JP6454800B2 - Semiconductor device - Google Patents

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本発明は半導体装置に関し、例えば、環境電波を交流電源とし、当該交流電源から直流電源を生成する半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device, for example, a semiconductor device that uses an environmental radio wave as an AC power source and generates a DC power source from the AC power source.

近年、エネルギーの利用効率の向上への要求が高まっている。このエネルギーの利用効率の向上の方法の1つとして、環境電波をアンテナで受信し、受信した環境電波によりチャージポンプ型整流回路を動作させて電力を得るエネルギー回収方法がある。そこで、チャージポンプ型整流回路を利用したエネルギー回収技術の一例が特許文献1に開示されている。   In recent years, there has been an increasing demand for improvement in energy utilization efficiency. As one method of improving the energy utilization efficiency, there is an energy recovery method in which environmental radio waves are received by an antenna and a charge pump type rectifier circuit is operated by the received environmental radio waves to obtain electric power. An example of an energy recovery technique using a charge pump rectifier circuit is disclosed in Patent Document 1.

特許文献1のチャージポンプ型整流回路では、ダイオード接続したMOSトランジスタのゲート電極を,自身のソース電極あるいはドレイン電極に印加される交流信号と逆相の交流信号節点に交流的に接続する。また、このチャージポンプ型整流回路では、交流信号に直流バイアス電圧を重畳してゲート電極に印加する。これにより、このチャージポンプ型整流回路では、ダイオード回路の順方向動作時のON電圧及びON抵抗を低減するとともに逆方向リーク電流を低減して、高効率な交流直流電力変換を行う技術が開示されている。   In the charge pump type rectifier circuit of Patent Document 1, the gate electrode of a diode-connected MOS transistor is connected to an AC signal node having a phase opposite to that of an AC signal applied to its own source electrode or drain electrode. In this charge pump type rectifier circuit, a DC bias voltage is superimposed on an AC signal and applied to the gate electrode. As a result, in this charge pump type rectifier circuit, a technique for performing high-efficiency AC / DC power conversion by reducing ON voltage and ON resistance during forward operation of the diode circuit and reducing reverse leakage current is disclosed. ing.

特開2008−11584号公報JP 2008-11584 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、十分にリーク電流を低減できず、交流信号の変換効率が低下する問題があった。その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。   However, the technique described in Patent Document 1 has a problem in that the leakage current cannot be sufficiently reduced and the conversion efficiency of the AC signal is lowered. Other problems and novel features will become apparent from the description of the specification and the accompanying drawings.

一実施の形態によれば、半導体装置は、第1の電源配線と第2の電源配線との間に直列に接続されるNMOSトランジスタ及びPMOSトランジスタをそれぞれ含む第1、第2のトランジスタ列を有する。そして、一方のトランジスタ列のPMOSトランジスタのゲートを、他方のトランジスタ列のNMOSトランジスタとPMOSトランジスタとを接続する配線に接続する。また、トランジスタ列に含まれるNMOSトランジスタのゲートに対しては、同じトランジスタトランジスタ列に含まれるPMOSトランジスタのゲートよりも低い電圧のバイアス電圧に重畳した交流信号を与える。   According to one embodiment, a semiconductor device includes first and second transistor arrays each including an NMOS transistor and a PMOS transistor connected in series between a first power supply line and a second power supply line. . Then, the gate of the PMOS transistor in one transistor row is connected to a wiring connecting the NMOS transistor and the PMOS transistor in the other transistor row. Further, an alternating current signal superimposed on a bias voltage having a lower voltage than the gate of the PMOS transistor included in the same transistor transistor array is applied to the gate of the NMOS transistor included in the transistor array.

前記一実施の形態によれば、リーク電流を低減して、交流信号の変換効率を向上させることができる。   According to the embodiment, the leakage current can be reduced and the conversion efficiency of the AC signal can be improved.

実施の形態1にかかる半導体装置のブロック図である。1 is a block diagram of a semiconductor device according to a first embodiment; 実施の形態1にかかるバイアス回路の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of a bias circuit according to the first exemplary embodiment. 実施の形態1にかかる半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。3 is a timing chart illustrating an operation of the semiconductor device according to the first embodiment; 実施の形態1にかかる半導体装置における動作時の電流の変化を示すタイミングチャートである。3 is a timing chart showing changes in current during operation of the semiconductor device according to the first embodiment; 比較例にかかる半導体装置のブロック図である。It is a block diagram of the semiconductor device concerning a comparative example. 比較例にかかる半導体装置における動作時の電流の変化を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows change of current at the time of operation in a semiconductor device concerning a comparative example. 実施の形態2にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a semiconductor device according to a second embodiment. 実施の形態2にかかるバイアス回路の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of a bias circuit according to a second embodiment. 実施の形態3にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 6 is a block diagram of a semiconductor device according to a third embodiment. 実施の形態4にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 6 is a block diagram of a semiconductor device according to a fourth embodiment. 実施の形態5にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 9 is a block diagram of a semiconductor device according to a fifth embodiment. 実施の形態6にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 9 is a block diagram of a semiconductor device according to a sixth embodiment. 実施の形態7にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 10 is a block diagram of a semiconductor device according to a seventh embodiment. 実施の形態7にかかる半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。12 is a timing chart illustrating an operation of the semiconductor device according to the seventh embodiment; 実施の形態7にかかる半導体装置におけるリーク電流量のシミュレーションの条件を説明する図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a simulation condition of a leakage current amount in a semiconductor device according to a seventh embodiment; 実施の形態7にかかる半導体装置のリーク電流のシミュレーション結果を示すグラフである。12 is a graph showing a simulation result of leakage current of the semiconductor device according to the seventh embodiment; 実施の形態8にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 10 is a block diagram of a semiconductor device according to an eighth embodiment; 実施の形態9にかかる半導体装置のブロック図である。FIG. 10 is a block diagram of a semiconductor device according to a ninth embodiment.

実施の形態1
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。まず、実施の形態1にかかる半導体装置1は、チャージポンプ型整流回路(以下、単に、整流回路と称す)を有する。また、実施の形態1にかかる半導体装置1では、外部に設けられたアンテナにより環境電波に基づく交流信号を入力信号として受信する。そして、半導体装置1は、負荷回路に、この交流信号に基づき生成する電源電圧VDDを供給するものである。負荷回路は、整流回路と同一の半導体チップ上に形成されているか否かは問わないものである。
Embodiment 1
Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. First, the semiconductor device 1 according to the first embodiment includes a charge pump rectifier circuit (hereinafter simply referred to as a rectifier circuit). Further, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, an AC signal based on environmental radio waves is received as an input signal by an antenna provided outside. The semiconductor device 1 supplies the load circuit with the power supply voltage VDD generated based on the AC signal. It does not matter whether the load circuit is formed on the same semiconductor chip as the rectifier circuit.

また、以下の説明では、トランジスタの導電型について、第1導電型をN型、第2導電型をP型として説明する。しかし、N型、及びP型の一方の導電型を第1導電型とし、他方の導電型を第2導電型とした場合、第1導電型をP型、第2導電型をN型とすることもできる。   In the following description, the first conductivity type is N-type, and the second conductivity type is P-type. However, when one of the N-type and P-type conductivity is the first conductivity type and the other conductivity type is the second conductivity type, the first conductivity type is P-type and the second conductivity type is N-type. You can also.

さらに、以下の説明では、トランジスタのソース、ドレインの一方を第1のトランジスタ端子、ソース、ドレインの他方を第2のトランジスタ端子と称す。以下の説明では、PMOSトランジスタのソース、ドレインうち、第2の電源配線Lp2側の配線に接続される端子を第1のトランジスタ端子、第1の電源配線Lp1側の配線に接続される端子を第2のトランジスタ端子と、称して説明を行う。また、NMOSトランジスタのソース、ドレインのうち、第1の電源配線Lp1側の配線に接続される端子を第1のトランジスタ端子、第2の電源配線Lp2側の配線に接続される端子を第2のトランジスタ端子と、称して説明を行う。   Furthermore, in the following description, one of a source and a drain of a transistor is referred to as a first transistor terminal, and the other of the source and the drain is referred to as a second transistor terminal. In the following description, of the source and drain of the PMOS transistor, the terminal connected to the second power supply wiring Lp2 side wiring is the first transistor terminal, and the terminal connected to the first power supply wiring Lp1 side wiring is the first. This will be referred to as a transistor terminal 2. Of the source and drain of the NMOS transistor, the terminal connected to the wiring on the first power supply wiring Lp1 side is the first transistor terminal, and the terminal connected to the wiring on the second power supply wiring Lp2 side is the second. This will be referred to as a transistor terminal.

図1に実施の形態1にかかる半導体装置1のブロック図を示す。図1に示すように、実施の形態1にかかる半導体装置1は、整流回路10、バイアス回路12、負荷13を有する。また、図1では、交流信号源11を示した。この交流信号源11は、例えば、アンテナであって、環境電波を受信して差動の交流信号を生成するものである。また、バイアス回路12は、整流回路10と同一の半導体チップ上に設けられているか否かは問わない。   FIG. 1 shows a block diagram of a semiconductor device 1 according to the first embodiment. As illustrated in FIG. 1, the semiconductor device 1 according to the first embodiment includes a rectifier circuit 10, a bias circuit 12, and a load 13. In FIG. 1, the AC signal source 11 is shown. The AC signal source 11 is an antenna, for example, and receives an environmental radio wave and generates a differential AC signal. It does not matter whether the bias circuit 12 is provided on the same semiconductor chip as the rectifier circuit 10 or not.

バイアス回路12は、バイアス電圧Vbを生成し、バイアス電圧Vbに交流信号源11から出力される交流信号を重畳して出力する。負荷13は、例えば、機能回路等の実際の演算処理を行う回路であって、整流回路10が出力した電源電圧VDDを動作電源とするものである。   The bias circuit 12 generates a bias voltage Vb, and superimposes and outputs an AC signal output from the AC signal source 11 on the bias voltage Vb. The load 13 is a circuit that performs actual arithmetic processing such as a functional circuit, for example, and uses the power supply voltage VDD output from the rectifier circuit 10 as an operation power supply.

整流回路10は、第1のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN1)、第2のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN2)、第3のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP1)、第4のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP2)、第1のコンデンサC1、第2のコンデンサC2、第3のコンデンサC3、を有する。また、整流回路10では、第1の電源配線Lp1、第2の電源配線Lp2、第1の入力配線Li1、第2の入力配線Li2、第1の素子間配線L1、第2の素子間配線L2を有する。   The rectifier circuit 10 includes a first transistor (for example, NMOS transistor MN1), a second transistor (for example, NMOS transistor MN2), a third transistor (for example, PMOS transistor MP1), and a fourth transistor (for example, PMOS transistor). MP2), a first capacitor C1, a second capacitor C2, and a third capacitor C3. In the rectifier circuit 10, the first power supply line Lp1, the second power supply line Lp2, the first input line Li1, the second input line Li2, the first inter-element line L1, and the second inter-element line L2 are provided. Have

図1では、整流回路10の端子として、第1の入力端子IN1、第2の入力端子IN2、第1の出力端子OUT1、第2の出力端子OUT2を示した。これら端子は、整流回路10の説明上示したものであり、半導体チップに整流回路10及びその他回路ブロックを形成した場合は明確に設けられるものではない。第1の入力端子IN1は第1の入力配線Li1上に設けられ、第2の入力端子IN2は第2の入力配線Li2上に設けられ、第1の出力端子OUT1は第2の電源配線Lp2上に設けられ、第2の出力端子OUT2は第1の電源配線Lp1上に設けられるものである。   In FIG. 1, the first input terminal IN1, the second input terminal IN2, the first output terminal OUT1, and the second output terminal OUT2 are illustrated as the terminals of the rectifier circuit 10. These terminals are shown in the description of the rectifier circuit 10 and are not clearly provided when the rectifier circuit 10 and other circuit blocks are formed on the semiconductor chip. The first input terminal IN1 is provided on the first input line Li1, the second input terminal IN2 is provided on the second input line Li2, and the first output terminal OUT1 is on the second power supply line Lp2. The second output terminal OUT2 is provided on the first power supply line Lp1.

