JP6477279B2 - Method for peeling glass laminate and method for manufacturing electronic device - Google Patents

Method for peeling glass laminate and method for manufacturing electronic device Download PDF

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Description

本発明は、支持層とガラス積層体とを剥離する方法及び電子デバイスの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for peeling a support layer and a glass laminate, and a method for manufacturing an electronic device.

近年、有機EL表示装置、太陽電池、薄膜二次電池等における電子デバイスの薄型化、軽量化が進行しており、これらの電子デバイスに用いられるガラス層の薄膜化が進行している。しかしながら、薄板化によりガラス層の強度が低下すると、ガラス層のハンドリング性が悪化するという問題があった。
そこで、ガラス層の裏面に支持層を剥離可能に貼り付けた積層体を構成し、ガラス層の表面に電子デバイス部材を形成した後、ガラス層と支持層とを剥離する方法が提案されている。
In recent years, electronic devices in organic EL display devices, solar cells, thin film secondary batteries, and the like have been made thinner and lighter, and glass layers used in these electronic devices have been made thinner. However, when the strength of the glass layer is lowered due to the thin plate, there is a problem that the handling property of the glass layer is deteriorated.
Therefore, a method has been proposed in which a laminated body in which a support layer is detachably attached to the back surface of the glass layer is formed, an electronic device member is formed on the surface of the glass layer, and then the glass layer and the support layer are peeled off. .

例えば、特許文献1には、薄板ガラス基板と、支持ガラス基板と、を積層させてなる薄板ガラス積層体であって、前記薄板ガラスと、前記支持ガラスと、が易剥離性および非粘着性を有するシリコーン樹脂層を介して積層されていることを特徴とする薄板ガラス積層体が記載されている。そして、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを分離するには、手剥離により実施しうるが、剃刀の刃等で端部に剥離のきっかけを与えたり、積層界面へのエアーの注入により、より容易に剥離することが可能であると記載されている。   For example, Patent Document 1 discloses a thin glass laminate obtained by laminating a thin glass substrate and a supporting glass substrate, and the thin glass and the supporting glass have easy peelability and non-adhesiveness. The thin glass laminated body characterized by laminating | stacking through the silicone resin layer which has is described. And, to separate the thin glass substrate and the supporting glass substrate, it can be done by manual peeling, but it is easier by giving the edge of peeling with a razor blade or by injecting air to the lamination interface. It is described that it can be peeled off.

また、特許文献2には、基板に貼り付けられた補強シートを剥離する剥離装置を開示し、積層体とパットの間に可撓性部材を配置して、パッドに連結されたロッドが回動可能に設けられることで、基板に張り付けられた補強シートを容易に剥離することができることが記載されている。 Patent Document 2 discloses a peeling device that peels off a reinforcing sheet attached to a substrate. A flexible member is disposed between a laminate and a pad so that a rod connected to the pad rotates. It is described that the reinforcing sheet attached to the substrate can be easily peeled off by being provided.

国際公開第2007/018028号パンフレットInternational Publication No. 2007/018028 Pamphlet 国際公開第2011/024689号パンフレットInternational Publication No. 2011/024689 Pamphlet

しかしながら、特許文献1では、支持ガラス基板から薄板ガラス基板を手剥離しようとすると、薄板ガラス基板の強度が低いために、破損してしまうことが懸念される。また、積層界面へエアーを注入した場合、薄板ガラス基板に局所的に応力が発生し、破損してしまうことが懸念される。
特許文献2では、基板と補強シートを剥離するために大がかりな装置が必要であり、また、装置に適用可能なガラス基板サイズも制約されることが懸念される。
However, in Patent Document 1, if the thin glass substrate is manually peeled from the supporting glass substrate, there is a concern that the thin glass substrate is damaged due to low strength. In addition, when air is injected into the laminated interface, there is a concern that stress is locally generated on the thin glass substrate and is damaged.
In Patent Document 2, there is a concern that a large-scale device is required to peel the substrate and the reinforcing sheet, and that the glass substrate size applicable to the device is also limited.

本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、支持層付きガラス積層体において、簡便で、且つガラス層の破損を抑制できるガラス積層体の剥離方法及び電子デバイスの製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in order to solve the above-described conventional problems, and the object of the present invention is to peel off a glass laminate that is simple and can suppress breakage of the glass layer in a glass laminate with a support layer. It is to provide a method and a method for manufacturing an electronic device.

本発明者らは上記課題について鋭意検討した結果、少なくとも支持層、樹脂層、及び特定の厚みのガラス層を積層させる際に、樹脂層の少なくとも一部があえてガラス層の外形範囲を超えるように形成し、当該外形範囲を超えて形成された樹脂層の一部を支持層から
剥離し、該剥離部分を把持して支持層から剥すことで、簡便且つガラス層の破損を抑制できるガラス積層体の剥離方法を提供できることを見出した
As a result of earnestly examining the above problems, the inventors of the present invention have at least a part of the resin layer that exceeds the outer shape range of the glass layer when laminating at least the support layer, the resin layer, and the glass layer having a specific thickness. A glass laminate that can be easily formed and peels off a part of the resin layer that is formed beyond the outer shape range from the support layer, and grips the peeled part and peels it from the support layer, thereby preventing damage to the glass layer. Found that it can provide a peeling method

すなわち本発明は以下の通りである。
[1]少なくとも、支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体から、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を剥離する方法であって、
少なくとも、支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、
前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び
剥離した樹脂層を把持して、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、ガラス積層体の剥離方法。
[2]前記樹脂層の外形範囲が、ガラス層の外形範囲よりも大きいことを特徴とする[1]に記載のガラス積層体の剥離方法。
[3]前記樹脂層の引張破断強度が10MPa以上、300MPa以下であることを特徴とする[1]又は[2]に記載のガラス積層体の剥離方法。
[4]前記樹脂層の引張破断伸度が5%以上、500%以下であることを特徴とする[1]〜[3]のいずれかに記載のガラス積層体の剥離方法。
[5]前記樹脂層の引張弾性率が50MPa以上、2500MPa以下であることを特徴とする[1]〜[4]のいずれかに記載のガラス積層体の剥離方法。
[6]
前記樹脂層と支持層との剥離強度が0.1N/50mm以上、5N/50mm以下であることを特徴とする[1]〜[5]のいずれかに記載のガラス積層体の剥離方法。
[7]前記樹脂層が熱可塑性樹脂を含むことを特徴とする[1]〜[6]のいずれかに記載のガラス積層体の剥離方法。
[8]前記樹脂層が硬化性樹脂組成物を硬化させて形成されたことを特徴とする[1]〜[6]のいずれかに記載のガラス積層体の剥離方法。
[9]少なくとも、支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、
準備した支持層付きガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成する工程、
前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び
剥離した樹脂層を把持して、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、電子デバイスの製造方法。
That is, the present invention is as follows.
[1] A glass laminate with a support layer, which includes at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, and at least a part of the resin layer is formed to exceed the outer shape range of the glass layer. A method of peeling a glass laminate including a resin layer and a glass layer from a body,
A glass laminate with a support layer is prepared, which includes at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, and at least a part of the resin layer is formed to exceed the outer range of the glass layer. The process of
A step of peeling at least a part of the resin layer formed beyond the outer shape range of the glass layer from the support layer; and gripping the peeled resin layer to remove the glass laminate including the resin layer and the glass layer from the support layer. The peeling method of a glass laminated body provided with the process to peel.
[2] The method for peeling a glass laminate according to [1], wherein an outer range of the resin layer is larger than an outer range of the glass layer.
[3] The method for peeling a glass laminate according to [1] or [2], wherein the resin layer has a tensile strength at break of 10 MPa or more and 300 MPa or less.
[4] The method for peeling a glass laminate according to any one of [1] to [3], wherein the resin layer has a tensile elongation at break of 5% or more and 500% or less.
[5] The method for peeling a glass laminate according to any one of [1] to [4], wherein the resin layer has a tensile elastic modulus of 50 MPa or more and 2500 MPa or less.
[6]
The method for peeling a glass laminate according to any one of [1] to [5], wherein the peel strength between the resin layer and the support layer is 0.1 N / 50 mm or more and 5 N / 50 mm or less.
[7] The method for peeling a glass laminate according to any one of [1] to [6], wherein the resin layer includes a thermoplastic resin.
[8] The method for peeling a glass laminate according to any one of [1] to [6], wherein the resin layer is formed by curing a curable resin composition.
[9] A glass laminate with a support layer, which includes at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, and at least a part of the resin layer is formed beyond the outer shape range of the glass layer. Preparing the body,
A step of forming an electronic device member on the glass layer of the prepared glass laminate with a support layer,
A step of peeling at least a part of the resin layer formed beyond the outer shape range of the glass layer from the support layer; and gripping the peeled resin layer to remove the glass laminate including the resin layer and the glass layer from the support layer. A method for manufacturing an electronic device, comprising the step of peeling.

本発明の剥離方法により、簡便で、且つガラス層の破損を抑制できるガラス積層体の剥離方法を提供できる。また、当該技術を利用した、電子デバイスの製造方法を提供できる。   By the peeling method of this invention, the peeling method of the glass laminated body which can suppress the damage of a glass layer easily can be provided. Moreover, the manufacturing method of an electronic device using the said technique can be provided.

支持層付きガラス積層体の一実施形態の積層構造を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the laminated structure of one Embodiment of the glass laminated body with a support layer. 本発明における、外形範囲を示す図である。It is a figure which shows the external shape range in this invention. 剥離方法の一実施形態を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows one Embodiment of the peeling method. 支持層付きガラス積層体の別の実施形態の積層構造を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows the laminated structure of another embodiment of the glass laminated body with a support layer.

以下に本発明の実施の形態を詳細に説明するが、以下の説明は、本発明の実施形態の一例(代表例)を説明するものであり、本発明はこれらの内容に特定されるものではない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail below, but the following descriptions will explain examples (representative examples) of embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to these contents. Absent.

図1は、本発明に用いる支持層付きガラス積層体の一実施形態を示す断面模式図である。支持層付きガラス積層体100は、支持層12、離型層19、樹脂層11及びガラス層10をこの順に備える。
また、図4は、本発明に用いる支持層付きガラス積層体の別の実施形態を示す断面模式図である。支持層付きガラス積層体200は、支持層22、密着層26、樹脂層21、接着層25及びガラス層20をこの順に備える。
以下では、先ず、ガラス層や樹脂層、支持層をはじめ、本発明に用いる支持層付きガラス積層体に用いられる材料等について説明する。後述するガラス積層体の製造方法ではこれらの材料等が用いられる。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a glass laminate with a support layer used in the present invention. The glass laminate 100 with a support layer includes a support layer 12, a release layer 19, a resin layer 11, and a glass layer 10 in this order.
Moreover, FIG. 4 is a cross-sectional schematic diagram which shows another embodiment of the glass laminated body with a support layer used for this invention. The glass laminate 200 with a support layer includes a support layer 22, an adhesion layer 26, a resin layer 21, an adhesive layer 25, and a glass layer 20 in this order.
Below, first, the material etc. which are used for the glass laminated body with a support layer used for this invention including a glass layer, a resin layer, and a support layer are demonstrated. These materials and the like are used in the method for producing a glass laminate described later.

<1.ガラス層>
本発明に用いられるガラス層は、厚みが10μm以上200μm以下の板状のものであれば、任意の適切なものが採用され得る。材質としては、例えば、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用でき、強化、表面処理等の二次加工を施したものも使用可能であり、いずれも用途により使い分けられる。市販されている具体例としては、無アルカリガラスである日本電気硝子株式会社製の商品名「OA−10G」が挙げられる。
<1. Glass layer>
As the glass layer used in the present invention, any appropriate one can be adopted as long as it has a plate shape with a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less. As the material, for example, almost any glass composition such as soda lime glass, borosilicate glass, non-alkali glass, etc. can be applied, and those subjected to secondary processing such as tempering and surface treatment can also be used. It is properly used depending on the application. As a specific example marketed, trade name “OA-10G” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which is alkali-free glass, can be mentioned.

厚みが10μm以上200μm以下のガラスは、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることが可能である。ガラス組成、ガラス溶融体の厚み、温度、引き取り速度によりガラス層の厚みを制御することができる。   Glass having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less can in principle be produced by stretching the glass melt at a temperature above the temperature at which the glass melt solidifies. The thickness of the glass layer can be controlled by the glass composition, the thickness of the glass melt, the temperature, and the take-off speed.

ガラス層の厚みは、好ましくは15μm以上、より好ましくは20μm以上、さらに好ましくは25μm以上である。一方で、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは75μm以下である。10μm以上とすることで、機械的強度の極度の低下を防ぎ、硬化樹脂層が形成された際などのストレスによる破損を防ぐことができる。一方で、200μm以下とすることで、ガラス単体での製造効率を悪化させず、ハンドリング性に優れ、二次加工性改良を一つの目的とした硬化樹脂層の積層を効率良く行うことができる。   The thickness of the glass layer is preferably 15 μm or more, more preferably 20 μm or more, and further preferably 25 μm or more. On the other hand, Preferably it is 100 micrometers or less, More preferably, it is 80 micrometers or less, More preferably, it is 75 micrometers or less. By setting the thickness to 10 μm or more, it is possible to prevent an extreme decrease in mechanical strength and prevent breakage due to stress such as when a cured resin layer is formed. On the other hand, by setting the thickness to 200 μm or less, it is possible to efficiently perform lamination of a cured resin layer for the purpose of improving the secondary workability with excellent handling properties without deteriorating the production efficiency of a single glass.

