JP6481573B2 - ガス抽出治具、ガス分析方法 - Google Patents
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Description
また、特許文献2には、飛散を防止するための試料保持器に収納したランプ試料を破壊するための試料破壊室を備えたランプ封入ガス分析装置が記載されている。このランプ封入ガス分析装置は、試料破壊室に隣接して試料導入室などが形成されている。
これら特許文献1や特許文献2に記載された分析方法や分析装置では、分析対象試料として、PDPやランプなど、サイズが大きなものを対象としている。
また、閉塞部材は、排気管の一部を閉塞可能としている。閉塞部材は、排気管の一部閉塞によって、試料室と連通する空間の体積を閉塞部材の先端部と試料室の内周面との間に制限する。これにより、破壊された試料から抽出された封入ガスが、広範囲に拡散することを防止する。封入ガスの放散は試料室の僅かな(小さな)空間に限定され、封入ガスを高濃度の状態に保つことができる。よって、封入ガスを高感度、かつ高精度で分析することを可能にする。
これにより、閉塞部材を排気管の閉塞位置と解放位置との間で自在に、かつ容易にその位置を調節することができる。
これにより、破壊部材で試料を破壊する際に、試料室の一内面の凹凸によって、少ない力で確実に試料を破壊することを可能にする。
これにより、例えば、キャリアガスとして空気より軽いヘリウムを用いた場合、試料室の封入ガスを局所的に滞留させることなく効率的に流出させることができる。
これにより、例えば、キャリアガスとして空気より軽いヘリウムを用いた場合、試料室の封入ガスを局所的に滞留させることなく効率的に流出させることができる。
これにより、筐体を上筐体と下筐体に分離すれば、試料室に試料を容易に収容でき、試料分析の準備を容易にすることができる。
これにより、下筐体を3Dプリンタなどを用いて、樹脂等の素材で容易に製造することができ、製造コストを低減できるとともに、複雑な形状のガス流入管やガス流出管にも対応することができる。
また、排気管閉塞工程においては、排気管の一部を閉塞部材で閉塞することにより、破壊された試料から抽出された封入ガスが、広範囲に拡散することを防止する。これにより、封入ガスの放散は試料室の僅かな(小さな)空間に限定され、封入ガスを高濃度の状態に保つことができる。よって、封入ガスを高感度、かつ高精度で分析することができる。
ガスクロマトグラフィー質量分析装置を用いることにより、サイズの小さな電子部品などの試料に含まれる微量の封入ガスを高感度、かつ高精度に分析することができる。
ガス分析システム1は、ガス分析装置2と、ガス抽出治具10と、真空ポンプ(排気手段)3と、キャリアガス供給装置4とを備えている。
また、閉塞部材17は、解放位置(図5(b)参照)においては、排気管16の経路を一端側から他端側まで連通させて、真空ポンプ3による試料室12内の試料室12の内気を排出可能にする。
図6は、本発明のガス分析方法を段階的に示したフローチャートである。
本発明のガス抽出治具10を備えたガス分析システム1を用いて、例えばArガスが封入された電子部品(以下、試料と称する)のガス(以下、封入ガスと称する)の状態を調べる際には、まず、筐体11を上筐体11Aと下筐体11Bに分割し、下筐体11B側に露出している試料室12内に、試料を導入する(S1:試料導入工程)。
封入ガスの成分は、例えば、ガスクロマトグラフィー質量分析装置(ガス分析装置)によって定性、定量分析を行う。これによって、試料S内の封入ガス、例えばArガスの成分変化や、他のガスの発生などを分析することができる。
図2に示した実施形態のガス抽出治具を用いて抽出した封入ガス、および大気ガスについて、ガスクロマトグラフィー質量分析装置を用いて得られたGC/MSクロマトグラムを図7、図8にそれぞれ示す。また、封入ガスの成分定量結果を表1に示す。更に、ガス流入管やガス流出管を湾曲させずに直線的に形成したガス抽出治具を用いて抽出した封入ガスについて、ガスクロマトグラフィー質量分析装置を用いて得られたGC/MSクロマトグラムを図9に示す。
2 ガス分析装置
