JP6502540B1 - 保護構造 - Google Patents
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Abstract
Description
第一実施形態は、過熱が進んでベイパーチャンバーが破裂する前に、ベイパーチャンバーに穴を形成しうる保護構造についての実施形態である。
[構成と動作]
図2は、第一実施形態の保護構造の例である保護構造301の構成を表す概念図である。
[効果]
第一実施形態の保護構造においては、ベイパーチャンバーが電子部品による加熱により過熱すると、前記ベイパーチャンバーが破裂する前に、穴あけ用の部材がベイパーチャンバーに穴を形成する。当該穴により、ベイパーチャンバー内の熱媒体は外部に流出し、ベイパーチャンバーの破裂が防止される。当該穴の形成は、前記破裂が生じる温度より低い温度で行われる。そのため、前記熱媒体のベイパーチャンバー外への流出は、前記破裂により生じる前記熱媒体の飛散に比べると穏やかなものである。
<第二実施形態>
第二実施形態は、穴あけ用部材により形成された穴からの熱媒体の流出による悪影響を一層緩和し得る保護構造についての実施形態である。
[構成及び動作]
図14は、第二実施形態の保護構造の例である保護構造302を表す概念図である。
[効果]
第二実施形態の保護構造は、第一実施形態の保護構造と同じ構成を備え、第一実施形態の保護構造と同様の効果を奏する。
(付記1)上面と下面とを備え、電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記上面及び前記下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む位置にある端部、を備える穴あけ部材を備える保護構造。
(付記2)前記ベイパーチャンバーは、熱媒体を外側部材により密閉した構成を備え、前記端部は、前記外側部材よりも硬い部材からなる、付記1に記載された保護構造。
(付記3)前記外側部材の材質は銅又はアルミニウムである、付記2に記載された保護構造。
(付記4)前記外側部材の厚みは1mm以下である、付記3に記載された保護構造。
(付記5)前記外側部材の厚みは0.4乃至0.7mmである、付記3に記載された保護構造。
(付記6)前記端部は、ステンレス材料からなる、付記2に記載された保護構造。
(付記7)前記端部は、前記過熱による前記第一面の前記第一面に垂直な向きの移動により前記内部に入り込む、付記1乃至付記6のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記8)前記端部が前記第一面に向けて尖っている、付記1乃至付記6のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記9)前記端部が前記第一面に向いた刃を備える、付記1乃至付記6のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記10)前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面が前記電子部品と接触している、付記1乃至付記9のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記11)前記第一面の前記過熱による前記第一面に垂直な方向への移動を抑える第一移動抑止部材をさらに備える、付記10に記載された保護構造。
(付記12)前記第一面が前記電子部品と接触している、付記1乃至付記11のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記13)前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面の前記過熱による前記第二面に垂直な方向への移動を抑える第二移動抑止部材をさらに備える、付記12に記載された保護構造。
(付記14)前記穴あけ部材の周囲の少なくとも一部に壁を設けた、付記1乃至付記13のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記15)前記壁が、前記周囲を覆うように形成されている、付記14に記載された保護構造。
(付記16)前記電子部品をさらに備える、付記1乃至付記15のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記17)前記ベイパーチャンバーをさらに備える、付記1乃至付記16のうちのいずれか一に記載された保護構造。
(付記18)前記穴あけ部材が前記ベイパーチャンバーに固定されている、付記17に記載された保護構造。
(付記19)前記固定が他の部材を介して行われている、付記18に記載された保護構造。
(付記20)
電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記ベイパーチャンバーの上面及び前記ベイパーチャンバーの下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが前記加熱により過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む端部、を備える穴あけ部材。
106 電子部品
111 ベイパーチャンバー
116 断裂部
121 外側部材
201a、201b、201c、201d、201e、201f、211、211b、211c、211d、211e、202 部材
301、301b、301c、301d 保護構造
901 穴
906a、906b、906c、906d、906e、906f、906g 面
911a 上部
916a、916c、916d、916e、916f 線
921a 下部
926 端部
931a 接続部
Claims (12)
- 上面と下面とを備え、電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記上面及び前記下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む位置にある端部、を備える穴あけ部材を備え、
前記端部は、前記過熱による前記第一面の前記第一面に垂直な向きの移動により前記内部に入り込む、
保護構造。 - 上面と下面とを備え、電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記上面及び前記下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む位置にある端部、を備える穴あけ部材を備え、
前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面が前記電子部品と接触しており、
