JP6551151B2 - Glass laminate, substrate for electronic device, and electronic device - Google Patents

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JP6551151B2 JP2015210342A JP2015210342A JP6551151B2 JP 6551151 B2 JP6551151 B2 JP 6551151B2 JP 2015210342 A JP2015210342 A JP 2015210342A JP 2015210342 A JP2015210342 A JP 2015210342A JP 6551151 B2 JP6551151 B2 JP 6551151B2
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本発明は、電子デバイス用基板に用いることができる、支持層を含むガラス積層体に関する。さらに詳しくは、ガラス積層体上に電子デバイスを形成する工程において剥離、気泡が生じ難く、電子デバイス形成後であっても支持層を容易に剥離できるガラス積層体に関する。   The present invention relates to a glass laminate that includes a support layer that can be used as a substrate for electronic devices. More specifically, the present invention relates to a glass laminate in which peeling and bubbles do not easily occur in the step of forming an electronic device on a glass laminate, and the support layer can be easily peeled even after the formation of the electronic device.

近年、有機ELパネル、太陽電池、薄膜二次電池等の電子デバイス(電子部品)の薄型化、軽量化が進行しており、これらの電子デバイスに用いられるガラス層の薄板化が進行している。しかしながら、薄板化によりガラス層の強度が低下すると、ガラス層のハンドリング性が悪化するという問題があった。また、ハンドリング性の観点から、ガラス層の代わりに、樹脂基板を用いることも可能であるが、樹脂基板は、耐薬品性、耐透湿性、耐熱性等に問題があった。   In recent years, thickness reduction and weight reduction of electronic devices (electronic parts) such as organic EL panels, solar cells, thin film secondary batteries, etc. have been progressing, and thinning of glass layers used in these electronic devices has progressed . However, when the strength of the glass layer is reduced by thinning, there is a problem that the handling property of the glass layer is deteriorated. In addition, although it is possible to use a resin substrate instead of the glass layer from the viewpoint of handling property, the resin substrate has problems in chemical resistance, moisture permeation resistance, heat resistance and the like.

そこで、最近では、厚みの薄いガラス層に透明樹脂を積層させて、ハンドリング性を向上させた可視光透過性に優れたガラス積層体が用いられている。
一方で、上記ガラス積層体は剛直性が不十分であるため、通常のガラス層の使用を前提とした電子デバイス形成工程を適用することは難しい。そこで、支持体とガラス積層体を積層させて剛性を向上させる試みが提案されている。
Therefore, in recent years, a glass laminate excellent in visible light transmittance, in which the handling property is improved by laminating a transparent resin on a thin glass layer, has been used.
On the other hand, it is difficult to apply an electronic device forming process based on the use of a normal glass layer because the glass laminate has insufficient rigidity. Therefore, attempts have been proposed to improve rigidity by laminating a support and a glass laminate.

例えば、特許文献1には、剛直板と、ハードコート層と、少なくとも1層の可撓性シートをこの順に有する素子作製工程用基板が開示され、素子作製時のダメージ及び汚染が少なく、かつ搬送性に優れる積層基板が開示されている。
また、特許文献2には、支持基板、剥離性シリコーン樹脂、フレキシブル基材を有する積層構造体が開示され、耐熱性に優れ、密着したフレキシブル基材とその支持体とを容易に分離できる積層構造体が開示されている。
For example, Patent Document 1 discloses a substrate for an element manufacturing process having a rigid plate, a hard coat layer, and at least one flexible sheet in this order, and is less damaged and contaminated during element manufacturing, and is transported. There is disclosed a laminated substrate excellent in the properties.
Patent Document 2 discloses a laminated structure having a support substrate, a peelable silicone resin, and a flexible base material, and is excellent in heat resistance and can easily separate the closely attached flexible base material and the support body. The body is disclosed.

特開2009−265215号公報JP 2009-265215 A 国際公開2011/024690号International Publication No. 2011/024690

厚みの薄いガラス層と支持層を積層させることで、厚みの薄いガラス層に通常のガラス層を前提とした電子デバイス形成工程を適合できることとなるが、一方で、電子デバイス形成工程後に支持層を剥離する必要がある。上記文献には、支持体を剥離することを容易にするために、剥離性を有する樹脂等を使用した技術が開示されているが、電子デバイス形成の際の熱処理等により樹脂層が剥離する、気泡が発生する、工程中の洗浄によりガラス基材が支持体から剥離する、電子デバイス形成後に支持体が剥離できないなどの新たな問題が生じることを、本発明者らは見出した。本発明は、このような問題を解決するものである。   By laminating a thin glass layer and a support layer, it becomes possible to adapt the electronic device formation process on the premise of a normal glass layer to the thin glass layer, but on the other hand, the support layer is formed after the electronic device formation process. It is necessary to peel off. Although the above-mentioned document discloses a technique using a resin or the like having peelability in order to facilitate peeling of the support, the resin layer is peeled off by heat treatment or the like in forming an electronic device, The present inventors have found that new problems such as generation of air bubbles, peeling of the glass substrate from the support due to in-process washing, and inability to peel the support after forming the electronic device occur. The present invention solves such problems.

本発明者らは上記の課題に鑑みて鋭意検討した結果、電子デバイス基板となるガラス層と、支持層との間に樹脂層を備えるガラス積層体とし、この樹脂層が特定の物性を有することで、上記課題を解決できることを見出した。
すなわち本発明は以下のとおりである。
As a result of intensive investigations in view of the above problems, the present inventors set a glass laminate including a resin layer between a glass layer to be an electronic device substrate and a support layer, and the resin layer has specific physical properties. So, I found that I could solve the above problems.
That is, the present invention is as follows.

(1) 支持層、剥離樹脂層A、厚みが10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備えるガラス積層体であって、剥離樹脂層Aの温度60℃での貯蔵弾性率(E’60)と温度23℃での貯蔵弾性率(E’23)の比(E’60/E’23)が8.0×10-1以下であり、且つE'23が10MPa以上であることを特徴とするガラス積層体。
(2) 前記剥離樹脂層Aの5%質量減少温度が250℃以上であることを特徴とする(1)に記載のガラス積層体。
(3) 前記剥離樹脂層Aが、硬化性樹脂組成物を硬化した層であることを特徴とする(1)または(2)に記載のガラス積層体。
(4) 前記ガラス層と剥離樹脂層Aの間に、さらに保護樹脂層Bを備えることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のガラス積層体。
(5) 前記保護樹脂層Bが、熱可塑性樹脂で構成されるフィルムであることを特徴とする(4)に記載のガラス積層体。
(6) 温度60℃、相対湿度30%の条件下における前記剥離樹脂層Aと前記保護樹脂層Bとの剥離強度が0.3N/50mm以上であることを特徴とする(4)または(5)に記載のガラス積層体。
(7) (1)〜(6)のいずれかに記載のガラス積層体から、剥離樹脂層A及び支持層を剥離するステップを含む、電子デバイス用基板の製造方法。
(8) (1)〜(6)のいずれかに記載のガラス積層体、又は(1)〜(6)のいずれかに記載のガラス積層体から剥離樹脂層A及び支持層が剥離された電子デバイス用基板を含む電子デバイス。
(1) A glass laminate comprising a support layer, a release resin layer A, and a glass layer having a thickness of 10 μm to 200 μm in this order, and the storage elastic modulus (E ′ 60 ) of the release resin layer A at a temperature of 60 ° C. The ratio (E ′ 60 / E ′ 23 ) of the storage elastic modulus (E ′ 23 ) at a temperature of 23 ° C. is 8.0 × 10 −1 or less, and E ′ 23 is 10 MPa or more. Glass laminate.
(2) The glass laminate according to (1), wherein a 5% mass loss temperature of the release resin layer A is 250 ° C. or higher.
(3) The glass laminate according to (1) or (2), wherein the release resin layer A is a layer obtained by curing a curable resin composition.
(4) The glass laminate according to any one of (1) to (3), further comprising a protective resin layer B between the glass layer and the release resin layer A.
(5) The glass laminate according to (4), wherein the protective resin layer B is a film composed of a thermoplastic resin.
(6) The peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B under conditions of a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 30% is 0.3 N / 50 mm or more (4) or (5) The glass laminated body as described in).
(7) The manufacturing method of the board | substrate for electronic devices including the step which peels peeling resin layer A and a support layer from the glass laminated body in any one of (1)-(6).
(8) The electron from which the release resin layer A and the support layer were peeled from the glass laminate according to any one of (1) to (6) or the glass laminate according to any one of (1) to (6). Electronic device including substrate for device.

本発明によれば、電子デバイス形成工程において、高温条件下や洗浄等による物理的刺激があっても、樹脂層の剥離や気泡の発生が抑制されガラス積層体の積層構造を維持することができ、かつ、電子デバイス形成後においても良好な剥離性を有することができる。   According to the present invention, in the electronic device formation process, even if there is physical stimulation due to high temperature conditions or washing, etc., peeling of the resin layer and generation of air bubbles can be suppressed, and the laminated structure of the glass laminate can be maintained. And it can have favorable peelability even after the electronic device is formed.

本発明の一実施形態に係るガラス積層体の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the glass laminated body which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るガラス積層体の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of the glass laminated body which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施形態に係るガラス積層体、さらにそれらを構成する材料について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施形態の一例(代表例)であり、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。また、図面は模式図であり、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。また、本発明においては、全ての態様を併用し得る。   Hereinafter, the glass laminates according to an embodiment of the present invention and the materials constituting them will be described in detail, but the description of the constituent requirements described below is an example (representative example) of an embodiment of the present invention. The present invention is not limited to these contents. Further, the drawings are schematic views, and there are cases where the scale, shape, and the like of each component are not accurately represented. Moreover, in this invention, all the aspects can be used together.

本発明の一実施形態に係るガラス積層体は、少なくとも、支持層、剥離樹脂層A、及び厚みが10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備える。図1は、支持層1、剥離樹脂層A2、ガラス層3をこの順に備えるガラス積層体100の断面模式図である。
以下、ガラス積層体を構成する各材料について説明する。
The glass laminate according to one embodiment of the present invention comprises at least a support layer, a release resin layer A, and a glass layer having a thickness of 10 μm to 200 μm in this order. FIG. 1: is a cross-sectional schematic diagram of the glass laminated body 100 provided with the support layer 1, peeling resin layer A2, and the glass layer 3 in this order.
Hereinafter, each material which comprises a glass laminated body is demonstrated.

<支持層>
本発明における支持層は、電子デバイスの形成工程におけるガラス層のハンドリング性を向上させ、変形や破損を抑制する。
支持層を構成する材料としては、例えば、ガラス、樹脂、SUSなどの金属などが用いられる。通常、電子デバイス形成工程においては加熱処理を伴うため、支持層は、主にガラス層との線膨張係数の差の小さい材料で形成されることが好ましく、ガラス層と同一材
料で形成されることがより好ましく、支持層を構成する材料はガラスであることが好ましい。
<Support layer>
The support layer in the present invention improves the handling of the glass layer in the process of forming the electronic device, and suppresses deformation and breakage.
As a material constituting the support layer, for example, glass, resin, metal such as SUS, or the like is used. In general, since the electronic device forming process involves heat treatment, the support layer is preferably formed mainly from a material having a small difference in linear expansion coefficient from the glass layer, and is preferably formed from the same material as the glass layer. Is more preferable, and the material constituting the support layer is preferably glass.

支持層の厚みは、電子デバイス形成工程においてガラス層、剥離樹脂層Aの変形、傷付き、破損などを防ぐことが出来れば特に限定されないが、通常0.1mm以上であり、0.3mm以上であることが好ましい。また、支持層がガラスである場合は、電子デバイス形成後に剥離する際に、割れずに適度に撓むような剛性が望まれる理由から、通常5mm以下であり、3mm以下であることが好ましい。   The thickness of the support layer is not particularly limited as long as it can prevent deformation, damage, breakage, etc. of the glass layer and the release resin layer A in the electronic device forming step, but is usually 0.1 mm or more, 0.3 mm or more Preferably there is. When the support layer is made of glass, it is usually 5 mm or less, preferably 3 mm or less, because it is desired that the support layer be suitably bent without breaking when it is peeled off after the formation of the electronic device.

