JP6421073B2 - Metal surface treatment liquid and use thereof - Google Patents

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Description

本発明は、金属の表面処理液及びその利用に関する。   The present invention relates to a metal surface treatment liquid and use thereof.

近年、プリント配線板は、電子機器・電子部品の小型化、薄型化等に対応すべく多層化が進められており、所謂多層プリント配線板は、片面または両面に銅箔等からなる回路を設けた内層用の回路板に、プリプレグを介して外層用回路板もしくは銅箔を重ね、これを一体化することによって製造されている。
ところで、このような多層プリント配線板においては、内層用の回路板に形成された銅回路と、外層用回路板または銅箔を積層させるプリプレグの絶縁接着樹脂との間の接着性の確保が重要な課題となっている。
In recent years, printed wiring boards have been multi-layered to cope with the downsizing and thinning of electronic devices and electronic components. So-called multilayer printed wiring boards are provided with a circuit made of copper foil or the like on one or both sides. In addition, an outer layer circuit board or a copper foil is laminated on an inner layer circuit board via a prepreg, and these are integrated.
By the way, in such a multilayer printed wiring board, it is important to ensure adhesion between the copper circuit formed on the inner layer circuit board and the insulating adhesive resin of the prepreg on which the outer layer circuit board or copper foil is laminated. It is a difficult issue.

特許文献1には、銅箔とプリプレグの接着性と、銅箔とプリプレグを接着して得られる銅張積層板の半田耐熱性を向上させる銅箔表面処理剤に関する発明が記載されている。
この文献には、該表面処理剤の成分として、イミダゾール環を有するトリアルコキシシラン化合物とテトラアルコキシシラン化合物を併用する点が開示されている。
Patent Document 1 describes an invention relating to a copper foil surface treatment agent that improves the adhesiveness between a copper foil and a prepreg and the solder heat resistance of a copper clad laminate obtained by bonding the copper foil and the prepreg.
This document discloses that a trialkoxysilane compound having an imidazole ring and a tetraalkoxysilane compound are used in combination as a component of the surface treatment agent.

特許文献2には、銅の表面をエッチング等の粗化処理を行うことなく、銅と樹脂等の絶縁材との間の密着性を維持することができる銅の表面調整組成物および表面処理方法に関する発明が記載されている。
この文献には、前記の表面調整組成物中に、シランカップリング剤を50〜10,000ppmの濃度で含有し、シランカップリング剤の縮合率が50%以上である点が開示され、シランカップリング剤として3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(NH2-CO-NH-C3H6-Si(OC2H5)3)等のウレイドシランが例示され、絶縁材との密着性に優れているという理由から、表面調整組成物の成分として、シラノール、トリシラノール等が好ましい点が開示されている。
また、当該表面調整組成物を含む溶液が、該組成物を、水と有機溶媒との混合溶媒に溶解させることにより調製し得る点が開示され、銅の表面に前記溶液を接触させた後は、水洗してから乾燥させても、水洗せずに乾燥させてもよい点、そして、水洗してから乾燥させた場合は、均一な厚さの膜が得られ、一方、水洗せずに乾燥した場合には、絶縁材との高い密着性が得られる点が開示されている。
Patent Document 2 discloses a copper surface conditioning composition and a surface treatment method capable of maintaining the adhesion between copper and an insulating material such as a resin without subjecting the copper surface to a roughening treatment such as etching. The invention is described.
This document discloses that the surface conditioning composition contains a silane coupling agent at a concentration of 50 to 10,000 ppm, and the condensation rate of the silane coupling agent is 50% or more. Examples of ring agents include ureidosilanes such as 3-ureidopropyltriethoxysilane (NH 2 —CO—NH—C 3 H 6 —Si (OC 2 H 5 ) 3 ), which are excellent in adhesion to insulating materials. For this reason, silanol, trisilanol and the like are disclosed as the components of the surface conditioning composition.
In addition, it is disclosed that a solution containing the surface conditioning composition can be prepared by dissolving the composition in a mixed solvent of water and an organic solvent, and after bringing the solution into contact with the surface of copper It can be dried after washing with water or without washing, and when it is dried after washing with water, a film with a uniform thickness can be obtained, while drying without washing with water. In this case, it is disclosed that high adhesion with an insulating material can be obtained.

特許文献3には、シランカップリング剤溶液の製造方法、シランカップリング剤溶液、それを用いた基材の表面処理方法等に関する発明が記載されてる。
この文献には、有機ケイ素化合物を水と混合して十分にシラノール基を形成させた後、さらにアルコールを混合すれば、高いシラノール化率を実現でき、かつ、均一な塗工も可能となり、優れた密着性が実現する点、そして、シラノール化率として60〜100%が好ましく、80〜100%がより好ましい点が開示されている。
そして、前記の有機ケイ素化合物として、3−ウレイドプロピルトリエトキシシランが例示されている。
なお、有機高分子化合物や無機材料から構成される基材と、液晶性化合物との密着性を優れたものとする点が発明の課題とされており、金属を基材とする場合の密着性については言及されていない。
Patent Document 3 describes an invention relating to a method for producing a silane coupling agent solution, a silane coupling agent solution, a surface treatment method for a substrate using the same, and the like.
In this document, an organosilicon compound is mixed with water to sufficiently form silanol groups, and further mixed with alcohol, a high silanolation rate can be realized, and uniform coating is also possible. It is disclosed that the adhesiveness is realized, and that the silanolation rate is preferably 60 to 100%, more preferably 80 to 100%.
An example of the organosilicon compound is 3-ureidopropyltriethoxysilane.
In addition, the point which makes the adhesiveness of the base material comprised from an organic polymer compound or an inorganic material and a liquid crystalline compound is the subject of invention, and the adhesiveness in the case of using a metal as a base material Is not mentioned.

特許文献4には、シランカップリング剤およびポリマー組成物に関する発明が記載されている。
この文献には、ガラスや金属とゴムの接着用プライマーに使用されるシランカップリング剤の成分として、トリアゾール等の含窒素複素環と、トリメトキシシリル基やトリエトキシシリル基等のシリル基が、有機基を介して結合された構造の物質が種々開示されている。
Patent Document 4 describes an invention relating to a silane coupling agent and a polymer composition.
In this document, as a component of a silane coupling agent used for a primer for bonding glass or metal and rubber, a nitrogen-containing heterocyclic ring such as triazole, and a silyl group such as a trimethoxysilyl group or a triethoxysilyl group, Various substances having a structure bonded via an organic group are disclosed.

特開平7−286160号公報JP 7-286160 A 特開2009−263790号公報JP 2009-263790 A 特開2006−045189号公報JP 2006-045189 A 特開2002−363189号公報JP 2002-363189 A

本発明は、金属の表面と、プリプレグやソルダーレジスト等の絶縁樹脂との接着性を高めることができる、金属の表面処理液、金属の表面処理方法、金属と樹脂の接着方法、そして、これらの手段を適応したプリント配線板を提供することを目的とする。   The present invention can enhance the adhesion between a metal surface and an insulating resin such as a prepreg or a solder resist, a metal surface treatment solution, a metal surface treatment method, a metal-resin adhesion method, and these An object of the present invention is to provide a printed wiring board to which the means is adapted.

本発明者等は、前記の課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、末端にウレイド(尿素)構造を介して、トリアゾール環を有するシラン化合物を溶解させた水溶液が、所期の目的を達成することを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。
即ち、第1の発明は、化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する水溶液であることを特徴とする金属の表面処理液である。
As a result of intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that an aqueous solution in which a silane compound having a triazole ring is dissolved via a ureido (urea) structure at the end has an intended purpose. It has been found that this has been achieved, and the present invention has been completed.
That is, the first invention is a metal surface treatment liquid characterized by being an aqueous solution containing a triazolesilane compound represented by the chemical formula (I).

Figure 0006421073
(式中、Xが水素原子である場合は、Xが水素原子を表し、Xがメチル基の場合は、Xが水素原子、メチル基またはエチル基を表し、Xがエチル基の場合は、Xが水素原子、メチル基またはエチル基を表し、Xが−NHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NHまたは−SHを表し、Xが−SHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NHまたは−SHを表し、Xが−SCHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NH、−SHまたは−SCHを表す。Rはメチル基またはエチル基を表す。nは0〜3の整数を表す。)
Figure 0006421073
(In the formula, when X 1 is a hydrogen atom, X 2 represents a hydrogen atom, and when X 1 is a methyl group, X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and X 1 represents an ethyl group. In the case of X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and when X 1 is —NH 2 , X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, —NH 2 or —SH, If X 1 is -SH is, X 2 is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, -NH 2 or an -SH, if X 1 is -SCH 3, X 2 is a hydrogen atom, a methyl group And represents an ethyl group, —NH 2 , —SH or —SCH 3 , R represents a methyl group or an ethyl group, and n represents an integer of 0 to 3. )

