JP6571474B2 - Channel member, liquid discharge head using the same, and recording apparatus - Google Patents

Channel member, liquid discharge head using the same, and recording apparatus Download PDF

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、流路部材、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置に関する。   The present invention relates to a flow path member, a liquid ejection head using the same, and a recording apparatus.

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる、吐出孔、加圧室および共通流路を備えている流路部材としては、流路となる孔や溝が形成された金属プレートを複数積層したものが知られている。それらの金属プレートは、接着剤で接合される。金属プレートには、接合の際に、接着剤が孔や溝に流れ込むのを抑制するために、接着剤の逃がし溝が形成されている(例えば、特許文献1を参照。)。   Conventionally, as a liquid ejection head, for example, an inkjet head that performs various types of printing by ejecting a liquid onto a recording medium is known. As a flow path member having a discharge hole, a pressurizing chamber, and a common flow path used in a liquid discharge head, a member in which a plurality of metal plates each having a hole or groove to be a flow path are stacked is known. . These metal plates are joined with an adhesive. In the metal plate, an adhesive relief groove is formed in order to prevent the adhesive from flowing into the hole or groove during bonding (see, for example, Patent Document 1).

特開2006−187967号公報JP 2006-187967 A

特許文献1に記載されている接着剤の逃がし溝が形成されたプレートは、接着剤の逃がし溝が形成されて部位は、厚さが薄くなっているので、製造工程中のハンドリングなどで、接着剤の逃がし溝に沿って、折れ曲がることがあった。特に、プレートの幅全体にわたって接着剤の逃がし溝が繋がって設けられていることにより折れ曲がり易かった。   The plate in which the adhesive relief groove described in Patent Document 1 is formed has an adhesive relief groove, and the portion is thin, so that it can be bonded by handling during the manufacturing process. There was a case of bending along the escape groove of the agent. In particular, it was easy to bend due to the adhesive relief grooves being connected throughout the entire width of the plate.

極端に折れ曲がったものは、製造工程中で取り除くとしても、わずかに変形してしまったプレートを使用することにより、流路の構造がわずかに変わり、液体の吐出特性が変動してしまうこともある。   Even if extremely bent parts are removed during the manufacturing process, the use of a slightly deformed plate may slightly change the flow path structure and change the liquid ejection characteristics. .

したがって、本発明の目的は、変形の起き難いプレートを用いた流路部材、ならびにそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a flow path member using a plate that is difficult to deform, a liquid discharge head using the plate member, and a recording apparatus.

本発明の流路部材は、流路となる、孔あるいは溝が配置されているプレートと、該プレートの一方の主面と接着剤層を介して接着されている他の部材とを有する流路部材であって、前記プレートの前記主面に、接着剤の逃がし溝と、該逃がし溝が周囲に配置されている長方形状の接着代ブロックとが配置されており、前記プレートの前記主面には、第1方向の一方の端部から他方の端部まで、前記接着代ブロックと、前記第1方向と交差する方向である第2方向に伸びている前記接着剤の逃がし溝とが交互に並んでいる接着代ブロック列が配置されており、該接着代ブロック列に属している前記接着代ブロックのそれぞれに対応して配置されていて、前記第1方向に沿って伸びている前記接着剤の逃がし溝である側辺接着剤の逃がし溝が、前記プレートの前記第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がって配置されていないことを特徴とする。   The flow path member of the present invention is a flow path having a plate in which holes or grooves are disposed, and another member bonded to one main surface of the plate via an adhesive layer. An adhesive relief groove and a rectangular adhesive allowance block around which the escape groove is arranged, and is disposed on the principal surface of the plate. The adhesive margin block and the release groove for the adhesive extending in the second direction that intersects the first direction are alternately arranged from one end of the first direction to the other end. Adhesive block blocks arranged side by side are disposed, and the adhesive is disposed corresponding to each of the bond block blocks belonging to the bond block block row and extends along the first direction. The side adhesive relief groove is the front relief groove. Wherein the not arranged linearly connected from one end of the first direction of the plate to the other end.

また、本発明の流路部材は、流路となる、孔あるいは溝が配置されているプレートと、該プレートの一方の主面と接着剤層を介して接着されている他の部材とを有する流路部材であって、前記プレートの前記主面に、第2の方向に伸びている第2接着剤の逃がし溝と、該第2方向と交差する方向である第1方向に伸びている複数の第1接着剤の逃がし溝とを含む櫛歯状の接着剤の逃がし溝が配置されており、一の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝
の前記第1接着剤の逃がし溝と、他の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝の前記第1接着剤の逃がし溝とが、対向して配置されているとともに、第2方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする。
In addition, the flow path member of the present invention includes a plate in which holes or grooves are disposed and serves as a flow path, and another member bonded to one main surface of the plate via an adhesive layer. A plurality of flow path members extending in a first direction which is a direction intersecting the second direction and a relief groove for a second adhesive extending in the second direction on the main surface of the plate. A comb-like adhesive relief groove including the first adhesive relief groove, and the first adhesive relief groove of the one comb-like adhesive relief groove and the other. The comb-like adhesive relief grooves of the first adhesive are arranged opposite to each other and are arranged at different positions in the second direction.

本発明の液体吐出ヘッドは、前記流路部材と複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであり、前記流路部材は、前記流路と繋がっている複数の吐出孔を有しており、複数の加圧部は、前記流路内の液体を加圧することで、前記複数の吐出孔から前記液体をそれぞれ吐出させることを特徴とする。   The liquid discharge head of the present invention is a liquid discharge head including the flow path member and a plurality of pressure units, and the flow path member has a plurality of discharge holes connected to the flow path. The plurality of pressurizing sections discharge the liquid from the plurality of discharge holes by pressurizing the liquid in the flow path.

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。   The recording apparatus of the invention includes the liquid discharge head, a transport unit that transports a recording medium to the liquid discharge head, and a control unit that controls the liquid discharge head.

本発明の流路部材によれば、製造工程で変形が起き難く、液体吐出ヘッドに用いたときに、液体の吐出特性のばらつきを小さくできる。   According to the flow path member of the present invention, deformation does not easily occur in the manufacturing process, and when used in a liquid discharge head, variations in liquid discharge characteristics can be reduced.

(a)は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、(b)は平面図である。(A) is a side view of a recording apparatus including a liquid ejection head according to an embodiment of the present invention, and (b) is a plan view. 図1の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a head body that is a main part of the liquid ejection head of FIG. 1. 図2の一点鎖線に囲まれた領域Aの拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region A surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 図2の一点鎖線に囲まれた領域Aの拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region A surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 図3のV−V線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the VV line of FIG. 図2の一点鎖線に囲まれた領域Bの1枚の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of one region B surrounded by a one-dot chain line in FIG. 2. (a)〜(c)は本発明の他の実施形態に係る逃がし溝の配置である。(A)-(c) is arrangement | positioning of the escape groove | channel which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る逃がし溝の配置である。It is arrangement | positioning of the escape groove | channel which concerns on other embodiment of this invention.

図1(a)は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド2を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ1(以下で単にプリンタと言うことがある)の概略の側面図であり、図1(b)は、概略の平面図である。プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pをガイドローラ82Aから搬送ローラ82Bへと搬送することにより、印刷用紙Pを液体吐出ヘッド2に対して相対的に移動させる。制御部88は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド2を制御して、記録媒体Pに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Pに液滴を着弾させて、印刷用紙Pに印刷などの記録を行なう。   FIG. 1A is a schematic side view of a color inkjet printer 1 (hereinafter sometimes simply referred to as a printer) which is a recording apparatus including a liquid discharge head 2 according to an embodiment of the present invention. (B) is a schematic plan view. The printer 1 moves the print paper P relative to the liquid ejection head 2 by transporting the print paper P as a recording medium from the guide roller 82 </ b> A to the transport roller 82 </ b> B. The control unit 88 controls the liquid ejection head 2 based on image and character data, ejects liquid toward the recording medium P, causes droplets to land on the printing paper P, and prints on the printing paper P. Record such as.

本実施形態では、液体吐出ヘッド2はプリンタ1に対して固定されており、プリンタ1はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド2を、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Pの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。   In the present embodiment, the liquid discharge head 2 is fixed to the printer 1, and the printer 1 is a so-called line printer. As another embodiment of the recording apparatus of the present invention, the operation of moving the liquid ejection head 2 by reciprocating in the direction intersecting the transport direction of the printing paper P, for example, the direction substantially orthogonal, and the printing paper P There is a so-called serial printer that alternately conveys.

プリンタ1には、印刷用紙Pとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム70(以下で単にフレームと言うことがある)が固定されている。フレーム70には図示しない20個の孔が設けられており、20個の液体吐出ヘッド2がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド2の、液体を吐出する部位が印刷用紙Pに面するようになっている。液体吐出ヘッド2と印刷用紙Pとの間の距離は、例えば0.5〜20mm程度と
される。5つの液体吐出ヘッド2は、1つのヘッド群72を構成しており、プリンタ1は、4つのヘッド群72を有している。
A flat head mounting frame 70 (hereinafter sometimes simply referred to as a frame) is fixed to the printer 1 so as to be substantially parallel to the printing paper P. The frame 70 is provided with 20 holes (not shown), and the 20 liquid discharge heads 2 are mounted in the respective hole portions, and the portion of the liquid discharge head 2 that discharges the liquid is the printing paper P. It has come to face. The distance between the liquid ejection head 2 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm. The five liquid ejection heads 2 constitute one head group 72, and the printer 1 has four head groups 72.

液体吐出ヘッド2は、図1(a)の手前から奥へ向かう方向、図1(b)の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。1つのヘッド群72内において、3つの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の2つの液体吐出ヘッド2は搬送方向に沿ってずれた位置で、3つの液体吐出ヘッド2の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド2は、各液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲が、印刷用紙Pの幅方向に(印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向に)繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Pの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。   The liquid discharge head 2 has a long and narrow shape in the direction from the front to the back in FIG. 1A and in the vertical direction in FIG. This long direction is sometimes called the longitudinal direction. Within one head group 72, the three liquid ejection heads 2 are arranged along a direction that intersects the conveyance direction of the printing paper P, for example, a substantially orthogonal direction, and the other two liquid ejection heads 2 are conveyed. One of the three liquid ejection heads 2 is arranged at a position shifted along the direction. The liquid discharge heads 2 are arranged so that the printable range of each liquid discharge head 2 is connected in the width direction of the print paper P (in the direction intersecting the conveyance direction of the print paper P) or the ends overlap. Thus, printing without gaps in the width direction of the printing paper P is possible.