<剥離樹脂層A>
剥離樹脂層Aは、ガラス層と支持層の間に備えられ、支持層と接着し、且つガラス層から剥離できる離型機能を有する樹脂層であり、60℃での貯蔵弾性率(E’60)と23℃での貯蔵弾性率(E’23)の比(E’60/E’23)が8.0×10-1以下であり、且つE’23が10MPa以上の樹脂層である。このような性質を有することで、温水中で超音波などを用いた洗浄工程での樹脂層での気泡発生や、ガラス層が支持層から剥離することを抑制でき、且つ電子デバイスをガラス層上に形成した後、すなわち加熱工程を含む電子デバイス形成工程を経た後に、室温でガラス層から剥離樹脂層A及び支持層を、容易に剥離することができる。
洗浄工程での剥離の抑制及び室温での剥離性を両立するという観点から、E’60/E’23が8.0×10-1以下であり、且つE’23が10MPa以上であることが重要である。
電子デバイス用基板においては、通常、電子デバイスを形成する前に、洗浄液や純水等を用いて超音波洗浄することが知られており、超音波洗浄においては、洗浄効果を高めるために、洗浄液、純水等を室温よりも高い温度(例えば、60℃)に調整することが知られている。
剥離樹脂層Aにおいて、室温(例えば、23℃)に比べて超音波洗浄を実施する温度(例えば、60℃)での貯蔵弾性率が低下する、すなわち、E’60/E’23が8.0×10-1以下であることにより、ガラス層と剥離樹脂層Aとの密着性が向上できるため、超音波洗浄においてガラス積層体側面からの水分の侵入を防ぐことができ、樹脂層での気泡発生や、ガラス層が支持層から剥離することを抑制することができる。
さらに、剥離樹脂層Aにおいて、剥離時の貯蔵弾性率がある程度確保されている、すなわち23℃での貯蔵弾性率E’23が10MPa以上であることにより、電子デバイス形成における加熱工程(例えば、230℃1時間)において、剥離樹脂層Aとガラス層等と密着してしまい剥離できなくなる事態を防ぐことができる。
洗浄工程での剥離の抑制及び室温での剥離性の両立という観点から、E’60/E’23は、7.0×10-1以下であることが好ましく、6.0×10-1以下であることがより好ましく、5.8×10-1以下であることがさらに好ましく、4.0×10-1以下であることが特に好ましい。E’60/E’23の下限は特に限定されないが、通常、1.0×10-2である。
また、E’23が20MPa以上であることが好ましく、35MPa以上であることがより好ましく、50MPa以上であることがさらに好ましく、500MPa以上であることが特に好ましい。E’23の上限は特に限定されないが、通常10GPa以下である。
なお、剥離樹脂層Aの貯蔵弾性率は、JISK−7244−1に記載の動的粘弾性測定法により測定することができ、動的粘弾性測定装置(例えば、アイティー計測制御株式会社製 動的粘弾性測定装置「DVA−200」)により測定することができる。
剥離樹脂層Aの貯蔵弾性率は、モノマーやオリゴマーの添加や架橋剤の添加により上記範囲に調整することができるとともに、上記範囲の貯蔵弾性率を示す樹脂を適宜選択してもよい。
また、剥離樹脂層Aは100℃以下の範囲のガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、ガラス転移温度が高すぎると、得られる剥離樹脂層Aとガラス層との密着性が劣ったりする傾向がある。
<Peeling resin layer A>
The release resin layer A is a resin layer that is provided between the glass layer and the support layer, adheres to the support layer, and has a release function capable of being peeled off from the glass layer, and has a storage elastic modulus (E ′ 60 at 60 ° C. ) And a storage elastic modulus (E ′ 23 ) ratio at 23 ° C. (E ′ 60 / E ′ 23 ) is 8.0 × 10 −1 or less and E ′ 23 is 10 MPa or more. By having such properties, it is possible to suppress the generation of bubbles in the resin layer in the washing process using ultrasonic waves in warm water, and the separation of the glass layer from the support layer, and the electronic device is placed on the glass layer. The release resin layer A and the support layer can be easily peeled off from the glass layer at room temperature after having been formed into, i.e., subjected to an electronic device formation step including a heating step.
From the viewpoint of achieving both suppression of peeling in the cleaning step and peelability at room temperature, E ′ 60 / E ′ 23 is 8.0 × 10 −1 or less and E ′ 23 is 10 MPa or more. is important.
In substrates for electronic devices, it is generally known that ultrasonic cleaning is performed using a cleaning liquid or pure water before forming an electronic device. In ultrasonic cleaning, a cleaning liquid is used to enhance the cleaning effect. It is known that pure water or the like is adjusted to a temperature higher than room temperature (for example, 60 ° C.).
In the release resin layer A, the storage elastic modulus at a temperature (for example, 60 ° C.) at which ultrasonic cleaning is performed is lower than that at room temperature (for example, 23 ° C.), that is, E ′ 60 / E ′ 23 is 8. Since the adhesiveness between the glass layer and the release resin layer A can be improved by being 0 × 10 −1 or less, moisture can be prevented from entering from the side surface of the glass laminate in ultrasonic cleaning. Bubble generation and peeling of the glass layer from the support layer can be suppressed.
Furthermore, in the peeling resin layer A, by the storage elastic modulus upon peeling is somewhat is ensured, i.e. the storage modulus at 23 ° C. E '23 is 10MPa or more, the heating step in an electronic device formation (e.g., 230 C) for 1 hour, it is possible to prevent a situation in which the peeling resin layer A and the glass layer etc. are in close contact with each other and can not be peeled.
E ′ 60 / E ′ 23 is preferably 7.0 × 10 −1 or less, and 6.0 × 10 −1 or less from the viewpoint of coexistence of suppression of peeling in the washing step and peelability at room temperature. Is more preferably 5.8 × 10 −1 or less, and particularly preferably 4.0 × 10 −1 or less. The lower limit of E ′ 60 / E ′ 23 is not particularly limited, but is usually 1.0 × 10 −2 .
Further, E ′ 23 is preferably 20 MPa or more, more preferably 35 MPa or more, still more preferably 50 MPa or more, and particularly preferably 500 MPa or more. The upper limit of E ′ 23 is not particularly limited, but is usually 10 GPa or less.
In addition, the storage elastic modulus of the release resin layer A can be measured by a dynamic viscoelasticity measurement method described in JISK-7244-1, and is a dynamic viscoelasticity measuring device (for example, manufactured by IT Measurement Control Co., Ltd.). Visco-elasticity measurement device "DVA-200").
The storage elastic modulus of the release resin layer A can be adjusted to the above range by adding a monomer or an oligomer or a crosslinking agent, and a resin exhibiting the storage elastic modulus in the above range may be appropriately selected.
The release resin layer A preferably has a glass transition temperature (Tg) in the range of 100 ° C. or lower. If the glass transition temperature is too high, the adhesion between the release resin layer A obtained and the glass layer tends to be poor.

剥離樹脂層Aの厚みは、0.5μm以上であることが好ましい。1μm以上がさらに好ましい。一方、10μm以下であることが好ましく、5μm以下がさらに好ましく、3μm以下が特に好ましい。
剥離樹脂層Aの厚みが0.5μm以上であれば、充分に支持層と接着ができ、厚みが10μm以下であれば、電子デバイス全体の厚み増加を抑制し、電子デバイス作製時の剥離樹脂層Aからのアウトガス発生量を抑制することができる傾向がある。
The thickness of the release resin layer A is preferably 0.5 μm or more. 1 μm or more is more preferable. On the other hand, it is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 3 μm or less.
If the thickness of the release resin layer A is 0.5 μm or more, it can be sufficiently adhered to the support layer, and if the thickness is 10 μm or less, the increase in the thickness of the entire electronic device is suppressed, and the release resin layer at the time of manufacturing the electronic device There is a tendency to be able to suppress the amount of outgassing from A.

剥離樹脂層Aの吸水率は5%以下が好ましく、より好ましくは3%以下、さらに好ましくは2%以下である。吸水率が5%以下であれば、加熱工程時において、樹脂層中の水分を原因とする気泡の発生が抑制され、ガラス層の支持層からの剥離を抑制できる傾向がある。なお、樹脂層の吸水率の測定は、JIS K7209に準じて行うことができる。
剥離樹脂層Aの吸水率は、疎水性モノマーや疎水性オリゴマーの添加により上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
The water absorption of the release resin layer A is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and still more preferably 2% or less. If the water absorption is 5% or less, generation of bubbles due to moisture in the resin layer is suppressed during the heating step, and there is a tendency that peeling of the glass layer from the support layer can be suppressed. The water absorption rate of the resin layer can be measured according to JIS K7209.
The water absorption rate of the release resin layer A can be adjusted to the above range by the addition of a hydrophobic monomer or a hydrophobic oligomer, and a resin having such characteristics may be appropriately selected.

剥離樹脂層Aは、耐熱性の点から5%質量減少温度が250℃以上であることが好ましく、280℃以上であることがより好ましい。上限は特には限定されないが、通常650℃以下である。5%質量減少温度が250℃以上であれば、加熱工程時の剥離樹脂層Aからのアウトガス発生量を抑制できる傾向がある。なお、樹脂層の5%質量減少温度は、熱分析装置(例えば、RIGAKU社製「Thermoplus TG8120」が挙げられる)を用いて、窒素50mL/min雰囲気下、昇温速度20℃/minにおける樹脂層について熱減量を測定し、熱減量が5%となる温度を剥離樹脂層Aの5%質量減少温度とする。
剥離樹脂層Aの5%質量減少温度は、耐熱性の高いモノマーやオリゴマーの添加により上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
The release resin layer A preferably has a 5% mass loss temperature of 250 ° C. or higher, more preferably 280 ° C. or higher, from the viewpoint of heat resistance. The upper limit is not particularly limited, but is usually 650 ° C. or less. If the 5% mass loss temperature is 250 ° C. or more, the amount of outgas generation from the release resin layer A at the heating step tends to be suppressed. The 5% mass reduction temperature of the resin layer is determined by using a thermal analyzer (for example, “Thermoplus TG8120” manufactured by RIGAKU) and a resin layer at a temperature rising rate of 20 ° C./min in an atmosphere of nitrogen of 50 mL / min. The heat loss is measured for, and the temperature at which the heat loss is 5% is defined as the 5% mass reduction temperature of the release resin layer A.
The 5% mass decrease temperature of the release resin layer A can be adjusted to the above range by addition of a monomer or oligomer having high heat resistance, and a resin having such characteristics may be appropriately selected.

剥離樹脂層Aを構成する樹脂組成物としては硬化性樹脂組成物が好ましく、すなわち、剥離樹脂層Aは、硬化性樹脂組成物を硬化した層であることが好ましい。本発明に用いられる硬化性樹脂組成物としては、硬化処理によって重合反応が誘発され、硬化する成分であれば特に限定されないが、短時間かつ容易に硬化達成可能であることから、熱や活性エネルギー線照射により硬化する硬化成分を含む硬化性樹脂組成物が好ましい例として挙げられる。
活性エネルギー線とは、重合反応を誘発するエネルギー線であれば特に限定されず、該活性エネルギー線の照射により硬化する樹脂成分の組成、性質等に適した活性エネルギー線を用いることができる。例えば、電子線、紫外線、赤外線などの、被照射体の電子軌道に影響を与え、ラジカル、カチオン、アニオンなどの重合反応の引き金と成りうるエネルギー線が挙げられる。これらは1種又は2種以上組み合わせて使用することができる。具体例としては、高圧水銀ランプから発せられる紫外線などが挙げられる。
上記の熱や活性エネルギー線照射により硬化する硬化成分としては、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系及びシリコーン系の硬化性樹脂が挙げられる。
中でも、ウレタン系硬化性樹脂、または柔軟な骨格を有するエポキシ系硬化性樹脂が好ましい。
ウレタン系硬化性樹脂は分子内にウレタン結合を有することで、硬化処理後も柔軟性を示すため、剥離樹脂層Aの貯蔵弾性率を上記のような範囲に調整することが容易になる。また、エポキシ樹脂の内、柔軟な骨格を有するエポキシ系硬化性樹脂も同様に剥離樹脂層Aの貯蔵弾性率を上記のような範囲に調整することが容易になる。
柔軟な骨格を有するエポキシ系硬化性樹脂としては例えば、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂や、脂肪族エポキシ樹脂、シリコーン骨格を主鎖としエポキシ基を有するエポキシ樹脂(以下、エポキシ変性シリコーン樹脂とも称する)等が挙げられる。
エポキシ変性シリコーン樹脂の市販品としては、エポキシ基をカチオン重合させて硬化させるタイプであるモメンティブ社製の商品名「UV9430」などが挙げられる。
As a resin composition which comprises peeling resin layer A, curable resin composition is preferable, ie, it is preferable that peeling resin layer A is the layer which hardened | cured curable resin composition. The curable resin composition used in the present invention is not particularly limited as long as it is a component that induces a polymerization reaction by curing treatment and is cured. However, heat and active energy can be easily achieved in a short period of time. The curable resin composition containing the hardening component hardened | cured by line irradiation is mentioned as a preferable example.
The active energy ray is not particularly limited as long as it is an energy ray that induces a polymerization reaction, and an active energy ray suitable for the composition and properties of the resin component that is cured by irradiation with the active energy ray can be used. For example, energy rays that affect the electron orbit of the irradiated object, such as electron beams, ultraviolet rays, and infrared rays, and can trigger polymerization reactions such as radicals, cations, and anions. These can be used alone or in combination of two or more. Specific examples include ultraviolet light emitted from a high pressure mercury lamp.
As a hardening component hardened | cured by said heat | fever or active energy ray irradiation, curable resin of an acryl type, a urethane type, an epoxy type, and a silicone type is mentioned.
Among these, a urethane curable resin or an epoxy curable resin having a flexible skeleton is preferable.
Since the urethane-based curable resin exhibits flexibility even after the curing treatment by having a urethane bond in the molecule, it is easy to adjust the storage elastic modulus of the release resin layer A to the above range. Further, among the epoxy resins, it is easy to adjust the storage elastic modulus of the release resin layer A to the above-mentioned range in the same manner for the epoxy-based curable resin having a flexible skeleton.
As an epoxy-based curable resin having a flexible skeleton, for example, a hydrogenated bisphenol A-type epoxy resin, an aliphatic epoxy resin, an epoxy resin having a silicone skeleton as a main chain and an epoxy group (hereinafter, also referred to as epoxy-modified silicone resin) Etc.
As a commercial item of an epoxy modified silicone resin, the brand name "UV9430" by Momentive Co., Ltd. which is a type which carries out cationic polymerization of an epoxy group and hardens it, etc. are mentioned.

