JP6564942B2 - ウエハ芯出し用器具 - Google Patents

Description

本開示は、プロセス制御システムに関する。特に、本開示は、工業プロセスにおけるウエハとフランジに関する。

プロセスプラントでは、流体が配管を通して種々の処理エレメントに運ばれる。配管は、嵌合によって一緒に結合される別々の管部分を含む。センサやバルブのようなエレメントは、２つの管部分の付属品の間に配置されることによって、配管の中に導入することができる。

通常の構成においては、ウエハが２つの管部分の間に配置される。ウエハは、少なくとも１つの流体流れ通路の周りに環状に配置される外側リングを含む。１つまたはそれより多い数の孔が外側リングを半径方向に通る。センサは、その半径方向の孔を通して導入されて流体と相互作用することができ、および／または、配管は、その半径方向の孔の中に導入されて配管の外側に搭載されたセンサに流体を導くことができる。また、オリフィス板、平均ピトー管、その他の流れ障害物、あるいはプロセス流体と相互作用する他のコンポーネントをウエハリングの流体流れ通路内に配置することができる。

幾らかのウエハは、２つのフランジ継手の間にウエハリングを挟み、それからナットと鋲あるいはボルトで、２つのフランジ継手を一緒に結合することによって、プロセス配管の間に据え付けられる。フランジ継手は、一般に、管端部に溶接される継手管、管の内側孔に芯出しされる孔、その孔の周りに広がる環状シーリング部分、およびその環状シーリング部分の周りに広がるフランジ部分を含む。フランジ部分は、その継手をもう１つの継手に結合するための鋲を受け入れる複数の貫通孔を有する平坦な表面を含む。環状シーリング部分は、継手接合で１つまたはそれより多い数のエレメントと一緒になってそれに対するシールをするように設計されたシール表面を有する。

ウエハを利用する測定装置は、それが与える測定値に対して規定の精度レベルを有する。しかしながら、それらの精度レベルは、ウエハが隣接する管部分の中心に対して適切に芯出しされているならば、確かと言えるだけである。ウエハの中心が一定の中心ずれ許容値より大きく管部分の中心からずれているとすると、その測定装置は、規定の精度で測定値を提供することができない。

工業プロセスアセンブリにおけるウエハのための芯出し用器具は、ウエハの外側表面に合致するように形成された内側表面、少なくとも２つのカムを備えた外側表面、および内側表面を外側表面に連結する２つの端部を含む。２つの端部は、芯出し用器具がウエハの外側表面の上に位置されるとき、芯出し用器具がウエハの周りに１８０度を超えて広がるように位置される。

さらなる実施形態では、プロセス配管を通るプロセス流体を運ぶための工業プロセスアセンブリは、ウエハ、およびそのウエハに接触する内側表面を備えた芯出し用器具を含む。その芯出し用器具は、内側表面とウエハとの間の接触によって外方に引き伸ばされる。

なおさらなる実施形態では、プロセス制御システムの２つの管フランジの間に位置されるウエハのための芯出し用リングは、ウエハとカム表面とを接触させるための内側表面を備えた第１のコンポーネント、およびウエハとカム表面とを接触させるための内側表面を備えた第２のコンポーネントを含む。第１のコンポーネントのカム表面および第２のコンポーネントのカム表面は、２つの管フランジの間に伸びる鋲に２つの別々の力を及ぼし、その２つの別々の力が少なくとも部分的に互いに対抗するように、位置することができ。

工業プロセス制御システムの一部を示す簡略図である。 芯出し用コンポーネントの透視図である。 緩められた状態にある芯出し用コンポーネントを備えた図１のプロセス制御システムの一部を示す断面図である。 作動状態にある芯出し用コンポーネントを備えた図１のプロセス制御システムの一部を示す断面図である。

図１は、工業プロセス制御システムの一部を示す透視図である。図１において、プロセスアセンブリ１０１は、プロセス流体を運ぶ２つの管部分１０４，１０６のそれぞれの端部に溶接された２つのフランジ継手１４６、１４８の間の位置に示されている。フランジ継手１４６，１４８は、鋲１３４，１３６のような鋲またはボルト、およびナット１３８，１４０、１４２，１４４のようなナットの集りによって一緒に保持される。

