JP6365051B2

JP6365051B2 - Direct drive motor, transfer device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device

Info

Publication number: JP6365051B2
Application number: JP2014147320A
Authority: JP
Inventors: 裕介太田; 逸男渡辺; 和則小泉; 正幸丸山
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2014-07-18
Filing date: 2014-07-18
Publication date: 2018-08-01
Anticipated expiration: 2034-07-18
Also published as: JP2016025709A

Description

本発明は、ダイレクトドライブモータ、このダイレクトドライブモータの製造方法、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に関する。 The present invention relates to a direct drive motor, a method for manufacturing the direct drive motor, a conveying apparatus, an inspection apparatus, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus.

ダイレクトドライブモータは、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。ダイレクトドライブモータは、動力を発生するモータ部と、モータ部の回転を検出するレゾルバ（回転検出器）と、モータ部及びレゾルバを保持するハウジングと、を備えている。モータ部は、コイル及びそのコイルを支持するステータコアを含むステータと、永久磁石を含むロータとを有する。コイルは、リード線と接続される。リード線は、コネクタを介して、電力供給部と接続される。 The direct drive motor directly transmits generated power to an object without using a speed reduction mechanism. The direct drive motor includes a motor unit that generates power, a resolver (rotation detector) that detects rotation of the motor unit, and a housing that holds the motor unit and the resolver. The motor unit includes a stator including a coil and a stator core that supports the coil, and a rotor including a permanent magnet. The coil is connected to the lead wire. The lead wire is connected to the power supply unit via the connector.

コイルを含むステータと、永久磁石を含むロータとを有するモールドモータの一例が特許文献１に開示されている。 An example of a molded motor having a stator including a coil and a rotor including a permanent magnet is disclosed in Patent Document 1.

特開２０１１−１０９８６１号公報JP 2011-109861 A

例えば、搬送装置等に用いられるダイレクトドライブモータでは、高い外部荷重に耐える強度を維持しながら、軸方向の高さの低減が望まれている。軸方向の高さを低減しつつ、高い外部荷重に耐える強度を得るためには、金属製のハウジングが用いられることが多い。このような金属製のハウジングを用いた場合、金属製のハウジングとステータのコイルとの間の絶縁性能を確保するために一定以上の空間距離・沿面距離が必要であり、そのための空間をハウジング内部に確保するためにステータコアの厚みを薄くしてしまうと、ダイレクトドライブモータの出力性能が低下する可能性がある。 For example, in a direct drive motor used for a conveyance device or the like, it is desired to reduce the height in the axial direction while maintaining the strength to withstand a high external load. In order to obtain a strength that can withstand a high external load while reducing the axial height, a metal housing is often used. When such a metal housing is used, a certain distance or creepage distance is required to ensure the insulation performance between the metal housing and the stator coil. If the thickness of the stator core is reduced in order to secure the output, the output performance of the direct drive motor may be reduced.

性能が低下したダイレクトドライブモータが、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に使用された場合、それら搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置の性能が低下する可能性がある。 When a direct drive motor with reduced performance is used in a transfer device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device, the performance of the transfer device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device may be reduced. is there.

本発明の態様は、性能の向上を図ることができるダイレクトドライブモータ、このダイレクトドライブモータの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明の態様は、性能の向上を図ることができる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置を提供することを目的とする。 An object of an aspect of the present invention is to provide a direct drive motor capable of improving performance and a method of manufacturing the direct drive motor. Another object of the present invention is to provide a transport apparatus, an inspection apparatus, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus that can improve performance.

本発明の第１の態様は、静止輪及び回転輪を有する軸受で構成される軸受部と、複数のティースに巻線が巻回されたステータコアを有し、前記静止輪を支持するステータと、前記回転輪に支持され、前記ステータに対して回転可能に設けられたロータと、前記ロータの回転を検出する回転検出器と、前記回転検出器と前記軸受部と前記ステータ及び前記ロータで構成されるモータ部とを前記ロータの回転軸に対して径方向に並べて保持すると共に、前記ステータの径方向一端部を保持し、該ステータの軸方向端部の一方面に対向しつつ径方向他端部側に延びて形成された金属製のハウジングと、電気的絶縁性を有し、少なくとも前記ステータの軸方向端部の一方面と前記ハウジングとの間に設けられたカバーと、を備えるダイレクトドライブモータを提供する。 A first aspect of the present invention includes a bearing portion including a bearing having a stationary wheel and a rotating wheel, a stator core having a winding wound around a plurality of teeth, and a stator that supports the stationary wheel, The rotor is supported by the rotating wheel and is provided to be rotatable with respect to the stator, a rotation detector that detects rotation of the rotor, the rotation detector, the bearing portion, the stator, and the rotor. And the other end in the radial direction while holding one end of the stator in the radial direction and facing one surface of the end in the axial direction of the stator. A direct drive comprising: a metal housing formed to extend toward the portion side; and a cover having electrical insulation and provided between at least one surface of the axial end portion of the stator and the housing To provide over data.

本発明の第１の態様によれば、実質的にハウジングとステータとの間に空間を設ける必要がなくなり、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さに対して、ステータコアの軸方向幅を大きくすることができる。したがって、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さを大きくすることなく、絶縁性能及び出力性能を含むダイレクトドライブモータの性能の向上を図ることが可能となる。 According to the first aspect of the present invention, there is substantially no need to provide a space between the housing and the stator, and the axial width of the stator core is increased with respect to the axial height of the direct drive motor. Can do. Therefore, it is possible to improve the performance of the direct drive motor including the insulation performance and the output performance without increasing the axial height of the direct drive motor.

本発明の第２の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記ティースの軸方向最小幅は、前記軸受部の軸方向最大幅よりも大きくてもよい。 According to a second aspect of the present invention, in the direct drive motor according to the first aspect, the minimum axial width of the teeth may be larger than the maximum axial width of the bearing portion.

本発明の第２の態様によれば、ダイレクトドライブモータの性能の向上を図ることが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, it is possible to improve the performance of the direct drive motor.

本発明の第３の態様は、第２の態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記軸受部の軸方向最大幅部が軸方向に占める位置は、前記ティースの軸方向最小幅部が軸方向に占める位置の範囲内であってもよい。 According to a third aspect of the present invention, in the direct drive motor according to the second aspect, the position occupied by the axial maximum width portion of the bearing portion in the axial direction is the position occupied by the axial minimum width portion of the teeth in the axial direction. It may be within the range.

これにより、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さが抑制される。 Thereby, the axial height of the direct drive motor is suppressed.

本発明の第４の態様は、第２または第３の態様のダイレクトドライブモータにおいて、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さに対し、前記ティースの軸方向最小幅部が２５％以上５０％以下の範囲で規定されていてもよい。 According to a fourth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to the second or third aspect, the axial minimum width portion of the teeth is 25% or more and 50% or less with respect to the axial height of the direct drive motor. It may be defined by a range.

これにより、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さに応じて出力性能を規定することができる。 Thereby, the output performance can be defined according to the axial height of the direct drive motor.

本発明の第５の態様は、第１から第４の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記ステータの内側に前記ロータを有するインナーロータ型のダイレクトドライブモータであって、前記ハウジングは、前記ステータを前記ステータコアの径方向外縁部で保持すると共に、前記軸受を前記静止輪の径方向内縁部で保持する円環状のステータハウジングと、前記ロータが径方向外縁部に形成され、前記軸受を前記回転輪の径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジングと、を含んでもよい。 According to a fifth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to fourth aspects, the inner rotor type direct drive motor has the rotor inside the stator, and the housing includes the housing An annular stator housing that holds the stator at the radially outer edge of the stator core and holds the bearing at the radially inner edge of the stationary ring, and the rotor is formed at the radially outer edge, and the bearing is And an annular rotor housing that is held by a radially outer edge of the rotating wheel.

これにより、回転子の回転軸から径方向に向けて、回転検出器、軸受、モータ部を並べて配置することができ、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さを低減することができる。 As a result, the rotation detector, the bearing, and the motor unit can be arranged side by side in the radial direction from the rotating shaft of the rotor, and the height in the axial direction of the direct drive motor can be reduced.