第1の入力配線Li1及び第2の入力配線Li2には、位相が互いに反転する交流信号が伝達される。図1に示す例では、第1の入力配線Li1及び第2の入力配線Li2には、バイアス回路12によりバイアス電圧Vbに重畳された交流信号(例えば、電圧値がVb+vin、或いは、Vb−vinとなる信号)が伝達される。   AC signals whose phases are inverted from each other are transmitted to the first input wiring Li1 and the second input wiring Li2. In the example illustrated in FIG. 1, the first input wiring Li1 and the second input wiring Li2 are connected to the AC signal superimposed on the bias voltage Vb by the bias circuit 12 (for example, the voltage value is Vb + vin or Vb−vin). Signal) is transmitted.

NMOSトランジスタMN1は、第1の電源配線(例えば、接地電圧GNDが供給される接地配線)に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1の入力配線Li1が接続される。NMOSトランジスタMN2は、第1の電源配線Lp1に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第2の入力配線Li2が接続される。   In the NMOS transistor MN1, a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring (for example, a ground wiring to which the ground voltage GND is supplied), and a first input wiring Li1 is connected to a gate. In the NMOS transistor MN2, the first transistor terminal is connected to the first power supply line Lp1, and the second input line Li2 is connected to the gate.

第1のコンデンサC1は、一端が第1の入力配線Li1に接続される。第2のコンデンサC2は、一端が第2の入力配線Li2に接続される。   One end of the first capacitor C1 is connected to the first input wiring Li1. One end of the second capacitor C2 is connected to the second input wiring Li2.

PMOSトランジスタMP1は、第2の電源配線Lp2(例えば、電源電圧VDDが生成される電源配線)に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1のコンデンサC1の他端が接続される。PMOSトランジスタMP2は、第2の電源配線Lp2に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第2のコンデンサC2の他端が接続される。   In the PMOS transistor MP1, a first transistor terminal is connected to a second power supply line Lp2 (for example, a power supply line that generates the power supply voltage VDD), and the other end of the first capacitor C1 is connected to a gate. In the PMOS transistor MP2, the first transistor terminal is connected to the second power supply line Lp2, and the other end of the second capacitor C2 is connected to the gate.

そして、整流回路10では、第1の素子間配線L1が、NMOSトランジスタMN2の第2のトランジスタ端子、PMOSトランジスタMP2の第2のトランジスタ端子、及び、PMOSトランジスタMP1のゲートを接続する。また、第2の素子間配線L2は、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子、PMOSトランジスタMP1の第2のトランジスタ端子、及び、PMOSトランジスタMP2のゲートを接続する。また、整流回路10では、第3のコンデンサC3が、第1の電源配線Lp1と第2の電源配線Lp2との間に接続される。   In the rectifier circuit 10, the first inter-element wiring L1 connects the second transistor terminal of the NMOS transistor MN2, the second transistor terminal of the PMOS transistor MP2, and the gate of the PMOS transistor MP1. The second inter-element wiring L2 connects the second transistor terminal of the NMOS transistor MN1, the second transistor terminal of the PMOS transistor MP1, and the gate of the PMOS transistor MP2. In the rectifier circuit 10, the third capacitor C3 is connected between the first power supply line Lp1 and the second power supply line Lp2.

ここで、バイアス回路12の回路構成の一例について説明する。そこで、バイアス回路12の一例を示す回路図を図2に示す。図2に示すように、バイアス回路12は、抵抗R1〜R4を有する。また、図2では、バイアス回路12の端子として第1の端子T1〜第4の端子T4を示した。   Here, an example of the circuit configuration of the bias circuit 12 will be described. A circuit diagram showing an example of the bias circuit 12 is shown in FIG. As shown in FIG. 2, the bias circuit 12 has resistors R1 to R4. In FIG. 2, the first terminal T <b> 1 to the fourth terminal T <b> 4 are shown as terminals of the bias circuit 12.

抵抗R3、R4は、電源電圧VDDが供給される電源配線と、接地電圧GNDが供給される接地配線との間に直列に接続される。そして、抵抗R3、R4を接続する接点には、電源電圧VDDを抵抗R3、R4の抵抗比で分圧した電圧値を有するバイアス電圧Vbが生成される。   The resistors R3 and R4 are connected in series between a power supply wiring to which the power supply voltage VDD is supplied and a ground wiring to which the ground voltage GND is supplied. A bias voltage Vb having a voltage value obtained by dividing the power supply voltage VDD by the resistance ratio of the resistors R3 and R4 is generated at the contact point connecting the resistors R3 and R4.

抵抗R1、R2は、第1の端子T1と第3の端子T3とを接続する配線と、第2の端子T2と第4の端子T4とを接続する配線と、の間に直列に接続される。そして、抵抗R1、R2を接続する接点と、抵抗R3、R4とを接続する接点とが互いに接続される。これにより、抵抗R1、R2を接続する接点にバイアス電圧Vbが与えられ、このバイアス電圧Vbに交流信号vinが重畳される。   The resistors R1 and R2 are connected in series between the wiring that connects the first terminal T1 and the third terminal T3 and the wiring that connects the second terminal T2 and the fourth terminal T4. . And the contact which connects resistance R1, R2 and the contact which connects resistance R3, R4 are mutually connected. As a result, the bias voltage Vb is applied to the contact connecting the resistors R1 and R2, and the AC signal vin is superimposed on the bias voltage Vb.

続いて、実施の形態1にかかる半導体装置1の動作について説明する。そこで、実施の形態1にかかる半導体装置1の動作を示すタイミングチャートを図3に示す。半導体装置1では、NMOSトランジスタMN1及びPMOSトランジスタMP1が第1のチャージポンプ回路として機能し、NMOSトランジスタMN2及びPMOSトランジスタMP2が第2のチャージポンプ回路として機能する。そして、半導体装置1では、第1のチャージポンプ回路と第2のチャージポンプ回路が相補的に動作する。そこで、図3では、半導体装置1の動作のうち、NMOSトランジスタMN1及びPMOSトランジスタMP2の動作のみを示した。また、図3に示す例ではバイアス電圧Vbを0Vとした例である。   Next, the operation of the semiconductor device 1 according to the first embodiment will be described. FIG. 3 shows a timing chart showing the operation of the semiconductor device 1 according to the first embodiment. In the semiconductor device 1, the NMOS transistor MN1 and the PMOS transistor MP1 function as a first charge pump circuit, and the NMOS transistor MN2 and the PMOS transistor MP2 function as a second charge pump circuit. In the semiconductor device 1, the first charge pump circuit and the second charge pump circuit operate complementarily. Therefore, FIG. 3 shows only the operations of the NMOS transistor MN1 and the PMOS transistor MP2 among the operations of the semiconductor device 1. In the example shown in FIG. 3, the bias voltage Vb is 0V.

図3に示すように、半導体装置1では、NMOSトランジスタMN1とPMOSトランジスタMP2に互いに位相が反転する交流信号が入力される。また、PMOSトランジスタMP2のゲートに入力される信号はコモン電圧Vcmを振幅中心とした信号が入力される。一方、NMOSトランジスタMN1のゲートに入力される交流信号はコモン電圧Vcmよりも低い電圧値を有するバイアス電圧Vbを振幅の中心とした信号となる。図3に示す例は、バイアス電圧Vbを0Vとした例である。   As shown in FIG. 3, in the semiconductor device 1, alternating current signals whose phases are inverted are input to the NMOS transistor MN1 and the PMOS transistor MP2. Further, the signal input to the gate of the PMOS transistor MP2 is input with the common voltage Vcm as the center of amplitude. On the other hand, the AC signal input to the gate of the NMOS transistor MN1 is a signal centered on the amplitude of the bias voltage Vb having a voltage value lower than the common voltage Vcm. The example shown in FIG. 3 is an example in which the bias voltage Vb is set to 0V.

そして、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子の電圧は、コモン電圧Vcmを振幅中心とし、ゲートに入力される交流信号とは位相が反転した波形となる。また、NMOSトランジスタMN1の第1のトランジスタ端子の電圧は、接地配線に接続されているため、接地電圧(例えば、0V)を維持する。   The voltage of the second transistor terminal of the NMOS transistor MN1 has a waveform whose center is the amplitude of the common voltage Vcm and whose phase is inverted from that of the AC signal input to the gate. Further, since the voltage of the first transistor terminal of the NMOS transistor MN1 is connected to the ground wiring, the ground voltage (for example, 0 V) is maintained.

一方、PMOSトランジスタMP2の第2のトランジスタ端子の電圧は、コモン電圧Vcmを振幅中心とし、ゲートに入力される交流信号とは位相が反転した波形となる。そして、PMOSトランジスタMP2の第1のトランジスタ端子の電圧は、信号の周期に合わせて一定の電圧値まで上昇する波形となる。   On the other hand, the voltage of the second transistor terminal of the PMOS transistor MP2 has a waveform whose center is the amplitude of the common voltage Vcm and whose phase is inverted from that of the AC signal input to the gate. The voltage of the first transistor terminal of the PMOS transistor MP2 has a waveform that rises to a constant voltage value in accordance with the signal period.

より詳細には半導体装置1の動作は、以下のようになる。NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子とゲートとの間に、NMOSトランジスタMN1の閾値以上の電圧が与えられるとNMOSトランジスタMN1は、オン状態となる。そして、NMOSトランジスタMN1の第1のトランジスタ端子から第2のトランジスタ端子にドレイン電流ID1が流れる。NMOSトランジスタMN1のゲートにNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上の電圧が与えられている期間は、第2のコンデンサC2の一端には低い電圧レベルの交流信号(NMOSトランジスタMN1のゲートに与えられている電圧を反転させた信号)が与えられている。そのため、第2のコンデンサC2は、このドレイン電流ID1により充電される。   More specifically, the operation of the semiconductor device 1 is as follows. When a voltage equal to or higher than the threshold value of the NMOS transistor MN1 is applied between the second transistor terminal and the gate of the NMOS transistor MN1, the NMOS transistor MN1 is turned on. A drain current ID1 flows from the first transistor terminal of the NMOS transistor MN1 to the second transistor terminal. During a period in which a voltage equal to or higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1 is applied to the gate of the NMOS transistor MN1, a low voltage level AC signal (a voltage applied to the gate of the NMOS transistor MN1) is applied to one end of the second capacitor C2. (Inverted signal). Therefore, the second capacitor C2 is charged by this drain current ID1.

一方、NMOSトランジスタMN1のゲートにNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上の電圧が与えられている期間は、PMOSトランジスタMP2の第1のトランジスタ端子と制御端子との間にPMOSトランジスタMP2の閾値電圧以上の電圧が与えられている。そのため、PMOSトランジスタMP2はオン状態となり、ドレイン電流ID2が流れる。このとき、第1のコンデンサC1の一端には、高い電圧レベルの交流信号(NMOSトランジスタMN1のゲートに与えられている信号)が与えられている。そのため、その前の交流信号の周期において第1のコンデンサC1に充電された電荷により、PMOSトランジスタMP2を介して第3のコンデンサC3に充電される。この第3のコンデンサC3への充電電流がドレイン電流ID2である。   On the other hand, during a period when the gate of the NMOS transistor MN1 is supplied with a voltage equal to or higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1, a voltage higher than the threshold voltage of the PMOS transistor MP2 is provided between the first transistor terminal and the control terminal of the PMOS transistor MP2. Is given. Therefore, the PMOS transistor MP2 is turned on, and the drain current ID2 flows. At this time, a high voltage AC signal (a signal given to the gate of the NMOS transistor MN1) is given to one end of the first capacitor C1. Therefore, the third capacitor C3 is charged via the PMOS transistor MP2 by the charge charged in the first capacitor C1 in the previous AC signal cycle. The charging current for the third capacitor C3 is the drain current ID2.