第2の発明は、前記化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する水溶液であって、金属と樹脂を接着するために使用されることを特徴とする金属の表面処理液である。即ち、金属と樹脂を接着するために使用されることを特徴とする第1の発明の金属の表面処理液である。
第3の発明は、第1の発明または第2の発明の表面処理液を、金属に接触させることを特徴とする金属の表面処理方法である。
第4の発明は、表面処理液を金属の表面に接触させる前に、当該金属の表面に、酸洗処理、粗化処理、耐熱処理、防錆処理または化成処理から選択される少なくとも1つの前処理を施すことを特徴とする第3の発明の金属の表面処理方法である。
第5の発明は、表面処理液を金属の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を、当該金属の表面に接触させることを特徴とする第3の発明の金属の表面処理方法である。
第6の発明は、表面処理液を金属の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を、当該金属の表面に接触させることを特徴とする第3の発明の金属の表面処理方法である。
第7の発明は、第1の発明または第2の発明の表面処理液を金属に接触させた後に、金属の表面に樹脂層を形成させることを特徴とする金属と樹脂の接着方法である。
第8の発明は、第1の発明または第2の発明の表面処理液を金属に接触させた後に、金属の表面に樹脂層を形成させたことを特徴とするプリント配線板である。
第9の発明は、金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする第1の発明または第2の発明の金属の表面処理液である。
第10の発明は、金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする第3の発明ないし第6の発明の何れかの金属の表面処理方法である。
第11の発明は、金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする第7の発明の金属と樹脂の接着方法である。
第12の発明は、金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする第8の発明のプリント配線板である。
The second invention is an aqueous solution containing a triazolesilane compound represented by the chemical formula (I), and is a metal surface treatment solution used for bonding a metal and a resin. That is, the metal surface treatment liquid according to the first aspect of the present invention is used for bonding a metal and a resin.
A third invention is a metal surface treatment method, wherein the surface treatment liquid of the first invention or the second invention is brought into contact with a metal.
According to a fourth aspect of the present invention, before bringing the surface treatment liquid into contact with the surface of the metal, the surface of the metal is subjected to at least one selected from pickling treatment, roughening treatment, heat resistance treatment, rust prevention treatment or chemical conversion treatment. A metal surface treatment method according to a third aspect of the invention, characterized in that the treatment is performed.
5th invention is the surface treatment method of the metal of 3rd invention characterized by making the aqueous solution containing a copper ion contact the surface of the said metal, before making a surface treatment liquid contact the surface of a metal. .
A sixth aspect of the invention is the metal surface treatment method according to the third aspect of the invention, wherein after the surface treatment liquid is brought into contact with the surface of the metal, an acidic aqueous solution or an alkaline aqueous solution is brought into contact with the surface of the metal. .
A seventh invention is a method for adhering a metal and a resin, wherein a resin layer is formed on the surface of the metal after the surface treatment liquid of the first or second invention is brought into contact with the metal.
An eighth invention is a printed wiring board characterized in that a resin layer is formed on the surface of the metal after the surface treatment liquid of the first invention or the second invention is brought into contact with the metal.
According to a ninth aspect of the invention, in the metal surface treatment solution according to the first or second aspect, the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof. It is.
In a tenth aspect of the invention, the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy of any of the third to sixth aspects. This is a surface treatment method.
An eleventh invention is the metal-resin bonding method according to the seventh invention, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof.
A twelfth invention is the printed wiring board according to the eighth invention, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold or an alloy thereof.

本発明によれば、金属の表面とプリプレグやソルダーレジスト等の樹脂との接着性を高めることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesiveness of metal surfaces and resin, such as a prepreg and a soldering resist, can be improved.

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の金属の表面処理液(以下、単に表面処理液または処理液と云うことがある)は、前記の化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物を有効成分として含有するが、このトリアゾールシラン化合物は、化学式(Ia)〜(Id)で示されるトリアゾールシラン化合物を包含する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The metal surface treatment liquid of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as a surface treatment liquid or a treatment liquid) contains the triazole silane compound represented by the chemical formula (I) as an active ingredient. Includes triazolesilane compounds represented by the chemical formulas (Ia) to (Id).

Figure 0006421073
(式中、X、XおよびRは、前記と同様である。)
Figure 0006421073
(Wherein X 1 , X 2 and R are the same as described above.)

なお、化学式(Ia)で示されるトリアゾールシラン化合物は、前記の化学式(I)においてnが0である場合のトリアゾールシラン化合物(以下、トリアゾールトリアルコキシシラン化合物と云うことがある)である。
同様に、化学式(Ib)で示されるトリアゾールシラン化合物は、nが1である場合のトリアゾールシラン化合物であり、化学式(Ic)で示されるトリアゾールシラン化合物は、nが2である場合のトリアゾールシラン化合物であり、化学式(Id)で示されるトリアゾールシラン化合物は、nが3である場合のトリアゾールシラン化合物である。
Note that the triazole silane compound represented by the chemical formula (Ia) is a triazole silane compound (hereinafter sometimes referred to as a triazole trialkoxysilane compound) when n is 0 in the chemical formula (I).
Similarly, the triazole silane compound represented by the chemical formula (Ib) is a triazole silane compound when n is 1, and the triazole silane compound represented by the chemical formula (Ic) is a triazole silane compound when n is 2. The triazole silane compound represented by the chemical formula (Id) is a triazole silane compound when n is 3.

化学式(Ib)〜(Id)で示されるトリアゾールシラン化合物は、表面処理液中に存在する化学式(Ia)で示されるトリアゾールトリアルコキシシラン化合物が、加水分解されて生成するもの(種)である。   The triazole silane compound represented by the chemical formulas (Ib) to (Id) is a compound (seed) produced by hydrolysis of the triazole trialkoxysilane compound represented by the chemical formula (Ia) present in the surface treatment liquid.

本発明の実施においては、表面処理液中の成分の原料として、化学式(Ia)で示されるトリアゾールトリアルコキシシラン化合物を使用することが好ましい。   In the practice of the present invention, it is preferable to use a triazole trialkoxysilane compound represented by the chemical formula (Ia) as a raw material of components in the surface treatment liquid.

このトリアゾールトリアルコキシシラン化合物は、
1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−3−メチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジエチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジエチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−エチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−エチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジアミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジアミノ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メルカプト−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メルカプト−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メルカプト−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メルカプト−3−メチル−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メルカプト−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−メルカプト−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメルカプト−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
5−メチルチオ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−メチル−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−メチル−5−メチルチオ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メチルチオ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−メチルチオ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−メルカプト−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3−メルカプト−5−メチルチオ−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ビス(メチルチオ)−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールおよび
3,5−ビス(メチルチオ)−1−[3−(トリエトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールを表す(包含する)。
なお、本発明の実施においては、これらから選択される2種以上を組み合わせて使用してもよい。
This triazole trialkoxysilane compound is
1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-methyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-dimethyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-dimethyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-methyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-ethyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-ethyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-ethyl-3-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-ethyl-3-methyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-diethyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-diethyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-methyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-ethyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-ethyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-diamino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-diamino-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-amino-3-mercapto-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-mercapto-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-mercapto-3-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-mercapto-3-methyl-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-mercapto-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-amino-5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-amino-5-mercapto-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-dimercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-dimercapto-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
5-methylthio-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-methyl-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-methyl-5-methylthio-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-methylthio-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-amino-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-amino-5-methylthio-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-mercapto-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3-mercapto-5-methylthio-1- [3- (triethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole,
3,5-bis (methylthio) -1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole and 3,5-bis (methylthio) -1- [3- (triethoxy Silyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (included).
In the practice of the present invention, two or more selected from these may be used in combination.

当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物は、化学式(II)で示されるトリアゾール化合物と、化学式(III)で示されるイソシアナトプロピルシラン化合物を、適量の反応溶媒中において適宜の反応温度および反応時間にて反応させることにより、概ね定量的に合成される(反応スキーム(A)参照)。   The triazole trialkoxysilane compound is obtained by reacting a triazole compound represented by the chemical formula (II) with an isocyanatopropylsilane compound represented by the chemical formula (III) in an appropriate amount of reaction solvent at an appropriate reaction temperature and reaction time. Therefore, it is synthesized almost quantitatively (see reaction scheme (A)).

Figure 0006421073
(式中、X、XおよびRは、前記と同様である。)
Figure 0006421073
(Wherein X 1 , X 2 and R are the same as described above.)

前記のトリアゾール化合物は、
1,2,4−トリアゾール、
3−メチル−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメチル−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、
3−エチル−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジエチル−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、
3−アミノ−5−エチル−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール、
3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、
3−メルカプト−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、
3,5−ジメルカプト−1,2,4−トリアゾール、
3−メチルチオ−1,2,4−トリアゾール、
3−メチルチオ−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、
5−エチル−3−メチルチオ−1,2,4−トリアゾール、
5−アミノ−3−メチルチオ−1,2,4−トリアゾール、
5−メルカプト−3−メチルチオ−1,2,4−トリアゾールおよび
3,5−ビス(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾールを表す(包含する)。
The triazole compound is
1,2,4-triazole,
3-methyl-1,2,4-triazole,
3,5-dimethyl-1,2,4-triazole,
3-ethyl-5-methyl-1,2,4-triazole,
3-ethyl-1,2,4-triazole,
3,5-diethyl-1,2,4-triazole,
3-amino-1,2,4-triazole,
3-amino-5-methyl-1,2,4-triazole,
3-amino-5-ethyl-1,2,4-triazole,
3,5-diamino-1,2,4-triazole,
3-mercapto-1,2,4-triazole,
3-mercapto-5-methyl-1,2,4-triazole,
5-ethyl-3-mercapto-1,2,4-triazole,
5-amino-3-mercapto-1,2,4-triazole,
3,5-dimercapto-1,2,4-triazole,
3-methylthio-1,2,4-triazole,
3-methylthio-5-methyl-1,2,4-triazole,
5-ethyl-3-methylthio-1,2,4-triazole,
5-amino-3-methylthio-1,2,4-triazole,
Represents (includes) 5-mercapto-3-methylthio-1,2,4-triazole and 3,5-bis (methylthio) -1,2,4-triazole.

