JP6426761B2 - エレクトロウェッティングディスプレイを製造するための流体の流れを方向付けるピクセル壁配置 - Google Patents

Description

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０１４年６月２６日に出願された米国特許出願第１４／３１６，４７５号公報への優先権を主張する。これによって、その全内容は、参照文献として本明細書に援用される。

電子ディスプレイは、電子書籍（「イー・ブック」）リーダ、携帯電話、スマートフォン、ポータブルメディア・プレイヤ、タブレット・コンピュータ、ウエアラブル・コンピュータ、ラップトップ・コンピュータ、ネットブック、デスクトップ・コンピュータ、テレビ、電気製品、ホーム用エレクトロニクス、自動車用エレクトロネクス、拡張現実感装置等などの多くの種類の電子装置で見られる。電子ディスプレイは、関連する装置の種類および目的に応じて、ユーザ・インターフェース、装置運転状況、デジタル・コンテンツ・アイテムなどの多くの種類の電子装置で見られる。電子ディスプレイは、関連する装置の種類および目的に応じて、ユーザ・インターフェース、装置運転状況、デジタル・コンテンツ・アイテム等、などの様々なタイプの情報を提供することができる。ディスプレイの外観と品質は、ユーザの電子装置の経験とその上に提示されたコンテンツに影響を及ぼすことがある。したがって、ユーザの経験と満足を増進する方法を見出すことが引き続き優先事項である。さらにモバイル用途に利用可能なコンテンツがより広範囲になり、装置の携帯性が引き続き高い優先事項なので、マルチメディア用途の増加は、ディスプレイ装置のデザイン、包装及び製造に関する高い要求を課す。

例えば、エレクトロウェッティング（electrowetting）ディスプレイなどの電子ディスプレイは、例えば不透明な油などの流体を保持するピクセル壁が個々に接した多くのピクセルを含む。各ピクセルを通る光透過は、ピクセル内の流体の位置を電子的にコントロールすることにより調節可能である。エレクトロウェッティングディスプレイの製造プロセスは、より低い製造原価及び製造量をより多くする改良を伴うことができる数ステップを含む。

詳細な説明が、添付図面を参照いて記述される。図面では、参照番号の左端の数字は、参照番号が最初に現われる図面を特定する。異なる図面中で同じ参照番号を使用することによって、類似または同一の特徴が示される。

いくつかの実施形態によるエレクトロウェッティングディスプレイ装置の一部の断面図を示す。 いくつかの実施形態による二重スリット流体ディスペンサの側面図を示す。 いくつかの実施形態によるディスプレイ素子アレイが上に形成された基板の透視図を示す。 いくつかの実施形態によるディスプレイ素子アレイが上に形成された基板の透視図を示す。 いくつかの実施形態によるディスプレイ素子アレイが上に形成された基板及び二重スリット流体ディスペンサの平面図を示す。 いくつかの実施形態による、ディスプレイ素子アレイが上に形成された基板及び二重スリット流体ディスペンサの平面図を示す。 いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサとを含むディスプレイ素子アレイの部分の平面図を示す。 いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサとを含むディスプレイ素子アレイの部分の平面図を示す。 いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサとを含むディスプレイ素子アレイの部分の平面図を示す。 いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサとを含むディスプレイ素子アレイの部分の平面図を示す。 様々な実施形態による、エレクトロウェッティングディスプレイ装置の製造プロセスのフローチャートである。 いくつかの実施形態による、ディスプレイ装置を組込むことができる電子装置の例を示す。

本明細書に記述された様々な実施形態では、電子装置はコンテンツと他の情報を提示するディスプレイを含む。いくつかの例では、電子装置は、タッチ入力を検知するためのディスプレイの頂上に層になったタッチ・センサ・コンポーネントと、ディスプレイを照らすフロントライトまたはバックライトのコンポーネント、及び／または、防眩性、反射防止性、耐指紋付着性、耐クラック性などを含むことができる被覆層コンポーネントなどのディスプレイに関連した１つまたは複数のコンポーネントを含むことができる。本明細書に記述された様々な実施形態は、ディスプレイ用のこれらのコンポーネント及び本明細書に記述された他の特徴を含む電子装置を組み立てる技術も含む。

実施形態は、エレクトロウェッティングディスプレイを製造するための装置および技術を記述する。例えば、バッチ製造環境では、ディスプレイ素子（例えば、ピクセルまたはサブピクセル）のアレイを含む数個のディスプレイ装置を透明であってよい単一の基板上に形成することができる。流体ディスペンサは、ディスプレイ装置を含む基板上に第一流体（例えば、油などの不透明または有色の液体）と第二流体（例えば、電解液または他の導電性液体であると考えてよい）を分注する。第一流体と第二流体は互いに非相溶であってよい。流体ディスペンサは個々のディスプレイ素子に第一流体を分注する。流体ディスペンサは、分注された第一流体及び個々のディスプレイ素子を被覆するように第二流体を分注する。分注された第一及び第二の流体の基板全体にわたる厚さと体積の均一性が望まれる。ディスプレイ素子の矩形または長方形のピクセル・アレイを満たす場合、流体ディスペンサはアレイに関して斜めの（例えば、非直交の）角度となる場合がある。全体として、この角度はアレイのディスプレイ素子内の第一流体の均一性を改善することができるが、流体ディスペンサの角度の付いた配向から生じる望ましくない副次的影響が均一性を減少させる傾向になる場合がある。流体分注の際に、角度の付いた配向は、流体ディスペンサの移動方向の横断方向に流れる比較的小量の第一（及び第二の）流体に導く。かかる横断流の下流のディスプレイ素子での第一流体の体積の増加によって、望ましくないことに、これらのディスプレイ素子は、上流に位置するディスプレイ素子と比較してわずかに充填レベルが高くなる。

いくつかの実施形態では、かかる不均一の緩和を助けるために、基板上に形成されたアレイのディスプレイ素子のピクセル壁は、基板全体にわたって分注された第一及び第二の流体の流れと分配に影響するように高さを変えてよい。例えば、下記に詳細に記述されるように、流体の流れに直角のピクセル壁の盛り上がった部分は、盛り上がったピクセル壁のない場合と比較して、基板全体にわたって分注された第一及び第二の流体の厚さの均一性を増大させる分注された第一及び第二の流体のチャネリングに寄与することができる。分注された第一及び第二の流体のかかるチャネリングは、分注プロセスの際に発生する。

流体ディスペンサは、第一流体を分注する第一スリットおよび第二流体を分注する第二スリットを含むことができる。本明細書では、かかる流体ディスペンサは、「二重スリット」流体ディスペンサ、または、単に「流体ディスペンサ」と呼ばれる。しかし、流体ディスペンサは、「多重スリット」流体ディスペンサであってよく、２つを超えるスリットを含む（例えば、１つまたは複数のスリットを各流体に使用してよい。）。

エレクトロウェッティングディスプレイ装置などのディスプレイ装置は、アクティブ・マトリクス・アドレス方式によって操作されるように構成されたディスプレイ素子（例えば、ピクセルまたはサブピクセル）を一般的に含む、透過型、反射型、または半透過型のディスプレイになり得る。例えば、エレクトロウェッティング素子の行と列は、複数のソース・ラインとゲート・ライン上の電圧レベルをコントロールすることによって操作される。この方法では、ディスプレイ装置は、光を透過させ、反射し、または遮断するために特別なディスプレイ素子を選択することにより、画像を生成することができる。ディスプレイ素子は、各ディスプレイ素子に含まれたトランジスタ（例えば、スイッチとして使用）に電気的に接続されるソース・ラインおよびゲート・ラインの行と列によってアドレス（例えば、選択）される。トランジスタは各ディスプレイ素子のエリアの比較的小さな割合を占め、光がディスプレイ素子を効率的に通り抜ける（またはディスプレイ素子から反射する）ことを可能にする。本明細書では、ディスプレイ素子は、別段の定めがない限り、エレクトロウェッティングディスプレイ装置のピクセルまたはサブピクセルを含んでよい。かかるピクセルまたはサブピクセルは、素子を通して光の透過または反射の量を直接コントロールするのに個々に操作可能な、ディスプレイの最小の光透過素子となり得る。例えば、ある実装形態では、ディスプレイ素子は、赤のサブピクセル、緑のサブピクセル及び青のサブピクセルを含むピクセルでよい。他の実装形態では、ディスプレイ素子は最小のコンポーネント、例えば、どんなサブピクセルも含まないピクセルでよい。

エレクトロウェッティングディスプレイは、ピクセル、及び／または、基板と天板などの２つのサポート板間に位置したサブピクセルを含むディスプレイ素子のアレイを含む。例えば、基板は、サポート板間の少なくとも１つの電極、エレクトロウェッティングオイル、電解液およびピクセル壁を含むディスプレイ素子を、天板と協動して収容するサポート板でよい。サポート板は、ガラス、プラスチック（例えば、ＰＭＭＡまたは他のアクリル樹脂などのような透明な熱可塑性プラスチック）、または、その他の透明な材料を含んでよく、例えば、剛性または可撓性の材料で作製してよい。