上記のような動作により、半導体装置1では、図3のハッチングで示した期間に、ドレイン電流ID1による第2のコンデンサC2への充電、及び、ドレイン電流ID2による第3のコンデンサC3への充電が行われる。なお、図3のハッチングで示した期間同士の間は、NMOSトランジスタMN2に流れるドレイン電流ID3(図1では不図示)による第1のコンデンサC1への充電、及び、PMOSトランジスタMP1に流れるドレイン電流ID4(図1では不図示)による第3のコンデンサC3への充電が行われる。   With the operation as described above, in the semiconductor device 1, during the period indicated by hatching in FIG. 3, the second capacitor C2 is charged by the drain current ID1 and the third capacitor C3 is charged by the drain current ID2. Done. During the periods indicated by hatching in FIG. 3, the first capacitor C1 is charged by the drain current ID3 (not shown in FIG. 1) flowing in the NMOS transistor MN2, and the drain current ID4 flowing in the PMOS transistor MP1. The third capacitor C3 is charged by (not shown in FIG. 1).

実施の形態1にかかる半導体装置1では、上記動作を行う際に、交流信号の極性の切り替わり時の近傍で発生するリーク電流を削減することができる。このリーク電流は、半導体装置1に交流信号が入力されている期間に発生するものであり、以下では、ダイナミックリーク電流と称す。そこで、ダイナミックリーク電流に関する説明を以下で行う。   In the semiconductor device 1 according to the first embodiment, when performing the above-described operation, it is possible to reduce the leakage current that occurs in the vicinity of the switching of the polarity of the AC signal. This leakage current is generated during a period in which an AC signal is input to the semiconductor device 1 and is hereinafter referred to as a dynamic leakage current. Therefore, the dynamic leak current will be described below.

図4に実施の形態1にかかる半導体装置における動作時の電流の変化を示すタイミングチャートを示す。このタイミングチャートは、シミュレーションに得られた結果である。図4では、上段のタイミングチャートにNMOSトランジスタMN1のゲートに入力される交流信号V01と、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子の電圧V02(或いは、PMOSトランジスタMP2のゲートに入力される交流信号)とを示した。図4の下段のタイミングチャートがドレイン電流ID1の変化を示すタイミングチャートである。   FIG. 4 is a timing chart showing changes in current during operation of the semiconductor device according to the first embodiment. This timing chart is a result obtained by simulation. In FIG. 4, in the upper timing chart, the AC signal V01 input to the gate of the NMOS transistor MN1 and the voltage V02 of the second transistor terminal of the NMOS transistor MN1 (or the AC signal input to the gate of the PMOS transistor MP2). And showed. The lower timing chart of FIG. 4 is a timing chart showing changes in the drain current ID1.

図4に示すように、実施の形態1にかかる半導体装置1では、MOSトランジスタMN1のゲートに入力される交流信号V01がMOSトランジスタMN1のゲートに印加され、MOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子とゲートとの間の電圧がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上となっている期間にドレイン電流ID1が流れる。しかし、NMOSトランジスタMN1は、第1のトランジスタ端子と第2のトランジスタ端子の電圧関係に依存してドレイン電流ID1の流れる方向が変わる。より具体的には、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子とゲートの間の電圧がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧よりも大きく、かつ、第1のトランジスタ端子の電圧が第2のトランジスタ端子の電圧よりも高ければ、第2のトランジスタ端子から第1のトランジスタ端子に向かって(図1の矢印方向)ドレイン電流ID1が流れる。一方、NMOSトランジスタMN1の第1のトランジスタ端子とゲートの間の電圧がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧よりも大きく、かつ、第2のトランジスタ端子の電圧が第1のトランジスタ端子の電圧よりも高ければ、第2のトランジスタ端子から第1のトランジスタ端子に向かって(図1の矢印方向と逆の方向)ドレイン電流ID1が流れる。   As shown in FIG. 4, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, the AC signal V01 input to the gate of the MOS transistor MN1 is applied to the gate of the MOS transistor MN1, and the second transistor terminal of the MOS transistor MN1 The drain current ID1 flows during a period in which the voltage between the gate and the NMOS transistor MN1 is equal to or higher than the threshold voltage. However, in the NMOS transistor MN1, the direction in which the drain current ID1 flows changes depending on the voltage relationship between the first transistor terminal and the second transistor terminal. More specifically, the voltage between the second transistor terminal and the gate of the NMOS transistor MN1 is higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1, and the voltage at the first transistor terminal is higher than the voltage at the second transistor terminal. If higher, a drain current ID1 flows from the second transistor terminal toward the first transistor terminal (in the direction of the arrow in FIG. 1). On the other hand, if the voltage between the first transistor terminal and the gate of the NMOS transistor MN1 is larger than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1, and the voltage of the second transistor terminal is higher than the voltage of the first transistor terminal, A drain current ID1 flows from the second transistor terminal toward the first transistor terminal (the direction opposite to the arrow direction in FIG. 1).

以上のようなことから、交流信号V01がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上となる期間の開始時点及び終了時点に近い期間TM11、TM12では、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子の電圧V02がNMOSトランジスタMN1の第1のトランジスタ端子の電圧(図4の場合は0V)より高く、ドレイン電流ID1が逆方向(第2のトランジスタ端子から第1のトランジスタ端子に向かう方向)に流れる。そのため、実施の形態1にかかる半導体装置1においてドレイン電流ID1により第2のコンデンサC2の充電が行われる期間は、交流信号V01がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上となっている期間のうち第2のトランジスタ端子の電圧V02が0V以下となる期間TM21となる。なお、この期間TM11、TM12では、NMOSトランジスタMN1が導通状態となり、第2の素子間配線L2から第1の電源配線Lp1に向かって逆方向に流れる電流が発生し、第2のコンデンサC2に蓄えられた電荷の一部がリーク電流となって失われる。   As described above, in the periods TM11 and TM12 close to the start time and end time of the period in which the AC signal V01 is equal to or higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1, the voltage V02 at the second transistor terminal of the NMOS transistor MN1 is the NMOS transistor. The voltage is higher than the voltage of the first transistor terminal of MN1 (0V in the case of FIG. 4), and the drain current ID1 flows in the reverse direction (direction from the second transistor terminal toward the first transistor terminal). Therefore, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, the period during which the second capacitor C2 is charged by the drain current ID1 is the second period in which the AC signal V01 is equal to or higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1. The period TM21 during which the transistor terminal voltage V02 is 0 V or less is entered. During the periods TM11 and TM12, the NMOS transistor MN1 is turned on, and a current flowing in the reverse direction from the second inter-element wiring L2 toward the first power supply wiring Lp1 is generated and stored in the second capacitor C2. Part of the generated charge is lost as a leakage current.

しかしながら、実施の形態1にかかる半導体装置1では、後述する比較例と比較して、交流信号の1周期に占めるこの期間TM11、TM12の時間が非常に短い。そのため、実施の形態1にかかる半導体装置1は、後述する比較例と比較して、交流信号の1周期中の充電電流の和に対するリーク電流の発生量を極めて小さくすることができる。そこで、比較例として、NMOSトランジスタMN1のゲートに与える交流信号と、PMOSトランジスタMP2のゲートに与える交流信号と、のバイアス電圧を共にコモン電圧Vcmとした場合の動作について説明する。   However, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, the time of the periods TM11 and TM12 occupying one cycle of the AC signal is very short as compared with a comparative example described later. Therefore, the semiconductor device 1 according to the first embodiment can extremely reduce the amount of leakage current generated with respect to the sum of the charging currents in one cycle of the AC signal, as compared with a comparative example described later. Therefore, as a comparative example, an operation in the case where the bias voltage of the AC signal applied to the gate of the NMOS transistor MN1 and the AC signal applied to the gate of the PMOS transistor MP2 is both set to the common voltage Vcm will be described.

そこで、比較例にかかる半導体装置100の回路図を図5に示す。図5に示すように、半導体装置100は、NMOSトランジスタMN1のゲートとPMOSトランジスタMP1のゲートが共通接続され、コンデンサC1を介してこれらトランジスタに交流信号が与えられる。また、NMOSトランジスタMN2のゲートとPMOSトランジスタMP2のゲートも共通接続され、コンデンサC2を介してこれらトランジスタ交流信号が与えられる。   A circuit diagram of the semiconductor device 100 according to the comparative example is shown in FIG. As shown in FIG. 5, in the semiconductor device 100, the gate of the NMOS transistor MN1 and the gate of the PMOS transistor MP1 are connected in common, and an AC signal is given to these transistors via the capacitor C1. Further, the gate of the NMOS transistor MN2 and the gate of the PMOS transistor MP2 are connected in common, and these transistor AC signals are given through the capacitor C2.

続いて、図5に示した比較例にかかる半導体装置100における動作時の電流の変化を示すタイミングチャートを図6に示す。図6に示すタイミングチャートは、図4に示したシミュレーションと同じシミュレーションを図5の比較例にかかる半導体装置100に対して行ったものである。   Next, FIG. 6 shows a timing chart showing changes in current during operation of the semiconductor device 100 according to the comparative example shown in FIG. The timing chart shown in FIG. 6 is obtained by performing the same simulation as the simulation shown in FIG. 4 on the semiconductor device 100 according to the comparative example of FIG.

図6に示すように、比較例にかかる半導体装置100は、トランジスタのゲートに入力される交流信号がともにコモン電圧Vcmを中心とする振幅を有する。そのため、比較例にかかる半導体装置100では、交流信号V01がNMOSトランジスタMN1の閾値電圧以上となり、かつ、第2のトランジスタ端子の電圧V02が0V以上となる期間TM11、TM12の長さが、図4に示した期間TM11、TM12よりも長くなる。これにより、比較例にかかる半導体装置100では、ドレイン電流ID1が逆方向に流れる期間が実施の形態1にかかる半導体装置1よりも多くなる問題がある。つまり、比較例にかかる半導体装置100は、第2のコンデンサC2に蓄えられた電荷の一部が第1の電源配線Lp1に向かって流れるリーク電流が図4に示した例に比べて多く流れる問題がある。   As shown in FIG. 6, in the semiconductor device 100 according to the comparative example, both of the AC signals input to the gates of the transistors have an amplitude centered on the common voltage Vcm. Therefore, in the semiconductor device 100 according to the comparative example, the lengths of the periods TM11 and TM12 in which the AC signal V01 is equal to or higher than the threshold voltage of the NMOS transistor MN1 and the voltage V02 of the second transistor terminal is 0 V or higher are shown in FIG. It becomes longer than the periods TM11 and TM12 shown in FIG. As a result, the semiconductor device 100 according to the comparative example has a problem that the period during which the drain current ID1 flows in the reverse direction is longer than that of the semiconductor device 1 according to the first embodiment. That is, the semiconductor device 100 according to the comparative example has a problem in which a part of the charge stored in the second capacitor C2 flows more than the example illustrated in FIG. 4 in which the leakage current that flows toward the first power supply line Lp1 flows. There is.