この実施形態では、アセンブリ１０１は、ウエハ１０２および芯出し用リングすなわち芯出し用器具１２９を含む。ウエハ１０２は、内側孔１１４（図３，４に示されている）を有するウエハリング１１２、外側表面すなわち外周面１１６、中空柱１１０、および搭載面１０８を含む。中空柱１１０およびウエハリング１１２における１つまたはそれより多い数の導管は、センサが内側孔１１４に位置できるようにし、および／または、流体が内側孔とプロセス流体に対するプロセス変数を決定するために用いることができる搭載板１０８との間に流通できるようにする。プロセス変数送信機１００は、搭載板１０８の上に搭載され、プロセス流体の１つまたはそれより多い数のパラメータを測定して、１つまたはそれより多い数のプロセス変数に対する値を生成する。

プロセス変数送信機１００は、制御室１０５と通信して、制御室１０５に１つまたはそれより多い数のプロセス変数を提供する。プロセス変数は、例えば、圧力、温度、流量レベル、ｐＨ伝導率、濁り度、密度、濃度、化学成分などを含む。プロセス変数送信機１００は、有線および無線通信の両者を含む種々の技術を使用して、抵抗１０５Ａと電力源１０５Ｂで図示されている制御室１０５と通信することができる。１つの通常の有線通信技術は、２線式プロセス制御ループ１０３として知られているものを使用する。それでは、１対の線が情報を搬送するために使用され、また、送信機１００に電力を供給するために使用される。情報を伝送するための１つの技術は、プロセス制御ループ１０３を通して流れる電流レベルを４ｍＡと２０ｍＡの間で制御することによるものである。４−２０ｍＡの範囲の電流の値は、対応するプロセス変数の値にマッピングすることができる。デジタル通信プロトコルは、例えば、ＨＡＲＴ(登録商標)(a hybrid physical layer consisting of digital communication signals superimposed on a standard 4-20mA analog signal)、ＦＯＵＮＤＡＴＩＯＮフィールドバス(商標)(an all-digital communication protocol promulgated by the Instrument Society of America in 1992)、プロフィバス通信プロトコルなどを含む。ＩＥＣ６２５９１に従うＷｉｒｅｌｅｓｓＨＡＲＴ(登録商標)を含む無線周波数通信技術などの無線プロトコルもまた採用することができる。

プロセス変数送信機１００によって測定されたプロセス変数が正確であることを確実にするため、ウエハリング１１２の内側孔１１４は、管部分１０４，１０６の中心に対して芯出しされなければならない。種々の実施形態によれば、ウエハリング１１２は、芯合わせ用器具すなわち芯出し用器具１２９を用いて芯出しされる。幾らかの実施形態では、芯出し用器具１２９は、２つの芯出し用コンポーネント１３０，１３２で構成される。他の実施形態では、芯出し用器具１２９は、芯出し用コンポーネント１３０，１３２のうちの１つで構成される。芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、ウエハリング１１２の外側表面１１６の周りに置かれ、鋲１３４、１３６のような複数の鋲を嵌合して、ウエハリング１１２の中心を管部分１０４，１０６の中心に合わせる、すなわち芯出しする。芯出し用コンポーネント１３０，１３２はそれぞれ、部分的リングであり、ウエハ１０２の周りに１８０度より大きいが３６０度より小さい角度で広がっている。各部分的リングは、外側表面１１６の周りに置かれたとき、外方に引き伸ばされ、各芯出し用コンポーネントの内側表面は、外側表面１１６に嵌合し、芯出し用コンポーネント１３０、１３２の外側表面１１６に対する半径方向の動きが防がれる。

図２は、芯出し用コンポーネントすなわち芯合わせ用コンポーネント１３０の透視図である。殆どの実施形態では、芯出し用コンポーネントすなわち芯合わせ用コンポーネント１３２は、芯出し用コンポーネント１３０と同じであるが、以下に説明するように、ウエハ１０２上に設置されたとき、芯出し用コンポーネント１３０と比べると、反転している。

図２に示されているように、芯出し用コンポーネント１３０は、内側表面２００、外側表面２０４、および内側表面２００を外側表面２０４に連結する２つの端部２０６，２０８を有する部分的環状リングである。端部２０６，２０８は、内側表面２０４が１８０度より大きい角度２０２に広がるように位置されている。図２において、内側表面２００は、円形である。他の実施形態において、内側表面２００は、内側表面２００がウエハリング１１２の外側表面の形の少なくとも一部に適合するように形成される限りで、他の形を持つことができる。

