JP6565556B2 - Glass base material lifting device - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス母材の昇降装置に関する。   The present invention relates to an elevating device for a glass base material.

ガラス母材の製造工程においては、腐食性ガスが漏れると製造装置の金属部品を腐食させ、室内雰囲気の金属系ダストが増加して、ガラス母材中に多数の金属不純物が混入してしまう場合がある。そこで、特許文献1には、ガラス母材の焼結工程において塩素系ガスやフッ素系ガスなどの腐食性ガスが漏れることを防ぐための上蓋構造が開示されている。   In the glass base material manufacturing process, if corrosive gas leaks, the metal parts of the manufacturing equipment are corroded, and the metal dust in the indoor atmosphere increases, and many metal impurities are mixed in the glass base material. There is. Therefore, Patent Document 1 discloses an upper lid structure for preventing a corrosive gas such as a chlorine-based gas or a fluorine-based gas from leaking in a glass base material sintering step.

また、ガラス母材の製造装置が異常停止したような場合や、異常停止後の復帰等に伴う非定常作業時、あるいは保守管理のメンテナンス時にはガラス母材の昇降装置ならびにガス供給装置はそれぞれ個別に独立して操作可能となるため、操作が不適切に行われた場合には、炉心管内の有害なガスが外部に漏れるおそれがある。そこで、特許文献2には、焼結炉で上蓋が閉じたことを昇降装置のエンコーダカウント数で検知し、メンテナンス時でも誤操作による腐食性ガスの漏えいを防止する方法が開示されている。   Also, when the glass base material manufacturing equipment stops abnormally, during unsteady work accompanying recovery after abnormal stop, etc., or during maintenance maintenance, the glass base material lifting device and gas supply device are individually provided. Since the operation can be performed independently, harmful gas in the core tube may leak to the outside if the operation is performed inappropriately. Therefore, Patent Document 2 discloses a method for detecting leakage of corrosive gas due to erroneous operation even during maintenance by detecting that the upper lid is closed in the sintering furnace by the encoder count number of the lifting device.

特開2008−105904号公報JP 2008-105904 A 特開2012−121737号公報JP 2012-121737 A

特許文献1に記載の光ファイバ母材製造装置は、炉心管からのガス漏えい防止を開示するものであるが、仮にガスが漏えいした場合には昇降装置内部の駆動部が腐食する可能性があった。また、特許文献2には、非定常時の操作方法を誤った場合でも腐食性ガスが漏れない工夫が開示されているものの、定常的に微量に漏れる腐食性ガス等で昇降装置内の駆動部が劣化する可能性があった。   The optical fiber preform manufacturing apparatus described in Patent Document 1 discloses prevention of gas leakage from the core tube. However, if gas leaks, there is a possibility that the drive unit inside the lifting device may corrode. It was. Further, Patent Document 2 discloses a device that prevents corrosive gas from leaking even if the operation method at the time of unsteady operation is wrong. Could deteriorate.

本発明は、ガラス母材の製造装置に備わる昇降装置の内部にシリカ微粒子や腐食性ガスが侵入することを防止し、昇降装置の駆動機構部や昇降機構部が腐食することによる昇降装置の故障を防ぐことを目的とする。   The present invention prevents the silica fine particles and corrosive gas from entering the inside of the lifting device provided in the glass base material manufacturing apparatus, and causes the failure of the lifting device due to corrosion of the driving mechanism and lifting mechanism of the lifting device. The purpose is to prevent.

本発明のガラス母材の昇降装置は、
前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
少なくとも前記駆動機構部を含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構と、
前記内部空間の圧力を外部より高い圧力に維持する圧力維持機構と、を備えている。
The glass base material lifting apparatus of the present invention is
An elevating mechanism for elevating and lowering the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partition mechanism for partitioning the internal space of the lifting device including at least the drive mechanism section from the outside;
A pressure maintaining mechanism for maintaining the pressure in the internal space at a higher pressure than the outside.

また、本発明のガラス母材の昇降装置は、
前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
前記昇降部の摺動部と、前記駆動機構部とを含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構と、を備えている。
In addition, the glass base material lifting device of the present invention is
An elevating mechanism for elevating and lowering the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partition mechanism that partitions the interior space of the lifting device including the sliding portion of the lifting portion and the drive mechanism portion from the outside.

本発明によれば、ガラス母材の製造装置に備わる昇降装置の内部にシリカ微粒子や腐食性ガスが侵入することを防止し、少なくとも駆動機構部の構成部品が腐食することによる昇降装置の故障を防ぐことができる。   According to the present invention, silica fine particles and corrosive gas are prevented from entering the inside of the lifting device provided in the glass base material manufacturing apparatus, and at least the lifting device failure caused by corrosion of the components of the drive mechanism section is prevented. Can be prevented.

