JP6534424B2

JP6534424B2 - Tube holding structure

Info

Publication number: JP6534424B2
Application number: JP2017124623A
Authority: JP
Inventors: 映之細谷; 滋菊地; 山田　哲也; 哲也山田; 祐太岡嵜
Original assignee: 株式会社アオイ
Priority date: 2017-06-26
Filing date: 2017-06-26
Publication date: 2019-06-26
Anticipated expiration: 2037-06-26
Also published as: TW201906524A; CN109114168A; KR20190001504A; TWI696410B; KR102047086B1; CN109114168B; JP2019007569A

Description

本発明は、可撓性材料により形成された複数本のチューブと、これらのチューブを屈曲した状態で往復直線移動自在に保持する保持体とを備えるチューブ保持構造に関する。 The present invention relates to a tube holding structure provided with a plurality of tubes formed of a flexible material, and a holding body for holding the tubes in a rectilinearly reciprocatingly movable state in a bent state.

従来、このような分野の技術として、電子部品実装装置、半導体製造装置及び機械加工装置等に用いられた、多関節部材を有するケーブルベア（登録商標）が知られている。例えば下記特許文献には、動力供給用ケーブル、信号供給用ケーブル及びチューブ等をＵ字状に屈曲可能なケーブルベアの内部に収容した状態で、該ケーブルベアに接続された可動部の動きに追従して往復直線移動を行う構造が開示されている。 Conventionally, as a technology in such a field, a cable bear (registered trademark) having an articulated member, which is used for an electronic component mounting apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus, a machining apparatus and the like, is known. For example, according to the following patent documents, in a state in which a power supply cable, a signal supply cable, a tube and the like are accommodated in a U-shaped bendable cable bear, the movement of the movable part connected to the cable bear is followed And a structure for performing reciprocating linear movement.

特開２００８−２４３８３９号公報JP 2008-243839 A

しかし、上述した構造では、ケーブルベアとケーブル又はチューブ、ケーブルとチューブ、ケーブル同士、チューブ同士は相対的に移動可能であるので、往復移動に伴う摩擦が発生し、発塵する問題があった。また、最近では装置の多様化や高速化に伴ってケーブルやチューブ本数の増加で、ケーブルベアにかかる荷重が増え、屈曲部における隣接する多関節部材同士への衝撃が大きくなる。このため、ケーブルベアを介して可動部に伝達する振動が大きくなる問題もあった。 However, in the above-described structure, the cable bear and the cable or tube, the cable and tube, the cables, the cables, and the tubes can be moved relative to each other. Recently, with the diversification and speeding up of devices, the load on the cable carrier is increased by the increase in the number of cables and tubes, and the impact on the adjacent multi joint members in the bending portion becomes large. For this reason, there also existed a problem to which the vibration transmitted to a movable part via a cable carrier becomes large.

本発明は、このような技術課題を解決するためになされたものであって、発塵を抑制しつつ、振動を低減することができるチューブ保持構造を提供することを目的とする。 The present invention is made in order to solve such a technical subject, and it aims at providing a tube maintenance structure which can reduce vibration, controlling dust generation.

本発明に係るチューブ保持構造は、可撓性材料により形成された複数本のチューブと、これらのチューブを屈曲した状態で往復直線移動自在に保持する保持体とを備えるチューブ保持構造であって、前記複数本のチューブは、複数本の主チューブを一方向に並列した状態で接合してなる主チューブ組と、複数本の副チューブを前記一方向に並列してなる副チューブ組とを有しており、前記副チューブ組は、前記主チューブ組に積み重ねられるとともに該主チューブ組と一体的に接合されており、前記保持体は、前記主チューブ組の長手方向の複数箇所において、前記主チューブ組における前記一方向の両側部と接合されていることを特徴としている。 The tube holding structure according to the present invention is a tube holding structure including a plurality of tubes formed of a flexible material, and a holding body which holds the tubes in a bent state so as to reciprocate linearly. The plurality of tubes have a main tube set formed by joining a plurality of main tubes in parallel in one direction, and a sub tube set in which a plurality of auxiliary tubes are arranged in parallel in the one direction. And the sub tube set is stacked on the main tube set and integrally joined to the main tube set, and the holding body is a plurality of the main tubes at a plurality of longitudinal positions of the main tube set. It is characterized in that it is joined to both sides in the one direction in the set.

本発明に係るチューブ保持構造では、主チューブ組と副チューブ組とが積み重ねられるとともに一体的に接合されるので、主チューブ及び副チューブを含むチューブ同士は、互いに相対的に移動することなく、チューブ同士の摩擦による発塵を抑制することができる。しかも、保持体は主チューブ組における一方向の両側部と接合されているので、保持体とチューブとの摩擦もなく、保持体とチューブとの摩擦による発塵を防止することができる。 In the tube holding structure according to the present invention, since the main tube set and the auxiliary tube set are stacked and integrally joined, the tubes including the main tube and the auxiliary tube do not move relative to each other. Dust generation due to friction between the two can be suppressed. In addition, since the holding body is joined to both side portions in one direction in the main tube set, it is possible to prevent dust generation due to the friction between the holding body and the tube without friction between the holding body and the tube.

更に、一体化された主チューブ組及び副チューブ組の屈曲によって曲げ反発力が発生するので、保持体の屈曲部にかかる荷重を低減することができる。このため、屈曲部で発生する衝撃が緩和され、振動低減を図ることができる。 Furthermore, since the bending repulsive force is generated by the bending of the integrated main tube set and the auxiliary tube set, it is possible to reduce the load applied to the bending portion of the holding body. For this reason, the impact which generate | occur | produces in a bending part is relieved and a vibration reduction can be aimed at.