この実施形態では、外側表面２０４は、カム表面すなわちカム２１０，２１２，２１４，２１６，２１８を含んでいる。各カム表面、簡単にして各カムは、内側表面に対して傾斜がつけられている。カム２１０は、孤形表面２２０と外側表面２０４のくぼみ表面２２２とによってカム２１２から分離されている。カム２１２は、孤形表面２２４とくぼみ表面２２６とによってカム２１４から分離されている。カム２１４は、ハンドル２２８と外側表面２０４のくぼみ表面２３０とによってカム２１６から分離されている。カム２１６は、孤形表面２３２とくぼみ表面２３４とによってカム２１８から分離されている。幾らかの実施形態では、くぼみ表面２２２，２２６，２３４は、それぞれの弧形表面から内方に延びる線形部分と、その線形部分からカム表面２１６に延びる曲線部分を有している。ハンドル２２８は、破線２４０で示されている円形境界を越えて外方に延びており、幾らかの実施形態によれば、孤形表面２２０，２２４，２３２は、その円形境界に沿って存在している。内側表面２００の中心２６８からくぼみ表面２２２，２２６，２３０，２３４の最内側部分への距離２７０は、与えられたフランジサイズ上の最小ボルト円に基づいて設定され、一方、中心２６８から孤形表面２２０，２２４，２３２の円形境界２４０への距離２７２は、与えられたフランジサイズ上の最大ボルト円に基づいて設定される。ここで、ボルト円とは、フランジにおける各ボルト孔の中心を含む円のことである。

幾らかの実施形態によれば、外側表面１１６に接触する内側表面２００の部分は、外側表面１１６の名目上の外側直径に厳密に一致する名目上の内側直径を有し、あるいは外側表面１１６の名目上の外側直径より小さい名目上の内側直径を有する。これは、製造上での変動があってもウエハが芯出し用器具内に嵌合することを確実にするために、内側表面２００の名目上の内側直径が外側表面１１６の名目上の外側直径より大きいように決められている従来の芯出し用器具と異なる。芯出し用器具の内側直径がウエハの外側直径より大きいことは、芯出し用器具とウエハとの間に空間を生成し、ウエハが芯出し用器具の中心に位置されないで芯出しされている間に芯出し用器具の内側表面の底に落下しやすいので好ましくない。このように、芯出し用器具とウエハとの間の余分な空間は、芯出し誤差を生成し、その芯出し誤差は、受容できる許容を超えた最終的な芯出しを引き起こすことがある。

芯出し用コンポーネントの名目上の内側直径をウエハの名目上の外側直径と同じ、またはそれより小さく決めることによって、この実施形態は、芯出し用コンポーネントとウエハとの間の空間によって引き起こされる芯出し誤差を低減あるいは除去する。しかしながら、芯出し用コンポーネントの名目上の内側直径がウエハの名目上の外側直径と同じに決められると、芯出し用コンポーネント、ウエハ、あるいはその両者における製造上での変動により、ウエハの外側直径より実際上で小さい内側直径を有する芯出し用コンポーネントとなることがある。芯出し用コンポーネント１３０は、端部２０６，２０８の方向２５０，２５２の外方への動きを通してウエハ１０２の外側表面１１６に接触することによって伸びる、すなわち広がることができるので、そのような製造上での変動を許容する。芯出し用コンポーネント１３０は、伸びる、すなわち広がることができるので、ウエハ１０２と芯出し用コンポーネント１３０との間に空間は、存在しなくてよいであろう。この空間をなくすことによって、芯出し用コンポーネント１３０は、管部分１０４，１０６の中心にウエハ１０２を、よりよく芯合わせすることができる。