本発明に係るガラス母材の昇降装置を含むガラス母材製造装置の概略図である。It is the schematic of the glass base material manufacturing apparatus containing the raising / lowering apparatus of the glass base material which concerns on this invention. 図1に示すガラス母材の昇降装置のA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line of the raising / lowering apparatus of the glass base material shown in FIG. 本発明に係るガラス母材の昇降装置の変形例を示す概略図である。It is the schematic which shows the modification of the raising / lowering apparatus of the glass base material which concerns on this invention.

<本発明の実施形態の概要>
最初に本発明の実施形態の概要を説明する。
本実施形態にかかるガラス母材の昇降装置は、
(1)前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
少なくとも前記駆動機構部を含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構と、
前記内部空間の圧力を外部より高い圧力に維持する圧力維持機構と、を備えている。
この構成によれば、ガラス母材の製造装置に備わる昇降装置の内部にシリカ微粒子や腐食性ガスが侵入することを防止し、駆動機構部の構成部品が腐食することによる昇降装置の故障を防ぐことができる。
<Outline of Embodiment of the Present Invention>
First, an outline of an embodiment of the present invention will be described.
The glass base material lifting apparatus according to the present embodiment is
(1) an elevating mechanism for elevating and lowering the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partition mechanism for partitioning the internal space of the lifting device including at least the drive mechanism section from the outside;
A pressure maintaining mechanism for maintaining the pressure in the internal space at a higher pressure than the outside.
According to this configuration, silica fine particles and corrosive gas are prevented from entering the inside of the lifting device provided in the glass base material manufacturing apparatus, and the lifting device is prevented from being damaged due to corrosion of the components of the drive mechanism. be able to.

(2)前記内部空間に、前記昇降機構部の摺動部が収容されていることが好ましい。
この構成によれば、昇降機構部の摺動部の劣化や故障も防止することができる。
(2) It is preferable that the sliding part of the raising / lowering mechanism part is accommodated in the internal space.
According to this configuration, it is possible to prevent deterioration and failure of the sliding portion of the lifting mechanism portion.

(3)前記仕切機構はロールカーテンであることが好ましい。
この構成によれば、簡便な構成でガス等の侵入を確実に防ぐことができる。
(3) The partition mechanism is preferably a roll curtain.
According to this configuration, intrusion of gas or the like can be reliably prevented with a simple configuration.

(4)前記圧力維持機構は、前記内部空間に空気を送り込むためのファンであることが好ましい。
この構成によれば、昇降装置外部の空気を連続的にファンで内部空間に送り込むことで、内部空間の圧力を外部に対して高くしてガス等の侵入をより確実に防ぐことができる。
(4) The pressure maintaining mechanism is preferably a fan for sending air into the internal space.
According to this configuration, the air outside the lifting device is continuously sent to the internal space by the fan, so that the pressure in the internal space is increased with respect to the outside, and the intrusion of gas or the like can be prevented more reliably.

(5)前記圧力維持機構は、前記内部空間に圧縮ガスを導入する機構であることが好ましい。
この構成によれば、内部空間内に圧縮ガスを導入することで、内部空間の圧力を外部に対して高くしてガス等の侵入をより確実に防ぐことができる。
(5) It is preferable that the pressure maintaining mechanism is a mechanism for introducing a compressed gas into the internal space.
According to this configuration, by introducing the compressed gas into the internal space, the pressure of the internal space can be increased with respect to the outside, and intrusion of gas or the like can be prevented more reliably.

本実施形態の別の例に係るガラス母材の昇降装置は、
(6)前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
前記昇降部の摺動部と、前記駆動機構部とを含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構と、を備えている。
この構成によれば、ガラス母材の製造装置に備わる昇降装置の内部にシリカ微粒子や腐食性ガスが侵入することを防止し、昇降装置の駆動機構部や昇降機構部の構成部品が腐食することによる昇降装置の故障を防ぐことができる。
なお、(6)に記載の前記仕切機構はロールカーテンであることが好ましい。これにより、簡便な構成でガス等の侵入を確実に防ぐことができる。
The glass base material lifting apparatus according to another example of the present embodiment is
(6) an elevating mechanism for elevating the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partition mechanism that partitions the interior space of the lifting device including the sliding portion of the lifting portion and the drive mechanism portion from the outside.
According to this configuration, silica fine particles and corrosive gas are prevented from entering the inside of the lifting device provided in the glass base material manufacturing device, and the drive mechanism part of the lifting device and the components of the lifting mechanism part are corroded. It is possible to prevent a failure of the lifting device due to.
In addition, it is preferable that the said partition mechanism as described in (6) is a roll curtain. Thereby, the penetration | invasion of gas etc. can be prevented reliably with a simple structure.

<本発明の実施形態の詳細>
以下、本発明に係るガラス母材の昇降装置の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。以下の説明に用いる各図面では、説明の便宜のために縮尺を適宜変更している。
<Details of Embodiment of the Present Invention>
Hereinafter, an example of an embodiment of a glass base material raising / lowering device according to the present invention will be described with reference to the drawings. In each drawing used for the following description, the scale is appropriately changed for convenience of description.