本発明に係るチューブ保持構造では、前記主チューブは、前記副チューブよりも曲げ剛性が大きいことが好ましい。 In the tube holding structure according to the present invention, preferably, the main tube has a bending rigidity greater than that of the sub-tube.

本発明に係るチューブ保持構造において、前記副チューブ組は、複数であり、前記主チューブ組の片側又は両側に積層されていることが好ましい。 In the tube holding structure according to the present invention, it is preferable that a plurality of the auxiliary tube sets be provided and be stacked on one side or both sides of the main tube set.

また、本発明に係るチューブ保持構造において、前記主チューブ組の片側又は両側において前記副チューブ組が複数積層された場合、前記主チューブ組側から外方に向かって前記副チューブの曲げ剛性が小さくなることが好ましい。 Further, in the tube holding structure according to the present invention, when a plurality of sub tube sets are stacked on one side or both sides of the main tube set, the bending rigidity of the sub tube decreases from the main tube set side outward. It is preferable that

また、本発明に係るチューブ保持構造において、前記主チューブ組は、同じ材料且つ同じサイズの主チューブによって形成されていることが好ましい。 In the tube holding structure according to the present invention, preferably, the main tube set is formed of the same material and the same size of the main tube.

更に、本発明に係るチューブ保持構造において、前記保持体は、前記主チューブ組の長手方向に延設されるとともに、前記主チューブ組における前記一方向の両側に配置された一対の屈曲可能なサポート部材と、前記サポート部材の延設方向に所定の間隔で配置されるとともに、該一対のサポート部材を架け渡す複数のアーム部材と、前記アーム部材毎に配置されるとともに、前記主チューブ組における前記一方向の両側部を把持する一対のクランプ部材と、を有することが好ましい。 Furthermore, in the tube holding structure according to the present invention, the holding body is extended in the longitudinal direction of the main tube set, and a pair of bendable supports disposed on both sides in the one direction in the main tube set. Members, a plurality of arm members disposed at predetermined intervals in the extending direction of the support members, and extending over the pair of support members, disposed for each of the arm members, and It is preferable to have a pair of clamp members which hold | grip the one side part of one direction.

本発明によれば、発塵を抑制しつつ、振動を低減することができる。 According to the present invention, vibration can be reduced while suppressing dust generation.

実施形態に係るチューブ保持構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the tube holding structure which concerns on embodiment. 実施形態に係るチューブ保持構造を示す側面図である。It is a side view showing a tube holding structure concerning an embodiment. 図２のＡ−Ａに沿う断面図である。It is sectional drawing in alignment with AA of FIG. 実施例及び比較例のモデルを示す図である。It is a figure which shows the model of an Example and a comparative example. 実施例及び比較例の結果（Ｂａｃｋ→Ｆｒｏｎｔ）を示す図である。It is a figure which shows the result (Back-> Front) of an Example and a comparative example. 実施例及び比較例の結果（Ｆｒｏｎｔ→Ｂａｃｋ）を示す図である。It is a figure which shows the result (Front-> Back) of an Example and a comparative example.

以下、図面を参照して本発明に係るチューブ保持構造の実施形態について説明する。図１は実施形態に係るチューブ保持構造を示す斜視図であり、図２は実施形態に係るチューブ保持構造を示す側面図であり、図３は図２のＡ−Ａに沿う断面図である。 Hereinafter, an embodiment of a tube holding structure according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a tube holding structure according to the embodiment, FIG. 2 is a side view showing a tube holding structure according to the embodiment, and FIG. 3 is a cross-sectional view along AA of FIG.

本実施形態のチューブ保持構造１は、例えばディスプレイパネル露光装置に用いられており、露光装置の作動に必要な動力や信号等を供給するケーブル類、冷却水やエア等を供給するチューブ類をまとめて保持する構造である。図１に示すように、チューブ保持構造１は、Ｕ字状に屈曲されており、互いに平行してＹ軸に延びる一対の直線部１Ａ，１Ｃと、直線部１Ａ，１Ｃの間に配置された屈曲部１Ｂとからなる。直線部１Ｃの先端は、固定台２に取り付けられており、チューブ保持構造１の固定端になる。一方、直線部１Ａの先端は、移動台３に取り付けられており、チューブ保持構造１の移動端になる。なお、図示しないが、チューブ保持構造１の移動端は、移動台３を介して露光装置の可動部に接続されている。 The tube holding structure 1 of the present embodiment is used, for example, in a display panel exposure apparatus, and cables for supplying power, signals, etc. necessary for operation of the exposure apparatus, and tubes for supplying cooling water, air, etc. It is a structure to hold. As shown in FIG. 1, the tube holding structure 1 is bent in a U-shape and disposed between a pair of straight portions 1A and 1C extending in parallel with each other along the Y axis and the straight portions 1A and 1C. It consists of a bent portion 1B. The tip of the straight portion 1C is attached to the fixed base 2 and becomes the fixed end of the tube holding structure 1. On the other hand, the tip end of the straight portion 1A is attached to the moving stand 3 and becomes the moving end of the tube holding structure 1. Although not shown, the movable end of the tube holding structure 1 is connected to the movable portion of the exposure apparatus through the movable table 3.

このチューブ保持構造１は、主として、可撓性の樹脂材料により形成された複数のチューブ１０と、これらのチューブ１０を屈曲した状態で往復直線移動自在に保持する保持体２０とを備えている。 The tube holding structure 1 mainly includes a plurality of tubes 10 formed of a flexible resin material, and a holding body 20 for holding the tubes 10 in a rectilinearly reciprocatingly movable state.