4つのヘッド群72は、記録用紙Pの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド2には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。1つのヘッド群72に属する液体吐出ヘッド2には、同じ色のインクが供給されるようになっており、4つのヘッド群72で4色のインクが印刷できる。各ヘッド群72から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。このようなインクを、制御部88で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。   The four head groups 72 are arranged along the conveyance direction of the recording paper P. A liquid, for example, ink is supplied to each liquid ejection head 2 from a liquid tank (not shown). The liquid discharge heads 2 belonging to one head group 72 are supplied with the same color ink, and the four head groups 72 can print four color inks. The colors of ink ejected from each head group 72 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C), and black (K). A color image can be printed by printing such ink under the control of the control unit 88.

プリンタ1に搭載されている液体吐出ヘッド2の個数は、単色で、1つの液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲を印刷するのなら1つでもよい。ヘッド群72に含まれる液体吐出ヘッド2の個数や、ヘッド群72の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群72の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群72を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド2を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群72を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Pの幅方向の解像度を高くしてもよい。   The number of the liquid discharge heads 2 mounted on the printer 1 may be one if it is a single color and the range that can be printed by one liquid discharge head 2 is printed. The number of liquid ejection heads 2 included in the head group 72 and the number of head groups 72 can be changed as appropriate according to the printing target and printing conditions. For example, the number of head groups 72 may be increased in order to perform multicolor printing. Also, if a plurality of head groups 72 that print in the same color are arranged and printed alternately in the transport direction, the transport speed can be increased even if the liquid ejection heads 2 having the same performance are used. Thereby, the printing area per time can be increased. Alternatively, a plurality of head groups 72 for printing in the same color may be prepared and arranged so as to be shifted in a direction crossing the transport direction, so that the resolution in the width direction of the print paper P may be increased.

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Pの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。   Further, in addition to printing colored inks, a liquid such as a coating agent may be printed for surface treatment of the printing paper P.

プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pに印刷を行なう。印刷用紙Pは、給紙ローラ80Aに巻き取られた状態になっており、2つのガイドローラ82Aの間を通った後、フレーム70に搭載されている液体吐出ヘッド2の下側を通り、その後2つの搬送ローラ82Bの間を通り、最終的に回収ローラ80Bに回収される。印刷する際には、搬送ローラ82Bを回転させることで印刷用紙Pは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド2によって印刷される。回収ローラ80Bは、搬送ローラ82Bから送り出された印刷用紙Pを巻き取る。搬送速度は、例えば、75m/分とされる。各ローラは、制御部88によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。   The printer 1 performs printing on a printing paper P that is a recording medium. The printing paper P is wound around the paper feed roller 80A, passes between the two guide rollers 82A, passes through the lower side of the liquid ejection head 2 mounted on the frame 70, and thereafter It passes between the two conveying rollers 82B and is finally collected by the collecting roller 80B. When printing, the printing paper P is transported at a constant speed by rotating the transport roller 82 </ b> B and printed by the liquid ejection head 2. The collection roller 80B winds up the printing paper P sent out from the conveyance roller 82B. The conveyance speed is, for example, 75 m / min. Each roller may be controlled by the controller 88 or may be manually operated by a person.

記録媒体は、印刷用紙P以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ1は、印刷用紙Pを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルト上に置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド2から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド2から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。   In addition to the printing paper P, the recording medium may be a roll-like cloth. Further, instead of directly transporting the printing paper P, the printer 1 may directly transport the transport belt and transport the recording medium placed on the transport belt. By doing so, sheets, cut cloth, wood, tiles and the like can be used as the recording medium. Furthermore, a wiring pattern of an electronic device may be printed by discharging a liquid containing conductive particles from the liquid discharge head 2. Still further, the chemical may be produced by discharging a predetermined amount of liquid chemical agent or liquid containing the chemical agent from the liquid discharge head 2 toward the reaction container or the like and reacting.

また、プリンタ1に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部88が、各センサからの情報から分かるプリンタ1各部の状態に応じて、プリンタ1の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド2の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド2に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出量や吐出速度などの吐出特性に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。   In addition, a position sensor, a speed sensor, a temperature sensor, and the like may be attached to the printer 1, and the control unit 88 may control each part of the printer 1 according to the state of each part of the printer 1 that can be understood from information from each sensor. . For example, the temperature of the liquid discharge head 2, the temperature of the liquid in the liquid tank, the pressure applied by the liquid in the liquid tank to the liquid discharge head 2, etc. affect the discharge characteristics such as the discharge amount and discharge speed of the discharged liquid. In the case of giving, the drive signal for ejecting the liquid may be changed according to the information.

次に、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド2について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド2の要部であるヘッド本体2aを示す平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体2aの一部である。図3では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図4は、図3と同じ位置の拡大平面図であり、図3とは別の一部の流路を省略して描いている。図5は、図3のV−V線に沿った縦断面図である。なお、図3および図4において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板21の下方にあって破線で描くべき加圧室10、しぼり6および吐出孔8などを実線で描いている。   Next, the liquid ejection head 2 according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a plan view showing a head main body 2a which is a main part of the liquid ejection head 2 shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged plan view of a region surrounded by a one-dot chain line in FIG. 2, and is a part of the head main body 2a. In FIG. 3, for the sake of explanation, some of the flow paths are omitted. FIG. 4 is an enlarged plan view at the same position as FIG. 3, and a part of the flow path different from FIG. 3 is omitted. FIG. 5 is a longitudinal sectional view taken along line VV in FIG. In FIGS. 3 and 4, for easy understanding of the drawings, the pressurizing chamber 10, the squeezing 6, the discharge holes 8, and the like that are to be drawn by broken lines below the piezoelectric actuator substrate 21 are drawn by solid lines.

液体吐出ヘッド2には、ヘッド本体2a以外に、ヘッド本体2aに液体を供給するリザーバや、筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体2aは、流路部材4と、加圧部である変位素子30が作り込まれている圧電アクチュエータ基板21とを含んでいる。   In addition to the head main body 2a, the liquid discharge head 2 may include a reservoir for supplying liquid to the head main body 2a and a housing. The head body 2a includes a flow path member 4 and a piezoelectric actuator substrate 21 in which a displacement element 30 that is a pressurizing unit is formed.

ヘッド本体2aを構成する流路部材4は、共通流路であるマニホールド5と、マニホールド5と繋がっている複数の加圧室10と、複数の加圧室10とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔8とを備えている。加圧室10は流路部材4の上面に開口しており、流路部材4の上面が加圧室面4−2となっている。また、流路部材4の上面は、マニホールド5と繋がっている開口5aを有し、この開口5aより液体が供給されるようになっている。   The flow path member 4 constituting the head body 2a includes a manifold 5 which is a common flow path, a plurality of pressurizing chambers 10 connected to the manifold 5, and a plurality of discharge holes respectively connected to the plurality of pressurizing chambers 10. 8 and. The pressurizing chamber 10 opens to the upper surface of the flow path member 4, and the upper surface of the flow path member 4 is a pressurizing chamber surface 4-2. The upper surface of the flow path member 4 has an opening 5a connected to the manifold 5, and liquid is supplied from the opening 5a.

また、流路部材4の上面には、変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21が接合されており、各変位素子30が加圧室10上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板21には、各変位素子30に信号を供給する信号伝達部60が接続されている。図2には、2つの信号伝達部60が圧電アクチュエータ基板21に繋がる状態が分かるように、信号伝達部60の圧電アクチュエータ基板21に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板21に電気的に接続されている、信号伝達部60に形成されている電極は、信号伝達部60の端部に、矩形状に配置されている。2つの信号伝達部60は、圧電アクチュエータ基板21の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。   In addition, a piezoelectric actuator substrate 21 including a displacement element 30 is joined to the upper surface of the flow path member 4, and each displacement element 30 is disposed on the pressurizing chamber 10. The piezoelectric actuator substrate 21 is connected to a signal transmission unit 60 that supplies a signal to each displacement element 30. In FIG. 2, the outline of the vicinity of the signal transmission unit 60 connected to the piezoelectric actuator substrate 21 is indicated by a dotted line so that the two signal transmission units 60 are connected to the piezoelectric actuator substrate 21. The electrodes formed on the signal transmission unit 60 that are electrically connected to the piezoelectric actuator substrate 21 are arranged in a rectangular shape at the end of the signal transmission unit 60. The two signal transmission parts 60 are connected so that each end comes to the center part in the short direction of the piezoelectric actuator substrate 21.

ヘッド本体2aは、平板状の流路部材4と、流路部材4上に接合された変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21を1つ有している。圧電アクチュエータ基板21の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材4の長手方向に沿うように流路部材4の上面に配置されている。   The head main body 2 a has one piezoelectric actuator substrate 21 including a flat plate-like channel member 4 and a displacement element 30 joined on the channel member 4. The planar shape of the piezoelectric actuator substrate 21 is rectangular, and is arranged on the upper surface of the flow path member 4 so that the long side of the rectangle is along the longitudinal direction of the flow path member 4.

流路部材4の内部には2つのマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材4の上面に開口しているマニホールド5の開口5aが形成されている。   Two manifolds 5 are formed inside the flow path member 4. The manifold 5 has an elongated shape extending from one end side in the longitudinal direction of the flow path member 4 to the other end side, and the opening of the manifold 5 that opens to the upper surface of the flow path member 4 at both ends thereof. 5a is formed.