ガラス母材の製造方法としては、最初に四塩化ケイ素等のガラス原料ガスを酸水素バーナーに供給してシリカ微粒子を生成し、反応容器内のガラスロッドに吹き付けてガラス微粒子堆積体を製造する方法(VAD法やOVD法)が知られている。ガラス微粒子堆積体が製造された後に、脱水および焼結工程においてガラス微粒子堆積体を炉心管内に挿入し、炉心管内を塩素ガス等の脱水ガス雰囲気で満たして昇温しガラス微粒子堆積体を脱水した後、さらに温度を上げて焼結する。   As a method for producing a glass base material, first, a glass raw material gas such as silicon tetrachloride is supplied to an oxyhydrogen burner to produce silica fine particles and sprayed onto a glass rod in a reaction vessel to produce a glass fine particle deposit. (VAD method and OVD method) are known. After the glass fine particle deposit is manufactured, the glass fine particle deposit is inserted into the furnace core tube in the dehydration and sintering process, and the furnace core tube is filled with a dehydrated gas atmosphere such as chlorine gas to raise the temperature and dehydrate the glass fine particle deposit. After that, the temperature is further increased and sintering is performed.

図1は、ガラス母材の昇降装置を含むガラス母材製造装置の概略図であり、図2は、図1に示すガラス母材の昇降装置のA−A線断面図である。なお、図2においては後述の反応容器やクラッド用バーナーの図示は省略している。
図1および図2に示すように、本実施形態に係るガラス母材製造装置1は、例えばOVD法によりガラスロッド5の周囲にシリカ微粒子の堆積を行いガラス母材6を作製するものである。ガラス母材製造装置1は、反応容器2を備えており、反応容器2の上方から内部にガラスロッド5が吊り下げられている。
FIG. 1 is a schematic view of a glass base material manufacturing apparatus including a glass base material lifting apparatus, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of the glass base material lifting apparatus shown in FIG. In FIG. 2, illustration of a reaction vessel and a cladding burner described later is omitted.
As shown in FIGS. 1 and 2, the glass base material manufacturing apparatus 1 according to this embodiment is for manufacturing a glass base material 6 by depositing silica fine particles around a glass rod 5 by, for example, the OVD method. The glass base material manufacturing apparatus 1 includes a reaction vessel 2, and a glass rod 5 is suspended from above the reaction vessel 2.

反応容器2には、ガラス微粒子生成用バーナーであるクラッド用バーナー3が配置されている。クラッド用バーナー3には、不図示のガス供給装置により原料ガスおよび火炎形成用ガスが供給される。クラッド用バーナー3には、原料ガスとしてSiCl、火炎形成ガスとしてHやO、バーナーシールガスとしてNなどを投入する。このクラッド用バーナー3により形成される酸水素火炎内で、火炎加水分解反応によりシリカ微粒子が生成される。生成されたシリカ微粒子がガラスロッド5の周囲に堆積されてガラス微粒子堆積体が形成されることで、所定の外径のガラス母材6が作製される。ガラス母材6の製造工程において、副生成物であるHClガス等の腐食性ガスやガラスロッド5の周囲に堆積しなかったシリカ微粒子は、反応容器2から除害装置(図示省略)に送られて処理される。 A clad burner 3 which is a burner for generating glass fine particles is disposed in the reaction vessel 2. The cladding burner 3 is supplied with a raw material gas and a flame forming gas by a gas supply device (not shown). The cladding burner 3 is charged with SiCl 4 as a source gas, H 2 or O 2 as a flame forming gas, and N 2 as a burner seal gas. In the oxyhydrogen flame formed by the cladding burner 3, silica fine particles are generated by a flame hydrolysis reaction. The generated silica fine particles are deposited around the glass rod 5 to form a glass fine particle deposit, thereby producing a glass base material 6 having a predetermined outer diameter. In the manufacturing process of the glass base material 6, corrosive gas such as HCl gas as a by-product and silica fine particles not deposited around the glass rod 5 are sent from the reaction vessel 2 to an abatement apparatus (not shown). Processed.

反応容器2の上方にはガラス母材6(ガラスロッド5)の昇降装置10が配置されている。昇降装置10は、筐体11と、駆動機構部12と、昇降機構部20とを備えている。
駆動機構部12は、昇降装置10の内部空間S内に配置されており、モータ13と、不図示の減速機やクラッチが収容されたギヤボックス14とを備えている。モータ13の出力軸にはプーリ15が固定されている。また、ギヤボックス14にもプーリ16が固定されている。モータ13に固定されたプーリ15と、ギヤボックス14に固定されたプーリ16との間には、タイミングベルト17が巻き回されている。
Above the reaction vessel 2, an elevating device 10 for the glass base material 6 (glass rod 5) is arranged. The lifting device 10 includes a housing 11, a drive mechanism unit 12, and a lifting mechanism unit 20.
The drive mechanism unit 12 is disposed in the internal space S of the lifting device 10 and includes a motor 13 and a gear box 14 in which a reduction gear and a clutch (not shown) are accommodated. A pulley 15 is fixed to the output shaft of the motor 13. A pulley 16 is also fixed to the gear box 14. A timing belt 17 is wound between a pulley 15 fixed to the motor 13 and a pulley 16 fixed to the gear box 14.

