FIG. 5, the electrode 101 has a lattice shape with a plurality of vertical line portions 102 extending in the vertical direction and a plurality of horizontal line portions 103 extending in the horizontal direction, and has a large number of rectangular meshes 104. is doing. When a voltage is applied between the electrodes 101, a discharge is generated, and plasma due to a dielectric barrier discharge is generated between the dielectrics.

放電は、網目104を取り囲む縦線状部102および横線状部103の各エッジ(端縁)が起点となって生じる。図5に示される構成では、放電の起点となるエッジの数が少ないため、プラズマを効率よく発生させることができないという問題がある。   The discharge is generated starting from each edge (edge) of the vertical line portion 102 and the horizontal line portion 103 surrounding the mesh 104. The configuration shown in FIG. 5 has a problem that plasma cannot be generated efficiently because the number of edges that are the starting points of discharge is small.

本発明の目的は、プラズマを効率よく発生させることができる、プラズマ発生用電極、電極パネルおよびプラズマリアクタを提供することである。   An object of the present invention is to provide an electrode for plasma generation, an electrode panel, and a plasma reactor capable of efficiently generating plasma.

前記の目的を達成するため、本発明の一の局面に係るプラズマ発生用電極は、排ガスの流通方向に延在する誘電体を備えるプラズマリアクタに用いられ、誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるためのプラズマ発生用電極であって、第1方向に延びる第1線状部と、第1方向と交差する方向に延びる第2線状部と、第1方向および第2方向の両方向と交差する方向に延びる第3線状部とを含み、第1線状部、第2線状部および第3線状部が交差する部分に、厚さ方向に貫通する孔が形成されている。   In order to achieve the above object, an electrode for plasma generation according to one aspect of the present invention is used in a plasma reactor including a dielectric extending in a flow direction of exhaust gas, and generates plasma by dielectric barrier discharge. A first linear portion extending in the first direction, a second linear portion extending in a direction intersecting the first direction, and a direction intersecting both the first direction and the second direction. A hole penetrating in the thickness direction is formed at a portion where the first linear portion, the second linear portion, and the third linear portion intersect with each other.

この構成によれば、互いに交差する第1方向、第2方向および第3方向にそれぞれ延びる第1線状部、第2線状部および第3線状部が設けられている。これにより、縦方向および横方向にそれぞれ延びる縦線状部および横線状部を有する格子状の電極と比較して、単位面積当たりのエッジ(第1線状部、第2線状部および第3線状部の各端縁)の数が多く、電極に電圧が印加されたときの放電の起点が多いので、プラズマを効率よく発生させることができる。   According to this configuration, the first linear portion, the second linear portion, and the third linear portion that extend in the first direction, the second direction, and the third direction that intersect with each other are provided. Thereby, the edge per unit area (the 1st linear part, the 2nd linear part, and the 3rd is compared with the grid-like electrode which has the vertical line part and the horizontal line part which extend in the lengthwise direction and the widthwise direction, respectively. Since the number of each edge) of the linear portion is large and there are many starting points of discharge when a voltage is applied to the electrode, plasma can be generated efficiently.

また、第1線状部、第2線状部および第3線状部が交差する部分には、プラズマ発生用電極の厚さ方向に貫通する孔が形成されている。これにより、単位面積当たりのエッジの数をさらに増加させることができるので、プラズマを一層効率よく発生させることができる。   In addition, a hole penetrating in the thickness direction of the plasma generating electrode is formed at a portion where the first linear portion, the second linear portion, and the third linear portion intersect. Thereby, since the number of edges per unit area can be further increased, plasma can be generated more efficiently.

その結果、誘電体および電極によって構成される電極パネルの1枚当たりのプラズマ強度が増大するので、電極パネルの積層数を従来より削減しても、排ガスに含まれるPMを良好に酸化して除去することができる。電極パネルの積層数を削減することにより、プラズマリアクタのサイズの縮小およびコストの低減を図ることができる。   As a result, the plasma intensity per electrode panel composed of dielectrics and electrodes increases, so even if the number of electrode panel stacks is reduced, PM contained in exhaust gas is oxidized and removed well. can do. By reducing the number of stacked electrode panels, the size and cost of the plasma reactor can be reduced.