また、マニホールド5は、少なくとも加圧室10に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁15で仕切られている。隔壁15は、加圧室10に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド5と同じ高さを有し、マニホールド5を複数の副マニホールド5bに完全に仕
切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁15と重なるように、吐出孔8および吐出孔8から加圧室10に繋がっている流路を設けることができる。
The manifold 5 is partitioned by a partition wall 15 provided at an interval in the short-side direction at least in the central portion in the longitudinal direction, which is a region connected to the pressurizing chamber 10. The partition wall 15 has the same height as the manifold 5 in the central portion in the longitudinal direction, which is a region connected to the pressurizing chamber 10, and completely separates the manifold 5 into a plurality of sub-manifolds 5b. By doing so, it is possible to provide the discharge hole 8 and the flow path connected from the discharge hole 8 to the pressurizing chamber 10 so as to overlap with the partition wall 15 in a plan view.

複数に分けられた部分のマニホールド5を副マニホールド5bと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド5は独立して2本設けられており、それぞれの両端部に開口5aが設けられている。また、1つのマニホールド5には、7つの隔壁15が設けられており、8つの副マニホールド5bに分けられている。副マニホールド5bの幅は、隔壁15の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド5bに多くの液体を流すことができる。   The portion of the manifold 5 divided into a plurality of parts may be referred to as a sub-manifold 5b. In the present embodiment, two manifolds 5 are provided independently, and openings 5a are provided at both ends. One manifold 5 is provided with seven partition walls 15 and divided into eight sub-manifolds 5b. The width of the sub-manifold 5b is larger than the width of the partition wall 15, so that a large amount of liquid can flow through the sub-manifold 5b.

流路部材4は、複数の加圧室10が2次元的に広がって形成されている。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。   The flow path member 4 is formed by two-dimensionally expanding a plurality of pressurizing chambers 10. The pressurizing chamber 10 is a hollow region having a substantially rhombic or elliptical planar shape with rounded corners.

加圧室10は、しぼり6を介して1つの副マニホールド5bと繋がっている。1つの副マニホールド5bに沿うようにして、この副マニホールド5bに繋がっている加圧室10の行である加圧室行11が、副マニホールド5bの両側に1行ずつ、合計2行設けられている。したがって、1つのマニホールド5に対して、16行の加圧室11が設けられており、ヘッド本体2a全体では32行の加圧室行11が設けられている。各加圧室行11における加圧室10の長手方向の間隔は同じであり、例えば、37.5dpiの間隔となっている。   The pressurizing chamber 10 is connected to one sub-manifold 5 b through the throttle 6. Along with one sub-manifold 5b, two pressurizing chamber rows 11, which are rows of pressurizing chambers 10 connected to the sub-manifold 5b, are provided on each side of the sub-manifold 5b, for a total of two rows. Yes. Accordingly, 16 rows of pressurizing chambers 11 are provided for one manifold 5, and 32 heads of pressurizing chambers 11 are provided in the entire head body 2a. The intervals in the longitudinal direction of the pressurizing chambers 10 in the respective pressurizing chamber rows 11 are the same, for example, 37.5 dpi.

各加圧室行11の端にはダミー加圧室16の列が1列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室16は、マニホールド5とは繋がっているが、吐出孔8とは繋がっていない。また、32行の加圧室行11の外側には、ダミー加圧室16が直線状に並んだダミー加圧室行が1行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室16は、マニホールド5および吐出孔8のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室16により、端から1つ内側の加圧室10の周囲の構造(剛性)が他の加圧室10の構造(剛性)と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室10の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体21aの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体21aの幅を小さくできる。   One column of dummy pressurizing chambers 16 is provided at the end of each pressurizing chamber row 11. The dummy pressurizing chambers 16 in the dummy pressurizing chamber row are connected to the manifold 5 but are not connected to the discharge holes 8. Further, one dummy pressurizing chamber row in which dummy pressurizing chambers 16 are arranged in a straight line is provided outside the 32 pressurizing chamber rows 11. The dummy pressurizing chamber 16 in this dummy pressurizing chamber row is not connected to either the manifold 5 or the discharge hole 8. By these dummy pressurizing chambers 16, the structure (rigidity) around the pressurizing chamber 10 one inner side from the end is close to the structure (rigidity) of the other pressurizing chambers 10, so that the difference in liquid ejection characteristics can be reduced. Less. In addition, since the influence of the surrounding structure difference has a large influence on the pressurizing chambers 10 adjacent to each other in the length direction, the dummy pressurizing chambers are provided at both ends in the length direction. Since the influence in the width direction is relatively small, it is provided only on the side closer to the end of the head main body 21a. Thereby, the width | variety of the head main body 21a can be made small.

1つのマニホールド5に繋がっている加圧室10は、矩形状の圧電アクチュエータ基板21の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板21の外辺から、加圧室10の上に形成されている個別電極25が等距離に配置されることになるので、個別電極25を形成する際に、圧電アクチュエータ基板21に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板21と流路部材4とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子30に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、もっとも外辺に近い加圧室行11の外側にダミー加圧室16のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行11に属する加圧室10は等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25も等間隔で配置されている。加圧室行11は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。   The pressurizing chambers 10 connected to one manifold 5 are arranged in a lattice form having rows and columns along each outer side of the rectangular piezoelectric actuator substrate 21. As a result, the individual electrodes 25 formed on the pressurizing chamber 10 are arranged at equal distances from the outer side of the piezoelectric actuator substrate 21. Therefore, when forming the individual electrodes 25, the piezoelectric actuator substrate is formed. 21 can be hardly deformed. When the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path member 4 are joined, if this deformation is large, stress may be applied to the displacement element 30 near the outer side, resulting in variations in displacement characteristics. However, by reducing the deformation, The variation can be reduced. In addition, since the dummy pressurizing chamber row of the dummy pressurizing chamber 16 is provided outside the pressurizing chamber row 11 closest to the outer side, the influence of deformation can be made less susceptible. The pressurizing chambers 10 belonging to the pressurizing chamber row 11 are arranged at equal intervals, and the individual electrodes 25 corresponding to the pressurizing chamber rows 11 are also arranged at equal intervals. The pressurizing chamber rows 11 are arranged at equal intervals in the short direction, and the rows of the individual electrodes 25 corresponding to the pressurizing chamber rows 11 are also arranged at equal intervals in the short direction. Thereby, it is possible to eliminate a portion where the influence of the crosstalk becomes particularly large.

本実施形態では、加圧室10は格子状に配置したが、隣り合う加圧室列11の加圧室10が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室行11に属する加圧室10の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制でき
る。
In the present embodiment, the pressurizing chambers 10 are arranged in a lattice shape, but the pressurizing chambers 10 of adjacent pressurizing chamber rows 11 may be arranged in a staggered manner so as to be positioned between each other. In this way, since the distance between the pressurizing chambers 10 belonging to the adjacent pressurizing chamber row 11 becomes longer, crosstalk can be further suppressed.

加圧室行11をどのように並べるかによらず、流路部材4を平面視したとき、1つの加圧室行11に属する加圧室10が、隣接する加圧室行11に属する加圧室10と、液体吐出ヘッド2の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行11の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド2の幅が大きくなるので、プリンタ1に対する液体吐出ヘッド2の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド2を使用する際の、液体吐出ヘッド2の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁15の幅を副マニホールド5bよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。   Regardless of how the pressurizing chamber rows 11 are arranged, when the flow path member 4 is viewed in plan, the pressurizing chamber 10 belonging to one pressurizing chamber row 11 is added to the adjacent pressurizing chamber row 11. By arranging the pressure chamber 10 and the liquid discharge head 2 so as not to overlap in the longitudinal direction, crosstalk can be suppressed. On the other hand, when the distance between the pressurizing chamber rows 11 is increased, the width of the liquid discharge head 2 is increased. The influence of the relative position accuracy of the liquid discharge head 2 on the printing result is increased. Therefore, by making the width of the partition wall 15 smaller than that of the sub-manifold 5b, the influence of the accuracy on the printing result can be reduced.

1つの副マニホールド5bに繋がっている加圧室10は、2列の加圧室行11を成しており、1つの加圧室行11に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8は、1つの吐出孔行9を成している。2行の加圧室行11に属する加圧室10に繋がっている吐出孔8はそれぞれ、副マニホールド5bの異なる側に開口している。図4では隔壁15には、2行の吐出孔行9が設けられているが、それぞれの吐出孔行9に属する吐出孔8は、吐出孔8に近い側の副マニホールド5bに加圧室10を介して繋がっている。隣接する副マニホールド5bに加圧室行11を介して繋がっている吐出孔8と液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。   The pressurizing chamber 10 connected to one sub-manifold 5 b forms two rows of pressurizing chamber rows 11, and the discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to one pressurizing chamber row 11 are One discharge hole row 9 is formed. The discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to the two pressurizing chamber rows 11 open to different sides of the sub-manifold 5b. In FIG. 4, two discharge hole rows 9 are provided in the partition wall 15, but the discharge holes 8 belonging to each discharge hole row 9 are connected to the sub-manifold 5 b on the side close to the discharge holes 8 in the pressurizing chamber 10. Are connected through. When the discharge hole 8 connected to the adjacent sub-manifold 5b via the pressurizing chamber row 11 and the liquid discharge head 2 are arranged so as not to overlap in the longitudinal direction, the pressurizing chamber 10 and the discharge hole 8 are connected. Since crosstalk between the flow paths can be suppressed, crosstalk can be further reduced. If the entire flow path connecting the pressurizing chamber 10 and the discharge hole 8 is arranged so as not to overlap in the longitudinal direction of the liquid discharge head 2, crosstalk can be further reduced.

1つのマニホールド5に繋がっている複数の加圧室10により加圧室群が構成されており、マニホールド5が2つあるため、加圧室群は2つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室10の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ基板21に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室10によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータ基板21が接合されることで閉塞されている。   A plurality of pressurizing chambers are formed by a plurality of pressurizing chambers 10 connected to one manifold 5. Since there are two manifolds 5, there are two pressurizing chamber groups. The arrangement of the pressurizing chambers 10 related to ejection in each pressurizing chamber group is the same, and is arranged at a position translated in the short direction. These pressurizing chambers 10 are arranged over almost the entire surface although there are portions where the gaps between the pressurizing chamber groups are slightly wide in the region facing the piezoelectric actuator substrate 21 on the upper surface of the flow path member 4. . That is, the pressurizing chamber group formed by these pressurizing chambers 10 occupies a region having almost the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21. Further, the opening of each pressurizing chamber 10 is closed by bonding the piezoelectric actuator substrate 21 to the upper surface of the flow path member 4.

