JP4379913B2 - 画質検査装置 - Google Patents
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Description
不良、良品のバラツキ等を視覚的に確認するためにステップS3で特徴量毎の相関グラフを作成する。シミの場合の相関グラフは、面積とコントラストの相関である。
(1)フラットパネルディスプレーの検査対象平面を撮影し、チューニングされる判定パラメータとして設定される判定値に基づいて前記平面上の欠陥を検査して検査対象毎に特徴量データファイルを生成する画質検査装置において、
前記特徴量データファイル及び前記判定値を入力して前記平面上の欠陥であるシミ欠陥の面積とコントラストの相関関係をグラフ出力するパラメータ設定支援手段を備えたことを特徴とする画質検査装置。
(6)前記パラメータ設定支援手段の出力は、表示又はファイルの少なくともいずれかであることを特徴とする(1)乃至(5)に記載の画質検査装置。
(1)パラメータ設定支援手段は、デバイス毎の特徴量情報を一覧で出力するので、特徴量データを逐一チェックする従来の煩雑な作業が解消される。
D1:面積 D1>=AreaMin1及びD1>= AreaMin1
D2:フィルタ画面コントラスト D2>=ContMin1及びD2>= ContMin2
である。ここで使用される判定値は、図4で示したAreaMin1及びContMin1の値2000及び20
である。
11 検査手段
11a 撮影手段
11b 判定処理手段
12 判定パラメータ設定手段
13 特徴量データファイル
14 表示手段
15 入力手段
2 ユーザ
100 パラメータ設定支援手段
101 ファイル
Claims (6)
- フラットパネルディスプレーの検査対象平面を撮影し、チューニングされる判定パラメータとして設定される判定値に基づいて前記平面上の欠陥を検査して検査対象毎に特徴量データファイルを生成する画質検査装置において、
前記特徴量データファイル及び前記判定値を入力して前記平面上の欠陥であるシミ欠陥の面積とコントラストの相関関係をグラフ出力するパラメータ設定支援手段を備えたことを特徴とする画質検査装置。 - 前記パラメータ設定支援手段は、前記グラフ上に表示されるカーソルにより前記判定値を設定することを特徴とする請求項1に記載の画質検査装置。
- 前記パラメータ設定支援手段は、特徴量データの説明及び判定値との関係を出力することを特徴とする請求項1に記載の画質検査装置。
- 前記パラメータ設定支援手段は、検査対象毎に特徴量に対する判定結果一覧を出力することを特徴とする請求項1に記載の画質検査装置。
- 前記判定値情報の編集が判定値一覧出力に反映されることを特徴とする請求項4に記載の画質検査装置。
- 前記パラメータ設定支援手段の出力は、表示又はファイルの少なくともいずれかであることを特徴とする請求項1乃至5に記載の画質検査装置。
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