前記のイソシアナトプロピルシラン化合物は、
3−イソシアナトプロピルトリメトキシシランおよび
3−イソシアナトプロピルトリエトキシシランを表す(包含する)。
The isocyanatopropylsilane compound is
Represents (includes) 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane and 3-isocyanatopropyltriethoxysilane.

本発明の表面処理液は、前記の化学式(Ia)で示されるトリアゾールトリアルコキシシラン化合物と水を混合することにより調製されるが、水と共に有機溶剤を併用してもよい。
なお、表面処理液の調製方法については、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物と水を混合した後に有機溶剤を加えてもよいし、該化合物と水および有機溶剤の混合液を混合してもよいし、該化合物と有機溶剤を混合した後に水を加えてもよい。
また、表面処理液の調製に使用される水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましい。
The surface treatment liquid of the present invention is prepared by mixing the triazole trialkoxysilane compound represented by the chemical formula (Ia) and water, but an organic solvent may be used in combination with water.
In addition, about the preparation method of a surface treatment liquid, you may add the organic solvent after mixing the said triazole trialkoxysilane compound and water, you may mix the liquid mixture of this compound, water, and an organic solvent, Water may be added after mixing the compound and the organic solvent.
Moreover, as water used for preparation of a surface treatment liquid, pure water, such as ion-exchange water and distilled water, is preferable.

前記の有機溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、2−プロパノール、ブタノール、tert−ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、1−ブトキシ−2−プロパノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、アセトン、テトラヒドロフラン、ジオキサンの他、アセトニトリル、2−ピロリドン、ホルムアミド、スルホラン、炭酸ジメチル、エチレンカーボネート、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、グリコール酸、乳酸、グルコン酸、グリセリン酸、マロン酸、コハク酸、レブリン酸、フェノール、安息香酸、シュウ酸、酒石酸、リンゴ酸、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ブチルアミン、アリルアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、1−アミノ−2−プロパノール、3−アミノ−1−プロパノール、2−アミノ−1−プロパノール、N,N−ジメチルエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、アニリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、ピリジン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド等の水と自由に混和するものが好ましい。
なお、本発明の実施においては、これらから選択される2種以上を組み合わせて使用してもよい。
Examples of the organic solvent include methanol, ethanol, propanol, 2-propanol, butanol, tert-butanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, diethylene glycol, triethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, and ethylene glycol monoethyl. Ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl Ether, tetrahydrofurfuryl alcohol, furfuryl alcohol, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, 1-butoxy-2-propanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, acetone, In addition to tetrahydrofuran and dioxane, acetonitrile, 2-pyrrolidone, formamide, sulfolane, dimethyl carbonate, ethylene carbonate, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, formic acid, acetic acid, propionic acid, Butyric acid, glycolic acid, lactic acid, gluconic acid, glyceric acid, malonic acid, succinic acid, levulinic acid, phenol, benzoic acid, oxalic acid, tartaric acid, malic acid, methyl Ruamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, propylamine, isopropylamine, butylamine, allylamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, triethylenetetramine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, dipropanolamine, tripropanolamine, mono Isopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, 1-amino-2-propanol, 3-amino-1-propanol, 2-amino-1-propanol, N, N-dimethylethanolamine, cyclohexylamine, aniline, pyrrolidine, Piperidine, piperazine, pyridine, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetate Bromide, which freely miscible with water, such as dimethyl sulfoxide are preferred.
In the practice of the present invention, two or more selected from these may be used in combination.

本発明の表面処理液を適応し得る被処理材の金属としては、銅または銅合金が好ましいが、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金に対しても、本発明の表面処理液を適応し得ることが期待される。   As the metal of the material to be treated to which the surface treatment liquid of the present invention can be applied, copper or a copper alloy is preferable. It is expected that this surface treatment solution can be applied.

銅合金としては、銅を含む合金であれば特に限定されず、例えば、Cu−Ag系、Cu−Te系、Cu−Mg系、Cu−Sn系、Cu−Si系、Cu−Mn系、Cu−Be−Co系、Cu−Ti系、Cu−Ni−Si系、Cu−Cr系、Cu−Zr系、Cu−Fe系、Cu−Al系、Cu−Zn系、Cu−Co系等の合金を挙げることができる。
アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀または金の合金としては、例えば、アルミニウム合金(Al−Si系)、ニッケル合金(Ni−Cr系)、鉄合金(Fe−Ni系、ステンレス)等を挙げることができる。
The copper alloy is not particularly limited as long as it is an alloy containing copper. For example, Cu-Ag, Cu-Te, Cu-Mg, Cu-Sn, Cu-Si, Cu-Mn, Cu -Be-Co, Cu-Ti, Cu-Ni-Si, Cu-Cr, Cu-Zr, Cu-Fe, Cu-Al, Cu-Zn, Cu-Co, and other alloys Can be mentioned.
As an alloy of aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver or gold, for example, an aluminum alloy (Al—Si series), a nickel alloy (Ni—Cr series), an iron alloy (Fe—Ni series, stainless steel), etc. Can be mentioned.

以下、本願の明細書において、「銅」とは、所謂金属銅と銅合金の双方を指すものとし、電子基板、リードフレーム等の電子部品、装飾品、建材等に使用される箔(電解銅箔、圧延銅箔)、メッキ膜(無電解銅メッキ膜、電解銅メッキ膜)、線、棒、管、板等の用途・形態において使用されるものである。なお、近年の高周波の電気信号が流れる銅配線の場合には、銅の表面は平均粗さが0.1μm以下の平滑面であることが好ましい。   Hereinafter, in the specification of the present application, “copper” refers to both so-called metallic copper and copper alloy, and foil (electrolytic copper) used for electronic parts such as electronic boards and lead frames, ornaments, building materials, and the like. Foil, rolled copper foil), plating film (electroless copper plating film, electrolytic copper plating film), wire, bar, tube, plate and the like. In the case of copper wiring through which a high-frequency electric signal flows in recent years, the copper surface is preferably a smooth surface having an average roughness of 0.1 μm or less.

化学式(Ia)で示されるトリアゾールトリアルコキシシラン化合物は、前述のとおり、水と接触すると加水分解されるが、この加水分解の態様をスキーム(B)に示した。
このスキームにおいては、前記の化学式(Ia)〜(Ic)で示されるトリアゾールシラン化合物の有するシリル基が加水分解される態様、即ち、トリアルコキシシリル基が、漸次、ジアルコキシヒドロキシシリル基、ジヒドロキシアルコキシシリル基、トリヒドロキシシリル基に変化する様子が簡略的に示される。
As described above, the triazole trialkoxysilane compound represented by the chemical formula (Ia) is hydrolyzed when contacted with water. The mode of hydrolysis is shown in Scheme (B).
In this scheme, the silyl group of the triazolesilane compound represented by the chemical formulas (Ia) to (Ic) is hydrolyzed, that is, the trialkoxysilyl group is gradually converted into a dialkoxyhydroxysilyl group, a dihydroxyalkoxy group. The state of changing to a silyl group or a trihydroxysilyl group is simply shown.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

一般に、分子中にアルコキシシリル基を有する物質は、シランカップリング剤として作用することが知られている。
本発明の実施において使用するトリアゾールトリアルコキシシラン化合物は、分子中にトリアゾール環とアルコキシシリル基(-Si-OR)を有しており、トリアゾール環は、樹脂および銅と相互作用し、化学結合を形成すると推定される。
また、アルコキシシリル基は加水分解を受けて、ヒドロキシシリル基(-Si-OH)に変換され、このヒドロキシシリル基は銅表面に点在する酸化銅と化学結合すると推定される。
従って、銅と表面処理液を接触させることにより、銅の表面にはトリアゾール環やヒドロキシシリル基との結合により、化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物に由来する化成皮膜が形成されて、この化成皮膜の表面に樹脂層を形成させた場合には、銅の表面に直に樹脂層を形成させる場合に比べて、銅と樹脂との接着性を高めることができる。
In general, it is known that a substance having an alkoxysilyl group in the molecule acts as a silane coupling agent.
The triazole trialkoxysilane compound used in the practice of the present invention has a triazole ring and an alkoxysilyl group (—Si—OR) in the molecule, and the triazole ring interacts with the resin and copper to form a chemical bond. Estimated to form.
In addition, the alkoxysilyl group is hydrolyzed and converted to a hydroxysilyl group (—Si—OH), which is presumed to be chemically bonded to copper oxide scattered on the copper surface.
Therefore, by bringing the surface treatment solution into contact with copper, a chemical conversion film derived from the triazole silane compound represented by the chemical formula (I) is formed on the surface of the copper by bonding with a triazole ring or a hydroxysilyl group. When the resin layer is formed on the surface of the chemical conversion film, the adhesion between the copper and the resin can be improved as compared with the case where the resin layer is formed directly on the copper surface.