本発明の第６の態様は、第１から第５の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記カバーは、前記ステータの軸方向端部の他方面にさらに設けられていてもよい。 According to a sixth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to fifth aspects, the cover may be further provided on the other surface of the axial end portion of the stator.

これにより、ハウジング内部への異物の侵入を防ぐと共に、金属製の保護用カバーを用いる場合と比べて、ステータコアの軸方向幅を大きくすることができ、ダイレクトドライブモータの軸方向の高さを低減しつつ、性能の向上を図ることができる。 This prevents foreign matter from entering the inside of the housing and increases the axial width of the stator core and reduces the axial height of the direct drive motor compared to using a metal protective cover. However, the performance can be improved.

本発明の第７の態様は、第１から第６の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記カバーは、樹脂製のカバーであってもよい。 According to a seventh aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to sixth aspects, the cover may be a resin cover.

これにより、巻線の絶縁性能を確保することができる。 Thereby, the insulation performance of a coil | winding is securable.

本発明の第８の態様は、第１から第７の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記カバーと前記巻線との間に放熱グリスが充填されていてもよい。 According to an eighth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to seventh aspects, heat radiation grease may be filled between the cover and the winding.

これにより、コイルが発する熱の放熱性を向上することができ、ダイレクトドライブモータの定格トルクを大きくすることができる。 Thereby, the heat dissipation of the heat | fever which a coil emits can be improved, and the rated torque of a direct drive motor can be enlarged.

本発明の第９の態様は、第１から第８の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、複数の前記ティースは、それぞれ前記巻線がボビンに巻回されたコイルを支持しており、前記カバーは、複数の前記ティースに設けられた各前記ボビンの少なくとも径方向一方端に嵌合され保持されていてもよい。 According to a ninth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to eighth aspects, each of the plurality of teeth supports a coil in which the winding is wound around a bobbin. The cover may be fitted and held on at least one radial end of each bobbin provided on the plurality of teeth.

これにより、カバーを確実にステータに嵌合させることができる。 Thereby, a cover can be reliably fitted to a stator.

本発明の第１０の態様は、第１から第９の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記軸受は、クロスローラ軸受であってもよい。 According to a tenth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to ninth aspects, the bearing may be a cross roller bearing.

これにより、いずれの方向に対する荷重にも強く、大きな荷重に耐え得る高い剛性を保つことができる。 Thereby, it is strong to the load with respect to any direction, and can maintain the high rigidity which can endure a big load.

本発明の第１１の態様は、第１から第１０の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記軸受部は、複数個の前記軸受が軸方向に複数段重ねられて構成されていてもよい。 According to an eleventh aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to tenth aspects, the bearing portion may be configured by a plurality of the bearings stacked in a plurality of stages in the axial direction. .

これにより、多段構成の軸受を構成する各段の軸受にかかる荷重を小さくすることができ、軸受の長寿命化、延いては、ダイレクトドライブモータの長寿命化を図ることができる。 As a result, the load applied to the bearings of each stage constituting the multi-stage bearing can be reduced, and the life of the bearing can be extended, and further, the life of the direct drive motor can be extended.

本発明の第１２の態様は、第１から第１１の何れかの態様のダイレクトドライブモータにおいて、前記ステータコアは、円環状の部材と、該円環状の部材から径方向に突出した前記複数のティースとが一体的に形成されて構成されていてもよい。 According to a twelfth aspect of the present invention, in the direct drive motor according to any one of the first to eleventh aspects, the stator core includes an annular member and the plurality of teeth protruding in a radial direction from the annular member. And may be formed integrally.

これにより、コイルが所定位置から逸脱することを防ぐことができる。 Thereby, it can prevent that a coil deviates from a predetermined position.

本発明の第１３の態様は、静止輪及び回転輪を有する軸受で構成される軸受部と、円環状のステータコアに設けられた複数のティースに巻線が巻回されたステータと、前記ステータの内側に配置され、前記軸受部を介して前記ステータに対し回転可能に設けられた円環状のロータと、前記ステータを前記ステータコアの径方向外縁部で保持すると共に、前記軸受を静止輪の径方向内縁部で保持する円環状のステータハウジングと、前記ロータが径方向外縁部に形成され、前記軸受を回転輪の径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジングと、前記ステータハウジングに面する前記ステータの軸方向端部の一方面に設けられた絶縁用カバーと、前記絶縁用カバーが設けられた前記ステータの軸方向端部の他方面に設けられた保護用カバーと、を備えたインナーロータ型のダイレクトドライブモータの製造方法であって、前記ステータハウジング上に前記絶縁用カバーを配置する工程と、前記ステータハウジング上で位置決めした前記絶縁用カバー上に前記ステータを配置して、前記絶縁用カバーと前記ステータとを嵌合させる工程と、前記ステータハウジングと前記ステータとを固定する工程と、前記ステータハウジングに固定された前記ステータ上に前記保護用カバーを配置して、前記保護用カバーと前記ステータとを嵌合させる工程と、前記保護用カバーの径方向外側端部を前記ステータコアと共に前記ステータハウジングに固定する工程と、を有するダイレクトドライブモータの製造方法を提供する。 According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a bearing portion including a bearing having a stationary ring and a rotating ring, a stator in which a winding is wound around a plurality of teeth provided in an annular stator core, An annular rotor disposed inside and rotatably provided to the stator via the bearing portion, and holding the stator at a radially outer edge portion of the stator core, and the bearing in the radial direction of the stationary ring An annular stator housing that is held by an inner edge, an annular rotor housing in which the rotor is formed at a radially outer edge, and the bearing is held by a radially outer edge of a rotating wheel, and the stator housing that faces the stator housing An insulating cover provided on one surface of the axial end portion of the stator, and a protective cover provided on the other surface of the axial end portion of the stator provided with the insulating cover; An inner rotor type direct drive motor comprising: a step of disposing the insulating cover on the stator housing; and disposing the stator on the insulating cover positioned on the stator housing. A step of fitting the insulating cover and the stator, a step of fixing the stator housing and the stator, and disposing the protective cover on the stator fixed to the stator housing, There is provided a method for manufacturing a direct drive motor, comprising: a step of fitting the protective cover and the stator; and a step of fixing a radially outer end of the protective cover to the stator housing together with the stator core.

本発明の第１３の態様によれば、保護用カバー、絶縁用カバー、及びステータのステータハウジングへの組み付けを作業性良く実施することができる。 According to the thirteenth aspect of the present invention, the protective cover, the insulating cover, and the stator can be assembled to the stator housing with good workability.

本発明の第１４の態様は、第１から第１２の何れかの態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、を備える搬送装置を提供する。 A fourteenth aspect of the present invention provides a transport apparatus comprising the direct drive motor according to any one of the first to twelfth aspects and a transport unit that transports an object by the operation of the direct drive motor.

本発明の第１４の態様によれば、搬送装置の性能の向上を図ることができる。 According to the fourteenth aspect of the present invention, the performance of the transport device can be improved.

本発明の第１５の態様は、第１から第１２の何れかの態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、を備える検査装置を提供する。 A fifteenth aspect of the present invention provides an inspection apparatus comprising the direct drive motor according to any one of the first to twelfth aspects and an inspection unit that inspects an object moving by the operation of the direct drive motor.

本発明の第１５の態様によれば、検査装置の性能の向上を図ることができる。 According to the fifteenth aspect of the present invention, the performance of the inspection apparatus can be improved.

本発明の第１６の態様は、第１から第１２の何れかの態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、を備える工作機械を提供する。 A sixteenth aspect of the present invention provides a machine tool comprising the direct drive motor according to any one of the first to twelfth aspects, and a processing unit that processes an object that moves by the operation of the direct drive motor.

本発明の第１６の態様によれば、工作機械の性能の向上を図ることができる。 According to the sixteenth aspect of the present invention, the performance of the machine tool can be improved.