本発明に用いられるガラス層は、表面処理を施したものも使用可能である。表面処理としては、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理などの表面処理などの各種表面処理があげられる。特に、樹脂層との密着性を向上させ、ハンドリング時の剥離を防止する目的で、後述する樹脂層側の表面に何らかの表面処理を施してもよい。
表面処理剤は特に限定されず、メトキシシラン、エトキシシラン、クロロシラン、シラザンなどの誘導体が挙げられ、特にアミノ基、アクリル基、メタクリル基を末端に有するメトキシシラン誘導体が好適に用いられる。
As the glass layer used in the present invention, those subjected to surface treatment can be used. As the surface treatment, for example, a coupling agent treatment with a silane coupling agent, a titanium coupling agent, etc., chemical treatment such as acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc discharge treatment, Various surface treatments such as discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet ray treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as laser treatment, and other surface treatment such as flame treatment can be given. In particular, for the purpose of improving adhesion with the resin layer and preventing peeling during handling, the surface on the resin layer side described later may be subjected to some surface treatment.
The surface treatment agent is not particularly limited, and examples thereof include derivatives such as methoxysilane, ethoxysilane, chlorosilane, and silazane. In particular, a methoxysilane derivative having an amino group, an acrylic group, or a methacryl group at the terminal is preferably used.

<1−1.ガラス層の全光線透過率>
ガラス層の全光線透過率は、80%以上が好ましく、85%以上がより好ましく、90%以上が特に好ましい。80%以上であれば、ガラス積層体のより高い光透過性を達成できる。このようなガラス層は、公知のものを適宜選択することや、公知の方法で作製する
ことで得ることができる。
尚、全光線透過率は、例えば、JIS K 7361に準拠する方法で測定することができる。このとき、例えば、透過率計(村上色彩技術研究所製「HR−100」)を用いることができる。
<1-1. Total light transmittance of glass layer>
The total light transmittance of the glass layer is preferably 80% or more, more preferably 85% or more, and particularly preferably 90% or more. If it is 80% or more, the higher light transmittance of a glass laminated body can be achieved. Such a glass layer can be obtained by appropriately selecting a known one or by producing it by a known method.
The total light transmittance can be measured by a method based on JIS K 7361, for example. At this time, for example, a transmittance meter (“HR-100” manufactured by Murakami Color Research Laboratory) can be used.

<1−2.ガラス層の平均面粗さ>
ガラス層の片面に樹脂層が形成される場合には、その他方の面、即ち、樹脂層が形成されない面の平均面粗さは、好ましくは10nm以下、より好ましくは5nm以下、さらに好ましくは2nm以下である。10nm以下であれば、該面上に更に薄膜を積層させた場合に均一な膜となりやすく、例えば、ガラス積層体を基板として用い、該ガラス層表面に電子デバイス部材としてITO膜等の導電層を形成する場合、非常に薄く(数十nm厚)、且つ表面抵抗値の低い導電層を形成できる。そのため、上記平均面粗さを有するガラス層は電子デバイスの基板として好適に用いることができる。下限は、特には制限されないが、0.1nm以上であることが好ましい。このようなガラス層としては、公知のものを適宜選択することや、公知の方法で作製することで得ることができる。
<1-2. Average surface roughness of glass layer>
When the resin layer is formed on one surface of the glass layer, the average surface roughness of the other surface, that is, the surface where the resin layer is not formed is preferably 10 nm or less, more preferably 5 nm or less, and even more preferably 2 nm. It is as follows. If it is 10 nm or less, it is easy to form a uniform film when a thin film is further laminated on the surface. For example, a glass laminate is used as a substrate, and a conductive layer such as an ITO film is used as an electronic device member on the glass layer surface. When formed, a conductive layer having a very thin thickness (several tens of nm) and a low surface resistance can be formed. Therefore, the glass layer having the above average surface roughness can be suitably used as a substrate for electronic devices. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 0.1 nm or more. As such a glass layer, it can obtain by selecting a well-known thing suitably or producing by a well-known method.

なお、平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は、下記測定方法にて算出できる。
算術平均粗さ(Sa)の測定方法:
平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は光干渉式非接触表面形状測定器を用いて測定することができる。例えば非接触表面・層断面計測システムVertScan2.0(株式会社菱化システム製)を用いガラス層の表面観察(観察視野:93.97μm×71.30μm)を実施し、ガラス層の表面について、平均面粗さ(算術平均粗さSa)を算出する。
The average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) can be calculated by the following measuring method.
Method for measuring arithmetic average roughness (Sa):
The average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) can be measured using an optical interference type non-contact surface shape measuring instrument. For example, surface observation (observation field of view: 93.97 μm × 71.30 μm) of the glass layer was performed using a non-contact surface / layer cross-sectional measurement system VertScan 2.0 (manufactured by Ryoka System Co., Ltd.), and the surface of the glass layer was averaged. The surface roughness (arithmetic average roughness Sa) is calculated.

<1−3.ガラス層の耐屈曲性>
本発明におけるガラス積層体は、支持層から剥離する際に屈曲させた状態で剥離するため、その際にガラス層が破損しないことが必要となる。ガラス層は曲率半径200mm以上の変形では破損しないことが好ましく、100mm以上の変形でも破損しないことが特に好ましい。
<1-3. Flexibility of glass layer>
Since the glass laminated body in this invention peels in the state bent when peeling from a support layer, it is necessary for a glass layer not to be damaged in that case. The glass layer is preferably not damaged by deformation with a curvature radius of 200 mm or more, and particularly preferably not damaged by deformation of 100 mm or more.

<2.支持層>
本発明に用いる支持層は、電子デバイス部材を形成する際に、ガラス層のハンドリング性を向上させ、ガラス層の変形や破損を抑制する。
本発明に用いる支持層としては、例えば、ガラス、樹脂、又はSUSなどの金属材料などが用いられる。通常、電子デバイス部材を形成する際には熱処理を伴うため、支持層は、主にガラス層との線膨張係数の差の小さい材料を用いることが好ましく、ガラス層と同一材料、即ち支持層はガラス材料であることがより好ましい。特に、ガラス層と同じガラス材料であることが好ましい。
<2. Support layer>
The support layer used in the present invention improves the handleability of the glass layer and suppresses deformation and breakage of the glass layer when forming the electronic device member.
As a support layer used for this invention, metal materials, such as glass, resin, or SUS, are used, for example. Usually, since an electronic device member is formed with heat treatment, it is preferable to use a material mainly having a small difference in linear expansion coefficient from the glass layer, and the same material as the glass layer, that is, the support layer is used as the support layer. More preferably, it is a glass material. In particular, the glass material is preferably the same as the glass layer.

支持層の厚みは、好ましくは0.2mm以上、より好ましくは0.3mm以上、更に好ましくは0.5mm以上である。一方で、好ましくは5mm以下、より好ましくは2mm以下である。0.2mm以上とすることで、ガラス積層体を搬送する際などにたわみが生じることがなくなり、電子デバイス部材を形成する際に扱いやすい。一方で、5mm以下とすることで、ガラス積層体の軽量化や、梱包の効率化が可能となる。   The thickness of the support layer is preferably 0.2 mm or more, more preferably 0.3 mm or more, and still more preferably 0.5 mm or more. On the other hand, it is preferably 5 mm or less, more preferably 2 mm or less. By setting the thickness to 0.2 mm or more, bending does not occur when the glass laminate is conveyed, and it is easy to handle when forming the electronic device member. On the other hand, when the thickness is 5 mm or less, it is possible to reduce the weight of the glass laminate and increase the efficiency of packaging.

本発明に用いられる支持層は、必要に応じて、後述する樹脂層側の表面に離型処理を施してもよい。離型処理を行うことによって、樹脂層との剥離性を向上させ、樹脂層を支持層から剥離する際の樹脂層の破断などを防止しやすくなる。
離型処理としては特に限定されないが、支持層の樹脂層側の表面を離型剤で処理することが挙げられる。
離型剤は特に限定されず、シリコーン系化合物(例えば、シリコーンオイル、熱硬化シリコーン、紫外線硬化シリコーン、変性シリコーンなど)、フッ素系化合物(例えば、フッ素系樹脂など)、オレフィン樹脂、アルキッド樹脂などが挙げられ、特にシリコーン系化合物が好適に用いられる。
The support layer used in the present invention may be subjected to a release treatment on the surface of the resin layer described later, if necessary. By performing the mold release treatment, the peelability from the resin layer is improved, and it becomes easy to prevent breakage of the resin layer when the resin layer is peeled from the support layer.
Although it does not specifically limit as a mold release process, Treating the surface by the side of the resin layer of a support layer with a mold release agent is mentioned.
The release agent is not particularly limited, and silicone compounds (for example, silicone oil, thermosetting silicone, ultraviolet curable silicone, modified silicone, etc.), fluorine compounds (for example, fluorine resin, etc.), olefin resins, alkyd resins, etc. In particular, silicone compounds are preferably used.

<3.樹脂層>
本発明に用いられる樹脂層は、支持層とガラス層との間に備えられ、ガラス層を保護してガラス層のハンドリング性を向上させる。支持層付きガラス積層体上に電子デバイス部材を形成した後は、樹脂層と支持層との間で支持層を剥離できる。支持層を剥離する際や剥離した後は、厚みが薄く耐衝撃性に乏しいガラス層を樹脂層で被覆することによって、ガラス層の割れの発生やクラックの伝搬を防止することが可能になり、ハンドリング性を向上させる。
<3. Resin layer>
The resin layer used in the present invention is provided between the support layer and the glass layer, protects the glass layer, and improves the handling properties of the glass layer. After the electronic device member is formed on the glass laminate with the support layer, the support layer can be peeled between the resin layer and the support layer. When the support layer is peeled off or after peeling, it becomes possible to prevent the occurrence of cracks in the glass layer and propagation of cracks by covering the glass layer with a thin thickness and poor impact resistance with a resin layer, Improve handling.

樹脂層は、熱可塑性樹脂を含む樹脂層であってもよく、硬化性樹脂組成物を硬化させてなる樹脂層であってもよく、本発明の効果が得られる限りにおいて限定されないが、硬化性樹脂組成物は硬化反応時にガラス層表面への化学的な結合を誘起する配合設計が容易な点で、硬化性樹脂組成物を硬化させてなる樹脂層が好ましい。
一方、熱可塑性樹脂は硬化性樹脂に対して一般的に靱性に優れるため、剥離の際の樹脂層の破壊が抑えられる点で好ましい。
The resin layer may be a resin layer containing a thermoplastic resin, or may be a resin layer obtained by curing a curable resin composition, and is not limited as long as the effects of the present invention are obtained, but is not curable. The resin composition is preferably a resin layer obtained by curing the curable resin composition in terms of easy blending design that induces chemical bonding to the glass layer surface during the curing reaction.
On the other hand, since a thermoplastic resin is generally excellent in toughness with respect to a curable resin, it is preferable in that the breakage of the resin layer at the time of peeling is suppressed.

<3−1.熱可塑性樹脂>
熱可塑性樹脂としては、フッ素系樹脂、ポリエーテルサルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、熱可塑性ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリサルホン系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、ポリエーテルシリコン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂等が挙げられる。
これらのうち、電子デバイスの形成における加熱工程や、洗浄工程を経た後も剥離の際に必要な機械強度を維持できる点で、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂が好ましく、支持層との密着性を調整し易いことから、フッ素系樹脂が特に好ましい。
<3-1. Thermoplastic resin>
Thermoplastic resins include fluororesins, polyethersulfone resins, polycarbonate resins, acrylic resins, silicone resins, cycloolefin resins, thermoplastic polyimide resins, polyamide resins, polyamideimide resins, polyresins. Examples include arylate-based resins, polysulfone-based resins, polyetherimide-based resins, polyetheretherketone-based resins, polyether silicon-based resins, polyester-based resins, and polyphenylene sulfide-based resins.
Of these, fluororesins, silicone resins, polyimide resins, and polyester resins are preferred in that they can maintain the required mechanical strength during peeling after the heating step and the cleaning step in the formation of electronic devices. Fluorine-based resins are particularly preferable because the adhesion with the support layer is easy to adjust.

<3−2.硬化性樹脂組成物>
硬化性樹脂組成物は、硬化処理によって硬化する樹脂組成物であれば、該組成物に含まれる成分は特に限定されないが、例えば、加熱処理や、活性エネルギー線照射により硬化する硬化性樹脂組成物が挙げられる。中でも、硬化処理工程が簡便であることから、熱硬化性樹脂組成物又は紫外線硬化性樹脂組成物であることが好ましい。
<3-2. Curable resin composition>
The component contained in the composition is not particularly limited as long as the curable resin composition is a resin composition that is cured by a curing treatment. For example, the curable resin composition is cured by heat treatment or active energy ray irradiation. Is mentioned. Especially, since a hardening process process is simple, it is preferable that it is a thermosetting resin composition or an ultraviolet curable resin composition.

硬化性樹脂組成物は、硬化性樹脂、必要に応じて重合開始剤を含む。尚、本発明の効果を阻害しない他の成分や、本発明の効果を向上する他の成分を含んでもよい。そのような成分については後述する。   The curable resin composition contains a curable resin and, if necessary, a polymerization initiator. In addition, you may contain the other component which does not inhibit the effect of this invention, and the other component which improves the effect of this invention. Such components will be described later.

硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂としては、硬化処理によって重合反応が誘発され、硬化する成分であれば特に限定されないが、短時間かつ容易に硬化達成可能であることから、紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーを好ましい例として挙げることができる。   The curable resin contained in the curable resin composition is not particularly limited as long as it is a component that induces a polymerization reaction by the curing process and cures, but it can be cured easily in a short time, and thus is ultraviolet curable. Monomers and oligomers can be mentioned as preferred examples.