図３は、図１のライン３を通して得られる図１のアセンブリの図を示している。ここでは、プロセス変数送信機１００は取り外されている。図３において、芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、図３に示されているように、休止状態にあり、芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、ウエハ１０２の外側表面１１６の周りに位置されているが、鋲あるいはボルトの何れにも接触していない。幾らかの実施形態では、芯出し用コンポーネント１３０，１３２の両方が外側表面１１６の周りに適合して伸びている、すなわち広がっている。芯出し用コンポーネント１３０は、芯出し用コンポーネント１３０と比べると反転している芯出し用コンポーネント１３２と重なり合い、芯出し用コンポーネント１３０に対するカム表面は、芯出し用コンポーネント１３２のカム表面と異なる方向に向いて重なり合う。芯出し用コンポーネント１３０，１３２はそれぞれ、ウエハ１０２の外側表面１１６の周りにその半分あるいは１８０度より大きい角度で広がっている。

図３の緩められた位置では、芯出し用コンポーネント１３０のくぼみ表面２２２，２２６，２３０，２３４および芯出し用コンポーネント１３２のくぼみ表面２３４のような、芯出し用コンポーネント１３０，１３２のくぼみ表面は、フランジ１４８のそれぞれの鋲またはボルト孔３００，３０２，３０４，３０６，３０８に整列される。フランジ１４８の孔３１０，３１２，３１４は、芯出し用コンポーネント１３０または芯出し用コンポーネント１３２のどの部分にも整列されない。幾つかの実施形態では、ウエハを適当に芯出しするために、芯出し用器具１２９は、フランジ上のボルトまたは鋲の数の半分より多くと相互作用しなければならない。緩められた状態では、フランジ１４８の開口中の鋲またはボルトは、それらの開口の底に落下することができる。このように、鋲３１６，３１８，１３６，１３４，３２６，３２４，３２２，３２０は、それぞれの開口の底で休止して示されている。

芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、ハンドル２２８を方向３６０，３６２の方に互いに動かすことによって、図３の休止状態から図４で示される作動状態に変えることができる。ハンドル２２８が動かされると、芯出し用コンポーネント１３０，１３２の各々の上のカム表面は、ボルトまたは鋲に接触し、ボルトまたは鋲を半径方向の外方に押し、ウエハ１０２をその中心位置の方へ移動させる。

例えば、芯出し用コンポーネント１３０のカム表面２１８および芯出し用コンポーネント１３２のカム表面２１０は、鋲１３４に接触してそれぞれ方向４００，４０２の力を鋲１３４に与える。それらの力は、部分的に互いに対抗する、すなわち反対であり、鋲１３６に半径方向の外方の正味の力を引き起こす。この半径方向の外方の力は、鋲１３４を半径方向の外方の位置に位置させる。同様に、芯出し用コンポーネント１３０のカム表面２１６および芯出し用コンポーネント１３２のカム表面２１２はそれぞれ、方向４０６，４０８の力を与える。それらの力は、互いに部分的に対抗する、すなわち反対であり、鋲１３６にそれを半径方向の外方の位置４１０に位置させる半径方向の外方の正味の力を引き起こす。芯出し用コンポーネント１３０，１３２のカム表面２１４はそれぞれ、方向４１２，４１４の力を適用する。それらの力は、少なくとも部分的に互いに対抗する、すなわち反対であり、鋲３１８を半径方向の外方の位置４１６に向けて押す半径方向の外方の正味の力を引き起こす。芯出し用コンポーネント１３０のカム表面２１２および芯出し用コンポーネント１３２のカム表面２１６はそれぞれ、方向４１８，４２０の力を与える。それらの力は、互いに部分的に対抗する、すなわち反対であり、鋲３１６を半径方向の外方の位置４２１に位置させる半径方向の外方の正味の力を引き起こす。芯出し用コンポーネント１３０のカム表面２１０および芯出し用コンポーネント１３２のカム表面２１８はそれぞれ、方向４２２，４２４の力を適用する。それらの力は互いに部分的に対抗する、すなわち反対であり、鋲３２０を半径方向の外方の位置４２６に動かす半径方向の外方の正味の力を引き起こす。

芯出し用コンポーネント１３０，１３２が方向３６０，３６２に動くと、芯出し用コンポーネント１３０，１３２のそれぞれの内側表面２００は、ウエハが回転しないように、ウエハ１０２の外側表面に沿って滑る。芯出し用コンポーネント１３０，１３２が互いに反対方向に動くことは、ウエハ１０２の回転を防止することに役立つ。さらに、芯出し用コンポーネント１３０，１３２が方向３６０，３６２に動くと、ウエハ１０２の位置が変わり、ウエハリング１１２の中心は、管部分１０４，１０６の中心の方に動く。