本発明の第１７の態様は、第１から第１２の何れかの態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、を備える半導体製造装置を提供する。 According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor manufacturing apparatus comprising: the direct drive motor according to any one of the first to twelfth aspects; and a processing unit that processes an object that moves by the operation of the direct drive motor. .

本発明の第１７の態様によれば、半導体製造装置の性能の向上を図ることができる。 According to the seventeenth aspect of the present invention, the performance of the semiconductor manufacturing apparatus can be improved.

本発明の態様によれば、性能の向上を図ることができるダイレクトドライブモータ、このダイレクトドライブモータの製造方法が提供される。また、本発明の態様によれば、性能の向上を図ることができる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置が提供される。 According to the aspects of the present invention, a direct drive motor capable of improving performance and a method of manufacturing the direct drive motor are provided. Moreover, according to the aspect of this invention, the conveyance apparatus, inspection apparatus, machine tool, and semiconductor manufacturing apparatus which can aim at the improvement of performance are provided.

図１は、ダイレクトドライブモータの全体構成の一例を概略的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of the overall configuration of a direct drive motor. 図２は、図１に示すダイレクトドライブモータにおけるステータを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a stator in the direct drive motor shown in FIG. 図３は、図２に示すステータのＢ−Ｂ矢視図である。3 is a BB arrow view of the stator shown in FIG. 図４は、ステータを構成するステータコアの内周コアを示す図である。FIG. 4 is a view showing an inner peripheral core of a stator core constituting the stator. 図５は、ステータを構成するステータコアの外周コアを示す図である。FIG. 5 is a view showing an outer peripheral core of a stator core constituting the stator. 図６は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータの全体構成の一例を概略的に示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing an example of the overall configuration of the direct drive motor according to the present embodiment. 図７は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える検査装置の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an inspection apparatus including the direct drive motor according to the present embodiment. 図８は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える工作機械の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a machine tool including the direct drive motor according to the present embodiment. 図９は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える半導体製造装置の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a semiconductor manufacturing apparatus including the direct drive motor according to the present embodiment.

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。 Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. The components of each embodiment described below can be combined as appropriate. Some components may not be used.

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する前に、まず、ダイレクトドライブモータの構成について説明する。図１は、ダイレクトドライブモータ１の全体構成の一例を概略的に示す断面図である。図２は、図１に示すダイレクトドライブモータ１におけるステータ２１を示す図である。図３は、図２に示すステータ２１のＢ−Ｂ矢視図である。図４は、ステータ２１を構成するステータコア２５の内周コア２５１を示す図である。図５は、ステータ２１を構成するステータコア２５の外周コア２５２を示す図である。 <First Embodiment>
Before describing the first embodiment, first, the configuration of the direct drive motor will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of the overall configuration of the direct drive motor 1. FIG. 2 is a diagram showing the stator 21 in the direct drive motor 1 shown in FIG. 3 is a BB arrow view of the stator 21 shown in FIG. FIG. 4 is a view showing the inner peripheral core 251 of the stator core 25 that constitutes the stator 21. FIG. 5 is a view showing the outer peripheral core 252 of the stator core 25 that constitutes the stator 21.

ダイレクトドライブモータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。ダイレクトドライブモータ１は、例えば、搬送装置のアームを駆動する駆動源として使用されるサーボモータを含む。また、その他にも、ダイレクトドライブモータ１は、例えば、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置等にも用いられることを想定されている。 The direct drive motor 1 directly transmits generated power to an object without using a speed reduction mechanism. The direct drive motor 1 includes, for example, a servo motor that is used as a drive source that drives an arm of a transport device. In addition, the direct drive motor 1 is assumed to be used in, for example, an inspection apparatus, a machine tool, a semiconductor manufacturing apparatus, and the like.

図１に示すように、ダイレクトドライブモータ１は、対象物を回転させるための動力を発生するモータ部２と、モータ部２の回転を検出する回転検出器３と、モータ部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、モータ部２と接続されるリード線１０と、ハウジング４に設けられ、リード線１０を引き出すコネクタ３０とを備えている。なお、図示はしていないが、コネクタ３０から引き出されたリード線１０は、ダイレクドライブモータ１を制御する制御装置に接続される。 As shown in FIG. 1, a direct drive motor 1 includes a motor unit 2 that generates power for rotating an object, a rotation detector 3 that detects rotation of the motor unit 2, a motor unit 2, and a rotation detector. 3, a lead wire 10 connected to the motor unit 2, and a connector 30 provided in the housing 4 and pulling out the lead wire 10. Although not shown, the lead wire 10 drawn from the connector 30 is connected to a control device that controls the direct drive motor 1.

モータ部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。 The motor unit 2 includes a stator 21 and a rotor 22 that can rotate with respect to the stator 21. The rotor 22 rotates about the rotation axis AX.

ダイレクトドライブモータ１は、インナーロータ型である。ステータ２１は、ロータ２２の周囲に配置される。回転軸ＡＸに対して、ステータ２１は、ロータ２２の外側に配置される。 The direct drive motor 1 is an inner rotor type. The stator 21 is disposed around the rotor 22. The stator 21 is disposed outside the rotor 22 with respect to the rotation axis AX.

図１〜図５に示すように、ステータ２１は、複数のティース２３及び複数のティース２３を連結するヨーク２４を含む内周コア２５１及び外周コア２５２からなるステータコア２５と、ステータコア２５に支持されるコイル２６とを有する。ティース２３は、回転軸ＡＸの周囲に複数配置される。コイル２６は、複数設けられる。コイル２６は、複数のティース２３のそれぞれに支持される。各ティース２３間には、それぞれスロット２７が形成される。 As shown in FIGS. 1 to 5, the stator 21 is supported by the stator core 25, which includes a plurality of teeth 23 and an inner peripheral core 251 including an outer periphery core 252 including a yoke 24 that connects the plurality of teeth 23, and the stator core 25. And a coil 26. A plurality of teeth 23 are arranged around the rotation axis AX. A plurality of coils 26 are provided. The coil 26 is supported by each of the plurality of teeth 23. Slots 27 are formed between the teeth 23, respectively.

内周コア２５１は、回転軸ＡＸの周囲に配置される複数のティース２３と、複数のティース２３を連結するヨーク２４とを有する。複数のティース２３は、ヨーク２４から回転軸ＡＸに対する放射方向に関して外側に向かって突出するように配置される。ティース２３は、回転軸ＡＸの周囲において等間隔で複数配置される。隣り合うティース２３の間にスロット２７が設けられる。 The inner peripheral core 251 includes a plurality of teeth 23 arranged around the rotation axis AX and a yoke 24 that connects the plurality of teeth 23. The plurality of teeth 23 are arranged so as to protrude outward from the yoke 24 in the radial direction with respect to the rotation axis AX. A plurality of teeth 23 are arranged at equal intervals around the rotation axis AX. A slot 27 is provided between adjacent teeth 23.

外周コア２５２は、内周コア２５１の外径よりも大きい内径を有する環状の部材である。内周コア２５１と外周コア２５２とは固定される。 The outer peripheral core 252 is an annular member having an inner diameter larger than the outer diameter of the inner peripheral core 251. The inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252 are fixed.

コイル２６は、集中巻された巻線１４を含む。巻線１４が集中巻されたコイル２６がティース２３に支持される。１つのティース２３に１つのコイル２６が配置される。ここで、集中巻とは、１つのティース２３に巻線を多回数巻いたもの、すなわち、１つのティース２３に１相分の巻線を巻き付けるものをいう。 The coil 26 includes a winding 14 that is concentratedly wound. A coil 26 around which the winding 14 is concentrated is supported by the teeth 23. One coil 26 is disposed on one tooth 23. Here, the concentrated winding refers to winding a winding around one tooth 23 many times, that is, winding one winding around one tooth 23.

図１に示す例では、コイル２６は、巻線１４がボビン２８に巻かれて形成される。１つのボビン２８に１つのコイル２６が配置される。ボビン２８がティース２３に支持される。すなわち、コイル２６は、巻線１４がボビン２８に集中巻された状態で、ティース２３に支持される。 In the example shown in FIG. 1, the coil 26 is formed by winding the winding 14 around a bobbin 28. One coil 26 is disposed on one bobbin 28. The bobbin 28 is supported by the teeth 23. That is, the coil 26 is supported by the teeth 23 in a state where the winding 14 is concentratedly wound around the bobbin 28.