図３に示すように、複数本のチューブ１０は、複数種類のチューブからなり、これらのチューブ１０を種類毎に一方向（すなわち、Ｘ方向）に並列して配置されるとともに、上記一方向に直交する方向（すなわち、Ｚ方向）に沿って積層してなる多段式連チューブとなっている。より具体的には、複数本のチューブ１０は、多段式連チューブの略中間位置に配置された主チューブ組１１と、該主チューブ組１１の両側に積層された３つの副チューブ組１２〜１４とを有する。 As shown in FIG. 3, a plurality of tubes 10 are composed of a plurality of types of tubes, and these tubes 10 are arranged in parallel in one direction (that is, X direction) for each type, and It is a multistage tube which is laminated along the orthogonal direction (that is, the Z direction). More specifically, the plurality of tubes 10 includes a main tube set 11 disposed at a substantially intermediate position of the multistage tube, and three sub-tube sets 12 to 14 stacked on both sides of the main tube set 11. And.

主チューブ組１１は、いわゆる多連チューブであり、複数本の主チューブ１０ＡをＸ方向に並列した状態で、隣接する主チューブ１０Ａ同士を接合することにより形成されている。主チューブ１０Ａ同士の接合方式としては、溶着や接着等が挙げられる。副チューブ組１２〜１４のうち、副チューブ組１２は主チューブ組１１の一方側（図３においては上側）、副チューブ組１３，１４は主チューブ組１１の他方側（図３においては下側）にそれぞれ配置されている。 The main tube set 11 is a so-called multiple tube, and is formed by joining adjacent main tubes 10A in a state where a plurality of main tubes 10A are arranged in parallel in the X direction. As a joining method of main tubes 10A, welding, adhesion, etc. are mentioned. Of the sub tube sets 12 to 14, the sub tube set 12 is on one side (upper side in FIG. 3) of the main tube set 11, and the sub tube sets 13 and 14 are on the other side of the main tube set 11 (lower side in FIG. 3). Are arranged respectively).

副チューブ組１２は、複数本の副チューブ１０Ｂを所定の間隔で離れた状態でＸ方向に並列することにより形成されている。各副チューブ１０Ｂは、その外径が主チューブ１０Ａよりも大きく形成されており、主チューブ１０Ａに対して千鳥状に配置され、溶着や接着等でＺ方向に隣接する主チューブ１０Ａと接合されている。 The sub tube set 12 is formed by juxtaposing a plurality of sub tubes 10B in the X direction with a predetermined distance therebetween. The outer diameter of each sub tube 10B is larger than that of the main tube 10A, and the sub tubes 10B are disposed in a staggered manner with respect to the main tube 10A and are joined to the main tube 10A adjacent in the Z direction by welding, adhesion or the like. There is.

副チューブ組１３は、複数本の副チューブ１０Ｃを所定の間隔で離れた状態でＸ方向に並列することにより形成されている。各副チューブ１０Ｃは、その外径が主チューブ１０Ａよりも小さく形成されており、主チューブ１０Ａに対して千鳥状に配置され、溶着や接着等でＺ方向に隣接する主チューブ１０Ａと接合されている。 The auxiliary tube set 13 is formed by arranging a plurality of auxiliary tubes 10C in parallel in the X direction with a predetermined distance therebetween. The outer diameter of each sub tube 10C is smaller than that of the main tube 10A, and the sub tubes 10C are disposed in a staggered manner with respect to the main tube 10A, and are joined to the main tube 10A adjacent in the Z direction by welding or adhesion. There is.

一方、副チューブ組１４は、複数本の副チューブ１０Ｄを所定の間隔で離れた状態でＸ方向に並列することにより形成されている。各副チューブ１０Ｄは、隣接する副チューブ１０Ｃに対して千鳥状に配置され、溶着や接着等でＺ方向に隣接する副チューブ１０Ｃと接合されている。すなわち、副チューブ組１４は、主チューブ組１１に直接に接合されておらず、副チューブ組１３を介して主チューブ組１１と接合されている。 On the other hand, the auxiliary tube set 14 is formed by arranging a plurality of auxiliary tubes 10D in parallel in the X direction with a predetermined interval therebetween. Each sub-tube 10D is disposed in a staggered manner with respect to the adjacent sub-tubes 10C, and is joined to the adjacent sub-tubes 10C in the Z direction by welding, adhesion or the like. That is, the sub tube set 14 is not directly joined to the main tube set 11 but is joined to the main tube set 11 via the sub tube set 13.

主チューブ組１１、副チューブ組１２，１３，１４には、組毎に同じ種類のチューブを用いても良く、異なる種類のチューブを用いても良いが、以下の理由で同じ種類のチューブ、しかも同じ材料且つ同じサイズのチューブを用いることが好ましい。すなわち、同じ種類のチューブを用いることによって、屈曲時の曲げ荷重を並行均等に保つことができ、且つ製造しやすい。 The main tube set 11 and the sub tube sets 12, 13 and 14 may use the same type of tube for each set, or different types of tubes, but for the following reasons, the same type of tube, Preferably, tubes of the same material and size are used. That is, by using the same type of tube, the bending load at the time of bending can be kept parallel and even, and it is easy to manufacture.

また、詳細は後述するが、この多段式連チューブのうち、主チューブ組１１だけが保持体２０に接合されており、且つチューブ保持構造１では下方から多段式連チューブを支える部材が設けられていないので、主チューブ組１１は最も荷重がかかる部分である。このため、主チューブ組１１の強度を高く維持する必要があり、主チューブ組１１は同じ材料且つ同じサイズの主チューブ１０Ａによって形成されることが好ましい。 Further, although details will be described later, among the multistage tube, only the main tube set 11 is joined to the holder 20, and in the tube holding structure 1, a member for supporting the multistage tube from below is provided. Because it is not, the main tube set 11 is the most loaded part. For this reason, it is necessary to maintain the strength of the main tube set 11 high, and the main tube set 11 is preferably formed of the main tube 10A of the same material and the same size.

