JP6583926B2 - 高周波プラズマ内のイオン流を制御する方法及びシステム - Google Patents
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Description
uを基本周期Tに対する時間tの比率として定義された標準時間として、時間と振幅で区間[−1;1]に標準化された電圧波形f(u)が、標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)の一定の近似度の近似波形であることと、
標準化された鋸歯状高周波関数が、第1の勾配p1を有する標準化された電圧の時間推移の第1の線形部分、及びその直後に続く第2の勾配p2を有する標準化された電圧の時間推移の第2の線形部分からなる基本周期Tの周期パターンを有し、第1及び第2の勾配の振幅が異なっていて符号が逆であり、パターンの極小点と極大点が同じ単位振幅を有することと、
近似波形の近似度及びガス又は混合ガスの全圧Pが、第1の電極におけるイオン流と第2の電極におけるイオン流の間にイオン流の非対称な外観を生じさせるために十分な高さであることと
を特徴とする。
1)第1の勾配p1の絶対値と第2の勾配p2の絶対値のうち最小の絶対値が3.8に等しい値以下であり、好ましくは3以下である。
2)周期高周波電圧波形V(t)が微分可能であり、1以上の整数pをパラメータとして下記の式により定義される勾配非対称性係数Fによって測られる勾配非対称性を有し、
ここで、V’(t)はその波形の時刻tにおける微分係数を示し、
F(p)は、ある閾値以上であり、閾値が整数pに依存し、pが2に等しいときは0.1に等しい。
3)ガス又は混合ガスの全圧Pは閾値圧力値Ps(gas)以上であり、この閾値圧力値Ps(gas)は、ガスの性質によって異なるものであり、標準化された波形が、最も緩い勾配の絶対値が2.5に等しいか波形V(t)の勾配非対称性係数F(2)が0.1以上である標準化された鋸歯状関数であるときに、それより上の圧力では前記第1の電極でのイオン流と前記第2の電極でのイオン流の間にイオン流の非対称性が明確に出現する圧力として定義されるものである。
4)ガスが、基板上に材料を蒸着させるため、基板をエッチングするため、及び基板を改変するために適した、アルゴン、二水素、O2、Cl2、HBr、CF4、C4F8、CHF3、CO、SiH4、SiCl4、SiF4、CH4、C2H6及び同一構造の炭素鎖、SF6、Si2H6、SiHxF4−x、GeH4、GeF4、GeHxF4−x、CCl4、CCl3F、CCl2F2、CF3Cl、C2F6、C3F8、C5F8、C5F12、CHF3、BCl3により構成されるセットに含まれ、ガスがアルゴンである場合は圧力閾値が100mTorrに等しい。
5)近似波形の近似度が標準化された近似電圧波形f(u)と標準化された鋸歯状高周波関数fsaw(u)を隔てる関数距離dの逆数に等しく、その関数距離が、ルベーグの関数距離Lpによって構成されるセットに含まれており、
関数距離dが標準化近似波形と標準化された鋸歯状高周波関数を隔てる関数距離d∞であるときに、近似レベルが1.25以上、好ましくは2以上であり、関数距離d∞が、uをu=ωt/2πによって定義される標準変数として、解析式
により定義される。
6)uを標準化された近似電圧波形の標準時間推移変数として、標準化後の近似電圧波形f(u)が、時間反転によって不変ではない波形、すなわち、f(u)=f(τ−u)を満たす実定数τが存在しない波形である。
7)標準化された近似電圧波形の、進行指数jによって識別される各最大電流について、最大電流の発生時刻t(max(j))を最大電流ma(j)に続く最初の最小電流min(j)の発生時刻t(min(j))と隔てる期間が、最初の最小電流min(j)の直後の最初の最大電流max(j+1)の発生時刻t(max(j+1))を最初の最小電流min(j)の発生時刻t(min(j))と隔てる期間と異なる。
8)標準化前の近似波形が、nを整数として最初のn個の高調波周波数に制限された、鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、下記の式で表され、
ここで、V0は所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、級数展開の最初の高調波周波数の数nが2以上、ωが基本周波数に対応する角周波数、mが0と1の間にある実数パラメータであり、区間[0.5−δ4,0.5+δ4]に属する値mが除外され、δ4が0.1以上、好ましくは0.2以上である。