巻線１４がボビン２８に集中巻されて形成された複数のコイル２６は、それぞれ内周コア２５１の各ティース２３に挿入される。複数のコイル２６がそれぞれ各ティース２３に支持された後、内周コア２５１と外周コア２５２とが接続される。これにより、コイル２６は、内周コア２５１と外周コア２５２との間に配置される。 A plurality of coils 26 formed by winding the winding 14 around the bobbin 28 are inserted into the teeth 23 of the inner peripheral core 251. After the plurality of coils 26 are respectively supported by the teeth 23, the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252 are connected. As a result, the coil 26 is disposed between the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252.

なお、図３から図５に示す例では、内周コア２５１にティース２３が設けられることとしたが、外周コア２５２にティース２３が設けられていてもよい。 In the example shown in FIGS. 3 to 5, the teeth 23 are provided on the inner core 251, but the teeth 23 may be provided on the outer core 252.

図１に示すように、ロータ２２は、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置された永久磁石１３を含む。ロータ２２は、後述する第２支持部材１２に複数個の永久磁石１３が組み付けられて構成される。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。 As shown in FIG. 1, the rotor 22 includes a plurality of permanent magnets 13 arranged at equal intervals around the rotation axis AX. The rotor 22 is configured by assembling a plurality of permanent magnets 13 to a second support member 12 described later. The stator 21 and the rotor 22 are opposed to each other through a gap.

また、図１に示すように、ダイレクトドライブモータ１は、回転検出器３を有する。回転検出器３は、モータ部２の回転を検出する。回転検出器３は、アブソリュート方式のレゾルバを含み、モータ部２のロータ２２の回転を検出する。回転検出器３は、ロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。なお、回転検出器３は、アブソリュート方式のレゾルバのみならず、インクリメンタル方式のレゾルバを含んでもよい。 Further, as shown in FIG. 1, the direct drive motor 1 has a rotation detector 3. The rotation detector 3 detects the rotation of the motor unit 2. The rotation detector 3 includes an absolute type resolver and detects the rotation of the rotor 22 of the motor unit 2. The rotation detector 3 detects at least one of the rotation speed, the rotation direction, and the rotation angle of the rotor 22. The rotation detector 3 may include not only an absolute resolver but also an incremental resolver.

ハウジング４は、モータ部２及び回転検出器３を保持する。本実施形態において、ハウジング４は、ステータハウジング４Ａ及びロータハウジング４Ｂを含む。ステータハウジング４Ａは、第１ハウジング４１及び第１支持部材１１を含む。ロータハウジング４Ｂは、第２ハウジング４２及び第２支持部材１２を含む。第１ハウジング４１は、環状の部材である。第１支持部材１１は、環状の部材である。第２ハウジング４２は、環状の部材である。第２支持部材１２は、環状の部材である。本実施形態において、第１ハウジング４１、第１支持部材１１、第２ハウジング４２、及び第２支持部材１２は、それぞれ、円筒状の部材である。第１ハウジング４１と第１支持部材１１とが、例えばボルト等で接続されてステータハウジング４Ａを構成する。第２ハウジング４２と第２支持部材１２とが、例えばボルト等で接続されてロータハウジング４Ｂを構成する。ステータハウジング４Ａの中心軸と、ロータハウジング４Ｂの中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。 The housing 4 holds the motor unit 2 and the rotation detector 3. In the present embodiment, the housing 4 includes a stator housing 4A and a rotor housing 4B. The stator housing 4 </ b> A includes a first housing 41 and a first support member 11. The rotor housing 4B includes a second housing 42 and a second support member 12. The first housing 41 is an annular member. The first support member 11 is an annular member. The second housing 42 is an annular member. The second support member 12 is an annular member. In the present embodiment, the first housing 41, the first support member 11, the second housing 42, and the second support member 12 are each cylindrical members. The first housing 41 and the first support member 11 are connected by, for example, a bolt or the like to constitute the stator housing 4A. The second housing 42 and the second support member 12 are connected by, for example, a bolt or the like to constitute the rotor housing 4B. The center axis of the stator housing 4A, the center axis of the rotor housing 4B, and the rotation axis AX coincide with each other.

ステータ２１は、ステータハウジング４Ａを構成する第１ハウジング４１と接続される。ロータ２２は、上述したように、ロータハウジング４Ｂを構成する第２支持部材１２に複数個の永久磁石１３が組み付けられて構成される。 The stator 21 is connected to a first housing 41 constituting the stator housing 4A. As described above, the rotor 22 is configured by assembling a plurality of permanent magnets 13 on the second support member 12 constituting the rotor housing 4B.

ステータハウジング４Ａとロータハウジング４Ｂとの間に軸受５が配置される。軸受５は、静止輪５Ａと、回転輪５Ｂと、静止輪５Ａと回転輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。静止輪５Ａは、第１ハウジング４１と第１支持部材１１とで回転軸ＡＸと平行な方向（以下、軸方向ともいう）に挟持され、ステータハウジング４Ａに接続される。回転輪５Ｂは、第２ハウジング４２と第２支持部材１２とで軸方向に挟持され、ロータハウジング４Ｂに接続される。軸受５により、ロータハウジング４Ｂは、ステータハウジング４Ａに対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。なお、本実施形態では、軸受５は、転動体５Ｃとして円筒形のクロスローラを用いたクロスローラ軸受である。クロスローラ軸受は、クロスローラと静止輪５Ａ及び回転輪５Ｂとが線接触するため、大きな荷重に耐え得るという利点がある。また、隣り合うクロスローラで回転軸が互いに９０°傾斜しているため、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。 A bearing 5 is disposed between the stator housing 4A and the rotor housing 4B. The bearing 5 includes a stationary wheel 5A, a rotating wheel 5B, and a rolling element 5C disposed between the stationary wheel 5A and the rotating wheel 5B. The stationary wheel 5A is sandwiched between the first housing 41 and the first support member 11 in a direction parallel to the rotation axis AX (hereinafter also referred to as an axial direction), and is connected to the stator housing 4A. The rotating wheel 5B is sandwiched in the axial direction between the second housing 42 and the second support member 12, and is connected to the rotor housing 4B. The rotor housing 4B is supported by the bearing 5 so as to be rotatable about the rotation axis AX with respect to the stator housing 4A. In the present embodiment, the bearing 5 is a cross roller bearing using a cylindrical cross roller as the rolling element 5C. The cross roller bearing has an advantage that it can withstand a large load because the cross roller and the stationary wheel 5A and the rotating wheel 5B are in line contact. In addition, since the rotation axes of the adjacent cross rollers are inclined by 90 °, they are resistant to loads in any direction and can maintain high rigidity.

図１に示すダイレクトドライブモータ１では、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３は、回転軸ＡＸに対する放射方向（以下、径方向ともいう）に並び配置される。具体的には、回転軸ＡＸに近い方から、回転検出器３、軸受５、モータ部２、の順に並び配置される。この場合、回転検出器３は、第２ハウジング４２と第１支持部材１１との間に配置され、軸受５は、第１支持部材１１と第２支持部材１２との間に配置され、モータ部２は、ステータ２１の径方向外側に位置するステータコア２５の外周コア２５２が第１ハウジング４１に接続され、ロータ２２を構成する永久磁石１３が第２支持部材１２に接続される。このような構成とすることで、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３を径方向に並べて配置することができ、ダイレクトドライブモータ１の軸方向の寸法、つまり、軸方向の高さの増大が抑制される。 In the direct drive motor 1 shown in FIG. 1, the motor unit 2, the bearing 5, and the rotation detector 3 are arranged side by side in a radial direction (hereinafter also referred to as a radial direction) with respect to the rotation axis AX. Specifically, the rotation detector 3, the bearing 5, and the motor unit 2 are arranged in this order from the side closer to the rotation axis AX. In this case, the rotation detector 3 is disposed between the second housing 42 and the first support member 11, and the bearing 5 is disposed between the first support member 11 and the second support member 12, and the motor unit. 2, the outer peripheral core 252 of the stator core 25 located on the radially outer side of the stator 21 is connected to the first housing 41, and the permanent magnet 13 constituting the rotor 22 is connected to the second support member 12. With such a configuration, the motor unit 2, the bearing 5, and the rotation detector 3 can be arranged side by side in the radial direction, and the dimension of the direct drive motor 1 in the axial direction, that is, the height in the axial direction can be determined. Increase is suppressed.