主チューブ１０Ａ、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、多層構造であっても良く、単層構造であっても良い。また、主チューブ１０Ａ、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄの材質としては、チューブ同士の接合、屈曲した状態で往復移動の確保、及び使用曲げ半径の確保等の観点から、溶着又は接着に適すること、耐屈曲疲労性であること、ある程度の柔軟性を有することが要求されている。このため、主チューブ１０Ａ、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄが多層構造の場合、少なくともそれぞれの外層は熱可塑性樹脂ポリウレタンまたは軟質塩化ビニル等によって形成されることが好ましい。一方、主チューブ１０Ａ、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄが単層構造の場合、材質のショアＡ硬度が６０〜９８程度であることが望ましい。 The main tube 10A and the sub-tubes 10B, 10C, and 10D may have a multilayer structure or a single layer structure. The material of the main tube 10A and the sub-tubes 10B, 10C, and 10D is suitable for welding or adhesion from the viewpoints of joining of the tubes, securing of reciprocal movement in a bent state, securing of bending radius used, etc. It is required to have bending fatigue resistance and to have a certain degree of flexibility. For this reason, when the main tube 10A and the subtubes 10B, 10C, and 10D have a multilayer structure, it is preferable that at least respective outer layers be formed of thermoplastic resin polyurethane, soft vinyl chloride, or the like. On the other hand, when the main tube 10A and the sub-tubes 10B, 10C, and 10D have a single-layer structure, it is desirable that the material has a Shore A hardness of about 60 to 98.

また、このように構成された多段式連チューブをＵ字状に曲げた際に、外側には引張応力、内側には圧縮応力が発生する。応力負荷の低減を図るために、多段式連チューブ全体の曲げ半径（すなわち、引張応力発生側と圧縮応力発生側との境界）となる位置に曲げ剛性の高いチューブを配置することが好ましい。従って、本実施形態では、主チューブ１０Ａは副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄよりも曲げ剛性が大きく、且つ、主チューブ組１１側から外方（図３においては、主チューブ組１１の上方又は下方）に向かって曲げ剛性が小さくなるように各副チューブ組１２，１３，１４を配置させる。より具体的には、図３に示すように主チューブ組１１の下側に２つの副チューブ組１３，１４が積層された場合、主チューブ組１１に最も遠い位置に配置された副チューブ１０Ｄの曲げ剛性は、主チューブ組１１に近い位置に配置された副チューブ１０Ｃより小さい。 Further, when the multistage tube thus constructed is bent in a U-shape, a tensile stress is generated on the outer side and a compressive stress is generated on the inner side. In order to reduce stress load, it is preferable to dispose a tube with high bending rigidity at a position that is the bending radius of the entire multistage tube (that is, the boundary between the tensile stress generation side and the compressive stress generation side). Therefore, in the present embodiment, the main tube 10A has a bending stiffness greater than that of the sub tubes 10B, 10C, and 10D, and is outward from the main tube set 11 side (in FIG. 3, the upper or lower of the main tube set 11). The sub tube sets 12, 13 and 14 are arranged such that the bending stiffness decreases in the direction of. More specifically, when two sub tube sets 13 and 14 are stacked below the main tube set 11 as shown in FIG. 3, the sub tube 10 D disposed at the farthest position from the main tube set 11 is The bending stiffness is smaller than that of the auxiliary tube 10C disposed at a position close to the main tube set 11.

また、主チューブ１０Ａ、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを冷却水やエア供給用として使用する場合、同じ材料且つ同じ構造であれば、外径が大きいほど、肉厚も厚くなる。このため、外径の大きいチューブを多段式連チューブの中間位置に配置することにより、多段式連チューブ全体への応力負荷の低減が図りやすくなる。 When the main tube 10A and the subtubes 10B, 10C, and 10D are used for supplying cooling water or air, if the same material and the same structure are used, the larger the outer diameter, the thicker the thickness. For this reason, it becomes easy to aim at reduction of the stress load to the whole multistage type joining tube by arranging a tube with a large outside diameter in the middle position of a multistage type joining tube.

一方、副チューブ１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄをケーブル挿入用として使用する場合には、耐圧性が不要になるので、冷却水やエア供給用チューブよりも柔軟な材質で、肉薄とすることができ、言い換えれば、チューブの曲げ剛性に対する要求が低くなる。従って、図３に示す副チューブ１０Ｂのように、外径が大きくても多段式連チューブの外側（すなわち、引張応力発生側）に該副チューブ１０Ｂを配置しても良い。 On the other hand, when the sub-tubes 10B, 10C, and 10D are used for cable insertion, pressure resistance is not required, and therefore, it can be made thinner with a material that is more flexible than cooling water and air supply tubes. Lower the requirement for bending stiffness of the tube. Therefore, as in the subtube 10B shown in FIG. 3, even if the outer diameter is large, the subtube 10B may be disposed outside the multistage connecting tube (that is, on the tensile stress generation side).