昇降機構部20は、昇降装置10から側方に向けて突出された昇降チャック21を備えている。昇降チャック21によりガラスロッド5の上端部が把持されている。また、昇降機構部20は、昇降装置10の内部空間S内において駆動機構部12と昇降機構部20とを区画するベース板22を備えている。このベース板22には、一対のスライドレール23が設けられている。昇降チャック21は、一対のスライドレール23によって上下方向へ移動可能に支持されている。また、図2の上面視において、昇降チャック21の中央部には、上下方向に延びるボールねじ24が設けられている。ボールねじ24の下部には、プーリ25が配置されている。当該プーリ25には、タイミングベルト18が巻回された回転軸19を介して、ギヤボックス14から動力が伝達される。また、ボールねじ24の下端部にはブレーキ26が設けられている。ボールねじ24が駆動機構部12のモータ13の駆動によって正逆回転されることにより、スライドレール23に支持された昇降チャック21が昇降される。昇降チャック21によりその上端部を把持されたガラスロッド5は、昇降装置10によって昇降および回転する。なお、スライドレール23、ボールねじ24、昇降チャック21のスライドレール23に支持された部分およびボールねじ24に貫通された部分を、「摺動部」と規定する。   The elevating mechanism 20 includes an elevating chuck 21 that protrudes laterally from the elevating device 10. The upper end of the glass rod 5 is held by the lifting chuck 21. The elevating mechanism unit 20 includes a base plate 22 that partitions the drive mechanism unit 12 and the elevating mechanism unit 20 in the internal space S of the elevating device 10. The base plate 22 is provided with a pair of slide rails 23. The lifting chuck 21 is supported by a pair of slide rails 23 so as to be movable in the vertical direction. In addition, in the top view of FIG. 2, a ball screw 24 extending in the vertical direction is provided at the center of the lifting chuck 21. A pulley 25 is disposed below the ball screw 24. Power is transmitted from the gear box 14 to the pulley 25 via the rotating shaft 19 around which the timing belt 18 is wound. A brake 26 is provided at the lower end of the ball screw 24. When the ball screw 24 is rotated forward and backward by driving the motor 13 of the drive mechanism unit 12, the lifting chuck 21 supported by the slide rail 23 is lifted and lowered. The glass rod 5 whose upper end is gripped by the lifting chuck 21 is lifted and rotated by the lifting device 10. The slide rail 23, the ball screw 24, the portion of the elevating chuck 21 that is supported by the slide rail 23 and the portion that is penetrated by the ball screw 24 are defined as “sliding portions”.

図1に示すように、昇降チャック21に設けられたボールねじ24の外側には、ロールカーテン27(仕切機構の一例)が設けられている。ロールカーテン27は、昇降チャック21の上下にそれぞれ配置されており、昇降チャック21に対して密閉性を保つようにボルト等で固定されている。また、筐体11の上面および下面にローラ28がそれぞれ設けられており、昇降チャック21の昇降に伴ってローラ28が回転することでロールカーテン27の巻取りや解放が行われる。   As shown in FIG. 1, a roll curtain 27 (an example of a partition mechanism) is provided outside the ball screw 24 provided in the lifting chuck 21. The roll curtains 27 are respectively disposed above and below the elevating chuck 21 and are fixed with bolts or the like so as to maintain hermeticity with respect to the elevating chuck 21. Rollers 28 are respectively provided on the upper surface and the lower surface of the housing 11, and the roll curtain 27 is wound and released as the rollers 28 rotate as the elevating chuck 21 moves up and down.

また、図2に示すように、筐体11の前面部11Aには開口部11Bが設けられており、当該開口部11Bから外側に向けて昇降チャック21が突出するとともに、当該開口部11Bの昇降チャック21以外の領域を塞ぐようにロールカーテン27が設けられている。このような構成にすることで駆動機構部12および昇降機構部20が配置された筐体11の内部空間Sが筐体11の外部に解放されないように仕切ることができる。なお、ロールカーテン27と筐体11の前面部11Aとの間は完全に密閉されているわけではなくロールカーテン27の巻取りおよび解放時に多少の隙間が生じてもよい。   As shown in FIG. 2, an opening 11 </ b> B is provided in the front surface portion 11 </ b> A of the housing 11, and the lifting chuck 21 protrudes outward from the opening 11 </ b> B, and the opening / lowering of the opening 11 </ b> B. A roll curtain 27 is provided so as to close an area other than the chuck 21. With such a configuration, the internal space S of the housing 11 in which the drive mechanism unit 12 and the lifting mechanism unit 20 are arranged can be partitioned so as not to be released to the outside of the housing 11. Note that the space between the roll curtain 27 and the front surface portion 11A of the housing 11 is not completely sealed, and a slight gap may be generated when the roll curtain 27 is wound and released.