本発明の実施においては、表面処理液中における化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物の濃度が、トリアゾールトリアルコキシシラン化合物の濃度に換算して、0.001〜10重量%であることが好ましく、0.01〜5重量%であることがより好ましい。
この濃度が0.001重量%未満である場合には、接着性の向上効果が十分ではなく、この濃度が10重量%を超える場合には、接着性の向上効果がほぼ頭打ちとなり、トリアゾールトリアルコキシシラン化合物の使用量が増えるばかりで経済的ではない。
In the practice of the present invention, the concentration of the triazolesilane compound represented by the chemical formula (I) in the surface treatment liquid is preferably 0.001 to 10% by weight in terms of the concentration of the triazoletrialkoxysilane compound. More preferably, the content is 0.01 to 5% by weight.
When this concentration is less than 0.001% by weight, the effect of improving the adhesiveness is not sufficient, and when this concentration exceeds 10% by weight, the effect of improving the adhesiveness almost reaches its peak, and triazole trialkoxy. Not only is the amount of silane compound used increased, but it is not economical.

ところで、表面処理液中に生成したヒドロキシシリル基を有するトリアゾールシラン化合物(前記の化学式(Ib)〜(Id)参照)は、徐々に、互いに反応して脱水縮合し、ヒドロキシシリル基がシロキサン結合(Si-O-Si)を形成し(スキーム(B)参照)、水に溶け難いシランオリゴマー(スキーム(B)中の化学式(e)で示される基を有するトリアゾールシラン化合物、式中のxは重合度を表す)に変換される。   By the way, the triazolesilane compound having a hydroxysilyl group formed in the surface treatment liquid (see the above chemical formulas (Ib) to (Id)) gradually reacts with each other to undergo dehydration condensation, and the hydroxysilyl group is bonded to a siloxane bond ( Si-O-Si) (see scheme (B)), a silane oligomer that is hardly soluble in water (a triazolesilane compound having a group represented by the chemical formula (e) in scheme (B), and x in the formula represents polymerization) Represents the degree).

表面処理液中におけるシランオリゴマーの生成量が多くなると、不溶解分が析出して(処理液が白濁し)、処理槽や処理槽に接続された配管、処理液中に浸漬された処理液の温度や液面を検出するためのセンサー類に付着し、円滑な表面処理が阻害される惧れがある。
これを避けるために、水に難溶性であるシランオリゴマーの溶解剤として、前述の有機溶剤を表面処理液中に含有させることが好ましい。
有機溶剤の含有量については、水100重量部に対して0.1〜90重量部の割合とすることが好ましく、1〜50重量部の割合とすることがより好ましい。
When the amount of silane oligomer generated in the surface treatment liquid increases, the insoluble matter precipitates (the treatment liquid becomes cloudy), and the treatment tank, the pipe connected to the treatment tank, the treatment liquid immersed in the treatment liquid It may adhere to sensors for detecting temperature and liquid level, and smooth surface treatment may be hindered.
In order to avoid this, it is preferable to include the above-mentioned organic solvent in the surface treatment liquid as a silane oligomer solubilizing agent that is hardly soluble in water.
About content of the organic solvent, it is preferable to set it as the ratio of 0.1-90 weight part with respect to 100 weight part of water, and it is more preferable to set it as the ratio of 1-50 weight part.

本発明の表面処理液の調製においては、トリアゾールトリアルコキシシラン化合物の加水分解を促進させる為に、酢酸や塩酸等の酸、あるいは、水酸化ナトリウムやアンモニア等のアルカリを使用(添加)してもよい。   In the preparation of the surface treatment liquid of the present invention, an acid such as acetic acid or hydrochloric acid or an alkali such as sodium hydroxide or ammonia may be used (added) in order to promote hydrolysis of the triazole trialkoxysilane compound. Good.

同様に、表面処理液の安定性や、前述のトリアゾールシラン化合物に由来する化成皮膜の均一性を向上させるために、塩素イオン、臭素イオン等のハロゲンイオンや銅イオン、鉄イオン、亜鉛イオンなどの金属イオンを生成する物質を使用(添加)することもできる。   Similarly, in order to improve the stability of the surface treatment solution and the uniformity of the chemical conversion film derived from the triazole silane compound, halogen ions such as chlorine ions and bromine ions, copper ions, iron ions, zinc ions, etc. Substances that generate metal ions can also be used (added).

また、本発明の効果を損なわない範囲において、公知のカップリング剤を併用(添加)してもよい。公知のカップリング剤としては、チオール基(メルカプト基)、ビニル基、エポキシ基、(メタ)アクリル基、アミノ基、クロロプロピル基等を有するシラン系カップリング剤が挙げられる。   In addition, a known coupling agent may be used (added) as long as the effects of the present invention are not impaired. Known coupling agents include silane coupling agents having a thiol group (mercapto group), vinyl group, epoxy group, (meth) acryl group, amino group, chloropropyl group, and the like.

このようなシラン系カップリング剤の例としては、
3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、
3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトシラン化合物、
ビニルトリクロルシラン、
ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン化合物、
p−スチリルトリメトキシシラン等のスチリルシラン化合物、
2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン化合物、
3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリロキシシラン化合物、
3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、
3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、
3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等のメタクリロキシシラン化合物、
N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチルブチリデン)プロピルアミン、
N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン化合物、
3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン化合物、
3−クロロプロピルトリメトキシシラン等のクロロプロピルシラン化合物、
ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド等のスルフィドシラン化合物、
3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネートシラン化合物等を挙げることができる。
その他、アルミニウム系カップリング剤、チタン系カップリング剤、ジルコニウム系カップリング剤等も挙げることができる。
Examples of such silane coupling agents include
3-mercaptopropyltrimethoxysilane,
Mercaptosilane compounds such as 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane,
Vinyltrichlorosilane,
Vinyltrimethoxysilane,
Vinylsilane compounds such as vinyltriethoxysilane,
styrylsilane compounds such as p-styryltrimethoxysilane,
2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane,
3-glycidoxypropyltrimethoxysilane,
3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane,
Epoxy silane compounds such as 3-glycidoxypropyltriethoxysilane,
Acryloxysilane compounds such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane,
3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane,
3-methacryloxypropyltrimethoxysilane,
3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane,
Methacryloxysilane compounds such as 3-methacryloxypropyltriethoxysilane,
N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane,
N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane,
N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane,
3-aminopropyltrimethoxysilane,
3-aminopropyltriethoxysilane,
3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethylbutylidene) propylamine,
N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane,
Aminosilane compounds such as N- (vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane;
Ureidosilane compounds such as 3-ureidopropyltriethoxysilane,
Chloropropylsilane compounds such as 3-chloropropyltrimethoxysilane,
Sulfide silane compounds such as bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide,
Examples include isocyanate silane compounds such as 3-isocyanatopropyltriethoxysilane.
In addition, an aluminum coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, and the like can also be exemplified.

本発明の表面処理液を金属の表面に接触させる方法に、特に制限はなく、浸漬、塗布、スプレー等の手段を採用することができる。
表面処理液と金属を接触させる時間(処理時間)については、1秒〜10分とすることが好ましく、5秒〜3分とすることがより好ましい。処理時間が1秒未満の場合には、金属の表面に形成される化成皮膜の膜厚が薄くなり、金属と樹脂の接着力が十分に得られず、一方10分より長くしても、化成皮膜の膜厚に大差はなく、接着性の向上も期待できない。
また、表面処理液を金属の表面に接触させる際の該処理液の温度については、5〜50℃とすることが好ましいが、前記の処理時間との関係において、適宜設定すればよい。
There is no restriction | limiting in particular in the method of making the surface treatment liquid of this invention contact the surface of a metal, Means, such as immersion, application | coating, a spray, can be employ | adopted.
The time (treatment time) for contacting the surface treatment liquid and the metal is preferably 1 second to 10 minutes, and more preferably 5 seconds to 3 minutes. If the treatment time is less than 1 second, the film thickness of the chemical conversion film formed on the surface of the metal becomes thin, and sufficient adhesion between the metal and the resin cannot be obtained. There is no great difference in film thickness, and no improvement in adhesion can be expected.
Moreover, about the temperature of this processing liquid at the time of making a surface processing liquid contact the metal surface, it is preferable to set it as 5-50 degreeC, However, What is necessary is just to set suitably in relation to the said processing time.

本発明の表面処理液と金属を接触させた後は、金属を水洗することが好ましい。
水洗操作により、金属と化学結合することなく、単に金属に付着したトリアゾールシラン化合物を除去することができ、更に金属以外の材質の部材表面に付着したトリアゾールシラン化合物も除去することができる。
このように、単に付着したトリアゾールシラン化合物を除去することにより、後工程(例えば、メッキ処理)において使用される薬液への汚染を防止することができる。
金属を水洗した後は、室温〜150℃の温度で乾燥することが好ましい。
なお、水洗に使用する水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましいが、水洗の方法や時間に特に制限はなく、浸漬やスプレー等の手段による適宜の時間で構わない。
After bringing the surface treatment liquid of the present invention into contact with the metal, it is preferable to wash the metal with water.
By washing with water, the triazolesilane compound adhering to the metal can be simply removed without chemically bonding to the metal, and the triazolesilane compound adhering to the surface of the member made of a material other than the metal can also be removed.
In this way, by simply removing the adhering triazolesilane compound, it is possible to prevent contamination of the chemical used in the subsequent process (for example, plating treatment).
After the metal is washed with water, it is preferably dried at a temperature of room temperature to 150 ° C.
The water used for washing is preferably pure water such as ion-exchanged water or distilled water, but the washing method and time are not particularly limited, and may be an appropriate time by means such as dipping or spraying.