上記紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーとしては、機械的物性、透明性及び加工性などの観点から、(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーが好ましく、例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等のモノマーやオリゴマーが好ましい例として挙げられる。
さらに、いくつかを例示すると、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、イソアミルアクリレート、エトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレートなど、1個以上の炭素−炭素二重結合を有する単官能、若しくは多官能のアクリルモノマー又はメタクリルモノマー類が挙げられる。
As the ultraviolet curable monomer and oligomer, a (meth) acrylic monomer and a (meth) acrylic oligomer are preferable from the viewpoints of mechanical properties, transparency, and processability. For example, epoxy (meth) acrylate, urethane (meta ) Monomers and oligomers such as acrylate and polyester (meth) acrylate are preferred examples.
Further, some examples are trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate. Examples thereof include monofunctional or polyfunctional acrylic monomers or methacrylic monomers having one or more carbon-carbon double bonds, such as methacrylate, isoamyl acrylate, ethoxydiethylene glycol acrylate, and methoxydiethylene glycol acrylate.

(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーとしては、官能基当量、すなわち分子量/官能基数が500以上、5000以下の範囲の(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーがより好ましく、官能基当量がかかる範囲の(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーを、硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂全体に対して70質量%以上、100質量%以下含むことがさらに好ましい。官能基当量がかかる範囲の(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーを用いることによって、樹脂層の割れや破断を抑制し、かつガラス層との密着性を発現することが可能となり、含有量が70質量%以上であると、樹脂層の割れや破断をさらに抑制することが可能になる。   As the (meth) acrylic monomer and (meth) acrylic oligomer, a functional group equivalent, that is, a (meth) acrylic monomer and a (meth) acrylic oligomer having a molecular weight / functional group number in the range of 500 or more and 5000 or less are more preferable. More preferably, the (meth) acrylic monomer and the (meth) acrylic oligomer having a group equivalent in a range include 70% by mass or more and 100% by mass or less with respect to the entire curable resin contained in the curable resin composition. By using (meth) acrylic monomers and (meth) acrylic oligomers in a range that requires a functional group equivalent, it becomes possible to suppress cracking and breakage of the resin layer and to express adhesiveness with the glass layer. When the amount is 70% by mass or more, it becomes possible to further suppress the cracking or breaking of the resin layer.

また、樹脂層の耐熱性や機械強度を調整する目的で、官能基当量が100以上、300以下の範囲である(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーもより好ましく、官能基当量がかかる範囲の(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーを、硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂全体に対して0.1質量%以上、30質量%以下含むことがさらに好ましい。官能基当量がかかる範囲の(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーは架橋密度が高く、樹脂層に良好な耐熱性を付与することが可能となり、含有量が30質量%以下であると、樹脂層の架橋密度が過度に高くなることがなく、樹脂層の割れや破断を抑制しつつ、良好な耐熱性を付与することができるため、さらに好ましい。   Further, for the purpose of adjusting the heat resistance and mechanical strength of the resin layer, a (meth) acryl monomer and a (meth) acryl oligomer having a functional group equivalent in the range of 100 or more and 300 or less are more preferable, and the functional group equivalent is applied. More preferably, the range of (meth) acrylic monomer and (meth) acrylic oligomer is contained in an amount of 0.1% by mass or more and 30% by mass or less based on the entire curable resin contained in the curable resin composition. When the (meth) acrylic monomer and (meth) acrylic oligomer having a functional group equivalent in a range have a high crosslinking density, it is possible to impart good heat resistance to the resin layer, and the content is 30% by mass or less. Further, it is more preferable because the crosslink density of the resin layer does not become excessively high and good heat resistance can be imparted while suppressing cracking and breakage of the resin layer.

また、官能基当量が500〜5000の範囲であるウレタンアクリレートを硬化性樹脂組成物に含まれる硬化性樹脂全体に対して70質量%以上、100質量%以下含むことが特に好ましい。ウレタン結合を有し、かつ官能基当量がこの範囲であるアクリレートを用いるによって、樹脂層の靱性や耐衝撃性が向上するため、ガラス層の割れや破断を特に抑制することが可能となる。
なお、これらは1種又は2種以上組み合わせて使用することができる。
市販品としては、例えば、ウレタンアクリレートである新中村化学工業株式会社製の商品名「NKオリゴUA−122P」などが挙げられる。
Moreover, it is especially preferable that 70 mass% or more and 100 mass% or less of urethane acrylate whose functional group equivalent is the range of 500-5000 are included with respect to the whole curable resin contained in curable resin composition. By using an acrylate having a urethane bond and having a functional group equivalent within this range, the toughness and impact resistance of the resin layer are improved, so that it is possible to particularly suppress the breakage and breakage of the glass layer.
In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types.
As a commercial item, the brand name "NK oligo UA-122P" by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. which is urethane acrylate, etc. are mentioned, for example.

硬化性樹脂組成物における硬化性樹脂の総濃度は、加工時の粘度、および加工後の機械物性の観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは65質量%以上、さらに好ましくは80質量%以上である。   The total concentration of the curable resin in the curable resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 65% by mass or more, and still more preferably 80% by mass, from the viewpoints of viscosity during processing and mechanical properties after processing. That's it.

硬化性樹脂が紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーである場合、硬化性組成物は光重合開始剤を含む。光重合開始剤は、活性エネルギー線を吸収して活性化(励起)し、開裂反応等を介して反応を開始するために用いられるものである。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、チオキサントン系、フォスフィンオキシド系及びパーオキシド系等の光重合開始剤を挙げることができる。具体例としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェン、メチルオルトベンゾイルベンゾエイト、4−フェニルベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン
、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、メチルベンゾイルホルメート等を例示することができる。これらは1種を単独で又は2種以上を併用して用いることができる。
市販品としては、例えば、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF社製、商品名「IRGACURE184」)などが挙げられる。
When the curable resin is an ultraviolet curable monomer or oligomer, the curable composition contains a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is used to absorb (activate) active energy rays and activate (excited), and to initiate the reaction via a cleavage reaction or the like.
Examples of the photopolymerization initiator include benzoin, acetophenone, thioxanthone, phosphine oxide, and peroxide photopolymerization initiators. Specific examples include, for example, benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophene, methylorthobenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, t-butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, Diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl}- 2-methyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-methyl- [4- (methyl Thio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl Examples include phosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, methylbenzoylformate, and the like. it can. These can be used alone or in combination of two or more.
Examples of commercially available products include 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (manufactured by BASF, trade name “IRGACURE184”).

硬化性樹脂組成物における重合開始剤の濃度は、硬化反応をより確実に実施させる観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上である。一方で、重合開始剤の未反応物によるアウトガスの発生を抑制する観点から、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下である。   The concentration of the polymerization initiator in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, and even more preferably 1% by mass or more from the viewpoint of more reliably performing the curing reaction. It is. On the other hand, from the viewpoint of suppressing generation of outgas due to the unreacted product of the polymerization initiator, it is preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and further preferably 5% by mass or less.

上記の他にも、例えば、硬化性樹脂の硬化性、吸水性、密着性、硬度、耐熱性、及び機械強度などの物性を調整するために、(メタ)アクリル酸エステル、リン酸(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、ビニルエーテル、チオール化合物などのモノマー成分、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂等のポリマー成分を任意で添加し、上記硬化性樹脂組成物とすることができる。これらの中でも特にチオール化合物を添加することが、耐熱性、および機械強度が向上するため好ましい。チオール化合物としては、例えばペンタエリスルトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスルトールテトラキスチオプロピオネートなどが挙げられる。なお、これらは1種又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる。
また、シランカップリング剤、増感剤、架橋剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、充填材、酸化防止剤、レベリング剤、スリップ剤、微粒子、分散剤、熱可塑性樹脂等を、硬化性や透明性、吸水性等の物性に支障とならない範囲で、任意で添加することができる。
なお、これらは1種又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる。
In addition to the above, in order to adjust physical properties such as curability, water absorption, adhesion, hardness, heat resistance, and mechanical strength of the curable resin, (meth) acrylic acid ester, phosphoric acid (meth) Monomer components such as acrylate, (meth) acrylamide, vinyl ether, and thiol compound, and polymer components such as acrylic resin, epoxy resin, polyurethane resin, and polyester resin can be optionally added to obtain the curable resin composition. Among these, it is particularly preferable to add a thiol compound because heat resistance and mechanical strength are improved. Examples of the thiol compound include pentaerythritol tetrakisthioglycolate and pentaerythritol tetrakisthiopropionate. In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.
In addition, silane coupling agents, sensitizers, crosslinking agents, UV absorbers, polymerization inhibitors, fillers, antioxidants, leveling agents, slip agents, fine particles, dispersants, thermoplastic resins, etc. Can be optionally added as long as physical properties such as properties and water absorption are not hindered.
In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.

<3−3.樹脂層の表面処理>
樹脂層は、ガラス層との密着性向上や、支持層との密着性の調整を目的として表面処理を施してもよい。表面処理の例としては、シリコーン樹脂、アルキッド樹脂、フッ素樹脂などを表面に予め塗布する離型処理、またはコロナ、プラズマなどの放電処理等が挙げられ、必要に応じて適宜行うことができる。
<3-3. Surface treatment of resin layer>
The resin layer may be subjected to a surface treatment for the purpose of improving the adhesion with the glass layer or adjusting the adhesion with the support layer. Examples of the surface treatment include a mold release treatment in which a silicone resin, an alkyd resin, a fluororesin, or the like is applied to the surface in advance, or a discharge treatment such as corona or plasma, which can be appropriately performed as necessary.

<3−4.樹脂層の厚み>
樹脂層の厚みは、好ましくは1μm以上、より好ましくは5μm以上、さらに好ましくは10μm以上である。一方で、好ましくは200μm以下、より好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下である。
樹脂層の厚みが1μm以上であることで、ガラス層に加わる衝撃を緩和することができ、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体のより優れたハンドリング性を実現できるので好ましい。一方、樹脂層の厚みを200μm以下とすることで、ガラス積層体を真空プロセスに適用した際にも、水分や低分子量成分からなるアウトガス量をプロセス上好ましい範囲内に収めることができる。
樹脂層の厚みは、樹脂組成物の塗工厚みや、後述する種々のコーティング方式によって適宜調整することができる。
<3-4. Resin layer thickness>
The thickness of the resin layer is preferably 1 μm or more, more preferably 5 μm or more, and further preferably 10 μm or more. On the other hand, it is preferably 200 μm or less, more preferably 100 μm or less, and even more preferably 50 μm or less.
It is preferable for the thickness of the resin layer to be 1 μm or more because the impact applied to the glass layer can be reduced, and more excellent handling properties of the glass laminate including the resin layer and the glass layer can be realized. On the other hand, by setting the thickness of the resin layer to 200 μm or less, even when the glass laminate is applied to a vacuum process, the amount of outgas consisting of moisture and low molecular weight components can be within a preferable range in the process.
The thickness of the resin layer can be appropriately adjusted depending on the coating thickness of the resin composition and various coating methods described later.

<3−5.樹脂層の全光線透過率>
樹脂層の全光線透過率は、80%以上が好ましく、85%以上がより好ましく、90%以上が特に好ましい。80%以上であれば、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体のより高い光透過性を達成することができる。
尚、全光線透過率は、例えば、JIS K 7361に準拠する方法で測定することができる。このとき、例えば、透過率計(村上色彩技術研究所製「HR−100」)を用いることができる。
樹脂層の全光線透過率を調整するには、共役系の短い分子骨格や、結晶性の低い分子骨格を有する樹脂を適宜選択することにより調整できる。
<3-5. Total light transmittance of resin layer>
The total light transmittance of the resin layer is preferably 80% or more, more preferably 85% or more, and particularly preferably 90% or more. If it is 80% or more, the higher light transmittance of the glass laminated body containing a resin layer and a glass layer can be achieved.
The total light transmittance can be measured by a method based on JIS K 7361, for example. At this time, for example, a transmittance meter (“HR-100” manufactured by Murakami Color Research Laboratory) can be used.
The total light transmittance of the resin layer can be adjusted by appropriately selecting a resin having a short conjugated system molecular skeleton or a molecular skeleton with low crystallinity.

<3−6.樹脂層の引張弾性率>
樹脂層の引張弾性率は、50MPa以上であることが好ましく、250MPa以上であることがより好ましく、500MPa以上であることが更に好ましく、700MPa以上であることが特に好ましい。一方、2500MPa以下であることが好ましく、2300MPa以下であることがより好ましく、2100MPa以下であることが更に好ましく、2000MPa以下であることが特に好ましい。
50MPa以上の引張弾性率を有することにより、樹脂層と支持層との間で剥離する際に、樹脂層の過度な変形が抑えられ、破断することなく剥離することが可能となる。
一方、引張弾性率を2500MPa以下とすることにより、樹脂層と支持層との間で剥離する際に、ガラス層に過度な曲げ応力がかかることを抑制し、ガラス層の破損を防止することが可能となる。
<3-6. Tensile modulus of resin layer>
The tensile elastic modulus of the resin layer is preferably 50 MPa or more, more preferably 250 MPa or more, further preferably 500 MPa or more, and particularly preferably 700 MPa or more. On the other hand, it is preferably 2500 MPa or less, more preferably 2300 MPa or less, still more preferably 2100 MPa or less, and particularly preferably 2000 MPa or less.
By having a tensile elastic modulus of 50 MPa or more, when peeling between the resin layer and the support layer, excessive deformation of the resin layer is suppressed, and peeling can be performed without breaking.
On the other hand, by setting the tensile modulus to 2500 MPa or less, when peeling between the resin layer and the support layer, it is possible to suppress excessive bending stress on the glass layer and prevent breakage of the glass layer. It becomes possible.

樹脂層の引張弾性率を調整する方法としては、例えば含有する樹脂の原料となるモノマーやオリゴマーの分子量、官能基数を適宜選択することにより適当な架橋密度に調整する方法、フィラーを適宜添加する方法、又は活性エネルギー線の照射量等を適宜調整する方法、などが挙げられる。   As a method for adjusting the tensile modulus of the resin layer, for example, a method for adjusting the molecular weight and the number of functional groups of monomers and oligomers as raw materials for the resin to be contained, a method for adjusting to an appropriate crosslinking density, and a method for appropriately adding a filler Or a method of appropriately adjusting the irradiation amount of the active energy ray, and the like.