第1方向および第2方向は、互いに直交する方向であり、第3方向は、第1方向および第2方向のそれぞれに対して45°の角度で交差する方向であってもよい。この場合、プラズマ発生用電極は、第3方向と直交する第4方向に延びる第4線状部をさらに含むことが好ましい。   The first direction and the second direction may be directions orthogonal to each other, and the third direction may be a direction that intersects each of the first direction and the second direction at an angle of 45 °. In this case, it is preferable that the electrode for plasma generation further includes a fourth linear portion extending in a fourth direction orthogonal to the third direction.

これにより、単位面積当たりのエッジの数をさらに増加させることができ、プラズマをより一層効率よく発生させることができる。   Thereby, the number of edges per unit area can be further increased, and plasma can be generated more efficiently.

本発明は、プラズマ発生用電極の形態のみならず、誘電体および電極を備える電極パネルや、複数の電極パネルを備えるプラズマリアクタの形態で実現することもできる。   The present invention can be realized not only in the form of an electrode for plasma generation but also in the form of an electrode panel including a dielectric and an electrode or a plasma reactor including a plurality of electrode panels.

すなわち、本発明の他の局面に係る電極パネルは、誘電体と、誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるための電極とを備える電極パネルであって、電極として、前記プラズマ発生用電極を用いたものである。   That is, an electrode panel according to another aspect of the present invention is an electrode panel including a dielectric and an electrode for generating plasma by dielectric barrier discharge, and the plasma generating electrode is used as an electrode. Is.

また、本発明のさらに他の局面に係るプラズマリアクタは、複数の電極パネルが間隔を空けて並列に設けられ、電極パネル間に誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるプラズマリアクタであって、電極パネルとして、前記電極パネルを用いたものである。   A plasma reactor according to still another aspect of the present invention is a plasma reactor in which a plurality of electrode panels are provided in parallel at intervals, and plasma is generated by dielectric barrier discharge between the electrode panels. As described above, the electrode panel is used.

本発明によれば、縦方向および横方向にそれぞれ延びる縦線状部および横線状部を有する格子状の電極と比較して、単位面積当たりのエッジの数が多く、電極に電圧が印加されたときの放電の起点が多いので、プラズマを効率よく発生させることができる。その結果、電極パネルの1枚当たりのプラズマ強度が増大するので、電極パネルの積層数を従来より削減しても、排ガスに含まれるPMを良好に酸化して除去することができる。電極パネルの積層数を削減することにより、プラズマリアクタのサイズの縮小およびコストの低減を図ることができる。   According to the present invention, the number of edges per unit area is large and a voltage is applied to the electrode as compared with a grid-like electrode having a vertical line portion and a horizontal line portion extending in the vertical direction and the horizontal direction, respectively. Since there are many starting points of discharge, plasma can be generated efficiently. As a result, the plasma intensity per electrode panel increases, so that PM contained in the exhaust gas can be satisfactorily oxidized and removed even if the number of stacked electrode panels is reduced. By reducing the number of stacked electrode panels, the size and cost of the plasma reactor can be reduced.

本発明の一実施形態に係るプラズマ発生用電極、電極パネルおよびプラズマリアクタが用いられたPM除去装置の構成を図解的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a PM removal device using a plasma generating electrode, an electrode panel, and a plasma reactor according to an embodiment of the present invention. プラズマ発生用電極の構成を図解的に示す平面図である。It is a top view which shows the composition of the electrode for plasma generation schematically. プラズマ発生用電極の他の構成を図解的に示す平面図である。It is a top view which shows the other structure of the electrode for plasma generation schematically. プラズマ発生用電極のさらに他の構成を図解的に示す平面図である。FIG. 10 is a plan view schematically showing still another configuration of the plasma generating electrode. 従来のプラズマ発生用電極の構成を図解的に示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the conventional electrode for plasma generation schematically.

以下では、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

<PM除去装置> <PM removal device>

図1は、本発明の一実施形態に係るプラズマ発生用電極23、電極パネル21およびプラズマリアクタ4が用いられたPM除去装置1の構成を図解的に示す断面図である。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a PM removal apparatus 1 using a plasma generating electrode 23, an electrode panel 21, and a plasma reactor 4 according to an embodiment of the present invention.

