JP6478804B2 - カスケード光高調波発生 - Google Patents
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Description
第1の基本光ビームを第2高調波光ビームと組み合わせる第1のビーム・コンバイナと、
第1の基本光ビームおよび第2高調波光ビームから第3高調波光ビームを発生する、第1のビーム・コンバイナに結合された第3高調波結晶であって、第3高調波光ビームの発生時に、残留基本光ビームが第3高調波結晶から出る第3高調波結晶と、
残留基本光ビームと第3高調波光ビームとを分離する、第3高調波結晶に結合された第1のビーム・スプリッタと、
残留基本光ビームから第2高調波光ビームを発生し、第2高調波光ビームを第1のビーム・コンバイナに結合する、第1のビーム・スプリッタに結合された第2高調波結晶と
を備える第3高調波発生器が提供される。
第2の基本光ビームを、第3高調波結晶によって発生された第3高調波光ビームと組み合わせる第2のビーム・コンバイナと、
第2の基本光ビームおよび第3高調波光ビームから第4高調波光ビームを発生する、第2のビーム・コンバイナに結合された第4高調波結晶であって、第4高調波光ビームの発生時に、第1の基本光ビームが第4高調波結晶から出る第4高調波結晶と、
第1の基本光ビームと第4高調波光ビームとを分離し、第1の基本光ビームを第3高調波発生器の第1のビーム・コンバイナに結合する、第4高調波結晶に結合された第2のビーム・スプリッタと
を備える第4高調波発生器がさらに提供される。
高次高調波光ビームを発生すると共に、残留低次高調波光ビームを透過する、主光ビームの経路内に配設された高次高調波発生器と、
低次高調波光ビームを発生すると共に、残留主光ビームを透過する、高次高調波発生器の下流側の主光ビームの経路内に配設された低次高調波発生器と、
高次高調波発生器を通じて伝播する主光ビームから高次高調波光ビームを分割する、高次高調波発生器と低次高調波発生器との間の主光ビームの経路内に配設された高調波分離器と、
低次高調波発生器によって発生された低次高調波光ビームを、高調波光ビームを発生する高次高調波発生器に結合する、低次高調波発生器の下流側の残留主光ビームの経路内に配設された高調波コンバイナと
を備えるカスケード高調波発生器がさらに提供される。
低次高調波光ビームを発生するために、高次高調波発生器を通じて、次いで低次高調波発生器を通じて、主光ビームを順々に伝播するステップと、
高次高調波光ビームを発生するために、低次高調波光ビームが高次高調波発生器内で主光ビームと重複するように、高次高調波発生器を通じて、低次高調波発生器によって発生された低次高調波光ビームを伝播するステップと
を含む方法がさらに提供される。
m=2、...、M、M≧3として、第m高調波発生器のそれぞれ1つを備える複数の高調波発生器を用意するステップと、
第M高調波発生器から開始して、第2高調波発生器で終了する、mの降順で複数の高調波発生器を通じて主光ビームを伝播するステップと、
n=2、...、M−1として、第(n+1)高調波発生器を通じて、その中で主光ビームと重複するように、各第n高調波光ビームを伝播するステップと、
第M高調波光ビームを出力するステップと
を含む方法がさらに提供される。
11 基本光ビーム
12 第2高調波結晶
13 第3高調波結晶
14 第2高調波ビーム
15 ダイクロイック・ミラー
19 第3高調波ビーム
20 第3高調波発生器
21 第1基本光ビーム
21A 残留基本光ビーム
21B 残留ビーム
22 第2高調波光ビーム
22A 残留第2高調波ビーム
23 第3高調波光ビーム
24 第4高調波光ビーム
25 第1のビーム・コンバイナ
25A ダイクロイック・ミラー
26 第2高調波結晶
27 第1のビーム・スプリッタ
27A 上側ダイクロイック・ミラー
27B 下側ダイクロイック・ミラー
28 第3高調波結晶
29A 光ビーム・ダンプ
29B 光ビーム・ダンプ
40 第4高調波発生器
41 第2の基本光ビーム
45 第2のビーム・コンバイナ
45A ダイクロイック・ミラー
45B 転換ミラー
46 第4高調波結晶
47 第2高調波スプリッタ
49 上部光ビーム・ダンプ
60 カスケード高調波発生器
61 主光ビーム
61A 残留主光ビーム
61B 残留ビーム
62 低次高調波光ビーム
63 高調波光ビーム
65 高調波コンバイナ
66 低次高調波発生器
67 高調波分離器
68 高次高調波発生器
69 光ループ
70 カスケード高調波発生器
71 パルス光源
80 第3高調波発生器
85 第1のビーム・コンバイナ
85A 転換ミラー
86 第2高調波結晶
87 第1のビーム・スプリッタ
87A 転換ミラー
