JP6551203B2 - Cleaning nozzle - Google Patents

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Description

本発明は、洗浄装置に用いられる洗浄ノズルに関する。   The present invention relates to a cleaning nozzle used in a cleaning apparatus.

従来、洗浄装置に用いられ、洗浄対象物(以下「ワーク」という)に対して液体または気体を噴射する洗浄ノズルが知られている。
特許文献1に記載の洗浄装置は、ワークの表面に沿って移動可能なロボットアームの先端に取り付けた洗浄ノズルを備えている。この洗浄装置は、洗浄ノズルの内側で洗浄液と加圧された気体とを混合し、洗浄ノズルの先端に形成されたラバールノズルからワークに向けて液滴を噴射するものである。洗浄ノズルから噴射された液滴は、ワークと洗浄ノズルの周囲を覆う洗浄カップの内側に設けられた排気口から排出される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a cleaning nozzle that is used in a cleaning apparatus and injects a liquid or a gas onto an object to be cleaned (hereinafter referred to as “work”) is known.
The cleaning apparatus described in Patent Document 1 includes a cleaning nozzle attached to the tip of a robot arm that can move along the surface of a workpiece. This cleaning apparatus mixes the cleaning solution and a pressurized gas inside the cleaning nozzle, and ejects droplets from the Laval nozzle formed at the tip of the cleaning nozzle toward the work. Droplets ejected from the cleaning nozzle are discharged from an exhaust port provided inside the cleaning cup that covers the periphery of the workpiece and the cleaning nozzle.

特開平10−156229号公報JP-A-10-156229

ところで、特許文献1には、ワークに対して液滴を噴射した後、そのワークを乾燥させる工程に関する記載がされていない。仮に特許文献1に記載の洗浄装置によりワークを乾燥させる場合、洗浄ノズルを気体のみを吐出するものに取り替えることが考えられる。或いは、ワークを乾燥させる機能を備えた他の設備へワークを移動し、その設備によりワークを乾燥させることが考えられる。その場合、ワークを液体洗浄し、乾燥するまでのサイクルタイムが長くなることが懸念される。   By the way, Patent Document 1 does not describe a process for drying a work after ejecting droplets onto the work. If the work is to be dried by the cleaning device described in Patent Document 1, it is conceivable to replace the cleaning nozzle with one that discharges only gas. Alternatively, it is conceivable that the work is moved to another equipment having a function of drying the work and the work is dried by the equipment. In that case, there is a concern that the cycle time until the workpiece is liquid-cleaned and dried becomes long.

また、特許文献1に記載の洗浄装置は、ワークと洗浄ノズルの周囲を覆う洗浄カップにより、ワークに噴射された液滴の飛散を防いでいる。そのため、この洗浄装置は、その構成が複雑になると共に、その体格が大型化するおそれがある。
さらに、特許文献1に記載の洗浄装置は、ロボットアームの端部からワークに向けて洗浄ノズルが有するラバールノズルが延びている。この洗浄ノズルが有するラバールノズルの部分は外径が細いので、その部分を長くすると洗浄ノズルの強度が低下するおそれがある。
Moreover, the cleaning apparatus described in Patent Document 1 prevents the droplets sprayed on the work from being scattered by a cleaning cup that covers the periphery of the work and the cleaning nozzle. Therefore, the structure of the cleaning device may be complicated and the size of the cleaning device may be increased.
Furthermore, in the cleaning apparatus described in Patent Document 1, a Laval nozzle that the cleaning nozzle has extends from the end of the robot arm toward the workpiece. The laval nozzle portion of the cleaning nozzle has a thin outer diameter. If the portion is made longer, the strength of the cleaning nozzle may be reduced.

また、特許文献1に記載の洗浄装置は、ワークから離れた位置に洗浄ノズルが設けられているので、噴射ノズルから吐出する液滴の指向性を制御することが困難である。そのため、この洗浄装置は、ワークの洗浄箇所を確実に洗浄することが困難になるおそれがある。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、ワークを洗浄及び乾燥するサイクルタイムを短くすることの可能な洗浄ノズルを提供することを目的とする。
Further, in the cleaning device described in Patent Document 1, since the cleaning nozzle is provided at a position away from the work, it is difficult to control the directivity of the droplet discharged from the injection nozzle. Therefore, in this cleaning apparatus, it may be difficult to reliably clean the cleaning portion of the work.
The present invention has been made in view of the above-described points, and an object of the present invention is to provide a cleaning nozzle capable of shortening the cycle time for cleaning and drying a workpiece.