加圧室10のしぼり6が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材4の下面の吐出孔面4−1に開口している吐出孔8に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室10から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室10の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室10は各加圧室行11内での間隔が37.5dpiになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔8は、全体で1200dpiの間隔で配置することができる。   From the corner portion of the pressurizing chamber 10 facing the corner portion to which the squeezing 6 is connected, the flow channel connected to the discharge hole 8 opened on the discharge hole surface 4-1 on the lower surface of the flow channel member 4 extends. . This flow path extends in a direction away from the pressurizing chamber 10 in a plan view. More specifically, the pressurizing chamber 10 extends away from the direction along the long diagonal line while being shifted to the left and right with respect to that direction. As a result, the discharge chambers 8 can be arranged at intervals of 1200 dpi as a whole, while the pressurization chambers 10 are arranged in a lattice pattern in which the intervals within the pressurization chamber rows 11 are 37.5 dpi.

これは別の言い方をすると、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔8を投影すると、図4に示した仮想直線のRの範囲に、各マニホールド5に繋がっている16個の吐出孔8、全部で32個の吐出孔8が、1200dpiの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド5に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に1200dpiの解像度で画像が形成可能となる。また、1つのマニホールド5に繋がっている1個の吐出孔8は、仮想直線のRの範囲で600dpiの等間隔になっている。これにより、各マニホールド5に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に600dpiの解像度で2色の画像が形成可能となる。この場合、2つの液体吐出ヘッド2を用いれば、600dpiの解像度で4色の画像が形成可能となり、600dpiで印刷可能な液体吐出ヘッドを4つ用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体2aの短手
方向に並んでいる1列の加圧室列に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8で、仮想直線のRの範囲がカバーされている。
In other words, when the discharge holes 8 are projected so as to be orthogonal to the virtual straight line parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4, each manifold 5 is within the range of R of the virtual straight line shown in FIG. That is, 16 discharge holes 8 connected to, and a total of 32 discharge holes 8 are equally spaced by 1200 dpi. Thus, by supplying the same color ink to all the manifolds 5, an image can be formed with a resolution of 1200 dpi in the longitudinal direction as a whole. Further, one discharge hole 8 connected to one manifold 5 is equally spaced at 600 dpi within the range of R of the imaginary straight line. As a result, by supplying different colors of ink to the respective manifolds 5, it is possible to form two-color images with a resolution of 600 dpi in the longitudinal direction as a whole. In this case, if two liquid ejection heads 2 are used, an image of four colors can be formed with a resolution of 600 dpi, and printing accuracy is higher than when four liquid ejection heads capable of printing at 600 dpi are used. Can also be done easily. In addition, the range of R of the imaginary straight line is covered with the discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to the one pressurizing chamber row arranged in the short direction of the head main body 2a.

圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に対向する位置には個別電極25がそれぞれ形成されている。個別電極25は、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有している個別電極本体25aと、個別電極本体25aから引き出されている引出電極25bとを含んでおり、個別電極25は、加圧室10と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板21の上面には、共通電極用表面電極28が配置されている。共通電極用表面電極28と共通電極24とは、圧電セラミック層21bに配置されている、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。   Individual electrodes 25 are formed at positions facing the pressurizing chambers 10 on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The individual electrode 25 includes an individual electrode main body 25a that is slightly smaller than the pressurizing chamber 10 and has a shape substantially similar to the pressurizing chamber 10, and an extraction electrode 25b that is extracted from the individual electrode main body 25a. In the same manner as the pressurizing chamber 10, the individual electrode 25 constitutes an individual electrode row and an individual electrode group. A common electrode surface electrode 28 is disposed on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The common electrode surface electrode 28 and the common electrode 24 are electrically connected through a through conductor (not shown) disposed in the piezoelectric ceramic layer 21b.

吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置されているマニホールド5と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ基板21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔8は、1つの群として圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板21の変位素子30を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。   The discharge hole 8 is disposed at a position avoiding a region facing the manifold 5 disposed on the lower surface side of the flow path member 4. Further, the discharge hole 8 is disposed in a region facing the piezoelectric actuator substrate 21 on the lower surface side of the flow path member 4. These discharge holes 8 occupy a region having almost the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21 as one group, and a droplet is discharged from the discharge hole 8 by displacing the displacement element 30 of the corresponding piezoelectric actuator substrate 21. Can be discharged.

ヘッド本体2aに含まれる流路部材4は、複数のプレートが接着剤層18を介して積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート4a、アパーチャ(しぼり)プレート4b、サプライプレート4c、マニホールドプレート4d〜i、カバープレート4jおよびノズルプレート4lである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは10〜300μm程度であることにより、孔の形成精度を高くできる。流路部材4の厚さは、500μm〜2mm程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路12およびマニホールド5を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体2aでは、加圧室10は流路部材4の上面に、マニホールド5は内部の下面側に、吐出孔8は下面にと、個別流路12を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介してマニホールド5と吐出孔8とが繋がる構成を有している。   The flow path member 4 included in the head main body 2a has a laminated structure in which a plurality of plates are laminated with an adhesive layer 18 interposed therebetween. These plates are a cavity plate 4a, an aperture plate 4b, a supply plate 4c, manifold plates 4d to i, a cover plate 4j, and a nozzle plate 4l in order from the upper surface of the flow path member 4. A number of holes are formed in these plates. Since the thickness of each plate is about 10 to 300 μm, the hole formation accuracy can be increased. The thickness of the flow path member 4 is about 500 μm to 2 mm. Each plate is aligned and laminated so that these holes communicate with each other to form the individual flow path 12 and the manifold 5. In the head body 2a, the pressurizing chamber 10 is on the upper surface of the flow path member 4, the manifold 5 is on the inner lower surface side, and the discharge holes 8 are on the lower surface. The manifold 5 and the discharge hole 8 are connected via the pressurizing chamber 10.

各プレートに配置されている孔および溝について説明する。これらの孔および溝には、液体の流路となるものと、流路となる孔あるいは溝の周囲、あるいは他の配置されている接着剤の逃がし溝17が含まれる。逃がし溝17については後述する。   The hole and groove | channel arrange | positioned at each plate are demonstrated. These holes and grooves include a liquid flow path, and an adhesive escape groove 17 around the hole or groove or other disposed adhesive. The escape groove 17 will be described later.

流路となる孔あるいは溝には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート4aに形成された加圧室10である。第2に、加圧室10の一端からマニホールド5へと繋がるしぼり6を構成する連通孔である。この連通孔は、アパーチャプレート4b(詳細には加圧室10の入り口)からサプライプレート4c(詳細にはマニホールド5の出口)までの各プレートに形成されている。   The following holes and grooves are used as the flow path. The first is the pressurizing chamber 10 formed in the cavity plate 4a. Secondly, there is a communication hole that forms a squeeze 6 that connects from one end of the pressurizing chamber 10 to the manifold 5. This communication hole is formed in each plate from the aperture plate 4b (specifically, the inlet of the pressurizing chamber 10) to the supply plate 4c (specifically, the outlet of the manifold 5).

第3に、加圧室10のしぼり6が繋がっている端と反対の他端から吐出孔8へと連通する流路を構成する部分流路であるディセンダ7である。ディセンダ7は、ベースプレート4b(詳細には加圧室10の出口)からノズルプレート4l(詳細には吐出孔8)までの各プレートに形成されている。   Thirdly, the descender 7 is a partial flow path that constitutes a flow path that communicates with the discharge hole 8 from the other end opposite to the end to which the squeezing 6 of the pressurizing chamber 10 is connected. The descender 7 is formed on each plate from the base plate 4b (specifically, the outlet of the pressurizing chamber 10) to the nozzle plate 4l (specifically, the discharge hole 8).

第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート4c〜iに形成されている。マニホールドプレート4c〜iには、副マニホールド5bを構成するように隔壁15となる仕切り部が残るように孔が形成されている。各マニホールドプレート4c〜iにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部(図では省
略してある)で各マニホールドプレート4c〜iと繋がった状態にされる。
Fourthly, there is a communication hole constituting the sub-manifold 5a. The communication holes are formed in the manifold plates 4c to i. Holes are formed in the manifold plates 4c to i so that the partition portions to be the partition walls 15 remain so as to constitute the sub-manifold 5b. The partition part in each manifold plate 4c-i is connected to each manifold plate 4c-i by a half-etched support part (not shown in the figure).

第1〜4の連通孔が相互に繋がり、マニホールド5からの液体の流入口(マニホールド5の出口)から吐出孔8に至る個別流路12を構成している。マニホールド5に供給された液体は、以下の経路で吐出孔8から吐出される。まず、マニホールド5から上方向に向かって、しぼり6の一端部に至る。次に、しぼり6の延在方向に沿って水平に進み、しぼり6の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室10の一端部に至る。さらに、加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、加圧室10の他端部に至る。加圧室10からディセンダ7に入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔8に至って、外部に吐出される。   The first to fourth communication holes are connected to each other to form an individual flow path 12 from the liquid inflow port (outlet of the manifold 5) to the discharge hole 8 from the manifold 5. The liquid supplied to the manifold 5 is discharged from the discharge hole 8 through the following path. First, the manifold 5 reaches the one end of the aperture 6 upward. Next, it proceeds horizontally along the extending direction of the restriction 6 and reaches the other end of the restriction 6. From there, it reaches one end of the pressurizing chamber 10 upward. Furthermore, it progresses horizontally along the extending direction of the pressurizing chamber 10 and reaches the other end of the pressurizing chamber 10. The liquid that has entered the descender 7 from the pressurizing chamber 10 moves in the horizontal direction and is mainly directed downward and reaches the discharge hole 8 that is open on the lower surface, and is discharged to the outside.