筐体11において、昇降チャック21とは反対側の背面部には、ファン30(圧力維持機構の一例)が設置されている。本例においては、筐体11の背面部に上下2つのファン30が配置されているが、ファン30の数や配置はこれに限られない。ファン30により筐体11の内部空間Sに外部から空気が送り込まれる。ファン30により内部空間S内に送り込まれた空気は、ロールカーテン27と筐体11の前面部11Aとの間に生じる隙間から外部へ放出される。これにより、筐体11の内部空間Sは外部よりも圧力が高い状態が維持されるとともに、ロールカーテン27と筐体11の前面部11Aとの間に生じる隙間から腐食性ガスやシリカ微粒子が内部空間Sに侵入することを防ぐことができる。
なお、反応容器2やガラス微粒子堆積体(ガラス母材6)から発生する腐食性ガスやシリカ微粒子をファン30により昇降装置10内部に取り込んでしまわないようにするために、ファン30は反応容器2から離れた筐体11の背面部または側面部に取り付けることが好ましい。
In the housing 11, a fan 30 (an example of a pressure maintaining mechanism) is installed on the back surface opposite to the lifting chuck 21. In this example, the upper and lower two fans 30 are arranged on the back surface of the housing 11, but the number and arrangement of the fans 30 are not limited to this. Air is sent from the outside into the internal space S of the housing 11 by the fan 30. The air sent into the internal space S by the fan 30 is released to the outside through a gap generated between the roll curtain 27 and the front surface portion 11 </ b> A of the housing 11. As a result, the internal space S of the housing 11 is maintained in a state where the pressure is higher than the outside, and corrosive gas and silica fine particles are internally contained from the gap generated between the roll curtain 27 and the front surface portion 11A of the housing 11. Intrusion into the space S can be prevented.
In order to prevent the corrosive gas and silica fine particles generated from the reaction vessel 2 and the glass fine particle deposit (glass base material 6) from being taken into the elevating device 10 by the fan 30, the fan 30 is used in the reaction vessel 2. It is preferable to attach to the back surface part or side surface part of the housing | casing 11 away from.

上述の通り、ガラス母材の製造工程においては、シリカ微粒子の生成およびガラスロッドへの堆積は反応容器内で行われ、HClガス等の腐食性ガスや堆積しなかったシリカ微粒子は反応容器から除害装置に送られて処理されるようになっているが、反応容器内の圧力変動などが原因で反応容器の上部などから腐食性ガスやシリカ微粒子が微量に漏れる場合がある。   As described above, in the glass base material manufacturing process, silica fine particles are generated and deposited on the glass rod in the reaction vessel, and corrosive gas such as HCl gas and silica fine particles not deposited are removed from the reaction vessel. Although it is sent to a harmful apparatus for processing, a corrosive gas or silica fine particles may leak from the upper part of the reaction vessel or the like due to pressure fluctuation in the reaction vessel.

そこで、本実施形態の昇降装置10においては、ガラス母材6を昇降する昇降機構部20と昇降機構部20を動作させるための駆動機構部12が収容された筐体11の内部空間Sを外部と仕切るロールカーテン27と、内部空間Sの圧力を外部よりも高い圧力に維持するためのファン30と、を備え、反応容器2から漏れた腐食性ガスやシリカ微粒子が昇降装置10の筐体11内に侵入することを防止している。これにより、腐食性ガスやシリカ微粒子が駆動機構部12のモータ13やプーリ15,16、昇降機構部20のスライドレール23やボールねじ24等に接することを防止することができる。その結果、昇降装置10の腐食や故障を回避することができ、長期にわたって安定したガラス母材6の製造を行うことが可能となる。   Therefore, in the lifting device 10 of the present embodiment, the interior space S of the casing 11 in which the lifting mechanism unit 20 for lifting the glass base material 6 and the drive mechanism unit 12 for operating the lifting mechanism unit 20 are accommodated is externally provided. A roll curtain 27 for partitioning and a fan 30 for maintaining the pressure in the internal space S at a higher pressure than the outside, and the corrosive gas and silica particles leaked from the reaction vessel 2 are removed from the casing 11 of the lifting device 10. To prevent intrusion. Thereby, it is possible to prevent corrosive gas and silica fine particles from coming into contact with the motor 13 and the pulleys 15 and 16 of the drive mechanism unit 12, the slide rail 23 of the elevating mechanism unit 20, the ball screw 24, and the like. As a result, corrosion and failure of the lifting device 10 can be avoided, and the glass base material 6 that is stable over a long period can be manufactured.