本発明の洗浄ノズルは、カバー部、ノズル本体、液体供給部、気体供給部、液体通路、気体通路および排出通路を備える。カバー部は、ワークの所定の洗浄箇所の周囲を覆う。ノズル本体は、カバー部と一体に構成され、ワークの洗浄箇所が露出する洗浄空間を形成する。液体供給部は、ワークを洗浄するための液体が供給される。気体供給部は、ワークを乾かすための気体が供給される。液体通路は、一方の側が液体供給部に連通し、他方の側が洗浄空間に連通する。気体通路は、一方の側が気体供給部に連通し、他方の側が洗浄空間に連通する。排出通路は、液体通路および気体通路から洗浄空間に吐出された液体および気体をノズル本体の外部へ排出する。洗浄箇所は周方向に連続した形状に配置されたものである。洗浄空間の内壁は、洗浄対象物の洗浄箇所を囲うように筒状に形成されたものである。液体通路が洗浄空間の内壁に開口する液体吐出口は、洗浄対象物の洗浄箇所に隣接した位置で複数箇所に設けられているものである。気体通路が洗浄空間の内壁に開口する気体吐出口は、洗浄対象物の洗浄箇所に隣接した位置で複数箇所に設けられているものである。当該液体吐出口と当該気体吐出口とは、洗浄空間の内壁の周方向に交互に設けられている。 The cleaning nozzle of the present invention includes a cover portion, a nozzle body, a liquid supply portion, a gas supply portion, a liquid passage, a gas passage, and a discharge passage. A cover part covers the circumference | surroundings of the predetermined washing | cleaning location of a workpiece | work. The nozzle body is formed integrally with the cover part, and forms a cleaning space in which a cleaning part of the workpiece is exposed. The liquid supply unit is supplied with a liquid for cleaning the workpiece. The gas supply unit is supplied with a gas for drying the workpiece. In the liquid passage, one side communicates with the liquid supply unit, and the other side communicates with the cleaning space. One side of the gas passage communicates with the gas supply unit, and the other side communicates with the cleaning space. The discharge passage discharges the liquid and gas discharged from the liquid passage and the gas passage to the cleaning space to the outside of the nozzle body. The cleaning parts are arranged in a shape that is continuous in the circumferential direction. The inner wall of the cleaning space is formed in a tubular shape so as to surround the cleaning portion of the object to be cleaned. The liquid discharge ports through which the liquid passages open on the inner wall of the cleaning space are provided at a plurality of locations adjacent to the cleaning location of the object to be cleaned. The gas discharge ports through which the gas passages open on the inner wall of the cleaning space are provided at a plurality of locations adjacent to the cleaning location of the object to be cleaned. The liquid discharge port and the gas discharge port are alternately provided in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space.

これにより、洗浄ノズルは、ワークの所定の洗浄箇所の周囲をカバー部で覆った状態で、洗浄空間に露出したワークの洗浄箇所に対し、液体通路から液体を吐出し、さらに、気体通路から気体を吐出することが可能である。洗浄空間に吐出された液体および気体は、排出通路を通り、ノズル本体の外部へ排出される。そのため、この洗浄ノズルを使用する洗浄装置は、ワークの洗浄工程および乾燥工程を同一の洗浄ノズルで行うことが可能である。したがって、その洗浄装置は、ワークの液体洗浄工程と乾燥工程との間に洗浄ノズルを付け替える必要が無く、または、それらの工程の間にワークを移動する必要も無いので、ワークを洗浄及び乾燥するサイクルタイムを短くすることができる。
また、この洗浄ノズルは、液体または気体が洗浄ノズルの周囲に飛散することをカバー部により抑制可能である。したがって、洗浄ノズルは、これを使用する洗浄装置の構成を簡素なものとし、その体格を小型化することができる。
Thereby, the cleaning nozzle discharges the liquid from the liquid passage to the cleaning portion of the work exposed in the cleaning space while covering the periphery of the predetermined cleaning portion of the work with the cover portion, and further, the gas from the gas passage Can be discharged. The liquid and gas discharged into the cleaning space pass through the discharge passage and are discharged to the outside of the nozzle body. Therefore, the cleaning apparatus using this cleaning nozzle can perform the cleaning process and the drying process of the work with the same cleaning nozzle. Therefore, the cleaning apparatus cleans and dries the work because it is not necessary to change the cleaning nozzle between the liquid cleaning process and the drying process of the work, or to move the work between these processes. The cycle time can be shortened.
Further, the cleaning nozzle can suppress the liquid or gas from scattering around the cleaning nozzle by the cover portion. Therefore, the cleaning nozzle can simplify the configuration of the cleaning device using it and miniaturize its size.

本発明の第1実施形態による洗浄ノズルの斜視図である。It is a perspective view of the washing nozzle by a 1st embodiment of the present invention. 第1実施形態の洗浄ノズルが洗浄対象とするワークの斜視図である。It is a perspective view of the work which the cleaning nozzle of a 1st embodiment makes the cleaning object. 図1のIII方向における洗浄ノズルの平面図である。It is a top view of the washing nozzle in the III direction of FIG. 図1のIV方向における洗浄ノズルの側面図である。It is a side view of the washing nozzle in the IV direction of FIG. 図1のV方向における洗浄ノズルの正面図である。It is a front view of the washing nozzle in the V direction of FIG. 図3、図5および図7のVI−VI線の断面図である。It is sectional drawing of the VI-VI line of FIG.3, FIG.5 and FIG. 図4、図5および図6のVII−VII線の断面図である。It is sectional drawing of the VII-VII line of FIG. 4, FIG. 5 and FIG. 図1のVIII方向における洗浄ノズルの拡大図である。It is an enlarged view of the washing nozzle in the VIII direction of FIG. 図1のIX方向における洗浄ノズルの拡大図である。It is an enlarged view of the washing nozzle in the IX direction of FIG. 本発明の第2実施形態による洗浄ノズルの液体吐出口又は気体吐出口の拡大図である。It is an enlarged view of the liquid discharge port or gas discharge port of the washing nozzle by 2nd Embodiment of this invention. 図10のXI−XI線の断面図である。It is sectional drawing of the XI-XI line of FIG. 本発明の第3実施形態による洗浄ノズルの液体吐出口又は気体吐出口の拡大図である。It is an enlarged view of the liquid discharge port or gas discharge port of the washing nozzle by 3rd Embodiment of this invention. 図12のXIII−XIII線の断面図である。It is sectional drawing of the XIII-XIII line | wire of FIG. 本発明の第4実施形態による洗浄ノズルの液体吐出口又は気体吐出口の拡大図である。It is an enlarged view of the liquid discharge port or gas discharge port of the washing nozzle by 4th Embodiment of this invention.

以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づき説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態を図1〜図9に示す。第1実施形態の洗浄ノズル1は、ワーク100を洗浄及び乾燥するための洗浄装置に用いられるものである。
Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First Embodiment
A first embodiment of the present invention is shown in FIGS. The cleaning nozzle 1 of the first embodiment is used in a cleaning device for cleaning and drying the workpiece 100.