樹脂層の引張弾性率は、以下の方法で測定することができる。
例えば、硬化性樹脂組成物を硬化させて、厚み200μm、幅2cm、長さ150mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、万能試験機(例えば、株式会社島津製作所製、オートグラフAGS−Xが挙げられる)を用いて、短冊状樹脂サンプルの長手方向の伸びと応力を測定し、これらの値から引張弾性率を算出し、樹脂層の引張弾性率とした。試験条件は、チャック間距離を10cm、引っ張り速度を10mm/minとし、25℃で測定した。
The tensile elastic modulus of the resin layer can be measured by the following method.
For example, a curable resin composition is cured to prepare a strip-shaped resin sample having a thickness of 200 μm, a width of 2 cm, and a length of 150 mm, and a universal testing machine (for example, Autograph AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation) can be mentioned. ) Was used to measure the elongation and stress in the longitudinal direction of the strip-shaped resin sample, and the tensile elastic modulus was calculated from these values to obtain the tensile elastic modulus of the resin layer. The test conditions were a distance between chucks of 10 cm, a tensile speed of 10 mm / min, and measurement at 25 ° C.

<3−7.樹脂層の引張破断伸度>
樹脂層の引張破断伸度は、5%以上であることが好ましく、10%以上であることがより好ましく、15%以上であることが更に好ましい。一方で、500%以下であることが好ましく、400%以下であることがより好ましく、300%以下であることが更に好ましい。
5%以上の引張破断伸度を有することにより、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体をカットする際に、切断箇所からのクラックの伝搬を抑制することができる。また、ガラス積層体内部で万が一ガラス層が破損した際でも、樹脂層が破断することなく、ガラス積層体としてはその形状を保持するため、ガラスの飛散を防止することが可能となる。さらには樹脂層と支持層の間で剥離する際、樹脂層が破断することなく剥離することが可能となる。
<3-7. Tensile elongation at break of resin layer>
The tensile elongation at break of the resin layer is preferably 5% or more, more preferably 10% or more, and further preferably 15% or more. On the other hand, it is preferably 500% or less, more preferably 400% or less, and still more preferably 300% or less.
By having a tensile elongation at break of 5% or more, propagation of cracks from the cut portion can be suppressed when a glass laminate including a resin layer and a glass layer is cut. In addition, even if the glass layer is broken inside the glass laminate, the glass layer is maintained in its shape without breaking the resin layer, so that the glass can be prevented from scattering. Furthermore, when peeling between the resin layer and the support layer, the resin layer can be peeled without breaking.

樹脂層の引張破断伸度を調整する方法としては、例えば含有する樹脂の原料となるモノ
マーやオリゴマーの分子量、官能基数を適宜選択することにより適当な架橋密度に調整する方法、フィラーを適宜添加する方法、又は活性エネルギー線の照射量等を適宜調整する方法、などが挙げられる。
As a method of adjusting the tensile elongation at break of the resin layer, for example, a method of adjusting the appropriate crosslinking density by appropriately selecting the molecular weight and the number of functional groups of the monomers and oligomers that are the raw materials of the resin contained, and a filler is added as appropriate. And a method of appropriately adjusting the irradiation amount of the active energy ray and the like.

樹脂層の引張破断伸度は、以下の方法で測定することができる。
例えば、硬化性樹脂組成物を硬化させて、厚み200μm、幅10mm、長さ100mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、万能試験機(例えば、株式会社島津製作所製、オートグラフAGS−Xが挙げられる)を用いて、短冊状樹脂サンプルの引張破断伸度を測定し、樹脂層の引張破断伸度とした。試験条件は、チャック間距離を40mm、引っ張り速度を50mm/minとし、25℃で測定した。
The tensile breaking elongation of the resin layer can be measured by the following method.
For example, a curable resin composition is cured to prepare a strip-shaped resin sample having a thickness of 200 μm, a width of 10 mm, and a length of 100 mm, and a universal testing machine (for example, Autograph AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation) can be mentioned. ) Was used to measure the tensile elongation at break of the strip-shaped resin sample, and was used as the tensile elongation at break of the resin layer. The test conditions were a distance between chucks of 40 mm, a pulling speed of 50 mm / min, and measurement at 25 ° C.

<3−8.樹脂層の引張破断強度>
樹脂層の引張破断強度は、10MPa以上であることが好ましく、12MPa以上であることがより好ましく、15MPa以上であることが更に好ましく、30MPa以上であることが特に好ましい。
引張破断強度が10MPa以上の値を有することにより、樹脂層と支持層との間で剥離する際に、樹脂層の剥離途中での破断を抑制することが可能になる。なお、上限は特段限定されないが、通常300MPa以下である。
<3-8. Tensile strength at break of resin layer>
The tensile strength at break of the resin layer is preferably 10 MPa or more, more preferably 12 MPa or more, further preferably 15 MPa or more, and particularly preferably 30 MPa or more.
When the tensile breaking strength has a value of 10 MPa or more, it is possible to suppress breakage during the peeling of the resin layer when peeling between the resin layer and the support layer. In addition, although an upper limit is not specifically limited, Usually, it is 300 Mpa or less.

樹脂層の引張破断強度は、以下の方法で測定することができる。
例えば、硬化性樹脂組成物を硬化させて、厚み200μm、幅10mm、長さ100mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、万能試験機(例えば、株式会社島津製作所製、オートグラフAGS−X)を用いて、短冊状樹脂サンプルの引張破断強度を測定し、樹脂層の引張破断強度とした。試験条件は、チャック間距離を40mm、引っ張り速度を50mm/minとし、25℃で測定した。
The tensile breaking strength of the resin layer can be measured by the following method.
For example, a curable resin composition is cured to produce a strip-shaped resin sample having a thickness of 200 μm, a width of 10 mm, and a length of 100 mm, and a universal testing machine (for example, Autograph AGS-X manufactured by Shimadzu Corporation) is used. Then, the tensile breaking strength of the strip-shaped resin sample was measured to obtain the tensile breaking strength of the resin layer. The test conditions were a distance between chucks of 40 mm, a pulling speed of 50 mm / min, and measurement at 25 ° C.

<3−9.樹脂層の耐熱性>
樹脂層は、電子デバイスの形成工程時の加熱温度や、有機EL照明、有機ELディスプレイ、及び有機太陽電池等の電子デバイスが実用上晒される熱など、工程や用途に対応する耐熱性を持つことが望ましい。具体的には、5%重量減少温度が250℃以上であることが好ましく、280℃以上であることがより好ましい。
なお、樹脂層の5%重量減少温度は、熱分析装置、例えばRIGAKU製Thermoplus TG8120を用いて、窒素50mL/min雰囲気下、昇温速度20℃/minにおける樹脂層について熱減量を測定し、熱減量が5%となる温度を樹脂層の5%重量減少温度とする。
樹脂層の耐熱性は、透明な無機粒子、耐熱性の高い有機粒子、ガラスやセルロースなどの線維状物質、架橋促進剤などの添加により上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
<3-9. Heat resistance of resin layer>
The resin layer has heat resistance corresponding to the process and application such as the heating temperature during the formation process of the electronic device and the heat to which the electronic device such as organic EL lighting, organic EL display, and organic solar cell is practically exposed. Is desirable. Specifically, the 5% weight loss temperature is preferably 250 ° C. or higher, and more preferably 280 ° C. or higher.
The 5% weight loss temperature of the resin layer was determined by measuring the thermal loss of the resin layer at a temperature rising rate of 20 ° C./min under a nitrogen atmosphere of 50 mL / min using a thermal analyzer, for example, Thermoplus TG8120 manufactured by RIGAKU. The temperature at which the weight loss is 5% is defined as the 5% weight reduction temperature of the resin layer.
The heat resistance of the resin layer can be adjusted to the above range by adding transparent inorganic particles, organic particles with high heat resistance, fibrous substances such as glass and cellulose, crosslinking accelerators, etc. You may select suitably resin which has.

<3−10.密着層>
樹脂層と支持層との剥離強度を後述するような範囲に調整するために、必要に応じて、支持層と樹脂層の間に密着層を設けることもできる。
密着層は、樹脂層又は支持層の一方の層に対して充分に接着し、且つ、他方の層に対して易剥離性を示す層である。
なお、易剥離性を具体的数値で表すとすれば、剥離強度が0.1N/50mm以上、5N/50mm未満であるとも表すことができる。しかしながら本数値範囲は一例であって、上記説明した易剥離性の性質を満たすものであれば上記数値範囲に限られない。
<3-10. Adhesion layer>
In order to adjust the peel strength between the resin layer and the support layer to a range as described later, an adhesion layer may be provided between the support layer and the resin layer as necessary.
The adhesion layer is a layer that sufficiently adheres to one of the resin layer and the support layer and exhibits easy peelability to the other layer.
Note that if easy peelability is expressed by specific numerical values, it can also be expressed that the peel strength is 0.1 N / 50 mm or more and less than 5 N / 50 mm. However, this numerical range is an example, and it is not limited to the above numerical range as long as it satisfies the easily peelable property described above.

密着層を構成する樹脂組成物は、樹脂、及びその他必要に応じて添加剤を含む。
密着層を構成する樹脂組成物に含まれる樹脂としては、硬化性樹脂組成物を硬化させて
得られる樹脂が好ましい。
硬化性樹脂組成物としては、硬化処理によって重合反応が誘発され、硬化する成分であれば特に限定されないが、短時間かつ容易に硬化達成可能であることから、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、又は紫外線及び熱硬化性樹脂を含む硬化性樹脂組成物が好ましい例として挙げることができる。
The resin composition constituting the adhesion layer contains a resin and other additives as necessary.
As the resin contained in the resin composition constituting the adhesion layer, a resin obtained by curing the curable resin composition is preferable.
The curable resin composition is not particularly limited as long as it is a component in which a polymerization reaction is induced by the curing treatment and cures, but since it can be cured easily in a short time, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin is possible. Or, a curable resin composition containing ultraviolet rays and a thermosetting resin can be cited as a preferred example.

上記紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、又は紫外線及び熱硬化性樹脂としては、密着層の材質によって適宜選択されるが、例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の硬化性樹脂が挙げられ、耐熱性、機械的物性、加工性などの観点から、エポキシ系硬化性樹脂が好ましい。
エポキシ系硬化性樹脂としては、例えば脂環式化合物基を有するエポキシ樹脂、グリシジルエーテル基を有するエポキシ樹脂、芳香族基を有するエポキシ樹脂、などが例示され、より具体的にはビスフェノールA型やビスフェノールF型があげられるが、特にこれにのみ限定されない。
市販品としては、例えば、紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂である株式会社ADEKA製の商品名「KRX−690−5」などが挙げられる。
The ultraviolet curable resin, the thermosetting resin, or the ultraviolet and thermosetting resin is appropriately selected depending on the material of the adhesion layer. For example, the curable resin such as an acrylic resin, a urethane resin, an epoxy resin, or a silicone resin. From the viewpoints of heat resistance, mechanical properties, workability, and the like, an epoxy curable resin is preferable.
Examples of the epoxy curable resin include an epoxy resin having an alicyclic compound group, an epoxy resin having a glycidyl ether group, an epoxy resin having an aromatic group, and more specifically, bisphenol A type and bisphenol. Although F type is mentioned, it is not limited only in particular to this.
As a commercial item, the brand name "KRX-690-5" by ADEKA Co., Ltd. which is an ultraviolet-ray and a thermosetting epoxy resin is mentioned, for example.

密着層を構成する樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、シランカップリング剤、増感剤、架橋剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、界面活性剤、充填剤、離型剤、熱可塑性樹脂を任意で添加することができる。なお、これらは1種又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる。   In the resin composition constituting the adhesion layer, a silane coupling agent, a sensitizer, a crosslinking agent, an ultraviolet absorber, a polymerization inhibitor, a surfactant, a filler, a mold release, as long as the object of the present invention is not impaired. An agent and a thermoplastic resin can be optionally added. In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.

密着層の厚みは、0.5μm以上であることが好ましい。1μm以上がさらに好ましい。一方、10μm以下であることが好ましく、5μm以下がさらに好ましく、3μm以下が特に好ましい。
密着層の厚みが0.5μm以上であれば、支持層又は樹脂層と充分に接着ができ、厚みが10μm以下であれば、電子デバイス全体の厚み増加を抑制し、電子デバイス作成時の密着層からのアウトガス発生量を抑制することができる傾向がある。
The thickness of the adhesion layer is preferably 0.5 μm or more. 1 μm or more is more preferable. On the other hand, it is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less.
If the thickness of the adhesion layer is 0.5 μm or more, it can sufficiently adhere to the support layer or the resin layer, and if the thickness is 10 μm or less, the increase in the thickness of the entire electronic device is suppressed, and the adhesion layer at the time of creating the electronic device There is a tendency that the outgas generation amount from can be suppressed.

<3−11.接着層>
樹脂層とガラス層との剥離強度を後述するような範囲に調整するために、必要に応じて、ガラス層と樹脂層の間に接着層を設けることもできる。
接着層は、樹脂層及びガラス層に対して充分な接着性を示す層である。
接着層の構成する材料としては、上述したような性質を示すものであれば、特に限定されず、上記樹脂層や密着層の説明で述べた硬化性樹脂組成物を適宜用いることができる。
<3-11. Adhesive layer>
In order to adjust the peel strength between the resin layer and the glass layer to a range as described later, an adhesive layer may be provided between the glass layer and the resin layer as necessary.
An adhesive layer is a layer which shows sufficient adhesiveness with respect to a resin layer and a glass layer.
The material constituting the adhesive layer is not particularly limited as long as it exhibits the properties described above, and the curable resin composition described in the description of the resin layer and the adhesion layer can be used as appropriate.