図１に示すように、保持体２０は、主チューブ組１１の長手方向に延設されるとともに、該主チューブ組１１におけるＸ方向（図３においては、左右方向）の両側に配置された一対の屈曲可能なサポート部材２１Ｌ，２１Ｒと、サポート部材２１Ｌ，２１Ｒの延設方向に所定の間隔で配置されるとともに、該一対のサポート部材２１Ｌ，２１Ｒを架け渡す複数のアーム部材２２と、アーム部材２２毎に配置されるとともに、主チューブ組１１におけるＸ方向の両側部を把持する一対のクランプ部材２３Ｌ，２３Ｒとを有する。 As shown in FIG. 1, the holding body 20 is extended in the longitudinal direction of the main tube set 11, and is a pair disposed on both sides of the main tube set 11 in the X direction (left and right direction in FIG. 3). The plurality of arm members 22 which are disposed at predetermined intervals in the extending direction of the bendable support members 21L and 21R and the support members 21L and 21R, and which bridge the pair of support members 21L and 21R, and arm members A pair of clamp members 23L and 23R are disposed every 22 and grip the both sides in the X direction of the main tube set 11.

図３に示すように、サポート部材２１Ｌとサポート部材２１Ｒ、又はクランプ部材２３Ｌとクランプ部材２３Ｒとは、多段式連チューブに対して左右対称になっており、構造も同じであるので、以下においては左側のサポート部材２１Ｌ及びクランプ部材２３Ｌを挙げて説明する。 As shown in FIG. 3, the support member 21L and the support member 21R, or the clamp member 23L and the clamp member 23R are symmetrical with respect to the multistage tube, and the structure is also the same. The left support member 21L and the clamp member 23L will be described.

サポート部材２１Ｌは、複数のコマ部材２４を直列に連結することによって屈曲可能に形成されている。サポート部材２１Ｌの一端はチューブ保持構造１の移動端に延びて、該移動端に取り付けられた移動端ブラケット２０Ａと連結されており、他端はチューブ保持構造１の固定端に延びて、該固定端に取り付けられた固定端ブラケット２０Ｂと連結されている。 The support member 21L is formed to be bendable by connecting a plurality of top members 24 in series. One end of the support member 21L extends to the moving end of the tube holding structure 1 and is connected to the moving end bracket 20A attached to the moving end, and the other end extends to the fixed end of the tube holding structure 1 to fix the It is connected with the fixed end bracket 20B attached to the end.

コマ部材２４は、チェーンなどに用いられた多関節部材に相当するものである。隣接するコマ部材２４同士の連結方式は既に周知されたものであるため、ここではその詳細な説明を省略し、コマ部材２４の構造だけを説明する。 The top member 24 corresponds to an articulated member used for a chain or the like. Since the connection method of the adjacent top members 24 is already known, the detailed description thereof will be omitted, and only the structure of the top members 24 will be described.

コマ部材２４は、サポート部材２１Ｌの外側（すなわち、屈曲時における引張応力発生側）に配置されて、隣接するコマ部材２４と分離する切れ目を有する外側伸長部２４ａと、サポート部材２１Ｌの内側（屈曲時における圧縮応力発生側）に配置されて、隣接するコマ部材２４と分離する切れ目を有する内側圧縮部２４ｂと、外側伸長部２４ａ及び内側圧縮部２４ｂの間に配置された中間部２４ｃとを備えている。そして、外側伸長部２４ａ、内側圧縮部２４ｂ及び中間部２４ｃは、それぞれＺ方向に延びる連結棒２４ｄと連結されて一体化されている。 The top member 24 is disposed outside the support member 21L (that is, on the tensile stress generation side at the time of bending), and has an outer extension 24a having a cut that separates from the adjacent top member 24; The inner compression portion 24b disposed on the compression stress generation side at the time and having a cut that separates from the adjacent top member 24, and the middle portion 24c disposed between the outer extension portion 24a and the inner compression portion 24b. ing. The outer extension portion 24a, the inner compression portion 24b, and the middle portion 24c are respectively coupled and integrated with a connecting rod 24d extending in the Z direction.

図３に示すように、連結棒２４ｄにおいて、外側伸長部２４ａと中間部２４ｃとの間に位置する部分の略中央には連結棒２４ｄの厚みを貫通する貫通孔２４ｅと、中間部２４ｃと内側圧縮部２４ｂとの間に位置する部分の略中央には貫通孔２４ｆとが、それぞれ形成されている。これらの貫通孔２４ｅ，２４ｆは、コマ部材２４とアーム部材２２又はクランプ部材２３Ｌとを固定する際にネジを通すためのものである。なお、コマ部材２４は、金属材料又は硬い樹脂材料によって形成されることが好ましい。 As shown in FIG. 3, in the connecting rod 24d, a through hole 24e passing through the thickness of the connecting rod 24d, a middle portion 24c, and an inner side are provided substantially at the center of the portion located between the outer extension 24a and the middle portion 24c. A through hole 24f is formed substantially at the center of the portion located between the compression portion 24b and the compression portion 24b. The through holes 24e and 24f are for passing a screw when fixing the top member 24 and the arm member 22 or the clamp member 23L. The top member 24 is preferably formed of a metal material or a hard resin material.

アーム部材２２は断面矩形状の棒状部材からなり、その左右両端部には、該アーム部材２２の長手方向に延びるネジ孔がそれぞれ設けられている。このアーム部材２２は、連結棒２４ｄに形成された貫通孔２４ｅに挿通され、更にネジ孔に螺合されたネジ２５によって、コマ部材２４と固定されている。なお、アーム部材２２は、金属材料により形成されても良く、硬い樹脂材料によって形成されても良い。 The arm member 22 is formed of a rod-like member having a rectangular cross section, and screw holes extending in the longitudinal direction of the arm member 22 are provided at the left and right ends thereof. The arm member 22 is inserted into a through hole 24e formed in the connecting rod 24d, and is fixed to the top member 24 by a screw 25 screwed into a screw hole. The arm member 22 may be formed of a metal material or may be formed of a hard resin material.