また、図１に示すダイレクトドライブモータ１は、ステータ２１の軸方向一端部（上端部）及び回転検出器３の軸方向他端部（下端部）からの異物の侵入を防ぐために、第１保護用カバー部材６と第２保護用カバー部材８とを設けている。 In addition, the direct drive motor 1 shown in FIG. 1 has a first protection in order to prevent foreign matter from entering from one axial end portion (upper end portion) of the stator 21 and the other axial end portion (lower end portion) of the rotation detector 3. Cover member 6 and second protective cover member 8 are provided.

上記したように構成されたダイレクトドライブモータ１は、ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、ステータハウジング４Ａに対してロータハウジング４Ｂが回転軸ＡＸを中心に回転する。 In the direct drive motor 1 configured as described above, when the rotor 22 rotates with respect to the stator 21, the rotor housing 4B rotates about the rotation axis AX with respect to the stator housing 4A.

ロータハウジング４Ｂにワーク（不図示）が接続される。モータ部２の作動によりロータハウジング４Ｂが回転すると、ロータハウジング４Ｂとともにワークが回転する。ロータハウジング４Ｂは、モータ部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。 A work (not shown) is connected to the rotor housing 4B. When the rotor housing 4B is rotated by the operation of the motor unit 2, the workpiece is rotated together with the rotor housing 4B. The rotor housing 4B functions as an output shaft that rotates about the rotation axis AX by the operation of the motor unit 2.

ところで、上記したダイレクトドライブモータ１は、上述したように、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置等にも用いられることを想定したものであり、高い外部荷重を受けることが考えられる。このため、ハウジング４、第１保護用カバー部材６、第２保護用カバー部材８を金属製の構造部材としている。従って、ステータ２１の軸方向両端部には、ハウジング４（第１ハウジング４１）と巻線１４との間、及び、第１保護用カバー部材６と巻線１４との間の絶縁性能を確保するために一定以上の空間距離・沿面距離を保つ必要があり、ステータ２１の軸方向両端部に空間Ｃ１，Ｃ２を設けている。このため、巻線１４が巻回されるティース２３の軸方向幅Ｄが制限され、延いては、ダイレクトドライブモータ１の出力性能が制限されることとなる。 By the way, as described above, the direct drive motor 1 is assumed to be used for a transfer device, an inspection device, a machine tool, a semiconductor manufacturing device, and the like, and is considered to receive a high external load. . For this reason, the housing 4, the first protective cover member 6, and the second protective cover member 8 are metal structural members. Therefore, insulation performance between the housing 4 (first housing 41) and the winding 14 and between the first protective cover member 6 and the winding 14 is ensured at both axial ends of the stator 21. For this reason, it is necessary to maintain a certain distance or creepage distance, and spaces C1 and C2 are provided at both axial ends of the stator 21. For this reason, the axial width D of the teeth 23 around which the winding 14 is wound is limited, and as a result, the output performance of the direct drive motor 1 is limited.

つぎに、本実施形態に係るダイレクトドライブモータについて説明する。図６は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１ａの全体構成の一例を概略的に示す断面図である。なお、図１に示す構成と同一または同等の構成部には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、ステータ２１の構成は、図１に示したダイレクトドライブモータ１と同一であるので、本実施形態のステータ２１についても、図２から図５を用いて説明する。 Next, the direct drive motor according to the present embodiment will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing an example of the overall configuration of the direct drive motor 1a according to the present embodiment. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure part same or equivalent to the structure shown in FIG. 1, and the detailed description is abbreviate | omitted. Moreover, since the structure of the stator 21 is the same as that of the direct drive motor 1 shown in FIG. 1, the stator 21 of this embodiment will also be described with reference to FIGS.

本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１ａは、金属製の第１保護用カバー部材６に代えて、電気的絶縁性を有する、例えば樹脂製の第１保護用カバー部材６ａを具備している。第１保護用カバー部材６ａは、環状の部材である。第１保護用カバー部材６ａは、径方向内側端部がボビン２８の径方向内側端部に嵌め込まれ、径方向外側端部がステータコア２５と共に第１ハウジング４１に例えばボルト等で接続される。これにより、実質的にステータ２１の軸方向上端部に空間（図１に示すダイレクトドライブモータ１における空間Ｃ１）を設ける必要がなくなり、図１に示すダイレクトドライブモータ１よりも、ティース２３の軸方向幅Ｄ’を大きくすることができる。 The direct drive motor 1a according to the present embodiment includes a first protective cover member 6a made of resin, for example, having electrical insulation, instead of the first protective cover member 6 made of metal. The first protective cover member 6a is an annular member. The first protective cover member 6 a has a radially inner end fitted into a radially inner end of the bobbin 28, and a radially outer end connected to the first housing 41 together with the stator core 25 with, for example, a bolt. Thereby, it is not necessary to provide a space (space C1 in the direct drive motor 1 shown in FIG. 1) substantially at the axial upper end of the stator 21, and the axial direction of the teeth 23 is more than that of the direct drive motor 1 shown in FIG. The width D ′ can be increased.

また、ステータ２１の軸方向下端部には、電気的絶縁性を有する、例えば樹脂製の絶縁用カバー部材７を具備している。絶縁用カバー部材７は、環状の部材である。絶縁用カバー部材７は、径方向両端部がボビン２８の両端に嵌め込まれる。これにより、実質的にステータ２１の軸方向下端部に空間（図１に示すダイレクトドライブモータ１における空間Ｃ２）を設ける必要がなくなり、図１に示すダイレクトドライブモータ１よりも、ティース２３の軸方向幅Ｄ’をさらに大きくすることができる。 In addition, an insulating cover member 7 made of, for example, resin is provided at the lower end in the axial direction of the stator 21. The insulating cover member 7 is an annular member. The insulating cover member 7 is fitted into both ends of the bobbin 28 at both ends in the radial direction. Thereby, it is not necessary to provide a space (a space C2 in the direct drive motor 1 shown in FIG. 1) substantially at the lower end portion in the axial direction of the stator 21, and the axial direction of the teeth 23 is greater than that of the direct drive motor 1 shown in FIG. The width D ′ can be further increased.

なお、図６に示す例では、絶縁用カバー部材７にリード線１０を引き出すためのリード線引出口７ａを設けている。 In the example shown in FIG. 6, a lead wire outlet 7 a for drawing out the lead wire 10 is provided in the insulating cover member 7.

図６に示す例では、第１保護用カバー部材６ａ及び絶縁用カバー部材７を具備したことにより、図１に示す例（ティース２３の軸方向幅Ｄ）と比較して、ティース２３の軸方向幅Ｄ’を４０％程度大きくできた例を示している。この図６に示すように、本実施形態では、ティース２３の軸方向最小幅（ここでは、軸方向幅Ｄ’）は、軸受５の軸方向最大幅よりも大きい。 In the example shown in FIG. 6, the first protective cover member 6 a and the insulating cover member 7 are provided, so that the axial direction of the tooth 23 is larger than that of the example shown in FIG. 1 (the axial width D of the tooth 23). In this example, the width D ′ can be increased by about 40%. As shown in FIG. 6, in the present embodiment, the axial minimum width (here, the axial width D ′) of the tooth 23 is larger than the axial maximum width of the bearing 5.

これにより、図６に示す本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１ａでは、図１に示すダイレクトドライブモータ１に対し、約４０％のトルクアップを図ることができる。 Thereby, in the direct drive motor 1a according to the present embodiment shown in FIG. 6, the torque can be increased by about 40% compared to the direct drive motor 1 shown in FIG.