表面処理液を金属の表面に接触させる前に、当該金属の表面に、酸洗処理、粗化処理、耐熱処理、防錆処理または化成処理から選択される少なくとも1つの前処理を施してもよい。   Before bringing the surface treatment liquid into contact with the metal surface, the metal surface may be subjected to at least one pretreatment selected from pickling treatment, roughening treatment, heat treatment, rust prevention treatment or chemical conversion treatment. .

前記の酸洗処理は、金属の表面に付着した油脂成分を除去する為と、金属の表面の酸化皮膜を除去する為に施される。この酸洗処理には、塩酸系溶液、硫酸系溶液、硝酸系溶液、硫酸−過酸化水素系溶液、有機酸系溶液、無機酸−有機溶剤系溶液や有機酸−有機溶剤系溶液等を使用することができる。   The pickling treatment is performed to remove oil and fat components adhering to the metal surface and to remove the oxide film on the metal surface. This pickling treatment uses hydrochloric acid solution, sulfuric acid solution, nitric acid solution, sulfuric acid-hydrogen peroxide solution, organic acid solution, inorganic acid-organic solvent solution, organic acid-organic solvent solution, etc. can do.

前記の粗化処理は、アンカー効果による金属と樹脂の接着性を高める為に施される。この前処理により、金属の表面に凸凹形状が付与され、金属と樹脂材料との密着性を高めることができる。
この前処理においては、マイクロエッチング法、電気メッキ法、無電解メッキ法、酸化法(ブラックオキサイド、ブラウンオキサイド)、酸化・還元法、ブラシ研磨法、ジェットスクラブ法等の粗化手段を採用することができる。
The roughening treatment is performed to enhance the adhesion between the metal and the resin due to the anchor effect. By this pretreatment, an uneven shape is imparted to the surface of the metal, and the adhesion between the metal and the resin material can be enhanced.
In this pretreatment, roughening means such as micro-etching method, electroplating method, electroless plating method, oxidation method (black oxide, brown oxide), oxidation / reduction method, brush polishing method, jet scrub method, etc. should be adopted. Can do.

マイクロエッチング法においては、例えば、有機酸・第二銅イオン系、硫酸・過酸化水素系、過硫酸塩系、塩化銅系や塩化鉄系の各エッチング剤を使用することができる。
電気メッキ法においては、金属の表面に微細な金属粒子を析出させることにより、金属の表面に凸凹を形成させる。
In the micro-etching method, for example, organic acid / cupric ion-based, sulfuric acid / hydrogen peroxide-based, persulfate-based, copper chloride-based and iron chloride-based etchants can be used.
In the electroplating method, fine metal particles are deposited on the surface of the metal to form irregularities on the surface of the metal.

前記の耐熱処理においては、金属の表面に、ニッケル、ニッケル−リン、亜鉛、亜鉛−ニッケル、銅−亜鉛、銅−ニッケル、銅−ニッケル−コバルトまたはニッケル−コバルトから選択される少なくとも1種の皮膜が形成される。
この皮膜の形成は、公知の電気メッキ法を採用して行うことができるが、蒸着その他の手段を採用しても差し支えない。
In the heat-resistant treatment, at least one film selected from nickel, nickel-phosphorus, zinc, zinc-nickel, copper-zinc, copper-nickel, copper-nickel-cobalt, or nickel-cobalt is formed on the metal surface. Is formed.
This film can be formed by using a known electroplating method, but vapor deposition or other means may be employed.

前記の防錆処理は、金属の表面の酸化腐食を防止する為に行われ、当該防錆処理の手段として、金属の表面に、亜鉛または亜鉛合金組成のメッキ皮膜や、電解クロメートのメッキ皮膜を形成させる方法を採用することができる。   The rust prevention treatment is performed to prevent oxidative corrosion of the metal surface, and as a means of the rust prevention treatment, a zinc or zinc alloy composition plating film or electrolytic chromate plating film is applied to the metal surface. A forming method can be adopted.

前記の化成処理においては、スズの不動態皮膜を形成する方法や、酸化銅の不動態皮膜を形成する方法を採用することができる。   In the chemical conversion treatment, a method of forming a passive film of tin or a method of forming a passive film of copper oxide can be employed.

本発明の表面処理液を金属の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を金属の表面に接触させてもよい。この銅イオンを含む水溶液は、金属の表面に形成される化成皮膜の厚みを均一にさせる機能を有する。
銅イオン源としては、水に溶解する銅塩であれば特に限定されず、硫酸銅、硝酸銅、塩化銅、ギ酸銅、酢酸銅などの銅塩を挙げることができる。銅塩を水に可溶化するために、アンモニアや塩酸などを添加してもよい。
Before bringing the surface treatment liquid of the present invention into contact with the metal surface, an aqueous solution containing copper ions may be brought into contact with the metal surface. This aqueous solution containing copper ions has a function of making the thickness of the chemical conversion film formed on the surface of the metal uniform.
The copper ion source is not particularly limited as long as it is a copper salt that dissolves in water, and examples thereof include copper salts such as copper sulfate, copper nitrate, copper chloride, copper formate, and copper acetate. In order to solubilize the copper salt in water, ammonia or hydrochloric acid may be added.

本発明の表面処理液を金属の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を金属の表面に接触させてもよい。この酸性またはアルカリ性の水溶液も、前記の銅イオンを含む水溶液と同様に、金属の表面に形成される化成皮膜の厚みを均一にさせる機能を有する。
酸性水溶液およびアルカリ性水溶液は、特に限定されないが、酸性水溶液としては、硫酸、硝酸、塩酸等の鉱酸や、ギ酸、酢酸、乳酸、グリコール酸、アミノ酸などの有機酸を含む水溶液等を挙げることができる。アルカリ性水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、エタノールアミン、モノプロパノールアミン等のアミン類を含む水溶液を挙げることができる。
After the surface treatment liquid of the present invention is brought into contact with the metal surface, an acidic aqueous solution or an alkaline aqueous solution may be brought into contact with the metal surface. This acidic or alkaline aqueous solution also has a function of making the thickness of the chemical conversion film formed on the surface of the metal uniform, like the aqueous solution containing copper ions.
The acidic aqueous solution and the alkaline aqueous solution are not particularly limited, and examples of the acidic aqueous solution include aqueous solutions containing mineral acids such as sulfuric acid, nitric acid, and hydrochloric acid, and organic acids such as formic acid, acetic acid, lactic acid, glycolic acid, and amino acids. it can. Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions containing alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, and amines such as ammonia, ethanolamine and monopropanolamine.

本発明の表面処理液は、例えば、銅回路(銅配線層)とプリプレグ(絶縁樹脂層)との間の接着性(密着性)を高めることを目的とする銅の表面処理に好適である。
本発明によれば、銅配線層に接して絶縁樹脂層を有する積層体(例えば、多層配線構造を有するプリント配線板)において、銅配線層と絶縁樹脂層との間の接着性を高めることができる。
The surface treatment liquid of the present invention is suitable for, for example, copper surface treatment for the purpose of enhancing the adhesion (adhesion) between a copper circuit (copper wiring layer) and a prepreg (insulating resin layer).
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesiveness between a copper wiring layer and an insulating resin layer can be improved in the laminated body (for example, printed wiring board which has a multilayer wiring structure) which has an insulating resin layer in contact with a copper wiring layer. it can.

前記の積層体は、本発明の表面処理液と銅配線の表面を接触させて、その後水洗して、銅配線表面に絶縁樹脂層を形成させることにより作製することができる。この接触の方法については、前述のとおりであり、表面処理液中への銅配線の浸漬または該処理液による銅配線へのスプレー等が簡便かつ確実であり好ましい。
また、前記水洗の方法についても特に制限はないが、洗浄水中への銅配線の浸漬または洗浄水による銅配線表面へのスプレーが簡便かつ確実であり好ましい。
前記の絶縁樹脂層の形成には、公知の方法、例えば半硬化の樹脂を貼り付ける方法や溶剤を含む液状の樹脂を塗布する方法等を採用することができる。次いで、上下の配線を導通させる為に、ビアホールを形成する。このプロセスを繰り返すことにより、多層プリント配線板を作製できる。
The laminate can be produced by bringing the surface treatment liquid of the present invention and the surface of the copper wiring into contact with each other and then washing with water to form an insulating resin layer on the surface of the copper wiring. The contact method is as described above, and it is preferable that immersion of the copper wiring in the surface treatment liquid or spraying of the copper wiring with the treatment liquid is simple and reliable.
Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the method of the said water washing, but the immersion to the copper wiring in washing | cleaning water or the spray to the copper wiring surface by washing water is simple and reliable, and preferable.
For the formation of the insulating resin layer, a known method such as a method of attaching a semi-cured resin or a method of applying a liquid resin containing a solvent can be employed. Next, a via hole is formed to connect the upper and lower wirings. By repeating this process, a multilayer printed wiring board can be produced.