芯出し用コンポーネント１３０，１３２のハンドル２２８をそれ以上一緒に、より接近させることができなくなる点の半径方向の外方の位置に鋲が到達するまで、芯出し用コンポーネント１３０，１３２のハンドル２２８は、一緒に引き寄せられる。この点で、ウエハリング１１２の中心は、管部分１０４，１０６の開口に芯出しされる。

ウエハ１０２がフランジ１４６，１４８の間に設置されるとき、芯出し用コンポーネント１３０，１３２が図３の緩められた状態にある間では、ナットは、鋲にゆるく通される。芯出し用器具１２９を図４の作動状態に置くために、そこで芯出し用コンポーネント１３０，１３２のハンドル２２８が引き寄せられる。芯出し用コンポーネント１３０，１３２のハンドル２２８を一緒に、より接近させることができなくなったとき、鋲上のナットが締め付けられて、それらの位置が固定され、フランジ１４６，１４８の間のウエハ１０２の位置が固定される。

図３および図４では、２つの芯出し用コンポーネントが使用されたが、他の実施形態では、ウエハを芯出しするために単一の芯出し用コンポーネントが芯出し用リング１２９として使用されてもよい。芯出し用コンポーネント１３０が単独で使用されるとき、ハンドル２２８を方向３６０に動かすことによって、芯出し用コンポーネント１３０は、図３の休止状態から図４の作動状態に動かされる。芯出し用コンポーネント１３２が単独で使用されるとき、ハンドル２２８を方向３６２に動かすことによって、芯出し用コンポーネント１３２は、図３の休止状態から図４の作動状態に変えられる。単一の芯出し用コンポーネントを使用することができるが、２つの芯出し用コンポーネントを有することは、ボルトまたは鋲に、より多くの接触点を与え、芯出し用器具とウエハとの間に、より多くの接触領域を与え、そして技術者が片方の手でフランジ鋲上のナットを締め付けている間、２つの芯出し用コンポーネントのハンドル２２８を一緒に他方の手で押し込むことができるようにする、という利点を与える。

従来の芯出し用リングは、以下の寸法の何れかが許容範囲を超えると、ウエハを申し分なく芯出しすることができない。：芯出し用器具の内側直径，ウエハの外側直径，鋲円の直径（その円に沿って複数の鋲の孔の中心が存在する），鋲の孔の直径，鋲の直径。実際上では、各寸法の名目上の大きさからの変動が同時に起きる、すなわち積み上がると、従来の芯出し用リングでは、上記寸法の全てが許容範囲内にあるにも拘わらず、ウエハを適切に芯出しすることができない。これは、特に、ウエハの芯出しにおいて許容できるオフセットがより小さくなるが上記寸法に対する許容が同じままである小さいラインサイズの場合に当てはまる。上記芯出し用コンポーネント１３０，１３２および芯出し用器具１２９は、上に挙げられた寸法における許容を負担し、それらの寸法が許容範囲内であるが名目上の値を超えるに拘わらず、ウエハを理論的に適切に芯出しする。

芯出し用器具１３０，１３２は、異なるラインサイズおよびウエハ用に大きさを変えることができる。単一の芯出し用コンポーネントまたは芯出し用器具は、マルチＡＮＳＩ圧力クラス（ｍｕｌｔｉｐｌｅ ＡＮＳＩ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｌａｓｓｅｓ）およびマルチＤＩＮ圧力クラス（ｍｕｌｔｉｐｌｅ ＤＩＮ ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｃｌａｓｓｅｓ）用に用いることができる。

芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、別々の独立したコンポーネントとして上記されたが、他の実施形態では、その２つのコンポーネントは、リンクまたはピン、および／またはハンドルを一緒に保持するラチェットまたは万力グリップ（ｖｉｓｅ−ｇｒｉｐ）機構により互いに結合される。さらに、芯出し用コンポーネント１３０，１３２の内側表面２００の全体がウエハの外側表面１１６に接触しているとして上記されたが、他の実施形態では、内側表面２００がタブを含み、そのタブだけが外側表面１１６に接触し、一方、内側表面２００の残りの部分は、外側表面１１６に接触しないようにすることができる。

