JP6538730B2 - 磁気カスププラズマ制御を備える極端紫外線源 - Google Patents
磁気カスププラズマ制御を備える極端紫外線源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6538730B2 JP6538730B2 JP2016575344A JP2016575344A JP6538730B2 JP 6538730 B2 JP6538730 B2 JP 6538730B2 JP 2016575344 A JP2016575344 A JP 2016575344A JP 2016575344 A JP2016575344 A JP 2016575344A JP 6538730 B2 JP6538730 B2 JP 6538730B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- extreme ultraviolet
- ultraviolet light
- chamber
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 38
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 13
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 11
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 10
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims 2
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 77
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 229910001432 tin ion Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 7
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910017305 Mo—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N Protium Chemical compound [1H] YZCKVEUIGOORGS-IGMARMGPSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000010584 magnetic trap Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
- H05G2/005—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas containing a metal as principal radiation generating component
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
本発明は、半導体チップのリソグラフィのための、特に13.5nmでの極端紫外線(EUV)光の生成に関する。具体的には、本発明は、極限パワーまで動作範囲拡大するための、増加したプラズマ熱除去を有するレーザー生成プラズマ(LPP)光源タイプの構成を記載する。
EUVリソグラフィプロセスによる半導体パターニングのスループットを増やすために、13.5nmでの極端紫外線(EUV)光のより強力なソースが必要である。多くの異なるソースの設計は、高効率(30%まで)の直接放電(DPP)リチウムアプローチ[2、3、4、5、6、7]および錫含有[8]または純錫のドロップレット[9、10、11]のレーザープラズマ(LPP)照射も含めて、提案され、テストされてきた(背景のための歴史的な概要[1]を参照)。錫ドロップレットのレーザー照射は、特に先行パルス異形[11]において、最近の集中的な開発の対象であり続け[12、13]、4%の実証された効率および6%までの理論上の効率を有する。
1)カスプの中心に安定的なプラズマ封じ込めがある;
2)カスプの赤道位置の(equatorial)磁場最小に、制御されるプラズマ流出がある;
3)プラズマ流出は、広い面積を有し得る環状プラズマビームダンプ上への半径方向磁場によって導かれ、扱われ得るパワーを最大化する。
1)十分なバッファガス密度(アルゴンの場合、約50mTorr)は、カスプトラップ内において低エネルギー(約1eV)で熱平衡化するまで、レーザープラズマ相互作用からの錫イオンのエネルギーを低下させる;
2)フレッシュバッファガスは、さもなければ偏向なく磁場を通過し、ミラー上に蒸着するであろう中性の錫原子を押し流すために、収集ミラー表面を過ぎて流れる;
3)カスプトラップ内でのバッファガスは、錫の増大、および、結果としてのEUV吸収を防ぐために、連続補充を介して錫密度を薄める;
5)閉じ込められるバッファガスプラズマからの放射は、今度はチャンバ壁および収集光学系へ、追加の熱損失を提供し得る。共振放射は、中性の錫原子をペニングイオン化し得るチャンバの全体に渡ってバッファガス準安定を作り出し得、磁場を介してそれらの収集を補助する;
6)プラズマ流出は、プラズマビームダンプの方へよく定義される方向で、強力な真空ポンプアクションに貢献する。
本明細書において、本発明の異なる具現化で対応する同様の要素は、図面の組において同様に符号を付けられており、また、常にその全体において符号が付されているわけではない。
Claims (17)
- チャンバ;ドロップレットターゲットのソース;干渉領域においてドロップレット上へ焦点を当てられる1以上のレーザー;流れるバッファガス;チャンバの出口ポートである共通のコレクタ光学軸上の点へ極端紫外線光を向け直す、1以上の反射性コレクタ要素;コレクタ光学軸の周りに配置される環状配列のプラズマビームダンプ;対称磁気カスプを作り出すために、等しいが反対の電流を運ぶ2セットの反対の対称磁場コイルによって提供される磁場、ここで、レーザープラズマ相互作用は、カスプのゼロ磁場点で、またはその近くで起き、および、熱は、環状配列のプラズマビームダンプの方への光学軸に対して垂直な360度の角度範囲での半径方向プラズマ流を介して除去される:を含む、極端紫外線光源。
- 水素、ヘリウムおよびアルゴンからなる群から選択されるバッファガスが、レーザープラズマ相互作用からの高速イオンを遅くさせるのに十分な密度ではあるが、それがプラズマ領域からチャンバの出口ポートへ通過するときに極端紫外線光の吸収が50%より多くはならない密度で、チャンバを通して流される、請求項1に記載の極端紫外線光源。