また、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さに対するティース２３の軸方向最小幅部を、例えば２５％以上５０％以下の範囲で規定するようにしてもよい。このようにすれば、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さに応じて出力性能を規定することができる。 Moreover, you may make it prescribe | regulate the axial direction minimum width part of the teeth 23 with respect to the axial direction height of the direct drive motor 1a, for example in 25% or more and 50% or less. In this way, output performance can be defined according to the axial height of the direct drive motor 1a.

さらに、巻線１４と第１保護用カバー部材６ａあるいは絶縁用カバー部材７との間に、放熱グリスを充填することで、コイル２６が発する熱の放熱性を向上することができ、ダイレクトドライブモータ１ａの定格トルクを大きくすることができる。 Further, by filling the space between the winding 14 and the first protective cover member 6a or the insulating cover member 7 with heat dissipation grease, the heat dissipation of the heat generated by the coil 26 can be improved, and the direct drive motor The rated torque of 1a can be increased.

また、本実施形態では、図４に示すように、円環状のヨーク２４と、そのヨーク２４から径方向外側に突出したティース２３とが一体的に形成された内周コア２５１を具備した、所謂一体型の構造を有している。ティースの径方向内側に円環状のヨークを持たない構成では、コイルが所定位置から回転軸ＡＸ側に逸脱する可能性があるが、本実施形態において説明した、所謂一体型の構造を有するステータコア２５を用いた場合、回転軸ＡＸに向かう方向にコイル２６が逸脱することを防ぐことができる。なお、上述したように、外周コア２５２にティース２３が設けられていてもよい。 Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, a so-called inner core 251 is integrally provided with an annular yoke 24 and teeth 23 projecting radially outward from the yoke 24. It has an integral structure. In the configuration without the annular yoke on the radially inner side of the teeth, the coil may deviate from the predetermined position toward the rotation axis AX. However, the stator core 25 having the so-called integral structure described in the present embodiment. Is used, it is possible to prevent the coil 26 from deviating in the direction toward the rotation axis AX. As described above, the teeth 23 may be provided on the outer core 252.

また、本実施形態では、ティース２３の軸方向最小幅（ここでは、軸方向幅Ｄ’）を、軸受５の軸方向最大幅よりも大きくしており、さらに、軸受５の軸方向最大幅部の軸方向に占める位置を、ティース２３の軸方向最小幅部（ここでは、ティース２３の軸方向幅Ｄ’は一定）が軸方向に占める位置の範囲内に収めている。このため、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さを抑制することができる。 In the present embodiment, the axial minimum width (here, the axial width D ′) of the tooth 23 is larger than the axial maximum width of the bearing 5, and the axial maximum width portion of the bearing 5 is further increased. The position occupied in the axial direction is within the range of the position occupied by the axial minimum width portion of the tooth 23 (here, the axial width D ′ of the tooth 23 is constant). For this reason, the axial height of the direct drive motor 1a can be suppressed.

さらに、図６に示す例では、軸受５を軸方向に１段設けた例を示したが、軸受５を軸方向に複数段重ねて構成した軸受部であってもよい。このようにすることで、各段の軸受５にかかる荷重を小さくすることができ、軸受５の長寿命化、延いては、ダイレクトドライブモータ１ａの長寿命化を図ることができる。 Further, in the example shown in FIG. 6, an example in which the bearing 5 is provided in one stage in the axial direction is shown, but a bearing portion in which the bearings 5 are stacked in a plurality of stages in the axial direction may be used. By doing in this way, the load concerning the bearing 5 of each stage can be made small, and the lifetime of the bearing 5 can be extended and the lifetime of the direct drive motor 1a can be extended.

つぎに、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１の製造方法について、図６を参照して説明する。ここでは、本実施形態に係る第１保護用カバー部材６ａ、絶縁用カバー部材７、及びステータ２１を第１ハウジング４１に組み付ける手順について説明する。なお、ステータ２１は予め組み立てられているものとする。 Next, a manufacturing method of the direct drive motor 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. Here, a procedure for assembling the first protective cover member 6a, the insulating cover member 7, and the stator 21 according to the present embodiment to the first housing 41 will be described. In addition, the stator 21 shall be assembled previously.

まず、第１ハウジング４１上に絶縁用カバー部材７を配置する。第１ハウジング４１と絶縁用カバー部材７との周方向位置は、第１ハウジング４１のコネクタ３０の位置と絶縁用カバー部材７に設けられたリード線引出口７ａの位置とで決まる。 First, the insulating cover member 7 is disposed on the first housing 41. The circumferential position of the first housing 41 and the insulating cover member 7 is determined by the position of the connector 30 of the first housing 41 and the position of the lead wire outlet 7 a provided in the insulating cover member 7.

次に、第１ハウジング４１上で位置決めした絶縁用カバー部材７上にステータ２１を配置し、絶縁用カバー部材７とステータ２１とを嵌合させる。具体的には、コイル２６から延びるリード線１０を絶縁用カバー部材７に設けられたリード線引出口７ａから引き出し、さらに、コネクタ３０からリード線１０を引き出して、巻線１４が巻回されたボビン２８の径方向両端部に絶縁用カバー部材７の径方向両端部を軸方向に合わせて嵌合させる。この状態で、第１ハウジング４１とステータ２１とを例えばボルト等で固定する。 Next, the stator 21 is disposed on the insulating cover member 7 positioned on the first housing 41, and the insulating cover member 7 and the stator 21 are fitted. Specifically, the lead wire 10 extending from the coil 26 is drawn out from the lead wire outlet 7a provided in the insulating cover member 7, and the lead wire 10 is drawn out from the connector 30, and the winding 14 is wound. The both ends of the insulating cover member 7 in the radial direction of the bobbin 28 are fitted in the axial direction. In this state, the first housing 41 and the stator 21 are fixed with, for example, bolts.

次に、第１ハウジング４１に固定されたステータ２１上に第１保護用カバー部材６ａを配置し、第１保護用カバー部材６ａとステータ２１とを嵌合させる。具体的には、巻線１４が巻回されたボビン２８の径方向内側端部に第１保護用カバー部材６ａの径方向内側端部を軸方向に合わせて嵌合させる。この状態で、第１保護用カバー部材６ａの径方向外側端部をステータコア２５と共に第１ハウジング４１に例えばボルト等で固定する。 Next, the first protective cover member 6 a is disposed on the stator 21 fixed to the first housing 41, and the first protective cover member 6 a and the stator 21 are fitted. Specifically, the radially inner end portion of the first protective cover member 6a is fitted in the axial direction to the radially inner end portion of the bobbin 28 around which the winding 14 is wound. In this state, the radially outer end of the first protective cover member 6a is fixed to the first housing 41 together with the stator core 25 with, for example, bolts.

上述した手順で第１保護用カバー部材６ａ、絶縁用カバー部材７、及びステータ２１を第１ハウジング４１に組み付けるようにすれば、図１に示すダイレクトドライブモータ１の組み立て手順に大きな変更を加えることなく、作業性良く実施することができる。 If the first protective cover member 6a, the insulating cover member 7 and the stator 21 are assembled to the first housing 41 in the above-described procedure, the assembly procedure of the direct drive motor 1 shown in FIG. And can be carried out with good workability.

以上説明したように、本実施形態によれば、ステータ２１の径方向一端部を保持し、そのステータ２１の軸方向端部の一方面に対向しつつ、ステータ２１の径方向他端部側に延びて形成された金属製のハウジング４とステータ２１の軸方向端部の一方面との間に、電気的絶縁性を有する絶縁用カバー部材７を設けることで、実質的にハウジング４とステータ２１との間に空間を設ける必要がなくなり、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さに対して、ティース２３の軸方向幅Ｄ’を大きくすることができる。したがって、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さを大きくすることなく、絶縁性能及び出力性能を含むダイレクトドライブモータ１ａの性能の向上を図ることができる。 As described above, according to the present embodiment, one end of the stator 21 in the radial direction is held and opposed to one surface of the axial end of the stator 21 while facing the other end in the radial direction of the stator 21. By providing an insulating cover member 7 having electrical insulation between the extended metal housing 4 and one surface of the axial end of the stator 21, the housing 4 and the stator 21 are substantially provided. It is no longer necessary to provide a space between and the axial width D ′ of the teeth 23 with respect to the axial height of the direct drive motor 1a. Therefore, it is possible to improve the performance of the direct drive motor 1a including the insulation performance and the output performance without increasing the height of the direct drive motor 1a in the axial direction.