図2に示すように、洗浄ノズル1が洗浄対象とするワーク100として、アルミなどの金属から形成された第1の部材110と第2の部材120との接続箇所をろう付けしたものが例示される。このワーク100において、第1の部材110と第2の部材120とをろう付けした部分には、そのろう付けに使用したフラックスが付着している。この箇所を第1の洗浄箇所111と称する。第1の洗浄箇所111は、第1の部材110と第2の部材120との接続箇所に沿って、例えば円形または楕円形など、周方向に連続した形状に配置されている。
また、このワーク100において、第2の部材120の一部には、第1の部材110と第2の部材120とをろう付けする際の目印として使用したインクが付着している。この箇所を第2の洗浄箇所112と称する。
なお、図2では、第1の洗浄箇所111と第2の洗浄箇所112の位置を分かり易く示すために、ハッチを付している。
As shown in FIG. 2, as the workpiece 100 to be cleaned by the cleaning nozzle 1, an example in which the connection between the first member 110 and the second member 120 formed of metal such as aluminum is brazed is exemplified. Ru. In the work 100, the flux used for the brazing adheres to the portion where the first member 110 and the second member 120 are brazed. This location is referred to as a first cleaning location 111. The first cleaning points 111 are arranged in a circumferentially continuous shape, such as a circle or an ellipse, along the connection point between the first member 110 and the second member 120.
In the work 100, the ink used as a mark when brazing the first member 110 and the second member 120 adheres to a part of the second member 120. This location is referred to as the second cleaning location 112.
In FIG. 2, hatching is added to easily show the positions of the first cleaning portion 111 and the second cleaning portion 112.

洗浄ノズル1は、第1の洗浄箇所111に付着したフラックス、および、第2の洗浄箇所112に付着したインクを取り除くために、ワーク100に対し液体および気体を吐出するものである。洗浄ノズル1が吐出する液体として、温水が例示される。また、洗浄ノズル1が吐出する気体として、空気が例示される。   The cleaning nozzle 1 discharges liquid and gas onto the work 100 in order to remove the flux adhering to the first cleaning portion 111 and the ink adhering to the second cleaning portion 112. An example of the liquid discharged from the cleaning nozzle 1 is hot water. Moreover, air is illustrated as gas which the washing | cleaning nozzle 1 discharges.

図1および図3から図7に示すように、洗浄ノズル1は、カバー部2、ノズル本体3、液体供給部4、気体供給部5、液体通路6、気体通路7および排出通路8を備えている。この洗浄ノズル1は、例えば金属3Dプリンタにより、それらの構成が同一の材料により連続して一体形成されているものである。金属3Dプリンタは、平らに敷いた微細な金属粉末にレーザーを照射して一層ずつ焼結させ、この工程を繰り返すことで3次元造形する粉末焼結法により、例えば内側に湾曲した空間を有するような種々の形状の製品を形成することが可能である。   As shown in FIGS. 1 and 3 to 7, the cleaning nozzle 1 includes a cover 2, a nozzle body 3, a liquid supply unit 4, a gas supply unit 5, a liquid passage 6, a gas passage 7 and a discharge passage 8. Yes. The cleaning nozzle 1 is, for example, a metal 3D printer whose structures are continuously formed of the same material. A metal 3D printer has, for example, a curved space inward by a powder sintering method in which three-dimensional modeling is performed by irradiating a laser onto a flat fine metal powder and sintering layer by layer and repeating this process. It is possible to form products of various shapes.

カバー部2は、半円筒状に形成され、ノズル本体3の端部に設けられている。図6および図7に示すように、カバー部2は、ワーク100の第1の洗浄箇所111の周囲を覆うように設けられている。なお、図6および図7では、ワーク100を破線で示している。ワーク100は、第1の部材110の軸方向の一端と他端とが、洗浄装置が備える固定治具200により固定されている。
カバー部2は、その径内方向の壁面が、ワーク100の第1の部材110の外壁に当接可能である。カバー部2とワーク100とは密着していることが好ましい。但し、製造公差などにより僅かな隙間があいていてもよい。この状態で、カバー部2は、ノズル本体3に形成された洗浄空間31から液体および気体が漏れることを抑制可能である。
The cover 2 is formed in a semi-cylindrical shape and is provided at the end of the nozzle body 3. As shown in FIGS. 6 and 7, the cover portion 2 is provided so as to cover the periphery of the first cleaning spot 111 of the workpiece 100. 6 and 7, the workpiece 100 is indicated by a broken line. One end and the other end of the workpiece 100 in the axial direction of the first member 110 are fixed by a fixing jig 200 provided in the cleaning device.
The radial inner wall surface of the cover portion 2 can contact the outer wall of the first member 110 of the workpiece 100. It is preferable that the cover 2 and the workpiece 100 are in close contact with each other. However, a slight gap may be formed due to manufacturing tolerances. In this state, the cover unit 2 can suppress leakage of liquid and gas from the cleaning space 31 formed in the nozzle body 3.

ノズル本体3は、カバー部2と一体に構成されている。また、ノズル本体3には、液体供給部4、気体供給部5、液体通路6、気体通路7および排出通路8が設けられている。ノズル本体3の内側に形成された洗浄空間31には、ワーク100の第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112が露出する。洗浄空間31の内壁は筒状に形成され、ワーク100の第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112を囲っている。   The nozzle body 3 is configured integrally with the cover portion 2. Further, the nozzle body 3 is provided with a liquid supply unit 4, a gas supply unit 5, a liquid passage 6, a gas passage 7 and a discharge passage 8. In the cleaning space 31 formed inside the nozzle body 3, the first cleaning spot 111 and the second cleaning spot 112 of the workpiece 100 are exposed. The inner wall of the cleaning space 31 is formed in a tubular shape, and encloses the first cleaning portion 111 and the second cleaning portion 112 of the work 100.

