JP6549440B2 - アレイ状ラテラル効果位置検出ディテクタ用のシステム及び方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- アレイ状位置検出ディテクタを含むシステムであって、
前記アレイ状位置検出ディテクタは、ラテラル効果位置検出ディテクタエレメント及び加算増幅器を含んでおり、
前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは、スイッチを介して前記加算増幅器に送信される出力を生成し、
前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは、電圧オフセット生成器に接続されており、前記電圧オフセット生成器は、前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントを特定するオフセット電圧を生成するように構成されている、システム。 - 前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは電子回路に接続されており、前記電子回路は、前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントを照射する光のスポットの位置を特定するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記オフセット電圧は、複数のラテラル効果位置検出ディテクタエレメントのアレイ内における前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントの相対位置を示す、請求項1に記載のシステム。
- 前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは、閾値検出回路に接続されており、前記閾値検出回路は、前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントで生成された光電流が設定閾値を超えているかどうかを判断するように構成されている、請求項1又は2に記載のシステム。
- 前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメント用の前記閾値検出回路の出力は、前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメント用の前記スイッチに接続されており、当該スイッチの状態を制御する、請求項4に記載のシステム。
- アレイ状位置検出ディテクタを含むシステムであって、
前記アレイ状位置検出ディテクタは、ラテラル効果位置検出ディテクタエレメント及び加算増幅器を含んでおり、
前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは、スイッチを介して前記加算増幅器に送信される出力を生成し、
前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントは、閾値検出回路に接続されており、前記閾値検出回路は、前記ラテラル効果位置検出ディテクタエレメントで生成された光電流が設定閾値を超えているかどうかを判断するように構成されている、システム。 - 複数のより小さい領域に分割されているエリアを照射する光のスポットの位置を特定することと、
前記複数のより小さい領域をラテラル効果位置検出ディテクタによって検出することと、
前記ラテラル効果位置検出ディテクタに接続された1組のスイッチによって前記ラテラル効果位置検出ディテクタからの出力を選択することと、
選択された出力同士を合成することと、
前記エリア上の光のスポットの照射による光電流を閾値と比較することによって制御信号を生成することと、を含み、前記制御信号は、前記スイッチの組のうちのスイッチの状態を選択することを含む、方法。 - 前記制御信号を用いることによって、前記光のスポットによって照射された少なくとも1つのラテラル効果位置検出ディテクタの相対位置を示すオフセット値を決定することをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 前記制御信号を用いることによって、増幅器のゲインを確立することをさらに含む、請求項7又は8のいずれかに記載の方法。
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