また、硬化成分としては、機械的物性、透明性及び加工性などの観点から、(メタ)アクリルモノマー及び(メタ)アクリルオリゴマーが好ましく、具体的には、(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等のモノマーやオリゴマーが挙げられ、中でも上記記載のような弾性率の範囲に調整することが容易であることから、ウレタン(メタ)アクリレートが好ましい。
さらには、ウレタン(メタ)アクリレートは1〜4官能であることがより好ましく、1又は2官能であることがさらに好ましく、2官能であることが特に好ましい。
上記硬化性オリゴマーの重量平均分子量は、通常1,000以上であり、1,000〜1,000,000であることが好ましく、1,000〜100,000であることがより好ましく、1,000〜50,000であることが更に好ましく、2,000〜20,000であることが特に好ましい。上記範囲であれば、塗工性も良好であり、且つ、特定の貯蔵弾性率の比を満たすことが容易になる。
市販品としては、例えば、ウレタンアクリレート系オリゴマーを含む第一工業製薬株式会社製の商品名ニューフロンティア 「R1303」「R1304」などが挙げられる。
Further, as the curing component, (meth) acrylic monomers and (meth) acrylic oligomers are preferable from the viewpoint of mechanical physical properties, transparency and processability etc. Specifically, (meth) acrylates and urethane (meth) acrylates And monomers (such as polyester (meth) acrylate) and oligomers. Among them, urethane (meth) acrylate is preferred because it can be easily adjusted to the elastic modulus range as described above.
Furthermore, the urethane (meth) acrylate is more preferably 1 to 4 functional, further preferably 1 or 2 functional, and particularly preferably 2 functional.
The weight average molecular weight of the curable oligomer is usually 1,000 or more, preferably 1,000 to 1,000,000, and more preferably 1,000 to 100,000, 1,000. It is further more preferable that it is-50,000, and it is especially preferable that it is 2,000-20,000. If it is the said range, coating property will also be favorable and it will become easy to satisfy | fill ratio of a specific storage elastic modulus.
Examples of commercially available products include New Frontier "R1303" and "R1304" manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., which contain urethane acrylate oligomers.

硬化性樹脂組成物中に紫外線硬化性樹脂や、紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーを含む場合は、必要に応じて光重合開始剤も含む。光重合開始剤は、紫外線を吸収して活性化(励起)し、開裂反応等を介して反応を開始するために用いられるものである。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、チオキサントン系、フォスフィンオキシド系及びパーオキシド系等を挙げることができる。具体例としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェン、メチルオルトベンゾイルベンゾエイト、4−フェニルベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、メチルベンゾイルホルメート等を例示することができる。これらは1種を単独で又は2種以上を併用して用いることができる。
When the curable resin composition contains an ultraviolet-curable resin, or an ultraviolet-curable monomer or oligomer, it also contains a photopolymerization initiator, if necessary. The photopolymerization initiator is used to absorb and activate (excitation) ultraviolet light and to initiate a reaction via a cleavage reaction or the like.
Examples of the photopolymerization initiator include benzoin type, acetophenone type, thioxanthone type, phosphine oxide type and peroxide type. Specific examples include, for example, benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophene, methylorthobenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, t-butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, Diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl}- 2-methyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-methyl- [4- (methyl Thio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl Phosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentyl phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide, methyl benzoyl formate, etc. it can. These can be used singly or in combination of two or more.

硬化性樹脂組成物における光重合開始剤の濃度は、硬化反応を確実に進行させる観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上である。一方で、重合開始剤の未反応物によるアウトガスの発生を防止する観点から、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下である。   The concentration of the photopolymerization initiator in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, and still more preferably 1% by mass or more from the viewpoint of reliably advancing the curing reaction. It is. On the other hand, it is preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, still more preferably 5% by mass or less, from the viewpoint of preventing the generation of outgassing due to the unreacted material of the polymerization initiator.

硬化性樹脂組成物は、必要に応じて溶剤を添加して使用することができる。すなわち、上記硬化性樹脂組成物を含む溶液として使用することができる。
上記溶剤としては、硬化性樹脂組成物に含まれる成分を均一に希釈する溶剤であれば特に限定されないが、例えば、メチルイソブチルケトン、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を併用して
用いることができる。
The curable resin composition can be used by adding a solvent as needed. That is, it can be used as a solution containing the said curable resin composition.
Although it will not specifically limit if it is a solvent which dilutes the component contained in curable resin composition uniformly as said solvent, For example, methyl isobutyl ketone, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether etc. are mentioned. These can be used singly or in combination of two or more.

剥離樹脂層Aを構成する樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、シランカップリング剤、増感剤、架橋剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、界面活性剤、充填剤、離型剤、酸化防止剤、レベリング剤、スリップ剤、分散剤などを任意で添加することができる。なお、これらは1種又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる。   The resin composition constituting the peeling resin layer A may be a silane coupling agent, a sensitizer, a crosslinking agent, an ultraviolet absorber, a polymerization inhibitor, a surfactant, a filler, to the extent that the object of the present invention is not impaired. A mold release agent, an antioxidant, a leveling agent, a slip agent, a dispersant and the like can be optionally added. In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.

剥離樹脂層Aに含まれる樹脂の総濃度は、加工時の粘度、および加工後の機械物性の観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは65質量%以上、さらに好ましくは80質量%以上である。   The total concentration of the resin contained in the release resin layer A is preferably 50% by mass or more, more preferably 65% by mass or more, and still more preferably 80% by mass or more from the viewpoint of viscosity at processing and mechanical properties after processing. It is.

<ガラス層>
ガラス層は、電子デバイスの基板となり得るものである。本実施の形態においては、剥離樹脂層Aと積層し、剥離樹脂層Aと対向する面と反対側の面に電子デバイスを形成することができる。
ガラス層の材料は特段限定されず、例えばソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等ほぼすべてのガラス組成のものが適用でき、強化、表面処理等の二次加工を施したものも適用可能であり、いずれも用途により使い分けられる。二次加工としては例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理などの表面処理などの各種表面処理があげられる。特に、樹脂層との密着性を向上させる観点から、シランカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。
<Glass layer>
The glass layer can be a substrate of the electronic device. In the present embodiment, an electronic device can be formed on the surface opposite to the surface facing the release resin layer A by laminating the release resin layer A.
The material of the glass layer is not particularly limited. For example, almost all glass compositions such as soda lime glass, borosilicate glass and alkali-free glass can be applied, and those subjected to secondary processing such as tempering and surface treatment can also be applied. And both can be used properly depending on the application. As secondary processing, for example, coupling agent treatment with a silane coupling agent, titanium coupling agent, etc., acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, chemical treatment such as ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc discharge treatment, Various surface treatments such as discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet ray treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as laser treatment, and other surface treatments such as flame treatment may be mentioned. In particular, from the viewpoint of improving the adhesion to the resin layer, it is preferable that the surface is treated with a silane coupling agent.

ガラス層は、厚みが10μm以上、200μm以下である。厚みがこの範囲であれば、形状は特には限定されないが、通常は板状の薄板ガラスである。厚みが10μm以上であることにより機械的強度が確保でき、積層した樹脂層の熱伸縮によるストレスによる破損を抑制することができる。また厚みが200μm以下であることにより、ハンドリング性、二次加工性改良を一つの目的とした樹脂層の積層が効果的となる。
ガラス層は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より高い温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることが可能である。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラス層の厚みを制御することができる。
The glass layer has a thickness of 10 μm to 200 μm. If thickness is this range, a shape will not be specifically limited, However, Usually, it is a plate-shaped thin plate glass. When the thickness is 10 μm or more, mechanical strength can be secured, and damage due to stress due to thermal expansion and contraction of the laminated resin layers can be suppressed. In addition, when the thickness is 200 μm or less, lamination of a resin layer for the purpose of improving handling property and secondary processability is effective.
The glass layer can in principle be produced by stretching the glass melt at a temperature above the solidification temperature of the glass melt. The thickness of the glass layer can be controlled by the glass composition, the thickness of the glass melt, the temperature, and the take-up speed.

ガラス層表面の平均面粗さは、5nm以下が好ましく、2nm以下が更に好ましく、1nm以下が特に好ましい。特に、樹脂層と対向する面の反対面の平均面粗さ、即ち電子デバイスを形成し得る面の平均面粗さが、5nm以下であることが好ましく、2nm以下が更に好ましく、1nm以下が特に好ましい。
ガラス層の平均面粗さが5nm以下であれば、ガラス層表面に電子デバイスを形成する場合、例えば、非常に薄く(数十nm厚)、且つ表面抵抗値の低い導電層を形成できるため、本実施形態に係るガラス積層体を電子デバイスの基板として好適に用いることができる。
なお、平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は光干渉式非接触形状測定器を用いて測定することができる。例えば非接触表面・層断面計測システムVertScan2.0(株式会社菱化システム製)を用いガラス層の表面観察(観察視野:93.97μm×71.30μm)を実施し、ガラス層表面について、平均面粗さ(算術平均粗さSa)を算出する。
The average surface roughness of the glass layer surface is preferably 5 nm or less, more preferably 2 nm or less, and particularly preferably 1 nm or less. In particular, the average surface roughness of the surface opposite to the surface facing the resin layer, that is, the average surface roughness of the surface capable of forming an electronic device is preferably 5 nm or less, more preferably 2 nm or less, and particularly preferably 1 nm or less. preferable.
If the average surface roughness of the glass layer is 5 nm or less, when an electronic device is formed on the surface of the glass layer, for example, a very thin (several tens of nm) conductive layer having a low surface resistance value can be formed. The glass laminate according to the present embodiment can be suitably used as a substrate of an electronic device.
In addition, average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) can be measured using an optical interference type non-contact shape measuring instrument. For example, the surface observation (observation visual field: 93.97 μm × 71.30 μm) of the glass layer is carried out using a non-contact surface / layer cross-section measurement system VertScan 2.0 (manufactured by Ryoka System Co., Ltd.) Roughness (arithmetic mean roughness Sa) is calculated.

<その他の層>
本実施形態に係るガラス積層体は、支持層、剥離樹脂層A、及び厚みが10μm以上、
200μm以下のガラス層以外に、本発明の効果を阻害しない他の層を含んでもよい。以下、その他の層について説明する。
<Other layers>
The glass laminate according to this embodiment has a support layer, a release resin layer A, and a thickness of 10 μm or more.
In addition to the glass layer of 200 μm or less, other layers that do not hinder the effects of the present invention may be included. The other layers will be described below.