上記説明より、実施の形態1にかかる半導体装置1は、NMOSトランジスタのゲートに与える交流信号のバイアス電圧VbをPMOSトランジスタのゲートに与えるバイアス電圧(例えば、コモン電圧Vcm)よりも低くする。これにより、実施の形態1にかかる半導体装置1は、NMOSトランジスタにおいて発生する逆方向の電流(リーク電流)を削減して交流信号の変換効率を向上させることができる。   From the above description, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, the bias voltage Vb of the AC signal applied to the gate of the NMOS transistor is set lower than the bias voltage (for example, the common voltage Vcm) applied to the gate of the PMOS transistor. Thereby, the semiconductor device 1 according to the first embodiment can reduce the reverse current (leakage current) generated in the NMOS transistor and improve the conversion efficiency of the AC signal.

特に、振幅が小さい環境電波を用いてエネルギー回収を行う場合、トランジスタに入力される交流信号の振幅は非常に小さく、さらに、この交流信号の立ち上がり及び立ち下がりは緩やかな電圧変化となる。このような場合、交流信号の極性切り替わりタイミング付近においてNMOSトランジスタの第2のトランジスタ端子の電圧が第1のトランジスタ端子の電圧よりも高くなる期間は長くなる傾向にある。しかしながら、実施の形態1にかかる半導体装置1では、上記のような構成及び動作により、交流信号の極性切り替わりタイミング付近においてNMOSトランジスタの第2のトランジスタ端子の電圧が第1のトランジスタ端子の電圧よりも高くなる期間を極めて短くすることができる。つまり、実施の形態1にかかる半導体装置1は、微少振幅の交流信号からエネルギー回収を行う際に特に効率を向上させる効果が大きくなるものである。   In particular, when energy recovery is performed using an environmental radio wave having a small amplitude, the amplitude of the AC signal input to the transistor is very small, and the rising and falling of the AC signal are gradual voltage changes. In such a case, the period in which the voltage of the second transistor terminal of the NMOS transistor is higher than the voltage of the first transistor terminal tends to be longer in the vicinity of the polarity switching timing of the AC signal. However, in the semiconductor device 1 according to the first embodiment, the voltage at the second transistor terminal of the NMOS transistor is higher than the voltage at the first transistor terminal near the timing of switching the polarity of the AC signal due to the configuration and operation as described above. The period of increase can be made extremely short. In other words, the semiconductor device 1 according to the first embodiment has a great effect of improving efficiency particularly when energy is recovered from an AC signal having a small amplitude.

ここで、特許文献1においても、NMOSトランジスタとPMOSトランジスタとに異なるバイアス電圧を与える技術が開示されている。しかしながら、特許文献1の整流回路では、トランジスタのゲート毎に直流電圧成分を遮断するコンデンサと、バイアス電圧を与える抵抗とを設ける。このような構成とした場合、コンデンサと抵抗をチップ上に設けなければならずチップ面積が増大する問題が発生する。例えば、特許文献1に記載の整流回路において、実施の形態1にかかる半導体装置1と同等のリーク削減効果を得ようとする場合、シミュレーション上では、数MΩの抵抗値を有する抵抗値を用いる必要があり、チップ面積の増加が著しいことが検証によりわかった。   Here, Patent Document 1 also discloses a technique for applying different bias voltages to an NMOS transistor and a PMOS transistor. However, in the rectifier circuit of Patent Document 1, a capacitor for cutting off a DC voltage component and a resistor for applying a bias voltage are provided for each gate of the transistor. In such a configuration, a capacitor and a resistor must be provided on the chip, which causes a problem that the chip area increases. For example, in the rectifier circuit described in Patent Document 1, when trying to obtain a leakage reduction effect equivalent to that of the semiconductor device 1 according to the first embodiment, it is necessary to use a resistance value having a resistance value of several MΩ on the simulation. As a result of the verification, it was found that the increase in the chip area was remarkable.

一方、実施の形態1にかかる半導体装置1は、抵抗及びコンデンサを用いずにゲートとコンデンサとの接続方法及び第1の素子間配線L1及び第2の素子間配線L2による素子間配線により高いリーク電流削減効果を得られるため、特許文献1に記載の整流回路よりもチップ面積を小さくできる。   On the other hand, the semiconductor device 1 according to the first embodiment has a higher leakage due to the connection method between the gate and the capacitor without using the resistor and the capacitor and the inter-element wiring by the first inter-element wiring L1 and the second inter-element wiring L2. Since a current reduction effect can be obtained, the chip area can be made smaller than that of the rectifier circuit described in Patent Document 1.

実施の形態2
実施の形態2では、半導体装置1の別の形態について説明する。なお、実施の形態2の説明において、実施の形態1で説明した構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略する。
Embodiment 2
In the second embodiment, another form of the semiconductor device 1 will be described. In the description of the second embodiment, the same components as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

実施の形態2にかかる半導体装置2のブロック図を図7に示す。図7に示すように、実施の形態2にかかる半導体装置2は、実施の形態1にかかるバイアス回路12をバイアス回路20に置き換えたものである。バイアス回路20は、共振回路を用いて交流信号源11が出力する交流信号にバイアス電圧Vbを付加する。   FIG. 7 shows a block diagram of the semiconductor device 2 according to the second embodiment. As illustrated in FIG. 7, the semiconductor device 2 according to the second embodiment is obtained by replacing the bias circuit 12 according to the first embodiment with a bias circuit 20. The bias circuit 20 adds a bias voltage Vb to the AC signal output from the AC signal source 11 using a resonance circuit.

このバイアス回路20の回路の一例を図8に示す。図8に示すように、バイアス回路20は、インダクタL1〜L6を有する。また、図8では、バイアス回路20の端子として第1の端子T1〜第4の端子T4を示した。   An example of the bias circuit 20 is shown in FIG. As shown in FIG. 8, the bias circuit 20 includes inductors L1 to L6. In FIG. 8, the first terminal T <b> 1 to the fourth terminal T <b> 4 are shown as the terminals of the bias circuit 20.

インダクタL1、L3は、第1の端子T1と第3の端子T3との間に直列に接続される。インダクタL2、L4は、第2の端子T2と第4の端子T4との間に直列に接続される。インダクタL5、L6は、インダクタL1とインダクタL3とを接続する配線と、インダクタL2とインダクタL4とを接続する配線と、の間に直列に接続される。そして、インダクタL5とインダクタL6とを接続する配線にバイアス電圧Vbとして接地電圧GNDが供給される。これにより、バイアス回路20は、バイアス電圧Vbとして接地電圧GNDに交流信号を重畳する。   The inductors L1 and L3 are connected in series between the first terminal T1 and the third terminal T3. The inductors L2 and L4 are connected in series between the second terminal T2 and the fourth terminal T4. The inductors L5 and L6 are connected in series between a wiring connecting the inductor L1 and the inductor L3 and a wiring connecting the inductor L2 and the inductor L4. The ground voltage GND is supplied as the bias voltage Vb to the wiring connecting the inductor L5 and the inductor L6. Thereby, the bias circuit 20 superimposes an AC signal on the ground voltage GND as the bias voltage Vb.

実施の形態2にかかる半導体装置2では、共振回路によりバイアス電圧Vbを生成する。これにより、実施の形態2にかかる半導体装置2では、トランジスタオフ時のリーク電流を低減するだけでなく、トランジスタオン時の順方向電流を増加させることができる。そのため、実施の形態2にかかる半導体装置2では、実施の形態1にかかる半導体装置1よりも変換効率を向上させることができる。また、NMOSトランジスタMN1、MN2のゲート端子に与えられる直流バイアス電圧Vbは、共振回路内部の受動素子のみで与えられるため、バイアス電圧生成のために電力を消費しないため、実施の形態2にかかる半導体装置2では消費電力も削減することができる。   In the semiconductor device 2 according to the second embodiment, the bias voltage Vb is generated by the resonance circuit. Thereby, in the semiconductor device 2 according to the second embodiment, not only the leakage current when the transistor is off, but also the forward current when the transistor is on can be increased. Therefore, in the semiconductor device 2 according to the second embodiment, the conversion efficiency can be improved as compared with the semiconductor device 1 according to the first embodiment. Further, since the DC bias voltage Vb given to the gate terminals of the NMOS transistors MN1 and MN2 is given only by the passive element inside the resonance circuit, power is not consumed for generating the bias voltage, and therefore the semiconductor according to the second embodiment. The device 2 can also reduce power consumption.

実施の形態3
実施の形態3では、整流回路の別の形態について説明する。そこで、図9に実施の形態3にかかる半導体装置3のブロック図を示す。なお、実施の形態2の説明において、実施の形態1で説明した構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略する。
Embodiment 3
In Embodiment 3, another form of the rectifier circuit will be described. FIG. 9 is a block diagram of the semiconductor device 3 according to the third embodiment. In the description of the second embodiment, the same components as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図9に示すように、実施の形態3にかかる半導体装置3は、実施の形態1にかかる半導体装置1の整流回路10に代えて整流回路30を有する。また、半導体装置3では、バイアス回路12は利用しない。   As illustrated in FIG. 9, the semiconductor device 3 according to the third embodiment includes a rectifier circuit 30 instead of the rectifier circuit 10 of the semiconductor device 1 according to the first embodiment. In the semiconductor device 3, the bias circuit 12 is not used.

整流回路30は、第1のバイアス付加回路31、第2のバイアス付加回路32、第1のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN1)、第2のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP1)、コンデンサC11、C3を有する。   The rectifier circuit 30 includes a first bias addition circuit 31, a second bias addition circuit 32, a first transistor (for example, an NMOS transistor MN1), a second transistor (for example, a PMOS transistor MP1), and capacitors C11 and C3. Have.

第1のバイアス付加回路31は、第1の交流信号(例えば、交流信号+vin)を第1のバイアス電圧VC1に重畳して第1の入力信号(例えば、VC1+vin)を生成する。NMOSトランジスタMN1は、第1の電源配線Lp1に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1の入力信号が入力される。   The first bias adding circuit 31 generates a first input signal (for example, VC1 + vin) by superimposing a first AC signal (for example, an AC signal + vin) on the first bias voltage VC1. In the NMOS transistor MN1, the first transistor terminal is connected to the first power supply line Lp1, and the first input signal is input to the gate.

第2のバイアス付加回路32は、第1の交流信号を第1のバイアス電圧VC1よりも高い電圧の第2のバイアス電圧VC2に重畳して第2の入力信号(例えば、VC2+vin)を生成する。PMOSトランジスタMP1は、第2の電源配線Lp2に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第2の入力信号が入力される。   The second bias adding circuit 32 generates a second input signal (for example, VC2 + vin) by superimposing the first AC signal on the second bias voltage VC2 having a voltage higher than the first bias voltage VC1. In the PMOS transistor MP1, the first transistor terminal is connected to the second power supply line Lp2, and the second input signal is input to the gate.

そして、NMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子と、PMOSトランジスタMP1の第2のトランジスタ端子とは、素子間配線L3により接続される。コンデンサC11は、素子間配線L3に一端が接続され、他端に第1の交流信号と位相が反転する第2の交流信号(例えば、交流信号−vin)が入力される。   The second transistor terminal of the NMOS transistor MN1 and the second transistor terminal of the PMOS transistor MP1 are connected by an inter-element wiring L3. The capacitor C11 has one end connected to the inter-element wiring L3 and the other end to which a second AC signal (for example, AC signal -vin) whose phase is inverted from that of the first AC signal is input.

ここで、第1のバイアス電圧VC1及び第2のバイアス電圧VC2について説明する。第1のバイアス電圧VC1は、素子間配線に発生するコモン電圧Vcmよりも低い電圧である。第1のバイアス電圧VC1をこのような電圧に設定することで、実施の形態1にかかる半導体装置1と同様にリーク電流を低減することができる。   Here, the first bias voltage VC1 and the second bias voltage VC2 will be described. The first bias voltage VC1 is a voltage lower than the common voltage Vcm generated in the inter-element wiring. By setting the first bias voltage VC1 to such a voltage, the leakage current can be reduced as in the semiconductor device 1 according to the first embodiment.

