JP6450772B2 - Coating composition, process for its production and use thereof - Google Patents

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Description

本発明は、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体から製造可能なコーティング組成物、ならびにその製造方法およびその使用に関する。   The present invention relates to a coating composition that can be produced from at least one yttrium-containing precursor, as well as a process for its production and its use.

印刷プロセスおよび他の液体被着プロセスによる半導電性電子部品層の製造は、連続作業において半導体を被着させることができるため、多くの他の技術、例えば、化学蒸着（ＣＶＤ）など、に比べて、製造コストの著しい低減が可能とする。したがって、例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の製造のために、液相プロセスが開発された。これに関連して、特に、酸化インジウムを含有する半導体層に基づく薄膜トランジスタは、非常に興味深い。しかしながら、液相プロセスによって製造された酸化インジウム含有半導体層は、電気特性および安定性が共に不十分であるという欠点を有する。特に、周囲からの影響および半導体層における表面欠陥は、酸化インジウム含有層がその電子特性において経時およびストレス下において一貫性を欠く原因となる。この理由から、酸化インジウム含有層上に位置される安定化層が開発され、これは、結果として表面欠陥の緩和および／または周囲の影響からの保護をもたらす。   The production of semiconductive electronic component layers by printing processes and other liquid deposition processes allows semiconductors to be deposited in a continuous operation, compared to many other techniques, such as chemical vapor deposition (CVD) Thus, the manufacturing cost can be significantly reduced. Thus, for example, liquid phase processes have been developed for the manufacture of thin film transistors (TFTs). In this connection, in particular thin film transistors based on semiconductor layers containing indium oxide are very interesting. However, indium oxide-containing semiconductor layers produced by a liquid phase process have the disadvantage that both electrical properties and stability are insufficient. In particular, ambient influences and surface defects in the semiconductor layer cause the indium oxide-containing layer to be inconsistent in its electronic properties over time and under stress. For this reason, a stabilization layer located on the indium oxide containing layer has been developed, which results in mitigating surface defects and / or protection from ambient influences.

先行技術は、酸化インジウム半導体層のための特に好適な安定化層として酸化イットリウム含有層について記載している（Ｎｏｍｕｒａら，Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ ９９，０５３５０５−１−０５３５０５−３（２０１１）；Ｎｏｍｕｒａら，Ｔｈｉｎ ｓｏｌｉｄ Ｆｉｌｍｓ ５２０（２０１２）３３７８−３７８２；米国特許出願公開第２０１２／００９７９５７（Ａ１）号）。しかしながら、これらに記載されている酸化イットリウム含有層は、ＣＶＤプロセス、Ｅ−ビーム蒸発、およびＰＬＤ（パルスレーザー堆積法）などのプロセスにより、著しく高いコストおよび複雑さにおいて製造されている。したがって、酸化インジウム含有層の安定化にとって本質的に好適なこれらの酸化イットリウム層を、低いコストおよび簡便な方法で製造できることが、望ましいであろう。   The prior art describes yttrium oxide-containing layers as particularly suitable stabilization layers for indium oxide semiconductor layers (Nomura et al., Applied Physics Letters 99, 053505-1-053505-3 (2011); Nomura et al., Thin solid Films 520 (2012) 3378-3782; US Patent Application Publication No. 2012/0097957 (A1)). However, the yttrium oxide-containing layers described therein are produced at significantly higher cost and complexity by processes such as CVD processes, E-beam evaporation, and PLD (pulse laser deposition). Therefore, it would be desirable to be able to produce these yttrium oxide layers that are inherently suitable for stabilization of indium oxide containing layers at a low cost and in a simple manner.

例えば、米国特許出願公開第２０１２／０１０４３８１（Ａ１）号は、液相プロセスまたはゾル−ゲルプロセスなどによって製造することができる「低トラップ密度の材料の層」を有する金属酸化物をベースとする半導体部品の一般的開示を提供する。しかしながら、酸化イットリウム含有層の製造のための液相プロセスまたはゾル−ゲルプロセスについては、そこでは説明されていない。酸化イットリウム含有層を製造するためのゾル−ゲルプロセスは、例えば、Ｒｕｄｏｌｐｈ Ｒｉｐｐｓｔｅｉｎによる論文（１９９３）に記載されている。したがって、酸化イットリウム含有層を製造するための水性プロセスは、先行技術の一部である。しかしながら、そこで説明されているイットリウム前駆体のゲル水溶液では、十分に良好な効果まで酸化インジウム含有層を安定化する安定化層は得られない。   For example, US 2012/0104381 (A1) describes a semiconductor based on a metal oxide having a “layer of low trap density material” that can be manufactured by a liquid phase process or a sol-gel process or the like. Provides general disclosure of parts. However, no liquid phase or sol-gel process for the production of yttrium oxide-containing layers is described there. A sol-gel process for producing yttrium oxide-containing layers is described, for example, in a paper by Rudolph Rippstain (1993). Thus, aqueous processes for producing yttrium oxide containing layers are part of the prior art. However, the yttrium precursor gel aqueous solution described therein cannot provide a stabilizing layer that stabilizes the indium oxide-containing layer to a sufficiently good effect.

したがって、本発明の目的は、特に酸化インジウム含有層のための安定化層として好適な、コーティング組成物を提供することである。これに関連して特に望ましい目的は、これらのコーティング組成物を用いて、半導体層を覆って配置された安定化層を有し、極めて低いスイッチオン電圧を示し、さらには負および正のバイアスストレス試験（ＮＢＳＴおよびＰＢＳＴ）でのスイッチオン電圧におけるシフトが特に小さい、トランジスタを製造することを可能にすることである。   Accordingly, it is an object of the present invention to provide a coating composition suitable as a stabilizing layer, particularly for an indium oxide containing layer. A particularly desirable objective in this context is to use these coating compositions to have a stabilizing layer disposed over the semiconductor layer, exhibiting very low switch-on voltage, and even negative and positive bias stresses. It is possible to produce a transistor with a particularly small shift in the switch-on voltage in the test (NBST and PBST).