<3−12.離型層>
樹脂層と支持層との剥離強度を後述するような範囲に調整するために、必要に応じて、支持層と樹脂層の間に離型層を設けることもできる。
離型層としては、前述した支持層や樹脂層表面の離型処理によって形成される層が挙げられる。
<3-12. Release layer>
In order to adjust the peel strength between the resin layer and the support layer to a range as described later, a release layer may be provided between the support layer and the resin layer as necessary.
Examples of the release layer include a layer formed by the release treatment on the surface of the support layer and the resin layer described above.

<4.支持層付きガラス積層体>
本発明に用いる支持層付きガラス積層体は、ガラス層を支持層に積層した構成を有するため、ガラス層のハンドリング性を向上させることができ、ガラス層上に電子デバイス部材を形成する際に問題なく適用できる。
<4. Glass laminate with support layer>
Since the glass laminate with a support layer used in the present invention has a configuration in which the glass layer is laminated on the support layer, the handling property of the glass layer can be improved, and there is a problem in forming an electronic device member on the glass layer. Applicable without any problem.

また、本発明に用いる支持層付きガラス積層体は、樹脂層の少なくとも一部が、ガラス層の外形範囲を超えて形成される。
ここで、図2は、ガラス層の外形範囲(13の実線範囲)及び樹脂層の外形範囲(14
の実線範囲)の一例を示した図である。即ち本明細書において外形範囲とは、積層体を積層方向(厚さ方向)から見た場合の、各層が占める範囲を意味し、外形範囲内に形成されるとは、ある層が占める、外枠を含めた範囲に別の層が形成されることを意味しており、外形範囲を超えるとは、ある層が占める、外枠をはみ出る範囲に別の層が形成されることを意味している。
本発明に用いる支持層付きガラス積層体を構成するガラス層及び樹脂層は、図1及び2に示すように樹脂層の少なくとも一部がガラス層の外形範囲を超えて形成されている。
In the glass laminate with a support layer used in the present invention, at least a part of the resin layer is formed so as to exceed the outer range of the glass layer.
Here, FIG. 2 shows the outline range of the glass layer (solid line range of 13) and the outline range of the resin layer (14
Is a diagram showing an example of (solid line range). That is, in this specification, the outer shape range means a range occupied by each layer when the laminate is viewed from the stacking direction (thickness direction), and the formation within the outer shape range means that an outer layer is occupied by a certain layer. It means that another layer is formed in the range including the frame, and exceeding the outer range means that another layer is formed in the range that occupies one layer and extends outside the outer frame. Yes.
As for the glass layer and resin layer which comprise the glass laminated body with a support layer used for this invention, as shown to FIG. 1 and 2, at least one part of the resin layer is formed exceeding the external shape range of a glass layer.

このような積層体とすることで、樹脂層上にガラス層が積層されていない部分が形成されるため、樹脂層のみを剥離の起点として用いることができ、支持層から剥離する際は、樹脂層のみを把持し、ガラス層に過度に荷重をかけることなく剥離することが可能となり、ガラス層の破損を著しく防止することが可能となる。   By forming such a laminate, a portion where the glass layer is not laminated on the resin layer is formed, so that only the resin layer can be used as a starting point of peeling, and when peeling from the support layer, the resin Only the layer can be gripped, and the glass layer can be peeled off without applying an excessive load, and breakage of the glass layer can be remarkably prevented.

樹脂層は、少なくともその一部がガラス層の外形範囲よりも大きくなるように形成されるが、その後、ガラス層の外形範囲よりも大きくなるように形成された樹脂層の一部を剥離し、該剥離部分を把持し、樹脂層及びガラスを有するガラス積層体を支持層から剥離する工程が容易になることから、その一部においてガラス層の外形範囲よりも1mm以上大きく樹脂層を形成することが好ましく、5mm大きく樹脂層を形成することがより好ましい。
また、ガラス層の樹脂層側表面及び端面を保護し、プロセス中の割れを抑制する理由から、ガラス層が、樹脂層の外形範囲内に形成されていることがさらに好ましい。
The resin layer is formed so that at least a part thereof is larger than the outer range of the glass layer, and then a part of the resin layer formed to be larger than the outer range of the glass layer is peeled off, Since the step of grasping the peeled portion and peeling the glass laminate having the resin layer and the glass from the support layer becomes easy, a resin layer is formed in a part of which is 1 mm or more larger than the outer shape range of the glass layer. It is more preferable to form a resin layer 5 mm larger.
Moreover, it is more preferable that the glass layer is formed within the outer shape range of the resin layer from the reason of protecting the resin layer side surface and the end surface of the glass layer and suppressing cracking during the process.

本発明に用いる支持層付きガラス積層体は、ガラス層の厚み(d1)と樹脂層の厚み(d2)との比(d1/d2)が0.3〜3であることが好ましい。また、ガラス層と樹脂層の総厚(d1+d2)と支持層の厚み(d3)との比(d3/(d1+d2))が1〜25であることが好ましい。
ガラス層の厚み(d1)と樹脂層の厚み(d2)との比が0.3〜3の範囲内であれば、ガラス層の割れ、飛散を著しく改良しつつ、反りなどを防止することが可能となる。また、ガラス層と樹脂層の総厚(d1+d2)と支持層の厚み(d3)との比(d3/(d1+d2))が1〜25の範囲内であれば、ガラス積層体のハンドリング性を保った状態で、その厚みが過度に大きくならないため、梱包時の効率、および電子デバイス部材形成工程での操作性を損なうおそれが無い。
The glass laminate with a support layer used in the present invention preferably has a ratio (d1 / d2) of the glass layer thickness (d1) to the resin layer thickness (d2) of 0.3 to 3. Moreover, it is preferable that ratio (d3 / (d1 + d2)) of the total thickness (d1 + d2) of a glass layer and a resin layer and the thickness (d3) of a support layer is 1-25.
If the ratio of the thickness (d1) of the glass layer and the thickness (d2) of the resin layer is in the range of 0.3 to 3, it is possible to prevent warping and the like while significantly improving the cracking and scattering of the glass layer. It becomes possible. Further, when the ratio (d3 / (d1 + d2)) of the total thickness (d1 + d2) of the glass layer and the resin layer to the thickness (d3) of the support layer is in the range of 1 to 25, the handling property of the glass laminate is maintained. In this state, since the thickness does not become excessively large, there is no possibility of impairing the packaging efficiency and the operability in the electronic device member forming step.

上記2つの厚み比を満たす支持層付きガラス積層体は、電子デバイス部材を形成する際にも撓むことなく、更には後述するように、ガラス積層体を支持層から剥離することで、割れの発生やクラックの進展が著しく改善されたガラス層と樹脂層を含むガラス積層体を得ることができる。
また、得られたガラス層と樹脂層を含むガラス積層体は、電子デバイス用基板、或いはフレキシブルデバイス用基板として好適に用いることができる。
The glass laminate with a support layer that satisfies the above two thickness ratios does not bend when forming an electronic device member, and further, as described later, by peeling the glass laminate from the support layer, It is possible to obtain a glass laminate including a glass layer and a resin layer in which generation and crack propagation are remarkably improved.
Moreover, the glass laminated body containing the obtained glass layer and resin layer can be used suitably as a board | substrate for electronic devices, or a board | substrate for flexible devices.

ガラス層の厚み(d1)と樹脂層の厚み(d2)との比(d1/d2)は、ガラス層の割れ、飛散を著しく改良しつつ、反りなどを防止する観点から、0.4〜2.5が好ましく、0.5〜2.0がさらに好ましい。
ガラス層と樹脂層の総厚(d1+d2)と支持層の厚み(d3)との比(d3/(d1+d2))は、ガラス積層体のハンドリング性を保った状態で、ガラス積層体の厚みが過度に大きくしない観点から、3〜20が好ましく、5〜15がさらに好ましい。
ガラス層の厚み(d1)と樹脂層の厚み(d2)との比(d1/d2)、ガラス層と樹脂層の総厚(d1+d2)と支持層の厚み(d3)との比(d3/(d1+d2))を調整するには、好ましい厚み範囲のガラス層や支持層を適宜用いることで調整できる。
The ratio (d1 / d2) between the thickness (d1) of the glass layer and the thickness (d2) of the resin layer is 0.4 to 2 from the viewpoint of preventing warpage while significantly improving the cracking and scattering of the glass layer. .5 is preferable, and 0.5 to 2.0 is more preferable.
The ratio (d3 / (d1 + d2)) of the total thickness (d1 + d2) of the glass layer and the resin layer to the thickness (d3) of the support layer is such that the glass laminate is excessively thick while maintaining the handling properties of the glass laminate. From the viewpoint of not increasing the thickness, 3 to 20 is preferable, and 5 to 15 is more preferable.
Ratio (d1 / d2) of glass layer thickness (d1) and resin layer thickness (d2), ratio of total thickness of glass layer and resin layer (d1 + d2) and support layer thickness (d3) (d3 / ( In order to adjust d1 + d2)), it can be adjusted by appropriately using a glass layer or a support layer having a preferable thickness range.

また、支持層付きガラス積層体は、支持層と樹脂層との間の剥離強度が、樹脂層とガラス層との間の剥離強度よりも低いことが好ましい。また、支持層と樹脂層との間の剥離強度が0.1N/50mm以上、5N/50mm以下であることが好ましく、0.1N/50mm以上、2N/50mm以下であることがより好ましい。一方、ガラス層と樹脂層との間の剥離強度は10N/50mm以上であることが好ましい。   In the glass laminate with a support layer, the peel strength between the support layer and the resin layer is preferably lower than the peel strength between the resin layer and the glass layer. The peel strength between the support layer and the resin layer is preferably 0.1 N / 50 mm or more and 5 N / 50 mm or less, more preferably 0.1 N / 50 mm or more and 2 N / 50 mm or less. On the other hand, the peel strength between the glass layer and the resin layer is preferably 10 N / 50 mm or more.

この剥離強度、及びその大小関係を満たすことにより、樹脂層を把持して応力をかけることで、ガラス層も樹脂層に追従し、樹脂層と支持層との間で容易に剥離することが可能となる。また、支持層剥離後もハンドリング性に優れた樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を提供することができる。
支持層と樹脂層との間、及び樹脂層とガラス層との間の剥離強度を調整するには、支持層の樹脂層側の表面に離型処理(前述した離型処理含む)をすることで調整できる。
尚、剥離強度は、90度剥離方法で測定することができる。このとき、例えば、万能試験機(インテスコ社製引張圧縮試験機INTESCO 200X)を用いることができる。
By satisfying this peel strength and its magnitude relationship, the glass layer can follow the resin layer and be easily peeled between the resin layer and the support layer by applying a stress by gripping the resin layer. It becomes. Moreover, the glass laminated body containing the resin layer and glass layer excellent in handling property after support layer peeling can be provided.
In order to adjust the peel strength between the support layer and the resin layer and between the resin layer and the glass layer, the surface of the support layer on the resin layer side is subjected to release treatment (including the release treatment described above). It can be adjusted with.
The peel strength can be measured by a 90 degree peel method. At this time, for example, a universal testing machine (INTESCO 200X manufactured by Intesco) can be used.

支持層付きガラス積層体は、少なくとも支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、必要に応じその他の層を適宜含んでもよい。具体的には、ガラス層と樹脂層を接着させるための接着層、支持層と樹脂層を密着させるための密着層、表面処理により形成された離型層などがあげられる。これらの層は、既知の材料を用い、既知の方法により積層することができる。   The glass laminate with a support layer includes at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, and may optionally include other layers. Specific examples include an adhesive layer for adhering the glass layer and the resin layer, an adhesive layer for adhering the support layer and the resin layer, a release layer formed by surface treatment, and the like. These layers can be laminated by a known method using a known material.

<5.樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体>
本発明では、支持層付きガラス積層体から支持層を剥離することで、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を得ることができる。樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体は、ガラス層に樹脂層が積層されているため、支持層剥離後もハンドリング性に優れており、電子デバイス用基板、或いはフレキシブルデバイス用基板として好適に用いることができる。
<5. Glass laminate including resin layer and glass layer>
In this invention, the glass laminated body containing a resin layer and a glass layer can be obtained by peeling a support layer from the glass laminated body with a support layer. A glass laminate including a resin layer and a glass layer is excellent in handling properties even after the support layer is peeled off because the resin layer is laminated on the glass layer, and is suitably used as an electronic device substrate or a flexible device substrate. be able to.

電子デバイス用基板、或いはフレキシブルデバイス用基板として用いる場合には、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体の全光線透過率は80%以上であることが好ましく、85%以上であることがさらに好ましく、90%以上であることが特に好ましい。80%以上であれば、表示素子などの基板として好適に用いることができる。   When used as an electronic device substrate or a flexible device substrate, the total light transmittance of the glass laminate including the resin layer and the glass layer is preferably 80% or more, and more preferably 85% or more. 90% or more is particularly preferable. If it is 80% or more, it can be suitably used as a substrate for a display element or the like.

電子デバイス用基板、或いはフレキシブルデバイス用基板として用いる場合には、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体の厚みは5μm以上、300μm以下であることが好ましく、10μm以上、200μm以下であることがさらに好ましく、30μm以上、100μm以下であることが特に好ましい。5μm以上、300μm以下であれば、ハンドリング性を損ねることなく、フレキシブル性に優れた、電子デバイス用、或いはフレキシブルデバイス用として好適な基板を提供することができる。   When used as an electronic device substrate or a flexible device substrate, the thickness of the glass laminate including the resin layer and the glass layer is preferably 5 μm or more and 300 μm or less, and more preferably 10 μm or more and 200 μm or less. It is particularly preferably 30 μm or more and 100 μm or less. When the thickness is 5 μm or more and 300 μm or less, a substrate suitable for an electronic device or a flexible device having excellent flexibility can be provided without impairing handling properties.

