JP6456605B2 - 粒子検出装置 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態に係る粒子検出装置は、図1に示すように、チャンバ10と、チャンバ10に設けられた導入ノズル20と、導入ノズル20に対向してチャンバ10に設けられた排出ノズル30と、導入ノズル20から噴出するサンプル流体に光を照射し、サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構40と、チャンバ10に接続され、チャンバ10内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプ50と、軸方向に整列された導入ノズル20と排出ノズル30の間の流体の流速分布が、上記軸方向に関して対称となるよう、加圧用流体を整流する整流部材61と、を備える。ここで、流体は、気体又は液体である。
第2の実施の形態に係る粒子検出装置においては、図8に示すように、加圧用流体パイプ50がチャンバ10内に突出しておらず、加圧用流体パイプ50の末端は、チャンバ10の側壁に設けられた開口の外径部分に接続されている。加圧用流体パイプ50から供給された加圧用流体は、チャンバ10の側壁に設けられた開口から、チャンバ10内に供給される。例えば、加圧用流体が通過する開口が設けられたチャンバ10の側壁は、導入ノズル20と排出ノズル30の間のサンプル流体の流れ方向と略平行である。
第3の実施の形態に係る粒子検出装置においては、図14及び図15に示すように、加圧用流体パイプ50の末端は、チャンバ10の側壁に設けられた開口の外径部分に接続されている。加圧用流体パイプ50から供給された加圧用流体は、チャンバ10の側壁に設けられた開口から、チャンバ10内に供給される。例えば、加圧用流体が通過する開口が設けられたチャンバ10の側壁は、導入ノズル20と排出ノズル30の間のサンプル流体の流れ方向と略平行である。
第4の実施の形態に係る粒子検出装置においては、図18に示すように、加圧用流体パイプ50の末端は、チャンバ10の側壁に設けられた開口の外径部分に接続されている。加圧用流体パイプ50から供給された加圧用流体は、チャンバ10の側壁に設けられた開口から、チャンバ10内に供給される。例えば、加圧用流体が通過する開口が設けられたチャンバ10の側壁は、導入ノズル20と排出ノズル30の間のサンプル流体の流れ方向と略平行である。
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、整流部材61−64が配置されていない場合は、導入ノズル20と排出ノズル30が対向する位置よりも加圧用流体パイプ50の開口を遠ざける方が好ましいが、整流部材61−64を配置することにより、加圧用流体パイプ50をチャンバ10の任意の位置に接続することが可能となる。このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
20 導入ノズル
30 排出ノズル
40 検出機構
50 加圧用流体パイプ
61、62、63、64 整流部材
70 加圧用流体フィルタ
161 閉塞面
261A、261B、261C 開口
Claims (22)
- チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が、前記チャンバの前記軸方向と平行な一の側壁に設けられている、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記加圧用流体パイプの前記チャンバ内に突出している部分であり、前記加圧用流体パイプの前記チャンバ内に突出している部分の側壁に開口が設けられている、
粒子検出装置。 - 前記加圧用流体パイプの前記チャンバ内に突出している部分の側壁に前記開口が複数設けられている、請求項2に記載の粒子検出装置。
- 前記開口にメッシュが設けられている、請求項2又は3に記載の粒子検出装置。
- 前記開口にフィルタが設けられている、請求項2又は3に記載の粒子検出装置。
- 前記開口に多孔質部材が設けられている、請求項2又は3に記載の粒子検出装置。
- 前記チャンバ内に突出している前記加圧用流体パイプの末端が閉塞している、請求項2から6のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
- チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバに接続された前記加圧用流体パイプの開口に対向して配置された板である、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバに接続された前記加圧用流体パイプの開口に対向して配置されたメッシュである、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバに接続された前記加圧用流体パイプの開口に対向して配置されたフィルタである、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバに接続された前記加圧用流体パイプの開口に対向して配置された多孔質部材である、
粒子検出装置。 - 前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
請求項9から11のいずれか1項に記載の粒子検出装置。 - 前記検出機構の少なくとも一部が前記整流部材に設けられている、請求項8から12のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
- チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が、前記導入ノズル及び前記排出ノズルの間を少なくとも覆う筒状部材であり、
前記筒状部材の少なくとも一部がメッシュであり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が、前記導入ノズル及び前記排出ノズルの間を少なくとも覆う筒状部材であり、
前記筒状部材の少なくとも一部がフィルタであり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が、前記導入ノズル及び前記排出ノズルの間を少なくとも覆う筒状部材であり、
前記筒状部材の少なくとも一部が多孔質であり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - 前記検出機構の少なくとも一部が前記筒状部材に設けられている、請求項14から16のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
- チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバ内に配置された第2のチャンバであり、前記導入ノズル及び前記排出ノズルが前記第2のチャンバ内で対向しており、
前記第2のチャンバの少なくとも一部がメッシュであり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバ内に配置された第2のチャンバであり、前記導入ノズル及び前記排出ノズルが前記第2のチャンバ内で対向しており、
前記第2のチャンバの少なくとも一部がフィルタであり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - チャンバと、
前記チャンバに設けられた導入ノズルと、
前記チャンバに前記導入ノズルに対向して設けられた排出ノズルと、
前記導入ノズルから噴出するサンプル流体に光を照射し、前記サンプル流体に含まれる粒子を検出する検出機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内を加圧するための加圧用流体を供給するための加圧用流体パイプと、
軸方向に整列された前記導入ノズルと前記排出ノズルの間の流体の流速分布が、前記軸方向に関して対称となるよう、前記加圧用流体を整流する整流部材と、
を備え、
前記整流部材が前記チャンバ内に配置された第2のチャンバであり、前記導入ノズル及び前記排出ノズルが前記第2のチャンバ内で対向しており、
前記第2のチャンバの少なくとも一部が多孔質であり、
前記整流部材の空隙のそれぞれの直径の大きさが、前記導入ノズルの開口の直径よりも小さく、
前記整流部材の開口面積の総和が、前記加圧用流体パイプの断面積より大きい、
粒子検出装置。 - 前記検出機構の少なくとも一部が前記第2のチャンバに設けられている、請求項18から20のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
- 前記チャンバに供給される加圧用流体から粒子を除去する加圧用流体フィルタを更に備える、請求項1から21のいずれか1項に記載の粒子検出装置。
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