JP6537072B2 - モールド及びパターンシートの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態のモールド10の表面の正面図であり、図2は、モールド10の裏面の背面図であり、図3は、図1はモールド10の断面図である。
図4〜図8は、電鋳金型30を製造するモールド32の製造方法の一例を示した工程図である。図9は原版34の斜視図である。
図11〜図13は、モールド32を用いた電鋳金型30の製造方法の手順を示した工程図である。
図14〜図17は、電鋳金型30を用いたモールド10の製造方法の手順を示した工程図である。
図19は、MNAの製造工程を示したフローチャートである。
12…シート
12A…表面
12B…裏面
14…凹部
16…凹状パターン
18…凹凸部
20…配置領域
22…領域
22A…領域面
24…非配置領域
26…領域
26A…配置領域面
30…電鋳金型
32…モールド
32A…凹状パターン
34…原版
34A…突起状パターン
34B…表面
36…突起部
38…熱可塑性樹脂シート
38B…表面
38C…裏面
38D…針状凹部
40…金属体
42…金型
44…キャビティ
46…シリコーンゴム
48…下型
50…上型
52…凹凸部
54…検査装置
60…ポリマー溶解液
60a…液面
62…光源
64…光学系
66…透明ガラス基板
68…結像レンズ
70…撮像部
72…撮像ユニット
74…解析部
76…ポリマー溶解液
78…パターンシート
80…基材
82…突起状パターン
84…MNA
Claims (6)
- シートの表面に複数の凹部からなる凹状パターンがアレイ状に配置されてなるモールドにおいて、
前記シートの裏面の一部に凹凸部が配置され、
前記シートの表面の前記凹状パターンの配置領域に対向する、前記シートの裏面の領域は平坦面とされ、
前記シートの表面の前記凹状パターンの非配置領域に対向する、前記シートの裏面の領域に前記凹凸部が配置される、モールド。 - 前記モールドの前記凹部は針状凹部である、請求項1に記載のモールド。
- 前記シートの裏面において、前記凹凸部の配置領域面は、前記凹凸部の配置領域面を除く領域面に対して突出されている、請求項1又は2に記載のモールド。
- 前記モールドのショアA硬度が35以上60以下である、請求項1から3のいずれか1項に記載のモールド。
- 前記モールドは、シリコーンゴム製である、請求項1から4のいずれか1項に記載のモールド。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載のモールドを使用し、
前記モールドのシートの表面に配置された凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
前記モールドの前記シートの裏面を検査台に載置して前記凹状パターンに供給された前記ポリマー溶解液の供給量を検査する検査工程と、
前記ポリマー溶解液を乾燥させてパターンシートに成形する乾燥工程と、
前記パターンシートを前記モールドから剥離するパターンシート剥離工程と、
を含むパターンシートの製造方法。
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