JP6562851B2 - 歩留り予測装置および歩留り予測方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 複数の変数を含む製品の製造装置の稼動実績データと、当該変数ごとの代表値を定義する情報と、を用いて前記変数ごとに前記定義に従って代表値を算出する代表値算出部と、
予め定められた因果関係の有無と前記変数の階層関係に応じて前記代表値ごとに前記代表値により代表される対象の前記変数間の入れ子関係である入れ子ネットワークを推定する入れ子ネットワーク推定部と、
前記入れ子ネットワークを用いて伝承サンプリングにより所定の分解能で前記製品の品質を示す品質データの予測シミュレーションを行う予測シミュレーション部と、
前記予測シミュレーションの結果を用いて前記変数と前記品質データとの因果関係を明示する出力情報を生成する出力情報生成部と、
を備え、
前記入れ子ネットワーク推定部は、前記変数ごとに前記代表値間のネットワークを推定し、前記代表値間のネットワークを一つの変数とみなした変数間のネットワーク構造を推定する、
ことを特徴とする歩留り予測装置。 - 請求項1に記載の歩留り予測装置であって、
前記変数を当該変数が取得される工程順に応じて予め階層として定義する階層定義情報を用いて前記変数を整列させて前記階層関係とする階層整列部、
を備えることを特徴とする歩留り予測装置。 - 請求項1に記載の歩留り予測装置であって、
前記入れ子ネットワーク推定部は、所定のアルゴリズムにより前記変数間の確率構造を推定し、
前記予測シミュレーション部は、前記入れ子ネットワーク推定部が推定した前記入れ子ネットワークと前記確率構造とを用いて、前記分解能に基づき前記変数に所定の値を設定した場合の前記品質データの予測値と、前記変数の値を変えたことによる前記品質データの予測値の変動量を用いて前記変数ごとの重要度を算出する、
ことを特徴とする歩留り予測装置。 - 請求項1に記載の歩留り予測装置であって、
前記入れ子ネットワーク推定部は、所定のアルゴリズムにより前記変数間の確率構造を推定し、
前記出力情報生成部は、
前記入れ子ネットワークを所定の図により示す情報と、
前記入れ子ネットワークと前記確率構造とを用いて前記分解能に基づき前記変数に所定の値を設定した場合の前記品質データの予測値と、前記変数の値を変えたことによる前記品質データの予測値の変動量と、を用いて算出する前記変数ごとの重要度の情報と、
を出力する情報を生成する、
ことを特徴とする歩留り予測装置。 - 請求項1に記載の歩留り予測装置であって、
前記出力情報生成部は、
前記変数のうち選択入力された変数と、当該変数に因果関係のある前記変数と、当該因果関係を示す所定の記号と、を強調表示するよう前記出力情報を生成する、
ことを特徴とする歩留り予測装置。 - 請求項1に記載の歩留り予測装置であって、
前記出力情報生成部は、
前記変数のうち選択入力された変数と、当該変数に因果関係のある前記変数と、当該因果関係を示す所定の記号と、を強調表示し、
前記変数のうち選択入力された変数について、調整バーにより前記変数の所定の基数に基づく変数の設定値の範囲の変更入力を受け付け、前記変数の設定値の範囲に応じて予め定められた前記品質データの増減を反映させるよう前記出力情報を生成する、
ことを特徴とする歩留り予測装置。 - コンピューターに、歩留りを予測させる歩留り予測方法であって、
前記コンピューターは、
複数の変数を含む製品の製造装置の稼動実績データと、当該変数ごとの代表値を定義する情報と、を用いて前記変数ごとに前記定義に従って代表値を算出する代表値算出ステップと、
予め定められた因果関係の有無と前記変数の階層関係に応じて前記代表値ごとに前記代表値により代表される対象の前記変数間の入れ子関係である入れ子ネットワークを推定する入れ子ネットワーク推定ステップと、
前記入れ子ネットワークを用いて伝承サンプリングにより所定の分解能で前記製品の品質を示す品質データの予測シミュレーションを行う予測シミュレーションステップと、
前記予測シミュレーションの結果を用いて前記変数と前記品質データとの因果関係を明示する出力情報を生成する出力情報生成ステップと
を実行し、
前記入れ子ネットワーク推定ステップでは、前記変数ごとに前記代表値間のネットワークを推定し、前記代表値間のネットワークを一つの変数とみなした変数間のネットワーク構造を推定する、
ことを特徴とする歩留り予測方法。
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