液体供給部4には、洗浄装置が備える液体タンク201(図6参照)からワーク100を洗浄するための液体が供給される。この液体として、温水が例示される。気体供給部5には、洗浄装置が備える気体タンク202からワーク100を乾かすための気体が供給される。この気体として、空気が例示される。   The liquid supply unit 4 is supplied with a liquid for cleaning the workpiece 100 from a liquid tank 201 (see FIG. 6) provided in the cleaning device. An example of this liquid is hot water. A gas for drying the workpiece 100 is supplied to the gas supply unit 5 from a gas tank 202 provided in the cleaning device. An example of this gas is air.

液体通路6は、ノズル本体3の外壁に沿うように設けられ、一方の側が液体供給部4に連通し、他方の側が洗浄空間31に連通している。液体通路6を構成する壁の一部は、ノズル本体3の外壁から外気側に突出している(図1等参照)。液体通路6は、洗浄空間31の内壁に開口する複数の液体吐出口61を有している。複数の液体吐出口61は、ワーク100の第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112に向けられている。すなわち、液体通路6は、液体供給部4に1本の流路で連通し、途中で複数の流路に枝分かれして複数の液体吐出口61に連通している。液体通路6は、液体供給部4と液体吐出口61とを連通する流路の形状が連続的に変化するように曲線状に形成されている。さらに、液体吐出口61は、ワーク100の洗浄箇所111,112に対して指向性を有する形状となっている。   The liquid passage 6 is provided along the outer wall of the nozzle body 3, and one side communicates with the liquid supply unit 4 and the other side communicates with the cleaning space 31. A part of the wall constituting the liquid passage 6 protrudes from the outer wall of the nozzle body 3 to the outside air side (see FIG. 1 and the like). The liquid passage 6 has a plurality of liquid discharge ports 61 that open to the inner wall of the cleaning space 31. The plurality of liquid discharge ports 61 are directed to the first cleaning portion 111 and the second cleaning portion 112 of the workpiece 100. That is, the liquid passage 6 communicates with the liquid supply unit 4 through a single flow path, and branches into a plurality of flow paths on the way to communicate with the plurality of liquid discharge ports 61. The liquid passage 6 is formed in a curved shape so that the shape of the flow passage communicating the liquid supply portion 4 and the liquid discharge port 61 changes continuously. Furthermore, the liquid discharge port 61 has a shape having directivity with respect to the cleaning portions 111 and 112 of the workpiece 100.

気体通路7も液体通路6と同様に、ノズル本体3の外壁に沿うように設けられ、一方の側が気体供給部5に連通し、他方の側が洗浄空間31に連通している。気体通路7を構成する壁の一部は、ノズル本体3の外壁から外気側に突出している。気体通路7は、洗浄空間31の内壁に開口する複数の気体吐出口71を有している。複数の気体吐出口71は、ワーク100の第1の洗浄箇所111に向けられている。すなわち、気体通路7は、気体供給部5に1本の流路で連通し、途中で複数の流路に枝分かれして複数の気体吐出口71に連通している。気体通路7は、気体供給部5と気体吐出口71とを連通する流路の形状が連続的に変化するように曲線状に形成されている。さらに、気体吐出口71は、ワーク100の洗浄箇所111に対して指向性を有する形状となっている。   Similarly to the liquid passage 6, the gas passage 7 is provided along the outer wall of the nozzle body 3, one side communicates with the gas supply unit 5, and the other side communicates with the cleaning space 31. A part of the wall constituting the gas passage 7 protrudes from the outer wall of the nozzle body 3 to the outside air side. The gas passage 7 has a plurality of gas discharge ports 71 that open on the inner wall of the cleaning space 31. The plurality of gas discharge ports 71 are directed to the first cleaning portion 111 of the workpiece 100. That is, the gas passage 7 communicates with the gas supply unit 5 with one flow passage, branches into a plurality of flow passages along the way, and communicates with the plurality of gas discharge ports 71. The gas passage 7 is formed in a curved shape so that the shape of the flow path that connects the gas supply unit 5 and the gas discharge port 71 changes continuously. Further, the gas discharge port 71 has a shape having directivity with respect to the cleaning portion 111 of the workpiece 100.

図8及び図9等に示すように、ワーク100の第1の洗浄箇所111に向けて設けられた複数の液体吐出口61と複数の気体吐出口71とは、洗浄空間31の内壁の周方向に交互に配置されている。洗浄空間31の内壁の周方向に配置された4個の液体吐出口61は、周方向に90°以下の間隔で設けられている。また、洗浄空間31の内壁の周方向に配置された4個の気体吐出口71は、周方向に90°以下の間隔で設けられている。
さらに、図7及び図8等に示すように、ワーク100の第2の洗浄箇所112に向けて4個の液体吐出口61が設けられている。なお、本実施形態では、複数の液体吐出口61と複数の気体吐出口71は、いずれも円形である。
As shown in FIGS. 8 and 9, the plurality of liquid discharge ports 61 and the plurality of gas discharge ports 71 provided toward the first cleaning portion 111 of the work 100 are circumferentially directed to the inner wall of the cleaning space 31. Are arranged alternately. The four liquid discharge ports 61 arranged in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space 31 are provided at intervals of 90 ° or less in the circumferential direction. The four gas discharge ports 71 arranged in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space 31 are provided at intervals of 90 ° or less in the circumferential direction.
Further, as shown in FIGS. 7 and 8 and the like, four liquid discharge ports 61 are provided toward the second cleaning portion 112 of the workpiece 100. In the present embodiment, the plurality of liquid discharge ports 61 and the plurality of gas discharge ports 71 are all circular.