<6.樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体の製造方法>
本発明において、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体は、支持層付きガラス積層体から支持体を剥離することで得られる。すなわち本発明の具体的実施形態は、少なくとも、支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び剥離した樹脂層を把持して、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、ガラス積層体の剥離方法、並びにガラス積層体の製造方法である。以下これらの工程について、図3を参照し、順に説明する
<6. Manufacturing method of glass laminate including resin layer and glass layer>
In this invention, the glass laminated body containing a resin layer and a glass layer is obtained by peeling a support body from the glass laminated body with a support layer. That is, a specific embodiment of the present invention includes at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, and at least a part of the resin layer is formed beyond the outer range of the glass layer. A step of preparing a glass laminate with a supporting layer, a step of peeling at least a part of the resin layer formed beyond the outer shape range of the glass layer from the supporting layer, and a resin by gripping the peeled resin layer A method for peeling a glass laminate, and a method for producing a glass laminate, comprising a step of peeling a glass laminate including a layer and a glass layer from a support layer. Hereinafter, these steps will be described in order with reference to FIG.

<6−1.支持層付きガラス積層体を準備する工程>
本工程は図3(a)に示され、支持層12、離型層19、樹脂層11及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層10をこの順に積層した支持層付きガラス積層体100を準備する工程である。離型層19は任意に設けられる層であり、本発明において必須の構成ではない。
<6-1. Process for preparing glass laminate with support layer>
This step is shown in FIG. 3 (a), and prepares a glass laminate 100 with a support layer in which a support layer 12, a release layer 19, a resin layer 11, and a glass layer 10 having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less are laminated in this order. It is a process. The release layer 19 is an arbitrarily provided layer and is not an essential component in the present invention.

本工程では、例えば樹脂層として硬化樹脂層を用いる場合、ガラス層上又は支持層上に、硬化性樹脂組成物からなる層を形成した後、他方のガラス層又は支持層を積層する。
ガラス層上又は支持層上に、硬化性樹脂組成物からなる層を形成する方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、スピンコータ塗工、ダイコータ塗工、バーコーター塗工、メイヤーバー塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、リバースグラビア塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、ディップコートなどを挙げることができる。
塗工における塗布速度、吐出量等は特に限定されず、硬化性樹脂組成物からなる層の組成や塗布スピード、硬化後の硬化樹脂層の所望の厚みから適宜調整することができる。
また、硬化性樹脂組成物に溶剤を含む場合には、硬化性樹脂組成物からなる層を形成した後、溶剤を乾燥させ、除去する工程を含んでもよい。
なお、支持層の樹脂層と対向する側の表面に離型処理を施すことで、支持層と樹脂層との間に離型層を形成してもよく、その方法は公知の方法が用いられる。
In this step, for example, when a cured resin layer is used as the resin layer, a layer made of the curable resin composition is formed on the glass layer or the support layer, and then the other glass layer or support layer is laminated.
As a method for forming a layer made of the curable resin composition on the glass layer or the support layer, a known method can be used. Examples include spin coater coating, die coater coating, bar coater coating, Mayer bar coating, air knife coating, gravure coating, reverse gravure coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, and dip coating. .
There are no particular limitations on the coating speed, discharge rate, etc. in the coating, and it can be appropriately adjusted from the composition and coating speed of the layer made of the curable resin composition and the desired thickness of the cured resin layer after curing.
Moreover, when a curable resin composition contains a solvent, after forming the layer which consists of a curable resin composition, the process of drying and removing a solvent may be included.
In addition, a release layer may be formed between the support layer and the resin layer by performing a release treatment on the surface of the support layer facing the resin layer, and a known method is used as the method. .

樹脂組成物からなる層を形成する際、樹脂層の少なくとも一部がガラス層の外形範囲を超えて形成されるようにするため、樹脂組成物を形成する範囲をガラス層よりも大きくする必要がある。このように樹脂層を形成するためには、ガラス層よりも大きい支持層上に樹脂組成物からなる層を形成し、その後、ガラス層を樹脂組成物からなる層上に積層することが好ましい。   When forming a layer made of a resin composition, it is necessary to make the range for forming the resin composition larger than the glass layer so that at least a part of the resin layer is formed beyond the outer range of the glass layer. is there. Thus, in order to form a resin layer, it is preferable to form the layer which consists of a resin composition on a support layer larger than a glass layer, and to laminate | stack a glass layer on the layer which consists of a resin composition after that.

この際、樹脂組成物は、前述の通り、その一部がガラス層の外形範囲よりも大きくなるように形成されるが、その後の樹脂層の一部を剥離し、該部分を把持する工程が容易になることから、その一部においてガラス層の外形範囲よりも1mm以上大きく樹脂層を形成することが好ましく、5mm以上大きく樹脂層を形成することがより好ましい。
また、ガラス層の樹脂層側表面及び端面を保護し、ガラスの飛散を防止する理由から、ガラス層が、樹脂層の外形範囲内に形成されていることが好ましい。
樹脂組成物からなる層上に、ガラス層又は支持層を積層する方法は特に限定されないが、プレスや、ハンドロール、ニップロールに通して積層する方法などが挙げられる。
At this time, as described above, the resin composition is formed so that a part thereof is larger than the outer shape range of the glass layer, and a process of peeling a part of the subsequent resin layer and gripping the part. Since it becomes easy, in one part, it is preferable to form a resin layer 1 mm or more larger than the external range of a glass layer, and it is more preferable to form a resin layer larger than 5 mm.
Moreover, it is preferable that the glass layer is formed in the external range of the resin layer from the reason of protecting the resin layer side surface and end surface of a glass layer, and preventing scattering of glass.
The method of laminating the glass layer or the support layer on the layer composed of the resin composition is not particularly limited, and examples thereof include a method of laminating through a press, a hand roll, and a nip roll.

本工程では、樹脂組成物からなる層、ガラス層、及び支持層を一度に積層させてもよい。このような積層方法を用いることによって、支持層上に樹脂組成物を塗布し、ガラス層と貼合するような積層方法よりもプロセスが簡易であり、樹脂組成物の塗布面が外気にさらされることがないため、異物混入や気泡の発生を抑制することができ、光学的欠陥の少ない良好な支持層付きガラス積層体を作製することができる。
一度にこれらの部材を積層させる方法としては特に限定されないが、例えば、ガラス層、樹脂組成物、支持層を同時にプレスやニップロールに通して樹脂組成物を圧延する方法などが挙げられる。
In this step, the layer composed of the resin composition, the glass layer, and the support layer may be laminated at a time. By using such a laminating method, the process is simpler than the laminating method in which the resin composition is applied onto the support layer and bonded to the glass layer, and the application surface of the resin composition is exposed to the outside air. Therefore, mixing of foreign matters and generation of bubbles can be suppressed, and a good glass laminate with a support layer with few optical defects can be produced.
The method of laminating these members at a time is not particularly limited, and examples thereof include a method of rolling the resin composition by simultaneously passing the glass layer, the resin composition, and the support layer through a press or nip roll.

本工程において、樹脂層として硬化樹脂層を用いる場合、上記で準備した支持層、硬化性樹脂組成物からなる層、及びガラス層を含む積層体に、例えば活性エネルギー線照射を行い硬化性樹脂組成物からなる層を硬化して硬化樹脂層を得ることができる。
硬化性樹脂組成物からなる層を硬化するための方法は特に限定されず、例えば、紫外線
、可視光線などの活性エネルギー線照射により硬化する方法、または加熱処理などによって硬化する方法、があげられる。上記のうち、工程の簡便さから、硬化反応が短時間で行われる活性エネルギー線照射が好適に用いられる。
In this step, when a curable resin layer is used as the resin layer, the curable resin composition is irradiated with active energy rays, for example, on the laminate including the support layer prepared above, the layer made of the curable resin composition, and the glass layer. A layer made of a product can be cured to obtain a cured resin layer.
The method for curing the layer made of the curable resin composition is not particularly limited, and examples thereof include a method of curing by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays and visible rays, or a method of curing by heat treatment. Among the above, from the simplicity of the process, active energy ray irradiation in which the curing reaction is performed in a short time is preferably used.

活性エネルギー線の光源、その配置、および光量等は、硬化性樹脂組成物を含む層を硬化できるのであれば特に限定されない。例として、紫外線により硬化させる場合には、光源としてキセノンランプ、高圧水銀灯、メタルハライドランプを有する紫外線照射装置等を用い、必要に応じて光量、光源の配置などが調整される。
また高圧水銀灯を使用する場合、80〜160W/cmの出力を有したランプ1灯に対して搬送速度5〜60m/分で硬化させるのが好ましい。
The light source of the active energy ray, its arrangement, the amount of light and the like are not particularly limited as long as the layer containing the curable resin composition can be cured. For example, in the case of curing with ultraviolet rays, an ultraviolet irradiation device having a xenon lamp, a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp or the like as a light source is used, and the light amount, the arrangement of the light sources, etc. are adjusted as necessary.
When a high-pressure mercury lamp is used, it is preferable to cure at a conveyance speed of 5 to 60 m / min for one lamp having an output of 80 to 160 W / cm.

一方、樹脂層に熱可塑性樹脂を含む場合は、樹脂層を形成し得る樹脂組成物中には既知の溶剤及び熱可塑性樹脂を含んだ塗液を前述の方法で、支持層又はガラス層に塗工し、支持層、熱可塑性樹脂を含む層、及びガラス層を含む積層体を作成した後、加熱することで、樹脂組成物中に含まれる溶剤を除去し、支持層付きガラス積層体を準備することができるし、支持層又はガラス層に塗工、溶媒を除去した後、熱プレスや熱ラミネート方法により、支持層付きガラス積層体を準備することもできる。
溶媒を除去するための加熱温度は、溶媒を乾燥させるのに十分な温度であれば、特段限定されない。
On the other hand, when the resin layer contains a thermoplastic resin, a coating solution containing a known solvent and thermoplastic resin in the resin composition that can form the resin layer is applied to the support layer or glass layer by the method described above. After processing, creating a laminate including a support layer, a layer containing a thermoplastic resin, and a glass layer, the solvent contained in the resin composition is removed by heating to prepare a glass laminate with a support layer In addition, after the coating and the solvent are removed from the support layer or the glass layer, the glass laminate with the support layer can be prepared by a hot press or a heat laminating method.
The heating temperature for removing the solvent is not particularly limited as long as it is a temperature sufficient to dry the solvent.

さらには、熱可塑性樹脂を含む樹脂層を予め、フィルム形状に成形し、直接支持層及びガラス層と積層する方法や、密着層や、接着層を介して、支持層及びガラス層と積層する方法で、支持層付きガラス積層体を準備することもできる。
積層する方法としては、前述したプレス、ニップロール、熱ラミネート方法等、適宜選択することができる。
密着層や接着層が硬化性樹脂組成物からなる層である場合は、適宜硬化工程を含んでもよい。
Furthermore, a method of previously forming a resin layer containing a thermoplastic resin into a film shape and directly laminating it with a support layer and a glass layer, or a method of laminating with a support layer and a glass layer via an adhesion layer or an adhesive layer And the glass laminated body with a support layer can also be prepared.
As a method for laminating, the above-mentioned press, nip roll, thermal laminating method and the like can be appropriately selected.
When the adhesion layer or the adhesive layer is a layer made of a curable resin composition, a curing step may be appropriately included.

<6−2.樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程>
本工程は図3(b)に示され、支持層12上に形成された離型層19と樹脂層11との間に、刃状工具17を差し込み、ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する。
刃状工具は、支持層付きガラス積層体100において、樹脂層11の一部を支持層12から剥離できればどのようなものを用いてもよく、先端が鋭利な刃状工具であることが好ましい。具体的には、ナイフ、カッターナイフ、スクレーパーなどの刃物が挙げられる。さらに先端が鋭利であればポリエステル樹脂のフィルムなどを用いることも可能である。
<6-2. Step of peeling at least part of resin layer from support layer>
This step is shown in FIG. 3 (b), and the blade tool 17 is inserted between the release layer 19 and the resin layer 11 formed on the support layer 12, and the outer layer is formed beyond the outer range of the glass layer. At least a part of the obtained resin layer is peeled off from the support layer.
Any blade-shaped tool may be used in the glass laminate 100 with a support layer as long as a part of the resin layer 11 can be peeled off from the support layer 12, and is preferably a blade-shaped tool with a sharp tip. Specific examples include blades such as knives, cutter knives, and scrapers. Furthermore, if the tip is sharp, a polyester resin film or the like can be used.

<6−3.ガラス積層体を支持層から剥離する工程>
本工程は図3(c)に示され、前記工程で剥離された樹脂層11の剥離部分を、把持具18により把持し、ガラス層10及び樹脂層11を含むガラス積層体を支持層12から剥離する。
把持具18は、樹脂層11の剥離部分を把持することができれば特段限定されず、剥離部分が十分な大きさを有している場合には、指でつまみあげて剥離してもよい。また真空パッドや粘着ロールなどの吸着・貼着治具や、クランプなどの把持治具なども好適に用いられる。剥離の際には図面上方に向かって引力を与えればよく、樹脂層11と支持層12の密着の程度に応じて、図面斜め上方に向かって引力を与えてもよい。
<6-3. Process of peeling glass laminate from support layer>
This process is shown in FIG. 3 (c). The peeled portion of the resin layer 11 peeled in the process is gripped by the gripping tool 18, and the glass laminate including the glass layer 10 and the resin layer 11 is removed from the support layer 12. Peel off.
The gripping tool 18 is not particularly limited as long as it can grip the peeled portion of the resin layer 11, and when the peeled portion has a sufficient size, it may be picked up with a finger and peeled off. Also, suction / sticking jigs such as vacuum pads and adhesive rolls, and gripping jigs such as clamps are preferably used. At the time of peeling, an attractive force may be applied upward in the drawing, and an attractive force may be applied obliquely upward in the drawing according to the degree of adhesion between the resin layer 11 and the support layer 12.