本目的は、少なくとも１種のインジウム含有前駆体、溶媒Ａ、ならびに溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂ（ここで、２０℃での溶媒Ｂの蒸気圧に対する２０℃での溶媒Ａの蒸気圧の比率は以下の式：
の通りである）、から製造可能である、本発明のコーティング組成物により達成される。 The purpose is to provide at least one indium-containing precursor, solvent A, and solvent B different from solvent A, where the ratio of the vapor pressure of solvent A at 20 ° C. to the vapor pressure of solvent B at 20 ° C. is The following formula:
Is achieved by the coating composition of the present invention.

ここで、コーティング組成物とは、コーティングの製造にとって、より詳しくはイットリウム含有コーティングの製造にとって好適な、液体配合物を意味する。本発明のコーティング組成物は、好ましくは、印刷プロセス、スロットダイプロセス、またはスピンコーティングプロセスにとって好適なコーティング組成物である。非常に特に好ましくは、本発明のコーティング組成物は、印刷プロセスにとって好適なコーティング組成物、すなわち、印刷用インクである。ここで、イットリウム含有「前駆体」とは、可溶性または分散性の、イットリウムを含有する化学化合物であって、対応する組成物が印刷された後に、イットリウム酸化物含有層、より詳細には酸化イットリウム層へと変換可能な化学化合物である。ここで、「イットリウム含有」前駆体とは、少なくとも１つのイットリウム原子を有する前駆体である。本発明のコーティング組成物はさらに、少なくとも２種の溶媒ＡおよびＢを含む。溶媒ＡおよびＢは、溶媒Ａと比べて揮発性の低い溶媒Ｂの２０℃での蒸気圧に対する、溶媒Ｂと比べて揮発性の高い溶媒Ａの２０℃での蒸気圧の比率が１０以上であるように選択される。この場合の蒸気圧は、当業者に公知の静的な決定法を用いて特定される。その方法では、所定の温度（ここでは２０℃）の閉鎖された系において、およそ熱力学的平衡状態で生じる、物質上での蒸気圧を測定する。ここで、好ましくは、溶媒Ａは、溶媒Ｂより揮発性が高いだけでなく、コーティング組成物中に存在する全ての溶媒と比べて最も高い蒸気圧も有する。さらに、好ましくは、溶媒Ｂは、溶媒Ａより揮発性が低いだけでなく、コーティング組成物中に存在する全ての溶媒と比べて最も低い蒸気圧も有する。   Here, a coating composition means a liquid formulation that is suitable for the production of coatings and more particularly for the production of yttrium-containing coatings. The coating composition of the present invention is preferably a coating composition suitable for a printing process, slot die process, or spin coating process. Very particularly preferably, the coating composition according to the invention is a coating composition suitable for the printing process, ie a printing ink. Here, the yttrium-containing “precursor” is a soluble or dispersible yttrium-containing chemical compound, and after the corresponding composition is printed, the yttrium oxide-containing layer, more specifically yttrium oxide. It is a chemical compound that can be converted into a layer. Here, an “yttrium-containing” precursor is a precursor having at least one yttrium atom. The coating composition of the present invention further comprises at least two solvents A and B. In the solvents A and B, the ratio of the vapor pressure at 20 ° C. of the solvent A, which is more volatile than the solvent B, to the vapor pressure at 20 ° C. of the solvent B, which is less volatile than the solvent A, is 10 or more. Selected to be. The vapor pressure in this case is specified using static determination methods known to those skilled in the art. The method measures the vapor pressure on the material, which occurs in a closed system at a given temperature (here 20 ° C.), approximately in thermodynamic equilibrium. Here, preferably, solvent A is not only more volatile than solvent B, but also has the highest vapor pressure compared to all solvents present in the coating composition. Further, preferably, solvent B is not only less volatile than solvent A, but also has the lowest vapor pressure compared to all solvents present in the coating composition.

溶液中に存在する前駆体の構造を特定することは困難である。それでも、溶液中に存在する前駆体の構成は結晶中と同じであると想定される。この理由から、本発明の配合物は、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体および少なくとも２種の溶媒から製造可能であるだけでなく、少なくとも１種の前駆体および少なくとも２種の溶媒を含むことが想定される。対応する所見は、本明細書の以下において説明される全ての好ましい実施形態における前駆体に対し、等しく当てはまる。   It is difficult to identify the structure of the precursor present in the solution. Nevertheless, it is assumed that the composition of the precursor present in the solution is the same as in the crystal. For this reason, the formulations according to the invention can not only be prepared from at least one yttrium-containing precursor and at least two solvents, but also contain at least one precursor and at least two solvents. is assumed. Corresponding findings apply equally to the precursors in all preferred embodiments described herein below.

当該少なくとも１種のイットリウム含有前駆体は、（半）金属原子としてイットリウムのみを有し得る。（半）金属は、金属および半金属を意味する。あるいは、当該少なくとも１つの前駆体は、イットリウムに加えて、他の金属原子または半金属原子も有していてもよい。しかしながら、好ましくは、当該コーティング組成物の製造において使用される全ての前駆体は、イットリウムのみを有する。   The at least one yttrium-containing precursor may have only yttrium as a (semi) metal atom. (Semi) metal means metal and metalloid. Alternatively, the at least one precursor may have other metal atoms or metalloid atoms in addition to yttrium. Preferably, however, all precursors used in the manufacture of the coating composition have only yttrium.