前記の銅配線については、無電解メッキ法、電解メッキ法、蒸着法、スパッタ法、ダマシン法等どのような方法で作製されたものでもよく、インナービアホール、スルーホール、接続端子等を含んだものでもよい。   The copper wiring may be produced by any method such as an electroless plating method, an electrolytic plating method, a vapor deposition method, a sputtering method, or a damascene method, and includes an inner via hole, a through hole, a connection terminal, etc. But you can.

前記の絶縁樹脂層については、公知の樹脂を材質とするものであって構わない。
具体的な樹脂としては、耐熱性や絶縁性に優れた、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、マレイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリフェニレンエーテル(ポリフェニレンオキサイド)樹脂、オレフィン樹脂、フッ素含有樹脂、液晶ポリマー、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等を挙げることができ、これらを混合したり、互いに変性したりして、組み合わせたものであってもよい。
The insulating resin layer may be made of a known resin.
Specific resins include acrylate resins, epoxy resins, polyimide resins, bismaleimide resins, maleimide resins, cyanate resins, polyphenylene ether (polyphenylene oxide) resins, olefin resins, fluorine-containing resins, which are excellent in heat resistance and insulation. A liquid crystal polymer, a polyetherimide resin, a polyetheretherketone resin, and the like can be given. These may be combined or modified with each other.

ところで、特開2009−19266号公報には、金属表面にシランカップリング剤を含む液を塗布する工程と、前記液を塗布した金属表面を、25〜150℃の温度で且つ5分以内で乾燥を行う工程と、乾燥させた金属表面を水洗する工程とを含むことを特徴とするシランカップリング剤皮膜の形成方法に関する発明が記載されている。
また、前記金属表面には、予め表面処理として浸漬メッキ液によりスズ等の接着性金属層を形成してよいとされている。
本発明の表面処理液は、前記の『シランカップリング剤を含む液』として使用し得るものである。なお、この特許公報に記載された事項は、引用により本明細書の一部を成すものとする。
By the way, JP 2009-19266 A discloses a step of applying a liquid containing a silane coupling agent to a metal surface, and drying the metal surface to which the liquid is applied at a temperature of 25 to 150 ° C. within 5 minutes. An invention relating to a method for forming a silane coupling agent film is described, which includes a step of performing a step of washing and washing a dried metal surface with water.
Further, it is said that an adhesive metal layer such as tin may be formed on the metal surface in advance by immersion plating as a surface treatment.
The surface treatment liquid of the present invention can be used as the “liquid containing a silane coupling agent”. In addition, the matter described in this patent gazette shall constitute a part of this specification by reference.

以下、実施例および比較例に基づき本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例および比較例において使用した主原料は次のとおりである。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to these. The main raw materials used in the examples and comparative examples are as follows.

[主原料]
・1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例1に合成例を示した)
・5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例2に合成例を示した)
・5−アミノ−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例3に合成例を示した)
・3,5−ジアミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例4に合成例を示した)
・3−メルカプト−5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールと3−アミノ−5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの混合物(参考例5に合成例を示した)
・5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例6に合成例を示した)
・3−アミノ−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール(参考例7に合成例を示した)
・イミダゾールシラン化合物(参考例8に合成方法を示した)
・3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、品名「KBM−903」)
・エチレングリコールモノブチルエーテル(和光純薬工業社製、試薬)
・ソルダーレジスト(アクリレート・エポキシ樹脂、太陽インキ製造社製、品名「PSR−4000AUS308」)
[Main ingredients]
1- [3- (Trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 1)
5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 2)
5-Amino-3-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 3)
3,5-diamino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 4)
3-mercapto-5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole and 3-amino-5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) ) Propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole mixture (Synthesis example shown in Reference Example 5)
5-Mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 6)
3-amino-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole (Synthesis example shown in Reference Example 7)
・ Imidazolesilane compound (The synthesis method was shown in Reference Example 8)
・ 3-Aminopropyltrimethoxysilane (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., product name “KBM-903”)
・ Ethylene glycol monobutyl ether (Wako Pure Chemical Industries, Reagent)
Solder resist (acrylate / epoxy resin, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd., product name “PSR-4000AUS308”)

[参考例1]
<1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
メタノール30gを、室温にて攪拌しながら、これに1,2,4−トリアゾール2.8g(0.04モル)を投入して溶解させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン8.2g(0.04モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、室温にて4時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-1)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物10.9g(収率99.5%)を得た。
[Reference Example 1]
<Synthesis of 1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring at room temperature, 30 g of methanol was charged with 2.8 g (0.04 mol) of 1,2,4-triazole, followed by 8.2 g of 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane. (0.04 mol) was added dropwise.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at room temperature for 4 hours, and then the volatile component was distilled off from the reaction solution under reduced pressure to give the title compound represented by the chemical formula (Ia-1) as an candy-like liquid. 10.9 g (99.5% yield) of a triazole trialkoxysilane compound was obtained.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例2]
<5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
テトラヒドロフラン100gを、室温にて攪拌しながら、これに3−アミノ−1,2,4−トリアゾール5.04g(0.06モル)を投入して懸濁させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン12.3g(0.06モル)を滴下し、1時間攪拌した。
トリエチルアミン0.83g(0.008モル)を投入した後、還流下にて4.5時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-2)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物17.5g(収率100.9%)を得た。
[Reference Example 2]
<Synthesis of 5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring at room temperature, 100 g of tetrahydrofuran was added to and suspended in 5.04 g (0.06 mol) of 3-amino-1,2,4-triazole, followed by 3-isocyanatopropyltri Methoxysilane 12.3g (0.06mol) was dripped and it stirred for 1 hour.
After charging 0.83 g (0.008 mol) of triethylamine, the mixture was stirred for 4.5 hours under reflux, and then volatile components were distilled off from the reaction solution under reduced pressure to obtain a candy-like liquid. 17.5 g (yield 100.9%) of the title triazole trialkoxysilane compound represented by (Ia-2) was obtained.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例3]
<5−アミノ−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
メタノール14gを、室温にて攪拌しながら、これに3−アミノ−5−メチル−1,2,4−トリアゾール2.0g(0.02モル)を投入して溶解させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン4.1g(0.02モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、室温にて2時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-3)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物6.2g(収率100.2%)を得た。
[Reference Example 3]
<Synthesis of 5-amino-3-methyl-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring 14 g of methanol at room temperature, 2.0 g (0.02 mol) of 3-amino-5-methyl-1,2,4-triazole was added thereto and dissolved, followed by 3-isocyanate. 4.1 g (0.02 mol) of natopropyltrimethoxysilane was added dropwise.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at room temperature for 2 hours, and then the volatile matter was distilled off from the reaction solution under reduced pressure to give the title compound represented by the chemical formula (Ia-3) as an candy-like liquid. The triazole trialkoxysilane compound 6.2g (yield 100.2%) was obtained.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例4]
<3,5−ジアミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
ジメチルホルムアミド41gを、40℃にて攪拌しながら、これに3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール2.0g(0.02モル)を投入して溶解させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン4.1g(0.02モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、40℃にて2時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-4)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物6.3g(収率98.1%)を得た。
[Reference Example 4]
<Synthesis of 3,5-diamino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring at 40 ° C., 41 g of dimethylformamide was dissolved by adding 2.0 g (0.02 mol) of 3,5-diamino-1,2,4-triazole, followed by 3-isocyanate. 4.1 g (0.02 mol) of natopropyltrimethoxysilane was added dropwise.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at 40 ° C. for 2 hours, and then the volatile component was distilled off from the reaction solution under reduced pressure to give a candy-like liquid represented by the chemical formula (Ia-4). 6.3 g (yield 98.1%) of the triazole trialkoxysilane compound was obtained.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例5]
<3−メルカプト−5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールと3−アミノ−5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
ジメチルホルムアミド20gを、室温にて攪拌しながら、これに3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール2.3g(0.02モル)を投入して溶解させた。続いて、この溶液を5℃まで冷却し10℃を越えないように、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン4.1g(0.02モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、5〜10℃にて2時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-5)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物と、化学式(Ia-6)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物の混合物6.6g(収率102.8%)を得た。
なお、H−NMRスペクトルデータより、両者の比率が4:6(モル比)であると認められた。
[Reference Example 5]
<3-Mercapto-5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole and 3-amino-5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) ) Synthesis of Propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring at room temperature, 20 g of dimethylformamide was charged with 2.3 g (0.02 mol) of 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole and dissolved therein. Subsequently, this solution was cooled to 5 ° C., and 4.1 g (0.02 mol) of 3-isocyanatopropyltrimethoxysilane was added dropwise so as not to exceed 10 ° C.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at 5 to 10 ° C. for 2 hours, and then the volatile component was distilled off from the reaction solution under reduced pressure. As a result, 6.6 g (yield: 102.8%) of a mixture of the title triazole trialkoxysilane compound and the title triazole trialkoxysilane compound represented by the chemical formula (Ia-6) was obtained.
In addition, from the 1 H-NMR spectrum data, it was recognized that the ratio of both was 4: 6 (molar ratio).

