JP6380154B2 - Cleaning nozzle and cleaning device - Google Patents
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Description
本発明は、洗浄用ノズル、及び、これを用いた洗浄装置に関する。 The present invention relates to a cleaning nozzle and a cleaning apparatus using the same.
従来、ワークに対し蒸気または洗浄液等の流体を噴射してワークを洗浄する洗浄装置、及び、その洗浄装置に用いられる洗浄用ノズルが知られている。
特許文献1に記載の洗浄用ノズルは、圧縮空気により加圧した洗浄液を管部材の噴射口からワークに向けて噴射し、ワークを洗浄している。また、この洗浄用ノズルは、管部材の噴射口の上流側にラバルノズル形状を採用することにより、噴射口から噴射される洗浄液を加速している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a cleaning apparatus that cleans a work by injecting a fluid such as steam or cleaning liquid onto the work, and a cleaning nozzle used in the cleaning apparatus are known.
The cleaning nozzle described in
しかしながら、特許文献1に記載の洗浄用ノズルは、管部材がステンレスなどの金属から形成されている。そのため、洗浄用ノズルから洗浄液を噴射することに代えて、蒸気を噴射する場合、その蒸気が管部材を通して放熱することが考えられる。蒸気の温度が低下すると、蒸気は凝縮してその体積が減少し、噴射圧力が低下する。そのため、特許文献1に記載の洗浄用ノズルを蒸気の噴射に使用した場合、洗浄能力が低下するおそれがある。
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、洗浄能力を高めることの可能な洗浄用ノズル、及び、これを用いた洗浄装置を提供することを目的とする。
However, in the cleaning nozzle described in
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a cleaning nozzle capable of enhancing the cleaning capability and a cleaning device using the same.
第1発明は、ワークに流体を噴射する洗浄装置に用いられる洗浄用ノズルであり、管部材および中空の断熱層を備える。管部材は、流体が供給される供給口と流体を噴射する噴射口とを連通する流体流路を有する。断熱層は、流体流路を形成する内壁と管部材の外壁との間に形成される。管部材は、供給口から延びる主流路を有する主管、及び、主流路から複数の噴射口へ通じる複数の分岐流路を有する複数の分岐管を有する。主管と分岐管とは、一体に形成される。断熱層は、主流路を形成する内壁と主管の外壁との間、及び、分岐流路を形成する内壁と分岐管の外壁との間に形成される。
これにより、流体流路を流れる流体の温度低下が抑制されるので、洗浄用ノズルは、流体の高圧噴射による洗浄能力を高めることが可能である。
1st invention is the nozzle for washing | cleaning used for the washing | cleaning apparatus which injects a fluid to a workpiece | work, and is provided with a pipe member and a hollow heat insulation layer. The tube member has a fluid flow path that communicates a supply port to which a fluid is supplied and an ejection port that ejects the fluid. The heat insulating layer is formed between the inner wall forming the fluid flow path and the outer wall of the pipe member. The pipe member includes a main pipe having a main flow path extending from the supply port, and a plurality of branch pipes having a plurality of branch flow paths leading from the main flow path to the plurality of injection ports. The main pipe and the branch pipe are integrally formed. The heat insulating layer is formed between the inner wall forming the main flow path and the outer wall of the main pipe, and between the inner wall forming the branch flow path and the outer wall of the branch pipe.
Thereby, since the temperature fall of the fluid which flows through a fluid flow path is suppressed, the nozzle for washing | cleaning can improve the washing | cleaning capability by the high pressure injection of a fluid.