- アルゴンバッファが1cm−3あたり1×1015〜4×1015原子の間の密度範囲で提供される、請求項2に記載の極端紫外線光源。
- 最小カスプ閉じ込め磁場が0.01〜1.0テスラ範囲での値を有する、請求項1に記載の極端紫外線光源。
- 最小カスプ閉じ込め磁場が50mTから200mTの範囲での値を有する、請求項1に記載の極端紫外線光源。
- チャンバ;ドロップレットターゲットのソース;干渉領域においてドロップレット上へ焦点を当てられる1以上のレーザー;流れるバッファガス;チャンバの出口ポートである共通のコレクタ光学軸上の点へ極端紫外線光を向け直す、1以上の反射性コレクタ要素;コレクタ光学軸の周りに配置される環状配列のプラズマビームダンプ;近対称磁気カスプを作り出すために、反対の電流を運ぶ2セットの反対の近対称磁場コイルによって提供される磁場、ここで、レーザープラズマ相互作用は、カスプのゼロ磁場点で、またはその近くで起き、および、熱は、環状配列のプラズマビームダンプの方への光学軸に対して垂直な360度の角度範囲での半径方向プラズマ流を介して除去される:を含む、極端紫外線光源。
- 水素、ヘリウムおよびアルゴンからなる群から選択されるバッファガスが、レーザープラズマ相互作用からの高速イオンを遅くさせるのに十分な密度ではあるが、それがプラズマ領域からチャンバの出口ポートへ通過するときに極端紫外線光の吸収が50%より多くはならない密度で、チャンバを通して流される、請求項6に記載の極端紫外線光源。
- アルゴンバッファが1cm−3あたり1×1015〜4×1015原子の間の密度範囲で提供される、請求項7に記載の極端紫外線光源。
- 最小カスプ閉じ込め磁場が0.01〜1.0テスラ範囲での値を有する、請求項1に記載の極端紫外線光源。
- 最小カスプ閉じ込め磁場が50mTから200mTの範囲での値を有する、請求項1に記載の極端紫外線光源。
- チャンバ;ドロップレットターゲットのソース;干渉領域においてドロップレット上へ焦点を当てられる1以上のレーザー;流れるバッファガス;チャンバの出口ポートであるコレクタ光学軸上の点へ極端紫外線光を向け直す反射性コレクタ要素;コレクタ光学軸へ垂直に配置されるプラズマシート、ここで、バッファガスは、プラズマシートとコレクタ要素との間の空間中へ導入され、プラズマシートと光学軸上にあるチャンバの出口ポートとの間の空間におけるその密度と比較して、空間内でのより高い密度でのプラズマシートのポンプ作用を介して維持される:を含む、極端紫外線光源。
- プラズマシートは、その軸が磁気カスプ構成を共に発生させるコレクタ光学軸と同時に起こる逆磁場コイルによって制御される、請求項11に記載の極端紫外線光源。
- プラズマシートがレーザードロップレット干渉領域からの排気プラズマパワーの吸収によって最小でも引き起こされるバッファガスのイオン化によって維持される、請求項12に記載の極端紫外線光源。
- プラズマシートで半径方向プラズマ流を交差させ、排気プラズマパワーを吸収するコレクタ光学軸の周りに対称に配置される環状ビームダンプを備えた、請求項13に記載の極端紫外線光源。
- ドロップレット材料の排出原子イオンおよび粒子がプラズマシートに運ばれ、環状ビームダンプ上に濃縮する、請求項14に記載の極端紫外線源。
- 流れるバッファガスが、アルゴン、ヘリウムまたは水素である、請求項12に記載の極端紫外線源。
- 流れるバッファガスが、ビームダンプからガス清浄器を通して、それがチャンバ中へ再導入されるコレクタとプラズマシートとの間の点へリサイクルされる、請求項16に記載の極端紫外線源。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/317,280 | 2014-06-27 | ||
US14/317,280 US9155178B1 (en) | 2014-06-27 | 2014-06-27 | Extreme ultraviolet source with magnetic cusp plasma control |
PCT/US2015/037395 WO2015200467A1 (en) | 2014-06-27 | 2015-06-24 | Extreme ultraviolet source with magnetic cusp plasma control |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017520796A JP2017520796A (ja) | 2017-07-27 |
JP6538730B2 true JP6538730B2 (ja) | 2019-07-03 |
Family
ID=54203990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016575344A Active JP6538730B2 (ja) | 2014-06-27 | 2015-06-24 | 磁気カスププラズマ制御を備える極端紫外線源 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9155178B1 (ja) |
JP (1) | JP6538730B2 (ja) |
WO (1) | WO2015200467A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110089834A1 (en) * | 2009-10-20 | 2011-04-21 | Plex Llc | Z-pinch plasma generator and plasma target |
US9578729B2 (en) | 2014-11-21 | 2017-02-21 | Plex Llc | Extreme ultraviolet source with dual magnetic cusp particle catchers |
DE102021106289A1 (de) | 2020-05-07 | 2021-11-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | System und verfahren zum ausführen von extrem-ultraviolett-photolithografieprozessen |