第2のバイアス電圧VC2は、電源電圧VDDからPMOSトランジスタMP1の閾値電圧Vthを引いた電圧よりも高い電圧(VC2>VDD−Vth)とする。第2のバイアス電圧VC2をこのような電圧に設定することで、PMOSトランジスタMP1に流れるリーク電流を削減することができる。   The second bias voltage VC2 is higher than the voltage obtained by subtracting the threshold voltage Vth of the PMOS transistor MP1 from the power supply voltage VDD (VC2> VDD−Vth). By setting the second bias voltage VC2 to such a voltage, the leakage current flowing through the PMOS transistor MP1 can be reduced.

ここで、実施の形態3にかかる半導体装置3の動作について説明する。実施の形態3にかかる半導体装置3は、NMOSトランジスタMN1のゲート電圧を上昇させる交流信号が入力された場合、NMOSトランジスタMN1がオン状態、かつ、PMOSトランジスタMP1がオフ状態となる。このとき、コンデンサC11の入力端子IN2側の端子には低い電圧が入力される。そのため、NMOSトランジスタMN1のゲート電圧を上昇させる交流信号が入力された場合、半導体装置3は、ドレイン電流ID1によりコンデンサC11を充電する期間となる。   Here, the operation of the semiconductor device 3 according to the third embodiment will be described. In the semiconductor device 3 according to the third embodiment, when an AC signal that increases the gate voltage of the NMOS transistor MN1 is input, the NMOS transistor MN1 is turned on and the PMOS transistor MP1 is turned off. At this time, a low voltage is input to the terminal on the input terminal IN2 side of the capacitor C11. Therefore, when an AC signal for increasing the gate voltage of the NMOS transistor MN1 is input, the semiconductor device 3 is in a period for charging the capacitor C11 with the drain current ID1.

一方、実施の形態3にかかる半導体装置3は、NMOSトランジスタMN1のゲート電圧を下降させる交流信号が入力された場合、NMOSトランジスタMN1がオフ状態、かつ、PMOSトランジスタMP1がオン状態となる。また、コンデンサC11の入力端子IN2側の端子には高い電圧が入力される。そのため、NMOSトランジスタMN1のゲート電圧を下降させる交流信号が入力された場合、半導体装置3は、コンデンサC11に蓄積された電荷をコンデンサC3に充電する期間となる。   On the other hand, in the semiconductor device 3 according to the third embodiment, when an AC signal for decreasing the gate voltage of the NMOS transistor MN1 is input, the NMOS transistor MN1 is turned off and the PMOS transistor MP1 is turned on. A high voltage is input to the terminal on the input terminal IN2 side of the capacitor C11. Therefore, when an AC signal that lowers the gate voltage of the NMOS transistor MN1 is input, the semiconductor device 3 is in a period for charging the capacitor C3 with the charge accumulated in the capacitor C11.

上記動作において、実施の形態3にかかる半導体装置3は、NMOSトランジスタMN1に入力される交流信号に重畳される第1のバイアス電圧VC1を第3の素子間配線L3に発生するコモン電圧Vcmよりも低くし、かつ、PMOSトランジスタMP1に入力される交流信号のバイアス電圧を第1のバイアス電圧VC1よりも高くする。これにより、実施の形態3にかかる半導体装置3は、実施の形態1にかかる半導体装置1よりもリーク電流を削減することができる。   In the above-described operation, the semiconductor device 3 according to the third embodiment has the first bias voltage VC1 superimposed on the AC signal input to the NMOS transistor MN1 higher than the common voltage Vcm generated in the third inter-element wiring L3. The bias voltage of the AC signal input to the PMOS transistor MP1 is set higher than the first bias voltage VC1. Thereby, the semiconductor device 3 according to the third embodiment can reduce the leakage current more than the semiconductor device 1 according to the first embodiment.

また、図9に示すように、実施の形態3にかかる半導体装置3は、実施の形態3にかかる半導体装置1よりも少ない回路素子で形成することができる。   As shown in FIG. 9, the semiconductor device 3 according to the third embodiment can be formed with fewer circuit elements than the semiconductor device 1 according to the third embodiment.

実施の形態4
実施の形態4では、実施の形態1にかかる整流回路10を複数個用いた半導体装置の例について説明する。そこで、実施の形態4にかかる半導体装置4のブロック図を図10に示す。
Embodiment 4
In the fourth embodiment, an example of a semiconductor device using a plurality of rectifier circuits 10 according to the first embodiment will be described. FIG. 10 shows a block diagram of the semiconductor device 4 according to the fourth embodiment.

図10に示すように、実施の形態4にかかる半導体装置4は、整流回路101、整流回路コア102が直列に接続される。この整流回路コア101及び整流回路コア102は、整流回路10と同じものである。より具体的には、整流回路コア101と整流回路コア102は、下段に配置される整流回路コア101の第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子OUT1と、上段に配置される整流回路コア102の第2の電源配線上に設けられる第2の出力端子OUT2とが縦列接続される。なお、整流回路コア101及び整流回路コア102の内部では、第2の出力端子OUT1と第1の出力端子OUT1とが内部回路を通じて縦続接続されている。そして、半導体装置3では、初段に配置される整流回路101の第1の電源配線と、最終段に配置される整流回路102の第2の電源配線と、の間に平滑コンデンサCloadが接続される。   As shown in FIG. 10, in the semiconductor device 4 according to the fourth embodiment, a rectifier circuit 101 and a rectifier circuit core 102 are connected in series. The rectifier circuit core 101 and the rectifier circuit core 102 are the same as the rectifier circuit 10. More specifically, the rectifier circuit core 101 and the rectifier circuit core 102 include a first output terminal OUT1 provided on the first power supply wiring of the rectifier circuit core 101 arranged in the lower stage, and a rectifier arranged in the upper stage. A second output terminal OUT2 provided on the second power supply wiring of the circuit core 102 is connected in cascade. Note that, in the rectifier circuit core 101 and the rectifier circuit core 102, the second output terminal OUT1 and the first output terminal OUT1 are cascade-connected through an internal circuit. In the semiconductor device 3, the smoothing capacitor Cload is connected between the first power supply wiring of the rectifier circuit 101 arranged in the first stage and the second power supply wiring of the rectifier circuit 102 arranged in the last stage. .

なお、半導体装置4では、整流回路毎にバイアス回路(例えば、バイアス回路121、122)と交流信号源(例えば、交流信号源111、112)が接続される。   In the semiconductor device 4, a bias circuit (for example, bias circuits 121 and 122) and an AC signal source (for example, AC signal sources 111 and 112) are connected for each rectifier circuit.

このように、複数の整流回路10を縦続接続することで、各整流回路10で生成される電圧が加算され、負荷13に1つの整流回路10で生成される電圧よりも高い電源電圧VDDを与えることができる。   In this way, by connecting the plurality of rectifier circuits 10 in cascade, the voltages generated by the rectifier circuits 10 are added, and a power supply voltage VDD higher than the voltage generated by one rectifier circuit 10 is given to the load 13. be able to.

実施の形態5
実施の形態5では、実施の形態1にかかる整流回路10を複数個用いた半導体装置の別の例について説明する。そこで、実施の形態5にかかる半導体装置5のブロック図を図11に示す。
Embodiment 5
In the fifth embodiment, another example of a semiconductor device using a plurality of rectifier circuits 10 according to the first embodiment will be described. FIG. 11 shows a block diagram of the semiconductor device 5 according to the fifth embodiment.

図11に示すように、実施の形態5にかかる半導体装置5は、n個の整流回路10が並列に接続されるものである。図11では、n個の整流回路10のうち、整流回路101と整流回路コア10nを示した。より具体的には、半導体装置5では、整流回路コア101から整流回路コア10nの第1の出力端子OUT1が共通配線を介して負荷13に接続される。そして、共通配線と接地配線との間に平滑コンデンサCloadが接続される。   As shown in FIG. 11, in the semiconductor device 5 according to the fifth embodiment, n rectifier circuits 10 are connected in parallel. In FIG. 11, the rectifier circuit 101 and the rectifier circuit core 10 n among the n rectifier circuits 10 are illustrated. More specifically, in the semiconductor device 5, the first output terminals OUT1 of the rectifier circuit core 101 to the rectifier circuit core 10n are connected to the load 13 through the common wiring. A smoothing capacitor Cload is connected between the common wiring and the ground wiring.

なお、半導体装置5では、整流回路毎にバイアス回路(例えば、バイアス回路121〜12n)と交流信号源(例えば、交流信号源111〜11n)が接続される。   In the semiconductor device 5, a bias circuit (for example, bias circuits 121 to 12n) and an AC signal source (for example, AC signal sources 111 to 11n) are connected to each rectifier circuit.

このように、複数の整流回路10を並列接続することで、一つの整流回路10で生成される電源よりも高い電流供給能力を実現することができる。なお、実施の形態4にかかる半導体装置4のように縦続接続した複数の整流回路10を一組の電源とし、この一組の電源をさらに並列接続するマトリックス接続を形成することで、高い電圧の供給と高い電流供給能力とを同時に実現することもできる。   In this way, by connecting a plurality of rectifier circuits 10 in parallel, a higher current supply capability than that of a power source generated by one rectifier circuit 10 can be realized. Note that a plurality of rectifier circuits 10 connected in cascade as in the semiconductor device 4 according to the fourth embodiment are used as a set of power supplies, and a matrix connection that further connects the sets of power supplies in parallel is formed. Supply and high current supply capability can be realized simultaneously.

実施の形態6
実施の形態6では、実施の形態1にかかる整流回路10を用いて高い安定性を有する電源を供給する半導体装置について説明する。そこで、実施の形態6にかかる半導体装置6のブロック図を図12に示す。
Embodiment 6
In the sixth embodiment, a semiconductor device that supplies power having high stability using the rectifier circuit 10 according to the first embodiment will be described. FIG. 12 is a block diagram of the semiconductor device 6 according to the sixth embodiment.

図12に示すように、実施の形態6にかかる半導体装置6は、整流回路10と負荷61との間に電源回路60を備える。電源回路60は、第2の電源配線を介して伝達される第1の電源電圧VDD1を昇圧、又は、降圧して第2の電源電圧VDD2を生成する。   As shown in FIG. 12, the semiconductor device 6 according to the sixth embodiment includes a power supply circuit 60 between the rectifier circuit 10 and a load 61. The power supply circuit 60 generates a second power supply voltage VDD2 by boosting or stepping down the first power supply voltage VDD1 transmitted through the second power supply wiring.

このように、整流回路10と負荷61との間に電源回路60を設けることで、負荷61として消費電力の変動が大きなMCU(Micro Controller Unit)等の接続した場合でも負荷61に与える電圧を一定に維持することができる。   In this way, by providing the power supply circuit 60 between the rectifier circuit 10 and the load 61, the voltage applied to the load 61 is constant even when an MCU (Micro Controller Unit) or the like with large fluctuations in power consumption is connected as the load 61. Can be maintained.

実施の形態7
実施の形態7では、実施の形態1にかかる半導体装置1の別の形態について説明する。なお、実施の形態7の説明において実施の形態1で説明した構成要素については、同じ符号を付して説明を省略する。
Embodiment 7
In the seventh embodiment, another form of the semiconductor device 1 according to the first embodiment will be described. In the description of the seventh embodiment, the components described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

実施の形態7にかかる半導体装置7のブロック図を図13に示す。図13に示すように、実施の形態7にかかる半導体装置7は、整流回路10に代えて整流回路70を有する。また、半導体装置7では、バイアス回路12を介さずに整流回路70に交流信号源11が出力する交流信号を与える。   FIG. 13 is a block diagram of the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment. As illustrated in FIG. 13, the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment includes a rectifier circuit 70 instead of the rectifier circuit 10. In the semiconductor device 7, an AC signal output from the AC signal source 11 is applied to the rectifier circuit 70 without using the bias circuit 12.