PM除去装置1は、たとえば、自動車のエンジン(図示せず)から排出される排ガスに含まれるPMを除去するための装置であり、エキゾーストパイプなどの排気管2の途中部に介装される。PM除去装置1は、流通管3、プラズマリアクタ4およびパルス発生電源5を備えている。   The PM removal device 1 is a device for removing PM contained in exhaust gas discharged from an automobile engine (not shown), for example, and is interposed in the middle of an exhaust pipe 2 such as an exhaust pipe. The PM removal device 1 includes a flow tube 3, a plasma reactor 4, and a pulse generation power source 5.

流通管3は、一端部および他端部にそれぞれ排ガス流入口11および排ガス流出口12を有する管状(筒状)をなしている。排ガス流入口11は、排気管2におけるエンジン側の部分2Aに接続され、排ガス流出口12は、排気管2におけるエンジン側と反対側の部分2Bに接続されている。エンジンから排出される排ガスは、排気管2におけるエンジン側の部分2Aを流れ、排ガス流入口11から流通管3に流入して、流通管3を流通し、排ガス流出口12から排気管2におけるエンジン側と反対側の部分2Bに流出する。   The flow pipe 3 has a tubular shape (cylindrical shape) having an exhaust gas inlet 11 and an exhaust gas outlet 12 at one end and the other end, respectively. The exhaust gas inlet 11 is connected to the engine side portion 2A of the exhaust pipe 2, and the exhaust gas outlet 12 is connected to the portion 2B of the exhaust pipe 2 opposite to the engine side. The exhaust gas discharged from the engine flows through the engine side portion 2A of the exhaust pipe 2, flows into the flow pipe 3 from the exhaust gas inlet 11, flows through the flow pipe 3, and the engine in the exhaust pipe 2 from the exhaust gas outlet 12 It flows out to the part 2B on the opposite side.

プラズマリアクタ4は、流通管3内に配置されている。プラズマリアクタ4は、複数の電極パネル21を備えている。   The plasma reactor 4 is disposed in the flow pipe 3. The plasma reactor 4 includes a plurality of electrode panels 21.

電極パネル21は、四角板状をなし、誘電体22にプラズマ発生用電極(以下、単に「電極」という。)23を内蔵した構成、言い換えれば、電極23をその両面から誘電体22で挟み込んだ構成を有している。かかる構成の電極パネル21は、たとえば、誘電体22の材料からなる1対の四角板状の分割部分の一方上に導電性ペーストをパターン印刷し、その導電性ペーストを1対の分割部分で挟み込むように、一方の分割部分と他方の分割部分とを貼り合わせて、それらを焼成することにより作製される。誘電体22の材料としては、たとえば、Al(アルミナ)を用いることができる。導電性ペーストとしては、たとえば、タングステンペーストを用いることができる。複数の電極パネル21は、それぞれ流通管3における排ガスの流通方向(排ガス流入口11から排ガス流出口12に向かう方向)に延在し、流通方向と直交する方向に等間隔を空けて並列に配置(互いに対向して配置)されている。 The electrode panel 21 has a rectangular plate shape, and a structure in which a plasma generation electrode (hereinafter simply referred to as “electrode”) 23 is built in a dielectric 22, in other words, the electrode 23 is sandwiched between the dielectrics 22 from both sides. It has a configuration. In the electrode panel 21 having such a configuration, for example, a conductive paste is pattern-printed on one of a pair of square plate-like divided portions made of the material of the dielectric 22, and the conductive paste is sandwiched between the pair of divided portions. Thus, it produces by bonding one division part and the other division part, and baking them. As a material of the dielectric 22, for example, Al 2 O 3 (alumina) can be used. For example, a tungsten paste can be used as the conductive paste. Each of the plurality of electrode panels 21 extends in the flow direction of the exhaust gas in the flow pipe 3 (the direction from the exhaust gas inlet 11 to the exhaust gas outlet 12), and is arranged in parallel at equal intervals in a direction orthogonal to the flow direction. (Arranged to face each other).

電極23には、誘電体22の積層方向の一端側から順に、プラス配線24およびマイナス配線25が交互に接続されている。プラス配線24およびマイナス配線25は、それぞれパルス発生電源5のプラス端子およびマイナス端子と電気的に接続されている。   A positive wiring 24 and a negative wiring 25 are alternately connected to the electrode 23 in order from one end side in the stacking direction of the dielectric 22. The plus wiring 24 and the minus wiring 25 are electrically connected to the plus terminal and the minus terminal of the pulse generation power source 5, respectively.