第2発明は、洗浄装置の発明である。洗浄装置は、第1発明の洗浄用ノズル、ハウジング、流体供給手段、及び、駆動手段を備える。ハウジングは、ワークが移動可能な洗浄室を有し、その洗浄室に洗浄用ノズルの噴射口が挿入される。流体供給手段は、管部材の供給口へ流体を供給する。駆動手段は、洗浄室を移動するワークの移動方向に対し交差する方向に管部材を駆動可能である。
これにより、洗浄装置は、ワークの移動方向に対し交差する方向に管部材を移動しつつ、噴射口からワークに向けて流体を噴射することにより、ワークを確実に洗浄することが可能である。
The second invention is an invention of a cleaning device. The cleaning device includes the cleaning nozzle, the housing, the fluid supply means, and the drive means of the first invention. The housing has a cleaning chamber in which the workpiece can move, and an injection port of the cleaning nozzle is inserted into the cleaning chamber. The fluid supply means supplies fluid to the supply port of the tube member. The driving means can drive the tube member in a direction intersecting with the moving direction of the work moving through the cleaning chamber.
Thus, the cleaning device can reliably clean the workpiece by ejecting the fluid from the ejection port toward the workpiece while moving the pipe member in a direction crossing the moving direction of the workpiece.
本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には、図面に同一の符号を付して説明を省略する。また、各図面において、実質的に同一の構成が複数箇所にある場合、その一部にのみ符号を付すこととする。 A plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that, in a plurality of embodiments, substantially the same configuration is denoted by the same reference numeral in the drawings, and description thereof is omitted. Moreover, in each drawing, when substantially the same configuration is present at a plurality of locations, only a part thereof is denoted by a reference numeral.
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態を図1〜図7に示す。本実施形態の洗浄装置1は、洗浄用ノズル10から噴射する蒸気によりワーク2を洗浄するものである。本実施形態の蒸気は、特許請求の範囲に記載の「流体」の一例に相当する。
以下、「洗浄装置の構成」、「洗浄用ノズルの構成」、「作用効果」の順に説明する。
[First Embodiment]
A first embodiment of the present invention is shown in FIGS. The
Hereinafter, the “configuration of the cleaning device”, “configuration of the cleaning nozzle”, and “effect” will be described in this order.
(洗浄装置の構成)
図1および図2に示すように、洗浄装置1は、ハウジング3、洗浄用ノズル10、流体供給手段4および駆動手段5,6などを備える。