特に、昇降機構部20のスライドレール23やボールねじ24には昇降チャック21を上下動させるための摺動部があり、この摺動部の表面が錆びたり、シリカ微粒子が付着したりすると、摺動部が劣化または摩耗して精度低下や故障につながる。
これに対して、本実施形態においては、ロールカーテン27により外部と仕切られた内部空間S内に昇降機構部20の摺動部(スライドレール23、ボールねじ24、昇降チャック21のスライドレール23に支持された部分およびボールねじ24に貫通された部分)が配置されている。そのため、摺動部の劣化を防止して、ガラスロッド5の昇降動作の精度を維持することができる。
In particular, the slide rail 23 and the ball screw 24 of the elevating mechanism 20 have a sliding portion for moving the elevating chuck 21 up and down. If the surface of the sliding portion rusts or silica particles adhere, The moving part deteriorates or wears down, leading to reduced accuracy and failure.
On the other hand, in the present embodiment, the sliding portion (the slide rail 23, the ball screw 24, and the slide rail 23 of the lifting chuck 21) of the lifting mechanism portion 20 is placed in the internal space S partitioned from the outside by the roll curtain 27. The supported part and the part penetrated by the ball screw 24) are arranged. Therefore, deterioration of a sliding part can be prevented and the precision of the raising / lowering operation | movement of the glass rod 5 can be maintained.

なお、ガラス微粒子堆積工程におけるガラス母材製造装置1の昇降装置10を例に本実施形態の構成を説明したが、例えば、ガラス母材の脱水焼結工程におけるガラス母材の昇降装置に本実施形態の構成を適用することができる。脱水焼結構成においても炉心管内の脱水ガスが炉心管上部から微量に漏れる場合があり、こうした場合でも本実施形態の構成を適用することでガラス母材の昇降装置の腐食や故障を防止することができる。   In addition, although the structure of this embodiment was demonstrated to the example of the raising / lowering apparatus 10 of the glass base material manufacturing apparatus 1 in a glass particulate deposition process, this implementation is carried out to the glass base material raising / lowering apparatus in the glass base material dehydration sintering process, for example. A configuration of forms can be applied. Even in the dehydration and sintering configuration, a small amount of dehydrated gas in the core tube may leak from the upper portion of the core tube, and even in such a case, the configuration of the present embodiment can be applied to prevent corrosion and failure of the glass base material lifting device. Can do.

さらに、本実施形態の昇降装置に係る構成は、ガラス母材の表面を火炎研磨する工程で用いられる縦型火炎研磨機等にも適用することができる。火炎研磨工程とは、酸水素バーナでガラス母材を加熱することによりガラス母材の表面のSiOをSiO(ガス)化して、ガラス母材表面の凹凸を滑らかにし、清浄・平滑化する工程である。火炎研磨工程において、ガラス母材表面のSiOを気化させる際にシリカ微粒子が発生して外部に放出される。そのため、縦型火炎研磨機において用いられるガラス母材の昇降装置に本実施形態の構成を採用して昇降装置内へのシリカ微粒子の侵入を防ぐことが非常に有用である。 Furthermore, the structure which concerns on the raising / lowering apparatus of this embodiment is applicable also to the vertical flame polisher etc. which are used at the process of flame-polishing the surface of a glass base material. The flame polishing step is a step of heating the glass base material with an oxyhydrogen burner to convert SiO 2 on the surface of the glass base material into SiO (gas), thereby smoothing the irregularities on the surface of the glass base material and cleaning / smoothing. It is. In the flame polishing step, silica particles are generated and released to the outside when SiO 2 on the surface of the glass base material is vaporized. Therefore, it is very useful to employ the configuration of the present embodiment in a glass base material lifting device used in a vertical flame polisher to prevent silica fine particles from entering the lifting device.

(実施例)
ガラス母材の火炎研磨工程で用いられる縦型火炎研磨機において、ガラス母材の昇降装置の駆動機構部および昇降機構部をロールカーテンで仕切り、仕切られた内部に外気を吹き込むファンを設置した。このような縦型火炎研磨機において、定期的に駆動機構部の回転部や摺動部のグリスアップを行いつつ、ガラス母材表面の火炎研磨を連続して行った。その結果、100本のガラス母材を連続して火炎研磨しても駆動機構部等に故障が発生することはなかった。
(Example)
In the vertical flame polisher used in the flame polishing process of the glass base material, the drive mechanism part and the lift mechanism part of the glass base material lifting device are partitioned by a roll curtain, and a fan that blows outside air into the partitioned interior is installed. In such a vertical flame polisher, the surface of the glass base material was continuously subjected to flame polishing while the rotating portion and the sliding portion of the drive mechanism portion were periodically greased. As a result, even if 100 glass base materials were continuously flame-polished, no failure occurred in the drive mechanism or the like.