US11392040B2 (en) * | 2020-05-07 | 2022-07-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for performing extreme ultraviolet photolithography processes |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3230418A (en) * | 1961-06-23 | 1966-01-18 | Raphael A Dandl | Device having high-gradient magnetic cusp geometry |
FR91221E (ja) * | 1963-03-08 | 1968-08-28 | ||
JPS59209300A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-27 | 株式会社東芝 | 核融合装置から測定装置へ侵入するプラズマの遮断装置 |
JP2000030893A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマ発生装置 |
US7671349B2 (en) | 2003-04-08 | 2010-03-02 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
US7087914B2 (en) * | 2004-03-17 | 2006-08-08 | Cymer, Inc | High repetition rate laser produced plasma EUV light source |
JP4578901B2 (ja) | 2004-09-09 | 2010-11-10 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置 |
US7115887B1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-10-03 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for generating extreme ultraviolet with mather-type plasma accelerators for use in Extreme Ultraviolet Lithography |
US7479646B2 (en) | 2005-12-09 | 2009-01-20 | Plex Llc | Extreme ultraviolet source with wide angle vapor containment and reflux |
JP4954584B2 (ja) | 2006-03-31 | 2012-06-20 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置 |
JP4937643B2 (ja) | 2006-05-29 | 2012-05-23 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置 |
US7655925B2 (en) | 2007-08-31 | 2010-02-02 | Cymer, Inc. | Gas management system for a laser-produced-plasma EUV light source |
JP2011505668A (ja) | 2007-11-29 | 2011-02-24 | プレックス エルエルシー | レーザ加熱放電プラズマeuv光源 |
JP5246916B2 (ja) | 2008-04-16 | 2013-07-24 | ギガフォトン株式会社 | Euv光発生装置におけるイオン回収装置および方法 |
US8536551B2 (en) * | 2008-06-12 | 2013-09-17 | Gigaphoton Inc. | Extreme ultra violet light source apparatus |
US8519366B2 (en) | 2008-08-06 | 2013-08-27 | Cymer, Inc. | Debris protection system having a magnetic field for an EUV light source |
JP5454881B2 (ja) | 2008-08-29 | 2014-03-26 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置及び極端紫外光の発生方法 |
NL1036803A (nl) | 2008-09-09 | 2010-03-15 | Asml Netherlands Bv | Radiation system and lithographic apparatus. |
JP5368221B2 (ja) | 2008-09-16 | 2013-12-18 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP2010103499A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置および極端紫外光生成方法 |
JP5426317B2 (ja) | 2008-10-23 | 2014-02-26 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光光源装置 |
JP2010123929A (ja) * | 2008-10-24 | 2010-06-03 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光光源装置 |
JP5448775B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2014-03-19 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP5559562B2 (ja) | 2009-02-12 | 2014-07-23 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光光源装置 |
JP2011192965A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-29 | Komatsu Ltd | チャンバ装置、および極端紫外光生成装置 |
JP5687488B2 (ja) | 2010-02-22 | 2015-03-18 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