個々のピクセルは、例えば、フォトレジスト材料から、作製されたピクセル壁によって囲まれる。ピクセル壁は、個々のピクセル内で、非導電性の不透明なまたは有色の油などの第一流体を少なくとも保持する。支持板間に形成された穴は、第一流体（例えば、ピクセル壁によって保持）と、導電性または極性の、水または塩化カリウム溶液などの塩溶液でよい第二流体（例えば電解液）とで満たされる。第二流体は透明でよいが、有色または、光吸収性のものでよい。第二流体は第一流体と非相溶である。

ディスプレイ素子に加えて、スペーサと端部シールも２つの透明なサポート板間に位置することができる。以下に、実施形態の例が、ガラスサポート板を含む透明基板またはサポート板を含むものとして記述される。しかし、サポート板は、プラスチック、ガラス、石英、半導体等などの数種の透明なアモルファス材料のうちのいずれかを含むことができる。また、請求する主題はこの点で制限されない。本明細書で素子または材料が「透明」として記述されているのは、それに入射する光の比較的大きな割合を透過させることができることを意味する。例えば、透明基板または層はその表面に入る光の７０％または８０％以上を透過させることができるが、請求する主題はこの点で制限されない。

第一サポート板をそれを覆う第二サポート板に接続し、第一サポート板と第二サポート板との間に間隔を設けるスペーサと端部シールは、エレクトロウェッティングディスプレイの機械的完全性に寄与する。端部シールは、例えば、エレクトロウェッティングディスプレイ装置素子アレイの周囲に沿って配設され、第一サポート板と被覆する第二サポート板との間に流体（例えば、第一及び第二の）を保持することに寄与することができる。スペーサは、エレクトロウェッティングディスプレイ内の光のスループットを妨害しないように透明であることが望ましい。スペーサの透明度は、スペーサ材料の屈折率に少なくとも部分的に依存し、この屈折率は、周囲の媒体の屈折率に類似しているか同一であるべきである。スペーサはまた、周りの媒体に化学的に不活性であることが望ましい。

様々な実施形態では、ディスプレイ装置のディスプレイ素子は、なかんずく、電極層と、アクティブマトリクス方式アドレシングを使用してエレクトロウェッティング素子を選択するか外すように切り替えられる薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）とを含む。ＴＦＴは、活性な半導体層ならびに誘電体層の薄膜と、例えば、ガラスまたは他の数種の透明な材料のいずれかでよいサポート基板（非導電性）の上の金属コンタクトとを含む特別なタイプの電界効果トランジスタである。

いくつかの実施形態では、ＴＦＴは、ガラス（または他の透明なものの）基板またはエレクトロウェッティングディスプレイ装置の天板上に形成される。例えば、ＴＦＴは、例えば、ディスプレイ素子に隣接している基板の側と反対側のガラス基板の上面に配設してよい。

いくつかの実施形態では、本明細書に記述されるようなディスプレイ装置は、１または複数のプロセッサと１または複数のコンピュータ・メモリ（それらは、例えば、制御盤上に存在してもよい）とを含むシステムの一部分を含むことができる。ディスプレイ・ソフトウェアは１または複数のメモリに格納することができ、外部ソース（例えば、周囲の室内光）から受け取られたか、または、ディスプレイ装置の導光部からアウトカップリングされた光を調節する１または複数のプロセッサで操作可能になることができる。例えば、ディスプレイ・ソフトウェアは、画像またはビデオ・データを表示する電子信号に少なくとも部分的に基づいて、エレクトロウェッティングディスプレイの個々のピクセルの光学的性質を調節するプロセッサによって実行可能なコードを含むことができる。このコードは、プロセッサにエレクトロウェッティングディスプレイの層の上または層内で電気信号（例えば、電圧、電流、電場など）をコントロールすることにより、ピクセルの光学的性質を調節されるようにすることができる。

図１は、いくつかの実施形態による、数個のエレクトロウェッティング素子１００を示すエレクトロウェッティングディスプレイ装置の一部の断面図である。電極層１０２は基板１０４（例えば、ガラス基板）上に形成される。いくつかの実装形態では、誘電体バリヤ層（図示せず）は、やはり基板１０４上に形成された疎水層１０６から電極層１０２を少なくとも部分的に分離することができる。いくつかの実装形態では、疎水層１０６は、ウィルミントン、デラウェアに本拠のある、デュポンによって製造されたＡＦ１６００などのフッ素重合体を含むことができまる。また、疎水層１０６は、例えば、隣接した材料の湿潤性に影響する数種の撥水性材料のいずれかでよい。ピクセル壁１０８は、パターン形成されたエレクトロウェッティング素子グリッドを疎水層１０６上に形成する。ピクセル壁１０８は、エポキシ系のネガ・フォトレジストＳＵ−８などのフォトレジスト材料を含んでよい。パターン形成されたエレクトロウェッティング素子グリッドはエレクトロウェッティング素子のアレイを形成する行と列を含む。例えば、エレクトロウェッティング素子は、約５０〜５００ミクロンの範囲の幅と長さを有することができる。

例えば、約１〜１０ミクロンの範囲の厚さ（例えば深さ）を有することができる第一流体１１０は、疎水層１０６を覆う。第一流体１１０はパターン形成されたエレクトロウェッティング素子グリッドのピクセル壁１０８によって分割される。外縁１１２はピクセル壁１０８と同じ材料を含むことができる。電解液などの第二流体１１４は、第一流体１１０とパターン形成されたエレクトロウェッティング素子グリッドのピクセル壁１０８とを覆う。電解液は、導電性または極性のものになることができる。例えば、電解液は、とりわけ、塩化カリウム水などの、水または塩溶液であってよい。

いくつかの実施形態では、エレクトロウェッティングディスプレイ装置は、「通常の高さの」ピクセル壁１０８より高い盛り上がったピクセル壁１１６を含んでよい。例えば、盛り上がったピクセル壁１１６は、ピクセル壁１０８と比較してさらに上側に第二流体１１４内に延在することができる。これらの比較的高いピクセル壁を記述する別の方法として、盛り上がったピクセル壁１１６は、ピクセル壁１０８と比較して基板１０４からさらに延在することができる。

天板１１８は第二流体１１４を覆い、端部シール１２０は、第二流体１１４をエレクトロウェッティング素子アレイの上に保持する。天板１１６は、ディスプレイ素子１００のアレイの全体にわたって点在する端部シール１１８とスペーサ１２２によって支持することができる。基板及び天板は、例えば、ガラスまたはポリマで作製してよく、剛いかまたは柔軟でよい。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁１１６は、天板１１８まで延在し、したがって、スペーサ１２２の高さと同一または類似した高ささを有してもよい。例えば、いくつかの又は全てのスペーサー１２２は領域の少なくとも一部上に配置させ得る。そこでは、ピクセル壁１０８又は１１６は交差する。クレームの主題はこの点について限定されていない。かかる実装形態では、スペーサ１２２と盛り上がったピクセル壁１１６の両方は、天板１１８をサポートすることによりエレクトロウェッティングディスプレイ装置の機械的完全性に寄与することができる。

電圧、とりわけ、第二流体１１４と個々のエレクトロウェッティング素子の電極１０２との間に印加される電圧Ｖは、個々のエレクトロウェッティング素子の透過率または反射率をコントロールすることができる。

ディスプレイ装置にはエレクトロウェッティングディスプレイ装置によって形成された画像を視認することができる視認側１２４と裏面側１２６がある。天板１１８は視認側１２４に面し、基板１０４は裏面側１２６に面する。代替実施形態では、エレクトロウェッティングディスプレイ装置は裏面側１２６から見ることができる。エレクトロウェッティングディスプレイ装置は、反射型、透過型、または半透過型でよい。エレクトロウェッティングディスプレイ装置は、画像がセグメントから構成される分割されたディスプレイ・タイプでよい。セグメントは、同時または別々に切り替えることができる。各セグメントは、１個のエレクトロウェッティング素子１００、または、互いに隣接または離れることができる数個のエレクトロウェッティング素子１００を含む。１つのセグメントに含まれるエレクトロウェッティング素子１００は、例えば、同時に切り替えることができる。また、エレクトロウェッティングディスプレイ装置は、２〜３例を挙げると、アクティブ・マトリクス方式で駆動されるディスプレイ・タイプまたはパッシブ・マトリクス方式で駆動されるディスプレイでよい。

第二流体１１４は第一流体１１０と非相溶である。本明細書では、複数の物質が本質的に溶液を形成しない場合は、これらの物質は互いに非相溶である。第二流体１１４は、導電性または極性を有し、例えば、水、または水とエチルアルコールの混合物内の塩化カリウム溶液などの塩溶液でよい。第二流体１１４は、好ましくは、透明であるが、有色であっても、または、光吸収性であってもよい。第一流体１１０は非導電性であり、例えば、ヘキサデカンまたは（シリコーン）油などのアルカンでよい。疎水層１０６は、エレクトロウェッティング性の表面積を生成するように基板１０４上に配置される。第一流体１１０は第二流体１１４より疎水層１０６の表面に対してより高い湿潤性を有するので、疎水性は、第一流体１１０を基板１０４に優先的に付着させる。湿潤性は、固体の表面に対する流体の相対的な親和性に関係する。湿潤性は、親和性が増大するにつれて増大し、流体と固体との間に形成される接触角によって測定することができ、関心のある流体の内部で測定することができる。例えば、かかる接触角は、９０°を越える比較的非湿潤性から０°での完全な湿潤性まで増大することができる。この場合には、流体は、固体の表面で膜を形成する傾向がある。