排出通路8は、ノズル本体3の内側に形成された洗浄空間31に連通している。本実施形態では、排出通路8と洗浄空間31とは、同軸に形成されている。排出通路8は、液体通路6および気体通路7から洗浄空間31に吐出された液体および気体を、ノズル本体3のカバー部2とは反対側に設けられた排出口81からノズル本体3の外部へ排出するものである。   The discharge passage 8 communicates with a cleaning space 31 formed inside the nozzle body 3. In the present embodiment, the discharge passage 8 and the cleaning space 31 are formed coaxially. The discharge passage 8 discharges the liquid and the gas discharged from the liquid passage 6 and the gas passage 7 into the cleaning space 31 from the discharge port 81 provided on the opposite side of the cover portion 2 of the nozzle body 3 to the outside of the nozzle body 3. To be discharged.

本実施形態の洗浄ノズル1を使用した洗浄方法は、図6に示したように、先ず、ワーク100の第1の部材110の一端と他端を固定治具200により固定する。また、図6及び図7に示したように、カバー部2の径内方向の壁面と、ワーク100の第1の部材110の外壁とを当接する。これにより、ワーク100の第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112は、ノズル本体3の内側の洗浄空間31に露出した状態となる。   In the cleaning method using the cleaning nozzle 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 6, first, one end and the other end of the first member 110 of the workpiece 100 are fixed by the fixing jig 200. As shown in FIGS. 6 and 7, the radially inner wall surface of the cover portion 2 and the outer wall of the first member 110 of the workpiece 100 are brought into contact with each other. As a result, the first cleaning portion 111 and the second cleaning portion 112 of the workpiece 100 are exposed to the cleaning space 31 inside the nozzle body 3.

次に、液体タンク201から液体供給部4に液体が供給されると、その液体は、液体通路6を経由し、複数の液体吐出口61から、ワーク100の第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112に向けて吐出する。これにより、ワーク100の第1の洗浄箇所111に付着したフラックスと、第2の洗浄箇所112に付着したインクが除去される。ワーク100を洗浄した液体は、洗浄空間31から排出通路8を通り、排出口81からノズル本体3の外部へ排出される。   Next, when a liquid is supplied from the liquid tank 201 to the liquid supply unit 4, the liquid passes through the liquid passage 6, and passes through the plurality of liquid discharge ports 61 and the first cleaning spot 111 and the second cleaning point of the workpiece 100. The liquid is discharged toward the cleaning portion 112. Thereby, the flux adhering to the 1st washing location 111 of work 100 and the ink adhering to the 2nd washing location 112 are removed. The liquid that has cleaned the workpiece 100 passes through the discharge space 8 from the cleaning space 31 and is discharged from the discharge port 81 to the outside of the nozzle body 3.

続いて、気体タンク202から気体供給部5に気体が供給されると、その気体は、気体通路7を経由し、複数の気体吐出口71から、洗浄空間31に露出したワーク100の第1の洗浄箇所111に向けて吐出する。なお、複数の気体吐出口71から洗浄空間31に吐出した気体は、ワーク100の第2の洗浄箇所112を含むワーク100の外壁全体に流れる。これにより、第1の洗浄箇所111および第2の洗浄箇所112を含むワーク100の外壁が乾燥する。ワーク100を乾燥させた気体は、洗浄空間31から排出通路8を通り、排出口81からノズル本体3の外部へ排出される。   Subsequently, when a gas is supplied from the gas tank 202 to the gas supply unit 5, the gas passes through the gas passage 7 and the plurality of gas discharge ports 71 exposes the first of the workpiece 100 exposed to the cleaning space 31. Discharge toward the cleaning portion 111. The gas discharged from the plurality of gas discharge ports 71 to the cleaning space 31 flows to the entire outer wall of the workpiece 100 including the second cleaning portion 112 of the workpiece 100. Thereby, the outer wall of the workpiece 100 including the first cleaning portion 111 and the second cleaning portion 112 is dried. The gas that has dried the workpiece 100 passes through the discharge passage 8 from the cleaning space 31 and is discharged from the discharge port 81 to the outside of the nozzle body 3.

本実施形態は、次の作用効果を奏する。
(1)本実施形態では、ワーク100の洗浄工程および乾燥工程を同一の洗浄ノズル1で行うことが可能である。そのため、本実施形態の洗浄ノズル1を使用する洗浄装置は、ワーク100の液体洗浄工程と乾燥工程との間に洗浄ノズル1を付け替える必要が無く、または、それらの工程の間にワーク100を移動する必要も無いので、ワーク100を洗浄及び乾燥するサイクルタイムを短くすることができる。
また、本実施形態の洗浄ノズル1は、液体または気体が洗浄ノズル1の周囲に飛散することをカバー部2により抑制可能である。したがって、洗浄ノズル1は、これを使用する洗浄装置の構成を簡素なものとし、その体格を小型化することができる。
This embodiment has the following effects.
(1) In the present embodiment, the cleaning process and the drying process of the workpiece 100 can be performed by the same cleaning nozzle 1. Therefore, the cleaning apparatus using the cleaning nozzle 1 according to the present embodiment does not need to replace the cleaning nozzle 1 between the liquid cleaning process and the drying process of the work 100, or the work 100 is moved between these processes. Therefore, the cycle time for cleaning and drying the workpiece 100 can be shortened.
Further, the cleaning nozzle 1 of the present embodiment can suppress the liquid or gas from being scattered around the cleaning nozzle 1 by the cover portion 2. Therefore, the cleaning nozzle 1 can be simplified in the configuration of a cleaning device using the same, and the size of the cleaning nozzle 1 can be reduced.