<電極> <Electrode>

図2は、電極23の構成を図解的に示す平面図である。   FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the electrode 23.

電極23は、それぞれ複数の第1線状部31、第2線状部32、第3線状部33および第4線状部34を備えることにより、多数の直角三角形状の網目35を有している。   The electrode 23 includes a plurality of first linear portions 31, second linear portions 32, third linear portions 33, and fourth linear portions 34, thereby having a large number of right-angled triangular meshes 35. ing.

具体的には、複数の第1線状部31は、それぞれ排ガスの流通方向と平行な第1方向に直線状に延び、第1方向と直交する第2方向に一定間隔を空けて設けられている。   Specifically, each of the plurality of first linear portions 31 extends linearly in a first direction parallel to the flow direction of the exhaust gas, and is provided at a constant interval in a second direction orthogonal to the first direction. Yes.

複数の第2線状部32は、それぞれ第2方向に直線状に延び、第1方向に一定間隔を空けて設けられている。これにより、第1線状部31および第2線状部32は、正方格子状をなしている。   The plurality of second linear portions 32 each extend linearly in the second direction, and are provided at regular intervals in the first direction. Thereby, the 1st linear part 31 and the 2nd linear part 32 have comprised the square lattice shape.

第3線状部33は、第1方向および第2方向に対して45°の角度で交差する第3方向に、第1線状部31および第2線状部32がなす正方格子状の対角線上を延びている。   The third linear portion 33 is a square lattice diagonal line formed by the first linear portion 31 and the second linear portion 32 in a third direction that intersects the first direction and the second direction at an angle of 45 °. It extends above.

第4線状部34は、第3方向と直交する第4方向に、第1線状部31および第2線状部32がなす正方格子状の対角線上を延びている。   The fourth linear portion 34 extends in a square lattice-shaped diagonal line formed by the first linear portion 31 and the second linear portion 32 in a fourth direction orthogonal to the third direction.

また、電極23には、第1線状部31、第2線状部32、第3線状部33および第4線状部34が交差する各部分の中央に、孔36が厚さ方向に貫通して形成されている。孔36は、たとえば、第3方向および第4方向に延びる辺を有する正方形状をなしている。   The electrode 23 has a hole 36 in the thickness direction at the center of each portion where the first linear portion 31, the second linear portion 32, the third linear portion 33, and the fourth linear portion 34 intersect. It is formed through. The hole 36 has, for example, a square shape having sides extending in the third direction and the fourth direction.

<作用効果> <Effect>

パルス発生電源5から互いに対向する電極23間にパルス電圧(たとえば、ピーク電圧:8kV、パルス繰返し周波数:100Hz)が印加されると、各網目35および各孔36を取り囲むエッジ(端縁)が起点となって誘電体バリア放電が生じ、電極パネル21間に誘電体バリア放電によるプラズマが発生する。そして、プラズマの発生により、電極パネル21間を流通する排ガスに含まれるPMが酸化(燃焼)されて除去される。   When a pulse voltage (for example, peak voltage: 8 kV, pulse repetition frequency: 100 Hz) is applied between the electrodes 23 facing each other from the pulse generating power source 5, an edge (edge) surrounding each mesh 35 and each hole 36 is the starting point. As a result, dielectric barrier discharge occurs, and plasma is generated between the electrode panels 21 due to dielectric barrier discharge. Then, the PM contained in the exhaust gas flowing between the electrode panels 21 is oxidized (burned) and removed by the generation of plasma.