9)標準化前の近似波形が、nを整数として最初のn個の高調波周波数に制限された鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、下記の式で表され、
ここで、V0が所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、級数展開の始めの高調波周波数の数nが2以上、ωが基本周波数に対応する角周波数であり、
δ3をπ/4以下、好ましくはπ/6以下、さらに好ましくはπ/8以下として、Φが区間
と
との和集合からなる高調波への共通位相シフトである。
10)標準化前の近似波形が、nを整数として最初のn個の高調波周波数に制限された、鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、下記の式で表され、
ここで、V0が所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、級数展開の始めの高調波周波数の数nが2以上、ωが基本周波数に対応する角周波数であり、
δ2をπ/4以下、好ましくはπ/6以下、さらに好ましくはπ/8以下として、Φが区間
と
との和集合からなる高調波への共通位相シフトである。
11)標準化前の近似波形が、nを整数として最初のn個の高調波周波数に制限された、鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、高調波の数が3以上、好ましくは4に等しい。
12)第1及び第2の勾配p1、p2、並びに/又はパラメータmが、エネルギーを供給される第1の電極で所望の電圧波形を得るために使用されるフィードバック・ループによって調節される。
使用されるガスが、高反応性か、あまり高反応性ではないかのどちらかの、いくつかの化学種を生成する可能性があり、前記化学種が前記基板の処理に有益である場合は、前記反応性化学種の生成を電極に近づけるように移動させるように、また前記化学種の反応性があまり高くなく、且つ前記基板の処理に有害に働く場合は、前記化学種を遠ざけるように移動させるように、通電電圧の波形が調整される。
プラズマ処理方法が、基板上への蒸着のためのプラズマ法、基板をエッチングするためのプラズマ法、及び基板の表面を改変するためのプラズマ法により構成されるセットに含まれる。
1つのガス又は混合ガスを全圧P下で収容しており、第1の電極及び第2の電極を含み、第1の電極が高周波エネルギーを供給される、容量結合プラズマリアクタと、
ガス又は混合ガスの全圧Pを調節するための手段と、
基本周期Tの波形の基本高調波に相当する下側周波数を有する周期高周波電圧波形(Vt)を生成するために、結合容量を通して第1の電極に接続された電圧波形ジェネレータとを有する。
uを前記基本周期Tに対する時間tの比率として定義された標準時間として、時間と振幅で区間[−1;1]に標準化された標準化電圧波形f(u)が、標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)の一定の近似度の近似波形であることと、
標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)が、第1の勾配p1を有する標準化された電圧の時間推移の第1の線形部分及びその直後に続く第2の勾配p2を有する標準化された電圧の時間推移の第2の線形部分からなる基本周期Tの周期パターンを有し、第1及び第2の勾配の振幅が異なっていて符号が逆であり、前記パターンの極小点と極大点が同じ単位振幅を有することと、
近似波形の近似度及びガス又は混合ガスの全圧Pが、第1の電極におけるイオン流と第2の電極におけるイオン流の間にイオン流の非対称な外観を生じさせるために十分な高さであることと
を特徴とする。
ガス又は混合ガスの全圧P及び電圧波形ジェネレータを調節するための手段が、上記に定義されるステップの1つを適用するために構成されている。
第2の電極が接地されているか、又は浮遊電位にセットされている。
を満たす。
を満たす。
を満たすプラズマ構成でのシミュレーションによって計算された、標準化された自己バイアス電圧η/Vppが示す、区間[0,2]の標準化シフト角Φ(/π)に対応した推移を示す。
を満たす。
で表されるとき、又は波形の勾配非対称性係数F(2)が0.1に等しいときに、それより高い圧力では第1の電極でのイオン流と第2の電極でのイオン流の間にイオン流の非対称性が明確に出現する圧力として定義されてもよい。