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例6]
<5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
メタノール30gを、室温にて攪拌しながら、これに3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール2.0g(0.02モル)を投入して溶解させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン4.1g(0.02モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、室温にて2時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-7)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物6.3g(収率103.9%)を得た。
[Reference Example 6]
<Synthesis of 5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring 30 g of methanol at room temperature, 2.0 g (0.02 mol) of 3-mercapto-1,2,4-triazole was added thereto and dissolved, followed by 3-isocyanatopropyltrimethoxy. 4.1 g (0.02 mol) of silane was added dropwise.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at room temperature for 2 hours, and then the volatile component was distilled off from the reaction solution under reduced pressure to give the title compound represented by the chemical formula (Ia-7) as an candy-like liquid. 6.3 g (yield 103.9%) of a triazole trialkoxysilane compound was obtained.

Figure 0006421073
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[参考例7]
<3−アミノ−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの合成>
ジメチルホルムアミド14gを、室温にて攪拌しながら、これに5−アミノ−3−メチルチオ−1,2,4−トリアゾール2.6g(0.02モル)を投入して溶解させ、続いて、3−イソシアナトプロピルトリメトキシシラン4.1g(0.02モル)を滴下した。
反応による発熱が収まった後、室温にて2時間攪拌し、次いで、減圧下にて反応液から揮発分を留去して、アメ状の液体として、化学式(Ia-8)で示される標題のトリアゾールトリアルコキシシラン化合物6.8g(収率101.4%)を得た。
[Reference Example 7]
<Synthesis of 3-amino-5-methylthio-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole>
While stirring at room temperature, 14 g of dimethylformamide was dissolved in 2.6 g (0.02 mol) of 5-amino-3-methylthio-1,2,4-triazole. 4.1 g (0.02 mol) of isocyanatopropyltrimethoxysilane was added dropwise.
After the exotherm due to the reaction had subsided, the mixture was stirred at room temperature for 2 hours, and then the volatile component was distilled off from the reaction mixture under reduced pressure to give the title compound represented by the chemical formula (Ia-8) as an candy-like liquid. 6.8 g (yield 101.4%) of a triazole trialkoxysilane compound was obtained.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[参考例8]
<イミダゾールシラン化合物の合成>
イミダゾール3.4g(0.05mol)を95℃で融解し、アルゴン雰囲気下で攪拌しながら、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン11.8g(0.05mol)を30分間かけて滴下した。滴下終了後、さらに95℃の温度で1時間反応させた。
反応生成物は透明な橙色の粘稠な液体として得られた(特開平5−186479号公報から引用)。
注:特開平5−186479号公報によると、反応生成物は、化学式(IV-1)〜(IV-3)で示されるイミダゾールシラン化合物の混合物とされている。
[Reference Example 8]
<Synthesis of imidazole silane compound>
3.4 g (0.05 mol) of imidazole was melted at 95 ° C., and 11.8 g (0.05 mol) of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane was added dropwise over 30 minutes while stirring in an argon atmosphere. After completion of dropping, the reaction was further carried out at a temperature of 95 ° C. for 1 hour.
The reaction product was obtained as a clear orange viscous liquid (cited from JP-A-5-186479).
Note: According to JP-A-5-186479, the reaction product is a mixture of imidazole silane compounds represented by chemical formulas (IV-1) to (IV-3).

Figure 0006421073
Figure 0006421073

また、実施例および比較例において行った金属と樹脂の接着性の評価試験(イ)〜(ハ)は、次のとおりである。   Moreover, the evaluation tests (A) to (C) of the adhesion between the metal and the resin performed in the examples and comparative examples are as follows.

[接着性の評価試験(イ)]
(1)試験片の基材
試験片の基材として、電解銅箔(厚み:18μm)を使用した。
(2)基材の処理
以下の工程a〜cに従って行った。
a.酸清浄/1分間(室温)、水洗
b.酸清浄/1分間(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
c.銅の表面処理液に浸漬/1分(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
(3)基材と樹脂の接着
処理した基材のS面に、ガラス布エポキシ樹脂含浸プリプレグ(FR−4グレード)を積層プレスし、基材と樹脂を接着してプリント配線板を作成した。
(4)接着性の評価
このプリント配線板から、「JIS C6481」に従って、幅10mmの試験片を作成し、プレッシャークッカー処理(121℃/湿度100%/100時間)した後、銅箔の引き剥がし強さを測定した。
[Adhesion evaluation test (I)]
(1) Base material of test piece As a base material of the test piece, an electrolytic copper foil (thickness: 18 μm) was used.
(2) Processing of base material It carried out according to the following processes ac.
a. Acid clean / 1 minute (room temperature), water wash b. Acid cleaning / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C)
c. Immersion in copper surface treatment solution / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C.)
(3) Adhesion of substrate and resin A glass cloth epoxy resin-impregnated prepreg (FR-4 grade) was laminated and pressed on the S surface of the treated substrate, and the substrate and the resin were adhered to produce a printed wiring board.
(4) Evaluation of adhesiveness From this printed wiring board, a test piece having a width of 10 mm was prepared according to “JIS C6481”, pressure cooked (121 ° C./humidity 100% / 100 hours), and then stripped of the copper foil. Strength was measured.

[接着性の評価試験(ロ)]
基材のS面に、「ガラス布エポキシ樹脂含浸プリプレグ(FR−4グレード)を積層プレス」する代わりに、「ビルドアップ配線板用樹脂(味の素ファインテクノ社製、品名「GX−13」)をラミネート」した以外は、評価試験(イ)と同様の手順で、金属と樹脂の接着性を評価した。
[Adhesion evaluation test (b)]
Instead of “Lamination press of glass cloth epoxy resin impregnated prepreg (FR-4 grade)” on the S side of the substrate, “Resin for build-up wiring board (product name“ GX-13 ”manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) Except for “lamination”, the adhesion between the metal and the resin was evaluated in the same procedure as in the evaluation test (A).

[接着性の評価試験(ハ)]
(1)試験片の基材
試験片の基材として、電解銅メッキ(メッキ厚:20μm)を施した両面銅張積層板(基板:FR4,板厚:1.0mm,銅箔厚:18μm,縦120mm×横110mm)を使用した。
(2)基材の処理
以下の工程a〜dに従って行った。
a.酸清浄/1分間(室温)、水洗
b.過酸化水素・硫酸によるマイクロエッチング/1分(室温)、水洗
c.酸清浄/1分間(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
d.銅の表面処理液に浸漬/1分(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
(3)基材への樹脂層の形成
処理した基材に、ソルダーレジスト(太陽インキ製造社製、品名「PSR−4000AUS308」)を塗布した後、乾燥(80℃/30分)、ポストキュア(150℃/60分)を行って、13μm厚の樹脂層(塗膜)を形成させ、プリント配線板の試験片を作成した。
(4)接着性の評価
「JIS K5400−8.5」に従って、試験片の表面に形成した塗膜を1mm×1mmの碁盤目にクロスカット(100マス)し、プレッシャークッカー処理(121℃/湿度100%/100時間)した後、テープピールテストを行い、塗膜が剥離しないマス目の数を計測した。また、塗膜の傷み具合を目視にて観察した。
なお、接着性の判定基準は、表1に示したとおりである。
[Adhesion evaluation test (c)]
(1) Base material of test piece As a base material of test piece, double-sided copper-clad laminate (substrate: FR4, plate thickness: 1.0 mm, copper foil thickness: 18 μm) subjected to electrolytic copper plating (plating thickness: 20 μm), 120 mm long × 110 mm wide) was used.
(2) Treatment of base material It was performed according to the following steps a to d.
a. Acid clean / 1 minute (room temperature), water wash b. Micro etching with hydrogen peroxide / sulfuric acid / 1 minute (room temperature), water washing c. Acid cleaning / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C)
d. Immersion in copper surface treatment solution / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C.)
(3) Formation of resin layer on substrate After applying a solder resist (product name “PSR-4000AUS308”, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) to the treated substrate, drying (80 ° C./30 minutes), post-cure ( 150 ° C./60 minutes), a 13 μm thick resin layer (coating film) was formed, and a test piece of a printed wiring board was prepared.
(4) Evaluation of adhesiveness According to “JIS K5400-8.5”, the coating film formed on the surface of the test piece was cross-cut (100 squares) on a 1 mm × 1 mm grid, and pressure cooker treatment (121 ° C./humidity) 100% / 100 hours), a tape peel test was performed, and the number of squares where the coating film did not peel was measured. Moreover, the damage condition of the coating film was observed visually.
The criteria for determining adhesiveness are as shown in Table 1.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