電極23では、縦方向および横方向にそれぞれ延びる縦線状部および横線状部を有する格子状の電極(図5参照)と比較して、単位面積当たりのエッジの数が多く、電極23に電圧が印加されたときの放電の起点が多いので、プラズマを効率よく発生させることができる。その結果、電極パネル21の1枚当たりのプラズマ強度が増大するので、電極パネル21の積層数を従来より削減しても、排ガスに含まれるPMを良好に酸化して除去することができる。電極パネル21の積層数を削減することにより、プラズマリアクタ4のサイズの縮小およびコストの低減を図ることができ、ひいては、PM除去装置1のサイズの縮小およびコストの低減を図ることができる。   The electrode 23 has a larger number of edges per unit area than the grid-like electrode (see FIG. 5) having a vertical line portion and a horizontal line portion extending in the vertical direction and the horizontal direction, respectively. Since there are many starting points of discharge when is applied, plasma can be generated efficiently. As a result, since the plasma intensity per electrode panel 21 increases, PM contained in the exhaust gas can be satisfactorily oxidized and removed even if the number of stacked electrode panels 21 is reduced as compared with the prior art. By reducing the number of stacked electrode panels 21, the size of the plasma reactor 4 can be reduced and the cost can be reduced. As a result, the size of the PM removal device 1 can be reduced and the cost can be reduced.

なお、電極パネル21間の間隔は、誘電体バリア放電が生じる間隔であればよく、たとえば、0.2〜5.0mmの範囲内で設定される。   In addition, the space | interval between the electrode panels 21 should just be a space | interval which a dielectric barrier discharge produces, for example, is set in the range of 0.2-5.0 mm.

<変形例> <Modification>

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention can also be implemented with another form.

たとえば、第1線状部31、第2線状部32、第3線状部33および第4線状部34が交差する各部分に孔36が形成されているとしたが、第1線状部31、第2線状部32、第3線状部33および第4線状部34が交差する部分の全部ではなく、そのうちの任意に選択される部分に孔36が形成されていてもよい。   For example, although the hole 36 is formed in each portion where the first linear portion 31, the second linear portion 32, the third linear portion 33, and the fourth linear portion 34 intersect, the first linear portion The hole 36 may be formed in an arbitrary selected portion of the portion 31, the second linear portion 32, the third linear portion 33, and the fourth linear portion 34, instead of all of the intersecting portions. .

また、電極23の構成として、図3に示される構成、つまり孔36を有していない構成が採用されてもよいし、図2または図3に示される構成から第3線状部33または第4線状部34を省略した構成が採用されてもよい。   Further, as the configuration of the electrode 23, the configuration shown in FIG. 3, that is, the configuration without the hole 36 may be adopted, or the third linear portion 33 or the first configuration from the configuration shown in FIG. A configuration in which the four linear portions 34 are omitted may be employed.

電極23は、図4に示されるように、排ガスの流通方向の上流側から順に、第1部分41、第2部分42および第3部分43に分けられて、第1部分41、第2部分42および第3部分43がそれぞれ図2、図3および図5に示される構成を有するように形成されていてもよい。   As shown in FIG. 4, the electrode 23 is divided into a first portion 41, a second portion 42, and a third portion 43 in order from the upstream side in the flow direction of the exhaust gas, and the first portion 41 and the second portion 42. And the 3rd part 43 may be formed so that it may have the structure shown by FIG.2, FIG.3 and FIG.5, respectively.

図4に示される構成によれば、第1部分41では、第2部分42および第3部分43と比較して、単位面積当たりのエッジの数が多く、電極23に電圧が印加されたときの放電の起点が多いので、高いプラズマ密度(プラズマ強度)のプラズマを発生させることができる。そのため、電極パネル21間における排ガスの流通方向の最上流部分では、PMを効率よく除去することができ、誘電体22の表面にPMが堆積することを抑制できる。そして、電極パネル21間における排ガスの流通方向の最上流部分よりも下流側の部分(第2部分42および第3部分43と対向する部分)では、最上流部分で除去されずに流下したPMが誘電体22の表面に付着しても、そのPMを下流側部分で発生したプラズマまたは上流側から流下した活性種(ラジカル、オゾンなど)により除去することができ、誘電体22の表面にPMが堆積することを抑制できる。   According to the configuration shown in FIG. 4, the first portion 41 has a larger number of edges per unit area than the second portion 42 and the third portion 43, and the voltage when the voltage is applied to the electrode 23. Since there are many starting points of discharge, plasma with high plasma density (plasma intensity) can be generated. Therefore, PM can be efficiently removed at the most upstream portion of the exhaust gas flow direction between the electrode panels 21, and PM can be suppressed from being deposited on the surface of the dielectric 22. Then, in the portion downstream of the most upstream portion in the exhaust gas flow direction between the electrode panels 21 (the portion facing the second portion 42 and the third portion 43), the PM that has flowed down without being removed at the most upstream portion. Even if the PM adheres to the surface of the dielectric 22, the PM can be removed by plasma generated in the downstream portion or active species (radical, ozone, etc.) flowing down from the upstream side. Accumulation can be suppressed.