前記第一面の前記過熱による前記第一面に垂直な方向への移動を抑える第一移動抑止部材をさらに備える、
保護構造。 - 上面と下面とを備え、電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記上面及び前記下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む位置にある端部、を備える穴あけ部材を備え、
前記第一面が前記電子部品と接触しており、
前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面の前記過熱による前記第二面に垂直な方向への移動を抑える第二移動抑止部材をさらに備える、
保護構造。 - 上面と下面とを備え、電子部品と接触する扁平形状のベイパーチャンバーが前記電子部品による加熱により過熱する前は、前記上面及び前記下面のうちのいずれかである第一面に接触するか前記第一面の近傍に位置するかのいずれかであり、前記ベイパーチャンバーが過熱した場合は、前記ベイパーチャンバーの外側部材を破り内部に入り込む位置にある端部、を備える穴あけ部材を備え、
前記穴あけ部材の周囲の少なくとも一部に壁を設けた、
保護構造。 - 前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面が前記電子部品と接触している、請求項1、請求項3及び請求項4のうちのいずれか一に記載された保護構造。
- 前記ベイパーチャンバーは、熱媒体を外側部材により密閉した構成を備え、前記端部は、前記外側部材よりも硬い部材からなる、請求項1乃至請求項5のうちのいずれか一に記載された保護構造。
- 前記端部が前記第一面に向けて尖っている、請求項1乃至請求項6のうちのいずれか一に記載された保護構造。
- 前記端部は、前記過熱による前記第一面の前記第一面に垂直な向きの移動により前記内部に入り込む、請求項2、3及び4のうちのいずれか一に記載された保護構造。
- 前記上面及び前記下面のうち前記第一面でない方である第二面が前記電子部品と接触しており、
前記第一面の前記過熱による前記第一面に垂直な方向への移動を抑える第一移動抑止部材をさらに備える、
請求項1、3及び4のうちのいずれか一に記載された保護構造。 - 前記穴あけ部材の周囲の少なくとも一部に壁を設けた、
請求項1、2及び3のうちのいずれか一に記載された保護構造。 - 前記端部は、前記過熱による前記第一面の前記第一面に垂直な向きの移動により前記内部に入り込み、
前記穴あけ部材の周囲の少なくとも一部に壁を設けた、
請求項2又は請求項3に記載された保護構造。 - 前記ベイパーチャンバーは、熱媒体を外側部材により密閉した構成を備え、前記端部は、前記外側部材よりも硬い部材からなる、請求項8乃至請求項11のうちのいずれか一に記載された保護構造。
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JPH0731025B2 (ja) * | 1986-04-16 | 1995-04-10 | 株式会社フジクラ | ヒ−トパイプ |
JPS62272092A (ja) * | 1987-01-08 | 1987-11-26 | Babcock Hitachi Kk | 廃熱回収装置 |
US4706740A (en) * | 1987-03-11 | 1987-11-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Ventable survivable heat pipe vapor chamber spacecraft radiator |
JP3007236U (ja) * | 1994-07-27 | 1995-02-14 | インダストリアル テクノロジー リサーチ インスティテュート | 電子設備用放熱板 |
US6209626B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-04-03 | Intel Corporation | Heat pipe with pumping capabilities and use thereof in cooling a device |
US6169660B1 (en) * | 1999-11-01 | 2001-01-02 | Thermal Corp. | Stress relieved integrated circuit cooler |
US6820683B1 (en) * | 2000-01-04 | 2004-11-23 | Li Jia Hao | Bubble cycling heat exchanger |
JP2001339026A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Fujikura Ltd | 平板状ヒートパイプ |
JP5026809B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-09-19 | 古河電気工業株式会社 | 均熱構造体 |
US7748398B2 (en) * | 2007-11-07 | 2010-07-06 | Buckhorn, Inc. | Pressure relief valve for a container |
JP2010151352A (ja) | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Sony Corp | 熱輸送デバイスの製造方法及び熱輸送デバイス |
JP2012132582A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 薄型シート状ヒートパイプ |
JP3171613U (ja) * | 2011-08-27 | 2011-11-10 | 奇▲こう▼科技股▲ふん▼有限公司 | 放熱ユニットの固定構造 |
JP6043555B2 (ja) * | 2012-09-12 | 2016-12-14 | 昭和電工株式会社 | 組電池の冷却構造 |
JP6101728B2 (ja) | 2015-03-30 | 2017-03-22 | 株式会社フジクラ | ベーパーチャンバー |
JP3203218U (ja) * | 2016-01-06 | 2016-03-17 | 奇▲こう▼科技股▲ふん▼有限公司 | 均温板構造 |
US10353445B2 (en) * | 2016-04-11 | 2019-07-16 | Qualcomm Incorporated | Multi-phase heat dissipating device for an electronic device |
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