本実施形態の洗浄装置1が洗浄するワーク2は、ハウジング3の内側に形成された洗浄室7に挿入される。ワーク2は、洗浄室7を図2の矢印Aの方向に移動する。本実施形態では、ワーク2として、例えば、金属板を短いピッチで曲げ加工した放熱フィン等が例示される。但し、洗浄装置1は、このワーク2に限らず、種々のワークを洗浄することが可能である。
(Structure of the cleaning device)
As shown in FIGS. 1 and 2, the
The
洗浄用ノズル10は、ワーク2の板厚方向の一方と他方に配置されている。なお、本実施形態において、2個の洗浄用ノズル10は同一の構成であるので、一方の洗浄用ノズル10のみを説明することとする。
図3に示すように、洗浄用ノズル10は、管部材11、フランジ部20、第1取付部30および第2取付部40などを備えている。
管部材11は、供給口12から延びる主管13と、その主管13から分岐する2本の分岐管14とを有する。分岐管14の主管13とは反対側の端部には、噴射口15が形成されている。フランジ部20と第1取付部30と第2取付部40は、分岐管14に固定されている。
The
As shown in FIG. 3, the
The
図1および図2に示すように、管部材11は、流体供給手段4から供給口12に供給された高圧の蒸気を噴射口15からワーク2へ向けて噴射する。
駆動手段5,6は、洗浄用ノズル10の第1取付部30と第2取付部40に対し、図示していないボルトなどにより固定される。図1及び図2では、駆動手段5,6の一部を破線で模式的に示している。駆動手段5,6は、図1及び図2の矢印Bの方向に同期して駆動する。この矢印Bの方向は、洗浄室7を移動するワーク2の移動方向に対し交差する方向である。管部材11は、駆動手段5,6により駆動され、ハウジング3の開口部8の範囲内で矢印Bの方向に往復移動する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
The driving means 5 and 6 are fixed to the
フランジ部20は、ハウジング3に設けられた開口部8を塞いでいる。フランジ部20よりも噴射口15側に位置する分岐管14はハウジング3の洗浄室7に挿入されている。フランジ部20は、管部材11が矢印Bの方向へ往復移動する距離よりも大きく、ハウジング3の開口部8から矢印Bの方向の両側へ延びるように形成されている。そのため、管部材11が矢印Bの方向に往復移動するとき、フランジ部20は、ハウジング3の開口部8を塞ぎ、洗浄室7から蒸気が漏れることを抑制する。
The
洗浄装置1は、ハウジング3の洗浄室7を矢印Aの方向へ移動するワーク2に対し、洗浄用ノズル10の噴射口15からワーク2へ向けて蒸気を噴射する。このとき、駆動手段5,6は管部材11を矢印Bの方向へ往復移動する。これにより、ワーク2の隅々まで蒸気が噴射され、ワーク2は確実に洗浄される。
The
(洗浄用ノズルの構成)
次に、洗浄用ノズル10について、図4から図7を参照して詳細に説明する。
上述したように、洗浄用ノズル10は、主管13と2本の分岐管14とを有する管部材11、第1取付部30、第2取付部40およびフランジ部20を備えている。主管13、分岐管14、第1取付部30、第2取付部40およびフランジ部20は、一体に形成されている。この洗浄用ノズル10は、金属3Dプリンタにより形成することが可能である。
(Structure of cleaning nozzle)
Next, the cleaning
As described above, the cleaning
管部材11は、その内側に、供給口12と噴射口15とを連通する流体流路16を有する。流体流路16は、供給口12から延びる主流路17と、その主流路17から2個の噴射口15へ通じる2本の分岐流路18を有する。主流路17は主管13の内側に形成された流路であり、分岐流路18は分岐管14の内側に形成された流路である。
主流路17と複数の分岐流路18とは、滑らかに接続されている。即ち、主流路17の軸Pと複数の分岐流路18の軸Q1、Q2とは、鈍角に交差している。そのため、主流路17から複数の分岐流路18へ流れる蒸気は、流体流路16の内壁から剥離することなく、圧力損失が低減される。
The
The
図7に示すように、分岐流路18において噴射口15の上流側に位置する箇所には、ラバルノズル19が形成されている。即ち、分岐流路18は所定の位置191で断面積が小さくなり、そこから噴射口15側に向けてラバルノズルに定義された曲率で断面積が次第に大きくなっている。このラバルノズル19により、噴射口15から噴射される蒸気が加速される。
As shown in FIG. 7, a
