JP6575477B2 - 抵抗率測定方法 - Google Patents
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Description
W=Aε0εSi/C ・・・(1)
N(W)=2/(qε0εSiA2)*{d(C−2)/dV}−1・・・(2)
ここで、Aは電極面積、ε0は真空誘電率、εSiはSiの比誘電率、qは電子の電荷量である。
膜厚20μm、不純物濃度5×1012atoms/cm3のN型シリコンエピタキシャル層3が気相成長された、直径200mm、N/N−型シリコンエピタキシャルウェーハ1を準備し、HF処理を施した後に、シリコンエピタキシャル層3の表面に金を蒸着して電極32とした。
実施例1と同様にして準備し、シリコンエピタキシャル層3表面に接触した金の電極32に、逆バイアス電圧Vを−1Vから−25Vまで、ステップ電圧−1V間隔で印加したところ、空乏層容量Cを全く測定することができなかった。
膜厚5μm、不純物濃度1×1017atoms/cm3のP型シリコンエピタキシャル層3が気相成長された、直径200mm、P/P+型シリコンエピタキシャルウェーハ1を準備した。
実施例2と同様にして準備し、シリコンエピタキシャル層3表面に接触した水銀電極32に、逆バイアス電圧Vを1Vから25Vまで、ステップ電圧1V間隔で印加したところ、ステップ電圧7Vでブレークダウンした。その結果、深さ0.15μm〜0.3μmの領域で合計6データの空乏層容量Cを測定することしかできなかった。
3…シリコンエピタキシャル層、
10…水銀プローバ、 11…ステージ、 12…収納容器、 13…導管、
31…水銀、 32…水銀電極、電極、 33…空乏層。
Claims (4)
- 不純物濃度1×1011atoms/cm3以上3.4×1017atoms/cm3以下のシリコンエピタキシャル層表面に接触した電極に逆バイアス電圧を印加して電圧毎の容量を測定し、前記逆バイアス電圧と前記容量の関係から不純物濃度と抵抗率を算出するC−V法の抵抗率測定方法において、
2×1013atoms/cm3未満または3×1016atoms/cm3超の不純物濃度を測定する際の初期印加電圧を、2×1013atoms/cm3以上3×1016atoms/cm3以下の不純物濃度を測定する際の初期印加電圧よりも絶対値を小さくし、
不純物濃度2×10 13 atoms/cm 3 未満の前記シリコンエピタキシャル層を測定する際には、印加する前記逆バイアス電圧の絶対値を10V未満とし、
不純物濃度3×10 16 atoms/cm 3 超の前記シリコンエピタキシャル層を測定する際には、印加する前記逆バイアス電圧の絶対値を7V未満にすることを特徴とする抵抗率測定方法。 - 不純物濃度2×1013atoms/cm3未満または3×1016atoms/cm3超の前記シリコンエピタキシャル層を測定する際、前記逆バイアス電圧の初期印加電圧の絶対値を0.1V以上1V未満とすることを特徴とする請求項1に記載の抵抗率測定方法。
- 前記逆バイアス電圧のステップ電圧の絶対値を漸増させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の抵抗率測定方法。
- 前記逆バイアス電圧の絶対値を等比数列に従って印加することを特徴とする請求項3に記載の抵抗率測定方法。
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