(2)本実施形態では、液体通路6および気体通路7は、ノズル本体3に設けられているものである。
これにより、洗浄ノズル1は、液体通路6および気体通路7を単体で細長いパイプ状のものとすることなく、ノズル本体3と共に液体通路6および気体通路7の剛性を高いものとすることができる。
(2) In the present embodiment, the liquid passage 6 and the gas passage 7 are provided in the nozzle body 3.
Thus, the cleaning nozzle 1 can increase the rigidity of the liquid passage 6 and the gas passage 7 together with the nozzle main body 3 without making the liquid passage 6 and the gas passage 7 into a single elongated pipe.

(3)本実施形態では、液体通路6が有する液体吐出口61と気体通路7が有する気体吐出口71とは、いずれも、ワーク100の洗浄箇所111,112に隣接した位置に設けられ、且つ、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けられている。
これにより、洗浄ノズル1は、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けて液体および気体を吐出し、その洗浄箇所111,112を確実に洗浄及び乾燥することが可能である。
(3) In the present embodiment, the liquid discharge port 61 of the liquid passage 6 and the gas discharge port 71 of the gas passage 7 are both provided at positions adjacent to the cleaning points 111 and 112 of the work 100, and , Directed to the cleaning points 111 and 112 of the workpiece 100.
Thus, the cleaning nozzle 1 can discharge the liquid and the gas toward the cleaning points 111 and 112 of the workpiece 100, and can reliably clean and dry the cleaning points 111 and 112.

(4)本実施形態では、液体通路6が有する液体吐出口61は、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けられて複数箇所に設けられている。また、気体通路7が有する気体吐出口71は、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けられて複数箇所に設けられている。
これにより、ワーク100に広範囲に配置された洗浄箇所111,112を確実に洗浄および乾燥することが可能である。
(4) In the present embodiment, the liquid discharge ports 61 included in the liquid passage 6 are provided at a plurality of locations facing the cleaning locations 111 and 112 of the workpiece 100. Further, the gas discharge ports 71 included in the gas passage 7 are provided at a plurality of locations facing the cleaning locations 111 and 112 of the workpiece 100.
Thereby, it is possible to reliably wash and dry the washing points 111 and 112 disposed widely on the work 100.

(5)本実施形態では、複数の液体吐出口61と複数の気体吐出口71とは、洗浄空間31の内壁の周方向に交互に設けられている。
これにより、洗浄ノズル1は、ワーク100に広範囲に配置された洗浄箇所111,112を確実に洗浄および乾燥することが可能である。
(5) In the present embodiment, the plurality of liquid discharge ports 61 and the plurality of gas discharge ports 71 are alternately provided in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space 31.
As a result, the cleaning nozzle 1 can reliably clean and dry the cleaning portions 111 and 112 arranged in a wide range on the workpiece 100.

(6)本実施形態では、液体通路6は、液体供給部4と液体吐出口61とを連通する流路が曲線状に形成されている。また、気体通路7は、気体供給部5と気体吐出口71とを連通する流路が曲線状に形成されている。
これにより、液体通路6を流れる液体の圧力損失が低減する。また、気体通路7を流れる空気の圧力損失が低減する。したがって、洗浄ノズル1は、液体吐出口61から噴射される液体の吐出圧を高めると共に、気体吐出口71から噴射される気体の吐出圧を高めることができる。
(6) In the present embodiment, in the liquid passage 6, a flow path that connects the liquid supply unit 4 and the liquid discharge port 61 is formed in a curved shape. Further, the gas passage 7 has a curved flow path that connects the gas supply unit 5 and the gas discharge port 71.
Thereby, the pressure loss of the liquid flowing through the liquid passage 6 is reduced. Further, the pressure loss of the air flowing through the gas passage 7 is reduced. Therefore, the cleaning nozzle 1 can increase the discharge pressure of the liquid jetted from the liquid discharge port 61 and can increase the discharge pressure of the gas jetted from the gas discharge port 71.

(7)本実施形態では、カバー部2は、ワーク100の外壁に当接し、洗浄空間31から液体および気体が漏れることを抑制可能なものである。
これにより、洗浄ノズル1は、洗浄ノズル1の周囲に液体または気体が飛散することをカバー部2により抑制可能である。
(7) In the present embodiment, the cover 2 is in contact with the outer wall of the work 100, and can suppress the leakage of liquid and gas from the cleaning space 31.
Thus, the cleaning nozzle 1 can suppress the liquid or gas from scattering around the cleaning nozzle 1 by the cover portion 2.

(8)本実施形態では、カバー部2、ノズル本体3、液体供給部4、気体供給部5、液体通路6、気体通路7および排出通路8は、3Dプリンタにより一体に成形されているものである。
これにより、洗浄ノズル1は、その剛性を高めると共に、容易に製造することができる。
(8) In the present embodiment, the cover 2, the nozzle body 3, the liquid supply unit 4, the gas supply unit 5, the liquid passage 6, the gas passage 7, and the discharge passage 8 are integrally formed by a 3D printer. is there.
Thereby, the washing nozzle 1 can be easily manufactured while increasing its rigidity.

(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について、図10及び図11を参照して説明する。
図10及び図11は、洗浄ノズル1の液体吐出口61又は気体吐出口71の拡大図である。第2実施形態における液体吐出口61または気体吐出口71は、ワーク100の洗浄箇所111,112が延びる方向に沿うように長軸を有する楕円形に形成されている。この液体吐出口61または気体吐出口71は、ワーク100の洗浄箇所111,112に対して指向性を有する形状となっている。これにより、第2実施形態の洗浄ノズル1は、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けて液体および気体を拡散するように吐出することが可能である。したがって、洗浄ノズル1は、洗浄箇所111,112を広範囲に洗浄および乾燥することができる。
Second Embodiment
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
10 and 11 are enlarged views of the liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 of the cleaning nozzle 1. The liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 in the second embodiment is formed in an elliptical shape having a major axis along the direction in which the cleaning portions 111 and 112 of the workpiece 100 extend. The liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 has a shape having directivity with respect to the cleaning portions 111 and 112 of the workpiece 100. Thereby, the cleaning nozzle 1 of the second embodiment can discharge the liquid and the gas so as to diffuse toward the cleaning portions 111 and 112 of the workpiece 100. Therefore, the cleaning nozzle 1 can clean and dry the cleaning portions 111 and 112 in a wide range.