剥離の際には、ガラス層の曲率半径が過度に小さいと、ガラス層が破損してしまう恐れがあるため、ガラス層の曲率半径を30mm以上に保持した状態で剥離することが好ましく、曲率半径を50mm以上に保持することが特に好ましい。
剥離する際の速度(単位時間当たりに剥離する支持層の長さ)は特に限定されないが、通常0.01m/min〜100m/minであり、生産性と安定性を鑑みて1m/min〜50m/minで剥離することが好ましい。
これらの工程を経ることで、支持層付きガラス積層体100から、ガラス層10及び樹脂層11を含むガラス積層体を、簡便に、且つ、大がかりな装置を用いることなく剥離することができる。
At the time of peeling, if the radius of curvature of the glass layer is excessively small, the glass layer may be damaged. Therefore, it is preferable to peel the glass layer while keeping the radius of curvature of 30 mm or more. Is particularly preferably maintained at 50 mm or more.
The speed at the time of peeling (the length of the support layer peeled per unit time) is not particularly limited, but is usually 0.01 m / min to 100 m / min, and 1 m / min to 50 m in view of productivity and stability. Peeling at / min is preferable.
By passing through these steps, the glass laminate including the glass layer 10 and the resin layer 11 can be easily and easily peeled from the glass laminate 100 with a support layer without using a large-scale apparatus.

なお、通常は支持層付きガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成した後に、支持層を剥離する。この場合の実施形態としては、少なくとも、支持層、樹脂層、及び厚み10μm以上、200μm以下のガラス層を含み、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、準備した支持層付きガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成する工程、前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び剥離した樹脂層部分を把持して、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、電子デバイスの製造方法である。   In addition, normally after forming an electronic device member on the glass layer of the glass laminated body with a support layer, a support layer is peeled. As an embodiment in this case, at least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less are included, and at least a part of the resin layer is formed to exceed the outer range of the glass layer. The step of preparing a glass laminate with a support layer, the step of forming an electronic device member on the glass layer of the prepared glass laminate with a support layer, at least a part of the resin layer formed beyond the outer shape range of the glass layer And a step of holding the peeled resin layer part and peeling the glass laminate including the resin layer and the glass layer from the support layer.

<7.ガラス積層体の用途>
本発明において樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体は、例えば、有機EL素子などの電子デバイスの基板として好適に用いることができる。有機EL素子などの電子デバイスの基板として用いた場合、ガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成した後、樹脂層と支持層との間で剥離することによって、フレキシブルな電子デバイスを得ることができるため、フレキシブルディスプレイやフレキシブル照明に用いることができる。
電子デバイスとしては、有機EL素子以外にも、太陽電池素子、薄膜二次電池素子、液晶表示素子、等が挙げられる。
なお、電子デバイス部材とは、ガラス層上に形成され、電子デバイスの少なくとも一部を構成する部材であり、具体的には、有機EL素子、太陽電池素子、薄膜二次電池素子、液晶表示素子、または、各種電子部品などに用いられる部材が挙げられる。
<7. Applications of glass laminates>
In the present invention, a glass laminate including a resin layer and a glass layer can be suitably used as a substrate for electronic devices such as organic EL elements. When used as a substrate for an electronic device such as an organic EL element, a flexible electronic device is obtained by forming an electronic device member on the glass layer of the glass laminate and then peeling between the resin layer and the support layer. Therefore, it can be used for flexible displays and flexible lighting.
As an electronic device, a solar cell element, a thin film secondary battery element, a liquid crystal display element, etc. other than an organic EL element are mentioned.
The electronic device member is a member that is formed on the glass layer and constitutes at least a part of the electronic device, and specifically includes an organic EL element, a solar cell element, a thin film secondary battery element, and a liquid crystal display element. Or the member used for various electronic components etc. is mentioned.

有機EL素子に用いられる部材としては、透明電極や、金属電極、絶縁層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層等が挙げられる。
また、太陽電池素子に用いられる部材としては、有機太陽電池素子の場合は、有機電子供与体及び有機電子受容体からなる有機半導体層、透明電極層、金属電極層等が挙げられ、その他に化合物型、色素増感型、量子ドット型太陽電池素子などに対応する各種部材等が挙げられる。
また、液晶表示素子に用いられる部材としては、透明電極層、液晶層等が挙げられる。
また、薄膜二次電池用部材としては、リチウムイオン型では、透明電極層、リチウム化合物を含む電解質層、金属を含む集電層が挙げられる。その他に、ニッケル水素型、ポリマー型、セラミックス電解質型などに対応する各種部材等が挙げられる。
また、電子部品用部材としては、CCDやCMOSでは、導電部や、絶縁部等が挙げられ、その他に、圧力センサ、加速度センサなどの各種センサに対応する各種部材等が挙げられる。
Examples of the member used in the organic EL element include a transparent electrode, a metal electrode, an insulating layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, and an electron injection layer.
Examples of the member used for the solar cell element include an organic semiconductor layer composed of an organic electron donor and an organic electron acceptor, a transparent electrode layer, a metal electrode layer, etc. Various members corresponding to the type, the dye-sensitized type, the quantum dot type solar cell element and the like can be mentioned.
Moreover, a transparent electrode layer, a liquid crystal layer, etc. are mentioned as a member used for a liquid crystal display element.
Moreover, as a member for thin film secondary batteries, a lithium ion type includes a transparent electrode layer, an electrolyte layer containing a lithium compound, and a current collecting layer containing a metal. In addition, various members corresponding to nickel hydrogen type, polymer type, ceramic electrolyte type and the like can be mentioned.
Moreover, as a member for electronic components, in CCD and CMOS, a conductive part, an insulating part, etc. are mentioned, In addition, various members etc. corresponding to various sensors, such as a pressure sensor and an acceleration sensor, are mentioned.

厚み10μm以上、200μm以下のガラス層のみを用いて電子デバイスを形成しようとすると、ガラス層が非常に割れやすいために、基板上に電子デバイス部材を形成する工程が困難になる。また、ガラス層に予め樹脂層を積層した場合、割れなどは改善されるものの、基板自体が可撓性を有するため、電子デバイス部材の形成工程で基板を固定する際などに基板がたわんでしまい、電子デバイスの厚みや位置精度の不良が発生しやすくなる。
そこで、ガラス層を、樹脂層などを介して支持層に固定することで、電子デバイス部材を形成する工程中のハンドリング性が著しく向上し、良好な電子デバイスを形成すること
ができる。
しかしながら、電子デバイス部材形成後にガラス層と樹脂層との界面で支持層を剥離すると、ガラス層自体は非常に割れやすいため、剥離後の割れの発生、さらにガラスの飛散などが懸念される。
本発明においては、樹脂層で被覆されたガラス層を支持層に固定することで電子デバイス部材の作成工程中のハンドリング性を向上させることができる。
If an electronic device is to be formed using only a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less, the glass layer is very fragile, and the process of forming the electronic device member on the substrate becomes difficult. In addition, when a resin layer is laminated on the glass layer in advance, cracking and the like are improved, but since the substrate itself is flexible, the substrate is bent when the substrate is fixed in the formation process of the electronic device member. In addition, defects in the thickness and position accuracy of the electronic device are likely to occur.
Therefore, by fixing the glass layer to the support layer via a resin layer or the like, the handling property during the process of forming the electronic device member is remarkably improved, and a good electronic device can be formed.
However, if the support layer is peeled off at the interface between the glass layer and the resin layer after the electronic device member is formed, the glass layer itself is very easy to break, so there are concerns about the occurrence of cracks after peeling and the scattering of the glass.
In this invention, the handleability in the creation process of an electronic device member can be improved by fixing the glass layer coat | covered with the resin layer to a support layer.

また、電子デバイス部材形成後にガラス積層体から支持層を剥離する際は、樹脂層がガラス層を被覆しているため、ガラス層を破損することなく、支持層を容易に剥離することができる。
ガラス積層体から支持層を樹脂層との間で剥離して得られる電子デバイス、或いはフレキシブルデバイスは、ガラス層を樹脂層で覆っていることから、ガラス層の割れや飛散を防止することが可能となる。
Moreover, when peeling a support layer from a glass laminated body after electronic device member formation, since the resin layer has coat | covered the glass layer, a support layer can be peeled easily, without damaging a glass layer.
The electronic device or flexible device obtained by peeling the support layer from the glass laminate to the resin layer covers the glass layer with the resin layer, so it is possible to prevent breakage and scattering of the glass layer. It becomes.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明が以下の実施例の記載に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to description of a following example.

<評価>
製造例で得られた支持層付きガラス積層体を下記の方法で評価した。
(樹脂層の引張弾性率)
厚み200μm、幅2cm、長さ150mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、万能試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフAGS−X)を用いて、短冊状樹脂サンプルの長手方向の伸びと応力から引張弾性率を測定し、樹脂層の引張弾性率とした。試験条件は、チャック間距離を10cm、引っ張り速度を10mm/minとし、また25℃で測定した。
<Evaluation>
The glass laminate with a support layer obtained in the production example was evaluated by the following method.
(Tensile modulus of resin layer)
A strip-shaped resin sample having a thickness of 200 μm, a width of 2 cm, and a length of 150 mm was prepared, and from the elongation and stress in the longitudinal direction of the strip-shaped resin sample using a universal testing machine (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph AGS-X). The tensile elastic modulus was measured and used as the tensile elastic modulus of the resin layer. The test conditions were a chuck distance of 10 cm, a pulling speed of 10 mm / min, and measurement at 25 ° C.

(樹脂層の引張破断伸度及び引張破断強度)
厚み200μm、幅10mm、長さ100mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、万能試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフAGS−X)を用いて、短冊状樹脂サンプルの引張破断伸度及び引張破断強度を測定し、樹脂層の引張破断伸度及び引張破断強度とした。試験条件は、チャック間距離を40mm、引っ張り速度を50mm/minとし、また25℃で測定した。
(Tensile elongation at break and tensile strength of resin layer)
A strip-shaped resin sample having a thickness of 200 μm, a width of 10 mm, and a length of 100 mm was prepared, and using a universal testing machine (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph AGS-X), the tensile fracture elongation and tensile fracture of the strip-shaped resin sample were measured. The strength was measured and used as the tensile elongation at break and tensile strength of the resin layer. The test conditions were a distance between chucks of 40 mm, a pulling speed of 50 mm / min, and measurement at 25 ° C.

(樹脂層と支持層との間の剥離強度の測定)
支持層上に、製造例1、3の場合は離型層及び樹脂層を、製造例2の場合は密着層及び樹脂層をこの順に積層させ、剥離強度測定用の試験片(幅50mm)を作製した。
インテスコ社製引張圧縮試験機INTESCO 200Xを用いて、23℃、剥離速度を50mm/分に設定し、90度剥離方法で樹脂層を支持層から剥離した際の引っ張り強度を樹脂層と支持層との剥離強度とした。
(Measurement of peel strength between resin layer and support layer)
On the support layer, in the case of Production Examples 1 and 3, a release layer and a resin layer are laminated in this order, and in the case of Production Example 2, an adhesion layer and a resin layer are laminated in this order, and a test piece for measuring peel strength (width 50 mm) is obtained. Produced.
The tensile strength when the resin layer was peeled from the support layer by a 90 degree peel method was set at 23 ° C. and the peel rate was set to 50 mm / min using an Intesco tensile test machine INTESCO 200X. The peel strength was determined.

(樹脂層とガラス層との間の剥離強度の測定)
厚み2mmガラス板上に、製造例1、3の場合は、樹脂層を、製造例2の場合は接着層及び樹脂層をこの順に積層させ、剥離強度測定用の試験片(幅50mm)を作製した。
インテスコ社製引張圧縮試験機INTESCO 200Xを用いて、23℃、剥離速度を50mm/分に設定し、90度剥離方法で樹脂層をガラス板から剥離した際の引っ張り強度をガラス層と樹脂層との剥離強度とした。なお、樹脂層が剥離せず、破断してしまった場合は、破断時の引っ張り強度をガラス層と樹脂層との剥離強度とした。
(Measurement of peel strength between resin layer and glass layer)
On a 2 mm thick glass plate, in the case of Production Examples 1 and 3, a resin layer is laminated in this order, and in the case of Production Example 2, an adhesive layer and a resin layer are laminated in this order to produce a test piece (width 50 mm) for measuring peel strength. did.
The tensile strength when the resin layer was peeled from the glass plate by a 90 degree peeling method was set at 23 ° C. and a peeling speed of 50 mm / min using an Intesco tensile compression tester INTESCO 200X. The peel strength was determined. In addition, when the resin layer did not peel and was broken, the tensile strength at the time of the break was defined as the peel strength between the glass layer and the resin layer.