特に良好なコーティング組成物は、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体が、イットリウムアルコキシド、イットリウムオキソアルコキシド、イットリウムアルコキシアルコキシド、およびイットリウム塩からなる群より選択される場合に結果として得られる。イットリウムアルコキシドは、少なくとも１つのイットリウム原子と少なくとも３つのアルコキシ基とを有するイットリウム化合物である。イットリウムアルコキシドとは対照的に、イットリウムオキソアルコキシドは、少なくとも１つの多重架橋酸素原子も有しており、このことは、それらが、少なくとも２つのイットリウム原子、少なくとも１つのオキソ基、および少なくとも４つのアルコキシド基からなることを意味する。しかしながら、オキソ基の架橋効果により、イットリウムオキソアルコキシドは、しばしば、クラスター様化合物である。さらに、イットリウムアルコキシアルコキシドは、少なくとも１つのイットリウム原子および少なくとも１つのオキソアルキルアルキル基（Ｒ−Ｏ−Ｒ’−Ｏ−基）を有するイットリウム化合物である。イットリウムアルコキシアルコキシドは、排他的に、イットリウム原子および３つのＲ−Ｏ−Ｒ’−Ｏ−基からなり得、さらに、後者に加え、オキソ基および／またはアルコキシド基を有し得る。さらに、好ましいイットリウム塩は、硝酸イットリウムおよびハロゲン化イットリウムである。特に良好な結果は、当該少なくとも１種の前駆体が、イットリウムオキソアルコキシドの群、より詳細には、一般式ＹｘＯｙ（ＯＲ）ｚ（式中、３≦ｘ≦１２、１≦ｙ≦ｘ、ｘ≦ｚ≦（３ｘ−１）、およびｙ＋ｚ≧ｘである）のイットリウムオキソアルコキシドの群より選択される場合に得られる。 Particularly good coating compositions result when the at least one yttrium-containing precursor is selected from the group consisting of yttrium alkoxide, yttrium oxoalkoxide, yttrium alkoxyalkoxide, and yttrium salt. Yttrium alkoxide is an yttrium compound having at least one yttrium atom and at least three alkoxy groups. In contrast to yttrium alkoxides, yttrium oxoalkoxides also have at least one multi-bridged oxygen atom, which means that they contain at least two yttrium atoms, at least one oxo group, and at least four alkoxides. Means consisting of a group. However, due to the crosslinking effect of oxo groups, yttrium oxoalkoxides are often cluster-like compounds. Furthermore, yttrium alkoxyalkoxides are yttrium compounds having at least one yttrium atom and at least one oxoalkylalkyl group (RO—R′—O— group). An yttrium alkoxy alkoxide can consist exclusively of an yttrium atom and three R—O—R′—O— groups, and can further have an oxo group and / or an alkoxide group in addition to the latter. Further preferred yttrium salts are yttrium nitrate and yttrium halide. Particularly good results show that the at least one precursor is a group of yttrium oxoalkoxides, more particularly the general formula Y x O y (OR) z (where 3 ≦ x ≦ 12, 1 ≦ y ≦ obtained when selected from the group of yttrium oxoalkoxides, wherein x, x ≦ z ≦ (3x−1), and y + z ≧ x.

最良のコーティング組成物は、それらの前駆体としてイットリウムオキソアルコキシドＹ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３を含む。 The best coating compositions contain yttrium oxoalkoxide Y 5 O (O-iPr) 13 as their precursor.

本発明のコーティング組成物は、好ましくは、配合物の総質量に対して０．１〜１０重量％の総分率にて使用される全てのイットリウム含有前駆体を含む。   The coating composition of the present invention preferably comprises all yttrium-containing precursors used in a total fraction of 0.1 to 10% by weight relative to the total mass of the formulation.

さらに、当該コーティング組成物は、イットリウム不含（半）金属前駆体を使用して製造することもできる。それらの分率は、好ましくは、５重量％以下である。しかしながら、特に好ましくは、当該コーティング組成物は、イットリウム不含前駆体を使用せずに製造される。したがって、特に好ましくは、本発明のコーティング組成物は、排他的にイットリウム含有前駆体により製造される。   Furthermore, the coating composition can also be produced using an yttrium-free (semi) metal precursor. Their fraction is preferably not more than 5% by weight. Particularly preferably, however, the coating composition is produced without the use of yttrium-free precursors. Thus, particularly preferably, the coating composition according to the invention is produced exclusively with yttrium-containing precursors.

本発明のコーティング組成物は、少なくとも２種の溶媒を有する。本発明のコーティング組成物は、好ましくは、非水性である。というのも、それにより、特に均質で薄い層を得ることができるからである。ここで、非水性コーティング組成物とは、溶媒として水を含まないコーティング組成物を意味する。したがって、対応するコーティング組成物は、ゾル−ゲルプロセスにおいて使用されない組成物である。さらに好ましくは、当該コーティング組成物の水含有量（例えば、雰囲気からの水の吸収の結果として）は、５００ｐｐｍ以下である。   The coating composition of the present invention has at least two solvents. The coating composition of the present invention is preferably non-aqueous. This makes it possible to obtain a particularly homogeneous and thin layer. Here, the non-aqueous coating composition means a coating composition that does not contain water as a solvent. Accordingly, the corresponding coating composition is a composition that is not used in a sol-gel process. More preferably, the water content of the coating composition (eg, as a result of water absorption from the atmosphere) is 500 ppm or less.

溶媒ＡおよびＢは、好ましくは、アルコール、アルコキシアルコール、ヒドロキシエーテルならびにカルボン酸エステル、および乳酸エステルの群より選択される。   Solvents A and B are preferably selected from the group of alcohols, alkoxy alcohols, hydroxy ethers and carboxylic acid esters, and lactic acid esters.

特に良好な結果は、２つの溶媒の蒸気圧の比率が１０以上であって、さらにＳＡＴＰ条件下での当該２つの溶媒ＡおよびＢの沸点の差が≧３０℃である場合に得られる。ここで、「ＳＡＴＰ条件」は、１０５Ｐａの圧力および２５℃の温度を意味する。 Particularly good results are obtained when the ratio of the vapor pressures of the two solvents is 10 or more and the difference between the boiling points of the two solvents A and B under SATP conditions is ≧ 30 ° C. Here, “SATP condition” means a pressure of 10 5 Pa and a temperature of 25 ° C.

さらに好ましくは、ＳＡＴＰ条件下での溶媒Ａの沸点は、５０〜１４０℃である。   More preferably, the boiling point of the solvent A under SATP conditions is 50 to 140 ° C.

さらに好ましい溶媒Ａは、１−メトキシ−２−プロパノール、２−メトキシエタノール、酢酸ブチル、イソプロパノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、およびエタノールからなる群より選択されるものである。   Further preferred solvent A is selected from the group consisting of 1-methoxy-2-propanol, 2-methoxyethanol, butyl acetate, isopropanol, tert-butanol, and ethanol.

非常に好ましくは、溶媒Ａはエタノールである。   Most preferably, solvent A is ethanol.

さらに好ましくは、溶媒Ｂの沸点は、ＳＡＴＰ条件下において１００〜２００℃である。   More preferably, the boiling point of the solvent B is 100 to 200 ° C. under SATP conditions.

さらに好ましくは、溶媒Ｂは、１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、および乳酸エチルからなる群より選択される。   More preferably, solvent B is selected from the group consisting of 1-hexanol, cyclohexanol, tetrahydrofurfuryl alcohol, 1-methoxy-2-propyl acetate, and ethyl lactate.

非常に好ましくは、溶媒Ｂは、１−ヘキサノールまたはテトラヒドロフルフリルアルコール、とりわけ好ましくはテトラヒドロフルフリルアルコールである。   Very preferably, solvent B is 1-hexanol or tetrahydrofurfuryl alcohol, particularly preferably tetrahydrofurfuryl alcohol.

さらに好ましくは、溶媒Ａの分率は、存在する溶媒の総体積に対して、７５〜９９体積％であり、ならびに溶媒Ｂの分率は、１〜２５重量％である。   More preferably, the fraction of solvent A is 75-99% by volume with respect to the total volume of solvent present, and the fraction of solvent B is 1-25% by weight.

当該コーティング組成物は、溶媒ＡおよびＢに加えて、溶媒ＡおよびＢとは異なるさらなる溶媒を含んでいてもよい。それはまた、排他的に溶媒ＡおよびＢを有し得、したがって、排他的に２種の溶媒を有し得る。当該コーティング組成物は、好ましくは、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、および溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂ（ここで、溶媒Ｂの蒸気圧に対する溶媒Ａの蒸気圧の比率は以下の式：
の通りである）。 In addition to the solvents A and B, the coating composition may contain a further solvent different from the solvents A and B. It can also have solvents A and B exclusively and thus can have two solvents exclusively. The coating composition preferably comprises at least one yttrium-containing precursor, solvent A, and solvent B different from solvent A, wherein the ratio of the vapor pressure of solvent A to the vapor pressure of solvent B is :
).

さらに、溶媒Ａおよび溶媒Ｂとは異なる第三の溶媒Ｃ、から製造することができる。当該第三の溶媒Ｃは、好ましくは、１−メトキシ−２−プロパノールおよびシクロヘキサノールからなる群より選択される。 Furthermore, it can be produced from a third solvent C, which is different from the solvent A and the solvent B. The third solvent C is preferably selected from the group consisting of 1-methoxy-2-propanol and cyclohexanol.

とりわけ好ましいのは、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、溶媒Ｂ、および溶媒Ｃから製造されるコーティング組成物である。したがって、より好ましくは、本発明のコーティング組成物は、排他的に３種の溶媒を有する。   Particularly preferred are coating compositions made from at least one yttrium-containing precursor, solvent A, solvent B, and solvent C. Therefore, more preferably, the coating composition of the present invention has exclusively three solvents.

非常に好ましくは、当該溶媒Ａはエタノールであり、溶媒Ｂは、１−ヘキサノールまたはテトラヒドロフルフリルアルコールであり、ならびに溶媒Ｃは、１−メトキシ−２−プロパノールまたはシクロヘキサノールである。   Most preferably, the solvent A is ethanol, solvent B is 1-hexanol or tetrahydrofurfuryl alcohol, and solvent C is 1-methoxy-2-propanol or cyclohexanol.

本発明のコーティング組成物は、追加的に、所望の特性を達成するために１種または複数種の添加剤を有し得る。当該コーティング組成物が添加剤を含む場合、これらの添加剤は、当該コーティング組成物の総質量に対して、好ましくは２重量％未満において存在する。しかしながら、さらに好ましくは、本発明のコーティング組成物は、添加剤を含まない。   The coating composition of the present invention may additionally have one or more additives to achieve the desired properties. If the coating composition contains additives, these additives are preferably present in less than 2% by weight relative to the total mass of the coating composition. More preferably, however, the coating composition of the present invention contains no additives.

本発明はさらに、先行する請求項のいずれか一項に記載のコーティング組成物を製造する方法であって、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂ（ここで、２０℃での溶媒Ｂの蒸気圧に対する２０℃での溶媒Ａの蒸気圧の比率は以下の式：
の通りである）、ならびに、場合によりさらなる溶媒および添加剤、がお互いに混合される方法を提供する。 The present invention further provides a method for producing a coating composition according to any one of the preceding claims, wherein at least one yttrium-containing precursor, solvent A, solvent B different from solvent A (wherein The ratio of the vapor pressure of solvent A at 20 ° C. to the vapor pressure of solvent B at 20 ° C. is:
And optionally further solvents and additives are provided with each other.

ここで、イットリウム含有「前駆体」とは、可溶性または分散性の、イットリウムを含有する化学化合物であって、対応する組成物の印刷の後に、酸化イットリウム含有層へと変換可能な化学化合物である。さらに、「イットリウム含有」前駆体とは、少なくとも１つのイットリウム原子を有する前駆体を意味する。本発明の方法は、さらに、少なくとも２種の溶媒ＡおよびＢを用いる。溶媒ＡおよびＢは、溶媒Ａと比べて揮発性の低い溶媒Ｂの蒸気圧に対する、溶媒Ｂと比べて揮発性の高い溶媒Ａの蒸気圧の比率が１０以上であるように選択される。この場合の蒸気圧は、当業者に公知の静的な決定法を用いて特定される。その方法では、所定の温度（ここでは２０℃）の閉鎖された系において、およそ熱力学的平衡状態において生じる、物質上での蒸気圧を測定する。ここで、好ましくは、溶媒Ａは、溶媒Ｂより揮発性が高いだけでなく、当該方法において使用される全ての溶媒と比べて最も高い蒸気圧も有する。好ましくは、さらに、溶媒Ｂは、溶媒Ａより揮発性が低いだけでなく、当該方法において使用される全ての溶媒と比べて最も低い蒸気圧も有する。   Here, the yttrium-containing “precursor” is a soluble or dispersible chemical compound containing yttrium, which can be converted into an yttrium oxide-containing layer after printing of the corresponding composition. . Further, “yttrium-containing” precursor means a precursor having at least one yttrium atom. The method of the present invention further uses at least two solvents A and B. Solvents A and B are selected such that the ratio of the vapor pressure of solvent A, which is more volatile than solvent B, to the vapor pressure of solvent B, which is less volatile than solvent A, is 10 or more. The vapor pressure in this case is specified using static determination methods known to those skilled in the art. The method measures the vapor pressure on the material, which occurs in a closed system at a given temperature (here 20 ° C.), approximately in thermodynamic equilibrium. Here, preferably, solvent A is not only more volatile than solvent B, but also has the highest vapor pressure compared to all solvents used in the process. Preferably, solvent B is not only less volatile than solvent A, but also has the lowest vapor pressure compared to all solvents used in the process.

当該少なくとも１種のイットリウム含有前駆体は、（半）金属原子としてイットリウムのみを有し得る。（半）金属は、金属および半金属を意味する。あるいは、当該少なくとも１つの前駆体は、イットリウムに加えて、他の金属原子または半金属原子も有していてもよい。しかしながら、好ましくは、当該方法において使用される全ての前駆体は、イットリウムのみを有する。   The at least one yttrium-containing precursor may have only yttrium as a (semi) metal atom. (Semi) metal means metal and metalloid. Alternatively, the at least one precursor may have other metal atoms or metalloid atoms in addition to yttrium. However, preferably all precursors used in the process have only yttrium.

特に良好なコーティング組成物は、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体が、イットリウムアルコキシド、イットリウムオキソアルコキシド、イットリウムアルコキシアルコキシド、およびイットリウム塩からなる群より選択される場合に結果として得られる。イットリウムアルコキシドは、少なくとも１つのイットリウム原子と少なくとも３つのアルコキシ基とを有するイットリウム化合物である。イットリウムアルコキシドとは対照的に、イットリウムオキソアルコキシドは、少なくとも１つの多重架橋酸素原子も有しており、このことは、それらが、少なくとも２つのイットリウム原子、少なくとも１つのオキソ基、および少なくとも４つのアルコキシド基からなることを意味する。しかしながら、オキソ基の架橋効果により、イットリウムオキソアルコキシドは、しばしば、クラスター状化合物である。さらに、イットリウムアルコキシアルコキシドは、少なくとも１つのイットリウム原子および少なくとも１つのオキソアルキルアルキル基（Ｒ−Ｏ−Ｒ’−Ｏ−基）を有するイットリウム化合物である。イットリウムアルコキシアルコキシドは、排他的に、イットリウム原子および３つのＲ−Ｏ−Ｒ’−Ｏ−基からなり得、さらに、後者に加え、オキソ基および／またはアルコキシド基を有し得る。さらに、好ましいイットリウム塩は、硝酸イットリウムおよびハロゲン化イットリウムである。特に良好な結果は、当該少なくとも１種の前駆体が、イットリウムオキソアルコキシドの群、より詳細には、一般式ＹｘＯｙ（ＯＲ）ｚ（式中、３≦ｘ≦１２、１≦ｙ≦ｘ、ｘ≦ｚ≦（３ｘ−１）、およびｙ＋ｚ≧ｘである）のイットリウムオキソアルコキシドの群より選択される場合に結果として得られる。 Particularly good coating compositions result when the at least one yttrium-containing precursor is selected from the group consisting of yttrium alkoxide, yttrium oxoalkoxide, yttrium alkoxyalkoxide, and yttrium salt. Yttrium alkoxide is an yttrium compound having at least one yttrium atom and at least three alkoxy groups. In contrast to yttrium alkoxides, yttrium oxoalkoxides also have at least one multi-bridged oxygen atom, which means that they contain at least two yttrium atoms, at least one oxo group, and at least four alkoxides. Means consisting of a group. However, yttrium oxoalkoxides are often cluster-like compounds due to the crosslinking effect of the oxo group. Furthermore, yttrium alkoxyalkoxides are yttrium compounds having at least one yttrium atom and at least one oxoalkylalkyl group (RO—R′—O— group). An yttrium alkoxy alkoxide can consist exclusively of an yttrium atom and three R—O—R′—O— groups, and can further have an oxo group and / or an alkoxide group in addition to the latter. Further preferred yttrium salts are yttrium nitrate and yttrium halide. Particularly good results show that the at least one precursor is a group of yttrium oxoalkoxides, more particularly the general formula Y x O y (OR) z (where 3 ≦ x ≦ 12, 1 ≦ y ≦ as a result when selected from the group of yttrium oxoalkoxides, where x, x ≦ z ≦ (3x−1), and y + z ≧ x.

最良のコーティング組成物は、その前駆体がイットリウムオキソアルコキシドＹ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３である場合に得られる。 The best of the coating composition, the precursor can be obtained in the case of yttrium oxoalkoxides Y 5 O (O-iPr) 13.

本発明の方法は、好ましくは、全てのイットリウム含有前駆体を、配合物の総質量に対して０．１〜１０重量％の総分率にて使用する。   The process of the present invention preferably uses all yttrium-containing precursors in a total fraction of 0.1 to 10% by weight relative to the total mass of the formulation.

本発明の方法では、イットリウム不含（半）金属前駆体も使用することができる。それらの分率は、好ましくは、５重量％以下である。しかしながら、特に好ましくは、当該方法は、イットリウム不含前駆体を使用せずに実施される。したがって、特に好ましくは、本発明のコーティング組成物は、排他的にイットリウム含有前駆体により製造される。   In the process of the invention, yttrium-free (semi) metal precursors can also be used. Their fraction is preferably not more than 5% by weight. Particularly preferably, however, the process is carried out without the use of yttrium-free precursors. Thus, particularly preferably, the coating composition according to the invention is produced exclusively with yttrium-containing precursors.

本発明の方法は、さらに、少なくとも２種の溶媒を用いる。本発明の方法は、好ましくは、非水性である。というのも、その場合、特に均質で薄い層の製造において、好適な非水性コーティング組成物を得ることができるからである。ここで、非水性コーティング組成物とは、溶媒として水を含まないコーティング組成物を意味する。したがって、対応するコーティング組成物は、ゾル−ゲルプロセスにおいて使用されない組成物である。さらに好ましくは、実施された当該方法における、すなわち当該組成物における水含有量（例えば、雰囲気からの水の吸収の結果として）は、５００ｐｐｍ以下である。   The method of the present invention further uses at least two solvents. The method of the present invention is preferably non-aqueous. This is because in that case a suitable non-aqueous coating composition can be obtained, especially in the production of homogeneous and thin layers. Here, the non-aqueous coating composition means a coating composition that does not contain water as a solvent. Accordingly, the corresponding coating composition is a composition that is not used in a sol-gel process. More preferably, the water content in the method carried out, ie in the composition (eg as a result of absorption of water from the atmosphere) is 500 ppm or less.

溶媒ＡおよびＢは、好ましくは、アルコール、アルコキシアルコール、ヒドロキシエーテルならびにカルボン酸エステル、および乳酸エステルからなる群より選択される。   Solvents A and B are preferably selected from the group consisting of alcohols, alkoxy alcohols, hydroxy ethers and carboxylic acid esters, and lactic acid esters.