整流回路70は、第1のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN1)、第2のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN2)、第3のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP1)、第4のトランジスタ(PMOSトランジスタMP2)、第5のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP3)、第6のトランジスタ(例えば、PMOSトランジスタMP4)、第7のトランジスタ(例えば、NMOSトランジスタMN3)、コンデンサC1、C2、C3を有する。なお、実施の形態7にかかる半導体装置7では、第2の電源配線Lp2上にNMOSトランジスタMN3が挿入されるため、第2の電源配線Lp2のうちNMOSトランジスタMN3よりもPMOSトランジスタMP1、MP2側の第2の電源配線をLp21とし、NMOSトランジスタMN3よりも第1の出力端子OUT1側の第2の電源配線をLp22とする。   The rectifier circuit 70 includes a first transistor (for example, NMOS transistor MN1), a second transistor (for example, NMOS transistor MN2), a third transistor (for example, PMOS transistor MP1), and a fourth transistor (PMOS transistor MP2). , A fifth transistor (for example, PMOS transistor MP3), a sixth transistor (for example, PMOS transistor MP4), a seventh transistor (for example, NMOS transistor MN3), and capacitors C1, C2, and C3. In the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment, since the NMOS transistor MN3 is inserted over the second power supply line Lp2, the PMOS transistor MP1 and MP2 side of the second power supply line Lp2 with respect to the NMOS transistor MN3. The second power supply wiring is Lp21, and the second power supply wiring closer to the first output terminal OUT1 than the NMOS transistor MN3 is Lp22.

整流回路70では、第1の入力配線Li1がコンデンサC1を介して第1の入力端子IN1と接続される。また、整流回路70では、第2の入力配線Li2がコンデンサC2を介して第2の入力端子IN2と接続される。第1の入力配線Li1及び第2の入力配線Li2は、位相が互いに反転する交流信号が伝達される配線である。   In the rectifier circuit 70, the first input wiring Li1 is connected to the first input terminal IN1 via the capacitor C1. In the rectifier circuit 70, the second input line Li2 is connected to the second input terminal IN2 via the capacitor C2. The first input wiring Li1 and the second input wiring Li2 are wirings through which alternating signals whose phases are inverted from each other are transmitted.

NMOSトランジスタMN1は、第1の電源配線Lp1に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1の入力配線Li1が接続される。NMOSトランジスタMN2は、第1の電源配線Lp1に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第2の入力配線Li2が接続される。   In the NMOS transistor MN1, the first transistor terminal is connected to the first power supply line Lp1, and the first input line Li1 is connected to the gate. In the NMOS transistor MN2, the first transistor terminal is connected to the first power supply line Lp1, and the second input line Li2 is connected to the gate.

PMOSトランジスタMP1は、第2の電源配線Lp21に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子にNMOSトランジスタMN1の第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1の入力配線Li1が接続される。PMOSトランジスタMP2は、第2の電源配線Lp21に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子にNMOSトランジスタMN2の第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第2の入力配線Li2が接続される。   The PMOS transistor MP1 has a first transistor terminal connected to the second power supply line Lp21, a second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the NMOS transistor MN1, and a gate connected to the first input line Li1. Is done. In the PMOS transistor MP2, the first transistor terminal is connected to the second power supply wiring Lp21, the second transistor terminal of the NMOS transistor MN2 is connected to the second transistor terminal, and the second input wiring Li2 is connected to the gate. Is done.

PMOSトランジスタMP3は、ゲートに第1の入力配線Li1が接続され、第2のトランジスタ端子にPMOSトランジスタMP1の第2のトランジスタ端子が接続される。PMOSトランジスタMP4は、ゲートに第2の入力配線Li2が接続され、第2のトランジスタ端子にPMOSトランジスタMP2の第2のトランジスタ端子が接続される。NMOSトランジスタMN3は、第2の電源配線Lp2(第2の電源配線Lp21と第2の電源配線Lp22との間)に挿入され、ゲートがPMOSトランジスタMP3の第1のトランジスタ端子及びPMOSトランジスタMP4の第1のトランジスタ端子に接続される。   The PMOS transistor MP3 has a gate connected to the first input line Li1, and a second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the PMOS transistor MP1. The PMOS transistor MP4 has a gate connected to the second input line Li2, and a second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the PMOS transistor MP2. The NMOS transistor MN3 is inserted into the second power supply line Lp2 (between the second power supply line Lp21 and the second power supply line Lp22), and the gate thereof is the first transistor terminal of the PMOS transistor MP3 and the first transistor terminal of the PMOS transistor MP4. 1 transistor terminal.

また、整流回路70においても、コンデンサC3が第1の電源配線Lp1と第2の電源配線Lp2との間に接続される。   In the rectifier circuit 70, the capacitor C3 is connected between the first power supply line Lp1 and the second power supply line Lp2.

続いて、実施の形態7にかかる半導体装置7の動作について説明する。そこで、図14に実施の形態7にかかる半導体装置7の動作を示すタイミングチャートを示す。図14に示すように、実施の形態7にかかる半導体装置7では、2つの交流信号は、コモン電圧Vcmを中心とする振幅を有する。そして、2つの交流信号(電圧V01、V02)のいずれかの電圧が高くなる毎にNMOSトランジスタMN3のゲート電圧V03が上昇する。また、第2の電源配線Lp2の電圧は、NMOSトランジスタMN3のゲート電圧V03よりもNMOSトランジスタMN3の閾値電圧分低い電圧で変化する。これにより、第1の出力端子OUT1に生成される電源電圧VDDは、第2の電源配線Lp21の電圧変動よりも若干低い電圧で概ね一定の電圧となる。これは、交流信号V01、V02の変化に合わせてコンデンサC1又はコンデンサC2からコンデンサC3に充電が行われるためである。   Next, the operation of the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment will be described. FIG. 14 is a timing chart showing the operation of the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment. As shown in FIG. 14, in the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment, the two AC signals have amplitudes centered on the common voltage Vcm. The gate voltage V03 of the NMOS transistor MN3 increases every time one of the two AC signals (voltages V01 and V02) increases. The voltage of the second power supply line Lp2 changes at a voltage lower than the gate voltage V03 of the NMOS transistor MN3 by the threshold voltage of the NMOS transistor MN3. As a result, the power supply voltage VDD generated at the first output terminal OUT1 is a voltage that is slightly lower than the voltage fluctuation of the second power supply wiring Lp21 and is substantially constant. This is because the capacitor C3 is charged from the capacitor C1 or the capacitor C2 in accordance with the change of the AC signals V01 and V02.

ここで、実施の形態7にかかる半導体装置7では、交流信号源11が信号の出力を停止した場合(この状態を無信号状態と称す)におけるリーク電流を削減する効果を有する。以下では、この無信号状態におけるリーク電流をスタティックリーク電流と称す。   Here, the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment has an effect of reducing leakage current when the AC signal source 11 stops outputting signals (this state is referred to as a no-signal state). Hereinafter, the leakage current in the no-signal state is referred to as static leakage current.

そこで、無信号状態における半導体装置7の動作について説明する。実施の形態7にかかる半導体装置7において無信号状態となった場合、無信号状態となった直後は、NMOSトランジスタMN1、MN2、PMOSトランジスタMP1〜MP4のゲート電圧は、コモン電圧Vcm付近の電圧となる。そのため、第2の電源配線Lp22から第1の電源配線Lp1に向かってリーク電流が発生する。   Therefore, the operation of the semiconductor device 7 in the no-signal state will be described. When the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment is in the no-signal state, immediately after the no-signal state, the gate voltages of the NMOS transistors MN1 and MN2 and the PMOS transistors MP1 to MP4 are set to voltages near the common voltage Vcm. Become. Therefore, a leak current is generated from the second power supply line Lp22 toward the first power supply line Lp1.

しかし、このとき、NMOSトランジスタMN3のゲートに接続される配線からも電荷の引き抜きが発生する。その後、NMOSトランジスタMN3のゲートに接続される配線から電荷の引き抜きが行われ、NMOSトランジスタMN3のゲート電圧V03がNMOSトランジスタMN3の閾値電圧を下回る程度に低下すると、NMOSトランジスタMN3は遮断状態となる。そして、NMOSトランジスタMN3が遮断状態となることで、第2の電源配線Lp21から第1の電源配線Lp1に流れるリーク電流は遮断される。   However, at this time, charge is also extracted from the wiring connected to the gate of the NMOS transistor MN3. Thereafter, charge is extracted from the wiring connected to the gate of the NMOS transistor MN3, and when the gate voltage V03 of the NMOS transistor MN3 decreases to a level lower than the threshold voltage of the NMOS transistor MN3, the NMOS transistor MN3 enters a cutoff state. Then, when the NMOS transistor MN3 is cut off, the leakage current flowing from the second power supply line Lp21 to the first power supply line Lp1 is cut off.

このスタティックリーク電流の削減効果について以下で説明する。まず、スタティックリーク電流の削減効果を検証するためのシミュレーション回路について説明する。実施の形態7にかかる半導体装置におけるリーク電流量のシミュレーションの条件を説明する図を図15に示す。図15に示すように、このシミュレーションでは、負荷13に代えて、電圧源Vleakと電流計を直列に接続した回路を設ける。そして、図15に示したシミュレーション回路を用いたシミュレーション結果を示すグラフを図16に示す。   The effect of reducing the static leakage current will be described below. First, a simulation circuit for verifying the effect of reducing static leakage current will be described. FIG. 15 is a diagram for explaining the conditions for the simulation of the leakage current amount in the semiconductor device according to the seventh embodiment. As shown in FIG. 15, in this simulation, a circuit in which a voltage source Vleak and an ammeter are connected in series is provided instead of the load 13. And the graph which shows the simulation result using the simulation circuit shown in FIG. 15 is shown in FIG.

図16では、比較例として図5に示した比較例の回路で図15に示したシミュレーション条件を用いてシミュレーションを行った結果を、実施の形態7にかかる半導体装置7のシミュレーション結果と共に示した。   In FIG. 16, as a comparative example, the result of simulation using the circuit of the comparative example shown in FIG. 5 and the simulation conditions shown in FIG. 15 is shown together with the simulation result of the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment.

図16に示すように、比較例にかかる半導体装置100では、電圧源Vleakの電圧が高くなるにしたがってリーク電流Ileakが増加する。一方、実施の形態7にかかる半導体装置7では、電圧源Vleakの電圧が一定の大きさ以上となると、一定の値に漸近するようにリーク電流Ileakの増加が小さくなる。図16に示すグラフの右端部分では、実施の形態7にかかる半導体装置7のリーク電流が比較例にかかる半導体装置1よりも概ね2桁程度小さくなっている。   As shown in FIG. 16, in the semiconductor device 100 according to the comparative example, the leakage current Ileak increases as the voltage of the voltage source Vleak increases. On the other hand, in the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment, when the voltage of the voltage source Vleak becomes a certain level or more, the increase in the leakage current Ileak is small so as to gradually approach a certain value. In the right end portion of the graph shown in FIG. 16, the leakage current of the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment is approximately two orders of magnitude smaller than that of the semiconductor device 1 according to the comparative example.