3 真空ポンプ(排気手段)
4 キャリアガス供給装置
10 ガス抽出治具
11 筐体
12 試料室
13 ガス流入管
14 ガス流出管
15 破壊部材
16 排気管
17 閉塞部材
Claims (9)
- 試料に封入された封入ガスを抽出するガス抽出治具であって、
前記試料を収容する試料室を内蔵した筐体と、前記筐体外部から前記試料室に向けてキャリアガスを流入させるガス流入管と、前記試料室から前記筐体外部に向けて前記封入ガスおよび前記キャリアガスを流出させるガス流出管と、前記試料室の一内面に向けて前記試料を押し付けて、前記試料を破壊する破壊部材と、一端側が排気手段に接続され、前記試料室の内気を排出する排気管と、前記排気管の少なくとも一部を閉塞可能な閉塞部材と、を備えたことを特徴とするガス抽出治具。 - 前記閉塞部材は、前記排気管の内周面に形成された雌ネジと、前記雌ネジに螺合して、前記排気管に挿入された閉塞位置と前記排気管から抜き出された解放位置との間で移動可能な雄ネジとからなることを特徴とする請求項1記載のガス抽出治具。
- 前記試料室の前記一内面は、凹凸面であることを特徴とする請求項1または2記載のガス抽出治具。
- 前記ガス流入管および前記ガス流出管は、前記筐体の外面から前記試料室の内周面に向かって湾曲していることを特徴とする請求項1ないし3いずれか一項記載のガス抽出治具。
- 前記ガス流入管および前記ガス流出管は、前記筐体の外面側よりも前記試料室の内周面側のほうが、鉛直方向の下側にあることを特徴とする請求項4記載のガス抽出治具。
- 前記筐体は、前記破壊部材を回動可能に支持する上筐体と、前記試料室、前記ガス流入管、前記ガス流出管、前記排気管、および閉塞部材を備えた下筐体とからなることを特徴とする請求項1ないし5いずれか一項記載のガス抽出治具。
- 前記下筐体は、前記試料室、前記ガス流入管、前記ガス流出管、および前記排気管を一体に形成してなることを特徴とする請求項6記載のガス抽出治具。
- 請求項1ないし6いずれか一項記載のガス抽出治具を用いたガス分析方法であって、
前記排気管を介して前記試料室の内気を排出し、前記試料室内を減圧する減圧工程と、
前記閉塞部材によって前記排気管の少なくとも一部を閉塞する排気管閉塞工程と、
前記試料室に収容した前記試料を前記破壊部材によって破壊し、前記試料に封入された封入ガスを前記試料室内に放散させる試料破壊工程と、
前記ガス流入管から前記試料室に向けて前記キャリアガスを流し、前記封入ガスとともに前記ガス流出管から流出させる封入ガス流出工程と、
流出させた前記封入ガスをガス分析装置に導入し、前記封入ガスを分析する分析工程と、
を備えたことを特徴とするガス分析方法。 - 前記ガス分析装置は、ガスクロマトグラフィー質量分析装置であることを特徴とする請求項8記載のガス分析方法。
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JPH059646Y2 (ja) * | 1987-07-07 | 1993-03-10 | ||
JPH041550A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体デバイス封止ガス分析用試料採取装置および採取方法 |
JP2574714Y2 (ja) * | 1992-02-12 | 1998-06-18 | 日本電気硝子株式会社 | 質量分析計のバブルクラッシャ |
JP4091977B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2008-05-28 | 日機装株式会社 | フーリエ変換方式イオンサイクロトロン共鳴質量分析方法 |
KR101070221B1 (ko) * | 2008-12-15 | 2011-10-06 | 한국표준과학연구원 | 발포체 내부의 가스 시료 포집 장치 및 이를 이용한 분석 방법 |
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2015
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