また、本実施形態によれば、ティース２３の軸方向最小幅を軸受５の軸方向最大幅よりも大きくすることで、ダイレクトドライブモータ１ａの出力トルクを増加させることができ、ダイレクトドライブモータ１ａの出力性能の向上を図ることが可能となる。 In addition, according to the present embodiment, the output torque of the direct drive motor 1a can be increased by making the axial minimum width of the teeth 23 larger than the axial maximum width of the bearing 5, and the direct drive motor 1a The output performance can be improved.

また、本実施形態によれば、軸受５の軸方向最大幅部が軸方向に占める位置を、ティース２３の軸方向最小幅部（図６に示す例では、ティース２３の軸方向幅Ｄ’は一定）が軸方向に占める位置の範囲内とすることにより、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さを抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, the position where the axial maximum width portion of the bearing 5 occupies the axial direction is the axial minimum width portion of the tooth 23 (in the example shown in FIG. 6, the axial width D ′ of the tooth 23 is By setting it within the range of the position occupied in the axial direction, the height of the direct drive motor 1a in the axial direction can be suppressed.

また、本実施形態によれば、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さに対するティース２３の軸方向最小幅部を２５％以上５０％以下の範囲で規定することにより、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さに応じて出力性能を規定することができる。 Moreover, according to this embodiment, the axial direction minimum direction part of the teeth 23 with respect to the axial direction height of the direct drive motor 1a is prescribed | regulated in the range of 25% or more and 50% or less, The axial direction of the direct drive motor 1a The output performance can be defined according to the height of.

また、本実施形態によれば、ステータ２１の内側にロータ２２を有し、ハウジング４は、ステータ２１をステータコア２５の径方向外縁部で保持し、軸受５を静止輪５Ａの径方向内縁部で保持すると共に、回転検出器３が径方向内縁部に設けられた円環状のステータハウジング４Ａと、ロータ２２が径方向外縁部に形成され、軸受５を回転輪５Ｂの径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジング４Ｂと、を含む。 In addition, according to the present embodiment, the rotor 22 is provided inside the stator 21, and the housing 4 holds the stator 21 at the radial outer edge portion of the stator core 25, and the bearing 5 at the radial inner edge portion of the stationary ring 5A. While holding, the rotation detector 3 is formed in the annular stator housing 4A provided at the radially inner edge and the rotor 22 is formed at the radially outer edge, and the bearing 5 is held by the radially outer edge of the rotating wheel 5B. And an annular rotor housing 4B.

これにより、回転軸ＡＸから径方向に向けて、回転検出器３、軸受５、モータ部２を並べて配置することができ、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さを低減することができる。 Thereby, the rotation detector 3, the bearing 5, and the motor unit 2 can be arranged side by side in the radial direction from the rotation axis AX, and the axial height of the direct drive motor 1a can be reduced.

また、本実施形態によれば、絶縁用カバー部材７に加え、ステータ２１の軸方向上端部に電気的絶縁性を有する第１保護用カバー部材６ａをさらに設けることで、ハウジング４内部への異物の侵入を防ぐと共に、金属製の第１保護用カバー部材６を用いる場合と比べて、ティース２３の軸方向幅Ｄ’を大きくすることができ、ダイレクトドライブモータ１ａの軸方向の高さを低減しつつ、性能の向上を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, in addition to the insulating cover member 7, the first protective cover member 6 a having electrical insulation is further provided at the axial upper end portion of the stator 21, thereby allowing foreign matter to enter the housing 4. And the axial width D ′ of the teeth 23 can be increased, and the height of the direct drive motor 1a in the axial direction is reduced as compared with the case where the first metal protective cover member 6 is used. However, the performance can be improved.

図１に示すダイレクトドライブモータ１は、高い外部荷重を受けることが想定されるため、ハウジング４、第１保護用カバー部材６、第２保護用カバー部材８を金属製の構造部材としている。従って、ステータ２１の軸方向両端部には、ハウジング４（第１ハウジング４１）と巻線１４との間、及び、第１保護用カバー部材６と巻線１４との間の絶縁性能を確保するために一定以上の空間距離・沿面距離を保つ必要があり、ステータ２１の軸方向両端部に空間Ｃ１，Ｃ２を設けている。このため、ティース２３の軸方向幅Ｄが制限され、延いては、ダイレクトドライブモータ１の出力性能が制限されることとなる。 Since the direct drive motor 1 shown in FIG. 1 is assumed to receive a high external load, the housing 4, the first protective cover member 6, and the second protective cover member 8 are metal structural members. Therefore, insulation performance between the housing 4 (first housing 41) and the winding 14 and between the first protective cover member 6 and the winding 14 is ensured at both axial ends of the stator 21. For this reason, it is necessary to maintain a certain distance or creepage distance, and spaces C1 and C2 are provided at both axial ends of the stator 21. For this reason, the axial width D of the teeth 23 is limited, and as a result, the output performance of the direct drive motor 1 is limited.

本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１ａは、図１に示すダイレクトドライブモータ１における金属製の第１保護用カバー部材６に代えて、電気的絶縁性を有する第１保護用カバー部材６ａを具備している。これにより、実質的にステータ２１の軸方向上端部に空間（図１に示す空間Ｃ１）を設ける必要がなくなり、図１に示すダイレクトドライブモータ１よりも、ティース２３の軸方向幅Ｄ’を大きくすることができる。 The direct drive motor 1a according to the present embodiment includes a first protective cover member 6a having electrical insulation instead of the metal first protective cover member 6 in the direct drive motor 1 shown in FIG. ing. Accordingly, it is not necessary to provide a space (space C1 shown in FIG. 1) substantially at the axial upper end of the stator 21, and the axial width D ′ of the tooth 23 is larger than that of the direct drive motor 1 shown in FIG. can do.

また、ステータ２１の軸方向下端部には、電気的絶縁性を有する絶縁用カバー部材７を具備している。これにより、実質的にステータ２１の軸方向下端部に空間（図１に示す空間Ｃ２）を設ける必要がなくなり、図１に示すダイレクトドライブモータ１よりも、ティース２３の軸方向幅Ｄ’をさらに大きくすることができる。 In addition, an insulating cover member 7 having electrical insulation is provided at the lower end in the axial direction of the stator 21. This eliminates the need to substantially provide a space (space C2 shown in FIG. 1) at the lower end in the axial direction of the stator 21, and further increases the axial width D ′ of the tooth 23 as compared with the direct drive motor 1 shown in FIG. Can be bigger.

これにより、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１ａでは、軸方向の高さを大きくすることなく、図１に示すダイレクトドライブモータ１に対してトルクアップを図ることができ、軸方向の高さを低減しつつ、性能の向上を図ることができる。 Thereby, in the direct drive motor 1a according to the present embodiment, torque can be increased with respect to the direct drive motor 1 shown in FIG. 1 without increasing the axial height, and the axial height can be increased. The performance can be improved while reducing.

また、本実施形態によれば、第１保護用カバー部材６ａ及び絶縁用カバー部材７を含むカバーは、樹脂製のカバーである。これにより、巻線１４の絶縁性能を確保することができる。 According to the present embodiment, the cover including the first protective cover member 6a and the insulating cover member 7 is a resin cover. Thereby, the insulation performance of the coil | winding 14 is securable.

また、本実施形態によれば、第１保護用カバー部材６ａ及び絶縁用カバー部材７を含むカバーと巻線１４との間に放熱グリスが充填されている。これにより、コイル２６が発する熱の放熱性を向上することができ、ダイレクトドライブモータ１ａの定格トルクを大きくすることができる。 Further, according to the present embodiment, the heat radiation grease is filled between the cover including the first protective cover member 6 a and the insulating cover member 7 and the winding 14. Thereby, the heat dissipation of the heat | fever which the coil 26 emits can be improved, and the rated torque of the direct drive motor 1a can be enlarged.