芯出し用コンポーネント１３０，１３２が伴うハンドルの形状および位置は、要求されるように変えることができる。また、連続的な一連の鋲は、図３、図４および他の実施形態における芯出し用コンポーネントによって接触されるが、１つまたはそれより多い数のカム表面が芯出し用リングから取り除かれて、全ての他の鋲が芯出し用コンポーネント１３０，１３２によって接触されるようにしてもよい。さらに、他の実施形態では、芯出し用コンポーネント１３０，１３２は、追加の鋲に接触する追加のカム表面を含むように広げられる。

エレメントは、別々の実施形態として示され、または上記されたが、各実施形態の部分は、上記された他の実施形態の全てあるいは一部に組み合わせてもよい。

技術的事項は、構造上の特徴および／または方法上のふるまいに特有の用語で記載されたが、請求項において限定される技術的事項は、上記の特定の特徴またはふるまいに必ずしも限定されないことが理解されなければならない。むしろ、上記の特定の特徴またはふるまいは、請求項を履行するための形態例として開示されるものである。

１００・・・プロセス変数送信機
１０１・・・プロセスアセンブリ
１０２・・・ウエハ
１０３・・・２線式プロセス制御ループ
１０４，１０６・・・管部分
１０５・・・制御室
１０５Ａ・・・抵抗
１０５Ｂ・・・電力源
１０８・・・搭載面
１１０・・・中空柱
１１２・・・ウエハリング
１１４・・・内側孔
１１６・・・外側表面
１２９・・・芯出し用器具
１３０，１３２・・・芯出し用コンポーネント
１３４，１３６，３１６、３１８、３２０，３２２．３２４，３２６・・・鋲
１３８，１４０、１４２，１４４・・・ナット
１４６，１４８・・・フランジ継手
２００・・・芯出し用コンポーネントの内側表面
２０４・・・芯出し用コンポーネントの外側表面
２０６，２０８・・・端部
２１０，２１２，２１４，２１６，２１８・・・カム表面
２２０，２２４,２３２・・・孤形表面
２２２，２２６、２３０，２３４・・・芯出し用コンポーネントのくぼみ表面
２２８・・・ハンドル
２４０・・・円形境界
３００，３０２，３０４，３０６，３０８，３１０，３１２，３１４・・・フランジの鋲またはボルト孔

Claims (17)