[実施例1]
シランカップリング剤成分として、1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール10gに、エチレングリコールモノブチルエーテル200gを加え、続いて水790gを加えて、室温にて2時間攪拌し、銅の表面処理液(以下、処理液Aと云う)を調製した。
この処理液Aについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 1]
As a silane coupling agent component, 200 g of ethylene glycol monobutyl ether was added to 10 g of 1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole, and subsequently 790 g of water was added. Was stirred for 2 hours to prepare a copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution A).
About this processing liquid A, it confirmed that the methoxy silyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxy silyl group, and performed the adhesive evaluation test (a)-(c).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例2]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Bと云う)を調製した。
この処理液Bについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 2]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “5-amino-1- [3- (trimethoxysilyl) A surface treatment solution for copper (hereinafter referred to as treatment solution B) was prepared in the same manner as in Example 1 except that [1) Propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole ”was used.
About this processing liquid B, it confirmed that the methoxy silyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxy silyl group, and performed the adhesive evaluation test (a)-(c).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例3]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『5−アミノ−3−メチル−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Cと云う)を調製した。
この処理液Cについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 3]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “5-amino-3-methyl-1- [3- A copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution C) was prepared in the same manner as in Example 1 except that (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole ”was used.
About this processing liquid C, it confirmed that the methoxysilyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxysilyl group, and performed the adhesive evaluation test (a)-(c).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例4]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『3,5−ジアミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Dと云う)を調製した。
この処理液Dについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 4]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “3,5-diamino-1- [3- (tri A copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution D) was prepared in the same manner as in Example 1 except that “methoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole” was used.
About this process liquid D, it confirmed that the methoxysilyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxysilyl group, and performed the adhesive evaluation test (I)-(C).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例5]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『3−メルカプト−5−アミノ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールと3−アミノ−5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾールの混合物』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Eと云う)を調製した。
この処理液Eについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 5]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “3-mercapto-5-amino-1- [3- (Trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole and 3-amino-5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole A surface treatment solution for copper (hereinafter referred to as treatment solution E) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mixture was used.
About this process liquid E, it confirmed that the methoxysilyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxysilyl group, and performed the adhesive evaluation test (I)-(C).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例6]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『5−メルカプト−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Fと云う)を調製した。
この処理液Fについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 6]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “5-mercapto-1- [3- (trimethoxysilyl) A surface treatment solution for copper (hereinafter referred to as treatment solution F) was prepared in the same manner as in Example 1 except that [] propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole ”was used.
About this process liquid F, it confirmed that the methoxysilyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxysilyl group, and performed the adhesive evaluation test (I)-(C).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[実施例7]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『3−アミノ−5−メチルチオ−1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Gと云う)を調製した。
この処理液Gについて、当該トリアゾールトリアルコキシシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Example 7]
As a silane coupling agent component, instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”, “3-amino-5-methylthio-1- [3- A copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution G) was prepared in the same manner as in Example 1 except that (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole ”was used.
About this process liquid G, it confirmed that the methoxysilyl group of the said triazole trialkoxysilane compound was hydrolyzed to the hydroxysilyl group, and performed the adhesive evaluation test (I)-(C).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[比較例1]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『イミダゾールシラン化合物』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Hと云う)を調製した。
この処理液Hについて、イミダゾールシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Comparative Example 1]
Example 1 except that “imidazole silane compound” was used in place of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole” as the silane coupling agent component. In the same manner as above, a copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution H) was prepared.
About this processing liquid H, it confirmed that the methoxy silyl group of the imidazole silane compound was hydrolyzed to the hydroxy silyl group, and performed the adhesive evaluation test (ii)-(iii).
The test results obtained were as shown in Table 2.

[比較例2]
シランカップリング剤成分として、『1−[3−(トリメトキシシリル)プロピルカルバモイル]−1H−1,2,4−トリアゾール』の代わりに、『3−アミノプロピルトリメトキシシラン』を使用した以外は、実施例1と同様にして銅の表面処理液(以下、処理液Iと云う)を調製した。
この処理液Iについて、3−アミノプロピルトリメトキシシランのメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認し、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行った。
得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Comparative Example 2]
As the silane coupling agent component, “3-aminopropyltrimethoxysilane” was used instead of “1- [3- (trimethoxysilyl) propylcarbamoyl] -1H-1,2,4-triazole”. In the same manner as in Example 1, a copper surface treatment solution (hereinafter referred to as treatment solution I) was prepared.
For this treatment liquid I, it was confirmed that the methoxysilyl group of 3-aminopropyltrimethoxysilane was hydrolyzed to a hydroxysilyl group, and adhesive evaluation tests (a) to (c) were conducted.
The test results obtained were as shown in Table 2.

[比較例3]
シランカップリング剤を使用することなく、エチレングリコールモノブチルエーテル200gと水790gを混合し、室温にて2時間攪拌して、銅の表面処理液(以下、処理液Jと云う)を調製した。
この処理液Jについて、接着性の評価試験(イ)〜(ハ)を行ったところ、得られた試験結果は、表2に示したとおりであった。
[Comparative Example 3]
Without using a silane coupling agent, 200 g of ethylene glycol monobutyl ether and 790 g of water were mixed and stirred at room temperature for 2 hours to prepare a copper surface treatment liquid (hereinafter referred to as treatment liquid J).
About this processing liquid J, when the adhesive evaluation tests (a) to (c) were performed, the test results obtained were as shown in Table 2.

Figure 0006421073
Figure 0006421073

本発明によれば、金属と樹脂の接着性(密着性)を十分に確保できるので、金属の表面を粗化することなく、平滑な状態に保持することができる。従って、本発明は、多層プリント配線板の小型化、薄型化、高周波化、高密度化等の実現に大いに貢献し得るものであるから、産業上の利用可能性は多大である。


According to the present invention, the adhesion (adhesion) between the metal and the resin can be sufficiently secured, so that the metal surface can be maintained in a smooth state without being roughened. Therefore, the present invention can greatly contribute to the realization of the multilayer printed wiring board, such as miniaturization, thinning, high frequency, high density, etc., and thus the industrial applicability is great.


Claims (12)

化学式(I)で示されるトリアゾールシラン化合物を含有する水溶液であることを特徴とする金属の表面処理液。
Figure 0006421073
(式中、Xが水素原子である場合は、Xが水素原子を表し、Xがメチル基の場合は、Xが水素原子、メチル基またはエチル基を表し、Xがエチル基の場合は、Xが水素原子、メチル基またはエチル基を表し、Xが−NHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NHまたは−SHを表し、Xが−SHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NHまたは−SHを表し、Xが−SCHである場合は、Xが水素原子、メチル基、エチル基、−NH、−SHまたは−SCHを表す。Rはメチル基またはエチル基を表す。nは0〜3の整数を表す。)
A metal surface treatment solution, which is an aqueous solution containing a triazolesilane compound represented by the chemical formula (I).
Figure 0006421073
(In the formula, when X 1 is a hydrogen atom, X 2 represents a hydrogen atom, and when X 1 is a methyl group, X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and X 1 represents an ethyl group. In the case of X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and when X 1 is —NH 2 , X 2 represents a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, —NH 2 or —SH, If X 1 is -SH is, X 2 is a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, -NH 2 or an -SH, if X 1 is -SCH 3, X 2 is a hydrogen atom, a methyl group And represents an ethyl group, —NH 2 , —SH or —SCH 3 , R represents a methyl group or an ethyl group, and n represents an integer of 0 to 3. )
属と樹脂を接着するために使用されることを特徴とする請求項1記載の金属の表面処理液。 Claim 1 surface treatment liquid metal, wherein the used to bond metals and resins. 請求項1または請求項2記載の表面処理液を、金属に接触させることを特徴とする金属の表面処理方法。   A metal surface treatment method, wherein the surface treatment liquid according to claim 1 or 2 is brought into contact with a metal. 表面処理液を金属の表面に接触させる前に、当該金属の表面に、酸洗処理、粗化処理、耐熱処理、防錆処理または化成処理から選択される少なくとも1つの前処理を施すことを特徴とする請求項3記載の金属の表面処理方法。   Before bringing the surface treatment liquid into contact with the metal surface, the metal surface is subjected to at least one pretreatment selected from pickling treatment, roughening treatment, heat treatment, rust prevention treatment or chemical conversion treatment. The metal surface treatment method according to claim 3. 表面処理液を金属の表面に接触させる前に、銅イオンを含む水溶液を、当該金属の表面に接触させることを特徴とする請求項3記載の金属の表面処理方法。   The metal surface treatment method according to claim 3, wherein an aqueous solution containing copper ions is brought into contact with the surface of the metal before the surface treatment liquid is brought into contact with the surface of the metal. 表面処理液を金属の表面に接触させた後に、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液を、当該金属の表面に接触させることを特徴とする請求項3記載の金属の表面処理方法。   4. The metal surface treatment method according to claim 3, wherein after the surface treatment liquid is brought into contact with the surface of the metal, an acidic aqueous solution or an alkaline aqueous solution is brought into contact with the surface of the metal. 請求項1または請求項2記載の表面処理液を金属に接触させた後に、金属の表面に樹脂層を形成させることを特徴とする金属と樹脂の接着方法。   A method for bonding a metal and a resin, comprising: forming a resin layer on a metal surface after bringing the surface treatment liquid according to claim 1 or 2 into contact with the metal. 請求項1または請求項2記載の表面処理液を金属に接触させた後に、金属の表面に樹脂層を形成させたことを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board comprising a resin layer formed on a surface of a metal after the surface treatment liquid according to claim 1 or 2 is brought into contact with the metal. 金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の金属の表面処理液。   The metal surface treatment solution according to claim 1 or 2, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof. 金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする請求項3ないし請求項6の何れかに記載の金属の表面処理方法。   The metal surface treatment method according to claim 3, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof. 金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする請求項7記載の金属と樹脂の接着方法。   The metal-resin bonding method according to claim 7, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof. 金属が、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、スズ、鉄、銀、金またはこれらの合金であることを特徴とする請求項8記載のプリント配線板。
The printed wiring board according to claim 8, wherein the metal is copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, or an alloy thereof.
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