を満たし、ピーク間電圧Vppが200Vに等しいプラズマ構成での、電子加熱率の時間平均〈Se〉の距離xに対応した変動を示す。
と表される電圧波形の式は、この式でΦ=π/2の値に限定して表される関数のクラスを第3の関数項にまで広げて、同じ2つの非対称鋸歯状関数を、図2の第1及び第2の波形に関連するものよりも常に傾斜させて近似することができる。本発明による電圧波形の第3の関数項は、Φ∈[π/2−δ2,π/2+δ2]∪[3π/2−δ2,3π/2+δ2]として、式
を満たす。
と表される。
によって表される関数のクラスを第4の関数項まで広げて、同じ2つの非対称鋸歯状関数を、図2の第1及び第2の波形に関連するものよりも常に傾斜させて近似する。本発明による電圧波形の第4の関数項は、式
を満たす。
ここでnは2以上の高調波の個数であり、ΦはΦ∈[π/2−δ3,π/2+δ3]∪[3π/2−δ3,3π/2+δ3]となるような高調波中の一様な位相シフト角を指す。
によって定義される波形のセットを使用することによって放電の非対称性を継続的に変化させることができる。
Φ∈[0;0.5−δ4]∪[0.5+δ4;1]
基板上の蒸着が迅速である、すなわちイオン流量が大きいこと、
基板に到着するイオンの衝撃エネルギーが低いこと、及び
洗浄頻度を下げてガスを有効利用するために、基板に近い電極の逆側の電極での蒸着率が低いことである。
Claims (19)
- 容量結合高周波プラズマリアクタ(4)内でイオン流を非対称に生成するための方法であって、
前記プラズマリアクタ(4)が、1のガス又は複数の混合ガス(6)を全圧P下で収容しており、且つ、高周波エネルギーを供給される第1の電極(24)、及び第2の電極(26)を含み、
前記方法が、周期高周波電圧波形V(t)で第1の電極(24)に通電するステップを有し、前記周期高周波電圧波形V(t)が、該波形の基本周期Tの基本高調波に相当する下側周波数を有している
イオン流を非対称に生成するための方法において、
時間と振幅で区間[−1,1]に亘って標準化された前記電圧波形f(u)が、標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)の一定の近似度の近似波形であり、ここでuは、前記基本周期Tに亘る時間tの比率として定義された標準時間であり、
前記標準化された鋸歯状高周波関数が、第1の勾配p1を有する前記標準化された電圧の時間推移の第1の線形部分及びその直後に続く第2の勾配p2を有する前記標準化された電圧の時間推移の第2の線形部分からなる基本周期Tの周期パターンを有し、前記第1及び第2の勾配の大きさが異なっていて符号が逆であり、前記パターンの極小点と極大点が同じ単位振幅を有し、
前記近似波形の前記近似度、及び前記ガス又は前記混合ガスの前記全圧Pが、前記第1の電極におけるイオン流と前記第2の電極におけるイオン流の間にイオン流の非対称な外観を生じさせるように十分に高い
ことを特徴とする、イオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記第1の勾配p1の絶対値と前記第2の勾配p2の絶対値のうち最小の絶対値が3.8に等しい値以下であり、好ましくは3以下である、請求項1に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。
- 前記周期高周波電圧波形V(t)が微分可能であり、1以上の整数pによってパラメータ化され且つ下記の式により定義される勾配非対称性係数Fによって評価される勾配非対称性を有し、
ここで、V’(t)が前記波形の時刻tにおける微分係数を示し、また
F(p)が、ある閾値以上であり、前記閾値が整数pに依存し、pが2に等しいときは0.1に等しい、
請求項1又は2に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記ガス又は前記混合ガスの全圧Pは閾値圧力値Ps(gas)以上であり、前記閾値圧力値Ps(gas)は、ガスの性質に依存しており、且つ、前記標準化された波形が、最も緩い勾配の絶対値が2.5に等しいか前記波形V(t)の勾配非対称性係数F(2)が0.1以上である標準化された鋸歯状関数であるときに、それより上の圧力では前記第1の電極(24)でのイオン流と前記第2の電極(26)でのイオン流の間にイオン流の非対称性が明確に出現する圧力として定義される、
