JP6580142B2 - カラー画像を印刷する方法 - Google Patents
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Description
a)感光性材料の層を有する基板を準備するステップと、
b)前記層を、高解像度周期パターンの線量分布に露光させるステップと。
c)少なくとも1つの低解像度パターンの線量分布を、当該少なくとも1つの低解像度パターンの線量分布と前記高解像度周期パターンの線量分布との合計が、前記金属ナノフィーチャのパターンを形成するために適当になるように決定するステップであって、前記金属ナノフィーチャの横方向寸法は、前記所期の画像における色の分布に対応した、前記パターンにわたる空間的変化を有する、ステップと、
d)前記感光性材料の層を、前記少なくとも1つの低解像度パターンの線量分布に露光させるステップと、
e)前記感光性材料の層を現像し、現像された前記感光性材料にナノ構造のパターンを生成するステップと、
f)前記所期の画像における前記色の分布に対応した、前記パターンにわたる横方向寸法の前記空間的変化によって前記金属ナノフィーチャのパターンが形成されるように、前記ナノ構造のパターンを処理するステップと、
を含む方法が提供される。
Claims (20)
- プラズモン共鳴によって色の分布を有する所期の画像を生成する金属ナノフィーチャのパターンを形成する方法であって、
a)感光性材料の層を有する基板を準備するステップと、
b)前記層を、高解像度周期パターンの線量分布に露光させるステップと、
c)少なくとも1つの低解像度周期パターンの線量分布を、当該少なくとも1つの低解像度周期パターンの線量分布と前記高解像度周期パターンの線量分布との合計が、前記金属ナノフィーチャのパターンを形成するために適当になるように決定するステップであって、前記金属ナノフィーチャの横方向寸法は、前記所期の画像における色の分布に対応した、前記パターンにわたる空間的変化を有する、ステップと、
d)前記感光性材料の層を、前記少なくとも1つの低解像度周期パターンの線量分布に露光させるステップと、
e)前記感光性材料の層を現像し、現像された前記感光性材料にナノ構造のパターンを生成するステップと、
f)前記所期の画像における前記色の分布に対応した、前記パターンにわたる横方向寸法の前記空間的変化によって前記金属ナノフィーチャのパターンが形成されるように、前記ナノ構造のパターンを処理するステップと、
を含み、
前記感光性材料の層を、中間金属層を介して前記基板上に間接的に設けるか、または、前記処理するステップは、金属の層を堆積させることを含む、
方法。 - 前記処理するステップは、金属ナノディスクのパターンを形成するか、または、金属層にナノホールのパターンを形成する、
請求項1記載の方法。 - 前記高解像度周期パターンの線量分布を、変位タルボリソグラフィ、色収差無しタルボリソグラフィ、および、干渉リソグラフィのうちの1つを用いて形成する、
請求項1記載の方法。 - 前記感光性材料の層を、前記基板上に直接的に配置するか、または、前記感光性材料の層と前記基板との間に少なくとも1つの別の材料からなる1つまたは複数の中間層を介して前記基板上に間接的に配置する、
請求項1記載の方法。 - 前記画像のそれぞれの領域において生成される色を、ただ1つの横方向寸法を有する複数の金属ナノフィーチャによって生成する、
請求項1記載の方法。 - 前記画像のそれぞれの領域において生成される色を、複数の隣接する金属ナノフィーチャの集合によって生成し、
前記ナノ構造の横方向寸法は、それぞれの集合内では同じであるが、異なる集合間では異なっており、これにより、複数のナノ構造の集合によって生成される複数の異なる色が混合して、前記所期の色を生成する、
請求項1記載の方法。 - 前記少なくとも1つの低解像度周期パターンの露光線量を、
前記金属ナノフィーチャの前記横方向寸法に対する、前記所期の画像において生成される色の依存性を特徴付けることによって、
前記少なくとも1つの低解像度周期パターンによって生成される露光線量の範囲に対する、前記金属ナノフィーチャの前記横方向寸法の依存性を特徴付けることによって、および、
前記所期の画像における色の分布をマッピングすることによって、
決定する、
請求項1記載の方法。 - 前記層を前記少なくとも1つの低解像度周期パターンに露光させることを、マスクレスリソグラフィを用いて実施する、
請求項1記載の方法。 - 前記層を前記少なくとも1つの低解像度周期パターンに露光させることを、少なくとも1つのマスクを用いて実施する、
請求項1記載の方法。 - 前記感光性材料の層は、特定の色を反射または透過させる2つ以上の異なる誘電材料からなる中間層のスタックを有する基板上に間接的に設けられている、
請求項1記載の方法。 - 前記金属ナノフィーチャのパターンは、前記所期の画像において暗の領域、明の領域、または、カラーの領域として機能する、金属ナノ構造を有さない領域を含む、
請求項1記載の方法。 - 前記ナノ構造のパターンを処理することは、前記基板の材料にナノ構造のパターンをエッチングすることと、金属の層を堆積させることと、を含む、
請求項1記載の方法。 - 前記感光性材料の層は、中間の金属層を有する基板上に間接的に設けられており、
前記ナノ構造のパターンを処理することは、前記ナノ構造のパターンを通して前記金属層をエッチングすることを含む、
請求項1記載の方法。 - 前記感光性材料の層を、前記少なくとも1つの低解像度周期パターンの後に、前記高解像度周期パターンに露光させる、
請求項1記載の方法。 - 前記高解像度周期パターンは、正方形アレイ、六角形アレイ、菱形アレイ、および、線形アレイのうちの1つである、
請求項1記載の方法。 - 前記ナノ構造のパターンを処理することは、当該ナノ構造のパターン上に直接的に金属の層を堆積させることを含む、
請求項1記載の方法。 - 前記金属ナノフィーチャのそれぞれは、円形、正方形、三角形、または、細長の形状を有する、
請求項1記載の方法。 - 前記少なくとも1つの低解像度周期パターンの線量分布を、前記パターンのうちの1つまたは複数の領域内における前記ナノ構造を完全にまたは効果的に除去するために追加的に使用する、
請求項1記載の方法。 - 前記層を、少なくとも2つの低解像度周期パターンに露光させ、
前記方法は、前記低解像度周期パターン同士を互いに対して位置合わせすることを追加的に含む、
請求項1記載の方法。 - 前記層を前記高解像度周期パターンの線量分布に露光させることは、フォトレジストにナノピラーのアレイを単独で生成するためには不十分である、
請求項1記載の方法。
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