本実施形態の洗浄用ノズル10は、管部材11の外壁と流体流路16を形成する内壁との間に形成された中空の断熱層50を備えている。断熱層50は、主流路17を形成する内壁と主管13の外壁との間と、分岐流路18を形成する内壁と分岐管14の外壁との間に亘り、軸方向に連続して形成される。断熱層50は、複数の仕切壁51と、断熱空間52を有する。図5及び図6に示すように、複数の仕切壁51は、流体流路16の軸P,Q1、Q2を中心とした放射状に設けられている。また、図4及び図7に示すように、複数の仕切壁51は、管部材11の外壁と流体流路16の内壁との間で流体流路16の軸方向に延びている。
The cleaning
断熱空間52は、複数の仕切壁51と仕切壁51との間に形成される空間である。図6及び図7に示すように、断熱空間52は、管部材11の軸方向の端部に開口している。これにより、管部材11と断熱層50を金属3Dプリンタで製造した際、管部材11の軸方向の端部の開口から、断熱空間52に取り残された金属粉を排出することが可能である。
The
第1取付部30は、2本の分岐管14に接続され、2本の分岐管14が並ぶ方向の一方へ延びている。本実施形態の第1取付部30は、特許請求の範囲に記載の「取付部」の一例に相当する。
図3及び図5に示すように、第1取付部30は、2本の分岐管14に接続される角柱状の腕部31と、その腕部31の分岐管14とは反対側に設けられた板部32とを有する。腕部31は、内側に空間33を有する中空部材である。腕部31は、内側の空間33と外気とを連通する孔34を有する。第1取付部30を金属3Dプリンタで形成した際、腕部31の内側の空間33に取り残された金属粉を、その孔34から排出することが可能である。板部32は、板厚方向に通じるボルト孔35を有する。このボルト孔35に図示していないボルトが差し込まれ、第1取付部30は、駆動手段5に固定される。
第2取付部40は、6個の円筒部41と、その円筒部41を一方の分岐管14に接続する接続部42を有する。6個の円筒部41の内側の孔に図示していないボルトが差し込まれ、第2取付部40は、駆動手段6に固定される。
The
As shown in FIGS. 3 and 5, the first mounting
The second mounting
図3及び図4に示すように、フランジ部20は、2本の分岐管14に接続され、2本の分岐管14の軸Q1、Q2に対し垂直に形成されている。フランジ部20は、内側に空間21を有する中空部材である。フランジ部20は、内側の空間21と外気とを連通する孔22を有する。フランジ部20を金属3Dプリンタで形成した際、フランジ部20の内側の空間21に取り残された金属粉を、その孔22から排出することが可能である。
フランジ部20の外周には凹溝部23が設けられている。この凹溝部23に、図示していないシール部材が嵌め込まれる。そのシール部材により、フランジ部20は、上述したハウジング3の開口部8から蒸気が漏れることを防ぐことが可能である。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
A
(作用効果)
第1実施形態の洗浄用ノズル10および洗浄装置1は、次の作用効果を奏する。
(1)第1実施形態では、洗浄用ノズル10が備える管部材11の外壁と流体流路16を形成する内壁との間に中空の断熱層50が形成されている。
これにより、流体流路16を流れる蒸気の温度低下が抑制されるので、蒸気の凝縮による体積の減少が抑制される。そのため、蒸気の圧力低下が抑制され、噴射口15から噴射される蒸気圧力が維持される。したがって、洗浄用ノズル10は、蒸気の高圧噴射による洗浄能力を高めることが可能である。
また、洗浄用ノズル10は、中空の断熱層50を形成することにより、管部材11の質量を軽くすることが可能である。したがって、この洗浄用ノズル10を備える洗浄装置1は、洗浄用ノズル10を往復移動させつつワーク2を洗浄する際、洗浄用ノズル10の移動速度を速め、洗浄能力を高めることが可能である。
(Function and effect)
The cleaning
(1) In the first embodiment, a hollow
Thereby, since the temperature fall of the vapor | steam which flows through the
Moreover, the
(2)第1実施形態では、断熱層50は、管部材11の外壁と流体流路16の内壁との間で流体流路16の軸方向に延びる複数の仕切壁51と、その仕切壁51と仕切壁51との間に形成される断熱空間52とを有する。
これにより、洗浄用ノズル10は、複数の仕切壁51によって管部材11の剛性を高めることが可能である。
(2) In the first embodiment, the
Thus, the cleaning
(3)第1実施形態では、複数の仕切壁51は、流体流路16の軸P,Q1、Q2を中心とした放射状に設けられる。
これにより、管部材11の全周において、その剛性を高めることができる。