(比較例)
一方、駆動機構部や昇降機構部が外気と仕切られていない縦型火炎研磨機を用い、上記実施例と同様に、定期的に駆動機構部の回転部や昇降機構部の摺動部のグリスアップを行いつつ、ガラス母材表面の火炎研磨を連続して行った。その結果、30本のガラス母材を連続して火炎研磨した段階で、ガラス母材の振動が大きくなり所望の厚さで研磨することができなくなった。原因としては、駆動機構部や昇降機構部へのシリカ微粒子の侵入によるスライドレールおよびボールねじの錆びやシリカ微粒子の付着により、振動が大きくなったことが考えられる。
(Comparative example)
On the other hand, using a vertical flame polisher in which the drive mechanism unit and the lifting mechanism unit are not partitioned from the outside air, the grease of the rotating part of the driving mechanism unit and the sliding part of the lifting mechanism unit is periodically periodically as in the above embodiment. While performing up, flame polishing of the surface of the glass base material was continuously performed. As a result, at the stage where 30 glass base materials were flame-polished continuously, the vibration of the glass base material increased and it was impossible to polish at a desired thickness. As a cause, it is thought that the vibration increased due to the rust of the slide rail and the ball screw due to the intrusion of the silica fine particles into the drive mechanism and the lifting mechanism and the adhesion of the silica fine particles.

上記実施例および比較例により、ガラス母材の昇降装置にロールカーテンやファンを設置することで、昇降装置の内部にシリカ微粒子や腐食性ガスが侵入することを防止でき、駆動機構部の回転部や昇降機構部の摺動部等が腐食あるいは劣化することによる昇降装置の故障を防止できることが確認できた。   By installing a roll curtain and a fan in the glass base material lifting device according to the above-mentioned examples and comparative examples, it is possible to prevent silica fine particles and corrosive gas from entering the inside of the lifting device, and the rotating part of the drive mechanism unit. It has been confirmed that failure of the lifting device due to corrosion or deterioration of the sliding portion of the lifting mechanism and the like can be prevented.

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。また、上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。   While the invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the invention. In addition, the number, position, shape, and the like of the constituent members described above are not limited to the above-described embodiments, and can be changed to a number, position, shape, and the like that are suitable for carrying out the present invention.

上記の実施形態においては筐体11の内部空間Sの圧力を筐体11の外部の圧力よりも高い状態に維持する圧力維持機構として、ファン30を設置しているが、この例に限られない。
図3に示す昇降装置110のように、ファン30の代わりに筐体111へ配管40を連結し、圧縮空気などの圧縮ガスを筐体111の外部から配管40により内部空間Sに導入する構成としても良い。配管40を通じて筐体111内に導入された圧縮ガスは、筐体111から(例えば、ロールカーテン27と筐体111との間に生じる隙間から)外部に放出されることで、昇降装置110の内部空間Sの圧力を外部より高く維持することができる。なお、配管40の内部等にエアフィルターを設け、配管40を通る圧縮ガスから塵埃などを取り除き、清浄空気にすることが好ましい。
In the above embodiment, the fan 30 is installed as a pressure maintaining mechanism that maintains the pressure in the internal space S of the housing 11 higher than the pressure outside the housing 11, but is not limited to this example. .
As in the lifting device 110 shown in FIG. 3, the piping 40 is connected to the housing 111 instead of the fan 30, and compressed gas such as compressed air is introduced into the internal space S from the outside of the housing 111 through the piping 40. Also good. The compressed gas introduced into the casing 111 through the pipe 40 is discharged to the outside from the casing 111 (for example, from a gap generated between the roll curtain 27 and the casing 111), so that the inside of the lifting device 110 The pressure in the space S can be maintained higher than the outside. In addition, it is preferable to provide an air filter in the inside of the pipe 40 and remove dust from the compressed gas passing through the pipe 40 to obtain clean air.

また、ロールカーテン27の代わりに、例えば蛇腹式のカバーを昇降チャック21の上下に設置して、この蛇腹式カバーを外部との仕切機構として用いても良い。   Further, instead of the roll curtain 27, for example, bellows type covers may be installed on the upper and lower sides of the elevating chuck 21, and the bellows type covers may be used as a partitioning mechanism with the outside.

なお、上記の実施形態においては、ロールカーテン27は、駆動機構部12および昇降機構部20を外部と仕切るようにボールねじ24の外側において昇降チャック21の上下に設けられているが、この例に限られない。駆動機構部12と昇降機構部20との間を区切るベース板22を外部との仕切機構として用いて、少なくとも駆動機構部12への腐食性ガスやシリカ微粒子の侵入を防ぐ構成としても良い。   In the above embodiment, the roll curtain 27 is provided above and below the lifting chuck 21 outside the ball screw 24 so as to partition the drive mechanism 12 and the lifting mechanism 20 from the outside. Not limited. The base plate 22 that divides the drive mechanism unit 12 and the lifting mechanism unit 20 may be used as a partitioning mechanism with the outside, so that at least corrosive gas and silica fine particles can be prevented from entering the drive mechanism unit 12.

