JP6377247B2 - 物体を画像化する方法及び装置 - Google Patents
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Description
T1〜T10 ステップ
100 物体
110−1〜110−3 照明野
111−1〜111−3 ビーム形状特性
120 光軸
201−1〜201−3 画像
301 近似値
302 中間の画像
303 結果画像
311 第1の解像度
312 第2の解像度
500 顕微鏡装置
511 照明装置
512 検出器
513 試料ホルダ
514 コンピュータユニット
515 メモリ
516 ユーザインタフェース
Claims (13)
- 顕微鏡装置(500)を使用して物体(100)を画像化する方法であって、
前記方法は、第1の解像度(311)を有する前記物体(100)の少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)を得ることを含み、
照明野(110−1、110−2、110−3)が、各場合において前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)に割り当てられ、前記照明野は、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)それぞれの画像捕捉中に前記物体を照明するとともに、所定のビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)に関連付けられ、
前記方法は、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれの画像評価のために、
それぞれ割り当てられた前記照明野(110−1、110−2、110−3)の前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)の効果を、画像空間において前記物体(100)の所定の近似値(301)に付加するステップであって、前記近似値(301)は、前記第1の解像度(311)よりも高い第2の解像度(312)を有する、ステップと、
前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれに基づいて、フーリエタイコグラフィ技法によってk空間において前記近似値(301)を適合させるステップと、
中間の画像(302)を得るために、前記照明野(110−1、110−2、110−3)それぞれの前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)の効果を、前記画像空間において、前記物体(100)の適合された前記近似値(301)から除去するステップとを含み、
前記方法は、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)に割り当てられる前記中間の画像(302)に基づいて結果画像(303)を求めることをさらに含む、
方法。 - 前記物体(100)の第1の画像(201−1〜201−3)の前記画像評価に使用される前記所定の近似値(301)は、前記物体(100)の第2の画像(201−1〜201−3)の前記画像評価によって得られる前記中間の画像(302)に対応する、
請求項1に記載の方法。 - 前記画像評価のためのステップは、前記中間の画像(302)に関連する所定の収束基準が満たされるまで、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)について繰り返される、
請求項2に記載の方法。 - 前記フーリエタイコグラフィ技法は、特定の領域における前記近似値(301)のピクセル値を、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)それぞれのピクセル値によって置換し、
前記特定の領域は、k空間における前記照明野(110−1、110−2、110−3)それぞれの系瞳に対応する、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の方法。 - 前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)は、空間に依存する前記照明野(110−1、110−2、110−3)の振幅(111−1)及び/又は位相、前記顕微鏡装置(500)の照明装置(511)の開口(111−2)の形状、前記物体(100)に対する照明方向(111−3)、非点収差、曲率、歪みからなる群から選択される、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の方法。 - 前記空間に依存する前記照明野(110−1、110−2、110−3)の振幅(111−1)は、ガウス関数によって記述され、及び/又は
前記空間に依存する前記照明野(110−1、110−2、110−3)の振幅(111−1)は、前記顕微鏡装置(500)の非ケーラー照明装置(511)によって、及び/又は、クリティカル照明を用いる前記顕微鏡装置(500)の前記照明装置(511)によって予め求められる、
請求項5に記載の方法。 - 前記開口の形状は、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)について前記顕微鏡装置(500)のズーム装置によって予め求められる、
請求項5又は6に記載の方法。 - 前記開口の形状は、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)の各場合に2つの前記系瞳が交互に重なるように、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)の照明方向(111−3)に応じて予め求められる、
請求項4及び7に記載の方法。 - 前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)のうちの少なくとも幾つか又は全ては、前記顕微鏡装置(500)の光軸(120)と有限の角度をなす同じ照明方向(111−3)に関連付けられる、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方法は、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)の前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)を求める校正シーケンスを行うことをさらに含む、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方法は、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれについて、
前記顕微鏡装置(500)の照明装置(511)を動作させることによって、前記照明野(110−1、110−2、110−3)のそれぞれにより前記物体(100)を照明すること、
前記顕微鏡装置(500)の検出器(512)を使用して、前記照明野(110−1、110−2、110−3)のそれぞれによる照明中に、前記物体(100)の前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれを捕捉すること
を含む、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の方法。 - 物体(100)を画像化するように構成されている顕微鏡装置(500)であって、
第1の解像度(311)を有する前記物体(100)の少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)を得るように構成されるコンピュータユニット(514)を備え、
照明野(110−1、110−2、110−3)が、各場合において前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)に割り当てられ、前記照明野は、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)それぞれの画像捕捉中に前記物体を照明するとともに、所定のビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)に関連付けられ、
前記コンピュータユニット(514)は、前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれの画像評価のために、
それぞれ割り当てられた前記照明野(110−1、110−2、110−3)の前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)の効果を、画像空間において前記物体(100)の所定の近似値(301)に付加するステップであって、前記近似値(301)は、前記第1の解像度(311)よりも高い第2の解像度(312)を有する、ステップと、
前記少なくとも2つの画像(201−1〜201−3)のそれぞれに基づいて、フーリエタイコグラフィ技法によって前記近似値(301)を適合させるステップと、
中間の画像(302)を得るために、前記照明野(110−1、110−2、110−3)それぞれの前記ビーム形状特性(111−1、111−2、111−3)の効果を、前記画像空間において、適合された前記物体(100)の前記近似値(301)から除去するステップと、を行うようにさらに構成されており、
前記コンピュータユニット(514)は、前記少なくとも2つの照明野(110−1、110−2、110−3)に割り当てられる前記中間の画像(302)に基づいて結果画像(303)を求めるようにさらに構成されている、
顕微鏡装置。 - 顕微鏡装置(500)であって、請求項2乃至11のいずれか一項に記載の方法を行うようにさらに構成される、
請求項12に記載の顕微鏡装置。
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