(3) In the first embodiment, the plurality of
Thereby, the rigidity can be improved in the perimeter of the
(4)第1実施形態では、断熱空間52は、管部材11の軸方向の端部に開口している。
これにより、管部材11と断熱層50を金属3Dプリンタで形成した際、管部材11の軸方向の端部の開口から、断熱空間52に取り残された金属粉を排出することが可能である。
(4) In 1st Embodiment, the
Thereby, when the
(5)第1実施形態では、管部材11は、供給口12から延びる主流路17を有する主管13と、その主流路17から複数の噴射口15へ通じる複数の分岐流路18を有する複数の分岐管14とを有する。主管13と複数の分岐管14とは一体に形成される。断熱層50は、主流路17を形成する内壁と主管13の外壁との間、及び、分岐流路18を形成する内壁と分岐管14の外壁との間に形成される。
これにより、洗浄用ノズル10は、主流路17および複数の分岐流路18を流れる蒸気の温度低下を確実に抑制することが可能である。
(5) In the first embodiment, the
Thereby, the cleaning
(6)第1実施形態では、主流路17と複数の分岐流路18とが滑らかに接続される。
これにより、主流路17から複数の分岐流路18を流れる蒸気が流路の内壁から剥離することが防がれるので、蒸気の圧力損失が抑制される。したがって、洗浄用ノズル10は、蒸気による洗浄能力を高めることができる。
(6) In the first embodiment, the
As a result, the vapor flowing from the
(7)第1実施形態では、主流路17の軸Pと複数の分岐流路18の軸Q1、Q2とは、鈍角に交差する。
これにより、主流路17と複数の分岐流路18とが滑らかに接続され、主流路17から複数の分岐流路18を流れる蒸気が流路の内壁から剥離することが防がれる。
(7) In the first embodiment, the axis P of the
Thereby, the
(8)第1実施形態では、洗浄用ノズル10は、駆動手段5を取り付け可能な第1取付部30を備える。第1取付部30は、内側に空間33を有する中空部材であり、管部材11と一体に形成される。
第1取付部30を中空部材とすること、さらに、第1取付部30と管部材11とを一体に形成することにより、洗浄用ノズル10の質量を軽くすることが可能である。そのため、洗浄用ノズル10を備えた洗浄装置1は、駆動手段5,6により洗浄用ノズル10を移動しつつワーク2を洗浄する際、洗浄用ノズル10の移動速度を速くし、洗浄能力を高めることができる。
(8) In the first embodiment, the cleaning
It is possible to reduce the mass of the cleaning
(9)第1実施形態では、洗浄用ノズル10は、フランジ部20を備える。フランジ部20は、内側に空間21を有する中空部材であり、管部材11と一体に形成される。
フランジ部20を中空部材とすること、また、フランジ部20と管部材11とを一体に形成することにより、洗浄用ノズル10の質量を軽くすることが可能である。
(9) In the first embodiment, the cleaning
By making the
(10)第1実施形態では、管部材11の噴射口15の上流側にラバルノズル19が形成される。
これにより、噴射口15から噴射される蒸気を加速することができる。
(10) In the first embodiment, a
Thereby, the steam injected from the
(11)第1実施形態の洗浄装置1は、洗浄用ノズル10、ハウジング3、流体供給手段4、及び、駆動手段5,6を備える。ハウジング3は、ワーク2が移動可能な洗浄室7を有し、その洗浄室7に洗浄用ノズル10の噴射口15が挿入される。流体供給手段4は、管部材11の供給口12へ高圧の蒸気を供給する。駆動手段5,6は、洗浄室7を移動するワーク2の移動方向に対し交差する方向に管部材11を駆動可能である。
これにより、洗浄装置1は、ワーク2の移動方向に対し交差する方向に洗浄用ノズル10を移動しつつ、洗浄用ノズル10の噴射口15からワーク2に向けて蒸気を噴射することにより、ワーク2を確実に洗浄することが可能である。
(11) The
Accordingly, the
[第2実施形態]
本発明の第2実施形態を図8及び図9に示す。第2実施形態の洗浄用ノズル10は、複数の仕切壁55が、管部材11の外壁と流体流路16の内壁との間で流体流路16の径方向に延び、環状に形成されている。複数の仕切壁55は、流体流路16の軸方向に断続的に設けられている。