一方、クランプ部材２３Ｌは、主チューブ組１１に向かって窪むＣ字状の把持部２６ａと、該把持部２６ａと一体的に形成されるとともにアーム部材２２と連結するアーム連結部２６ｂと、コマ部材２４と連結するバンド連結部２６ｃとを有するように構成されている。 On the other hand, the clamp member 23L has a C-shaped grip portion 26a recessed toward the main tube set 11, an arm connecting portion 26b integrally formed with the grip portion 26a and connected with the arm member 22, and a frame It is comprised so that it may have the band connection part 26c connected with the member 24. As shown in FIG.

把持部２６ａは、溶着可能な樹脂からなり、Ｃ字状の凹部を有するように形成されている。主チューブ組１１の左端に位置する主チューブ１０Ａは、把持部２６ａの凹部に配置された状態で溶着により該把持部２６ａと接合されている。なお、ここで、溶着に代えて接着で主チューブ１０Ａと把持部２６ａとを接合しても良い。 The grip portion 26 a is made of a weldable resin and is formed to have a C-shaped recess. The main tube 10A positioned at the left end of the main tube set 11 is joined to the holding portion 26a by welding in a state of being disposed in the recess of the holding portion 26a. Here, instead of welding, the main tube 10A and the grip portion 26a may be joined by adhesion.

アーム連結部２６ｂは、アーム部材２２に当接するようにＺ方向に延設されており、その内部には、該アーム連結部２６ｂの延設方向に延びるネジ孔が設けられている。それに対応して、アーム部材２２におけるアーム連結部２６ｂとの当接位置には、該アーム部材２２の厚みを貫通する貫通孔２２ａが設けられている。そして、クランプ部材２３Ｌは、アーム部材２２に形成された貫通孔２２ａに挿通され、更にネジ孔に螺合されたネジ２７によって、アーム部材２２と固定されている。 The arm connecting portion 26b extends in the Z direction so as to abut on the arm member 22, and a screw hole extending in the extending direction of the arm connecting portion 26b is provided therein. Correspondingly, a through hole 22a which penetrates the thickness of the arm member 22 is provided at the contact position of the arm member 22 with the arm connecting portion 26b. The clamp member 23L is inserted into a through hole 22a formed in the arm member 22 and is fixed to the arm member 22 by a screw 27 screwed into a screw hole.

一方、バンド連結部２６ｃは、Ｘ方向に延設されており、その先端が連結棒２４ｄに形成された貫通孔２４ｆまで達している。バンド連結部２６ｃの内部には、該バンド連結部２６ｃの延設方向に延びるネジ孔が設けられている。そして、クランプ部材２３Ｌは、連結棒２４ｄに形成された貫通孔２４ｆに挿通され、更にネジ孔に螺合されたネジ２８によって、コマ部材２４と固定されている。なお、クランプ部材２３Ｌは、金属材料又は硬い樹脂材料によって形成されることが好ましい。 On the other hand, the band connecting portion 26c is extended in the X direction, and the tip end thereof reaches the through hole 24f formed in the connecting rod 24d. Inside the band connecting portion 26c, a screw hole extending in the extending direction of the band connecting portion 26c is provided. The clamp member 23L is inserted into a through hole 24f formed in the connecting rod 24d and is fixed to the top member 24 by a screw 28 screwed into a screw hole. The clamp member 23L is preferably formed of a metal material or a hard resin material.

以上の構成を有するチューブ保持構造１では、主チューブ組１１は、その左右両端部でクランプ部材２３Ｌ，２３Ｒを介して保持体２０に保持されている。そして、主チューブ組１１と積層されるとともに一体化された副チューブ組１２，１３，１４は、直接に保持体２０に接合されずに、主チューブ組１１を介して保持体２０に保持されている。すなわち、主チューブ組１１と副チューブ組１２〜１４とからなる多段式連チューブは、クランプ部材２３Ｌ，２３Ｒのみを介して保持体２０に接合されて保持されている。 In the tube holding structure 1 having the above configuration, the main tube set 11 is held by the holding body 20 at the left and right ends thereof via the clamp members 23L and 23R. The auxiliary tube set 12, 13, 14 stacked and integrated with the main tube set 11 is held by the holding body 20 via the main tube set 11 without being directly joined to the holding body 20. There is. That is, the multistage connecting tube consisting of the main tube set 11 and the sub tube sets 12 to 14 is joined and held to the holding body 20 only through the clamp members 23L and 23R.

また、主チューブ組１１は複数本の主チューブ１０ＡをＸ方向に並列した状態において溶着で接合してなり、副チューブ組１２〜１４はそれぞれ複数本の副チューブ１０Ｂ〜１０ＤをＸ方向に並列してなるので、例えばこれらの主チューブ及び副チューブのうち、一部を電気ケーブル、信号ケーブルの挿入用とし、他の一部を冷却水及びエア供給用として使うことができる。しかも、副チューブ組１２〜１４は主チューブ組１１に積み重ねられるので、Ｘ方向における許容設置幅の制限、Ｙ方向における設置長さの制限に左右されずにチューブやケーブルの増加に対応できる。 Further, the main tube set 11 is joined by welding in a state in which a plurality of main tubes 10A are arranged in parallel in the X direction, and the sub tube sets 12 to 14 are formed by arranging a plurality of sub tubes 10B to 10D in the X direction. Therefore, for example, a part of the main tube and the sub-tube can be used for inserting an electric cable and a signal cable, and another part can be used for supplying cooling water and air. Moreover, since the sub tube sets 12 to 14 are stacked on the main tube set 11, it is possible to cope with the increase in the number of tubes and cables regardless of the restriction of the allowable installation width in the X direction and the restriction of the installation length in the Y direction.