第一流体１１０は、光学スペクトルの少なくとも一部を吸収する。第一流体１１０は、光学スペクトルの一部には透過性となることができ、カラー・フィルタを形成する。例えばこの目的のために、ピグメント粒子または染料を追加することによって流体に色をつけることができる。あるいは、第一流体１１０は、黒（例えば、光学スペクトルのほぼすべての部分を吸収する）または反射性のものでよい。疎水層１０６は、透明であってよく、または反射性のものであってもよい。反射性の層は、全可視スペクトルを反射して、層を白く見せる、またはその一部に色を付けることができる。

電圧がエレクトロウェッティング素子１００の両端間に印加される時、エレクトロウェッティング素子１００は活性状態になる。静電気力が第二流体１１４を電極層１０２の方に移動させ、それによって、第一流体１１０が疎水層１０６のエリアから疎水層１０６囲むピクセル壁１０８まではじかれて小滴様の形になる。このアクションは、エレクトロウェッティング素子１００の疎水層１０６の表面から第一流体１１０の覆いを取り除く。エレクトロウェッティング素子１００の両端間の電圧がゼロの不活性信号レベルまたはゼロに近い値に戻った時は、エレクトロウェッティング素子１００は不活性状態に戻り、その場合、第一流体１１０が流れて戻り疎水層１０６を覆う。このように、第一流体１１０は、各エレクトロウェッティング素子１００内に電気的に制御可能な光学スイッチを形成する。もちろん、エレクトロウェッティングディスプレイ装置のかかる詳細は単なる例に過ぎず、請求する主題はこの点に限定されない。

図２は、いくつかの実施形態による、二重スリット流体ディスペンサ２００の側面図を示す。流体ディスペンサ２００は１つまたは複数のディスプレイ素子アレイ（図２に示さず）を含む基板２０６上に第一流体２０２（例えば不透明な油）及び第二流体２０４（例えば電解液）を分注するように構成される。例えば、かかる基板、の一部は図１に示した基板１０４と同一でもよく、または類似していてもよい。いくつかの実装形態では、第一流体２０２及び第二流体２０４は、それぞれ、図１に示した第一流体１１０及び第二流体１１４と同一でもよく、または類似していてもよい。流体ディスペンサ２００は、第一流体２０２を分注するための第一スリット２０８及び第二流体２０４を分注するための第二スリット２１０を含んでよい。いくつかの実装形態では、第一流体は、第一リザーバ２１２に一時的に収容され、第二流体は、第二リザーバ２１４に一時的に収容されてよい。第一スリット２０８と第二スリット２１０との間の距離は、例えば、数ミリメートルのオーダであるが、請求する主題はこの点に制限されない。第一スリット２０８及び第二スリット２１０の長さ（例えば、図２のページの内外で測定されたような）は、単にいくつかの例を挙げるために数センチメートルから約４０センチメートルまで変動してよい。特に、スリットの長さは流体ディスペンサ２００が第一及び第二の流体を上に分注する基板の幅を少なくともおおよそ跨ぐのに十分なものである。

流体ディスペンサ２００は、基板上に形成されたディスプレイ素子アレイに第一及び第二の流体を載置する製造プロセスの際に、下地基板２０６に対する一方向２１６に移動する。流体ディスペンサ２００は、それぞれのピクセル壁によって第一流体を保持するディスプレイ素子アレイの個々のディスプレイ素子に第一流体２０２を分注する。流体ディスペンサ２００は第一流体および個々のディスプレイ素子を覆うように第二流体２０４を分注する。

図３は、いくつかの実施形態による、ディスプレイ素子アレイ３０２が上に形成された基板３００の透視図を示す。図面には４つディスプレイ素子のアレイ３０２（例えば、４つが一緒にバッチ処理される）のどんな数でも可能である。例えば、４つのディスプレイ素子アレイ３０２は、４台のディスプレイ装置になるように後で個々の部分に切断されるであろう。これらの個々の４つの部分は、基板３００の部分と、第一及び第二の流体と、４つのディスプレイ素子アレイ３０２の各々を覆う天板の部分とを含むであろう。したがって、個々のディスプレイ素子アレイ３０２の下地となる基板３００の部分は、後で個々のディスプレイ装置（例えば、図１に示された１０４などの基板として）永久的な部分になるであろう。ディスプレイ素子アレイ３０２は、ディスプレイ素子３０４の行と列の存在を示すために図３で２〜３の直交ラインで描かれているように、比較的多数（例えば、千または億）の個々のディスプレイ素子３０４（例えば、ピクセルまたはサブピクセル）を含む。

例えば、図２に示された２００などの、二重スリット流体ディスペンサは、図３に指定された位置「Ａ」と「Ｂ」との間のどこにでも基板３００の上に載置されてよい。かかる二重スリット流体ディスペンサは基板３００とディスプレイ素子アレイ３０２上に第一流体と第二流体を分注するように構成される。特に、二重スリット流体ディスペンサは、自身が基板３００（及びディスプレイ素子アレイ３０２）の上を移動するにつれて第一及び第二の流体を分注する。

いくつかの実施形態では、二重スリット流体ディスペンサは、ディスプレイ素子アレイ３０２の行と列に対して回転した位置に配向され得る。例えば、二重スリット流体ディスペンサは、ディスプレイ素子アレイ３０２の行（または列）に対する角度３０６の境界を定めることができる。角度３０６は、約５°〜約３０°でよいが、請求する主題はこの点で制限されない。ディスプレイ素子アレイ３０２に対して斜めの角度をなす二重スリット流体ディスペンサは、それを使用して充填するプロセスの後で個々のディスプレイ素子３０４内の第一流体の分布の均一性を改善させることができる。かかる斜めの配向は、第一流体がディスプレイ素子の１つの行から次の行内に流れる時、比較的滑らかな流体フローの遷移を可能にする。

図４は、二重スリットの流体ディスペンサが第一流体及び第二流体を分注しながら基板３００を通過した後の基板３００の透視図を示す。アレイ３０２の個々のディスプレイ素子３０４は、少なくとも部分的に第一流体で満たされる。第一流体は、自身が少なくとも部分的かつ平等にディスプレイ素子を満たすように、二重スリットの流体ディスペンサによって比較的一様に分注される。第二流体は、続いて、第二流体パドル４０２を形成して、部分的に満たされたディスプレイ素子アレイ（少なくとも部分的に第一流体で満たされた）及び基板３００の実質的な部分を覆う。

図４に描かれた状況の後で、基板３００及びその上に形成されたディスプレイ素子アレイ３０２は、図１に示される１１８などの天板によって覆われてもよい。たとえ、ピクセル壁の高さが不均一でも、かかる天板は、例えば、少なくとも最大のピクセル壁の高さまで延在することができる図１に示した１２２などのスペーサによってサポートすることができる。生じる構造は、過剰な流体（例えば、特に電解液などの第二流体）を絞り出し、かつ天板をディスプレイ素子アレイ３０２上にラミネートさせるローラ内に載置してよい。また、このラミネーション・プロセスは、天板があらかじめ基板３００上に形成された端部シール及びスペーサ（例えば、図１に示された端部シール１２０及びスペーサ１２２）などの構造にサポートされるように天板を基板３００の方に押しつける。その結果、第一流体は個々のディスプレイ素子３０４内に実質的に保持される一方、第二流体は基板及び天板と協働する端部シールによってディスプレイ素子アレイ３０２内に保持される。ラミネーション・プロセスに続いて、個々のディスプレイ素子アレイ３０２及び個々のディスプレイ素子アレイ３０２にラミネートされた天板は、例えば、ディスプレイ素子アレイの外縁またはその近くで切断して分割することができる。

図５及び図６は、いくつかの実施形態によるディスプレイ素子アレイ５０２が上に形成された基板５００の側面図及び平面図をそれぞれ示す。また、第一及び第二の流体に分注する第一スリット５０６及び第二スリット５０８をエリア５１０に含む二重スリット流体ディスペンサ５０４を示す。この構成は、図３、図４に示した構成と同一であるかまたは類似している。ディスプレイ素子アレイ５０２は比較的多数の個々のディスプレイ素子５１２を含む。個々のディスプレイ素子アレイ５０２の下地になる基板５００の部分は、後でディスプレイ装置の（例えば、図１に示された１０４などの基板として）永久的部分になるであろう。例えば、図２に示された２００と同一であるかまたは類似している二重スリット流体ディスペンサ５０４は、初期には、基板５００とディスプレイ素子アレイ５０２に第一及び第二の流体を分注するのに備えて基板５００の上に載置される。二重スリット流体ディスペンサ５０４は、以下に説明するように、ディスプレイ素子アレイ５０２の行と列に対して斜めの角度（例えば、非直交角）に配向される。二重スリット流体ディスペンサ５０４は、矢印５１４に示されるように移動を開始されると、スリット５０６から第一流体及びスリット５０８から第二流体を基板５００とディスプレイ素子アレイ５０２上に分注する。