1. プロセス配管を通してプロセス流体を流通させる工業プロセスアセンブリにおけるウエハのための芯出し用器具であって
   ウエハの外側表面に接触する内側表面と、
   少なくとも２つのカムを備えた外側表面と、
   前記内側表面を前記外側表面に連結する２つの端部を備え、前記２つの端部は、前記芯出し用器具が前記ウエハの外側表面の上に位置されたとき、前記芯出し用器具が前記ウエハの周りに１８０度を超えて広がっている部分的リングの形をとるように、位置されており、
   前記内側表面の名目上の直径は、前記ウエハの外側表面の名目上の直径と同じ、またはそれより小さい、芯出し用器具。
2. さらに、ハンドルを備えた請求項１の芯出し用器具。
3. 前記内側表面、前記外側表面および前記２つの端部は、第１のコンポーネントを形成し、
   前記芯出し用器具は、さらに、第２のコンポーネントを備え、前記第２のコンポーネントは、前記ウエハの外側表面に接触する第２の内側表面と、少なくとも１つのカムを備える第２の外側表面と、前記第２の内側表面を前記第２の外側表面に連結する第２の一対の端部を備え、前記第２の一対の端部は、前記芯出し用器具が前記ウエハの外側表面の上に位置されたとき、前記第２のコンポーネントが前記ウエハの周りに１８０度を超えて広がっている部分的リングの形をとるように、位置され、
   前記第２の内側表面の名目上の直径は、前記ウエハの外側表面の名目上の直径と同じ、またはそれより小さい、請求項１の芯出し用器具。
4. 前記第１のコンポーネントは、前記第２のコンポーネントに重なり合う請求項３の芯出し用器具。
5. 前記第１のコンポーネントの１つのカムは、前記第２のコンポーネントの１つのカムに重なり合う請求項４の芯出し用器具。
6. 前記第１のコンポーネントの１つのカムが前記第２のコンポーネントの１つのカムと異なる方向に向かい合うようにして、前記第１のコンポーネントの１つのカムは、前記第２のコンポーネントの１つのカムに重なり合う請求項５の芯出し用器具。
7. 前記第２のコンポーネントは、ハンドルを有する請求項６の芯出し用器具。
8. 前記第１のコンポーネントのカムおよび前記第２のコンポーネントのカムは、前記第１のコンポーネントのカムによって２つの管フランジの間に伸びる鋲に適用される力の少なくとも一部が前記第２のコンポーネントのカムによって前記鋲に適用される力と反対に作用するように、前記鋲に関して位置することができる請求項３の芯出し用器具。
9. 前記第１のコンポーネントおよび前記第２のコンポーネントはそれぞれ、さらにハンドルを備え、前記第１のコンポーネントのハンドルが前記第２のコンポーネントのハンドルの方にもたらされたとき、前記第１のコンポーネントのカムおよび前記第２のコンポーネントのカムは、前記鋲に力を適用する請求項８の芯出し用器具。
10. プロセス配管を通してプロセス流体を流通させる工業プロセスアセンブリであって、
    ウエハと、
    前記ウエハの外側表面に接触する内側表面を備えた芯出し用器具を備え、前記芯出し用器具は、前記ウエハの外側表面の上に位置されたとき、前記ウエハの外周半分より多くの周囲に広がっている部分的リングの形をとり、
    前記内側表面の名目上の直径は、前記ウエハの外側表面の名目上の直径と同じ、またはそれより小さい、アセンブリ。
11. 前記芯出し用器具は、さらに、少なくとも２つのカムを有する外側表面を備えた請求項１０のアセンブリ。
12. 前記芯出し用器具は、さらに、ハンドルを備える請求項１１のアセンブリ。
13. 前記内側表面および前記外側表面は、第１のコンポーネントの部分を形成し、
    前記芯出し用器具は、さらに、前記ウエハの外側表面に接触する第２の内側表面と、少なくとも１つのカムを持つ外側表面を有する第２のコンポーネントを備え、前記第２のコンポーネントは、前記芯出し用器具が前記ウエハの外側表面の上に位置されたとき、前記ウエハの外周半分より多くの周囲に広がっている部分的リングの形をとり、
    前記第２の内側表面の名目上の直径は、前記ウエハの外側表面の名目上の直径と同じ、またはそれより小さい、請求項１１のアセンブリ。
14. 前記第１のコンポーネントのカムおよび前記第２のコンポーネントのカムは、前記第１のコンポーネントのカムによって２つの管フランジの間に伸びる鋲に適用される力の少なくとも一部が前記第２のコンポーネントのカムによって前記鋲に適用される力と反対に作用するように、前記鋲に関連して位置することができる請求項１３のアセンブリ。
15. 前記第１のコンポーネントおよび前記第２のコンポーネントはそれぞれ、さらにハンドルを備え、前記第１のコンポーネントのハンドルが前記第２のコンポーネントのハンドルの方にもたらされたとき、前記第１のコンポーネントのカムおよび前記第２のコンポーネントのカムは、前記鋲に力を適用する請求項１４のアセンブリ。
16. プロセス制御システムの２つの管フランジの間に位置されるウエハのための芯出し用リングであって
    前記ウエハの外側表面に接触する第１の内側表面とカム表面を備えた第１のコンポーネントと、
    前記ウエハの外側表面に接触する第２の内側表面とカム表面を備えた第２のコンポーネントを備え、
    前記第１のコンポーネントのカム表面および前記第２のコンポーネントのカム表面は、前記２つの管フランジの間に伸びる鋲に、少なくとも部分的に互いに反対の２つの別々の力を及ぼすように位置することができ、第１のコンポーネントおよび前記第２のコンポーネントはそれぞれ、前記ウエハの外側表面の上に位置されたとき、前記ウエハの外周半分より多くの周囲に広がっている部分的リングの形をとり、
    前記第１の内側表面および前記第２の内側表面の名目上の直径はそれぞれ、前記ウエハの外側表面の名目上の直径と同じ、またはそれより小さい、芯出し用リング。
17. 前記第１のコンポーネントおよび前記第２のコンポーネントはそれぞれ、ハンドルを備え、前記ハンドルが互いの方に動かされたとき、前記第１のコンポーネントのカムおよび前記第２のコンポーネントのカムは、前記鋲に力を及ぼす請求項１６の芯出し用リング。

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