圧電アクチュエータ基板21は、圧電体である2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板21の圧電セラミック層21aの下面から圧電セラミック層21bの上面までの厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層21a、21bは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系、NaNbO系、BaTiO系、(BiNa)NbO系、BiNaNb15系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層21aは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。 The piezoelectric actuator substrate 21 has a laminated structure composed of two piezoelectric ceramic layers 21a and 21b which are piezoelectric bodies. Each of these piezoelectric ceramic layers 21a and 21b has a thickness of about 20 μm. The thickness from the lower surface of the piezoelectric ceramic layer 21a of the piezoelectric actuator substrate 21 to the upper surface of the piezoelectric ceramic layer 21b is about 40 μm. Both of the piezoelectric ceramic layers 21 a and 21 b extend so as to straddle the plurality of pressure chambers 10. The piezoelectric ceramic layers 21a, 21b may, for example, strength with a dielectric, lead zirconate titanate (PZT), NaNbO 3 system, BaTiO 3 system, (BiNa) NbO 3 system, such as BiNaNb 5 O 15 system Made of ceramic material. The piezoelectric ceramic layer 21a functions as a vibration plate and does not necessarily have to be a piezoelectric body. Instead, other ceramic layers or metal plates that are not piezoelectric bodies may be used.

圧電アクチュエータ基板21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極24およびAu系などの金属材料からなる個別電極25を有している。共通電極24の厚さは2μm程度であり、個別電極25の厚さは、1μm程度である。   The piezoelectric actuator substrate 21 includes a common electrode 24 made of a metal material such as Ag—Pd and an individual electrode 25 made of a metal material such as Au. The common electrode 24 has a thickness of about 2 μm, and the individual electrode 25 has a thickness of about 1 μm.

個別電極25は、圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極25は、平面形状が加圧室本体10aより一回り小さく、加圧室本体10aとほぼ相似な形状を有している個別電極本体25aと、個別電極本体25aから引き出されている引出電極25bとを含んでいる。引出電極25bの一端の、加圧室10と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極26が配置されている。接続電極26は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、5〜200μm程度の厚さで形成されている。また、接続電極26は、信号伝達部60に設けられた電極と電気的に接合されている。   The individual electrodes 25 are respectively arranged at positions facing the pressurizing chambers 10 on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The individual electrode 25 has a planar shape slightly smaller than that of the pressurizing chamber main body 10a and has a shape substantially similar to the pressurizing chamber main body 10a, and an extraction electrode drawn from the individual electrode main body 25a. 25b. A connection electrode 26 is disposed at a portion of one end of the extraction electrode 25 b that is extracted outside the region facing the pressurizing chamber 10. The connection electrode 26 is a conductive resin containing conductive particles such as silver particles, and is formed with a thickness of about 5 to 200 μm. Further, the connection electrode 26 is electrically joined to an electrode provided in the signal transmission unit 60.

詳細は後述するが、個別電極25には、制御部88から信号伝達部60を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。   Although details will be described later, a drive signal is supplied from the control unit 88 to the individual electrode 25 through the signal transmission unit 60. The drive signal is supplied in a constant cycle in synchronization with the conveyance speed of the print medium P.

共通電極24は、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極24は、圧電アクチュエータ基板21に対向する領域内のすべての加圧室10を覆うように延在している。共通電極24は、圧電セラミック層21b上に個別電極44からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極28に、圧電セラミック層21bを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極24は、共通電極用表面電28を介して接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極28は、個別電極25と同様に、制御部88と直接あるいは間接的に接続されている。   The common electrode 24 is formed over substantially the entire surface in the region between the piezoelectric ceramic layer 21b and the piezoelectric ceramic layer 21a. That is, the common electrode 24 extends so as to cover all the pressurizing chambers 10 in the region facing the piezoelectric actuator substrate 21. The common electrode 24 is connected to the common electrode surface electrode 28 formed on the piezoelectric ceramic layer 21b so as to avoid the electrode group composed of the individual electrodes 44 via a through conductor formed through the piezoelectric ceramic layer 21b. It is connected. Further, the common electrode 24 is grounded via the common electrode surface electricity 28 and is held at the ground potential. Similar to the individual electrode 25, the common electrode surface electrode 28 is directly or indirectly connected to the control unit 88.

圧電セラミック層21bの個別電極25と共通電極24とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極25に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変
位素子30となっている。より具体的には、個別電極25を共通電極24と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部88により個別電極25を共通電極24に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21aは加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
A portion sandwiched between the individual electrode 25 and the common electrode 24 of the piezoelectric ceramic layer 21b is polarized in the thickness direction, and becomes a displacement element 30 having a unimorph structure that is displaced when a voltage is applied to the individual electrode 25. Yes. More specifically, when an electric field is applied in the polarization direction to the piezoelectric ceramic layer 21b by setting the individual electrode 25 to a potential different from that of the common electrode 24, an active portion where the applied electric field is distorted by the piezoelectric effect. Work as. In this configuration, when the control unit 88 sets the individual electrode 25 to a predetermined positive or negative potential with respect to the common electrode 24 so that the electric field and the polarization are in the same direction, the portion sandwiched between the electrodes of the piezoelectric ceramic layer 21b. (Active part) contracts in the surface direction. On the other hand, the piezoelectric ceramic layer 21a, which is an inactive layer, is not affected by an electric field, so that it does not spontaneously shrink and tries to restrict deformation of the active portion. As a result, there is a difference in strain in the polarization direction between the piezoelectric ceramic layer 21a and the piezoelectric ceramic layer 21b, and the piezoelectric ceramic layer 21a is deformed so as to be convex toward the pressurizing chamber 10 (unimorph deformation).

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部88からの制御でドライバICなどを介して、個別電極25に供給される駆動信号により、変位素子30が駆動(変位)させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。   Next, the liquid discharge operation will be described. The displacement element 30 is driven (displaced) by a drive signal supplied to the individual electrode 25 through a driver IC or the like under the control of the control unit 88. In the present embodiment, liquid can be ejected by various driving signals. Here, a so-called strike driving method will be described.

あらかじめ個別電極25を共通電極24より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極25を共通電極24と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極25が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが元の(平らな)形状に戻り(始め)、加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。これにより、加圧室10内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室10内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室10の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室10の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室10の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極25を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ7内を伝搬し、吐出孔8から液体を吐出させる。   The individual electrode 25 is set to a potential higher than the common electrode 24 (hereinafter referred to as a high potential) in advance, and the individual electrode 25 is once set to the same potential as the common electrode 24 (hereinafter referred to as a low potential) each time there is a discharge request, and then a predetermined potential is set. At this timing, the potential is set again. Thereby, the piezoelectric ceramic layers 21a and 21b return to the original (flat) shape at the timing when the individual electrode 25 becomes low potential (beginning), and the volume of the pressurizing chamber 10 is in an initial state (the potentials of both electrodes are different). Increase compared to the state). As a result, a negative pressure is applied to the liquid in the pressurizing chamber 10. Then, the liquid in the pressurizing chamber 10 starts to vibrate with the natural vibration period. Specifically, first, the volume of the pressurizing chamber 10 begins to increase, and the negative pressure gradually decreases. Next, the volume of the pressurizing chamber 10 becomes maximum and the pressure becomes almost zero. Next, the volume of the pressurizing chamber 10 begins to decrease, and the pressure increases. Thereafter, the individual electrode 25 is set to a high potential at a timing at which the pressure becomes substantially maximum. Then, the first applied vibration overlaps with the next applied vibration, and a larger pressure is applied to the liquid. This pressure propagates through the descender 7 to discharge the liquid from the discharge hole 8.

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極25に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室10の液体の固有振動周期の半分の時間であるAL(Acoustic Length)とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室10の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室10の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板21の物性や、加圧室10に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
In other words, a droplet can be ejected by supplying a pulse driving signal that is a low potential for a certain period with the high potential as a reference to the individual electrode 25. If this pulse width is AL (Acoustic Length), which is half the time of the natural vibration period of the liquid in the pressurizing chamber 10, in principle, the discharge speed and discharge amount of the liquid can be maximized. The natural vibration period of the liquid in the pressurizing chamber 10 is greatly affected by the physical properties of the liquid and the shape of the pressurizing chamber 10, but besides that, the physical properties of the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path connected to the pressurizing chamber 10 Also affected by the characteristics of.

なお、パルス幅は、吐出される液滴を1つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、0.5AL〜1.5AL程度の値にされる。また、パルス幅は、ALから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにALから外れた値にされる。   Note that the pulse width is actually set to a value of about 0.5 AL to 1.5 AL because there are other factors to consider, such as combining the ejected droplets into one. Further, since the discharge amount can be reduced by setting the pulse width to a value outside of AL, the pulse width is set to a value outside of AL in order to reduce the discharge amount.

プレート4a〜lを、接着剤層18を介して積層する際に、接着剤が、プレート4a〜lの間の全面に行き渡るだけの量がないと、接着されない部分が生じることになる。接着剤が、プレート4a〜lの間の全面に行き渡った状態で、接着のために加圧すると、接着剤の一部は、流路の中に流れこむことになる。また、接着剤の塗布量に、場所によるばらつきがあると、塗布量のばらつきが、そのまま接着剤層の厚さのばらつきになって吐出特性が変動したり、接着剤の塗布量が少ない部分に圧力が加わり難く、接着できなかったり、接着が弱くなることがあった。   When the plates 4a to 1l are stacked via the adhesive layer 18, if the amount of the adhesive does not reach the entire surface between the plates 4a to 4l, an unbonded portion is generated. When pressure is applied for bonding in a state where the adhesive is spread over the entire surface between the plates 4a to 4l, a part of the adhesive flows into the flow path. In addition, if there is a variation in the amount of adhesive applied depending on the location, the variation in the amount applied will directly change in the thickness of the adhesive layer, resulting in fluctuations in ejection characteristics, or in areas where the amount of adhesive applied is small. It was difficult to apply pressure, and adhesion could not be achieved or adhesion could be weakened.

そこで、流路となる孔や溝の周囲や、その他の部分に接着剤の逃がし溝17を配置する。逃がし溝17は、基本的にはプレート4a〜kに形成された溝であり、プレート4a〜
kをハーフエッチングすることなどで形成される。ただし、逃がし溝17は、プレート4a〜kを貫通して形成されてもよく、そのようなものも含めて逃がし溝17と呼ぶ。
Therefore, an adhesive escape groove 17 is disposed around the hole and groove serving as the flow path and in other portions. The relief groove 17 is basically a groove formed in the plates 4a to 4k, and the plates 4a to 4
It is formed by half-etching k. However, the escape groove 17 may be formed through the plates 4a to 4k, and such a groove is also referred to as the escape groove 17.