図６は直角の基準軸「Ｘ」及び「Ｙ」を含む。例えば、Ｘ軸はディスプレイ素子５１２の行と平行で、二重スリット流体ディスペンサ５０４の移動方向５１４を表わす。Ｙ軸はディスプレイ素子５１２の列と平行で、かかる移動方向に直交する方向を表わす。具体的には、二重スリット流体ディスペンサ５０４は、自身がＸ軸に沿って基板５００（及び、ディスプレイ素子アレイ５０２）の上を移動するときに、第一及び第二の流体を分注する。しかし、スリット５０６、５０８は、ディスプレイ素子が第一流体で満たされるようにＸ軸から傾斜した角度にある。上記で説明したように、かかる角度は、ディスプレイ素子の均一充填をもたらすことができる。しかし、二重スリット流体ディスペンサ５０４は、角度を付けられることによって、正味の流体フローを基板５００全体にわたって横方向に導くことができる。例えば、矢印５１６によって示されるように、かかる正味のフローは第一及び第二のスリット５０６、５０８とほぼ平行でよい。望ましくないことに、かかる正味の横方向の流体フローは、第一流体によるディスプレイ素子の不均一な充填につながり得る。例えば、基板５０２の下側領域（例えば、Ｙ軸方向内）に向かうディスプレイ素子５１２は、基板の上側領域（例えば、負のＹ軸方向内）のディスプレイ素子と比べて第一流体をより多く受け取ることができる。

上述したように、充填プロセスの後のディスプレイ素子内の第一流体の均一性は、製造上の重要な局面である。したがって、以下に記述された実施形態では、ディスプレイ素子５１２のピクセル壁は、流体フローをＹ軸に沿った方向からＸ軸に沿った方向（二重スリット流体ディスペンサ５０４の移動方向と同じ）に変えるように構成される。Ｘ方角でのかかる流体フローは、Ｙ方角での横方向流体フローを減らすのに役立つ。例えば、Ｙ方角に流れる流体は、盛り上がったピクセル壁に遭遇し、その後Ｘ方向に向かってそれることができる。横方向の流体フローの減少は、ディスプレイ素子５１２の充填均一性を改善することができる。

二重スリットの流体ディスペンサ５０４は、ディスプレイ素子アレイ５０２の盛り上がっていないピクセル壁（図１に示されたピクセル壁１０８など）の約１５０ミクロン上になる高さ５２０で基板５００とディスプレイ素子アレイ５０２を横切ることができる。図１の１１６などの盛り上がったピクセル壁は、二重スリット流体ディスペンサ５０４から５０〜２５０ミクロン未満であってよい。

図７は、いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサ７０２を有するディスプレイ素子アレイの一部７００の平面図を示す。二重スリット流体ディスペンサ７０２は、少なくとも１つの盛り上がったピクセル壁７０８を有するディスプレイ素子７０６と盛り上がっていないピクセル壁７１２を有するディスプレイ素子７１０とを含む１つまたは複数のディスプレイ素子アレイを含む基板７０４上に第一流体（例えば不透明な油）と第二流体（例えば電解液）とを分注するように構成される。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁７０８と盛り上がっていないピクセル壁７１２は、例えば、単一の沈積／マスキング・プロセスによって形成することができるフォトレジスト材料のなどの同一材料を含んでよい。基板７０４の部分は、図１に示された基板１０４と同一であるかまたは類似していてよい。流体ディスペンサ７０２は、第一流体を分注するための第一スリット７１４と第二流体を分注するための第二スリット７１６を含んでよい。第一スリット７１４と第二スリット７１６との間の距離は、例えば、約１〜５ミリメートルの範囲でよい。第一スリット７１４と第二スリット７１６の長さ（例えば、図７の頁の内外で測定されたとき）は、いくつかの例を挙げると、数センチメートルから約４０センチメートルまでの範囲でよい。具体的には、スリットの長さは、流体ディスペンサ７０２が第一及び第二流体を上に分注する基板の幅を少なくともほぼ跨ぐのに十分なものである。

基板７０４上に形成されたディスプレイ素子アレイ内に第一及び第二の流体を載置する製造プロセス中に、流体ディスペンサ７０２は下地基板に対してある方向７１８に移動する。この方向は、図面に示すＸ軸と平行であるが、流体ディスペンサ７０２はＸ軸に対して斜めの角度に配向されている。Ｘ軸とＹ軸は、アレイ内のディスプレイ素子の行と列のアラインメントを表わす。流体ディスペンサ７０２は、ディスプレイ素子アレイの個々のディスプレイ素子７０６、７１０に第一流体を分注する。流体ディスペンサ７０２は、第一流体及び少なくとも部分的に満たされた個々のディスプレイ素子を覆うように第二流体を分注する。

上述のように、斜めの角度で配向されている流体ディスペンサ７０２に少なくとも部分的に起因して、第一及び第二の流体の正味のフローは、矢印７２０で少なくとも略示された横方向に展開する。この横方向の流体フローは、第一及び第二の流体の分布をＹ軸方向に増大させる。例えば、ディスプレイ素子７２２は、ピクセル７２４の充填深さと比較してより深く第一流体で満たされることができる。流体ディスペンサ７０２の斜めの配向に一部起因して生じる第一及び第二の流体の不均一分布を緩和するために、ディスプレイ素子アレイのピクセル壁の一部は、ピクセル壁の他の部分より高い。より高いピクセル壁は流体フローの方向を変えることができる。例えば、矢印７２６は、最初はＹ軸に平行に流れているが盛り上がったピクセル壁７２８によってＸ軸の方に方向を変えられる流体フローを表す。流体フローを一方向から別方向（例えば、Ｙ軸に沿ったフローからＸ軸に沿ったフロー）に変える、かかる作用は、斜めの角度に配向された流体ディスペンサ７０２から分注された流体の不均一分布を緩和するのに役立つことができる。

例えば、ディスプレイ素子７０６は盛り上がったピクセル壁７０８を含み、他方、ディスプレイ素子７１０は盛り上がったピクセル壁を含まず、その代り、ディスプレイ素子７１０は盛り上がったピクセル壁７０８の高さより低い「通常の高さ」のピクセル壁７１２で囲まれる。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁７０８は高さ約４ミクロンのピクセル壁７１２の約２倍の高さであり得る。他の実装形態では、盛り上がったピクセル壁７０８は、ピクセル壁７１２の約１．５倍〜約４．０倍の範囲で基板７０４からさらに延在することができる。さらに別の実装形態では、例えば、盛り上がったピクセル壁７０８は、図１に示した１２２などのスペーサと同じ距離、基板７０４から延在することができる。

図７に示される実施形態では、盛り上ったピクセル壁７０８が、アレイの行の他の全ての隣接するディスプレイ素子の対が盛り上ったピクセル壁を共有するようにディスプレイ素子アレイの全体にわたって分布される。例えば、ディスプレイ素子７０６、７３０の対は盛り上ったピクセル壁７０８を共有する。これに対して、ディスプレイ素子７１０、７３２の対は盛り上っていない（たとえば、「通常の高さ」の）ピクセル壁７１２を共有する。盛り上ったピクセル壁のかかる分布は、いくつかの可能性のある分布の一例に過ぎない。盛り上ったピクセル壁の載置または分布は、基板７０４上に形成されたディスプレイ素子の特徴及び構造に対する第一及び／または第二の流体の流体力学に少なくとも部分的に基づいて決定することができる。流体力学は、２〜３例を挙げると、粘性、湿潤性、基板に対する第一及び／または第二流体の分注速度と分注角度、ならびに、基板上に形成された構造に少なくとも部分的に依存する場合がある。

図８は、いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサ８０２とを有するディスプレイ素子アレイの部分８００の平面図を示す。部分８００は、例えば、盛り上がったピクセル壁が異なる分布を含むこと以外は、図７に示されたディスプレイ素子アレイの部分７００に類似している。

二重スリット流体ディスペンサ８０２は、第一流体（例えば不透明な油）と第二流体（例えば電解液）を、少なくとも１つの盛り上がったピクセル壁８０８を有するディスプレイ素子８０６を含んだ１つまたは複数のディスプレイ素子アレイを含む基板８０４に分注するように構成される。例えば、かかる基板の一部分は図１に示した基板１０４と同一であるか、またはそれに類似している。流体ディスペンサ８０２は、第一流体を分注するための第一スリット８１０と第二流体を分注するための第二スリット８１２を含んでよい。第一スリット８１０と第二スリット８１２との間の距離は、例えば、約１〜約５ミリメートルの範囲でよい。第一スリット８１０と第二スリット８１２の長さ（例えば、図７の頁の内外で測定されたとき）は、いくつかの例を挙げると、数センチメートルから約４０センチメートルまでの範囲でよい。具体的には、スリットの長さは、流体ディスペンサ８０２が第一及び第二流体を上に分注する基板の幅を少なくともほぼ跨ぐのに十分なものでよい。

流体ディスペンサ８０２は、基板８０４上に形成されたディスプレイ素子アレイ内に第一及び第二の流体を載置する製造プロセス中に、下地基板に対してある方向８１４に移動する。この方向は、図面で示されるＸ軸に平行であるが、流体ディスペンサ８０２はＸ軸に対して斜めの角度に配向される。Ｘ軸とＹ軸は、アレイ内のディスプレイ素子の行と列のアラインメントを表わす。流体ディスペンサ８０２は、ディスプレイ素子アレイの個々のディスプレイ素子８０６に第一流体を分注する。流体ディスペンサ８０２は、第一流体及び少なくとも部分的に満たされた個々のディスプレイ素子を覆うように第二流体を分注する。