88 第3高調波結晶
88A 入力光学面
88B 出力光学面
Claims (23)
- 第1の基本光ビームを第2高調波光ビームと組み合わせるように構成された第1のビーム・コンバイナと、
前記第1の基本光ビームおよび前記第2高調波光ビームから第3高調波光ビームを発生するように構成され、前記第1のビーム・コンバイナに結合された第3高調波結晶であって、前記第3高調波光ビームの発生時に、残留基本光ビームが前記第3高調波結晶から出る第3高調波結晶と、
前記残留基本光ビームと前記第3高調波光ビームとを分離するように構成され、前記第3高調波結晶に結合された第1のビーム・スプリッタと、
前記残留基本光ビームから前記第2高調波光ビームを発生するように構成され、前記第2高調波光ビームを前記第1のビーム・コンバイナに結合する、前記第1のビーム・スプリッタに結合された第2高調波結晶と
を備える第3高調波発生器。 - 前記第1のビーム・コンバイナおよび前記第1のビーム・スプリッタの少なくとも一方がミラーまたは偏光子を備える請求項1に記載の第3高調波発生器。
- 前記ミラーがダイクロイック・ミラーを含む請求項2に記載の第3高調波発生器。
- 前記第3高調波結晶が、前記第1の基本光ビームおよび前記第2高調波光ビームが非垂直入射角で前記第3高調波結晶に入射するように構成され、配向される請求項1に記載の第3高調波発生器。
- 前記第1のビーム・コンバイナが、前記第1の基本光ビームとコリニアな前記残留基本光ビームが前記第3高調波結晶内を伝播することを防止するように構成される請求項4に記載の第3高調波発生器。
- 前記第2高調波結晶が、タイプI高調波発生のために構成され、前記第3高調波結晶が、タイプII高調波発生のために構成される請求項4に記載の第3高調波発生器。
- 第1の基本光ビームを第2高調波光ビームと組み合わせるように構成された第1のビーム・コンバイナと、
前記第1の基本光ビームおよび前記第2高調波光ビームから第3高調波光ビームを発生するように構成され、前記第1のビーム・コンバイナに結合された第3高調波結晶であって、前記第3高調波光ビームの発生時に、残留基本光ビームが前記第3高調波結晶から出る第3高調波結晶と、
前記残留基本光ビームと前記第3高調波光ビームとを分離するように構成され、前記第3高調波結晶に結合された第1のビーム・スプリッタと、
前記残留基本光ビームから前記第2高調波光ビームを発生するように構成され、前記第2高調波光ビームを前記第1のビーム・コンバイナに結合する、前記第1のビーム・スプリッタに結合された第2高調波結晶と
を備える第3高調波発生器と、
第2の基本光ビームを、前記第3高調波結晶によって発生された前記第3高調波光ビームと組み合わせるように構成された第2のビーム・コンバイナと、
前記第2の基本光ビームおよび前記第3高調波光ビームから第4高調波光ビームを発生するように構成され、前記第2のビーム・コンバイナに結合された第4高調波結晶であって、前記第4高調波光ビームの発生時に、前記第1の基本光ビームが第4高調波結晶から出る第4高調波結晶と、
前記第1の基本光ビームと前記第4高調波光ビームとを分離するように構成され、前記第1の基本光ビームを前記第3高調波発生器の前記第1のビーム・コンバイナに結合するように構成される、前記第4高調波結晶に結合された第2のビーム・スプリッタと
を備える第4高調波発生器。 - 主光ビームからカスケード光高調波を発生するカスケード高調波発生器であって、
高次高調波光ビームを発生するように構成されると共に、残留低次高調波光ビームを透過する、前記主光ビームの経路内に配設された高次高調波発生器と、
低次高調波光ビームを発生するように構成されると共に、残留主光ビームを透過する、前記高次高調波発生器の下流側の前記主光ビームの前記経路内に配設された低次高調波発生器と、
前記高次高調波発生器を通じて伝播する前記主光ビームから前記高次高調波光ビームを分割するように構成され、前記高次高調波発生器と前記低次高調波発生器との間の前記主光ビームの前記経路内に配設された高調波分離器と、
前記低次高調波発生器によって発生された前記低次高調波光ビームを、前記高次高調波光ビームを発生するように構成された前記高次高調波発生器に結合するように構成され、前記低次高調波発生器の下流側の前記残留主光ビームの前記経路内に配設された高調波コンバイナと