加えて、主チューブ組１１を構成する複数本の主チューブ１０Ａが互いに接合されており、且つ副チューブ組１２〜１４が主チューブ組１１と一体的に接合されているので、これらのチューブ同士は互いに相対的に移動しない。このため、チューブ同士の摩擦による発塵を抑制することができる。しかも、保持体２０のクランプ部材２３Ｌ，２３Ｒは主チューブ組１１におけるＸ方向の両側部と接合されているので、保持体２０と主チューブ１０Ａ又は副チューブ１０Ｂ〜１０Ｃとの摩擦がなく、保持体とチューブとの摩擦による発塵を防止することができる。 In addition, since the plurality of main tubes 10A constituting the main tube set 11 are joined to one another, and the sub tube sets 12 to 14 are integrally joined to the main tube set 11, these tubes are It does not move relative to each other. For this reason, dust generation due to friction between tubes can be suppressed. Moreover, since the clamp members 23L and 23R of the holding body 20 are joined to both sides in the X direction in the main tube set 11, there is no friction between the holding body 20 and the main tube 10A or the subtubes 10B to 10C, and the holding body It is possible to prevent dust generation due to friction between the pipe and the tube.

更に、一体化された主チューブ組１１及び副チューブ組１２〜１４の屈曲により曲げ反発力が発生するので、保持体２０の直線部の垂れ下がりを抑制できるとともに、保持体２０の屈曲部にかかる荷重を低減することができる。このため、屈曲部におけるコマ部材２４同士間の衝撃が緩和され、保持体２０の振動を低減することができる。その結果、保持体２０に接続された可動部への振動を減らすことができる。 Furthermore, since bending repulsive force is generated by the bending of the integrated main tube set 11 and sub tube sets 12 to 14, it is possible to suppress the sagging of the straight portion of the holding body 20, and the load applied to the bending portion of the holding body 20. Can be reduced. For this reason, the impact between the top members 24 in the bending portion is alleviated, and the vibration of the holding body 20 can be reduced. As a result, the vibration to the movable part connected to the holding body 20 can be reduced.

なお、本実施形態では、主チューブ組１１とクランプ部材２３Ｌ，２３Ｒとの接合部への負荷を低減するため、更にサポート部材２１Ｌ，２１Ｒの屈曲部をより滑らかに可動させるために、多段式連チューブの屈曲半径とサポート部材２１Ｌ，２１Ｒの曲げ半径とを一致させることが好ましい。 In the present embodiment, in order to reduce the load on the joint portion between the main tube set 11 and the clamp members 23L and 23R, and further move the bent portions of the support members 21L and 21R more smoothly, the multistage continuous type is used. It is preferable to match the bending radius of the tube and the bending radius of the support members 21L and 21R.

以下、本発明を実施例により説明するが、本発明は実施例の範囲に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described by way of examples, but the present invention is not limited to the scope of the examples.

実施例では、実施形態に係るチューブ保持構造１を有するモデルに対し、図４に示す条件（各数値の単位がｍｍである）で往復直線移動時の振動測定を行った。本実施例において、（株）小野測器製ＦＦＴアナライザー「DS-3204」の振動測定機、（株）小野測器製TRIAXIAL ACCELEROMETER「NP-3578N10」の加速度ピックアップを使用した。また、主チューブ組１１には（株）アオイ製ウレタンチューブ（φ１０）２４本、副チューブ組１２には（株）アオイ製ウレタンチューブ（φ１２）１１本、副チューブ組１３には（株）アオイ製ウレタンチューブ（φ６）２１本、副チューブ組１４には（株）アオイ製ウレタンチューブ（φ６）２０本をそれぞれ用いた。そして、副チューブ組１２の各副チューブには日星電気（株）製ハイフロンふっ素樹脂絶縁ケーブルを挿入した。一方、保持体２０については、（株）椿本チエイン製ＴＫＱ型ケーブルベア「TKQ25H58E122R170C-115L」を利用して上述の保持体２０と同じ構造を有するように改良したものを用いた。 In the example, vibration measurement during reciprocating linear movement was performed on a model having the tube holding structure 1 according to the embodiment under the condition shown in FIG. 4 (the unit of each numerical value is mm). In this example, a vibration measuring instrument of Ono Sokki FFT Analyzer "DS-3204" and an Onko Sokki TRIAXIAL ACCELEROMETER "NP-3578N10" acceleration pickup were used. In addition, the main tube set 11 includes 24 urethane tubes (φ 10) manufactured by AOI Co., Ltd., the sub-tube set 12 includes 11 urethane tubes (φ 12) manufactured by AOY CO., LTD. Twenty-one urethane tubes (.phi.6) manufactured and twenty urethane tubes (.phi.6) manufactured by AOI Co., Ltd. were used for the auxiliary tube set 14. And, in each of the sub-tubes of the sub-tube set 12, a Hyflon fluorine resin insulated cable manufactured by Nichisei Electric Co., Ltd. was inserted. On the other hand, as the holding body 20, one modified to have the same structure as the above-mentioned holding body 20 using TKQ type cable bear “TKQ25H58E122R170C-115L” manufactured by Enomoto Chiane Co., Ltd. was used.

また、比較のため、以下の構造を有する現行品を用いて実施例と同じ条件で振動測定を行った。具体的には、イグス（株）製エナジーチェーン「Ｅ６．５２．２７５．０７５．０−７２」を用いて、その内部に（株）アオイ製フラットチューブ（φ１０）２０本を並列して接合したもの、フラットチューブ（φ６）４０本を並列して接合したものと、日本ゴア（株）製ハイフレックスフラットケーブルとを収容した構造であった。 Moreover, vibration measurement was performed on the same conditions as an Example using the existing product which has the following structures for comparison. Specifically, using Igus Co., Ltd. energy chain "E6.52.275.075.0-72", 20 flat tubes (φ 10) manufactured by AOY CO., LTD. It had a structure in which 40 flat tubes (φ6) were connected in parallel and joined, and a high flex flat cable manufactured by Japan Gore Co., Ltd. was housed.