逃がし溝17は、次の2種類の形態がある。ただし、両方に含まれるものもある。第1には、流路となる孔や溝の周囲に配置されているものである。これらの主な役割は、流路となる孔や溝の内部に、溢れた接着剤が流れ込み難くすることである。   The escape groove 17 has the following two types. However, some are included in both. First, it is arranged around a hole or groove serving as a flow path. Their main role is to make it difficult for the overflowing adhesive to flow into the holes and grooves that form the flow paths.

第2には、流路となる孔や溝があまり配置されていない場所に配置されているものである。このような場所は、吐出孔8からしぼり6までの個別流路12となる孔や溝が固まって配置されている群の間や、いくつかあるそれらの群全体の外側に存在する。プレート4a〜kの周縁部、特にプレート4a〜kの長手方向の両端部は、そのような条件に該当する場所である。   Secondly, it is arranged at a place where there are not so many holes and grooves to be flow paths. Such a place exists between the groups in which the holes and grooves that form the individual flow paths 12 from the discharge holes 8 to the squeeze 6 are solidly arranged, or outside some of these groups. The peripheral edge portions of the plates 4a to 4k, particularly both end portions in the longitudinal direction of the plates 4a to k, are places corresponding to such conditions.

そのような場所に配置された逃がし溝17には、次のような役割がある。局所的に接着剤が厚く塗布された場合、積層圧力で接着剤が流動したとしても、流動が充分でなく、接着剤層が局所的に厚くなったり、その周囲に圧力が加わり難くなることで、接着できなかったり、接着が弱くなることがある。そのような場合、逃がし溝17が配置されていると、過剰な接着剤は逃がし溝に流れ込み、接着剤層が局所的に厚くなることは起こり難く、その周囲で接着が弱くなることも起こり難い。   The escape groove 17 arranged in such a place has the following role. If the adhesive is applied locally thickly, even if the adhesive flows at the lamination pressure, the flow is not sufficient, and the adhesive layer becomes locally thicker, or it is difficult to apply pressure around it. , Cannot be bonded or bond may be weak. In such a case, when the escape groove 17 is disposed, excess adhesive flows into the escape groove, and it is difficult for the adhesive layer to be locally thickened, and it is also difficult for adhesion to weaken around the adhesive layer. .

また、積層する際に接着剤層に気泡が巻き込まれてしまうことがある。流路となる孔や溝が周囲に配置されていれば、気泡はそれらを介して外部に排出されたり、流路となる孔や溝に圧縮されて閉じ込められる可能性があるが、流路となる孔や溝が周囲に無かったり、少なかったりすると、接着剤層の中に残り、その部分が接着されないことがある。そのような場所に逃がし溝17が配置されていれば、気泡は逃がし溝17に圧縮して閉じ込められ、接着剤層に残り難くなる。このような効果をより高めるために、逃がし溝17を、直接、流路部材4の外部と繋がっている配置にしたり、他のプレート4a〜lに配置した孔や溝を介して、流路部材4の外部と繋がっているようにしてもよい。   In addition, bubbles may be caught in the adhesive layer when laminating. If holes and grooves that serve as flow paths are arranged around, bubbles may be discharged to the outside through them, or compressed and confined in holes and grooves that serve as flow paths. If there are no or few holes or grooves in the periphery, it may remain in the adhesive layer and the part may not be bonded. If the escape groove 17 is arranged in such a place, the air bubbles are compressed and confined in the escape groove 17 and hardly remain in the adhesive layer. In order to enhance such an effect, the escape groove 17 is directly connected to the outside of the flow path member 4 or the flow path member via holes or grooves disposed in the other plates 4a to 4l. 4 may be connected to the outside.

液体の流路である、副マニホールド5aおよび個別流路12を構成している孔および溝は、プレート4a〜lをエッチングして形成されている。図5では、エッチングで形成したことにより生じている形状の細部は省略して描いている。また、図5では、接着剤層も省略して描いている。プレート4a〜lを貫通している孔は、プレート4a〜lを両面からエッチングをして形成されている。それらの孔では、プレート4a〜lの厚さの中央付近の寸法が、開口部の寸法より狭くなっている。プレート4a〜lのほぼ半分の深さの溝は、プレート4a〜lを片面からハーフエッチングして形成されている。それらの溝では、溝の底付近の寸法が開口部の寸法より狭くなっている。   The holes and grooves constituting the sub-manifold 5a and the individual flow path 12, which are liquid flow paths, are formed by etching the plates 4a to 4l. In FIG. 5, the details of the shape generated by the etching are omitted. In FIG. 5, the adhesive layer is also omitted. The holes penetrating the plates 4a to 1l are formed by etching the plates 4a to 1l from both sides. In those holes, the dimension near the center of the thickness of the plates 4a to l is narrower than the dimension of the opening. The grooves having a half depth of the plates 4a to 1l are formed by half-etching the plates 4a to 1l from one side. In these grooves, the dimension near the bottom of the groove is narrower than the dimension of the opening.

なお、プレート4kに形成されている、一方の開口が吐出孔8となっている貫通孔は、パンチングにより開けられている。   A through hole formed in the plate 4k and having one opening serving as the discharge hole 8 is opened by punching.

図6は、プレート4cの長手方向である第2方向の一方の端部の平面図である。図の左側には、マニホールド5となる孔が2つ開口してる。個別流路12となる孔や溝は、図のさらに左側の描かれていない位置に配置されており、図6に描かれているのは、個別流路12となる孔や溝が配置されていない領域である。プレート4cの第2方向の他方の端部は、図6を左右に反転させた構造となっている。   FIG. 6 is a plan view of one end portion in the second direction, which is the longitudinal direction of the plate 4c. On the left side of the figure, two holes to be the manifold 5 are opened. The holes and grooves to be the individual flow paths 12 are arranged at positions not drawn on the left side of the drawing, and the holes and grooves to be the individual flow paths 12 are arranged in FIG. There is no area. The other end of the plate 4c in the second direction has a structure in which FIG. 6 is reversed left and right.

プレート4cには、第2方向と、第2方向と交差する方向である第1方向に沿って逃がし溝17が配置されている。第1方向と第2方向の成す角度は、90±30度以内、さらに90度±15度以内であり、略直角となっている。   In the plate 4c, escape grooves 17 are arranged along a second direction and a first direction that is a direction intersecting the second direction. The angle formed by the first direction and the second direction is within 90 ± 30 degrees, and further within 90 ± 15 degrees, and is substantially perpendicular.

また、プレート4cには、貫通孔19が配置されている。貫通孔19は、プレート4a〜lにおいても同じ位置に配置されており、それぞれ逃がし溝17と繋がっている。積層した際にプレート4a〜l間に挟まれてしまった空気の一部を、逃がし溝17から貫通孔19に伝え、流路部材4の外部に逃がすことができる。逃がし溝17をプレート4cの外辺まで繋がった配置にし、逃がし溝17を通じて、直接外部に逃がす構造にしてもよい。   Further, a through hole 19 is disposed in the plate 4c. The through holes 19 are arranged at the same position in the plates 4a to 4l and are connected to the escape grooves 17 respectively. A part of the air that has been sandwiched between the plates 4 a to 1 l when being stacked can be transmitted from the escape groove 17 to the through hole 19 and escape to the outside of the flow path member 4. The escape groove 17 may be arranged so as to be connected to the outer side of the plate 4 c, and may be configured to escape directly to the outside through the escape groove 17.

空気の巻き込みや、接着剤層の厚みの平均化の観点からは、逃がし溝17を増やすのが望ましいが、逃がし溝17が増えると実際に接着される接着代の面積が減るため、接着自体は弱くなる。プレート4a〜lの周縁部の接着が弱いと、接着が剥がれ始める起点になりやい。また、プレート4a〜lの中央の領域は流路となる孔や溝が多数配置されており、接着は比較的弱くなってしまうため、プレート4a〜lの周縁で強固に接着する必要がある。特にプレート4a〜lの長手方向である第2方向の端部では、外部からの応力や、衝撃が加わり易いため、より強固に接着する必要がある。   From the viewpoint of air entrainment and averaging of the thickness of the adhesive layer, it is desirable to increase the number of escape grooves 17, but since the area of the bonding allowance actually bonded decreases as the number of escape grooves 17 increases, the bonding itself is become weak. If the adhesion at the peripheral edge of the plates 4a to 4l is weak, it tends to be a starting point where the adhesion starts to peel off. In addition, since a large number of holes and grooves serving as flow paths are arranged in the central region of the plates 4a to 4l and the bonding becomes relatively weak, it is necessary to firmly bond the peripheral edges of the plates 4a to 1l. In particular, at the end in the second direction, which is the longitudinal direction of the plates 4a to l, since external stress and impact are easily applied, it is necessary to bond more firmly.

そのため、接着代として長方形状の接着代ブロック18を設け、その周囲に逃がし溝17を配置する構造にする。そして、接着代ブロック18と逃がし溝17とが交互に配置されている接着代ブロック列18Aを、プレート4cの短手方向である第1方向の一方の端部から他方の端部まで設ける。これにより、第1方向の一方の端部から他方の端部まで、接着代ブロック18が連なった構造ができ、接着を強固にできる。なお、図6では、接着代ブロック列18Aは、波線で網掛けした部分である。波線で網掛けした接着代ブロック列18Aは、多数存在する接着代ブロック列18Aのうちの一例である。   Therefore, a rectangular bonding allowance block 18 is provided as an adhering allowance, and a relief groove 17 is arranged around the block. An adhesive allowance block row 18A in which the adhesive allowance blocks 18 and the escape grooves 17 are alternately arranged is provided from one end in the first direction, which is the short direction of the plate 4c, to the other end. Thereby, a structure in which the bonding allowance block 18 is continuous from one end portion to the other end portion in the first direction can be formed, and the adhesion can be strengthened. In FIG. 6, the bonding allowance block row 18 </ b> A is a portion shaded by a wavy line. The bonding allowance block row 18A shaded by a wavy line is an example of a large number of bonding allowance block rows 18A.