さらに、上記実施形態においては、昇降装置10の筐体11にファン30を設置して昇降装置10の内部空間Sの圧力を外部よりも高くしているが、この例に限られない。ファン30を設けずに、ロールカーテン27のみを設置して腐食性ガスやシリカ微粒子の侵入を防ぐ構成としても良い。   Furthermore, in the said embodiment, although the fan 30 is installed in the housing | casing 11 of the raising / lowering apparatus 10, and the pressure of the internal space S of the raising / lowering apparatus 10 is made higher than the exterior, it is not restricted to this example. Instead of providing the fan 30, only the roll curtain 27 may be installed to prevent the invasion of corrosive gas and silica fine particles.

1:ガラス母材製造装置
2:反応容器
3:クラッド用バーナー
5:ガラスロッド
6:ガラス母材
10,110:昇降装置
11,111:筐体
12:駆動機構部
13:モータ
14:ギヤボックス
20:昇降機構部
21:昇降チャック
22:ベース板
23:スライドレール
24:ボールねじ
27:ロールカーテン
30:ファン
40:配管
1: Glass base material manufacturing apparatus 2: Reaction vessel 3: Clad burner 5: Glass rod 6: Glass base material 10, 110: Lifting device 11, 111: Case 12: Drive mechanism 13: Motor 14: Gear box 20 : Lift mechanism 21: Lift chuck 22: Base plate 23: Slide rail 24: Ball screw 27: Roll curtain 30: Fan 40: Piping

Claims (6)

反応容器内のガラス母材を昇降させる昇降装置であって、
前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
少なくとも前記駆動機構部を含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構であって、前記反応容器から離隔して配置されている仕切機構と、
前記内部空間の圧力を外部より高い圧力に維持する圧力維持機構と、
を備え、
前記仕切機構により、前記反応容器から漏れた腐食性ガスまたはシリカ微粒子が前記昇降装置の内部に侵入することが防止される、ガラス母材の昇降装置。
A lifting device that lifts and lowers the glass base material in the reaction vessel,
An elevating mechanism for elevating and lowering the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partitioning mechanism for partitioning an internal space of the lifting device including at least the drive mechanism part from the outside, the partitioning mechanism being spaced apart from the reaction vessel;
A pressure maintaining mechanism for maintaining the pressure in the internal space at a higher pressure than the outside;
With
The glass base material elevating device, wherein the partition mechanism prevents corrosive gas or silica fine particles leaked from the reaction vessel from entering the elevating device.
炉心管内のガラス母材を昇降させる昇降装置であって、
前記ガラス母材を昇降する昇降機構部と、
前記昇降機構部を動作させるための駆動機構部と、
少なくとも前記駆動機構部を含む前記昇降装置の内部空間を外部と仕切る仕切機構であって、前記反応容器から離隔して配置されている仕切機構と、
前記内部空間の圧力を外部より高い圧力に維持する圧力維持機構と、
を備え、
前記仕切機構により、前記炉心管から漏れた脱水ガスが前記昇降装置の内部に侵入することが防止される、ガラス母材の昇降装置。
A lifting device that lifts and lowers the glass base material in the furnace core tube,
An elevating mechanism for elevating and lowering the glass base material;
A drive mechanism for operating the elevating mechanism;
A partitioning mechanism for partitioning an internal space of the lifting device including at least the drive mechanism part from the outside, the partitioning mechanism being spaced apart from the reaction vessel;
A pressure maintaining mechanism for maintaining the pressure in the internal space at a higher pressure than the outside;
With
The glass base material elevating device, wherein the partition mechanism prevents dehydrated gas leaked from the furnace core tube from entering the elevating device.
前記内部空間に、前記昇降機構部の摺動部が収容されている、請求項1または請求項2に記載のガラス母材の昇降装置。   The glass base material lifting / lowering apparatus according to claim 1 or 2, wherein a sliding portion of the lifting mechanism is accommodated in the internal space. 前記仕切機構はロールカーテンである、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のガラス母材の昇降装置。   The glass base material lifting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the partition mechanism is a roll curtain. 前記圧力維持機構は、前記内部空間に空気を送り込むためのファンである、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のガラス母材の昇降装置。   The said pressure maintenance mechanism is a raising / lowering apparatus of the glass base material as described in any one of Claims 1-4 which is a fan for sending air into the said interior space. 前記圧力維持機構は、前記内部空間に圧縮ガスを導入する機構である、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のガラス母材の昇降装置 The said pressure maintenance mechanism is a raising / lowering apparatus of the glass base material as described in any one of Claims 1-4 which is a mechanism which introduces compressed gas in the said internal space .
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