図５及び図６は実施例及び比較例の結果を示す図である。これらの図に示すように、「Ｂａｃｋ→Ｆｒｏｎｔ」及び「Ｆｒｏｎｔ→Ｂａｃｋ」のいずれにおいても、比較例と比べて実施例の方は振動が低減されたことが証明された。特に「Ｂａｃｋ→Ｆｒｏｎｔ」の場合は、振動低減の効果が大きいことが確認された。 5 and 6 are diagrams showing the results of the example and the comparative example. As shown in these figures, it was proved that the vibration was reduced in the example of either “Back → Front” or “Front → Back” as compared with the comparative example. In particular, in the case of "Back → Front", it was confirmed that the effect of vibration reduction is large.

以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、上述の実施形態において、主チューブ組１１の一方側に副チューブ組を一層（副チューブ組１２）、他方側に副チューブ組を２層（副チューブ組１３，１４）それぞれ積層した例を説明したが、必要に応じて副チューブ組の層数を適宜増減しても良い。また、副チューブ組を主チューブ組１１の片側だけに積層しても良い。 As mentioned above, although the embodiment of the present invention was explained in full detail, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and various design is possible in the range which does not deviate from the spirit of the present invention described in the claim. It is possible to make changes. For example, in the above-described embodiment, an example in which the sub-tube set is stacked on one side of the main tube set 11 (sub-tube set 12) and two sub-tube sets are stacked on the other side (sub-tube sets 13 and 14) Although explained, the number of layers of the sub tube set may be appropriately increased or decreased as needed. Also, the sub tube set may be stacked on only one side of the main tube set 11.

また、上記実施形態では、主チューブ組１１とクランプ部材２３Ｌ，２３Ｒとの接合方式について溶着又は接着を説明したが、ボルト締結、嵌合等の方式も考えられる。発塵抑制を重視する場合は溶着又は接着が望ましく、分解や組立のしやすさを重視する場合はボルト締結、嵌合が望ましい。そして、ボルト締結や嵌合の場合、クランプ部材２３Ｌ，２３Ｒの材質は金属又は硬質樹脂が好ましい。一方、溶着又は接着の場合、クランプ部材２３Ｌ，２３Ｒの材質は主チューブ１０Ａの外層材質と同じであることが好ましい。 Moreover, although welding or adhesion was explained about a joining system of main tube set 11 and clamp members 23L and 23R in the above-mentioned embodiment, a system of bolt fastening, fitting, etc. is considered. When importance is attached to dust control, welding or adhesion is desirable. When importance is placed on ease of disassembly and assembly, bolt fastening and fitting are desirable. And in the case of bolt fastening and fitting, the material of clamp members 23L and 23R is preferably metal or hard resin. On the other hand, in the case of welding or bonding, the material of the clamp members 23L and 23R is preferably the same as the outer layer material of the main tube 10A.

１チューブ保持構造
１０Ａ主チューブ
１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ副チューブ
１１主チューブ組
１２，１３，１４副チューブ組
２０保持体
２１Ｌ，２１Ｒサポート部材
２２アーム部材
２３Ｌ，２３Ｒクランプ部材
２４コマ部材
２４ａ外側伸長部
２４ｂ内側圧縮部
２４ｃ中間部
２４ｄ連結棒
２６ａ把持部
２６ｂアーム連結部
２６ｃバンド連結部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 tube holding structure 10A main tube 10B, 10C, 10D sub tube 11 main tube set 12, 13, 14 sub tube set 20 holder 21L, 21R support member 22 arm member 23L, 23R clamp member 24 top member 24a outer extension portion 24b Inner compression portion 24c Middle portion 24d Connecting rod 26a Holding portion 26b Arm connecting portion 26c Band connecting portion

Claims

A tube holding structure comprising: a plurality of tubes made of a flexible material; and a holder for holding the tubes in a bent state so as to reciprocate linearly.
The plurality of tubes have a main tube set formed by joining a plurality of main tubes in parallel in one direction, and a sub tube set in which a plurality of auxiliary tubes are arranged in parallel in the one direction. Yes,
The sub tube set is stacked on the main tube set and integrally joined to the main tube set.
The holding body, in the longitudinal direction of the plurality of positions of the main tube assembly is joined to the one direction on both sides of the main tube assembly is integrated with the main tube assembly by Rukoto,
In the tube holding structure, a member for supporting the main tube set and the sub tube set is not provided from a side where a compressive stress is generated when the tube is bent .

The tube holding structure according to claim 1, wherein the main tube has a bending rigidity higher than that of the sub-tube.

The tube holding structure according to claim 1 or 2, wherein a plurality of the sub tube sets are provided and stacked on one side or both sides of the main tube set.

The tube holding structure according to claim 3, wherein when a plurality of the sub tube sets are stacked on one side or both sides of the main tube set, the bending rigidity of the sub tube decreases from the main tube set side outward.

The tube holding structure according to any one of claims 1 to 4, wherein the main tube set is formed of main tubes of the same material and the same size.

The holder is
A pair of bendable support members extending in the longitudinal direction of the main tube set and disposed on both sides of the main tube set in the one direction;
A plurality of arm members disposed at predetermined intervals in the extending direction of the support member and bridging the pair of support members;
A pair of clamp members disposed for each of the arm members and gripping the one side of the main tube set;
The tube holding structure according to any one of claims 1 to 5, which has