US8440988B2 (en) | 2010-12-09 | 2013-05-14 | Plex Llc | Pulsed discharge extreme ultraviolet source with magnetic shield |
US9516730B2 (en) * | 2011-06-08 | 2016-12-06 | Asml Netherlands B.V. | Systems and methods for buffer gas flow stabilization in a laser produced plasma light source |
US8569724B2 (en) | 2011-12-14 | 2013-10-29 | Plex Llc | Induction heated buffer gas heat pipe for use in an extreme ultraviolet source |
US8592788B1 (en) | 2013-02-25 | 2013-11-26 | Plex Llc | Lithium extreme ultraviolet source and operating method |
-
2014
- 2014-06-27 US US14/317,280 patent/US9155178B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-06-24 JP JP2016575344A patent/JP6538730B2/ja active Active
- 2015-06-24 WO PCT/US2015/037395 patent/WO2015200467A1/en active Application Filing
- 2015-09-14 US US14/852,777 patent/US9301380B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9155178B1 (en) | 2015-10-06 |
US20160007433A1 (en) | 2016-01-07 |
JP2017520796A (ja) | 2017-07-27 |
US9301380B2 (en) | 2016-03-29 |
WO2015200467A1 (en) | 2015-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8519366B2 (en) | Debris protection system having a magnetic field for an EUV light source | |
US8212228B2 (en) | Extreme ultra violet light source apparatus | |
US9516730B2 (en) | Systems and methods for buffer gas flow stabilization in a laser produced plasma light source | |
US5763930A (en) | Plasma focus high energy photon source | |
KR102298600B1 (ko) | 플라즈마 기반 광원 내의 데브리스로부터의 광학기 보호를 위한 장치 및 방법 | |
JP6538730B2 (ja) | 磁気カスププラズマ制御を備える極端紫外線源 | |
US8354657B2 (en) | Extreme ultra violet light source apparatus | |
US7696493B2 (en) | Radiation system and lithographic apparatus | |
US9578729B2 (en) | Extreme ultraviolet source with dual magnetic cusp particle catchers | |
JP2011082473A (ja) | 極端紫外光源装置 | |
KR20100057851A (ko) | 레이저 생성 플라즈마 euv 광원용 가스 관리 시스템 | |
KR20090117810A (ko) | 레이저 생성 플라즈마 euv 광원 | |
JP2006286623A (ja) | 短波長放射線発生のための放射線源 | |
NL2028873B1 (en) | Apparatus and method for processing a reticle and pellicle assembly | |
US9544986B2 (en) | Extreme ultraviolet source with magnetic cusp plasma control | |
RU2743572C1 (ru) | Высокояркостный источник коротковолнового излучения (варианты) | |
US12028958B2 (en) | High-brightness laser produced plasma source and method of generation and collection radiation | |
US11252810B2 (en) | Short-wavelength radiation source with multisectional collector module and method of collecting radiation | |
WO2022050875A1 (en) | Short- wavelength radiation source with multisectional collector module | |
WO2017143028A1 (en) | Extreme ultraviolet source with magnetic cusp plasma control |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190508 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190426 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6538730 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |