JP6449654B2 - 電子放出に関するデバイスおよび方法並びにこの電子放出系を有するデバイス - Google Patents
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Description
−端部を有し冷陰極を形成するチップと、引き出し陽極と、チップと陽極との間に電位差を生成するのに適したコンポーネントと、を有する真空チャンバと、
−チャンバの外部の電磁波源と、
−電磁波源によって放出された電磁波を、チャンバの外部から内部へチップの近傍まで転送する系と、
−チャンバの内部に置かれ、電磁波を集束する系と、
−チャンバの外部に置かれ、集束系によってチップの端部上に集束される電磁波の位置合わせを可能にするのに適した、電磁波の位置合わせを行う系と、を有する電界効果電子放出デバイスを提案する。
−電磁波源、転送系、集束系および位置合わせ系によって形成されたアセンブリは、電磁波が、チップの端部に、陰極の軸に対して0°または180°と異なる角度で到達するよう、電磁波を伝搬するのに適する。
−電磁波源、転送系、集束系および位置合わせ系によって形成されたアセンブリは、電磁波が、チップの端部に、例えば陰極の軸に対して45°と135°との間の角度で到達するよう、電磁波を伝搬するのに適する。
−電磁波源、転送系、集束系および位置合わせ系によって形成されたアセンブリは、電磁波が、チップの端部に、陰極の軸に対して実質的に垂直で到達するよう、電磁波を伝搬するのに適する。
−転送系は、チャンバの外部から内部に電磁波を透過するのに適したエントリウィンドウと、チャンバの内部においてチップの端部の近傍まで電磁波を伝搬するのに適した中空チューブであって、該中空チューブは、実質的に10kV/mmと40kV/mmとの間の誘電係数を有する材料からなる中空チューブと、を有する。
−エントリウィンドウは、電磁波源によって放出された電磁波の波長に対して透過なセラミックスからなる。
−電磁波を集束する系は、チップの一方の側部に位置付けられた平面鏡とチップの他方の側部に位置付けられた放物線状または球状ミラーとを有し、それぞれのミラーはチップと同じ電位に接続される。
−位置合わせ系は、少なくとも2面の走査ミラーと、例えばテレスコピックまたはテレセントリック系などの光学系と、を有する。
−位置合わせ系は、チップの周囲の3次元のそれぞれにおける少なくとも0.5mmに亙って、集束される電磁波による走査を実現するのに適する。
−チップは、
・異なる結晶軸に沿って方向付けられたタングステンチップと、
・炭素を有する材料からなる円錐形チップと、
・金チップと、を有するリストから選択される。
−電磁波源は、レーザであり、特にフェムト秒レーザである。
−電磁波源によって放出される電磁波の波長は、0.1μmと8μmとの間である。
・透過型または走査型電子顕微鏡と、
・超高速電子線回折デバイスと、
・電子線リソグラフィシステムと、を有するリストから選択される。
・先に記載した電子放出デバイスを提供するステップと、
・電子放出デバイスの電磁波源によって電磁波をチャンバの外部に放出するステップと、
・放出された電磁波を、チャンバの内部の方向へチップの近傍まで伝搬するステップと、
・電磁波をチャンバの内部でチップ上に集束するステップと、
・チップ上に集束される電磁波の位置合わせを行うステップであって、該ステップはチャンバの外部から実行される、位置合わせステップと、を有する。
Claims (13)
- −端部を有し冷陰極を形成し室温に維持されるように構成されているチップと、引き出し陽極と、前記チップと前記引き出し陽極との間に電位差を生成するよう適応したコンポーネントと、を有する真空チャンバと、
−前記チャンバの外部の電磁波源と、
−前記電磁波源によって放出された電磁波を、前記チャンバの外部から内部へ前記チップの近傍まで転送する系と、
−前記チャンバの内部に置かれ、前記電磁波を集束する系と、
−前記チャンバの外部に置かれ、前記集束する系によって前記チップの端部上に集束される前記電磁波の位置合わせを行えるよう適応した、前記電磁波の位置合わせを行う系と、を有する電界効果電子放出デバイスであって、
前記転送する系は、前記電磁波源によって放出され、前記位置合わせを行う系によって位置合わせをされ、前記転送する系によって前記チップの後部から転送され、前記集束する系によって集束される前記電磁波が、前記チップの軸線に対して45°〜135°で前記チップの前記端部に伝播されるように、前記引き出し陽極の反対側の前記チップの側から前記端部の近傍まで前記電磁波を送るように構成された、電界効果電子放出デバイス。 - 前記転送する系は、
前記チャンバの外部から前記内部に前記電磁波を透過するよう適応したエントリウィンドウと、
前記チャンバの内部において前記チップの端部の近傍まで前記電磁波を伝搬するよう適応した中空チューブであって、該中空チューブは、実質的に10kV/mmと40kV/mmとの間の誘電係数を有する材料からなる中空チューブと、を有する、請求項1に記載の電子放出デバイス。 - 前記エントリウィンドウは、前記電磁波源によって放出された電磁波の波長に対して透過なセラミックスからなる、請求項2に記載の電子放出デバイス。
- 前記電磁波を集束する系は、前記チップの一方の側部に位置付けられた平面鏡と前記チップの他方の側部に位置付けられた放物線状または球状ミラーとを有し、それぞれのミラーは前記チップと同じ電位に接続される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子放出デバイス。
- 前記位置合わせを行う系は、少なくとも2面の走査ミラーと、テレスコピックまたはテレセントリック系である光学系と、を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子放出デバイス。
- 前記位置合わせを行う系は、前記チップの周囲の3次元のそれぞれにおける少なくとも0.5mmに亙って、前記集束される電磁波による走査を実現するよう適応する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子放出デバイス。
- 前記チップは、
−異なる結晶軸に沿って方向付けられたタングステンチップと、
−炭素を有する材料からなる円錐形チップと、
−金チップと、を有するリストから選択される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子放出デバイス。 - 前記電磁波源は、レーザである、請求項1〜7のいずれか一項に記載の電子放出デバイス。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の少なくとも1つの電子放出デバイスを有し、
−透過型または走査型電子顕微鏡と、
−超高速電子線回折デバイスと、
−電子線リソグラフィシステムと、を有するリストから選択される、システム。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子放出デバイスと、
電子光学コンポーネントを有する鏡筒と、
前記電子放出デバイスによって放出される電子を加速する手段と、を有する、電子顕微鏡。 - 前記電子を加速する手段は、数kVと数MVとの間の加速電圧を生成するよう適応する、請求項10に記載の電子顕微鏡。
- −請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子放出デバイスを提供するステップと、
−前記電子放出デバイスの前記電磁波源によって前記電磁波を前記チャンバの外部に放出するステップと、
−前記転送する系によって前記引き出し陽極の反対側の前記チップの側から前記端部の近傍まで、前記放出された電磁波を前記チャンバの内部の方向へ伝搬するステップと、
−前記集束する系によって前記電磁波を前記チャンバの内部で前記チップ上に集束するステップと、
−前記チップ上に集束される電磁波の位置合わせを行うステップであって、該ステップは、前記位置合わせを行う系によって、前記電磁波源によって放出され、前記位置合わせを行う系によって位置合わせをされ、前記転送する系によって前記チップの後部から転送され、前記集束する系によって集束された前記電磁波が、前記チップの軸線に対して45°〜135°で前記チップの前記端部に伝播されるように前記チャンバの外部から実行される、位置合わせステップと、を有する電界効果によって電子を放出する方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の電子放出デバイス、または、請求項12に記載の電子放出方法を使用して、前記電磁波源によって制御する方式で電子を放出する方法。
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