JP6591053B2 - マイクロメカニカル素子、マイクロミラーに基づくレーザシステム、及び、マイクロミラーに基づくレーザシステムの監視方法 - Google Patents
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Description
独国特許出願公開第102013222585号明細書(DE102013222585A1)には、レーザ光源と、レーザビーム偏向用の可動のマイクロミラーとを備えたマイクロプロジェクタが開示されている。このマイクロプロジェクタは、レーザ光源を含んでおり、この場合、パルスモード中、連続モード中の最大可能出力よりも大きい出力でレーザを駆動することができる。
この目的で、本発明によれば、第1の態様に従って、独立請求項である請求項1に記載された特徴を備えているマイクロメカニカル素子が提供される。
本発明が基礎とする着想は、斯かるレーザシステムのマイクロメカニカル素子において、2つのセンサダイオードを1つの共通の支持体基板上に配置することによって、レーザシステムの機能正常性を照合する、というものである。この場合、これら両方のセンサダイオードのうち一方のセンサダイオードが、フォトダイオードとして構成されており、光の入射に対応する出力信号を供給する。従って、このフォトダイオードによって、マイクロメカニカル素子内に生じ得る光の入射を検出することができる。その際に起こり得る妨害作用を補償する目的で、フォトダイオードの出力信号が他方のセンサダイオードの出力信号と比較される。この場合、他方のセンサダイオードは、マイクロメカニカル素子内部の光の入射には依存せず、温度に対応する出力信号を供給する。このようにすれば、フォトダイオードにおいて起こり得る温度の影響を補償することができる。フォトダイオードと、温度監視用の他方のダイオードとが、1つの共通の支持体基板上に配置されているので、極めて簡単で安価な構造を実現することができる。
図1には、1つの実施形態によるマイクロミラーに基づくレーザシステムが概略的に示されている。この場合、レーザ光源2はレーザビーム20を送出する。次いでレーザビーム20を、1つ又は複数のマイクロメカニカル素子1及び1’によって偏向することができる。この場合、マイクロメカニカル素子1及び1’は、例えば、1つの蛍光体スクリーン4上に予め定められたパターンが結像されるように、レーザビームを偏向する。しかも、蛍光体スクリーン4を、例えば、レーザ光の波長を別の波長の光に変換するために用いることもできる。マイクロメカニカル素子の駆動制御を、例えば、適切な駆動制御エレクトロニクス装置を介して行うことができる。特に、この駆動制御エレクトロニクス装置は、監視装置3も含むことができ、この監視装置3は、レーザシステムの適正な状態について検査し、誤動作が検出されたならば、レーザ光源2を非作動状態にする。この目的において、監視装置3は、例えば、マイクロメカニカル素子1内で発生する散乱光を検出することができる。マイクロメカニカル素子1内においてレーザビーム20による散乱光が検出されているかぎり、前提とすることができるのは、レーザシステムは、正常に動作しており、レーザビーム20のビーム路がレーザ光源2からマイクロメカニカル素子1まで適正な経過を辿っている、ということである。これに対し、レーザ光源2がレーザビーム20を送出しているにもかかわらず、マイクロメカニカル素子1内で十分な量の散乱光が検出されなければ、レーザビーム20のビーム路が望ましくない経過を辿っており、周囲に対して、場合によっては危険なものとなる、というリスクが発生する。このケースにおいては、監視装置3は、レーザ光源2を非作動状態にすることができる。
Claims (10)
- 支持体基板(13)と結合されたマイクロミラー(10)と、
第1のセンサダイオード(11)であって、当該第1のセンサダイオード(11)における温度に対応する第1の出力信号を供給するように構成されている第1のセンサダイオード(11)と、
第2のセンサダイオード(12)であって、当該第2のセンサダイオード(12)に入射する光の強度に対応する第2の出力信号を供給するように構成されている第2のセンサダイオード(12)と、
を備えているマイクロメカニカル素子(1)において、
前記第1のセンサダイオード(11)及び前記第2のセンサダイオード(12)は、前記支持体基板(13)内に配置されており、
前記マイクロミラー(10)は、反射素子(17)を含み、当該反射素子(17)は、前記マイクロミラー(10)のミラー面(101)に配置されており、前記反射素子(17)は、前記マイクロミラー(10)の前記ミラー面(101)に入射するレーザビーム(20)の直径よりも小さい寸法を有しており、かつ、前記レーザビーム(20)の一部分を前記第2のセンサダイオード(12)に入射させるために前記レーザビーム(20)の当該一部分を予め決められた領域に向けて偏向するように配置されている、
マイクロメカニカル素子(1)。 - 前記第1のセンサダイオード(11)は、非透光性のカバー層(15)を含む、
請求項1に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - 当該マイクロメカニカル素子(1)内において前記第2のセンサダイオード(12)の方向に光を偏向するように構成されている反射器(18,18a,18b)を備えている、
請求項1又は2に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - 前記マイクロミラー(10)は、ミラー面(101)と、前記マイクロミラー(10)の、前記ミラー面(101)とは反対側の面との間に、開口部(19)を含む、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - 前記第2のセンサダイオード(12)は、前記支持体基板(13)の、前記マイクロミラー(10)のミラー面(101)と同じ方向に配向された側に配置されている、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - 前記第1のセンサダイオード(11)及び前記第2のセンサダイオード(12)は、1つの共通のドーピング半導体層(14)を含む、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - 前記第1のセンサダイオード(11)及び前記第2のセンサダイオード(12)は、1つの共通の支持体基板(13)内に別個の半導体層を含む、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル素子(1)。 - レーザビーム(20)を供給するように構成されたレーザ光源(2)と、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のマイクロメカニカル素子(1)と、
監視装置(3)と、
を備えている、マイクロミラーに基づくレーザシステムであって、
前記監視装置(3)は、前記第1のセンサダイオード(11)から供給された第1のセンサ信号と、前記第2のセンサダイオード(12)から供給された第2の出力信号とに基づいて、当該マイクロミラーに基づくレーザシステムの誤動作を判定するように構成されている、
マイクロミラーに基づくレーザシステム。 - 変調信号を供給するように構成された変調源を備えており、
前記レーザ光源(2)は、供給される前記レーザビーム(20)を前記変調信号に基づいて変調するように構成されており、
前記監視装置(3)は、前記第2のセンサダイオード(12)から供給された前記第2の出力信号を、前記変調信号に基づいて評価するように構成されている、
請求項8に記載のマイクロミラーに基づくレーザシステム。 - マイクロミラーに基づくレーザシステムの監視方法であって、
第1のセンサダイオードにおける温度に対応する第1の出力信号を供給するステップ(S1)と、
第2のセンサダイオードに入射する光の強度に対応する第2の出力信号を供給するステップ(S2)と、
前記第1の出力信号を前記第2の出力信号と比較するステップ(S3)と、
前記第1の出力信号と前記第2の出力信号との比較に基づいて、前記マイクロミラーに基づくレーザシステムの誤動作を判定するステップ(S4)と、
を含み、
前記マイクロミラーは、反射素子を含み、当該反射素子は、前記マイクロミラーのミラー面に配置されており、前記反射素子は、前記マイクロミラーの前記ミラー面に入射するレーザビームの直径よりも小さい寸法を有しており、かつ、前記レーザビームの一部分を前記第2のセンサダイオードに入射させるために前記レーザビームの当該一部分を予め決められた領域に向けて偏向するように配置されている、
マイクロミラーに基づくレーザシステムの監視方法。
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