仕切壁55と仕切壁55との間には、断熱空間56が形成されている。管部材11は、断熱空間56と外気とを連通する孔57を有する。そのため、管部材11と断熱層50を金属3Dプリンタで形成した際、断熱空間56に取り残された金属粉を、その孔57から排出することが可能である。
[Second Embodiment]
A second embodiment of the present invention is shown in FIGS. In the cleaning
A
第2実施形態では、複数の仕切壁55は、管部材11の外壁と流体流路16の内壁との間で流体流路16の径方向に延び、流体流路16の軸方向に断続的に設けられる。
これにより、洗浄用ノズル10は、複数の仕切壁55によって管部材11の剛性を高めることが可能である。
In the second embodiment, the plurality of
Thereby, the
[第3実施形態]
本発明の第3実施形態を図10及び図11に示す。第3実施形態では、洗浄用ノズル10の噴射口151は、流体流路16うち分岐流路18の軸Q1、Q2に垂直な断面が楕円状に形成されている。この楕円状の噴射口151は、長軸方向が、洗浄用ノズル10が往復移動する方向Bと平行に形成されている。
これにより、噴射口151から噴射される蒸気の噴射範囲を広げることが可能である。したがって、第3実施形態の洗浄用ノズル10は、洗浄能力を高めることができる。
[Third Embodiment]
A third embodiment of the present invention is shown in FIGS. In the third embodiment, the
Thereby, the injection range of the steam injected from the
[他の実施形態]
(1)上述した実施形態では、洗浄装置1は、洗浄用ノズル10から蒸気を噴射した。これに対し、他の実施形態では、洗浄装置1は、蒸気に代えて、洗浄剤などの液体または気体を洗浄用ノズル10から噴射してもよい。
[Other Embodiments]
(1) In the embodiment described above, the
(2)上述した実施形態では、洗浄装置1は、ワーク2の板厚方向の一方と他方に洗浄用ノズル10を配置した。これに対し、他の実施形態では、洗浄装置1は、ワーク2の板厚方向の一方のみに洗浄用ノズル10を配置してもよい。
(2) In the above-described embodiment, the
(3)上述した実施形態では、洗浄用ノズル10の管部材11は、1本の主管13と2本の分岐管14を有するものとした。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル10の管部材11は、分岐管14を有することなく、1本の主管13のみからなるものとして、1個の噴射口15,151から蒸気を噴射してもよい。また、洗浄用ノズル10の管部材11は、1本の主管13に対し3本以上の分岐管14を有するものとしてもよい。
(3) In the above-described embodiment, the
(4)上述した実施形態では、洗浄用ノズル10は、中空の断熱層50を備えるものとした。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル10は、断熱空間52、56に断熱材を挿入してもよい。
(4) In the embodiment described above, the cleaning
(5)上述した実施形態では、金属3Dプリンタにより洗浄用ノズル10を形成した。これに対し、他の実施形態では、洗浄用ノズル10は、樹脂3Dプリンタにより形成してもよい。
このように本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、上述した複数の実施形態を組み合わせることに加え、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。
(5) In the above-described embodiment, the cleaning
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. In addition to combining the above-described embodiments, the present invention can be implemented in various forms without departing from the spirit of the invention.