(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について、図12及び図13を参照して説明する。
図12及び図13は、洗浄ノズル1の液体吐出口61又は気体吐出口71の拡大図である。第3実施形態における液体吐出口61または気体吐出口71は、ワーク100の洗浄箇所111,112が延びる方向に沿って湾曲した長円形に形成されている。この液体吐出口61または気体吐出口71も、ワーク100の洗浄箇所111,112に対して指向性を有する形状となっている。これにより、第3実施形態の洗浄ノズル1は、ワーク100に広範囲に設置された洗浄箇所111,112に向けて液体および気体を拡散するように吐出することが可能である。したがって、洗浄ノズル1は、洗浄箇所111,112を広範囲に洗浄および乾燥することができる。
Third Embodiment
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
12 and 13 are enlarged views of the liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 of the cleaning nozzle 1. The liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 in the third embodiment is formed in an oval shape that is curved along the direction in which the cleaning points 111 and 112 of the workpiece 100 extend. The liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 has a shape having directivity with respect to the cleaning portions 111 and 112 of the workpiece 100. As a result, the cleaning nozzle 1 of the third embodiment can discharge liquid and gas so as to diffuse toward the cleaning points 111 and 112 installed in a wide area of the work 100. Therefore, the cleaning nozzle 1 can clean and dry the cleaning portions 111 and 112 in a wide range.

(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について、図14を参照して説明する。
図14は、洗浄ノズル1の液体吐出口61又は気体吐出口71の拡大図である。第4実施形態の洗浄ノズル1は、液体吐出口61または気体吐出口71に網部62を備えている。
これにより、第4実施形態の洗浄ノズル1は、ワーク100の洗浄箇所111,112に向けて液体および気体を広範囲に強力に吐出することが可能である。したがって、洗浄ノズル1は、洗浄箇所111,112を広範囲に確実に洗浄および乾燥することができる。
Fourth Embodiment
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 14 is an enlarged view of the liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71 of the cleaning nozzle 1. The cleaning nozzle 1 of the fourth embodiment includes a mesh portion 62 in the liquid discharge port 61 or the gas discharge port 71.
Thus, the cleaning nozzle 1 according to the fourth embodiment can discharge the liquid and the gas widely and strongly toward the cleaning points 111 and 112 of the workpiece 100. Therefore, the cleaning nozzle 1 can reliably clean and dry the cleaning points 111 and 112 in a wide range.

(他の実施形態)
(1)上述した実施形態では、洗浄ノズル1は、金属3Dプリンタにより形成するものとした。これに対し、他の実施形態では、洗浄ノズル1を所定の位置で分割した部材を切削加工等で形成した後、それらの部材を一体に接合することで形成してもよい。
(Other embodiments)
(1) In the embodiment described above, the cleaning nozzle 1 is formed by a metal 3D printer. On the other hand, in another embodiment, after forming the member which divided the cleaning nozzle 1 in the predetermined position by cutting etc., you may form by joining those members integrally.

(2)上述した実施形態では、複数の液体吐出口61と複数の気体吐出口71とは、洗浄空間31の内壁の周方向に1個ずつ交互に設けられるものとした。これに対し、他の実施形態では、複数の液体吐出口61と複数の気体吐出口71とは、洗浄空間31の内壁の周方向に複数個ずつ交互に設けてもよい。また、液体吐出口61と気体吐出口71の位置、大きさ、形状、個数などは、ワーク100の洗浄箇所111,112に適合するように適宜設定されるものである。 (2) In the embodiment described above, the plurality of liquid discharge ports 61 and the plurality of gas discharge ports 71 are alternately provided one by one in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space 31. On the other hand, in other embodiments, a plurality of liquid discharge ports 61 and a plurality of gas discharge ports 71 may be alternately provided in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space 31. Further, the position, size, shape, number, and the like of the liquid discharge port 61 and the gas discharge port 71 are appropriately set so as to match the cleaning locations 111 and 112 of the workpiece 100.

(3)上述した実施形態では、ワーク100として第1の部材110と第2の部材120との接続箇所をろう付けしたものを例示した。これに対し、他の実施形態では、ワーク100および洗浄箇所の位置、大きさ、形状などはなんら限定されるものではない。また、洗浄箇所111,112が発生する要因についても、ろう付け等に限らず、なんら限定されるものではない。その場合、洗浄ノズル1は、その大きさ、形状などが、ワーク100およびその洗浄箇所に適合するように設定されるものである。
このように、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、上述した複数の実施形態を組み合わせることに加え、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。
(3) In the above-described embodiment, the workpiece 100 is illustrated by brazing the connection portion between the first member 110 and the second member 120. On the other hand, in other embodiments, the position, size, shape, and the like of the workpiece 100 and the cleaning portion are not limited at all. Further, the factors that cause the cleaning spots 111 and 112 are not limited to brazing and the like. In that case, the cleaning nozzle 1 is set such that its size, shape, and the like conform to the workpiece 100 and its cleaning portion.
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be implemented in various forms without departing from the scope of the invention in addition to combining the above-described plurality of embodiments.