[製造例1]
図1に示す層構成を有する支持層付きガラス積層体を製造した。
官能基当量が550程度の紫外線硬化性ウレタンアクリレートモノマー(新中村化学工業株式会社製、商品名「NKオリゴUA−122P」)54質量%、官能基当量が800程度の紫外線硬化性ウレタンアクリレートモノマー(新中村化学工業株式会社製、商品名「NKオリゴUA−160TM」)27質量%、官能基当量が150程度の紫外線硬化性アクリレートモノマー(新中村化学工業株式会社製、商品名「NKエステルA−DCP」)9質量%、チオールモノマー(SC有機化学株式会社製、商品名「PEMP」)9質量%、光重合開始剤として1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF社製、商品名「IRGACURE184」)1質量%を均一に混合し、紫外線硬化性樹脂組成物1(塗料A)を得た。
また支持層(クリーンテック社製フロートガラス、厚み:0.7mm)の片面に、シリコーン樹脂(信越化学工業株式会社製、商品名「KS−847」)97質量%と白金触媒3質量%とをメチルエチルケトン(MEK)で希釈したシリコーン塗料をバーコーターでコートした後に150℃で10分熱処理することによって、離型処理を施し、支持層上に離型層を形成した。
[Production Example 1]
The glass laminated body with a support layer which has a layer structure shown in FIG. 1 was manufactured.
UV curable urethane acrylate monomer having a functional group equivalent of about 550 (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “NK Oligo UA-122P”) 54% by mass, functional group equivalent of about 800 UV curable urethane acrylate monomer ( Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “NK Oligo UA-160TM”) 27 mass%, UV curable acrylate monomer having functional group equivalent of about 150 (Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name “NK Ester A- DCP ") 9% by mass, thiol monomer (manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd., trade name" PEMP ") 9% by weight, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (manufactured by BASF Corp., trade name" IRGACURE 184 ") 1) 1% by mass was uniformly mixed to obtain an ultraviolet curable resin composition 1 (paint A).
Further, 97% by mass of silicone resin (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name “KS-847”) and 3% by mass of a platinum catalyst are provided on one side of a support layer (clean glass, float glass, thickness: 0.7 mm). A silicone paint diluted with methyl ethyl ketone (MEK) was coated with a bar coater and then heat-treated at 150 ° C. for 10 minutes to give a release treatment to form a release layer on the support layer.

その後、ガラス層(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm)と支持層の離型層形成側との間に塗料Aを挟んだのち、ニップロールを通すことによって、ガラス層、塗料A、離型層、及び支持層を一度に積層した。また使用したガラス層は70mm×80mm、樹脂層、離型層、及び支持層は100mm×100mmの大きさで、樹脂層及び支持層を外形範囲が一致するように配置し、且つ、ガラス層が樹脂層の端部から5mm以上内側に位置するように配置した。
さらにガラス層側から高圧水銀ランプ(積算光量:580mJ/cm2)を照射するこ
とによって、塗料Aからなる層を硬化させ、支持層側から、支持層、離型層、厚み50μmの樹脂層、ガラス層の順に積層された支持層付きガラス積層体1を得た。得られた支持層付きガラス積層体1について、各種評価を行った。結果は表1に示す。
Then, after sandwiching the coating material A between the glass layer (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm) and the release layer forming side of the support layer, by passing a nip roll, The glass layer, paint A, release layer, and support layer were laminated at once. Further, the used glass layer is 70 mm × 80 mm, the resin layer, the release layer, and the support layer are 100 mm × 100 mm in size, the resin layer and the support layer are arranged so that the outer shape ranges match, and the glass layer is It arrange | positioned so that it might be located inside 5 mm or more from the edge part of the resin layer.
Further, by irradiating a high-pressure mercury lamp (integrated light amount: 580 mJ / cm 2 ) from the glass layer side, the layer made of the coating A is cured, and from the support layer side, a support layer, a release layer, a resin layer having a thickness of 50 μm, The glass laminated body 1 with a support layer laminated | stacked in order of the glass layer was obtained. Various evaluation was performed about the obtained glass laminated body 1 with a support layer. The results are shown in Table 1.

[製造例2]
図4に示す層構成を有する支持層付きガラス積層体を製造した。
具体的には、支持層(クリーンテック社製フロートガラス 厚み0.7mm)の上にバーコーターで硬化後の厚みが3μmになるように、密着層の未硬化物として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(ADEKA社製、商品名「KRX−690−5」)を塗布し、さらに、樹脂層として熱可塑性のETFEフィルム(旭硝子社製 商品名「アフレックス」、厚み:25μm、片面コロナ処理済)のコロナ未処理面を密着層の塗布面に向けてハンドロール(硬度:90°)で支持層上にラミネートした。
高圧水銀ランプ(積算光量:370mJ/cm2)を照射し、その後、熱風循環式乾燥
機で150℃30分間熱処理することで、紫外線及び熱硬化性樹脂組成物を硬化させ、密着層を得た。
[Production Example 2]
The glass laminated body with a support layer which has a layer structure shown in FIG. 4 was manufactured.
Specifically, UV and thermosetting epoxy systems are used as the uncured adhesive layer so that the thickness after curing with a bar coater is 3 μm on the support layer (Clean Tech float glass thickness 0.7 mm). Resin (made by ADEKA, trade name “KRX-690-5”) was applied, and a thermoplastic ETFE film (trade name “Aflex”, made by Asahi Glass Co., Ltd., thickness: 25 μm, single-sided corona treated) as a resin layer The untreated corona surface was laminated on the support layer with a hand roll (hardness: 90 °) with the coated surface of the adhesion layer applied.
Irradiation with a high-pressure mercury lamp (integrated light quantity: 370 mJ / cm 2 ), followed by heat treatment at 150 ° C. for 30 minutes with a hot air circulation dryer, the ultraviolet ray and the thermosetting resin composition were cured to obtain an adhesion layer .

ETFEフィルムのコロナ処理面側に、接着層の未硬化物として前述の紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(ADEKA社製、商品名「KRX−690−5」)をバーコーターで硬化後の厚みが3μmになるように塗布した後に、ガラス層(日本電気硝子社製 商品名「OA−10G」 厚み:50μm)を、ガラス板の中心と合わせるようにして、塗布面上にラミネートし、高圧水銀ランプ(積算光量:370mJ/cm2)を照射し、その
後、熱風循環式乾燥機で150℃1時間熱処理することで、紫外線及び熱硬化性樹脂組成物を硬化させた。
On the corona-treated surface side of the ETFE film, the thickness after curing the above-mentioned ultraviolet and thermosetting epoxy resin (made by ADEKA, trade name “KRX-690-5”) as an uncured product of the adhesive layer with a bar coater After coating to 3 μm, a glass layer (trade name “OA-10G” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., thickness: 50 μm) is laminated on the coated surface so as to be aligned with the center of the glass plate, and a high-pressure mercury lamp (Integrated light quantity: 370 mJ / cm 2 ) was irradiated, and then the ultraviolet ray and the thermosetting resin composition were cured by heat treatment at 150 ° C. for 1 hour with a hot air circulation dryer.

このようにして支持層側から、密着層、樹脂層、接着層、ガラス層の順に積層された支持層付きガラス積層体2を得た。また使用したガラス層は70mm×80mmの大きさ、接着層、樹脂層、密着層、及び支持層は100mm×100mmの大きさで、接着層、樹
脂層、密着層、及び支持層を外形範囲が一致するように配置し、且つガラス層が、樹脂層の端部から5mm以上内側に位置するように配置した。得られた支持層付きガラス積層体2について、各種評価を行った。結果は表1に示す。
なお、樹脂層とガラス層との間の剥離強度の測定において、ガラスから剥離する前に樹脂層が破断してしまった。樹脂層が破断する際の引っ張り強度は28N/50mm以上であった。
Thus, the glass laminated body 2 with a support layer laminated | stacked in order of the contact | adherence layer, the resin layer, the contact bonding layer, and the glass layer from the support layer side was obtained. The used glass layer has a size of 70 mm × 80 mm, the adhesive layer, the resin layer, the adhesion layer, and the support layer have a size of 100 mm × 100 mm. It arrange | positioned so that it might correspond and arrange | positioned so that a glass layer might be located inside 5 mm or more from the edge part of a resin layer. Various evaluation was performed about the obtained glass laminated body 2 with a support layer. The results are shown in Table 1.
In the measurement of the peel strength between the resin layer and the glass layer, the resin layer was broken before peeling from the glass. The tensile strength when the resin layer broke was 28 N / 50 mm or more.

[製造例3]
ガラス層、樹脂層、離型層、及び支持層が100mm×100mmの大きさで、すべての層の外形範囲が一致するように積層した以外は製造例1と同様に作製し、支持層付きガラス積層体3を得た。
得られた支持層付きガラス積層体3について、各種評価を行った。結果は表1に示す。
[Production Example 3]
The glass layer, the resin layer, the release layer, and the support layer are 100 mm × 100 mm in size, and are manufactured in the same manner as in Production Example 1 except that they are laminated so that the outer shape ranges of all the layers match. A laminate 3 was obtained.
Various evaluation was performed about the obtained glass laminated body 3 with a support layer. The results are shown in Table 1.

[実施例]
上記製造例1及び2により得られた支持層付きガラス積層体1及び2について、図3に示す方法により、支持層を剥離した。この際、刃状工具としてはカッターナイフを用いて樹脂層の一部を剥離し、該剥離部分を指で把持して剥離を試みた。
結果、支持層付きガラス積層体1及び2ともに、途中でガラス層が割れることなく、また、クラックが入ることなく、支持層から剥離することができた。
[Example]
About the glass laminated body 1 and 2 with a support layer obtained by the said manufacture examples 1 and 2, the support layer was peeled by the method shown in FIG. At this time, as a blade-like tool, a part of the resin layer was peeled off using a cutter knife, and peeling was attempted by gripping the peeled portion with a finger.
As a result, both of the glass laminates 1 and 2 with the support layer could be peeled from the support layer without breaking the glass layer in the middle and without cracking.

[比較例]
上記製造例3により得られた支持層付きガラス積層体3について、樹脂層と支持層の間にカッターナイフを挿入して、樹脂層の一部を剥離した。さらに該剥離部分を指で把持すると、ガラス層が破損した。
[Comparative example]
About the glass laminated body 3 with a support layer obtained by the said manufacture example 3, the cutter knife was inserted between the resin layer and the support layer, and a part of resin layer was peeled. Further, when the peeled portion was grasped with a finger, the glass layer was broken.

Figure 0006477279
Figure 0006477279

100、200 支持層付きガラス積層体
10、20 ガラス層
11、21 樹脂層
12、22 支持層
13 ガラス層の外形範囲(実線範囲)
14 樹脂層の外形範囲(実線範囲)
17 刃状工具
18 把持具
19 離型層
25 接着層
26 密着層
100, 200 Glass laminate 10 with support layer, 20 Glass layer 11, 21 Resin layer 12, 22 Support layer 13 Outline range of glass layer (solid line range)
14 External range of resin layer (solid line range)
17 Cutting tool 18 Grasping tool 19 Release layer 25 Adhesive layer 26 Adhesive layer

Claims (8)

少なくとも、支持層、樹脂層、及び該樹脂層の外形範囲内に形成された、厚み10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備え、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体から、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を剥離する方法であって、
少なくとも、支持層、樹脂層、及び該樹脂層の外形範囲内に形成された、厚み10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備え、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、
前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び
剥離した樹脂層を把持して、樹脂層及びガラス層を有するガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、ガラス積層体の剥離方法。
At least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less formed in the outer range of the resin layer are provided in this order, and at least a part of the resin layer has an outer range of the glass layer. A method of peeling a glass laminate including a resin layer and a glass layer from a glass laminate with a support layer formed beyond,
At least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less formed in the outer range of the resin layer are provided in this order, and at least a part of the resin layer has an outer range of the glass layer. A step of preparing a glass laminate with a support layer formed beyond,
A step of peeling from the support layer at least a part of the resin layer formed beyond the outer diameter range of the glass layer, and a glass laminate having the resin layer and the glass layer from the support layer by grasping the peeled resin layer. The peeling method of a glass laminated body provided with the process to peel.
前記樹脂層の引張破断強度が10MPa以上、300MPa以下であることを特徴とする請求項に記載のガラス積層体の剥離方法。 The method for peeling a glass laminate according to claim 1 , wherein the resin layer has a tensile breaking strength of 10 MPa or more and 300 MPa or less. 前記樹脂層の引張破断伸度が5%以上、500%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス積層体の剥離方法。 The method for peeling a glass laminate according to claim 1 or 2 , wherein the resin layer has a tensile elongation at break of 5% or more and 500% or less. 前記樹脂層の引張弾性率が50MPa以上、2500MPa以下であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のガラス積層体の剥離方法。 The method for peeling a glass laminate according to any one of claims 1 to 3 , wherein the resin layer has a tensile elastic modulus of 50 MPa or more and 2500 MPa or less. 前記樹脂層と支持層との間の剥離強度が0.1N/50mm以上、5N/50mm以下であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のガラス積層体の剥離方法。 The method for peeling a glass laminate according to any one of claims 1 to 4 , wherein a peel strength between the resin layer and the support layer is 0.1 N / 50 mm or more and 5 N / 50 mm or less. . 前記樹脂層が熱可塑性樹脂を含むことを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のガラス積層体の剥離方法。 The said resin layer contains a thermoplastic resin, The peeling method of the glass laminated body of any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned. 前記樹脂層が硬化性樹脂組成物を硬化させて形成されたことを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載のガラス積層体の剥離方法。 The method for peeling a glass laminate according to any one of claims 1 to 5 , wherein the resin layer is formed by curing a curable resin composition. 少なくとも、支持層、樹脂層、及び該樹脂層の外形範囲内に形成された、厚み10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備え、該樹脂層の少なくとも一部が該ガラス層の外形範囲を超えて形成されている支持層付きガラス積層体を準備する工程、
準備した支持層付きガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成する工程、
前記ガラス層の外形範囲を超えて形成された樹脂層の少なくとも一部を支持層から剥離する工程、及び
剥離した樹脂層を把持して、樹脂層及びガラス層を含むガラス積層体を支持層から剥離する工程、を備える、電子デバイスの製造方法。
At least a support layer, a resin layer, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less formed in the outer range of the resin layer are provided in this order, and at least a part of the resin layer has an outer range of the glass layer. A step of preparing a glass laminate with a support layer formed beyond,
A step of forming an electronic device member on the glass layer of the prepared glass laminate with a support layer,
A step of peeling at least a part of the resin layer formed beyond the outer shape range of the glass layer from the support layer; and gripping the peeled resin layer to remove the glass laminate including the resin layer and the glass layer from the support layer. A method for manufacturing an electronic device, comprising the step of peeling.
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