JP6371044B2 - 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、表面欠陥検査装置にかかる実施形態の概略を示す図である。この図は、専ら光源装置と評価対象物との関係を示している。この図に示すように、光源装置は、テーブルの中央から適宜離れた位置に支柱が設けられている。この支柱は、テーブルの中央を中心とする円の弧上に90度の角度ごとに4つ立設され、また、内側には、弧状のレール部が備えられている。このレール部は、テーブルの中央から支柱基部までを半径とする円弧状であり、前記支柱ごとに当該レール部に沿って摺動可能な光源が合計4個設けられている。各光源による光の照射方向は、テーブルの中央に向かっており、レール部が円弧状であることから、光源がどの位置に停止した状態でもその光の照射方向はテーブル中央に向かうようになっている。
(1)全ての光源の位置条件で光源シミュレーションを行い、検査結果データ群を作成する。
(2)4つの光源の角度の組み合わせを選出し、対象物表面上の反射シミュレーション結果から輝度行列を作成する。このとき、列方向に光源の角度条件、行方向に表面ポリゴンをとり、各要素には輝度値が入る。ただし、表面ポリゴンは計算の最小の面積単位である。
(3)輝度行列の列を降順に並び替え、評価行列から1番目と4番目の行を削除した新たな2行の評価行列を作成する。
(4)新たに作成された2行の評価行列を用いて表面領域の判定を行う。ただし、鏡面反射領域および影領域となった要素には0を入れる。
(5)評価行列の全ての要素の合計値を光源の組み合わせの評価値とする。このとき、評価行列の1行目に0がある場合は評価値を0とする。
(6)全ての光源の組み合わせの評価値を算出し、評価値が最も大きくなる光源位置の組み合わせを最終光源条件とする。
次に、表面欠陥検査方法の実施形態について説明する。図8は、検査方法の概略を示すフローである。この図に示されているように、まず、評価対象物は、ロボットハンドに支持されて、所定の位置(テーブルの中央)にセット(初期セット)されるとともに(対象物姿勢維持工程・S10)、評価対象物の姿勢を判定しつつ(S20)、まず、本基本姿勢にセットされる(S30)。このとき、評価対象物の形状に関する情報は、三次元図面データから表面データが作成されており、当該表面データに基づいてロボットハンドにより支持される評価対象物の姿勢が決定されている(姿勢決定工程)。
Claims (3)
- 立体的な評価対象物の表面欠陥を検査する装置であって、
任意の位置から所定の位置に向かって光を照射する複数の光源と、
個々の光源による評価対象物の表面画像を撮影する撮影手段と、
前記評価対象物を支持するとともに該評価対象物の姿勢を変化させる支持部と、
前記支持部により支持される前記評価対象物の姿勢を制御する対象物姿勢制御手段と、
前記光源による光の照射角度を制御する光源制御手段と、
前記撮影手段により撮影された表面画像を分析する画像分析手段とを備え、
前記光源制御手段は、評価対象物の下記式で表される表面反射モデルにより計算された表面反射に基づき、鏡面反射の領域が相互に重複せず、かつ欠陥の反射が少なくとも2つの光源の反射計算結果に存在するものとなる複数の表面画像を得られる光源位置が予め計算され、その計算結果に基づいて、所定の光源位置に複数の光源を配置するものであり、
前記画像分析手段は、複数の表面画像について、反射モデルによって鏡面反射を削除し、複素数離散ウエーブレット変換を施して、ノイズを除去した後、全ての画像を合成して合成画像を作成し、該合成画像をモルフォロジー処理により評価対象物の輪郭線および表面欠陥を鮮鋭化させた処理画像を作成し、リファレンス画像とのパターンマッチングにより欠陥を抽出するとともに、欠陥の大きさを計算し、該欠陥の大きさに対する閾値に基づき良および不良を判定するものであることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記対象物姿勢制御手段は、予め、評価対象物の三次元図形データから表面ポリゴンによる前記評価対象物の表面データが作成され、該表面データにより決定された基本姿勢および評価に必要な姿勢の情報に基づいて、該評価対象物を所定の姿勢に支持するものであることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 立体的な評価対象物の表面欠陥を検査するための方法であって、
評価対象物の表面データを作成し、基本姿勢および評価に必要な姿勢を決定する姿勢決定工程と、
評価対象物の下記式で表される表面反射モデルにより表面反射を計算する表面反射算出工程と、
評価対象物を前記姿勢決定工程により決定された所定の姿勢に維持する対象物姿勢維持工程と、
前記光源位置決定工程により決定した光源位置に光源を配置する光源配置工程と、
各光源による表面画像を撮影手段で撮影する表面画像取得工程と、
前記表面画像取得工程により得られた各光源による表面画像について、それぞれ鏡面反射を削除し、複素数離散ウエーブレット変換を施して、ノイズを除去した後、全ての画像を合成して合成画像を作成する合成画像作成工程と、
前記合成画像をモルフォロジー処理により評価対象物の輪郭線および表面欠陥を鮮鋭化させた処理画像を作成する処理画像作成工程と、
前記処理画像をレファレンス画像とパターンマッチングするマッチング工程と、
前記マッチング工程により得られた画像から欠陥の大きさを計算する欠陥寸法算出工程と、
前記欠陥寸法算出工程の結果を所定の閾値に基づいて良および不良を判定する判定工程とを含む
ことを特徴とする表面欠陥検査方法。
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