1 ・・・洗浄ノズル
2 ・・・カバー部
3 ・・・ノズル本体
4 ・・・液体供給部
5 ・・・気体供給部
6 ・・・液体通路
7 ・・・気体通路
8 ・・・排出通路
31・・・洗浄空間
Reference Signs List 1 · · · Cleaning nozzle 2 · · · Cover portion · · · · · · · 4 main body liquid supply portion 5 · · · gas supply portion 6 · · · liquid passage 7 31 ・ ・ ・ Washing space

Claims (8)

洗浄対象物(100)を洗浄する洗浄装置に用いられる洗浄ノズルであって、
前記洗浄対象物の所定の洗浄箇所(111)の周囲を覆うカバー部(2)と、
前記カバー部と一体に構成され、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所が露出する洗浄空間(31)を形成するノズル本体(3)と、
前記洗浄対象物を洗浄するための液体が供給される液体供給部(4)と、
前記洗浄対象物を乾かすための気体が供給される気体供給部(5)と、
一方の側が前記液体供給部に連通し、他方の側が前記洗浄空間に連通する液体通路(6)と、
一方の側が前記気体供給部に連通し、他方の側が前記洗浄空間に連通する気体通路(7)と、
前記液体通路および前記気体通路から前記洗浄空間に吐出された液体および気体を前記ノズル本体の外部へ排出する排出通路(8)と、を備え
前記洗浄箇所は周方向に連続した形状に配置されたものであり、
前記洗浄空間の内壁は、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所を囲うように筒状に形成されたものであり、
前記液体通路が前記洗浄空間の内壁に開口する液体吐出口(61)は、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所に隣接した位置で複数箇所に設けられているものであり、
前記気体通路が前記洗浄空間の内壁に開口する気体吐出口(71)は、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所に隣接した位置で複数箇所に設けられているものであり、
当該液体吐出口と当該気体吐出口とは、前記洗浄空間の内壁の周方向に交互に設けられている洗浄ノズル。
A cleaning nozzle used in a cleaning apparatus for cleaning the object to be cleaned (100),
A cover portion (2) covering the periphery of a predetermined cleaning spot (111) of the cleaning object;
A nozzle body (3) configured integrally with the cover part and forming a cleaning space (31) in which the cleaning location of the cleaning object is exposed;
A liquid supply unit (4) to which a liquid for cleaning the object to be cleaned is supplied;
A gas supply unit (5) to which a gas for drying the object to be cleaned is supplied;
A liquid passage (6) in which one side is in communication with the liquid supply unit and the other side is in communication with the cleaning space;
A gas passage (7) in which one side is in communication with the gas supply unit and the other side is in communication with the cleaning space;
A discharge passage (8) for discharging the liquid and gas discharged from the liquid passage and the gas passage to the cleaning space to the outside of the nozzle body , and
The washing location is arranged in a shape that is continuous in the circumferential direction,
The inner wall of the cleaning space is formed in a tubular shape so as to surround the cleaning portion of the object to be cleaned,
The liquid discharge port (61) having the liquid passage opened to the inner wall of the cleaning space is provided at a plurality of positions adjacent to the cleaning portion of the object to be cleaned,
The gas discharge port (71) having the gas passage opened to the inner wall of the cleaning space is provided at a plurality of positions adjacent to the cleaning portion of the object to be cleaned,
The cleaning nozzle in which the liquid discharge port and the gas discharge port are alternately provided in the circumferential direction of the inner wall of the cleaning space .
前記液体通路および前記気体通路は、前記ノズル本体に設けられているものである請求項1に記載の洗浄ノズル。   The cleaning nozzle according to claim 1, wherein the liquid passage and the gas passage are provided in the nozzle body. 記液体吐出口は、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所に向けられており、
記気体吐出口は、前記洗浄対象物の前記洗浄箇所に向けられているものである請求項1または2に記載の洗浄ノズル。
Before SL liquid material discharge port is directed to the cleaning portion of the cleaning object,
Before Kiki material discharge port, the washing nozzle according to claim 1 or 2 in which are directed to the cleaning portion of the cleaning object.
前記液体吐出口または前記気体吐出口は、楕円形である請求項からのいずれか一項に記載の洗浄ノズル。 The liquid discharge port or the gas discharge port, the washing nozzle according to any one of 3 from elliptical circular der Ru請 Motomeko 1. 前記液体吐出口または前記気体吐出口に設けられた網部(62)をさらに備える請求項からのいずれか一項に記載の洗浄ノズル。 The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 4 , further comprising a net (62) provided in the liquid discharge port or the gas discharge port. 前記液体通路は、前記液体供給部と前記液体吐出口とを連通する流路の一部が曲線状に形成され、
前記気体通路は、前記気体供給部と前記気体吐出口とを連通する流路の一部が曲線状に形成されているものである請求項からのいずれか一項に記載の洗浄ノズル。
In the liquid passage, a part of a flow passage communicating the liquid supply portion and the liquid discharge port is formed in a curved shape.
The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 5 , wherein in the gas passage, a part of a flow passage communicating the gas supply portion and the gas discharge port is formed in a curved shape.
前記カバー部は、前記洗浄対象物の外壁に当接し、前記洗浄空間から液体および気体が漏れることを抑制可能なものである請求項1からのいずれか一項に記載の洗浄ノズル。 The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 6 , wherein the cover portion is in contact with an outer wall of the object to be cleaned and can suppress leakage of liquid and gas from the cleaning space. 前記カバー部、前記ノズル本体、前記液体供給部、前記気体供給部、前記液体通路、前記気体通路および前記排出通路は、一体成形されているものである請求項1からのいずれか一項に記載の洗浄ノズル。 Said cover portion, said nozzle body, the liquid supply portion, the gas supply unit, said liquid passage, said gas passage and said discharge passage, claims 1 to 7 any one of those which is mono KaradaNaru form The washing nozzle as described in a paragraph.
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JPH08108125A (en) * 1994-10-13 1996-04-30 Sony Disc Technol:Kk Liquid feeder
JP2002334863A (en) * 2001-05-10 2002-11-22 Kaijo Corp Method and apparatus for cleaning and drying door shell for foup
US7905239B2 (en) * 2004-10-29 2011-03-15 Kim Sung-Il Part washer
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