各接着代ブロック18の周囲を囲んでいる逃がし溝17のうちで、第1方向に伸びている逃がし溝17を側辺逃がし溝17aと呼ぶ。側辺逃がし溝17aは、各接着代ブロック18のそれぞれに、1対存在し、2本存在する。そして、接着代ブロック列18Aに属する接着代ブロック18の側辺逃がし溝17aは、第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がっていない。これにより、接着代ブロック列18Aに対して第2方向に位置する第1方向に伸びる逃がし溝17を、折れ曲がり難くできる。   Of the relief grooves 17 surrounding the periphery of each bonding allowance block 18, the relief groove 17 extending in the first direction is referred to as a side relief groove 17a. A pair of side relief grooves 17a exist in each bonding margin block 18, and there are two side clearance grooves 17a. Further, the side relief groove 17a of the bonding margin block 18 belonging to the bonding margin block row 18A is not linearly connected from one end portion to the other end portion in the first direction. Thereby, the relief groove 17 extending in the first direction located in the second direction with respect to the bonding allowance block row 18A can be hardly bent.

図6の網掛けした接着代ブロック列18Aでは、接着代ブロック列18Aの右側に位置する側辺逃がし溝17aおよび左側に位置する側辺逃がし溝17aの両方が、第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がっていないが、どちらか一方だけでも、その一方の部分を、折れ曲がり難くできる。両方が、第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がっていない方がより好ましい。   In the hatched adhesive margin block row 18A in FIG. 6, both the side relief groove 17a located on the right side of the adhesion margin block row 18A and the side relief groove 17a located on the left side are one end in the first direction. Although it is not connected in a straight line from the other end to the other end, it is possible to make it difficult to bend only one of the portions. It is more preferable that both are not connected linearly from one end in the first direction to the other end.

図6の側辺逃がし溝17aは、第2方向に異なる位置に配置されていることで、第1方向に繋がっていなくなっている。図6の網掛けした接着代ブロック列18Aの右側の側辺逃がし溝17aは、全部で12本ある。これら12本の側辺逃がし溝17aは、第2方向に関して3つの位置に配置されており、右側の位置に2本、中央の位置に4本、左側の位置に5本配置されている。第2方向に関して同じ位置に配置されている側辺逃がし溝17の合計の長さが一番長くなっているのは左側の位置であり、プレート4cの第1方向の長さの5/11弱となっている。したがって、第2方向において同じ位置に配置されている側辺逃がし溝17aの長さ合計は、すべてプレート4cの第1方向の半分以下になっておおり、その位置で折れ曲がり難くなっている。   The side relief grooves 17a in FIG. 6 are not connected in the first direction by being arranged at different positions in the second direction. There are twelve 12 side relief grooves 17a on the right side of the hatched adhesive margin block row 18A in FIG. These twelve side relief grooves 17a are arranged at three positions in the second direction, two at the right position, four at the center position, and five at the left position. The total length of the side relief grooves 17 arranged at the same position in the second direction is the leftmost position, which is less than 5/11 of the length of the plate 4c in the first direction. It has become. Therefore, the total length of the side relief grooves 17a arranged at the same position in the second direction is less than half of the first direction of the plate 4c, and it is difficult to bend at that position.

プレート4cは、第1方向よりも第2方向に長いので、第2方向の途中で折れ曲がれ易い。そのため、接着代ブロック列18Aは、接着代ブロック18が第1方向に連なるように配置し、第1方向に側辺逃がし溝17aが直線状に繋がった状態にしないのが好ましい。   Since the plate 4c is longer in the second direction than the first direction, the plate 4c is easily bent in the middle of the second direction. Therefore, it is preferable that the bonding margin block row 18A is arranged so that the bonding margin blocks 18 are continuous in the first direction, and the side relief grooves 17a are not linearly connected in the first direction.

また、第1方向に隣り合う接着代ブロック18では、側辺逃がし溝17aは、第2方向に関して違う位置に配置されているので、より折れ曲がり難くなっている。   Further, in the bonding margin block 18 adjacent in the first direction, the side relief groove 17a is arranged at a different position with respect to the second direction, so that it is more difficult to bend.

接着代ブロック18は、逃がし溝17に到達する距離短くし、接着代の面積を相対的に大きくするために、短手方向の長さに対する長手方向の長さの割合が、3以下、さらに2以下と小さい方が好ましく、特に正方形状にするのが好ましい。   In order to shorten the distance to reach the escape groove 17 and to relatively increase the area of the bonding margin, the bonding margin block 18 has a ratio of the length in the longitudinal direction to the length in the short direction of 3 or less, and further 2 The smaller one is preferable, and a square shape is particularly preferable.

続いて、図7(a)〜(c)を用いて、本発明の他の実施形態の逃がし溝17の配置について説明する。差異が少ない部位については、同じ符号を付けて説明を省略する。   Then, the arrangement | positioning of the escape groove | channel 17 of other embodiment of this invention is demonstrated using Fig.7 (a)-(c). Parts with little difference are given the same reference numerals and description thereof is omitted.

図7(a)では、側辺逃がし溝17aの第1方向の一端と他の逃がし溝17との間には、離間部20が存在する。離間部20が存在することにより、側辺逃がし溝17aは、第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がっていなく、折れ曲がり難くなっている。なお、離間部20は、側辺逃がし溝17aの途中に設けてもよい。つまり、側辺逃がし溝17aが、離間部20によって複数に分離されて、途切れた状態になるようにしてもよい。   In FIG. 7A, a separation portion 20 exists between one end of the side escape groove 17 a in the first direction and the other escape groove 17. Due to the presence of the separation portion 20, the side relief groove 17a is not linearly connected from one end portion in the first direction to the other end portion, and is difficult to bend. In addition, you may provide the separation part 20 in the middle of the side escape groove 17a. That is, the side relief groove 17a may be separated into a plurality of parts by the separation part 20 and may be in an interrupted state.

図7(b)および(c)では、側辺逃がし溝17aは、離間部20が存在することにより繋がっておらず、かつ、側辺逃がし溝17aは、第2方向において違う位置に配置されている。これらが合わさることにより、より折れ曲がり難くなっている。   In FIGS. 7B and 7C, the side relief groove 17a is not connected due to the presence of the separating portion 20, and the side relief groove 17a is arranged at a different position in the second direction. Yes. By combining these, it becomes more difficult to bend.

続いて、図8を用いて、本発明の他の実施形態の逃がし溝17の配置について説明する。図8は、図6と同じ部分の平面図である。プレート104cには、プレート104cの短手方向である第1方向に伸びている第1逃がし溝17bと、長手方向である第2方向に伸びている第2逃がし溝17cとが配置されている。そして、1つの第1逃がし溝17bと複数の第2逃がし溝17cとで、櫛歯状の逃がし溝が構成されている。櫛歯状の逃がし溝は複数個あり、一の櫛歯状の逃がし溝の第1逃がし溝17bと、他の櫛歯状の逃がし溝の第1逃がし溝17bとは、対向しているとともに、第2方向において異なる位置に配置されている。これにより、プレート104cは、第1逃がし溝17bに沿って折れ曲がり難くなっている。第2方向において同じ位置に配置されている第1逃がし溝17bが存在する場合、それらの長さの合計が、第1方向の一方の端部から他方の端部までの長さの半分以下とすることにより、プレート104cを、第1逃がし溝17bに沿って、より折れ曲がり難くすることができる。   Next, the arrangement of the escape grooves 17 according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a plan view of the same portion as FIG. The plate 104c is provided with a first escape groove 17b extending in the first direction, which is the short direction of the plate 104c, and a second escape groove 17c extending in the second direction, which is the longitudinal direction. The one first escape groove 17b and the plurality of second escape grooves 17c constitute a comb-like escape groove. There are a plurality of comb-like escape grooves, and the first escape groove 17b of one comb-like escape groove and the first escape groove 17b of the other comb-like escape groove face each other, They are arranged at different positions in the second direction. Thereby, the plate 104c is difficult to bend along the first escape groove 17b. When there is the first escape groove 17b arranged at the same position in the second direction, the total length thereof is not more than half of the length from one end to the other end in the first direction. By doing so, the plate 104c can be made more difficult to bend along the first escape groove 17b.

一の櫛歯状の逃がし溝の第1接着剤の逃がし溝17bと、他の櫛歯状の逃がし溝の第1逃がし溝17bとが、第1方向において重なっている部位Dが存在すると、接着代内の気泡が逃がし溝17に到達しやすくなり、接着剤層に気泡が巻き込まれた状態になり難くできる。   If there is a portion D where the first adhesive relief groove 17b of one comb-like escape groove and the first relief groove 17b of the other comb-like escape groove overlap in the first direction, adhesion It is possible to make it easier for bubbles in the core to escape and reach the grooves 17 and prevent the bubbles from being caught in the adhesive layer.

なお、本実施形態では、流路部材4は、多数のプレート4a〜kが、接着剤層を介して接着積層されて構成されているが、そのような形態には限定されない。例えば、流路となる孔や溝が形成された1枚のプレートを、研削により流路が形成された他の部材に接着剤層を介して接着されたものも本発明の範囲である。   In the present embodiment, the flow path member 4 is configured by laminating and laminating a large number of plates 4a to 4k via an adhesive layer, but is not limited to such a form. For example, it is within the scope of the present invention that a single plate in which holes and grooves to be flow paths are formed is bonded to another member having a flow path by grinding through an adhesive layer.