請求項1から3までのいずれか一項に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記ガスが、基板上に材料を蒸着させるため、基板をエッチングするため、及び基板を改変するために適したガスであって、アルゴン、二水素、O2、Cl2、HBr、CF4、C4F8、CHF3、CO、SiH4、SiCl4、SiF4、CH4、C2H6及び同じ構造の炭素鎖、SF6、Si2H6、SiHxF4−x、GeH4、GeF4、GeHxF4−x、CCl4、CCl3F、CCl2F2、CF3Cl、C2F6、C3F8、C5F8、C5F12、CHF3、BCl3により構成されるセットに含まれるガスであり、前記ガスがアルゴンである場合は前記圧力閾値が100mTorrに等しい、
請求項1から4までのいずれか一項に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記近似波形の前記近似度が、前記標準化された近似電圧波形f(u)と前記標準化された鋸歯状高周波関数fsaw(u)を隔てる関数距離dの逆数に等しく、前記関数距離が、ルベーグの関数距離Lpによって構成されるセットに含まれ、
前記関数距離dが前記標準化近似波形と前記標準化された鋸歯状高周波関数を隔てる関数距離d∞であるときに、前記近似度が1.25以上、好ましくは2以上であり、前記関数距離d∞が、解析式
により定義され、
ここで、uが、u=ωt/2πによって定義される標準変数である、
請求項1から5までのいずれか一項に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 標準化後の前記近似電圧波形f(u)が、時間反転によって不変ではない波形、すなわちf(u)=f(τ−u)を満たす実定数τが存在しない波形であり、ここでuは前記標準化された近似電圧波形の標準時間推移変数である、
請求項1から6までのいずれか一項に記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記標準化された近似電圧波形の、進行指数jによって識別される各最大電流について、前記最大電流の発生時刻t(max(j))を前記最大電流max(j)に続く最初の最小電流min(j)の発生時刻t(min(j))と隔てる期間が、前記最初の最小電流min(j)の直後の最初の最大電流max(j+1)の発生時刻t(max(j+1))を前記最初の最小電流min(j)の前記発生時刻t(min(j))と隔てる期間と異なる、
請求項1から7までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 標準化前の前記近似波形が、整数n個の最初の高調波周波数に制限された前記鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、且つ下記の式で表され、
ここで、V0が所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、前記級数展開の最初の高調波周波数の数nが2以上であり、ωが基本周波数に対応する角周波数であり、mが0と1の間にある実数パラメータであり、区間[0.5−δ4,0.5+δ4]に属する値mが除外され、δ4が0.1以上、好ましくは0.2以上である、
請求項1から8までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 標準化前の前記近似波形が、整数n個の最初の高調波周波数に制限された前記鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、且つ下記の式で表され、
ここで、V0が所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、前記級数展開の始めの高調波周波数の数nが2以上であり、ωが前記基本周波数に対応する角周波数であり、また
Φが、区間
と
との和集合からなる高調波への共通位相シフトであり、ここでδ3がπ/4以下、好ましくはπ/6以下、さらに好ましくはπ/8以下である、
請求項1から8までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 標準化前の前記近似波形が、整数n個の最初の高調波周波数に制限された鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、且つ下記の式で表され、