上述のように、斜めの角度で配向されている流体ディスペンサ８０２に少なくとも部分的に起因して、第一及び第二流体の正味のフローは、矢印８１６で少なくとも略示された横方向に展開する。この横方向の流体フローは、第一及び第二の流体の分布をＹ軸方向に増大させる。例えば、ディスプレイ素子８１８は、ピクセル８２０の充填深さと比較してより深く第一流体で満たされることができる。流体ディスペンサ８０２の斜めの配向に一部起因して生じる第一及び第二流体の不均一分布を緩和するために、ディスプレイ素子アレイのピクセル壁の一部は、ピクセル壁の他の部分より高い。より高いピクセル壁は流体フローの方向を変えることができる。例えば、矢印８２２は、最初はＹ軸に平行に流れているが流体フロー８２２にほぼ直角になる盛り上がったピクセル壁８０８によってＸ軸に向きを変えられる流体フローを表す。流体フローを一方向から別方向（例えば、Ｙ軸に沿ったフローからＸ軸に沿ったフロー）に変える、かかる作用は、斜めの角度に配向された流体ディスペンサ８０２から分注された流体の不均一分布を緩和するのに役立つことができる。

図８に示す実装形態例では、ディスプレイ素子８０６は盛り上がったピクセル壁８０８と盛り上がったピクセル壁８０８の高さより低い「通常の高さ」のピクセル壁８２４とを含む。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁８０８は、高さが約４ミクロンのピクセル壁８２４の約２倍の高さになり得る。

盛り上ったピクセル壁８０８は、隣接するディスプレイ素子をアレイの行と列に間仕切る他のすべてのピクセル壁が盛り上ったピクセル壁を含むようにディスプレイ素子アレイの全体にわたって分布される。盛り上ったピクセル壁のかかる分布は、いくつかの可能性のある分布の一例に過ぎない。上述したように、盛り上ったピクセル壁の載置または分布は、基板８０４上に形成されたディスプレイ素子の特徴及び構造に対する第一及び／または第二の流体の流体力学に少なくとも部分的に基づいて決定することができる。

図９は、いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサ９０２とを有するディスプレイ素子アレイの部分９００の平面図を示す。部分９００は、例えば、盛り上がったピクセル壁が異なる分布を含むこと以外は、図７に示されたディスプレイ素子アレイの部分７００に類似している。

二重スリット流体ディスペンサ９０２は、少なくとも１つの盛り上がったピクセル壁９０８を有するディスプレイ素子９０６を含んだ１つまたは複数のディスプレイ素子アレイを含む基板９０４上に第一流体及び第二流体を分注するように構成される。流体ディスペンサ９０２は、第一流体を分注するための第一スリット９１０と第二流体を分注するための第二スリット９１２を含んでよい。

基板９０４上に形成されたディスプレイ素子アレイ内に第一及び第二の流体を載置する製造プロセス中に、流体ディスペンサ９０２は下地基板に対してある方向９１４に移動する。この方向は、図面で示されるＸ軸に平行であるが、流体ディスペンサ９０２はＸ軸に対して斜めの角度に配向される。Ｘ軸とＹ軸は、アレイ内のディスプレイ素子の行と列のアラインメントを表わす。流体ディスペンサ９０２は、ディスプレイ素子アレイの個々のディスプレイ素子９０６に第一流体を分注する。流体ディスペンサ９０２は第一流体及び少なくとも部分的に満たされた個々のディスプレイ素子を覆うように第二流体を分注する。

上述のように、斜めの角度で配向されている流体ディスペンサ９０２に少なくとも部分的に起因して、第一及び第二流体の正味のフローは、矢印９１６で少なくとも略示された横方向に展開する。この横方向の流体フローは、第一及び第二の流体の分布をＹ軸方向に増大させる。例えば、ディスプレイ素子９１８は、ピクセル９２０の充填深さと比較してより深く第一流体で満たされることができる。流体ディスペンサ９０２の斜めの配向に一部起因して生じる第一及び第二流体の不均一分布を緩和するために、ディスプレイ素子アレイのピクセル壁の一部は、ピクセル壁の他の部分より高い。より高いピクセル壁は流体フローの方向を変えることができる。例えば、矢印９２２は、最初はＹ軸に流れているが流体フロー９２２にほぼ直角になる盛り上がったピクセル壁９０８によってＸ軸に向きを変えられる流体フローを表す。流体フローを一方向から別方向（例えば、Ｙ軸に沿ったフローからＸ軸に沿ったフロー）に変えるかかる作用は、斜めの角度に配向された流体ディスペンサ９０２から分注された流体の不均一分布を緩和するのに役立つことができる。

図９に示す実装形態例では、ディスプレイ素子９０６は盛り上がったピクセル壁９０８と盛り上がったピクセル壁９０８の高さより低い「通常の高さ」のピクセル壁９２４とを含む。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁９０８は、高さ約４ミクロンのピクセル壁９２４の約２倍の高さになり得る。

盛り上ったピクセル壁９０８は、アレイのピクセル壁の他のすべての行が盛り上ったピクセル壁を含むようにディスプレイ素子アレイの全体にわたって分布される。盛り上ったピクセル壁のかかる分布は、いくつかの可能性のある分布の一例に過ぎない。上述したように、盛り上ったピクセル壁の載置または分布は、基板９０４上に形成されたディスプレイ素子の特徴及び構造に対する第一及び／または第二の流体の流体力学に少なくとも部分的に基づいて決定することができる。

図１０は、いくつかの実施形態による、盛り上がったピクセル壁と二重スリット流体ディスペンサ１００２とを有するディスプレイ素子アレイの部分１０００の平面図を示す。部分１０００は、例えば、「Ｌ」字形状の盛り上がったピクセル壁を含むこと以外は、図７に示されたディスプレイ素子アレイの部分７００に類似している。

二重スリット流体ディスペンサ１００２は、少なくとも１つの盛り上がったピクセル壁１００８を有するディスプレイ素子１００６を含んだ１つまたは複数のディスプレイ素子アレイを含む基板１００４に第一流体と第二流体を分注するように構成される。流体ディスペンサ１００２は、第一流体を分注するための第一スリット１０１０と第二流体を分注するための第二スリット１０１２を含んでよい。

基板１００４上に形成されたディスプレイ素子アレイ内に第一及び第二の流体を載置する製造プロセス中に、流体ディスペンサ１００２は下地基板に対してある方向１０１４に移動する。この方向は、図面で示されるＸ軸に平行であるが、流体ディスペンサ１００２はＸ軸に対して斜めの角度に配向される。Ｘ軸とＹ軸は、アレイ内のディスプレイ素子の行と列のアラインメントを表わす。流体ディスペンサ１００２は、ディスプレイ素子アレイの個々のディスプレイ素子１００６に第一流体を分注する。流体ディスペンサ１００２は第一流体及び少なくとも部分的に満たされた個々のディスプレイ素子を覆うように第二流体を分注する。

上述のように、斜めの角度で配向されている流体ディスペンサ１００２に少なくとも部分的に起因して、第一及び第二流体の正味のフローは、矢印１０１６で少なくとも略示された横方向に展開する。この横方向の流体フローは、第一及び第二の流体の分布をＹ軸方向に増大させる。例えば、ディスプレイ素子１０１８は、ピクセル１０２０の充填深さと比較してより深く第一流体で満たされることができる。流体ディスペンサ１００２の斜めの配向に一部起因して生じる第一及び第二の流体の不均一分布を緩和するために、ディスプレイ素子のアレイのピクセル壁の一部は、ピクセル壁の他の部分より高い。より高いピクセル壁は流体フローの方向を変えることができる。例えば、矢印１０２２は、最初はＹ軸に平行に流れているが流体フロー１０２２にほぼ直角になる盛り上がったピクセル壁１００８によってＸ軸に向きを変えられる流体フローを表す。流体フローを一方向から別方向（例えば、Ｙ軸に沿ったフローからＸ軸に沿ったフロー）に変えるかかる作用は、斜めの角度に配向された流体ディスペンサ１００２から分注された流体の不均一分布を緩和するのに役立つことができる。

図１０に示す実装形態例では、ディスプレイ素子１００６は盛り上がったピクセル壁１００８と盛り上がったピクセル壁１００８の高さより低い「通常の高さ」のピクセル壁１０２４とを含む。いくつかの実装形態では、盛り上がったピクセル壁１００８は、高さ約４ミクロンのピクセル壁１０２４の約２倍の高さになり得る。他の実装形態では盛り上がったピクセル壁は高さを変えることができる。例えば、Ｘ方向（例えば行に沿った）の盛り上がったピクセル壁の部分１０２６は、Ｙ方向（例えば列に沿った）の盛り上がったピクセル壁の部分１０２８と比較して異なる盛り上がり高さを有することができる。

盛り上がったピクセル壁１００８は、数個の構成のうちの任意の構成で分布することができる。上述したように、盛り上がったピクセル壁の載置または分布は、基板１００４上に形成されたディスプレイ素子の特徴及び構造に対する第一及び／または第二の流体の流体力学に少なくとも部分的に基づいて決定することができる。

図１１は、様々な実施形態による、エレクトロウェッティングディスプレイ装置の製造プロセスのフローチャートである。例えば、ディスプレイ装置は図１で示したディスプレイ装置と同一であるか、または類似していてもよい。ブロック１１０２では、流体ディスペンサを用いて１つまたは複数のディスプレイ素子アレイを含む基板（透明でよい）上に第一流体及び第二の流体を分注する。例えば、かかる二重スリット流体ディスペンサは図２に示された２００に類似してよい。二重スリット流体ディスペンサでよい流体ディスペンサは、不透明な油などの第一流体及び電解液などの第二流体を分注することができる。流体ディスペンサは、ディスプレイ素子アレイの行と列に対して斜めの角度で第一流体と第二流体を分注することができる。