よって、誘電体22の表面の全域において、PMが堆積することを抑制できる。その結果、PM除去装置1(プラズマリアクタ4)のPM除去性能を良好に維持することができる。   Therefore, PM can be prevented from being deposited on the entire surface of the dielectric 22. As a result, the PM removal performance of the PM removal device 1 (plasma reactor 4) can be maintained well.

なお、図4に示される構成では、電極23が第1部分41、第2部分42および第3部分43の3つの部分に等分されているが、電極23の全体に対する第1部分41、第2部分42および第3部分43の割合が互いに異なっていてもよい。   In the configuration shown in FIG. 4, the electrode 23 is equally divided into three parts, that is, a first part 41, a second part 42, and a third part 43. The ratio of the 2 part 42 and the 3rd part 43 may mutually differ.

また、電極23は、図2に示される構成を有する第1部分41と、図3に示される構成を有する第2部分42とによって構成されていてもよいし、図2に示される構成を有する第1部分41と、図5に示される構成を有する第3部分43とによって構成されていてもよい。   Moreover, the electrode 23 may be comprised by the 1st part 41 which has the structure shown by FIG. 2, and the 2nd part 42 which has the structure shown by FIG. 3, and has the structure shown by FIG. You may be comprised by the 1st part 41 and the 3rd part 43 which has the structure shown by FIG.

孔36の形状は、正方形状に限らず、長方形状、円形、三角形、五角形以上の多角形またはその他の形状であってもよい。   The shape of the hole 36 is not limited to a square shape, and may be a rectangular shape, a circular shape, a triangular shape, a pentagonal polygon or other shapes.

その他、前述の構成には、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。   In addition, various design changes can be made to the above-described configuration within the scope of the matters described in the claims.

4 プラズマリアクタ
21 電極パネル
22 誘電体
23 電極(プラズマ発生用電極)
31 第1線状部
32 第2線状部
33 第3線状部
36 孔
4 Plasma reactor 21 Electrode panel 22 Dielectric 23 Electrode (Plasma generating electrode)
31 1st linear part 32 2nd linear part 33 3rd linear part 36 hole

Claims (3)

排ガスの流通方向に延在する誘電体を備えるプラズマリアクタに用いられ、誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるためのプラズマ発生用電極であって、
平面内で第1方向に延びる第1線状部と、
前記平面内で前記第1方向と交差する方向に延びる第2線状部と、
前記平面内で前記第1方向および前記第2方向の両方向と交差する方向に延びる第3線状部とを含み、
前記第1線状部、前記第2線状部および前記第3線状部が交差する部分に、前記平面と直交する厚さ方向に貫通する孔が形成されている、プラズマ発生用電極。
An electrode for plasma generation used for a plasma reactor having a dielectric extending in the flow direction of exhaust gas, and for generating plasma by dielectric barrier discharge,
A first linear portion extending in a first direction in a plane ;
A second linear portion extending in a direction intersecting the first direction in the plane ;
A third linear portion extending in a direction intersecting with both the first direction and the second direction in the plane ,
A plasma generating electrode, wherein a hole penetrating in a thickness direction perpendicular to the plane is formed at a portion where the first linear portion, the second linear portion, and the third linear portion intersect.
誘電体と、
誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるための電極とを備え、
前記電極として、請求項1に記載のプラズマ発生用電極が用いられている、電極パネル。
A dielectric,
An electrode for generating plasma by dielectric barrier discharge,
An electrode panel, wherein the plasma generating electrode according to claim 1 is used as the electrode.
複数の電極パネルが間隔を空けて並列に設けられ、前記電極パネル間に誘電体バリア放電によるプラズマを発生させるプラズマリアクタであって、
前記電極パネルとして、請求項2に記載の電極パネルが用いられている、プラズマリアクタ。
A plasma reactor in which a plurality of electrode panels are provided in parallel at intervals, and plasma is generated by dielectric barrier discharge between the electrode panels,
A plasma reactor in which the electrode panel according to claim 2 is used as the electrode panel.
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