を備えるカスケード高調波発生器。 - 前記残留主光ビームを、前記低次高調波発生器から出る前記低次高調波光ビームから分離して、前記残留主光ビームが循環して前記高次高調波発生器に戻るのを防止するように構成された第1のフィルタをさらに備える請求項8に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記低次高調波発生器から出る前記残留主光ビームを吸収するように構成された光ダンプをさらに備える請求項8に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記残留低次高調波光ビームを、前記高次高調波発生器から出る前記主光ビームから分離して、前記残留低次高調波光ビームが循環して前記低次高調波発生器に戻るのを防止するように構成された第2のフィルタをさらに備える請求項8に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記低次高調波発生器が低次高調波結晶を備え、前記高次高調波発生器が高次高調波結晶を備える請求項8に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記高次高調波結晶が、前記低次高調波光ビームに対してほぼブリュースター角に配設された入力面を備える請求項12に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記高次高調波結晶の屈折率が波長依存であり、前記主光ビームと前記低次高調波光ビームが、高次高調波結晶の前記入力面に対する異なる入射角を有し、その結果、動作の際に、前記主光ビームおよび前記低次高調波光ビームが、前記高次高調波結晶内でほぼコリニアである請求項13に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記高次高調波結晶が、前記主光ビームの前記経路に対して鋭角の退出面を含み、それによって動作中に、前記主光ビーム、前記残留低次高調波光ビーム、および前記高次高調波光ビームが、前記高次高調波光ビームから分離するために異なる角度で前記高次高調波結晶から出る請求項14に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記高次高調波結晶および前記低次高調波結晶の少なくとも一方が、周期的分極結晶を含む請求項12に記載のカスケード高調波発生器。
- 前記主光ビームを供給するように構成されたパルス光源をさらに備え、前記主光ビームが、前記低次高調波発生器および前記高次高調波発生器を備える光ループ内の光ラウンド・トリップ時間がそのパルス間隔のほぼ整数倍になるようなパルス間隔でパルシングされる請求項8に記載のカスケード高調波発生器。
- 主光ビームからカスケード光高調波を発生する方法であって、
低次高調波光ビームを発生するために、高次高調波発生器を通じて、次いで低次高調波発生器を通じて、主光ビームを順々に伝播するステップと、
高次高調波光ビームを発生するために、前記低次高調波光ビームが前記高次高調波発生器内で前記主光ビームと重複するように、前記高次高調波発生器を通じて、前記低次高調波発生器によって発生された前記低次高調波光ビームを伝播するステップと、
前記低次高調波発生器および前記高次高調波発生器を備える光ループ内の光ラウンド・トリップ時間がそのパルス間隔のほぼ整数倍になるようなパルス間隔で前記主光ビームをパルシングするステップと
を含む方法。 - 前記主光ビームを、前記低次高調波発生器から出る前記低次高調波光ビームから分離して、前記主光ビームが循環して前記高次高調波発生器に戻るのを防止するステップをさらに含む請求項18に記載の方法。
- 前記低次高調波光ビームを、前記高次高調波発生器から出る前記主光ビームから分離して、前記低次高調波光ビームが循環して前記低次高調波発生器に戻るのを防止するステップをさらに含む請求項18に記載の方法。
- 前記高次高調波発生器内のコリニア伝播のために、前記高次高調波発生器での前記低次高調波光ビームを、前記主光ビームと鋭角に配向するステップをさらに含む請求項18に記載の方法。
- 主光ビームからカスケード光高調波を発生する方法であって、
m=2、...、M、M≧3として、第M高調波発生器から開始して、第2高調波発生器で終了する、mの降順で、第m高調波発生器を通じて前記主光ビームを伝播するステップと、
n=2、...、M−1として、第(n+1)高調波発生器を通じて、その中で前記主光ビームと重複するように、各第n高調波光ビームを伝播するステップと、
第M高調波光ビームを出力するステップと、
前記第M高調波発生器から前記第2高調波発生器を備える光ループ内の光ラウンド・トリップ時間がそのパルス間隔のほぼ整数倍になるようなパルス間隔で前記主光ビームをパルシングするステップと
を含む方法。 - 残留主光ビームが循環して前記第M高調波発生器に戻らないように、前記第M高調波発生器の前に前記残留主光ビームを分離するステップをさらに含む請求項22に記載の方法。
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