特に良好な結果は、２つの溶媒の蒸気圧の比率が１０以上であって、さらにＳＡＴＰ条件下での当該２つの溶媒ＡおよびＢの沸点の差が≧３０℃である場合に得られる。ここで、「ＳＡＴＰ条件」は、１０５Ｐａの圧力および２５℃の温度を意味する。 Particularly good results are obtained when the ratio of the vapor pressures of the two solvents is 10 or more and the difference between the boiling points of the two solvents A and B under SATP conditions is ≧ 30 ° C. Here, “SATP condition” means a pressure of 10 5 Pa and a temperature of 25 ° C.

さらに好ましくは、ＳＡＴＰ条件下での溶媒Ａの沸点は、５０〜１４０℃である。   More preferably, the boiling point of the solvent A under SATP conditions is 50 to 140 ° C.

さらに好ましい溶媒Ａは、１−メトキシ−２−プロパノール、２−メトキシエタノール、酢酸ブチル、イソプロパノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、およびエタノールからなる群より選択されるものである。   Further preferred solvent A is selected from the group consisting of 1-methoxy-2-propanol, 2-methoxyethanol, butyl acetate, isopropanol, tert-butanol, and ethanol.

非常に好ましくは、溶媒Ａはエタノールである。   Most preferably, solvent A is ethanol.

さらに好ましくは、溶媒Ｂの沸点は、ＳＡＴＰ条件下において１００〜２００℃である。   More preferably, the boiling point of the solvent B is 100 to 200 ° C. under SATP conditions.

さらに好ましくは、溶媒Ｂは、１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、および乳酸エチルからなる群より選択される。   More preferably, solvent B is selected from the group consisting of 1-hexanol, cyclohexanol, tetrahydrofurfuryl alcohol, 1-methoxy-2-propyl acetate, and ethyl lactate.

非常に好ましくは、溶媒Ｂは、１−ヘキサノールまたはテトラヒドロフルフリルアルコール、とりわけ好ましくはテトラヒドロフルフリルアルコールである。   Very preferably, solvent B is 1-hexanol or tetrahydrofurfuryl alcohol, particularly preferably tetrahydrofurfuryl alcohol.

さらに好ましくは、溶媒Ａの分率は、存在する溶媒の総体積に対して、７５〜９９体積％であり、ならびに溶媒Ｂの分率は、１〜２５重量％である。   More preferably, the fraction of solvent A is 75-99% by volume with respect to the total volume of solvent present, and the fraction of solvent B is 1-25% by weight.

本発明の方法において、溶媒ＡおよびＢに加えて、溶媒ＡおよびＢとは異なるさらなる溶媒を使用してもよい。したがって、当該方法は、排他的に溶媒ＡおよびＢを、したがって排他的に２種の溶媒を用い得る。しかしながら、本発明の方法において、好ましいのは、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂ（ここで、２０℃での溶媒Ｂの蒸気圧に対する２０℃での溶媒Ａの蒸気圧の比率は以下の式：
の通りである）、ならびに、溶媒Ａおよび溶媒Ｂとは異なる少なくとも１種の第三の溶媒Ｃが、お互いに混合されることである。当該第三の溶媒Ｃは、好ましくは、１−メトキシ−２−プロパノールおよびシクロヘキサノールからなる群より選択される。 In the process of the present invention, in addition to solvents A and B, additional solvents different from solvents A and B may be used. Thus, the method can use solvents A and B exclusively, and thus exclusively two solvents. However, in the process of the invention, preference is given to at least one yttrium-containing precursor, solvent A, solvent B different from solvent A (where the solvent at 20 ° C. relative to the vapor pressure of solvent B at 20 ° C. The ratio of the vapor pressure of A is the following formula:
And at least one third solvent C different from solvent A and solvent B is mixed with each other. The third solvent C is preferably selected from the group consisting of 1-methoxy-2-propanol and cyclohexanol.

とりわけ好ましいのは、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、溶媒Ｂ、および溶媒Ｃを使用する方法である。したがって、本発明の方法において、特に好ましくは、少なくとも１種のイットリウム含有前駆体およびまさに３種の溶媒が、一緒に混合される。   Particularly preferred is a method using at least one yttrium-containing precursor, solvent A, solvent B, and solvent C. Thus, in the process according to the invention, it is particularly preferred that at least one yttrium-containing precursor and exactly three solvents are mixed together.

非常に好ましくは、当該溶媒Ａはエタノールであり、溶媒Ｂは、１−ヘキサノールまたはテトラヒドロフルフリルアルコールであり、ならびに溶媒Ｃは、１−メトキシ−２−プロパノールまたはシクロヘキサノールである。   Most preferably, the solvent A is ethanol, solvent B is 1-hexanol or tetrahydrofurfuryl alcohol, and solvent C is 1-methoxy-2-propanol or cyclohexanol.

本発明の方法において、結果として得られるコーティング組成物において所望の特性を達成するために、さらに１種または複数種の添加剤を加えてもよい。当該方法において添加剤の使用を想定する場合、それらは、好ましくは、用いられる成分の総質量に対して２重量％未満において使用される。しかしながら、さらに好ましくは、本発明の方法では、いかなる添加剤の使用も想定しない。   In the method of the present invention, one or more additives may be added to achieve the desired properties in the resulting coating composition. When envisaging the use of additives in the process, they are preferably used in less than 2% by weight relative to the total mass of the components used. More preferably, however, the process of the invention does not envisage the use of any additive.

本発明はさらに、酸化イットリウム含有層を製造するための、本発明のコーティング組成物の使用も提供する。特に好ましいのは、半導体層、より詳細には酸化インジウム含有層、の上に安定化層を製造するための、本発明のコーティング組成物の使用である。   The present invention further provides the use of the coating composition of the present invention for producing an yttrium oxide-containing layer. Particularly preferred is the use of the coating composition according to the invention for producing a stabilization layer on a semiconductor layer, more particularly an indium oxide-containing layer.

したがって、本発明はさらに、本発明のコーティング組成物から製造可能な安定化層も提供する。特に良好な特性は、本発明の安定化層の厚さが１〜２０ｎｍである場合に、当該層によって達成される。   Accordingly, the present invention further provides a stabilizing layer that can be produced from the coating composition of the present invention. Particularly good properties are achieved by the layer when the thickness of the inventive stabilization layer is 1-20 nm.