<保護樹脂層B>
本実施形態において、ガラス積層体は、前記ガラス層の剥離樹脂層A側に、さらに保護機能を有する保護樹脂層Bを備えることが好ましい。保護樹脂層Bを備えることで、支持層剥離後のガラス層は保護樹脂層Bにより保護される。剥離樹脂層Aとガラス層との間に備えられる保護樹脂層Bとしては、ガラス層を保護できるものであれば特段限定されず、熱可塑性樹脂や、熱又は活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる樹脂を主成分とするフィルムが用いられる。熱可塑性樹脂としては、耐熱性および透明性が高い樹脂が好ましい。
<Protective resin layer B>
In the embodiment, the glass laminate preferably further includes a protective resin layer B having a protective function on the side of the release resin layer A of the glass layer. By providing the protective resin layer B, the glass layer after peeling of the support layer is protected by the protective resin layer B. The protective resin layer B provided between the release resin layer A and the glass layer is not particularly limited as long as the glass layer can be protected, and a thermoplastic resin or a heat or active energy ray-curable resin composition is used. A film containing as a main component a resin obtained by curing is used. As the thermoplastic resin, a resin having high heat resistance and transparency is preferable.

保護樹脂層Bの厚みは5μm以上であることが好ましい。10μm以上がさらに好ましく、15μm以上が特に好ましい。一方、100μm以下であることが好ましく、50μm以下がさらに好ましく、30μm以下が特に好ましい。
保護樹脂層Bの厚みが5μm以上であれば、厚みの薄いガラス層のハンドリング性を向上させることができ、厚みが100μm以下であれば、電子デバイス全体の厚み増加を抑制し、電子デバイス作製時の樹脂層からのアウトガス発生量を抑制することができる傾向がある。
The thickness of the protective resin layer B is preferably 5 μm or more. 10 micrometers or more are further preferable, and 15 micrometers or more are especially preferable. On the other hand, it is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less, and particularly preferably 30 μm or less.
If the thickness of the protective resin layer B is 5 μm or more, the handling property of the thin glass layer can be improved, and if the thickness is 100 μm or less, the thickness increase of the entire electronic device is suppressed, and the electronic device is manufactured. There is a tendency that the amount of outgassing from the resin layer of can be suppressed.

保護樹脂層Bは、耐熱性の観点から、5%質量減少温度が250℃以上であることが好ましく、300℃以上であることがより好ましく、400℃以上であることがさらに好ましい。5%質量減少温度が250℃未満であると、加熱工程時にガラス積層体の浮きの原因になる場合がある。なお、樹脂層の5%質量減少温度は、上記剥離樹脂層Aの場合と同様に測定することができる。
保護樹脂層Bの5%質量減少温度は、耐熱性の高い材料を添加することにより上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
The protective resin layer B preferably has a 5% mass loss temperature of 250 ° C. or higher, more preferably 300 ° C. or higher, and still more preferably 400 ° C. or higher from the viewpoint of heat resistance. If the 5% mass reduction temperature is less than 250 ° C., the glass laminate may float during the heating process. The 5% mass reduction temperature of the resin layer can be measured in the same manner as in the case of the release resin layer A.
The 5% mass decrease temperature of the protective resin layer B can be adjusted to the above range by adding a material having high heat resistance, and a resin having such characteristics may be appropriately selected.

保護樹脂層Bの吸水率は3%以下が好ましく、より好ましくは2%以下、さらに好ましくは1%以下である。吸水率が3%よりも多い場合、加熱工程時にガラス積層体中に気泡が発生するなどして、支持層からガラス層が剥離する原因となる。なお、保護樹脂層Bの吸水率の測定は、JIS K7209に準じて行うことができる。
保護樹脂層Bの吸水率は、疎水性の骨格を有する樹脂を添加することにより上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
The water absorption rate of the protective resin layer B is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, and still more preferably 1% or less. If the water absorption rate is more than 3%, bubbles may be generated in the glass laminate during the heating step, which may cause the glass layer to peel off from the support layer. The water absorption rate of the protective resin layer B can be measured according to JIS K7209.
The water absorption of the protective resin layer B can be adjusted to the above range by adding a resin having a hydrophobic skeleton, and a resin having such characteristics may be appropriately selected.

保護樹脂層Bの少なくとも片面は離型性を有していることが好ましく、特に剥離樹脂層Aと対向する面が離型性を有していることが好ましい。水接触角が大きいことで良好な離型性を有するといえ、具体的には保護樹脂層Bの少なくとも片面は、水接触角が90°以上になるのが好ましく、さらに好ましくは100°以上である。接触角が90°以上であれば、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bの密着性を調整することが容易になるため好ましい。なお、水接触角は接触角計を用いて測定することができる。例えば、協和界面科学株式会社製 接触角計「Drop Master 500」を用いて、温度23℃、相対湿度50%の条件下で試料フィルムと蒸留水との接触角を測定することができる。
既存のフィルムであって上記離型性を有しているものを用いることに加え、離型剤の添加やコーティング等既存の方法により保護樹脂層Bの表面に離型性を付与することもできる。
It is preferable that at least one surface of the protective resin layer B have releasability, and in particular, the surface facing the release resin layer A preferably has releasability. It can be said that the water contact angle is large so that it has good releasability. Specifically, at least one surface of the protective resin layer B preferably has a water contact angle of 90 ° or more, more preferably 100 ° or more. is there. If the contact angle is 90 ° or more, the adhesion between the release resin layer A and the protective resin layer B can be easily adjusted, which is preferable. The water contact angle can be measured using a contact angle meter. For example, using a contact angle meter “Drop Master 500” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., the contact angle between the sample film and distilled water can be measured under conditions of a temperature of 23 ° C. and a relative humidity of 50%.
In addition to using an existing film having the above-mentioned releasability, releasability can be imparted to the surface of the protective resin layer B by the existing method such as addition of a release agent or coating. .

保護樹脂層Bを構成する材料は、好ましくは上記耐熱性等の物性を満たし、本発明の効果を阻害しない限りにおいて、任意の適切な樹脂が採用できる。上記樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱または活性エネルギー線硬化性樹脂等が挙げられる。
上記熱可塑性樹脂の具体例としては、フッ素系樹脂、ポリエーテルサルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、熱可塑性ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリサルホン系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、ポリエーテルシリコーン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂等が挙げられる。
熱可塑性樹脂としては、弾性率及び耐熱性の観点から、熱可塑性ポリイミド系樹脂、シリコーン系樹脂、及びフッ素系樹脂が好ましく、離型性の観点から、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂がより好ましく、特にフッ素系樹脂が好ましい。
上記熱または活性エネルギー線硬化性樹脂の具体例としては、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂等が挙げられる。
The material constituting the protective resin layer B preferably satisfies the above physical properties such as heat resistance, and any suitable resin can be adopted as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of the resin include thermoplastic resins, heat or active energy ray curable resins, and the like.
Specific examples of the thermoplastic resin include fluorine resin, polyether sulfone resin, polycarbonate resin, acrylic resin, silicone resin, cycloolefin resin, thermoplastic polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide Resin, polyarylate resin, polysulfone resin, polyetherimide resin, polyether ether ketone resin, polyether silicone resin, polyester resin, polyphenylene sulfide resin and the like.
The thermoplastic resin is preferably a thermoplastic polyimide resin, a silicone resin, and a fluorine resin from the viewpoint of elastic modulus and heat resistance, and more preferably a silicone resin and a fluorine resin from the viewpoint of releasability, In particular, fluorine resins are preferable.
Specific examples of the heat or active energy ray curable resin include epoxy resins, silicone resins, acrylic resins, urethane resins, polyimide resins and the like.

保護樹脂層Bには、上記樹脂の他に、本発明の目的を損なわない範囲で、シランカップリング剤、増感剤、架橋剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、界面活性剤、充填剤、離型剤、酸化防止剤、レベリング剤、スリップ剤、分散剤などを任意で添加することができる。なお、これらは1種又は2種以上を適宜組み合わせて使用することができる。   In addition to the above resins, the protective resin layer B may be a silane coupling agent, a sensitizer, a crosslinking agent, an ultraviolet absorber, a polymerization inhibitor, a surfactant, a filler, to the extent that the object of the present invention is not impaired. A mold release agent, an antioxidant, a leveling agent, a slip agent, a dispersant and the like can be optionally added. In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.

本実施形態に係るガラス積層体が保護樹脂層Bを備える場合、剥離樹脂層A及び保護樹脂層Bの組成は、同じでも異なっていてもよいが、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの剥離性調整の観点から、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bは組成が異なることが好ましい。ここで組成が異なるとは、樹脂Aと樹脂Bを構成する成分が異なる、又は構成する成分の比率が異なることをいう。
剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bを構成するそれぞれの主成分が異なることがより好ましい。なお主成分とは、通常各層を形成する成分のうち最も多く含有する成分をいい、各層において50質量%以上占めるものを主成分としてもよく、80質量%以上占めるものを主成分としてもよく、90質量%以上占めるものを主成分としてもよい。
When the glass laminate according to the present embodiment includes the protective resin layer B, the compositions of the release resin layer A and the protective resin layer B may be the same or different. From the viewpoint of adjusting the releasability, the release resin layer A and the protective resin layer B preferably have different compositions. Here, that the compositions are different means that the components constituting the resin A and the resin B are different or that the ratio of the components constituting them is different.
More preferably, the main components constituting the release resin layer A and the protective resin layer B are different. The term "main component" as used herein refers to the component contained in the largest amount among the components forming each layer, which may occupy 50% by mass or more in each layer, or 80% by mass or more. The main component may be 90% by mass or more.

剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bの好ましい組成の組み合わせとしては、少なくともどちらか一方の層が剥離性を有する樹脂で構成されていることが好ましい。
例えば、剥離樹脂層Aを構成する硬化性樹脂組成物が(メタ)アクリレートモノマー及びオリゴマーを含む場合は、加熱処理前後の剥離性の観点から、保護樹脂層Bはシリコーン系樹脂やフッ素系樹脂等剥離性を有する熱可塑性樹脂やポリイミドのような剥離性を有する熱硬化性樹脂で構成されていることが好ましい。また、シリコーン系やフッ素系の離型剤で表面処理された熱可塑性樹脂もしくは熱硬化性樹脂で構成されていることも好ましい。
また、剥離樹脂層Aを構成する硬化性樹脂組成物がシリコーン系樹脂を含む場合は、同じく加熱処理前後の剥離性の観点から、保護樹脂層Bはフッ素系樹脂で構成されることが好ましい。
As a combination of preferable compositions of the peeling resin layer A and the protective resin layer B, it is preferable that at least one of the layers is made of a resin having peelability.
For example, when the curable resin composition constituting the peeling resin layer A contains (meth) acrylate monomers and oligomers, the protective resin layer B is a silicone resin, a fluorine resin, etc. from the viewpoint of peelability before and after heat treatment. It is preferable that it is comprised with the thermosetting resin which has releasability like a thermoplastic resin which has releasability, or a polyimide. Moreover, it is also preferable to be comprised with the thermoplastic resin or thermosetting resin surface-treated by the mold release agent of a silicone type or a fluorine type.
Moreover, when the curable resin composition which comprises the peeling resin layer A contains a silicone resin, it is preferable to be similarly comprised from fluorine resin from the viewpoint of the peelability before and behind heat processing.

本実施形態に係るガラス積層体が保護樹脂層Bを備える場合、保護樹脂層Bと剥離樹脂層Aとの間の剥離強度が、ガラス層と保護樹脂層Bとの間の剥離強度よりも低いことが好ましい。このようにすることで本実施形態に係るガラス積層体は、保護樹脂層Bと剥離樹脂層Aとの間で容易に剥離することができる。また、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度が、支持層と剥離樹脂層Aとの間の剥離強度よりも低いことも好ましい。
ガラス積層体に係る剥離強度は、上記の要件を充足すれば具体的な数値範囲は特段限定されないが、保護樹脂層Bと剥離樹脂層Aとの間の剥離強度は通常0.1N/50mm以上であり、0.2N/50mm以上であることが好ましく、一方で通常2.0N/50mm未満であり、1.5N/50mm以下であることが好ましく、1.0N/50mm以下であることがより好ましい。
When the glass laminate according to this embodiment includes the protective resin layer B, the peel strength between the protective resin layer B and the release resin layer A is lower than the peel strength between the glass layer and the protective resin layer B. Is preferred. By doing so, the glass laminate according to the present embodiment can be easily peeled off between the protective resin layer B and the peeling resin layer A. Moreover, it is also preferable that the peeling strength between the peeling resin layer A and the protective resin layer B is lower than the peeling strength between the support layer and the peeling resin layer A.
Although the peel strength according to the glass laminate satisfies the above requirements, the specific numerical range is not particularly limited, but the peel strength between the protective resin layer B and the peel resin layer A is usually 0.1 N / 50 mm or more It is preferably 0.2 N / 50 mm or more, while it is usually less than 2.0 N / 50 mm, preferably 1.5 N / 50 mm or less, and more preferably 1.0 N / 50 mm or less. preferable.