1 ・・・洗浄装置
10・・・洗浄用ノズル
11・・・管部材
12・・・供給口
15、151・・・噴射口
16・・・流体流路
50・・・断熱層
DESCRIPTION OF
Claims (14)
流体が供給される供給口(12)と流体を噴射する噴射口(15,151)とを連通する流体流路(16)を有する管部材(11)と、
前記流体流路を形成する内壁と前記管部材の外壁との間に形成され、前記流体流路を流れる流体の放熱を抑制する断熱層(50)と、を備え、
前記管部材は、前記供給口から延びる主流路(17)を有する主管(13)、及び、前記主流路から複数の前記噴射口へ通じる複数の分岐流路(18)を有する複数の分岐管(14)を有し、
前記主管(13)と前記分岐管とは、一体に形成され、
前記断熱層は、前記主流路を形成する内壁と前記主管の外壁との間、及び、前記分岐流路を形成する内壁と前記分岐管の外壁との間に形成されることを特徴とする洗浄用ノズル。 A cleaning nozzle used in a cleaning device for injecting a fluid onto a workpiece (2),
A pipe member (11) having a fluid flow path (16) communicating between a supply port (12) to which a fluid is supplied and an injection port (15, 151) for ejecting the fluid;
A heat insulating layer (50) that is formed between an inner wall that forms the fluid flow path and an outer wall of the pipe member, and that suppresses heat dissipation of the fluid flowing through the fluid flow path,
The pipe member includes a main pipe (13) having a main flow path (17) extending from the supply port, and a plurality of branch pipes having a plurality of branch flow paths (18) leading from the main flow path to the plurality of injection ports. 14)
The main pipe (13) and the branch pipe are integrally formed,
The heat insulating layer is formed between the inner wall forming the main flow path and the outer wall of the main pipe, and between the inner wall forming the branch flow path and the outer wall of the branch pipe. Nozzle.
前記流体流路の内壁と前記管部材の外壁との間で前記流体流路の軸方向に延びる複数の仕切壁(51)と、
複数の前記仕切壁と前記仕切壁との間に形成される断熱空間(52)と、を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄用ノズル。 The thermal insulation layer is
A plurality of partition walls (51) extending in an axial direction of the fluid flow path between an inner wall of the fluid flow path and an outer wall of the pipe member;
The cleaning nozzle according to claim 1, further comprising a plurality of the partition walls and a heat insulating space (52) formed between the partition walls.
前記流体流路の内壁と前記管部材の外壁との間で前記流体流路の径方向に延びる複数の仕切壁(55)と、
複数の前記仕切壁と前記仕切壁との間に形成される断熱空間(56)と、を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄用ノズル。 The thermal insulation layer is
A plurality of partition walls (55) extending in a radial direction of the fluid flow path between an inner wall of the fluid flow path and an outer wall of the pipe member;
The cleaning nozzle according to claim 1, further comprising: a plurality of the partition walls and a heat insulating space formed between the partition walls.
前記取付部は、内側に空間(33)を有する中空部材であり、前記管部材と一体に形成されることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。 An attachment portion (30) to which a drive means (5) for driving the tube member can be attached;
The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 9 , wherein the attachment portion is a hollow member having a space (33) on the inside, and is formed integrally with the tube member.
前記フランジ部は、内側に空間(21)を有する中空部材であることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。 A flange portion (20) formed integrally with the tube member;
The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 10 , wherein the flange portion is a hollow member having a space (21) on the inside.
ことを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の洗浄用ノズル。 The nozzle for cleaning according to any one of claims 1 to 12 , wherein the injection port (151) of the pipe member has an elliptical cross section perpendicular to the axis of the fluid flow path.
前記ワークが移動可能な洗浄室(7)を有し、前記洗浄室に前記洗浄用ノズルの前記噴射口が挿入されるハウジング(3)と、
前記管部材の前記供給口へ流体を供給する流体供給手段(4)と、
前記洗浄室を移動する前記ワークの移動方向(A)に対し交差する方向(B)に前記管部材を駆動する駆動手段(5,6)と、を備えることを特徴とする洗浄装置。 The cleaning nozzle according to any one of claims 1 to 13 ,
A housing (3) having a cleaning chamber (7) in which the workpiece is movable; and the injection port of the cleaning nozzle is inserted into the cleaning chamber;
Fluid supply means (4) for supplying fluid to the supply port of the tube member;
A cleaning apparatus, comprising: drive means (5, 6) for driving the pipe member in a direction (B) intersecting a moving direction (A) of the workpiece moving in the cleaning chamber.
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