以下の実施例は、いかなる束縛効果も有することなく、本発明の主題を説明することが意図される。   The following examples are intended to illustrate the subject of the present invention without having any binding effect.

実施例１：
１ｍｌのテトラヒドロフルフリルアルコール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより、溶液を作製する。当該溶液を、１：３の体積比においてエタノールで希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。
実施例２： Example 1:
A solution is made by stirring 25 mg yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml tetrahydrofurfuryl alcohol. The solution is diluted with ethanol in a volume ratio of 1: 3. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.
Example 2:

１ｍｌの１−メトキシ−２−プロパノール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより溶液を作製する。当該溶液を、２部の１−メトキシ−２−プロパノール、１部のエタノール、および０．２部のテトラヒドロフルフリルアルコールで希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。
実施例３： A solution is made by stirring 25 mg of yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml of 1-methoxy-2-propanol. The solution is diluted with 2 parts 1-methoxy-2-propanol, 1 part ethanol, and 0.2 parts tetrahydrofurfuryl alcohol. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.
Example 3:

１ｍｌのテトラヒドロフルフリルアルコール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより、溶液を作製する。当該溶液を、１．３３部のシクロヘキサノールおよび１．６７部のｔｅｒｔ−ブタノールによって希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。
比較例１： A solution is made by stirring 25 mg yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml tetrahydrofurfuryl alcohol. The solution is diluted with 1.33 parts cyclohexanol and 1.67 parts tert-butanol. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.
Comparative Example 1:

１ｍｌのテトラヒドロフルフリルアルコール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより、溶液を作製する。当該溶液を、１：３の体積比においてテトラヒドロフルフリルアルコールで希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。
比較例２： A solution is made by stirring 25 mg yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml tetrahydrofurfuryl alcohol. The solution is diluted with tetrahydrofurfuryl alcohol in a volume ratio of 1: 3. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.
Comparative Example 2:

１ｍｌの１−メトキシ−２−プロパノール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより溶液を作製する。当該溶液を、１：３の体積比において１−メトキシ−２−プロパノールで希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。
比較例３： A solution is made by stirring 25 mg of yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml of 1-methoxy-2-propanol. The solution is diluted with 1-methoxy-2-propanol in a volume ratio of 1: 3. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.
Comparative Example 3:

１ｍｌの１−メトキシ−２−プロパノール中において２５ｍｇのイットリウムオキソアルコキシド［Ｙ５Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）１３］を撹拌することにより溶液を作製する。当該溶液を、１：３の体積比においてエタノールで希釈する。当該溶液を、スピンコーティングによって酸化インジウム含有層に塗工する。酸化インジウム含有層上に存在するイットリウム含有コーティングを熱的に変換する。 A solution is made by stirring 25 mg of yttrium oxoalkoxide [Y 5 O (O-iPr) 13 ] in 1 ml of 1-methoxy-2-propanol. The solution is diluted with ethanol in a volume ratio of 1: 3. The solution is applied to the indium oxide-containing layer by spin coating. The yttrium-containing coating present on the indium oxide-containing layer is thermally converted.

以下は、全ての実施例においてである。層の製造は、１００μｌを２０００ｒｐｍにおいて６０秒間でスピンコーティングすることによって実施される。コーティングする基材は、２３０ｎｍのＳｉＯ２層と、ＩＴＯで作製した、予めパターン形成されたソースおよびドレイン接触とを有するシリコンウェハ（１．５×１．５ｃｍ２）である。これらのウェハは、１００μｌのインジウムアルコキシド含有コーティング組成物を２０００ｒｐｍにおいて３０秒間でスピンコーティングすることによって予めコーティングされており、この層は、酸化インジウム含有層へと熱的に変換されている。両層の熱的変換は、ホットプレート上において行う。 The following is in all examples. The layer production is performed by spin coating 100 μl at 2000 rpm for 60 seconds. The substrate to be coated is a silicon wafer (1.5 × 1.5 cm 2 ) having a 230 nm SiO 2 layer and pre-patterned source and drain contacts made of ITO. These wafers have been pre-coated by spin coating 100 μl of indium alkoxide-containing coating composition at 2000 rpm for 30 seconds, and this layer has been thermally converted to an indium oxide-containing layer. Thermal conversion of both layers takes place on a hot plate.

Ｋｅｉｔｈｌｅｙ ２６１２ ＳｙｓｔｅｍソースメーターおよびＫｅｉｔｈｌｅｙ ３７０６−ＮＦＰ Ｓｙｓｔｅｍスイッチ／マルチメーターを使用して電気的特性評価を実施する。Ｎ２雰囲気下において、室温で試料を測定する。温度処理に続いて、特性評価を行う。ここで、（予めパターン形成された）ゲート、ソース、およびドレイン接触を、機器（タングステン測定チップ）に接続する。ゲート電極とソース電極との間において電圧プロファイルを実施し（−２０〜＋３０Ｖ）、ソース電極とドレイン電極との間に流れる電流を記録する。このデータは、移動度の値を計算するために使用することができる。このために使用する式は以下：
の通りであり、式中、ＩＤおよびＶＧは、それぞれ、ドレインとソースの間の電流およびゲートに印加される電圧である。ＬおよびＷは、チャンネルの長さおよび幅に対応し、Ｃｉは、誘電体の誘電率である。移動度の値が高いほど、より良好な材料である。 Electrical characterization is performed using a Keithley 2612 System source meter and a Keithley 3706-NFP System switch / multimeter. Samples are measured at room temperature under N 2 atmosphere. Following the temperature treatment, the characteristics are evaluated. Here, the gate, source and drain contacts (pre-patterned) are connected to the instrument (tungsten measuring chip). A voltage profile is implemented between the gate electrode and the source electrode (-20 to +30 V), and the current flowing between the source electrode and the drain electrode is recorded. This data can be used to calculate mobility values. The formula used for this is:
Where I D and V G are the current between the drain and source and the voltage applied to the gate, respectively. L and W correspond to the length and width of the channel, and C i is the dielectric constant of the dielectric. The higher the mobility value, the better the material.

さらなる特徴的特性は、ソース電極とドレイン電極との間で電流が流れ始めるポイントを表すスイッチオン電圧（Ｖｏｎ）であり；この電圧は、０Ｖに非常に近くあるべきである。 A further characteristic is the switch-on voltage (V on ), which represents the point at which current begins to flow between the source and drain electrodes; this voltage should be very close to 0V.

さらに、負もしくは正のバイアスストレス試験（ＮＢＳＴまたはＰＢＳＴ）の前後の測定の間におけるスイッチオン電圧のシフトも関連する。この場合、２０００秒間において初期特性線を記録した後、−２０Ｖ（ＮＢＳＴ）または＋２０Ｖ（ＰＢＳＴ）のゲート電圧を印加する。どちらの場合も、＋５Ｖのドレイン電圧（ＶＤ）を印加する。この時点の後、さらなる特性線を記録し、初期特性線との比較からスイッチオン電圧のシフトを特定する。この値は、可能な限り低くあるべきである。当該評価において、実用的応用にとって、ＮＢＳＴまたはＰＢＳＴ後のスイッチオン電圧およびそのシフトの両方が、できる限り、ゼロであるべきであるということに注目することが重要である。
Also relevant is the shift in switch-on voltage between measurements before and after a negative or positive bias stress test (NBST or PBST). In this case, after recording an initial characteristic line in 2000 seconds, a gate voltage of −20 V (NBST) or +20 V (PBST) is applied. In either case, a drain voltage (V D ) of + 5V is applied. After this point, a further characteristic line is recorded and the switch-on voltage shift is identified from a comparison with the initial characteristic line. This value should be as low as possible. In the evaluation it is important to note that for practical applications, both the switch-on voltage after NBST or PBST and its shift should be as zero as possible.

Claims (13)

イットリウムオキソアルコキシドの群から選択される少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、および溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂから製造可能なコーティング組成物であって、２０℃での溶媒Ｂの蒸気圧に対する２０℃での溶媒Ａの蒸気圧の比率が、
である、コーティング組成物。 A coating composition that can be produced from at least one yttrium-containing precursor selected from the group of yttrium oxoalkoxides, solvent A, and solvent B different from solvent A, with respect to the vapor pressure of solvent B at 20 ° C. The ratio of the vapor pressure of solvent A at 20 ° C. is
A coating composition . 前記少なくとも１種の前駆体が、Ｙ5Ｏ（Ｏ−ｉＰｒ）13であることを特徴とする、請求項１に記載のコーティング組成物。 The coating composition according to claim 1 , wherein the at least one precursor is Y 5 O (O—iPr) 13 . 使用される全てのイットリウム含有前駆体の分率が、配合物の総質量に対して０．１〜１０重量％であることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のコーティング組成物。 Coating composition according to claim 1 or 2 , characterized in that the fraction of all yttrium-containing precursors used is 0.1 to 10% by weight relative to the total mass of the formulation. . 前記溶媒は、アルコール、アルコキシアルコール、ヒドロキシエーテル、ならびにカルボン酸エステルおよび乳酸エステルの群から選択されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 The coating composition according to any one of claims 1 to 3 , wherein the solvent is selected from the group consisting of alcohol, alkoxy alcohol, hydroxy ether, and carboxylic acid ester and lactic acid ester. ＳＡＴＰ条件下での２つの溶媒ＡおよびＢの沸点の差が≧３０℃であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 Wherein the difference between the boiling points of the two solvents A and B at SATP conditions is ≧ 30 ° C., the coating composition according to any one of claims 1-4. ＳＡＴＰ条件下での溶媒Ａの沸点が５０〜１４０℃であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 Wherein the boiling point of the solvent A at SATP conditions is 50 to 140 ° C., the coating composition according to any one of claims 1-5. 前記溶媒Ａは、１−メトキシ−２−プロパノール、２−メトキシエタノール、酢酸ブチル、イソプロパノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、およびエタノールからなる群より選択されることを特徴とする、請求項６に記載のコーティング組成物。 The coating composition according to claim 6 , wherein the solvent A is selected from the group consisting of 1-methoxy-2-propanol, 2-methoxyethanol, butyl acetate, isopropanol, tert-butanol, and ethanol. object. ＳＡＴＰ条件下での溶媒Ｂの沸点が１００〜２００℃であることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 Wherein the boiling point of the solvent B with SATP conditions is 100 to 200 ° C., the coating composition according to any one of claims 1-7. 前記溶媒Ｂは、１−ヘキサノール、シクロヘキサノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、および乳酸エチルからなる群より選択されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 The solvent B, 1-hexanol, cyclohexanol, and wherein tetrahydrofurfuryl alcohol, 1-methoxy-2-propyl acetate, and is selected from the group consisting of ethyl lactate, claim 1-8 The coating composition according to one item. 存在する溶媒の総体積に対して、溶媒Ａの分率が７５〜９９体積％であり、溶媒Ｂの分率が１〜２５重量％であることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 The fraction of solvent A is 75 to 99% by volume and the fraction of solvent B is 1 to 25% by weight, based on the total volume of solvent present, any one of claims 1 to 9 A coating composition according to claim 1. 溶媒Ａおよび溶媒Ｂに加えて、さらなる溶媒を含むことを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のコーティング組成物。 In addition to the solvent A and solvent B, and characterized in that it comprises a further solvent, a coating composition according to any one of claims 1-10. イットリウムオキソアルコキシドの群から選択される少なくとも１種のイットリウム含有前駆体、溶媒Ａ、該溶媒Ａとは異なる溶媒Ｂ（ここで、２０℃での溶媒Ｂの蒸気圧に対する２０℃での溶媒Ａの蒸気圧の比率は、
である）、ならびに任意選択によりさらなる溶媒または添加剤、がお互いに混合される、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のコーティング組成物の製造方法。 At least one yttrium-containing precursor selected from the group of yttrium oxoalkoxides, solvent A, solvent B different from solvent A (wherein solvent A has a vapor pressure of 20 ° C. relative to the vapor pressure of solvent B at 20 ° C. The vapor pressure ratio is
In a), as well as additional solvents or additives optionally, but are mixed with each other, the manufacturing method of the coating composition according to any one of claims 1 to 11. 酸化イットリウム含有層を製造するための、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のコーティング組成物の使用。 Use of a coating composition according to any one of claims 1 to 11 for producing an yttrium oxide-containing layer.
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