本実施形態に係るガラス積層体が保護樹脂層Bを備える場合、保護樹脂層B及びガラス層を有する積層体(以下、保護樹脂層B/ガラス層積層体と記すことがある)に対して、剥離樹脂層Aは易剥離性を備えることが好ましい。保護樹脂層B/ガラス層積層体において保護樹脂層Bが剥離樹脂層Aと対向することから、剥離樹脂層Aは保護樹脂層Bに対する易剥離性を備えることとなる。このため、剥離樹脂層Aは保護樹脂層B/ガラス層積層体と密着するが、本実施形態に係るガラス積層体から、保護樹脂層B/ガラス層積層体を容易に剥離することができる表面特性を有することが好ましい。すなわち、剥離樹脂層Aは、保護樹脂層B/ガラス層積層体に対してある程度の結合力で結合していると同時に、保護樹脂層B/ガラス層積層体を剥離する際には、保護樹脂層Bやガラス層を破壊することなく、容易に剥離できる程度の結合力で結合している。本発明では、この剥離樹脂層A表面と、保護樹脂層B/ガラス層積層体とを、ガラス層を割ることなく剥離できる性質を易剥離性という。
なお、易剥離性を具体的数値で表すとすれば、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度が0.1N/50mm以上、2.0N/50mm未満であるとも表すことができる。しかしながら本数値範囲は一例であって、上記説明した易剥離性の性質を満たすものであれば上記数値範囲に限られない。
When the glass laminate according to the present embodiment includes the protective resin layer B, the laminate having the protective resin layer B and the glass layer (hereinafter sometimes referred to as a protective resin layer B / glass layer laminate), It is preferable that the peeling resin layer A be provided with easy peelability. Since the protective resin layer B is opposed to the peeling resin layer A in the protective resin layer B / glass layer laminate, the peeling resin layer A has easy peelability to the protective resin layer B. For this reason, the release resin layer A is in close contact with the protective resin layer B / glass layer laminate, but the surface from which the protective resin layer B / glass layer laminate can be easily released from the glass laminate according to this embodiment. It is preferable to have the characteristics. That is, the peeling resin layer A is bonded to the protective resin layer B / glass layer laminate with a certain degree of bonding force, and at the same time, when peeling the protective resin layer B / glass layer laminate, the protective resin The layers B and the glass layer are bonded with a bonding force that can be easily peeled without breaking. In the present invention, the property of being able to peel the surface of the peeling resin layer A and the protective resin layer B / glass layer laminate without peeling the glass layer is called easy peeling.
If easy peelability is expressed by specific numerical values, the peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B may be expressed as 0.1 N / 50 mm or more and less than 2.0 N / 50 mm. it can. However, the present numerical range is an example, and is not limited to the above numerical range as long as the above-described easily peelable property is satisfied.

本実施形態に係るガラス積層体において、温度60℃、相対湿度30%の条件下における剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの剥離強度は0.3N/50mm以上であることが好ましい。電子デバイス形成工程の洗浄工程の洗浄温度は、通常60℃前後である。剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの剥離強度をこの範囲とすることで、電子デバイス形成工程の洗浄工程において剥離樹脂層と保護樹脂層が剥離し難く、薄板ガラス積層体の分離を抑制することができる。洗浄工程での剥離の抑制及び室温での剥離性の両立という観点から、温度60℃、相対湿度30%の条件下における剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの剥離強度が0.3N/50mm以上であることが好ましく、0.4N/50mm以上であることがより好ましい。   In the glass laminate according to the present embodiment, the peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B under the conditions of a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 30% is preferably 0.3 N / 50 mm or more. The cleaning temperature in the cleaning process of the electronic device forming process is usually around 60 ° C. By setting the peeling strength between the peeling resin layer A and the protective resin layer B in this range, the peeling resin layer and the protective resin layer are difficult to peel in the cleaning step of the electronic device formation step, and the separation of the thin sheet glass laminate is suppressed be able to. The peel strength between the peeling resin layer A and the protective resin layer B under the conditions of temperature 60 ° C. and relative humidity 30% is 0.3 N / 50 mm from the viewpoint of coexistence of suppression of peeling in the washing step and peelability at room temperature. It is preferable that it is above, more preferably 0.4 N / 50 mm or more.

加えて、本実施形態に係るガラス積層体を230℃で1時間熱処理した前後において、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度の変化率(=熱処理後の剥離強度/熱処理前の剥離強度)が、4以下であることが好ましい。この範囲とすることで、本実施形態に係るガラス積層体は、加熱工程を有する電子デバイス形成工程を経た後であっても、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度の変化率が小さく、電子デバイス形成後に支持層をガラス積層体から容易に剥離することができる。
上記変化率は、4以下であることが好ましく、3以下であることがより好ましい。一方で、変化率が小さすぎる、すなわち1を大きく下回る場合は、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の密着性が著しく失われることとなるため、通常1以上であり、1.2以上であることが好ましい。
なお、剥離強度は、実施例に記載した23℃での層間剥離強度の方法と同様の方法により測定する。
更に、230℃、1時間熱処理後の剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度が0.1N/50mm以上であることが好ましく、0.2N/50mm以上であることがより好ましく、一方で2.0N/50mm未満であることが好ましく、1.5N/50mm以下であることがより好ましく、1.0N/50mm以下であることが特に好ましい。上記範囲を満たすことで、電子デバイス形成工程を経た後であっても、支持層をガラス積層体から容易に剥離することができる。
In addition, before and after heat treatment of the glass laminate according to the present embodiment at 230 ° C. for 1 hour, the rate of change in peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B (= peel strength after heat treatment / before heat treatment (Peeling strength) is preferably 4 or less. By setting it as this range, the glass laminate according to the present embodiment has a change in peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B even after an electronic device formation step having a heating step. The rate is small, and the support layer can be easily peeled from the glass laminate after forming the electronic device.
The rate of change is preferably 4 or less, more preferably 3 or less. On the other hand, if the rate of change is too small, ie, far below 1, the adhesion between the release resin layer A and the protective resin layer B will be significantly lost, so it is usually 1 or more, 1.2 It is preferable that it is more than.
The peel strength is measured by the same method as the method of delamination strength at 23 ° C. described in the examples.
Furthermore, the peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B after heat treatment at 230 ° C. for 1 hour is preferably 0.1 N / 50 mm or more, more preferably 0.2 N / 50 mm or more. On the other hand, it is preferably less than 2.0 N / 50 mm, more preferably 1.5 N / 50 mm or less, and particularly preferably 1.0 N / 50 mm or less. By satisfying the above range, the support layer can be easily peeled off from the glass laminate even after the electronic device formation step.

本実施形態にかかるガラス積層体において、上述したガラス層の、剥離樹脂層Aと対向しない側の面にさらに樹脂層を有してもよい。ガラス層の、剥離樹脂層Aと対向しない側の面に樹脂層を更に備えることで、樹脂層が1層のみの場合に比べてガラス層のハンドリング性をより向上させることができ、支持層を剥離する際のガラス層におけるクラック発
生及びクラック進展がより抑制される。
In the glass laminated body concerning this embodiment, you may have a resin layer further in the surface of the side which does not oppose peeling resin layer A of the glass layer mentioned above. By further providing a resin layer on the surface of the glass layer that does not face the release resin layer A, the handling of the glass layer can be further improved compared to the case where the resin layer is only one layer, Crack generation and crack propagation in the glass layer at the time of peeling are further suppressed.

この場合の樹脂層の厚みは、ガラス層と支持層との間に備えられた剥離樹脂層Aと同程度の厚みが望ましい。保護樹脂層Bを備える場合は、保護樹脂層Bと同程度の厚みがより望ましい。ガラス層の両面に同程度の厚みを有する樹脂層を備えることで、ガラス層と樹脂層との線膨張係数の違いや、樹脂層の硬化収縮などにより発生する応力に起因するガラス積層体の歪みを抑制させることができる。
また、この場合の樹脂層の組成は、保護樹脂層Bを備える場合は保護樹脂層Bと同じ組成も使用可能である。特に、ガラス層の両面に同じ組成を有する樹脂層を備えることで、先述の歪みはより発生しにくくなるため、好ましい。
The thickness of the resin layer in this case is desirably about the same as the thickness of the release resin layer A provided between the glass layer and the support layer. When the protective resin layer B is provided, a thickness similar to that of the protective resin layer B is more desirable. By providing a resin layer having a similar thickness on both sides of the glass layer, distortion of the glass laminate due to a stress generated due to a difference in linear expansion coefficient between the glass layer and the resin layer or curing shrinkage of the resin layer. Can be suppressed.
Moreover, as for the composition of the resin layer in this case, when the protective resin layer B is provided, the same composition as the protective resin layer B can also be used. In particular, providing the resin layer having the same composition on both sides of the glass layer is preferable because the above-mentioned distortion is less likely to occur.

また、支持層と剥離樹脂層Aを接着させるための接着層や、保護樹脂層Bとガラス層を接着させるための接着層を有してもよい。この場合の接着層を形成する材料としては、上記剥離樹脂層A及び保護樹脂層Bの説明で述べた熱又は活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を適宜用いることができる。上記接着層の厚み、耐熱性、及び吸水率は、剥離樹脂層Aと同様の理由によって、剥離樹脂層Aと同様の範囲であることが好ましい。
また、保護樹脂層Bの線膨張係数が高いと、電子デバイス形成の際の熱処理等により、保護樹脂層Bが剥離する可能性があるため、上記保護樹脂層Bとガラス層を接着させるための接着層の23℃における貯蔵弾性率は1GPa以上が好ましい。
Moreover, you may have an adhesive layer for making a support layer and the peeling resin layer A adhere, and an adhesive layer for making the protective resin layer B and a glass layer adhere. As a material for forming the adhesive layer in this case, the heat or active energy ray curable resin composition described in the description of the release resin layer A and the protective resin layer B can be appropriately used. The thickness, heat resistance, and water absorption of the adhesive layer are preferably in the same range as the release resin layer A for the same reason as the release resin layer A.
Moreover, when the linear expansion coefficient of the protective resin layer B is high, there is a possibility that the protective resin layer B may be peeled off by heat treatment or the like when forming an electronic device, so that the protective resin layer B and the glass layer are bonded. The storage elastic modulus at 23 ° C. of the adhesive layer is preferably 1 GPa or more.

本実施形態において、ガラス積層体における各層間の剥離強度を調整する方法として、用いる樹脂やモノマー・オリゴマー等の種類により接着力を調整する方法や、上述した接着層とは別に、各層の表面処理により接着力を調整する方法があげられる。接着力を調整する表面処理としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、ワックス系樹脂を含む離型剤による離型処理などがあげられる。   In the present embodiment, as a method of adjusting the peel strength between the layers in the glass laminate, the method of adjusting the adhesive strength according to the type of resin, monomer or oligomer used, etc., and surface treatment of each layer separately from the above-mentioned adhesive layer. A method for adjusting the adhesive force is given. As the surface treatment for adjusting the adhesion, coupling agent treatment with a silane coupling agent, titanium coupling agent, etc., acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, chemical treatment such as ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc Discharge treatment, discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as ultraviolet ray treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, laser treatment, etc., other flame treatment, release by release agent containing fluorine resin, silicone resin, wax resin For example, mold processing.

<製造方法>
本実施形態に係るガラス積層体の製造方法は、支持層、剥離樹脂層A、及び厚みが10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備えるガラス積層体を製造できれば特に限定されないが、例として、直接塗布法により支持層に直接剥離樹脂層Aを積層させる方法、転写フィルムを使用する方法が挙げられる。
直接塗布法は、具体的には少なくとも樹脂組成物及び溶剤を含む塗布用組成物を調製し、該組成物をダイコート塗布、バーコーター塗布、スピンコータ塗布、メイヤーバー塗布、エアナイフ塗布、グラビア塗布、リバースグラビア塗布、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、ディップコートなどの方法により、支持層に塗布する手法である。
溶剤は、通常有機溶剤が用いられ、剥離樹脂層Aに含まれる樹脂の種類により適宜選択される。
なお、塗布後は、必要に応じて溶剤を除去する工程や剥離樹脂層Aに対して硬化処理を行う工程を含んでもよい。
また、直接塗布法による場合、塗布速度、吐出量等は特に限定されず、剥離樹脂層Aに含まれる樹脂組成物の組成や厚みから適宜調整することができる。
剥離樹脂層Aを形成した後、剥離樹脂層A側にガラス層を積層することで、ガラス積層体が得られる。
<Manufacturing method>
The method for producing a glass laminate according to this embodiment is not particularly limited as long as it can produce a glass laminate having a support layer, a peeling resin layer A, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less in this order. Examples thereof include a method of directly laminating the release resin layer A on the support layer by a direct coating method and a method of using a transfer film.
The direct coating method specifically prepares a coating composition containing at least a resin composition and a solvent, and the composition is die-coated, bar coater coated, spin coater coated, mayer bar coated, air knife coated, gravure coated, reverse It is a technique of applying to a support layer by methods such as gravure coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, dip coating and the like.
As the solvent, an organic solvent is usually used, and is appropriately selected depending on the type of resin contained in the release resin layer A.
In addition, after application | coating, you may also include the process of removing the solvent, and the process of hardening with respect to peeling resin layer A as needed.
In the case of direct application, the application speed, the discharge amount, and the like are not particularly limited, and can be appropriately adjusted from the composition and thickness of the resin composition contained in the release resin layer A.
After forming the release resin layer A, a glass laminate is obtained by laminating a glass layer on the release resin layer A side.