上記説明より、実施の形態7にかかる半導体装置7では、交流信号源11が出力する交流信号が停止する無信号状態におけるリーク電流を削減することができる。これは、特に、図10に示したような複数の整流回路10を直列接続して利用する形態、或いは、図11に示したような複数の整流回路10を並列接続して利用する形態において効果が高い。複数の整流回路10を接続した場合、複数の整流回路10のうちいずれかの整流回路10に対応する交流信号源が無信号状態となると、他の整流回路10が生成した電力を無信号状態の整流回路10が引き抜いてしまい、単に1つの交流信号源が無信号となった以上の電力損失が生じるためである。このような状態となっても、実施の形態7にかかる半導体装置7を利用することで、他の動作中の整流回路10が生成した電力を無信号状態の整流回路10が損なうことはないため、半導体装置7は変換効率の向上に有効である。   From the above description, in the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment, it is possible to reduce the leakage current in the no-signal state where the AC signal output from the AC signal source 11 stops. This is particularly effective in a form in which a plurality of rectifier circuits 10 as shown in FIG. 10 are connected in series or in a form in which a plurality of rectifier circuits 10 as shown in FIG. 11 are connected in parallel. Is expensive. When a plurality of rectifier circuits 10 are connected, when an AC signal source corresponding to any one of the plurality of rectifier circuits 10 is in a no-signal state, the power generated by the other rectifier circuits 10 is in a no-signal state. This is because the rectifier circuit 10 is pulled out, and a power loss more than that in which one AC signal source becomes no signal is generated. Even in such a state, by using the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment, the rectifier circuit 10 in the no-signal state does not lose the power generated by the rectifier circuit 10 during other operations. The semiconductor device 7 is effective for improving the conversion efficiency.

実施の形態8
実施の形態8では、実施の形態1にかかる半導体装置1の別の形態について説明する。なお、実施の形態8の説明において、実施の形態1で説明した構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略する。
Embodiment 8
In the eighth embodiment, another form of the semiconductor device 1 according to the first embodiment will be described. Note that in the description of the eighth embodiment, the same components as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図17に実施の形態8にかかる半導体装置8のブロック図を示す。図17に示すように、実施の形態8にかかる半導体装置8は、実施の形態1にかかる整流回路10に代えて、整流回路80を有する。整流回路80は、整流回路10に整流回路70で説明した、PMOSトランジスタMP3、MP4及びNMOSトランジスタMN3を追加したものである。つまり、整流回路80では、PMOSトランジスタMP3は、第2のトランジスタ端子が第2の素子間配線L2に接続され、ゲートが第1のコンデンサC1の他端に接続される。また、PMOSトランジスタMP4は、第2のトランジスタ端子が第1の素子間配線L1に接続され、ゲートが第2のコンデンサC2の他端に接続される。NMOSトランジスタMN3は、第2の電源配線Lp2(第2の電源配線Lp21と第2の電源配線Lp22との間)に挿入され、ゲートがPMOSトランジスタMP3の第1のトランジスタ端子及びPMOSトランジスタMP4の第1のトランジスタ端子に接続される。   FIG. 17 is a block diagram of the semiconductor device 8 according to the eighth embodiment. As illustrated in FIG. 17, the semiconductor device 8 according to the eighth embodiment includes a rectifier circuit 80 instead of the rectifier circuit 10 according to the first embodiment. The rectifier circuit 80 is obtained by adding the PMOS transistors MP3 and MP4 and the NMOS transistor MN3 described in the rectifier circuit 70 to the rectifier circuit 10. That is, in the rectifier circuit 80, the PMOS transistor MP3 has a second transistor terminal connected to the second inter-element wiring L2 and a gate connected to the other end of the first capacitor C1. The PMOS transistor MP4 has a second transistor terminal connected to the first inter-element wiring L1, and a gate connected to the other end of the second capacitor C2. The NMOS transistor MN3 is inserted into the second power supply line Lp2 (between the second power supply line Lp21 and the second power supply line Lp22), and the gate thereof is the first transistor terminal of the PMOS transistor MP3 and the first transistor terminal of the PMOS transistor MP4. 1 transistor terminal.

このように整流回路10に実施の形態7の整流回路70で説明したPMOSトランジスタMP3、MP4及びNMOSトランジスタMN3を追加することで、実施の形態1で説明したダイナミックリーク電流に加え、実施の形態7で説明したスタティックリーク電流を削減できる。これにより、実施の形態8にかかる半導体装置8は、高いリーク電流削減効果を実現し、変換効率をより高めることができる。   In this way, by adding the PMOS transistors MP3 and MP4 and the NMOS transistor MN3 described in the rectifier circuit 70 of the seventh embodiment to the rectifier circuit 10, in addition to the dynamic leakage current described in the first embodiment, the seventh embodiment. The static leakage current described in (1) can be reduced. Thereby, the semiconductor device 8 according to the eighth embodiment can realize a high leakage current reduction effect and can further increase the conversion efficiency.

実施の形態9
実施の形態9では、実施の形態3にかかる半導体装置3の別の形態について説明する。なお、実施の形態9の説明において、実施の形態3で説明した構成要素と同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略する。
Embodiment 9
In the ninth embodiment, another form of the semiconductor device 3 according to the third embodiment will be described. In the description of the ninth embodiment, the same components as those described in the third embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図18に実施の形態9にかかる半導体装置9のブロック図を示す。図18に示すように、実施の形態9にかかる半導体装置9は、実施の形態7にかかる半導体装置7に、実施の形態1から実施の形態3にかかる半導体装置3への変形と同じ変形を施したものである。実施の形態9にかかる半導体装置9は、整流回路30に代えて、整流回路90を有する。整流回路90は、整流回路30に整流回路70で説明した、PMOSトランジスタMP3及びNMOSトランジスタMN3を追加し、第1のバイアス付加回路31及び第2のバイアス付加回路32を削除したものである。つまり、整流回路90では、PMOSトランジスタMP3は、第2のトランジスタ端子がPMOSトランジスタMP1の第2のトランジスタ端子に接続され、ゲートに第1の交流信号が入力される。NMOSトランジスタMN3は、第2の電源配線Lp2(第2の電源配線Lp21と第2の電源配線Lp22との間)に挿入され、ゲートがPMOSトランジスタMP3の第1のトランジスタ端子に接続される。   FIG. 18 is a block diagram of the semiconductor device 9 according to the ninth embodiment. As illustrated in FIG. 18, the semiconductor device 9 according to the ninth embodiment has the same deformation as the semiconductor device 7 according to the seventh embodiment from the first embodiment to the semiconductor device 3 according to the third embodiment. It has been applied. The semiconductor device 9 according to the ninth embodiment includes a rectifier circuit 90 instead of the rectifier circuit 30. The rectifier circuit 90 is obtained by adding the PMOS transistor MP3 and the NMOS transistor MN3 described in the rectifier circuit 70 to the rectifier circuit 30 and omitting the first bias addition circuit 31 and the second bias addition circuit 32. That is, in the rectifier circuit 90, the PMOS transistor MP3 has the second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the PMOS transistor MP1, and the first AC signal is input to the gate. The NMOS transistor MN3 is inserted into the second power supply line Lp2 (between the second power supply line Lp21 and the second power supply line Lp22), and the gate is connected to the first transistor terminal of the PMOS transistor MP3.

このように整流回路30に実施の形態7の整流回路70で説明したPMOSトランジスタMP3、MP4及びNMOSトランジスタMN3を追加することで、実施の形態3で説明した整流回路30においても、実施の形態7で説明したスタティックリーク電流を削減できる。これにより、実施の形態9にかかる半導体装置9は、高いリーク電流削減効果を実現し、変換効率をより高めることができる。   Thus, by adding the PMOS transistors MP3 and MP4 and the NMOS transistor MN3 described in the rectifier circuit 70 of the seventh embodiment to the rectifier circuit 30, the rectifier circuit 30 described in the third embodiment also has the seventh embodiment. The static leakage current described in (1) can be reduced. Thereby, the semiconductor device 9 according to the ninth embodiment can achieve a high leakage current reduction effect and further increase the conversion efficiency.

なお、実施の形態9にかかる半導体装置9において、図9に示した実施の形態3にかかる半導体装置3のバイアス付加回路31、32を適用することもできる。バイアス付加回路31、32を適用することで、実施の形態9にかかる半導体装置9においてもダイナミックリーク電流を削減することができる。   In the semiconductor device 9 according to the ninth embodiment, the bias addition circuits 31 and 32 of the semiconductor device 3 according to the third embodiment shown in FIG. 9 can be applied. By applying the bias addition circuits 31 and 32, the dynamic leakage current can be reduced also in the semiconductor device 9 according to the ninth embodiment.

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments already described, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that it is possible.

上記実施の形態から、以下のような観点を考えることができる。   From the above embodiment, the following viewpoints can be considered.

(付記1)
整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
位相が互いに反転する交流信号が伝達される第1、第2の入力配線と、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力配線が接続される第1導電型の第1のトランジスタと、
前記第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力配線が接続される第1導電型の第2のトランジスタと、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力配線が接続される第2導電型の第3のトランジスタと、
前記第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力配線が接続される第2導電型の第4のトランジスタと、
ゲートに前記第1の入力配線が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第3のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続される前記第2導電型の第5のトランジスタと、
ゲートに前記第2の入力配線が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第4のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続される前記第2導電型の第6のトランジスタと、
前記第2の電源配線に挿入され、ゲートが前記第5のトランジスタの第1のトランジスタ端子及び前記第6のトランジスタの第1のトランジスタ端子に接続される前記第1導電型の第7のトランジスタと、
を有する半導体装置。
(Appendix 1)
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
First and second input wirings through which alternating signals whose phases are inverted from each other are transmitted;
A first transistor of a first conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring, and the first input wiring is connected to a gate;
A first conductivity type second transistor having a first transistor terminal connected to the first power supply wiring and a gate connected to the second input wiring;
A second transistor terminal is connected to a first transistor terminal, a second transistor terminal is connected to a second transistor terminal of the first transistor, and a gate is connected to the first input line. A third transistor of conductivity type;
A first transistor terminal is connected to the second power supply wiring, a second transistor terminal of the second transistor is connected to the second transistor terminal, and a second input wiring is connected to the gate. A second transistor of two conductivity types;
A second transistor of the second conductivity type having a gate connected to the first input wiring and a second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the third transistor;
A second transistor of the second conductivity type having the gate connected to the second input wiring and the second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the fourth transistor;
A seventh transistor of the first conductivity type inserted into the second power supply wiring and having a gate connected to a first transistor terminal of the fifth transistor and a first transistor terminal of the sixth transistor; ,
A semiconductor device.

(付記2)
整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
第1の交流信号を第1のバイアス電圧に重畳して第1の入力信号を生成する第1のバイアス回路と、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力信号が入力される第1導電型の第1のトランジスタと、
前記第1の交流信号を前記第1のバイアス電圧よりも高い電圧の第2のバイアス電圧に重畳して第2の入力信号を生成する第2のバイアス回路と、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力信号が入力される第2導電型の第2のトランジスタと、
前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、を接続する素子間配線と、
前記素子間配線に一端が接続され、他端に前記第1の交流信号と位相が反転する第2の交流信号が入力されるコンデンサと、
を有する半導体装置。
(Appendix 2)
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
A first bias circuit for generating a first input signal by superimposing a first alternating signal on a first bias voltage;
A first transistor of a first conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring, and the first input signal is input to a gate;
A second bias circuit that generates a second input signal by superimposing the first AC signal on a second bias voltage that is higher than the first bias voltage;
A second transistor of a second conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a second power supply wiring, and the second input signal is input to a gate;
An inter-element wiring connecting the second transistor terminal of the first transistor and the second transistor terminal of the second transistor;
A capacitor having one end connected to the inter-element wiring and the other end receiving a second AC signal whose phase is inverted from that of the first AC signal;
A semiconductor device.