ブロック１１０４では、透明基板からピクセル壁の第二の部分より実質的にさらに延在するディスプレイ素子アレイのピクセル壁の第一の部分は、第一流体及び第二流体のフローを流体ディスペンサの移動方向に向けさせるのに用いられる。ブロック１１０６では、アレイのディスプレイ素子は、第一流体で少なくとも部分的に満たされる。個々のディスプレイ素子のピクセル壁は、個々のディスプレイ素子に第一流体を保持する。ブロック１１０８では、ディスプレイ素子と第一流体は、少なくとも部分的に第二流体で覆われる。プロセス１１００の後に続いて、天板を基板及びディスプレイ素子アレイの上に載置しラミネートしてよい。得られた構造は、個々のディスプレイ装置に間仕切ることができる。

図１２は、上記で論じたディスプレイ装置のうちの任意のものを組み込むことができる電子装置１２００の例を示す。電子装置１２００はディスプレイを含む電子装置のいずれかのタイプを含み得る。例えば、装置１２００は、モバイルの電子装置（例えば、電子書籍リーダ、タブレット・コンピューティング装置、ラップトップ・コンピュータ、スマートフォン、他の多機能の通信装置、携帯情報端末、ウェアラブル・コンピューティング装置、自動車用ディスプレイなど）でよい。あるいは、装置１２００は、非移動式電子装置（例えば、コンピュータ・ディスプレイ、テレビなど）でもよい。そのうえ、図１２は電子装置１２００のコンポーネントの数例を示すが、装置１２００は、オペレーティング・システム、システム・バス、入／出力コンポーネント等などの他の従来のコンポーネントをさらに含んでよいことを理解すべきである。さらに、テレビまたはコンピュータ・モニタの場合などの他の例では、電子装置１２００は、単に示されたコンポーネントのサブセットを含むだけの場合もある。

電子装置１２００の特定の実装形態にかかわらず、装置１２００はディスプレイ１２０２及び対応するディスプレイ制御装置１２０４を含む。ディスプレイ１２０２は、電子ペーパー・ディスプレイ、反射型または透過型のＬＣＤディスプレイ等などのいくつかの事例で反射型または透過型のディスプレイを表わす場合がある。電子ペーパー・ディスプレイは、紙の上の通常のインクの外観を大部分模倣するディスプレイ技術のアレイを表わす。従来のバックライト・ディスプレイとは対照的に、電子ペーパー・ディスプレイは、一般に、通常の紙がするように光を反射する。そのうえ、電子ペーパー・ディスプレイは、しばしば、双安定であり、これは、これらのディスプレイが、ほんの僅かの電力が供給されるかまたは電力が供給されない場合ですら、テキストまたは他のレンダリングされた画像を保持することができることを意味する。本明細書で記述された実装形態で使用することができるディスプレイ１２０２のいくつかの例には、光干渉変調器ディスプレイ、コレステリック・ディスプレイ、電子泳動ディスプレイ、電気流体ピクセル・ディスプレイ、エレクトロウェッティングディスプレイ、フォトニック・インク・ディスプレイ、ジリコン・ディスプレイなどの双安定性のＬＣＤディスプレイ、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ディスプレイが含まれる。他の実装形態では、または他のタイプの装置１２００については、ディスプレイ１２０２は、流体結晶ディスプレイ、プラズマ・ディスプレイ、発光ダイオード・ディスプレイ、有機発光ダイオード・ディスプレイ等などのアクティブ・ディスプレイでよい。したがって、本明細書での実装形態は、いかなる特別なディスプレイ技術にも限定されない。

ある実装形態では、ディスプレイは、印加電圧を使用して表面に対する流体の表面張力を変えるエレクトロウェッティングディスプレイを含む。例えば、かかるエレクトロウェッティングディスプレイは、図１に示すピクセル・アレイ１００を含んでよいが、請求する主題はこの点に制限されない。疎水性表面に電圧を印加することによって、表面が第二流体よりも湿潤性が高くなるように、この表面の湿潤性を変更することができる。エレクトロウェッティングディスプレイの一例として、電圧がディスプレイの個々のピクセルに加えられる場合に、表面張力の変更は、有色の油膜を収縮させることによって光スイッチとして働く。電圧が印加されない場合は、有色の油はピクセル内に連続的な膜を形成し、この色はディスプレイのユーザが視認することができる。他方で、電圧がピクセルに印加される場合は、有色の油が置き換えられて、ピクセルが透明になる。ディスプレイの複数のピクセルが独立して活性化される場合、ディスプレイはカラーまたは白黒の画像を提示することができる。ピクセルは、透過型、反射型、透過／反射型（透過反射型）ディスプレイの基礎を形成することができる。さらに、小さな桁のピクセル寸法を使用している一方で、ピクセルは、速いスイッチング速度（例えば、数ミリセカンドの桁）に応答することができる。したがって、本明細書のエレクトロウェッティングディスプレイは、ビデオコンテンツを表示することなどの用途に適することができる。

もちろん、異なる数例が挙げられているが、本明細書で記述した反射型ディスプレイが、例が上記で提供された電子ペーパー技術または反射型ディスプレイ技術の任意の他のタイプを含んでよいことを理解すべきである。その上、上で記述した例のいくつかは、黒、白のレンダリング及びグレー諧調を変えることに関して論じられているが、記述された技術はカラー・ピクセルのレンダリングが可能な反射型ディスプレイにも等しくあてはまることを理解すべきである。このように、用語「白」、「グレー」及び「黒」は、カラー・ディスプレイを使用する実装形態で色の程度を変えることを指すことができる。例えば、ピクセルが赤いカラー・フィルタを含んでいる場合、ピクセルの「グレー」の値はピンクの色合いに対応する一方で、ピクセルの「黒」の値はカラー・フィルタの最も暗い赤に対応することができる。さらに、本明細書のいくつかの例は反射型ディスプレイの環境で記述されているが、他の例では、ディスプレイ１２０２は、例を上述したバックライト・ディスプレイを表わしてよい。

ディスプレイ１２０２を含むのに加えて、図１２は、装置１２００のいくつかの例がタッチセンサ・コンポーネント１２０６及びタッチ・コントローラ１２０８を含むことができることを示す。いくつかの事例では、少なくとも１つのタッチ・センサ・コンポーネント１２０６がディスプレイ１２０２と併存するか、またはディスプレイ１２０２上にスタックされてタッチ敏感性ディスプレイ（例えば、電子ペーパー・タッチ敏感性ディスプレイ）を形成する。したがって、ディスプレイ１２０２は、タッチ入力を許容すること及びタッチ入力に応答または対応してコンテンツをレンダリングすることの両方ができるようになることができる。数個の例として、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６は、容量性タッチ・センサ、力感知型抵抗（ＦＳＲ）、補間性力感知型抵抗（ＩＦＳＲ）、または、他の任意のタイプのタッチ・センサを含むことができる。いくつかの事例では、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６は、タッチを検出すること、ならびに、これらのタッチの圧力または力の量を決定することができる。

図１２は、電子装置１２００が、１つまたは複数のプロセッサ１２１０及び１つまたは複数のコンピュータ可読媒体１２１２、ならびに、ディスプレイ１２０２を照らすためのフロント・ライト・コンポーネント１２１４（バックライト・ディスプレイの場合は、代わりに、バックライト・コンポーネントでよい）、カバー・ガラスまたはカバー・シートなどのカバー層コンポーネント１２１６、１つまたは複数のコミュニケーション・インタフェース１２１８、及び１つまたは複数の電源１２２０を含むことができることを示す。コミュニケーション・インタフェース１２１８は、セルラー・ネットワーク、ラジオ、ＷｉＦｉネットワーク、ショート・レンジ・ネットワーク（例えばブルートゥース（登録商標））、赤外線（ＩＲ）等などの様々なネットワークへの有線接続及び無線接続の両方をサポートするかことができる。

電子装置１２００の構成に依存して、コンピュータ可読媒体１２１２（及び至る所で記述された他のコンピュータ可読媒体）は、コンピュータ記憶装置媒体の例であり、揮発性メモリ及び不揮発性メモリを含むことができる。したがって、コンピュータ可読媒体１２１２は、限定はされないが、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュ・メモリ、または他のメモリ技術、またはコンピュータ可読の指示、プログラム、アプリケーション、メディア・アイテム、及び／または、電子装置１２００によってアクセスすることができるデータを格納するのに使用することができるいずれか他の媒体を含むことができる。

コンピュータ可読媒体１２１２は、プロセッサ１２１０上で実行可能な任意の数の機能コンポーネント、並びに、コンテンツ・アイテム１２２２及びアプリケーション１２２４を格納するのに使用することができる。したがって、コンピュータ可読媒体１２１２は、オペレーティング・システムと、イー・ブック、オーディオ書籍、歌、ビデオ、静止画像等、などの１つまたは複数のコンテンツ・アイテム１２２２を格納するストレージ・データベースとを含むことができる。電子装置１２００のコンピュータ可読媒体１２１２は、装置１２００上のコンテンツ・アイテムをレンダリングする１つまたは複数のコンテンツ提示アプリケーションも格納することができる。これらのコンテンツ提示アプリケーションは、コンテンツ・アイテム１２２２に応じて様々なアプリケーション１２２４として実装することができる。例えば、コンテンツ提示アプリケーションは、テキスト電子書籍を読むための電子書籍リーダ・アプリケーション、オーディオ書籍または歌を再生するためのオーディオ・プレイヤ、ビデオを再生するためのビデオ・プレイヤ、等であってよい。