転写フィルムを用いる場合、以下の(1)〜(4)の工程を含むことが好ましい。
(1)剥離樹脂層Aを支持フィルム上に形成し、転写フィルムを製造する工程、
(2)前工程で形成した剥離樹脂層Aを支持層表面に転写し、転写後支持フィルムを剥離する工程、
(3)転写した剥離脂層A側にガラス層を積層する工程、
(4)前工程で転写した剥離樹脂層Aに対して、必要に応じて硬化処理を行う工程。
When using a transfer film, it is preferable to include the process of the following (1)-(4).
(1) A step of forming a release resin layer A on a support film to produce a transfer film,
(2) A step of transferring the release resin layer A formed in the previous step to the surface of the support layer and peeling the support film after transfer,
(3) laminating a glass layer on the side of the transferred separated oil layer A,
(4) A step of performing a curing treatment on the release resin layer A transferred in the previous step as necessary.

本実施形態に係るガラス積層体が保護樹脂層Bを備える場合は、支持層上に剥離樹脂層Aを形成した後、剥離樹脂層A側に保護樹脂層Bを積層させ、さらにガラス層を積層する方法や、支持層上に剥離樹脂層Aを形成したものと、ガラス層に保護樹脂層Bを積層したものを準備し、剥離樹脂層A側と保護樹脂層B側を貼り合せる方法などが挙げられる。
上記ガラス積層体の製造方法においては、剥離樹脂層Aや保護樹脂層B以外に接着層を設けてもよいし、必要に応じて各層の硬化処理を行ってもよい。
When the glass laminate according to the present embodiment includes the protective resin layer B, after forming the release resin layer A on the support layer, the protective resin layer B is laminated on the release resin layer A side, and further the glass layer is laminated. A method in which the peeling resin layer A is formed on the support layer and a method in which the protective resin layer B is laminated on the glass layer are prepared and the peeling resin layer A side and the protective resin layer B side are bonded It can be mentioned.
In the manufacturing method of the said glass laminated body, you may provide an adhesive layer other than peeling resin layer A and protective resin layer B, and may carry out the hardening process of each layer as needed.

<支持層の剥離>
本発明の一実施形態に係る電子デバイス用基板は、本発明の一実施形態に係るガラス積層体から、剥離樹脂層A及び支持層が剥離された状態である。すなわち、本発明の一実施形態である電子デバイス用基板の製造方法は、本発明の一実施形態であるガラス積層体から、剥離樹脂層A及び支持層を剥離するステップを含む。また、本発明の一実施形態である電子デバイスの製造方法は、本発明の一実施形態であるガラス積層体から、剥離樹脂層A及び支持層を剥離するステップを含む。
ガラス積層体から支持層を剥離する方法としては、支持層及び剥離樹脂層Aとガラス層との間で剥離できれば特に限定されない。例えば、剥離樹脂層Aとガラス層との間に鋭利な刃物状のものを差し込み、剥離のきっかけを与えた上で剥離する方法や、ガラス積層体の支持層側及びガラス層側を真空吸着によってそれぞれ定盤等に固定し、引き離すことで剥離させる方法が挙げられる。
<Peeling of support layer>
The substrate for an electronic device according to an embodiment of the present invention is in a state in which the peeling resin layer A and the support layer are peeled from the glass laminate according to the embodiment of the present invention. That is, the manufacturing method of the substrate for electronic devices which is one embodiment of the present invention includes the step of peeling off the peeling resin layer A and the support layer from the glass laminate which is one embodiment of the present invention. Moreover, the manufacturing method of the electronic device which is one Embodiment of this invention includes the step which peels peeling resin layer A and a support layer from the glass laminated body which is one Embodiment of this invention.
It will not specifically limit, if it can peel between a support layer and peeling resin layer A, and a glass layer as a method of peeling a support layer from a glass laminated body. For example, a sharp blade-like thing is inserted between the release resin layer A and the glass layer, and the peeling is performed after giving a trigger for peeling, or the support layer side and the glass layer side of the glass laminate are vacuum-adsorbed. There is a method of fixing on a surface plate or the like and peeling it apart.

<ガラス積層体の用途>
本発明の一実施形態に係るガラス積層体は、例えば、有機EL素子などの電子デバイスの基板として好適に用いることができる。有機EL素子などの電子デバイスの基板として用いた場合、ガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成した後、支持層を剥離することによって、フレキシブルな電子デバイスを得ることができるため、フレキシブルディスプレイやフレキシブル照明に用いることができる。
電子デバイスとしては、有機EL素子以外にも、太陽電池素子、薄膜二次電池素子、液晶表示素子、等が挙げられる。
なお、電子デバイス部材とは、ガラス層上に形成され、電子デバイスの少なくとも一部を構成する部材であり、具体的には、有機EL素子、太陽電池素子、薄膜二次電池素子、液晶表示素子、または、各種電子部品などに用いられる部材が挙げられる。
<Applications of Glass Laminates>
The glass laminate according to an embodiment of the present invention can be suitably used, for example, as a substrate of an electronic device such as an organic EL element. When it is used as a substrate of an electronic device such as an organic EL element, a flexible electronic device can be obtained by forming an electronic device member on a glass layer of a glass laminate and then peeling off a support layer, so that it is flexible. It can be used for displays and flexible lighting.
As an electronic device, a solar cell element, a thin film secondary battery element, a liquid crystal display element, etc. other than an organic EL element are mentioned.
The electronic device member is a member that is formed on the glass layer and constitutes at least a part of the electronic device, and specifically includes an organic EL element, a solar cell element, a thin film secondary battery element, and a liquid crystal display element. Or the member used for various electronic components etc. is mentioned.

有機EL素子に用いられる部材としては、透明電極や、金属電極、絶縁層、発光層、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層等が挙げられる。
また、太陽電池素子に用いられる部材としては、有機太陽電池素子の場合は、有機電子供与体及び有機電子受容体からなる有機半導体層、透明電極層、金属電極層等が挙げられ、その他に化合物型、色素増感型、量子ドット型太陽電池素子などに対応する各種部材等が挙げられる。
また、液晶表示素子に用いられる部材としては、透明電極層、液晶層等が挙げられる。
また、薄膜二次電池用部材としては、リチウムイオン型では、透明電極層、リチウム化合物を含む電解質層、金属を含む集電層が挙げられる。その他に、ニッケル水素型、ポリマー型、セラミックス電解質型などに対応する各種部材等が挙げられる。
また、電子部品用部材としては、CCDやCMOSでは、導電部や、絶縁部等が挙げられ、その他に、圧力センサ、加速度センサなどの各種センサに対応する各種部材等が挙げられる。
As a member used for an organic EL element, a transparent electrode, a metal electrode, an insulating layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer etc. are mentioned.
Examples of the member used for the solar cell element include an organic semiconductor layer composed of an organic electron donor and an organic electron acceptor, a transparent electrode layer, a metal electrode layer, etc. Various members corresponding to the type, the dye-sensitized type, the quantum dot type solar cell element and the like can be mentioned.
Moreover, as a member used for a liquid crystal display element, a transparent electrode layer, a liquid-crystal layer, etc. are mentioned.
Moreover, as a member for thin film secondary batteries, in the case of lithium ion type, a transparent electrode layer, an electrolyte layer containing a lithium compound, and a current collecting layer containing a metal can be mentioned. In addition, various members corresponding to nickel hydrogen type, polymer type, ceramic electrolyte type and the like can be mentioned.
Moreover, as a member for electronic components, in CCD and CMOS, an electroconductive part, an insulation part, etc. are mentioned, In addition, the various members corresponding to various sensors, such as a pressure sensor and an acceleration sensor, etc. are mentioned.

本発明の具体的実施形態に係るガラス積層体について、図面を用いてより詳細に説明する。
図2は、支持層11、剥離樹脂層A12、保護樹脂層B13、接着層15、ガラス層14をこの順に備えるガラス積層体10の断面模式図である。
ガラス積層体10は、通常、ガラス層14上に図示しない電子デバイスを形成するための基板として用いられる。そして電子デバイス形成後に、図中A−A´鎖線に沿って剥離されることで、ガラス積層体10から支持層11を取り除くことができる。そのため、剥離樹脂層Aは、60℃での貯蔵弾性率(E’60)と23℃での貯蔵弾性率(E’23)の比(E’60/E’23)が8.0×10-1以下であり、且つE’23が10MPa以上である必要がある。ガラス積層体10はこのような要件を満たすため、超音波などを用いる洗浄工程での樹脂層の気泡発生やガラス層から支持層の剥離を抑制でき、且つそして電子デバイス形成後に、室温で剥離樹脂層A及び支持層を、図中A−A´鎖線に沿って容易に剥離することができる。
The glass laminated body which concerns on specific embodiment of this invention is demonstrated in detail using drawing.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a glass laminate 10 provided with a support layer 11, a peeling resin layer A12, a protective resin layer B13, an adhesive layer 15, and a glass layer 14 in this order.
The glass laminate 10 is usually used as a substrate for forming an electronic device (not shown) on the glass layer 14. And after forming an electronic device, the support layer 11 can be removed from the glass laminated body 10 by peeling along an AA 'chain line in the figure. Therefore, the release resin layer A has a ratio (E ′ 60 / E ′ 23 ) of the storage elastic modulus (E ′ 60 ) at 60 ° C. to the storage elastic modulus (E ′ 23 ) at 23 ° C. of 8.0 × 10 It is necessary to be −1 or less and E ′ 23 to be 10 MPa or more. In order to satisfy such requirements, the glass laminate 10 can suppress the generation of bubbles in the resin layer and the peeling of the support layer from the glass layer in the cleaning process using ultrasonic waves, and the release resin at room temperature after the electronic device is formed. The layer A and the support layer can be easily peeled along the AA ′ chain line in the figure.

ガラス積層体10は、ガラス積層体を230℃で1時間処理した前後において、剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度の変化率(=熱処理後の剥離強度/熱処理前の剥離強度)が4以下であることが好ましい。ガラス層上への電子デバイス形成工程においては、例えば金属薄膜形成時の蒸着プロセスなど、ガラス積層体が高温に晒されるプロセスが存在する。このようなプロセスに晒された場合であっても、230℃における剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度の変化率が小さい場合には、電子デバイス形成後に良好な剥離性を維持することができる。
このような条件を満たす剥離樹脂層Aは、貯蔵弾性率が高く、耐熱性が高く、吸水率が低い樹脂であることが好ましい。また保護樹脂層Bは、耐熱性が高く、接触角が大きく、吸水率が低い樹脂であることが好ましい。
Before and after the glass laminate is treated at 230 ° C. for 1 hour, the rate of change in peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B (= peel strength after heat treatment / peeling before heat treatment) The strength is preferably 4 or less. In the process of forming an electronic device on a glass layer, for example, there is a process in which a glass laminate is exposed to a high temperature, such as a deposition process when forming a metal thin film. Even when exposed to such a process, when the rate of change in peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B at 230 ° C. is small, good peelability is obtained after the electronic device is formed. Can be maintained.
The release resin layer A satisfying such conditions is preferably a resin having a high storage elastic modulus, a high heat resistance, and a low water absorption. The protective resin layer B is preferably a resin having high heat resistance, a large contact angle, and a low water absorption rate.