1・・・カラーインクジェットプリンタ
2・・・液体吐出ヘッド
2a・・・ヘッド本体
4・・・流路部材
4a〜l・・・(流路部材の)プレート
4−1・・・吐出孔面
4−2・・・加圧室面
5・・・マニホールド
5a・・・(マニホールドの)開口
5b・・・副マニホールド(共通流路)
6・・・しぼり
7・・・ディセンダ(部分流路)
8・・・吐出孔
9・・・吐出孔行
10・・・加圧室
11・・・加圧室行
12・・・個別流路
15・・・隔壁
16・・・ダミー加圧室
17・・・逃がし溝(接着剤の逃がし溝)
17a・・・側辺逃がし溝(側辺接着剤の逃がし溝)
17b・・・第1逃がし溝(第1接着剤の逃がし溝)
17c・・・第2逃がし溝(第2接着剤の逃がし溝)
18・・・接着代ブロック
18A・・・接着代ブロック列
19・・・貫通孔
20・・・離間部
21・・・圧電アクチュエータ基板
21a・・・圧電セラミック層(振動板)
21b・・・圧電セラミック層
24・・・共通電極
25・・・個別電極
25a・・・個別電極本体
25b・・・引出電極
26・・・接続電極
28・・・共通電極用表面電極
30・・・変位素子
60・・・信号伝達部
70・・・ヘッド搭載フレーム
72・・・ヘッド群
80A・・・給紙ローラ
80B・・・回収ローラ
82A・・・ガイドローラ
82B・・・搬送ローラ
88・・・制御部
P・・・印刷用紙
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color inkjet printer 2 ... Liquid discharge head 2a ... Head main body 4 ... Flow path member 4a-1 ... (of flow path member) 4-1 ... Discharge hole surface 4 -2 ... Pressurizing chamber surface 5 ... Manifold 5a ... (manifold) opening 5b ... Sub-manifold (common flow path)
6 ... Shibori 7 ... Descender (partial flow path)
8 ... Discharge hole 9 ... Discharge hole row 10 ... Pressure chamber 11 ... Pressure chamber row 12 ... Individual flow path 15 ... Partition wall 16 ... Dummy pressurization chamber 17. ..Relief grooves (adhesive escape grooves)
17a: Side relief groove (side adhesive release groove)
17b... First relief groove (first adhesive relief groove)
17c ... second relief groove (second adhesive relief groove)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 18 ... Adhesion allowance block 18A ... Adhesion allowance block row 19 ... Through-hole 20 ... Separation part 21 ... Piezoelectric actuator substrate 21a ... Piezoelectric ceramic layer (diaphragm)
21b ... Piezoelectric ceramic layer 24 ... Common electrode 25 ... Individual electrode 25a ... Individual electrode body 25b ... Extraction electrode 26 ... Connection electrode 28 ... Surface electrode for common electrode 30 ... -Displacement element 60 ... Signal transmission unit 70 ... Head mounting frame 72 ... Head group 80A ... Paper feed roller 80B ... Collection roller 82A ... Guide roller 82B ... Conveying roller 88 ..Control unit P: Printing paper

Claims (13)

流路となる、孔あるいは溝が配置されているプレートと、該プレートの一方の主面と接着剤層を介して接着されている他の部材とを有する流路部材であって、
前記プレートの前記主面に、接着剤の逃がし溝と、該逃がし溝が周囲に配置されている長方形状の接着代ブロックとが配置されており、
前記プレートの前記主面には、第1方向の一方の端部から他方の端部まで、前記接着代ブロックと、前記第1方向と交差する方向である第2方向に伸びている前記接着剤の逃がし溝とが交互に並んでいる接着代ブロック列が配置されており、
該接着代ブロック列に属している前記接着代ブロックのそれぞれに対応して配置されていて、前記第1方向に沿って伸びている前記接着剤の逃がし溝である側辺接着剤の逃がし溝が、前記プレートの前記第1方向の一方の端部から他方の端部まで直線状に繋がって配置されておらず、
前記側辺接着剤の逃がし溝は、前記第1方向の少なくとも一方の端部において他の前記接着剤の逃がし溝と繋がっていないか、もしくは前記第1方向の途中で途切れている部位が存在することを特徴とする流路部材。
A flow path member having a plate in which holes or grooves are disposed, and another member bonded to one main surface of the plate via an adhesive layer, which serves as a flow path,
On the main surface of the plate, an adhesive relief groove and a rectangular adhesive allowance block around which the escape groove is arranged are arranged,
On the main surface of the plate, from one end to the other end in the first direction, the adhesive margin block and the adhesive extending in the second direction, which is a direction intersecting the first direction Adhesive allowance block rows are arranged with alternating escape grooves,
Side adhesive release grooves that are arranged corresponding to each of the adhesive allowance blocks belonging to the adhesive allowance block row and extend along the first direction are side adhesive release grooves. The plate is not arranged in a straight line from one end to the other end in the first direction ,
The side adhesive relief groove is not connected to another adhesive relief groove at least in one end of the first direction, or there is a portion that is interrupted in the first direction. A flow path member characterized by that.
前記接着代ブロック列に属している前記接着代ブロックのそれぞれに対応して配置されている1対の前記側辺接着剤の逃がし溝の両方が、前記プレートの前記第1方向の一方の端部から他方の端部まで、直線状に繋がって配置されていないことを特徴とする請求項1に記載の流路部材。   Both of the pair of side adhesive relief grooves arranged corresponding to each of the adhesive allowance blocks belonging to the adhesive allowance block row are one end of the plate in the first direction. The flow path member according to claim 1, wherein the flow path member is not arranged in a straight line from the first end to the other end. 前記側辺接着剤の逃がし溝が、前記第2方向において異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の流路部材。   3. The flow path member according to claim 1, wherein escape grooves for the side adhesive are arranged at different positions in the second direction. 前記第2方向において同じ位置に配置されている前記側辺接着剤が存在する場合、それらの前記側辺接着剤は、前記第1方向に繋がって配置されていないことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の流路部材。   2. When the side adhesives arranged at the same position in the second direction are present, the side adhesives are not arranged connected to the first direction. The flow path member according to any one of? 前記第2方向において同じ位置に配置されている、前記側辺接着剤の逃がし溝の長さの合計が、第1方向の一方の端部から他方の端部までの長さの半分以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の流路部材。   The total length of the side adhesive relief grooves arranged at the same position in the second direction is not more than half of the length from one end portion to the other end portion in the first direction. The flow path member according to any one of claims 1 to 4. 前記プレートは、前記第2方向の大きさが、前記第1方向の大きさより大きいことを特
徴とする請求項1〜のいずれかに記載の流路部材。
The plate, the size in the second direction, the flow path member according to any one of claims 1 to 5, wherein the greater than the magnitude of the first direction.
前記流路部材には、複数の吐出孔と、該複数の吐出孔からそれぞれ繋がっている複数の個別流路が存在し、
前記プレートには、前記複数の個別流路となる、孔あるいは溝が配置されており、前記接着代ブロック列の中には、前記複数の個別流路となる、孔あるいは溝が配置されていないことを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の流路部材。
The flow path member has a plurality of discharge holes and a plurality of individual flow paths respectively connected from the plurality of discharge holes.
In the plate, holes or grooves serving as the plurality of individual flow paths are arranged, and in the bonding margin block row, holes or grooves serving as the plurality of individual flow paths are not arranged. the flow path member according to any one of claims 1 to 6, characterized in that.
前記接着代ブロック列は、前記複数の個別流路となる、孔あるいは溝すべてよりも第2方向に配置さていることを特徴とする請求項に記載の流路部材。 The adhesion margins block column, flow path member according to claim 7, wherein the plurality of individual flow channels, characterized in that it is arranged in the second direction than all holes or grooves. 流路となる、孔あるいは溝が配置されているプレートと、該プレートの一方の主面と接着剤層を介して接着されている他の部材とを有する流路部材であって、
前記プレートの前記主面に、第2の方向に伸びている第2接着剤の逃がし溝と、該第2方向と交差する方向である第1方向に伸びている複数の第1接着剤の逃がし溝とを含む櫛
歯状の接着剤の逃がし溝が配置されており、
一の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝の前記第1接着剤の逃がし溝と、他の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝の前記第1接着剤の逃がし溝とが、対向して配置されているとともに、第2方向において異なる位置に配置されており、
一の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝の前記第1接着剤の逃がし溝と、他の前記櫛歯状の接着剤の逃がし溝の前記第1接着剤の逃がし溝とが、前記第1方向において重なっていることを特徴とする流路部材。
A flow path member having a plate in which holes or grooves are disposed, and another member bonded to one main surface of the plate via an adhesive layer, which serves as a flow path,
A relief groove for a second adhesive extending in a second direction on the main surface of the plate, and a plurality of first adhesives extending in a first direction that intersects the second direction. Comb containing grooves and relief grooves for tooth-like adhesive are arranged,
The relief groove of the first adhesive in the relief groove of the one comb-tooth-shaped adhesive and the relief groove of the first adhesive in the relief groove of the other comb-tooth-like adhesive face each other. Are arranged at different positions in the second direction ,
The first adhesive relief groove of the one comb-like adhesive relief groove and the first adhesive relief groove of the other comb-like adhesive relief groove are the first A flow path member characterized by overlapping in a direction .
前記第2方向において同じ位置に配置されている、前記第1接着剤の逃がし溝の長さの合計が、前記第1方向の一方の端部から他方の端部までの長さの半分以下であることを特徴とする請求項に記載の流路部材。 The total length of the first adhesive relief grooves disposed at the same position in the second direction is less than half of the length from one end to the other end in the first direction. The flow path member according to claim 9 , wherein the flow path member is provided. 前記プレートは、前記第2方向の大きさが、前記第1方向の大きさより大きいことを特徴とする請求項9または10に記載の流路部材。 The flow path member according to claim 9 or 10 , wherein the plate has a size in the second direction larger than a size in the first direction. 請求項1〜11のいずれかに記載の流路部材と複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記流路部材は、前記流路と繋がっている複数の吐出孔を有しており、複数の加圧部は、前記流路内の液体を加圧することで、前記複数の吐出孔から前記液体をそれぞれ吐出させることを特徴とする液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head and a flow path member and a plurality of the pressure according to any one of claims 1 to 11, wherein the flow path member, a plurality of discharge holes in communication with the flow path The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the plurality of pressurizing units ejects the liquid from the plurality of ejection holes by pressurizing the liquid in the flow path. 請求項12に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。 13. A recording apparatus comprising: the liquid ejection head according to claim 12; a transport unit that transports a recording medium to the liquid ejection head; and a control unit that controls the liquid ejection head.
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