いくつかの例では、電子装置１２００は、カバー（図１２に図示せず）と結合して電子装置１２００のディスプレイ（及び、ディスプレイ・スタックまたはディスプレイ・アセンブリ内の他のコンポーネント）を保護することができる。一例では、装置１２００の後部を覆う後部フラップと、ディスプレイ１２０２及びスタック内の他の部分を覆う前部フラップとを含むことができる。装置１２００及び／またはカバーは、センサ（例えばホール効果センサ）を含んで、カバーが開かれた場合（前部フラップがディスプレイ及び他のコンポーネントの上にない場合）に、それを検知することができる。センサは、カバーが開けられたときにフロント・ライト・コンポーネント１２１４に信号を送信し、フロント・ライト・コンポーネント１２１４がそれに応答してディスプレイ１２０２を照らすことができる。カバーが閉じられると、その間に、フロント・ライト・コンポーネント１２１４はカバーが閉じられたことを示す信号を受信し、照明を消すことができる。

さらに、フロント・ライト・コンポーネント１２１４によって放射される光量を変えることができる。例えば、ユーザがカバーを開くと、フロント・ライトからの光は、徐々に増加してフル照明になることができる。いくつかの事例では、装置１２００は周辺光センサ（図１２には示さず）を含み、フロント・ライト・コンポーネント１２１４の照明量は、周辺光センサによって検知された周辺光量に少なくとも部分的に基づくことができる。例えば、フロント・ライト・コンポーネント１２１４は、周辺光センサが暗い部屋でのように比較的少ない周辺光を検知する場合によりうす暗くなることができ；特定の範囲内で周辺光を検知する場合により明るくなり；そして、直射日光などの比較的大量の周辺光を検知する場合によりうす暗くなるかまたは消灯することができる。

さらに、ディスプレイ１２０２の設定は、フロント・ライト・コンポーネント１２１４がオンかオフかに応じて変わり、かつ、フロント・ライト・コンポーネント１２１４によって提供される光量に基づいて変わることができる。例えば、電子装置１２００は、光がオンのときに比較して、光がオフになったときにより大きなデフォルト・フォントまたはより大きなコントラストをもたらすことができる。いくつかの事例では、光がオンの場合に、電子装置１２００は、光がオフの時のコントラスト比のある規定されたパーセント内にあるディスプレイのコントラスト比を維持する。

上に記述されるように、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６はディスプレイ１２０２の頂上にある容量型タッチ・センサを含むことができる。いくつかの例では、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６はカバー層コンポーネント１２１６上に形成するか、またはコンポーネント１２１６と一体にすることができる。他の例では、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６は、ディスプレイ・アセンブリのスタック内の別個のコンポーネントでよい。フロント・ライト・コンポーネント１２１４は、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６の頂上または下に存在してよい。いくつかの事例では、タッチ・センサ・コンポーネント１２０６またはフロント・ライト・コンポーネント１２１４のいずれかが、ディスプレイ１２０２の保護シート１２２６の上面に結合される。一例としては、フロント・ライト・コンポーネント１２１４は、導光シート及び光源（図１２に示さず）を含むことができる。導光シートは、基板（例えば、ＰＭＭＡまたは他のアクリル樹脂などの透明な熱可塑性プラスチック）、ラッカ層、及び、光源からの光をディスプレイ１２０２に向けて伝搬させてディスプレイ１２０２を照らす働きをするラッカーの層内に形成された複数の回折素子を含むことができる。

カバー層コンポーネント１２１６は、電子装置１２００に入射する周辺光の閃光または反射のうちの少なくとも一方を低下させる働きをする外部層を有した透明基板またはシートを含んでよい。いくつかの事例では、カバー層コンポーネント１２１６は、耐擦傷性の化学結合ＵＶ硬化表面コーティングを生じるベースのポリエステルまたはポリカーボネートを含んだハード・コートのポリエステル膜及び／またはポリカーボネート膜を含むことができる。いくつかの事例では、膜は、生じる膜が予め定められた閾値より大きな硬度（例えば、少なくとも３Ｈの鉛筆に耐える硬度）を含むように添加剤で製造することができる。かかる耐擦傷性がなければ、装置はより容易にひっかき傷が付けられ、ユーザは反射型ディスプレイの上面に分散される光からひっかき傷を知覚することができる。いくつかの例では、保護シート１２２６は、外側表面に類似のＵＶ硬化ハード・コーティングを含んでよい。カバー層コンポーネント１２１６は、別のコンポーネントまたはディスプレイ１２０２の保護シート１２２６に結合することができる。いくつかの事例では、カバー層コンポーネント１２１６は、電子装置１２００に入射するＵＶ光からスタックの下側のコンポーネントを保護するためのＵＶフィルタ、ＵＶ吸収染料などを含んでもよい。さらに他の例では、カバー層コンポーネント１２１６は、閃光防止及び／または反射防止コーティングを有する１枚の高強度ガラスを含んでよい。

ディスプレイ１２０２は、画像表示コンポーネント１２２８を覆う保護シート１２２６を含む。例えば、ディスプレイ１２０２は、その上部または画像視認側の外側表面として保護シート１２２６を有するように予め組み立ててよい。したがって、保護シート１２２６は画像表示コンポーネント１２２８と一体でよく、それを覆ってよい。保護シート１２２６は、ユーザがディスプレイ１２０２の画像表示コンポーネント１２２８上に提示された画像を保護シート１２２６を通して視認することができるように光学的に透明でよい。

いくつかの例では、保護シート１２２６は、厚さが２５〜２００マイクロメートルの範囲の透明なポリマ膜でよい。いくつかの例では、保護シートは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）またはポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などの透明なポリエステル、またはポリカーボネートまたはアクリル樹脂などの他の適切な透明なポリマ膜またはシートでよい。いくつかの例では、保護シート１２２６の外側表面は、上に記述されたハード・コーティングなどのコーティングを含んでよい。例えば、ハード・コーティングは、ディスプレイ１２０２の画像を表示するコンポーネント１２２８を含む保護シート１２２６のアセンブリの前または後の保護シート１２２６の外側表面に適用してよい。いくつかの例では、ハード・コーティングは、保護シート１２２６上にハード・コーティングを硬化させるためなどの光開始剤または他の反応性の化学種をその組成に含んでよい。さらに、いくつかの例では、保護シート１２２６はＵＶ光吸収性染料で染色してよく、または他のＵＶ吸収処理で処理してもよい。例えば、保護シートは、カットオフまたは閾値波長未満のＵＶ光が保護シート１２２６によって少なくとも部分的に吸収されて、それによって、画像表示コンポーネント１２２８をＵＶ光から保護するような特定のＵＶカットオフを有するように処理してよい。

本明細書のいくつかの実装形態によれば、１つまたは複数の上記で論じたコンポーネントは、光学的に透明な流動性接着剤（ＬＯＣＡ）を使用して、ディスプレイ１２０２に結合させてよい。例えば、フロント・ライト・コンポーネント１２１４の導光部分がディスプレイ１２０２に結合されることになっていると仮定されたい。導光部は、保護シート１２２６の外側または上側の表面にＬＯＣＡを載置することにより、ディスプレイ１２０２に結合してよい。ＬＯＣＡが保護シートの周囲の角及び／または保護シートの周囲の少なくとも１つの部分に到着する時に、ＬＯＣＡのＵＶ硬化を、角及び／または周囲の部分で行なってよい。その後、残りのＬＯＣＡがＵＶ硬化され、フロント・ライト・コンポーネント１２１４をＬＯＣＡに結合してよい。これらの技術では、角及び／または周囲を最初に硬化することによって、残りのＬＯＣＡのバリアを形成し、さらに、ＬＯＣＡ層内にエアギャップが形成されるのを防ぎ、それによって、フロント・ライト・コンポーネント１２１４の性能が向上する。他の実装形態では、ＬＯＣＡは、保護シート１２２６の中心近くに載置され、ＬＯＣＡの上にフロント・ライト・コンポーネント１２１４を載置することによって保護シート１２２６の上面の周囲に向かって外向きに押圧される。その後、ＬＯＣＡはフロント・ライト・コンポーネント１２１４を介してＵＶ光を向けることによって硬化させてよい。上記で論じたように、また、以下に追加的に論じるように、保護シートの表面処理などの様々な技術をＬＯＣＡ及び／または保護シート１２２６の変色を防ぐために使用してよい。

図１２は、電子装置１２００が追加の特徴また機能性を有することができる２〜３のコンポーネントの例を示す。例えば、装置１２００はさらに、例えば、磁気ディスク、光ディスクまたはテープなどの追加のデータ格納装置（取り外し可能な、及び／または、取り外しできない）を含んでよい。追加のデータ格納媒体（図２に示した制御盤１２４などの制御盤に存在してよい）は、コンピュータ読取り可能な指示、データ構造、プログラム・モジュールまたは他のデータなどの情報を格納するための任意の方法または技術で実装される揮発性及び不揮発性で、かつ、取り外し可能な及び／または取り外しできない媒体を含んでよい。加えて、いくつかの実装形態では、装置１２００内に存在するとして記述された機能性のうちのいくらかまたはすべてが装置１２００から遠隔に存在していてもよい。これらの実装形態では、装置１２００は、この機能性と通信し、それを利用するためにコミュニケーション・インタフェース１２１８を利用してよい。