ここで、V0が所望のピーク電圧Vppを得るために調節される電圧係数であり、前記級数展開の始めの高調波周波数の数nが2以上であり、ωが前記基本周波数に対応する角周波数であり、また
Φが、区間
と
との和集合からなる高調波への共通位相シフトであり、ここで、δ2がπ/4以下、好ましくはπ/6以下、さらに好ましくはπ/8以下である、
請求項1から8までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 標準化前の前記近似波形が、整数n個の最初の高調波周波数に制限された前記鋸歯状関数に近似する切り捨て級数展開に等しく、且つ高調波の数が3以上、好ましくは4に等しい、
請求項1から11までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 前記第1及び第2の勾配p1、p2、並びに/又は前記パラメータmが、エネルギーを供給される前記第1の電極(24)で前記所望の電圧波形を得るために使用されるフィードバック・ループによって調節される、
請求項1から12までのいずれかに記載のイオン流を非対称に生成するための方法。 - 容量結合プラズマリアクタ内の基板のためのプラズマ処理方法であって、前記プラズマリアクタが圧力P下でガスを収容しており、また高周波エネルギーを供給される第1の電極(24)、及び第2の電極(26)を含む、プラズマ処理方法において、
前記第1の電極と前記第2の電極のうち1つの電極の近傍で処理されるように基板を適位置にセットするステップと、
請求項1から13までのいずれか一項により定義されるとおりにイオン流を非対称に生成するステップと
を含むプラズマ処理方法。 - 前記使用されるガス(6)が、高反応性である又はあまり高反応性ではないいくつかの化学種を生成する可能性があり、
前記化学種が前記基板の処理に有益である場合は前記反応性化学種の生成を電極のより近くに移動させるように、或いは反応性があまり高くなく且つ前記基板の処理に有害に働く前記化学種は遠ざけるように、前記通電電圧の波形が調整される、
請求項14に記載の基板のプラズマ処理方法。 - 基板上への蒸着のためのプラズマ法、基板をエッチングするためのプラズマ法、及び基板の表面を改変するためのプラズマ法により構成されるセットに含まれる、
請求項13から15までのいずれかに記載の基板のプラズマ処理方法。 - イオン流を非対称に生成するためのプラズマ処理システムであって、
1のガス(6)又は混合ガスを全圧P下で収容しており、且つ高周波エネルギーを供給される第1の電極(24)、及び第2の電極(26)を含む容量結合高周波プラズマリアクタ(4)と
前記ガス又は前記混合ガスの前記全圧Pを調節するための手段(16)と、
基本周期Tの波形の基本高調波に相当する下側周波数を有する周期高周波電圧波形(Vt)を生成するために、結合容量(36)を通って前記第1の電極(24)に接続された電圧波形ジェネレータ(32)と
を有するプラズマ処理システムにおいて、
区間[−1;1]について時間と振幅で標準化された電圧波形f(u)が、標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)の一定の近似度の近似波形であり、ここでuは、前記基本周期Tに亘る時間tの比率として定義された標準時間であり、
前記標準化された鋸歯状高周波関数fSAW(u)が、第1の勾配p1を有する前記標準化された電圧の時間依存変化の第1の線形部分及びその直後に続く第2の勾配p2を有する前記標準化された電圧の時間依存変化の第2の線形部分からなる基本周期Tの周期パターンを有し、前記第1及び第2の勾配の大きさが異なっていて符号が逆であり、前記パターンの極小点と極大点が同じ単位振幅を有し、また
前記近似波形の前記近似度、及び前記ガス又は前記混合ガスの前記全圧Pが、前記第1の電極におけるイオン流と前記第2の電極におけるイオン流の間にイオン流の非対称な外観を生じさせるのに十分である
ことを特徴とするプラズマ処理システム。 - 前記ガス又は前記混合ガスの前記全圧P及び前記電圧波形ジェネレータ(32)を調節するための手段(16)が、請求項2から13までのいずれか一項によって定義されるステップの1つを適用するために構成される、
請求項17に記載のイオン流を非対称に生成するためのプラズマ処理システム。 - 前記第2の電極が接地され、又は浮遊電位にある、
請求項17又は18に記載のイオン流を非対称に生成するためのプラズマ処理システム。
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