保護樹脂層B13とガラス層14との間には、保護樹脂層B13とガラス層14との間の剥離強度を大きくするため、接着層15を備えることができる。接着層15は、接着力を有する層であれば特段の限定なく用いることができる。また、接着層15の代替として、保護樹脂層B13のガラス層14と対向する面に接着処理を施すこともできる。接着力を調整する接着処理としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理などがあげられる。
なお、上記剥離強度の関係を満たすために、保護樹脂層Bを備える場合、保護樹脂層B及び剥離樹脂層Aにおいて、互いの層と対向する面には接着処理を施さないことが好ましい。また、保護樹脂層Bと剥離樹脂層Aとの間には接着層を有しないことが好ましい。
An adhesive layer 15 may be provided between the protective resin layer B13 and the glass layer 14 in order to increase the peel strength between the protective resin layer B13 and the glass layer 14. The adhesive layer 15 can be used without particular limitation as long as it is a layer having an adhesive force. Further, as an alternative to the adhesive layer 15, the surface of the protective resin layer B13 facing the glass layer 14 may be subjected to an adhesive treatment. Adhesive treatment for adjusting the adhesive strength includes coupling agent treatment with a silane coupling agent, titanium coupling agent, acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, chemical treatment such as ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc Examples include discharge treatment, discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet light treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as laser treatment, and flame treatment.
In addition, in order to satisfy | fill the relationship of the said peeling strength, when providing the protective resin layer B, in the protective resin layer B and the peeling resin layer A, it is preferable not to perform an adhesion | attachment process on the surface facing each other layer. Moreover, it is preferable not to have an adhesive layer between the protective resin layer B and the release resin layer A.

以下、実施例を示して、本発明をより詳細に説明するが、本発明の範囲は以下の実施例のみに限定されないことはいうまでもない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but it goes without saying that the scope of the present invention is not limited to the following examples.

<樹脂層の物性測定>
本実施例の剥離樹脂層Aの物性は、以下の方法により測定した。
(貯蔵弾性率)
剥離樹脂層Aについて厚み50μm、幅4mm、長さ50mmの短冊状樹脂サンプルを作製し、JISK−7198A法に記載の動的粘弾性測定法により、アイティー計測制御株式会社製 動的粘弾性測定装置「DVA−200」を用い、チャック間距離25mm、振動周波数10Hz、歪み0.3%にて、昇温速度3℃/分で−100℃から200℃ま
で測定し、得られたデータから剥離樹脂層Aの温度23℃及び温度60℃での貯蔵弾性率(E’)を求めた。
また、各温度におけるlog(tanδ)=log(損失弾性率E” /貯蔵弾性率E’)を算出し、tanδのピーク温度を剥離樹脂層AのTgとした。
(耐熱性:5%質量減少温度)
RIGAKU社製 熱分析装置「Thermoplus TG8120」を用いて、窒素50mL/min雰囲気下、昇温速度20℃/minにおける剥離樹脂層Aについて熱減量を測定し、熱減量が5%となる温度(もともとの質量を100質量%とすると95質量%となる温度)を5%質量減少温度(熱減量)とした。5%質量減少温度が高いほど耐熱性が高い。
<Measurement of physical properties of resin layer>
Physical properties of the release resin layer A of this example were measured by the following method.
(Storage elastic modulus)
A strip-shaped resin sample having a thickness of 50 μm, a width of 4 mm, and a length of 50 mm was prepared for the release resin layer A, and the dynamic viscoelasticity measurement manufactured by IT Measurement Control Co., Ltd. was performed by the dynamic viscoelasticity measurement method described in the JISK-7198A method. Using the apparatus “DVA-200”, the distance between chucks is 25 mm, the vibration frequency is 10 Hz, the strain is 0.3%, and the temperature rise rate is 3 ° C./min. The storage elastic modulus (E ′) of the resin layer A at a temperature of 23 ° C. and a temperature of 60 ° C. was determined.
Further, log (tan δ) = log (loss elastic modulus E ′ ′ / storage elastic modulus E ′) at each temperature was calculated, and the peak temperature of tan δ was taken as the Tg of the release resin layer A.
(Heat resistance: 5% mass loss temperature)
Using a thermal analyzer “Thermoplus TG8120” manufactured by RIGAKU, the thermal loss is measured for the release resin layer A at a heating rate of 20 ° C./min under a nitrogen atmosphere of 50 mL / min, and the temperature at which the thermal loss is 5% (originally The temperature at which the mass becomes 100% by mass is 95% by mass) is defined as the 5% mass reduction temperature (heat loss). The higher the 5% mass loss temperature, the higher the heat resistance.

<実施例1>
図2に示す層構成を有するガラス積層体を製造した。
ウレタンアクリレートオリゴマーを含む紫外線硬化性樹脂組成物(第一工業製薬株式会社製 商品名「ニューフロンティア R1303」)100質量部、光重合開始剤として1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF社製 商品名「IRGACURE184」)3質量部を均一に混合し、紫外線硬化性樹脂組成物1(塗料A)を得た。
支持層(クリーンテック社製フロートガラス 厚み0.7mm)の上にバーコーターで硬化後の厚みが3μmになるように、剥離樹脂層Aの未硬化物として塗料Aを塗布し、さらに、保護樹脂層BとしてETFEフィルム(旭硝子株式会社製 商品名「アフレックス」、厚み:25μm、片面コロナ処理済)のコロナ未処理面を剥離樹脂層Aの塗布面に向けてハンドロール(硬度:90°)で支持層上にラミネートした。
高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し紫外線硬化性樹脂組成物1を硬化させ、剥離樹脂層Aを得た。
ETFEフィルムのコロナ処理面側に、接着層の未硬化物として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA製 商品名「KRX−690−5」)をバーコーターで硬化後の厚みが3μmになるように塗布した後に、ガラス層(日本電気硝子株式会社製
商品名「OA−10G」 厚み:50μm)を、支持層の中心と合わせるようにして、塗布面上にラミネートし、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、その後、熱風循環式乾燥機で150℃1時間熱処理することで、紫外線及び熱硬化性樹脂組成物を硬化させた。
このようにして支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Example 1
A glass laminate having the layer configuration shown in FIG. 2 was produced.
100 parts by mass of an ultraviolet curable resin composition (made by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name "New Frontier R1303") containing a urethane acrylate oligomer, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone as a photopolymerization initiator (manufactured by BASF Co., Ltd.) Three parts by mass of the name “IRGACURE 184” were uniformly mixed to obtain an ultraviolet curable resin composition 1 (paint A).
Paint A is applied as an uncured product of release resin layer A so that the thickness after curing is 3 μm on a support layer (Floattech float glass thickness 0.7 mm) by a bar coater, and a protective resin Layer B is a hand roll (hardness: 90 °) with the corona-untreated surface of the ETFE film (trade name “Aflex”, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., thickness: 25 μm, single-sided corona treated) facing the coated surface of the release resin layer A Laminated on the support layer.
The ultraviolet curable resin composition 1 was cured by irradiation with a high pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ) to obtain a peeling resin layer A.
On the corona-treated surface side of the ETFE film, UV and thermosetting epoxy resin (trade name “KRX-690-5” manufactured by ADEKA Co., Ltd.) as an uncured product of the adhesive layer is cured to 3 μm with a bar coater. After being coated, a glass layer (trade name “OA-10G” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., thickness: 50 μm) is laminated on the coated surface so as to match the center of the support layer, and a high-pressure mercury lamp ( Irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ), and then heat treated at 150 ° C. for 1 hour with a hot air circulation drier to cure the ultraviolet ray and the thermosetting resin composition.
Thus, from the support layer side, the glass laminated body laminated | stacked in order of the peeling resin layer A, the protective resin layer B, the contact bonding layer, and the glass layer was obtained.

<実施例2>
ウレタンアクリレートオリゴマーを含む紫外線硬化性樹脂組成物(第一工業製薬株式会社製 商品名「ニューフロンティア R1304」)100質量部、光重合開始剤として1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF社製 商品名「IRGACURE184」)3質量部を均一に混合し、紫外線硬化性樹脂組成物2(塗料B)を得た。
支持層上に剥離樹脂層Aの未硬化物として塗料Bを塗布し、実施例1で用いたETFEフィルムを実施例1と同様にラミネートした後に、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、紫外線硬化性樹脂組成物2を硬化させて剥離樹脂層Aを得た。
支持層上に、接着層の未硬化物として塗料Aを用いる代わりに塗料Bを塗布した以外は、実施例1と同様にして、支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Example 2
100 parts by mass of an ultraviolet curable resin composition (made by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name "New Frontier R1304") containing a urethane acrylate oligomer, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone as a photopolymerization initiator (manufactured by BASF Co., Ltd.) Three parts by mass of the name “IRGACURE 184” were uniformly mixed to obtain an ultraviolet curable resin composition 2 (paint B).
Coating B is applied as an uncured product of release resin layer A onto the support layer, and after laminating the ETFE film used in Example 1 in the same manner as in Example 1, a high pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ) Was applied to cure the ultraviolet curable resin composition 2 to obtain a release resin layer A.
The release resin layer A, the protective resin layer B, and the adhesion are performed from the support layer side in the same manner as in Example 1 except that the paint B is applied on the support layer instead of the paint A as the uncured material of the adhesive layer. The glass laminated body laminated | stacked in order of the layer and the glass layer was obtained.

<実施例3>
ウレタンアクリレートオリゴマーを含む紫外線硬化性樹脂組成物(第一工業製薬株式会
社製 商品名「ニューフロンティア R1303」)50質量部、ウレタンアクリレートオリゴマーを含む紫外線硬化性樹脂組成物(第一工業製薬株式会社製 商品名「ニューフロンティア R1304」)50質量部、光重合開始剤として1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン(BASF社製 商品名「IRGACURE184」)3質量部を均一に混合し、紫外線硬化性樹脂組成物3(塗料C)を得た。
支持層上に剥離樹脂層Aの未硬化物として塗料Cを塗布し、実施例1で用いたETFEフィルムを実施例1と同様にラミネートした後に、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、紫外線硬化性樹脂組成物3を硬化させて剥離樹脂層Aを得た。
支持層上に、接着層の未硬化物として塗料Aを用いる代わりに塗料Cを塗布した以外は、実施例1と同様にして、支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Example 3
UV curable resin composition containing urethane acrylate oligomer (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. trade name "New Frontier R1303") 50 parts by mass, UV curable resin composition containing urethane acrylate oligomer (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) 50 parts by mass of trade name "New Frontier R1304", 3 parts by mass of 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone (trade name "IRGACURE 184" manufactured by BASF as a photopolymerization initiator) are uniformly mixed, and an ultraviolet curable resin composition Object 3 (paint C) was obtained.
Coating C is applied as a non-cured product of release resin layer A on the support layer, and after laminating the ETFE film used in Example 1 in the same manner as Example 1, a high pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ) Was applied to cure the ultraviolet curable resin composition 3 to obtain a release resin layer A.
The release resin layer A, the protective resin layer B, and the adhesion are performed from the support layer side in the same manner as in Example 1 except that the paint C is applied on the support layer instead of the paint A as the uncured material of the adhesive layer. The glass laminated body laminated | stacked in order of the layer and the glass layer was obtained.

<実施例4>
エポキシ変性シリコーン樹脂(モメンティブ社製 商品名「UV9430」)100質量部、触媒としてビス(ドデシルフェニル) ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート(モメンティブ社製 商品名「UV9380c」)3質量部を均一に混合し、紫外線硬化性樹脂組成物4(塗料D)を得た。
支持層上に剥離樹脂層Aの未硬化物として塗料Dを塗布し、実施例1で用いたETFEフィルムを実施例1と同様にラミネートした後に、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、紫外線硬化性樹脂組成物4を硬化させて剥離樹脂層Aを得た。
支持層上に、接着層の未硬化物として塗料Aを用いる代わりに塗料Dを塗布した以外は、実施例1と同様にして、支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Example 4
100 parts by mass of an epoxy-modified silicone resin (manufactured by Momentive, trade name "UV9430"), 3 parts by mass of bis (dodecylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate (trade name "UV9380c", manufactured by Momentive) as a catalyst, and uniformly mixed A curable resin composition 4 (paint D) was obtained.
After coating D as an uncured material of release resin layer A on the support layer and laminating the ETFE film used in Example 1 in the same manner as in Example 1, a high pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ) Was applied to cure the ultraviolet curable resin composition 4 to obtain a release resin layer A.
The release resin layer A, the protective resin layer B, and the adhesion are performed from the support layer side in the same manner as in Example 1 except that the paint D is applied on the support layer instead of the paint A as the uncured material of the adhesive layer. The glass laminated body laminated | stacked in order of the layer and the glass layer was obtained.