主題が構造の特徴及び／または方法論の行為に特有の用語で記述されたが、添付の請求項に規定される主題は記述された特定の特徴及び行為に必ずしも限定されないことを理解すべきである。むしろ、特定の特徴および行為は、請求項を実装する例示的形態として開示される。

当業者なら、上記の記述に事実上無制限な数の変形形態が可能であり、例及び添付の図面は実装形態の１つまたは複数の単なる例に過ぎないことを理解するであろう。

様々な他の修正を加えることができ、請求した主題から逸脱することなく均等物を置換できることは当業者によって理解されるであろう。その上、本明細書で記述された中心概念から逸脱することなく請求した主題の教示に対して特別な状況を適用するために多くの修正を加えることができる。したがって、請求した主題は開示された特別な実施形態に限定されることはないが、かかる請求した主題は、添付の請求項及びその均等物の範囲に当てはまるすべての実施形態を含むこともできることが意図されている。

上記の詳細記述では、数多くの具体的な詳細が説明されて、請求した主題についての完全な理解を提供する。しかし、請求した主題がこれらの具体的な詳細なしで実行できることは当業者によって理解されるであろう。他の事例では、当業者によって理解されるはずの方法、装置、またはシステムは、請求した主題を不明瞭にしないように詳細には記述されていない。

この明細書全体にわたって「一実施形態」または「ある実施形態」への言及は、特別な実施形態に関して記述された特別な特徴、構造または特性を請求した主題の少なくとも１つの実施形態に含まれ得ることを意味することができる。したがって、この明細書の様々な場所で出現するフレーズ「一実施形態では」、または「ある実施形態」は、必ずしも、記述された同一の実施形態または任意の特別な実施形態を指す意図はない。さらに、記述された特別な特徴、構造または特性を様々な方法で１つまたは複数の実施形態で組み合わせることができることを理解すべきである。もちろん、一般に、これらおよび他の論点は使用の特別な背景に応じて変わり得る。したがって、これらの用語を記述または使用する特別な背景は、その背景に対して導かれる推論に関する有用なガイダンスを提供することができる。

（条項）
１． １つまたは複数のピクセル・アレイが上に形成されたガラス基板を含むディスプレイ装置であって、
前記ピクセル・アレイが
前記ピクセル・アレイの個々のピクセルを間仕切り、少なくとも部分的に第一流体を保持するピクセル壁と、
前記ピクセル壁及び前記第一流体を覆う第二流体と、
を含み、
前記ピクセル壁の第一部分が前記ピクセル壁の第二部分の上に延在し、第一方向に整列されて前記第二流体のフローを第二方向に向ける、
前記ディスプレイ装置。

２．前記ピクセル・アレイが前記ピクセル壁の前記第一部分の上に延在するスペーサをさらに含む、条項１に記載のディスプレイ装置。

３．（ｉ）前記スペーサ及び（ｉｉ）前記ピクセル壁の前記第一部分が前記ガラス基板からほぼ同じ距離延在する、条項２に記載のディスプレイ装置。

４．透明基板上に形成されたディスプレイ素子のアレイを含むディスプレイ装置であって、
前記ディスプレイ素子のアレイが
第一流体と、
前記ディスプレイ素子の間で共有される第二流体と、
（ｉ）前記ディスプレイ素子を互いに間仕切り、（ｉｉ）前記ディスプレイ素子のそれぞれに前記第一流体を少なくとも部分的に保持するピクセル壁と、
を含み、
前記ピクセル壁の第一部分が、（ｉ）前記ピクセル壁の第二部分より前記透明基板からさらに実質的に延在し、（ｉｉ）前記第二流体内に延在する、
前記ディスプレイ装置。

５．前記ピクセル壁の前記第一部分が第一材料を含み、前記ピクセル壁の前記第二部分が前記第一材料と同じ第二材料を含む、条項４に記載のディスプレイ装置。

６．前記第一材料がフォトレジスト材料を含む、条項５に記載のディスプレイ装置。

７．前記ピクセル壁の前記第一部分が前記基板上の第一方向に整列して前記第二流体のフローを第二方向に向ける、条項４に記載のディスプレイ装置。

８．前記ピクセル壁の前記第一部分より前記透明基板から実質的にさらに延在するスペーサをさらに含む、条項４に記載のディスプレイ装置。

９．（ｉ）前記透明基板上に形成された前記ディスプレイ素子のアレイを少なくとも部分的に覆う透明な天板と、（ｉｉ）端部シールと、（ｉｉｉ）前記スペーサと、をさらに含む、条項８に記載のディスプレイ装置。

１０．前記透明基板から第一の距離延在するスペーサをさらに含み、前記ピクセル壁の前記第一部分が前記透明基板から第二の距離延在し、前記第一の距離は前記第二の距離とほぼ同じである、条項４に記載のディスプレイ装置。

１１．前記第一流体が非導電性の油であり、前記第二流体が導電性の溶液または極性の溶液である、条項４に記載のディスプレイ装置。

１２．前記ピクセル壁の前記第一部分が前記透明基板から第一の距離延在し、前記ピクセル壁の前記第二部分が前記透明基板から第二の距離延在し、前記第二の距離が前記第一の距離よりも約１．５〜約４．０倍長い、条項４に記載のディスプレイ装置。

１３．前記ディスプレイ素子がエレクトロウェッティングディスプレイ素子を含む、条項４に記載のディスプレイ装置。

１４．前記ピクセル壁の前記第一部分のそれぞれの最長寸法が前記透明基板と平行であり、前記ディスプレイ素子の行と同じ向きに整列される、条項４に記載のディスプレイ装置。

１５．電子ディスプレイ装置を製造する方法であって、
第一流体及び第二流体を透明基板上に分注しつつ、前記透明基板に対して流体ディスペンサを第一方向に移動させることと、
第一流体及び第二流体を前記透明基板上に分注することと、
前記第二流体のフローを前記第一方向に向けるようにディスプレイ素子のアレイのピクセル壁の第一部分を位置決めすることと、
を含み、
前記透明基板は１つまたは複数の前記ディスプレイ素子のアレイを含み、
前記ピクセル壁の前記第一部分が、前記ピクセル壁の第二部分より前記透明基板からさらに実質的に延在する、
前記電子ディスプレイ装置を製造する方法。

１６．前記ディスプレイ素子を前記第一流体で少なくとも部分的に満たすことと、前記ディスプレイ素子及び前記第一流体を前記第二流体で少なくとも部分的に覆うことと、をさらに含む、条項１５に記載の方法。

１７．（ｉ）前記透明基板、（ｉｉ）前記第一流体、（ｉｉｉ）前記第二流体、及び（ｉｖ）前記ピクセル壁を透明な天板で覆うことをさらに含む、条項１５に記載の方法。

１８．前記ディスプレイ素子の前記１つまたは複数のアレイが前記ディスプレイ素子の複数のアレイを含み、前記方法が、
前記透明基板を切断して前記ディスプレイ素子の前記複数のアレイを互いに分離させること
をさらに含む、条項１５に記載の方法。

１９．前記ピクセル壁の前記第一部分及び前記ピクセル壁の前記第二部分がフォトレジスト材料を含む、条項１５に記載の方法。

２０．前記ディスプレイ素子がエレクトロウェッティングディスプレイ素子を含む、条項１５に記載の方法。

Claims (5)

1. 電子ディスプレイ装置を製造する方法であって、
   第１の流体および第２の流体を透明基板上に分注しつつ、前記透明基板に対して流体ディスペンサをある方向に移動させることであって、前記透明基板は１つまたは複数のディスプレイ素子のアレイを含む、ことと、
   前記第２の流体の流れを前記方向に向けるように前記ディスプレイ素子の１または複数のアレイのピクセル壁の第１の部分を位置決めすることであって、前記ピクセル壁の前記第１の部分が、それぞれ前記ピクセル壁の第２の部分よりも前記透明基板からの大きな高さを有する、ことと、
   を含む、電子ディスプレイ装置を製造する方法。
2. 前記ディスプレイ素子を前記第１の流体で少なくとも部分的に満たすことと、
   前記ディスプレイ素子および前記第１の流体を前記第２の流体で少なくとも部分的に覆うことと、
   をさらに含む、請求項１に記載の方法。
3. （ｉ）前記透明基板と、（ｉｉ）前記第１の流体と、（ｉｉｉ）前記第２の流体と、（ｉｖ）前記ピクセル壁と、を透明な天板で覆うこと、
   をさらに含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記ディスプレイ素子の前記１つまたは複数のアレイが前記ディスプレイ素子の複数のアレイを含み、前記方法が、
   前記透明基板を切断して前記ディスプレイ素子の前記複数のアレイのそれぞれを互いに分離させること
   をさらに含む、請求項１に記載の方法。
5. 前記ピクセル壁の前記第１の部分および前記ピクセル壁の前記第２の部分がフォトレジスト材料を含む、請求項１に記載の方法。

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