(付記3)
整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の交流信号が入力される第1導電型の第1のトランジスタと、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の交流信号が入力される第2導電型の第2のトランジスタと、
ゲートに前記第1の交流信号が接続され、第2のトランジスタ端子が前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子に接続される前記第2導電型の第3のトランジスタと、
前記第2の電源配線に挿入され、ゲートが前記第3のトランジスタの第1のトランジスタ端子に接続される前記第1導電型の第4のトランジスタと、
前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第3のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、を接続する素子間配線と、
前記素子間配線に一端が接続され、他端に前記第1の交流信号と位相が反転する第2の交流信号が入力されるコンデンサと、
を有する半導体装置。
(Appendix 3)
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
A first transistor of a first conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring, and the first AC signal is input to a gate;
A second transistor of a second conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a second power supply wiring, and the first AC signal is input to a gate;
A second transistor of the second conductivity type having a gate connected to the first AC signal and a second transistor terminal connected to a second transistor terminal of the second transistor;
A fourth transistor of the first conductivity type inserted into the second power supply wiring and having a gate connected to a first transistor terminal of the third transistor;
An inter-element wiring connecting the second transistor terminal of the first transistor, the second transistor terminal of the second transistor, and the second transistor terminal of the third transistor;
A capacitor having one end connected to the inter-element wiring and the other end receiving a second AC signal whose phase is inverted from that of the first AC signal;
A semiconductor device.

1〜9 半導体装置
10、30、70、80、90 整流回路
11、111〜11n 交流信号源
12、121〜12n バイアス回路
13、61 負荷
20 バイアス回路
30 整流回路
31、32 バイアス付加回路
501〜50n 整流回路
60 電源回路
101、102 整流回路コア
Li1 第1の入力配線
Li2 第2の入力配線
L1 第1の素子間配線
L2 第2の素子間配線
L3 第3の素子間配線
Lp1 第1の電源配線
Lp2 第2の電源配線
MN1〜MN3 NMOSトランジスタ
MP1〜MP4 PMOSトランジスタ
L1 第1の素子感配線
L2 第2の素子感配線
Li1 第1の入力配線
Li2 第2の入力配線
1-9 Semiconductor device 10, 30, 70, 80, 90 Rectifier circuit 11, 111-11n AC signal source 12, 121-12n Bias circuit 13, 61 Load 20 Bias circuit 30 Rectifier circuit 31, 32 Bias addition circuit 501-50n Rectifier circuit 60 Power supply circuit 101, 102 Rectifier circuit core Li1 First input wiring Li2 Second input wiring L1 First inter-element wiring L2 Second inter-element wiring L3 Third inter-element wiring Lp1 First power supply wiring Lp2 Second power supply wiring MN1 to MN3 NMOS transistor MP1 to MP4 PMOS transistor L1 First element sensing wiring L2 Second element sensing wiring Li1 First input wiring Li2 Second input wiring

Claims (15)

整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
位相が互いに反転する交流信号が伝達される第1、第2の入力配線と、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力配線が接続される第1導電型の第1のトランジスタと、
前記第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力配線が接続される第1導電型の第2のトランジスタと、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力配線が接続される第2導電型の第3のトランジスタと、
前記第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力配線が接続される第2導電型の第4のトランジスタと、
ゲートに前記第1の入力配線が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第3のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続される前記第2導電型の第5のトランジスタと、
ゲートに前記第2の入力配線が接続され、第2のトランジスタ端子に前記第4のトランジスタの第2のトランジスタ端子が接続される前記第2導電型の第6のトランジスタと、
前記第2の電源配線に挿入され、ゲートが前記第5のトランジスタの第1のトランジスタ端子及び前記第6のトランジスタの第1のトランジスタ端子に接続される前記第1導電型の第7のトランジスタと、
を有する半導体装置。
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
First and second input wirings through which alternating signals whose phases are inverted from each other are transmitted;
A first transistor of a first conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring, and the first input wiring is connected to a gate;
A first conductivity type second transistor having a first transistor terminal connected to the first power supply wiring and a gate connected to the second input wiring;
A second transistor terminal is connected to a first transistor terminal, a second transistor terminal is connected to a second transistor terminal of the first transistor, and a gate is connected to the first input line. A third transistor of conductivity type;
A first transistor terminal is connected to the second power supply wiring, a second transistor terminal of the second transistor is connected to the second transistor terminal, and a second input wiring is connected to the gate. A second transistor of two conductivity types;
A second transistor of the second conductivity type having a gate connected to the first input wiring and a second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the third transistor;
A second transistor of the second conductivity type having the gate connected to the second input wiring and the second transistor terminal connected to the second transistor terminal of the fourth transistor;
A seventh transistor of the first conductivity type inserted into the second power supply wiring and having a gate connected to a first transistor terminal of the fifth transistor and a first transistor terminal of the sixth transistor; ,
A semiconductor device.
前記第1の電源配線と前記第2の電源配線との間に接続される第3のコンデンサを更に有する請求項1に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 1, further comprising a third capacitor connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring. 前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子と、前記第2の電源配線上に設けられる第2の出力端子とが縦列接続される複数の前記整流回路と、
初段に配置される前記整流回路の前記第1の電源配線と、最終段に配置される前記整流回路の前記第2の電源配線と、の間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項1に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits in which a first output terminal provided on the first power supply wiring and a second output terminal provided on the second power supply wiring are connected in cascade;
2. A smoothing capacitor connected between the first power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the first stage and the second power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the last stage. A semiconductor device according to 1.
前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子が、それぞれ共通配線を介して付加に接続される複数の前記整流回路と、
前記共通配線と接地配線との間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項1に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits each having a first output terminal provided on the first power supply wiring additionally connected via a common wiring;
The semiconductor device according to claim 1, further comprising a smoothing capacitor connected between the common wiring and the ground wiring.
前記第1の電源配線と、前記第2の電源配線との間に接続され、前記第2の電源配線を介して伝達される第1の電源電圧を昇圧、又は、降圧して第2の電源電圧を生成する電源回路を更に有する請求項1に記載の半導体装置。   The second power supply is connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring and boosts or steps down the first power supply voltage transmitted through the second power supply wiring. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a power supply circuit that generates a voltage. 整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
第1の交流信号を第1のバイアス電圧に重畳して第1の入力信号を生成する第1のバイアス回路と、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の入力信号が入力される第1導電型の第1のトランジスタと、
前記第1の交流信号を前記第1のバイアス電圧よりも高い電圧の第2のバイアス電圧に重畳して第2の入力信号を生成する第2のバイアス回路と、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第2の入力信号が入力される第2導電型の第2のトランジスタと、
前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、を接続する素子間配線と、
前記素子間配線に一端が接続され、他端に前記第1の交流信号と位相が反転する第2の交流信号が入力されるコンデンサと、
を有する半導体装置。
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
A first bias circuit for generating a first input signal by superimposing a first alternating signal on a first bias voltage;
A first transistor of a first conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a first power supply wiring, and the first input signal is input to a gate;
A second bias circuit that generates a second input signal by superimposing the first AC signal on a second bias voltage that is higher than the first bias voltage;
A second transistor of a second conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a second power supply wiring, and the second input signal is input to a gate;
An inter-element wiring connecting the second transistor terminal of the first transistor and the second transistor terminal of the second transistor;
A capacitor having one end connected to the inter-element wiring and the other end receiving a second AC signal whose phase is inverted from that of the first AC signal;
A semiconductor device.
前記第1の電源配線と前記第2の電源配線との間に接続される第3のコンデンサを更に有する請求項6に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 6, further comprising a third capacitor connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring. 前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子と、前記第2の電源配線上に設けられる第2の出力端子とが縦列接続される複数の前記整流回路と、
初段に配置される前記整流回路の前記第1の電源配線と、最終段に配置される前記整流回路の前記第2の電源配線と、の間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項6に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits in which a first output terminal provided on the first power supply wiring and a second output terminal provided on the second power supply wiring are connected in cascade;
7. A smoothing capacitor connected between the first power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the first stage and the second power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the final stage. A semiconductor device according to 1.
前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子が、それぞれ共通配線を介して付加に接続される複数の前記整流回路と、
前記共通配線と接地配線との間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項6に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits each having a first output terminal provided on the first power supply wiring additionally connected via a common wiring;
The semiconductor device according to claim 6, further comprising a smoothing capacitor connected between the common wiring and the ground wiring.
前記第1の電源配線と、前記第2の電源配線との間に接続され、前記第2の電源配線を介して伝達される第1の電源電圧を昇圧、又は、降圧して第2の電源電圧を生成する電源回路を更に有する請求項6に記載の半導体装置。   The second power supply is connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring and boosts or steps down the first power supply voltage transmitted through the second power supply wiring. The semiconductor device according to claim 6, further comprising a power supply circuit that generates a voltage. 整流回路を有する半導体装置であって、前記整流回路が、
第1の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに第1の交流信号が入力される第1導電型の第1のトランジスタと、
第2の電源配線に第1のトランジスタ端子が接続され、ゲートに前記第1の交流信号が入力される第2導電型の第2のトランジスタと、
ゲートに前記第1の交流信号が接続され、第2のトランジスタ端子が前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子に接続される前記第2導電型の第3のトランジスタと、
前記第2の電源配線に挿入され、ゲートが前記第3のトランジスタの第1のトランジスタ端子に接続される前記第1導電型の第4のトランジスタと、
前記第1のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第2のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、前記第3のトランジスタの第2のトランジスタ端子と、を接続する素子間配線と、
前記素子間配線に一端が接続され、他端に前記第1の交流信号と位相が反転する第2の交流信号が入力されるコンデンサと、
を有する半導体装置。
A semiconductor device having a rectifier circuit, wherein the rectifier circuit is
A first transistor of a first conductivity type having a first transistor terminal connected to the first power supply wiring and a first AC signal input to the gate;
A second transistor of a second conductivity type, wherein a first transistor terminal is connected to a second power supply wiring, and the first AC signal is input to a gate;
A second transistor of the second conductivity type having a gate connected to the first AC signal and a second transistor terminal connected to a second transistor terminal of the second transistor;
A fourth transistor of the first conductivity type inserted into the second power supply wiring and having a gate connected to a first transistor terminal of the third transistor;
An inter-element wiring connecting the second transistor terminal of the first transistor, the second transistor terminal of the second transistor, and the second transistor terminal of the third transistor;
A capacitor having one end connected to the inter-element wiring and the other end receiving a second AC signal whose phase is inverted from that of the first AC signal;
A semiconductor device.
前記第1の電源配線と前記第2の電源配線との間に接続される第3のコンデンサを更に有する請求項11に記載の半導体装置。   The semiconductor device according to claim 11, further comprising a third capacitor connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring. 前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子と、前記第2の電源配線上に設けられる第2の出力端子とが縦列接続される複数の前記整流回路と、
初段に配置される前記整流回路の前記第1の電源配線と、最終段に配置される前記整流回路の前記第2の電源配線と、の間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項11に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits in which a first output terminal provided on the first power supply wiring and a second output terminal provided on the second power supply wiring are connected in cascade;
12. A smoothing capacitor connected between the first power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the first stage and the second power supply wiring of the rectifier circuit arranged in the last stage. A semiconductor device according to 1.
前記第1の電源配線上に設けられる第1の出力端子が、それぞれ共通配線を介して付加に接続される複数の前記整流回路と、
前記共通配線と接地配線との間に接続される平滑コンデンサと、を有する請求項11に記載の半導体装置。
A plurality of rectifier circuits each having a first output terminal provided on the first power supply wiring additionally connected via a common wiring;
The semiconductor device according to claim 11, further comprising a smoothing capacitor connected between the common wiring and the ground wiring.
前記第1の電源配線と、前記第2の電源配線との間に接続され、前記第2の電源配線を介して伝達される第1の電源電圧を昇圧、又は、降圧して第2の電源電圧を生成する電源回路を更に有する請求項11に記載の半導体装置。   The second power supply is connected between the first power supply wiring and the second power supply wiring and boosts or steps down the first power supply voltage transmitted through the second power supply wiring. The semiconductor device according to claim 11, further comprising a power supply circuit that generates a voltage.
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