<比較例1>
支持層上に剥離樹脂層Aの未硬化物として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA製 商品名「KRX−690−5」)を塗布し、実施例1で用いたETFEフィルムを実施例1と同様にラミネートした後に、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、その後、熱風循環式乾燥機で150℃1時間熱処理することで、紫外線及び熱硬化性樹脂組成物を硬化させ、剥離樹脂層Aを得た。
支持層上に、接着層の未硬化物として塗料Aを用いる代わりにエポキシ系樹脂を塗布した以外は、実施例1と同様にして、支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Comparative Example 1
On the support layer, UV and thermosetting epoxy resin (trade name “KRX-690-5” manufactured by ADEKA Corporation) was applied as an uncured product of the release resin layer A, and the ETFE film used in Example 1 was applied. After laminating in the same manner as in Example 1, the composition was irradiated with a high-pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ), and then heat treated at 150 ° C. for 1 hour with a hot air circulating drier to obtain an ultraviolet and thermosetting resin composition. Were cured to obtain a release resin layer A.
On the support layer, the release resin layer A, the protective resin layer B, from the support layer side in the same manner as in Example 1 except that the epoxy resin was applied instead of using the coating material A as the uncured product of the adhesive layer. The glass laminated body laminated | stacked in order of the contact bonding layer and the glass layer was obtained.

<比較例2>
シリコーン系樹脂(モメンティブ社製 商品名「LSR7060」)のA液とB液を1:1の割合で均一に混合し、熱硬化性樹脂組成物5(塗料E)を得た。
支持層上に剥離樹脂層Aの未硬化物として塗料Eを塗布し、実施例1で用いたETFEフィルムを実施例1と同様にラミネートした後に、高圧水銀ランプ(照射強度:370mJ/cm2)を照射し、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させて剥離樹脂層Aを得た。
支持層上に、接着層の未硬化物として塗料Aを用いる代わりに塗料Eを塗布した以外は、実施例1と同様にして、支持層側から、剥離樹脂層A、保護樹脂層B、接着層、ガラス層の順に積層されたガラス積層体を得た。
Comparative Example 2
Liquid A and liquid B of a silicone resin (trade name "LSR 7060" manufactured by Momentive Co., Ltd.) were uniformly mixed in a ratio of 1: 1 to obtain a thermosetting resin composition 5 (paint E).
After coating E as a non-cured material of release resin layer A on the support layer and laminating the ETFE film used in Example 1 in the same manner as Example 1, a high pressure mercury lamp (irradiation intensity: 370 mJ / cm 2 ) The cured resin composition was cured to obtain a release resin layer A.
On the support layer, from the support layer side, the release resin layer A, the protective resin layer B, and the adhesion were applied in the same manner as in Example 1 except that the paint E was applied instead of using the paint A as an uncured product of the adhesive layer. The glass laminated body laminated | stacked in order of the layer and the glass layer was obtained.

(超音波試験)
実施例1乃至4、及び比較例1乃至2で得られたガラス積層体について、60℃の温水中で30分間超音波洗浄を施し、ガラス積層体中の発泡及び剥離現象を目視で確認した。結果を表1に示す。
評価基準は、ガラス積層体を60℃の温水中での超音波洗浄中、ガラス積層体中に1mm2以上の気泡が発生するまでの時間であり、以下のとおりである。
○:30分間で発泡せず、且つ、ガラス積層体中に剥離が見られなかった。
×:5分未満で発泡し、且つ、ガラス積層体中に一部剥離が見られた。
(Ultrasonic test)
The glass laminates obtained in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 were subjected to ultrasonic cleaning in warm water at 60 ° C. for 30 minutes, and foaming and peeling phenomena in the glass laminate were visually confirmed. The results are shown in Table 1.
The evaluation criterion is the time until bubbles of 1 mm 2 or more are generated in the glass laminate during ultrasonic cleaning of the glass laminate in warm water at 60 ° C., and is as follows.
○: No foaming was observed in 30 minutes, and no peeling was observed in the glass laminate.
X: It foamed in less than 5 minutes and some peeling was seen in the glass laminated body.

(剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの間の剥離強度の測定)
実施例1乃至4、及び比較例1乃至2と同様の方法にて、厚み2mmのガラス板上に、厚み10μmの各実施例又は比較例の剥離樹脂層A、及び厚み25μmの保護樹脂層Bをこの順に積層させ、剥離強度測定用の試験片(幅50mm)を作製した。
この試験片に対し、株式会社インテスコ製 引張圧縮試験機「INTESCO 200X」を用いて、23℃、剥離速度を50mm/分に設定し、90度剥離方法で保護樹脂層Bをガラス板から剥離した際の引っ張り強度を剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの23℃での層間剥離強度とした。
上記剥離強度測定用の試験片に対し、温度60℃相対湿度30%に設定した恒温湿槽中で、株式会社インテスコ製 引張圧縮試験機「INTESCO 200X」を用いて、剥離速度を50mm/分に設定し、90度剥離方法で保護樹脂層Bを剥離樹脂層Aから剥離した際の引っ張り強度を、温度60℃相対湿度30%における剥離樹脂層Aと保護樹脂層Bとの層間剥離強度とした。結果を表1に示す。
剥離強度評価の際、剥離樹脂層Aが支持層から剥離する事はなく、保護樹脂層Bがガラス板から剥離する事もなかった。
(Measurement of Peeling Strength Between Peeling Resin Layer A and Protective Resin Layer B)
In the same manner as in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2, a release resin layer A of each example or comparative example having a thickness of 10 μm and a protective resin layer B having a thickness of 25 μm are formed on a glass plate having a thickness of 2 mm. Were laminated in this order to prepare a test piece (width 50 mm) for measuring peel strength.
For this test piece, using a tensile compression tester “INTESCO 200X” manufactured by Intesco Co., Ltd., the peeling rate was set at 23 ° C. and 50 mm / min, and the protective resin layer B was peeled off from the glass plate by a 90 ° peeling method. The tensile strength at that time was defined as the delamination strength at 23 ° C. between the release resin layer A and the protective resin layer B.
Using a tensile compression tester “INTESCO 200X” manufactured by Intesco Co., Ltd., in a constant temperature and humidity chamber set to a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 30%, the peel rate was set to 50 mm / min. The tensile strength at the time of setting and peeling the protective resin layer B from the peeling resin layer A by the 90 ° peeling method was taken as the delamination strength between the peeling resin layer A and the protective resin layer B at a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 30%. . The results are shown in Table 1.
In the evaluation of peel strength, the peel resin layer A did not peel from the support layer, and the protective resin layer B did not peel from the glass plate.

(加熱試験:発泡)
加熱試験(発泡)の評価基準は、ガラス積層体を230℃のオーブンに入れた時に、ガラス積層体中に1mm2以上の気泡が発生するまでの時間であり、以下のとおりである。結果を表1に示す。
○:1時間以上
△:5分以上1時間未満
×:5分未満
(剥離評価)
ガラス積層体の熱処理後の剥離可否評価基準は、ガラス積層体を230℃のオーブンで1時間熱処理を行い、温度23℃湿度50%RHの条件下に1時間放置した後に、支持層から保護樹脂層B/ガラス層積層体をガラス層が破損することなく、剥離できるかどうかであり、以下のとおりである。結果を表1に示す。
○:ガラス層が破損することなく、支持層から剥離できる。
×:支持層から剥離しようとすると、ガラス層が破損する。
(Heating test: Foaming)
The evaluation standard of the heating test (foaming) is the time until bubbles of 1 mm 2 or more are generated in the glass laminate when the glass laminate is placed in an oven at 230 ° C., and is as follows. The results are shown in Table 1.
○: 1 hour or more Δ: 5 minutes or more and less than 1 hour ×: 5 minutes or less (peeling evaluation)
The evaluation criteria for the peelability after heat treatment of the glass laminate is that the glass laminate is heat-treated in an oven at 230 ° C. for 1 hour and left for 1 hour under conditions of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50% RH, and then the protective resin is removed from the support layer. It is whether it can peel, without damaging a glass layer, and a layer B / glass layer laminated body is as follows. The results are shown in Table 1.
:: The glass layer can be peeled off from the support layer without breakage.
X: When it is going to peel from a support layer, a glass layer will be damaged.

Figure 0006551151
Figure 0006551151

(考察)
実施例1〜4及び比較例1〜2の結果から、剥離樹脂層Aの温度60℃での貯蔵弾性率(E’60)と温度23℃での貯蔵弾性率(E’23)の比(E’60/E’23)が8.0×10-1以下であり、且つE’23が10MPa以上であることで、超音波洗浄を施してもガラス積層体中の発泡や剥離の発生が抑制され、加熱試験を施してもガラス積層体中の気泡の発生が抑制され、且つ加熱試験後も、支持層から保護樹脂層B/ガラス層積層体をガラス層が破損することなく剥離可能なガラス積層体が得られることがわかった。
(Discussion)
From the results of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-2, the ratio of the storage elastic modulus (E ′ 60 ) at a temperature of 60 ° C. to the storage elastic modulus (E ′ 23 ) at a temperature of 23 ° C. ( E ′ 60 / E ′ 23 ) is 8.0 × 10 −1 or less, and E ′ 23 is 10 MPa or more, so that foaming and peeling in the glass laminate are not caused even when ultrasonic cleaning is performed. Even if a heating test is performed, generation of air bubbles in the glass laminate is suppressed, and even after the heating test, the protective resin layer B / glass layer laminate can be peeled off from the support layer without breakage of the glass layer. It was found that a glass laminate was obtained.

本発明によれば、電子デバイス形成工程において、真空、加熱などの外部環境の変化や洗浄等による物理的刺激があっても、樹脂層の剥離や気泡の発生が抑制され積層構造を維持することができ、また、電子デバイス形成後においても良好な剥離性を維持することができる、電子デバイス用基板として好適なガラス積層体が提供される。   According to the present invention, in the electronic device formation step, peeling of the resin layer and the generation of air bubbles are suppressed and the laminated structure is maintained even if there is a physical stimulus such as a change in external environment such as vacuum or heating or washing. The present invention also provides a glass laminate suitable as a substrate for an electronic device, capable of maintaining good releasability even after formation of the electronic device.

10、100 ガラス積層体
1、11 支持層
2、12 剥離樹脂層A
13 保護樹脂層B
3、14 ガラス層
15 接着層
10, 100 Glass laminate 1, 11 Support layer 2, 12 Peeling resin layer A
13 Protective resin layer B
3, 14 Glass layer 15 Adhesive layer

Claims (8)

支持層、剥離樹脂層A、厚みが10μm以上、200μm以下のガラス層をこの順に備えるガラス積層体であって、剥離樹脂層Aの温度60℃での貯蔵弾性率(E’60)と温度23℃での貯蔵弾性率(E’23)の比(E’60/E’23)が8.0×10−1以下であり、且つE’23が10MPa以上であることを特徴とするガラス積層体。 A glass laminate comprising a support layer, a release resin layer A, and a glass layer having a thickness of 10 μm or more and 200 μm or less in this order, and the storage elastic modulus (E ′ 60 ) of the release resin layer A at 60 ° C. and the temperature 23 Glass laminate characterized in that the ratio of storage elastic modulus (E ′ 23 ) at E ° C. (E ′ 60 / E ′ 23 ) is 8.0 × 10 −1 or less and E ′ 23 is 10 MPa or more. body. 前記剥離樹脂層Aの5%質量減少温度が250℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のガラス積層体。   The 5% mass loss temperature of the said peeling resin layer A is 250 degreeC or more, The glass laminated body of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記剥離樹脂層Aが、硬化性樹脂組成物を硬化した層であることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス積層体。   The said peeling resin layer A is a layer which hardened | cured the curable resin composition, The glass laminated body of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記ガラス層と剥離樹脂層Aの間に、さらに保護樹脂層Bを備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 3, further comprising a protective resin layer B between the glass layer and the peeling resin layer A. 前記保護樹脂層Bが、熱可塑性樹脂で構成されるフィルムであることを特徴とする請求項4に記載のガラス積層体。   The said protective resin layer B is a film comprised with a thermoplastic resin, The glass laminated body of Claim 4 characterized by the above-mentioned. 温度60℃、相対湿度30%の条件下における前記剥離樹脂層Aと前記保護樹脂層Bとの剥離強度が0.3N/50mm以上であることを特徴とする請求項4または5に記載のガラス積層体。   The glass according to claim 4 or 5, characterized in that the peel strength between the release resin layer A and the protective resin layer B at a temperature of 60 ° C and a relative humidity of 30% is 0.3 N / 50 mm or more. Laminated body. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス積層体から、剥離樹脂層A及び支持層を剥離するステップを含む、電子デバイス用基板の製造方法。   The manufacturing method of the board | substrate for electronic devices including the step which peels peeling resin layer A and a support layer from the glass laminated body of any one of Claims 1-6. 請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス積層体のガラス層上に電子デバイス部材を形成するステップ、及び  Forming an electronic device member on the glass layer of the glass laminate according to any one of claims 1 to 6, and
前記ガラス積層体から、前記剥離樹脂層A及び前記支持層を剥離するステップ、を含む、電子デバイスの製造方法。  And peeling the release resin layer A and the support layer from the glass laminate.
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