また、本実施形態によれば、複数のティース２３は、それぞれ巻線１４がボビン２８に巻回されたコイル２６を支持しており、第１保護用カバー部材６ａ及び絶縁用カバー部材７を含むカバーは、複数のティース２３に設けられた各ボビン２８の少なくとも径方向一方端に嵌合され保持されている。これにより、第１保護用カバー部材６ａ及び絶縁用カバー部材７を含むカバーを確実にステータ２１に嵌合させることができる。 Further, according to the present embodiment, each of the plurality of teeth 23 supports the coil 26 in which the winding 14 is wound around the bobbin 28, and includes the first protective cover member 6 a and the insulating cover member 7. The cover is fitted and held on at least one radial end of each bobbin 28 provided on the plurality of teeth 23. Accordingly, the cover including the first protective cover member 6a and the insulating cover member 7 can be reliably fitted to the stator 21.

また、本実施形態によれば、軸受５は、転動体５Ｃとして円筒形のクロスローラを用いたクロスローラ軸受である。クロスローラ軸受は、クロスローラと静止輪５Ａ及び回転輪５Ｂとが線接触するため、大きな荷重に耐え得るという利点がある。また、隣り合うクロスローラで回転軸が互いに９０°傾斜しているため、いずれの方向に対する荷重にも強く、高い剛性を保つことができる。 According to the present embodiment, the bearing 5 is a cross roller bearing using a cylindrical cross roller as the rolling element 5C. The cross roller bearing has an advantage that it can withstand a large load because the cross roller and the stationary wheel 5A and the rotating wheel 5B are in line contact. In addition, since the rotation axes of the adjacent cross rollers are inclined by 90 °, they are resistant to loads in any direction and can maintain high rigidity.

また、本実施形態によれば、軸受５を軸方向に複数段重ねて構成した軸受部とすることで、各段の軸受５にかかる荷重を小さくすることができ、軸受５の長寿命化、延いては、ダイレクトドライブモータ１ａの長寿命化を図ることができる。 In addition, according to the present embodiment, by using a bearing portion in which the bearing 5 is configured by overlapping a plurality of stages in the axial direction, the load applied to the bearing 5 at each stage can be reduced, and the life of the bearing 5 can be increased. As a result, the life of the direct drive motor 1a can be extended.

また、本実施形態によれば、ステータコア２５は、円環状のヨーク２４及び外周コア２５２と、円環状のヨーク２４あるいは外周コア２５２から径方向に突出した複数のティース２３とが一体的に形成されて構成されている。 Further, according to the present embodiment, the stator core 25 is integrally formed with the annular yoke 24 and the outer peripheral core 252 and the plurality of teeth 23 protruding in the radial direction from the annular yoke 24 or the outer peripheral core 252. Configured.

円環状のヨーク２４及び外周コア２５２を持たない構成では、コイル２６が所定位置から逸脱する可能性があるが、円環状のヨーク２４あるいは外周コア２５２から径方向に突出した複数のティース２３とが一体的に形成された、所謂一体型の構造を有するステータコア２５を用いた場合、コイル２６が所定位置から逸脱することを防ぐことができる。 In the configuration without the annular yoke 24 and the outer core 252, the coil 26 may deviate from the predetermined position, but there are a plurality of teeth 23 protruding radially from the annular yoke 24 or the outer core 252. When the stator core 25 having a so-called integral structure formed integrally is used, the coil 26 can be prevented from deviating from a predetermined position.

また、本実施形態によれば、静止輪５Ａ及び回転輪５Ｂを有する軸受５と、円環状のステータコア２５に設けられた複数のティース２３に巻線１４が巻回されたステータ２１と、ステータ２１の内側に配置され、軸受５を介してステータ２１に対し回転可能に設けられた円環状のロータ２２と、ステータ２１をステータコア２５の径方向外縁部で保持すると共に、軸受５を静止輪５Ａの径方向内縁部で保持する円環状のステータハウジング４Ａと、ロータ２２が径方向外縁部に形成され、軸受５を回転輪５Ｂの径方向外縁部で保持する円環状のロータハウジング４Ｂと、ステータハウジング４Ａに面するステータ２１の軸方向端部の一方面に設けられた電気的絶縁性を有する絶縁用カバー部材７と、ステータ２１の軸方向端部の他方面に設けられた電気的絶縁性を有する第１保護用カバー部材６ａと、を備えたインナーロータ型のダイレクトドライブモータ１ａの製造方法であって、ステータハウジング４Ａ上に絶縁用カバー部材７を配置する工程と、ステータハウジング４Ａ上で位置決めした絶縁用カバー部材７上にステータ２１を配置して、絶縁用カバー部材７とステータ２１とを嵌合させる工程と、ステータハウジング４Ａとステータ２１とを固定する工程と、ステータハウジング４Ａに固定されたステータ２１上に第１保護用カバー部材６ａを配置して、第１保護用カバー部材６ａとステータ２１とを嵌合させる工程と、第１保護用カバー部材６ａの径方向外側端部をステータコア２５と共にステータハウジング４Ａに固定する工程と、を有する。これにより、図１に示すダイレクトドライブモータ１の組み立て手順に大きな変更を加えることなく、作業性良く実施することができる。 Further, according to the present embodiment, the bearing 5 having the stationary wheel 5A and the rotating wheel 5B, the stator 21 in which the winding 14 is wound around the plurality of teeth 23 provided on the annular stator core 25, and the stator 21 The annular rotor 22 that is disposed on the inner side of the stator and rotatably provided to the stator 21 via the bearing 5 is held, and the stator 21 is held by the radially outer edge portion of the stator core 25, and the bearing 5 is fixed to the stationary ring 5A. An annular stator housing 4A held at the radially inner edge, an annular rotor housing 4B having a rotor 22 formed at the radially outer edge and holding the bearing 5 at the radially outer edge of the rotating wheel 5B, and the stator housing An insulating cover member 7 having electrical insulation provided on one surface of the axial end portion of the stator 21 facing 4A, and provided on the other surface of the axial end portion of the stator 21. A first protective cover member 6a having electrical insulation, and a method of manufacturing an inner rotor type direct drive motor 1a, the step of disposing the insulating cover member 7 on the stator housing 4A; A step of disposing the stator 21 on the insulating cover member 7 positioned on the stator housing 4A and fitting the insulating cover member 7 and the stator 21 together; and a step of fixing the stator housing 4A and the stator 21; A step of disposing the first protective cover member 6a on the stator 21 fixed to the stator housing 4A and fitting the first protective cover member 6a and the stator 21; and the first protective cover member 6a Fixing the radially outer end to the stator housing 4A together with the stator core 25. Thereby, it can implement with sufficient workability, without adding a big change to the assembly procedure of the direct drive motor 1 shown in FIG.

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 Second Embodiment
A second embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図７は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１ａを備える検査装置３００の一例を示す図である。検査装置３００は、検査対象の物体Ｗ１を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ１を検査する検査部３０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１ａと、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により物体Ｗ１を搬送する搬送部２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１ａは、検査装置３００のベース部材３０２に接続される。 FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an inspection apparatus 300 including the direct drive motor 1a described in the above embodiment. The inspection apparatus 300 includes a transport apparatus 200 that conveys an object W1 to be inspected, and an inspection unit 301 that inspects the object W1. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1a and a transport unit 201 that transports the object W1 by the operation of the direct drive motor 1a. The direct drive motor 1a is connected to the base member 302 of the inspection apparatus 300.

搬送部２０１は、ダイレクトドライブモータ１ａのロータ２２と接続されたテーブルを含む。テーブル２０２は、検査対象の物体Ｗ１を支持する。テーブル２０２は、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により回転する。テーブル２０２が回転することにより、そのテーブル２０２に支持されている物体Ｗ１は移動する。 The conveyance unit 201 includes a table connected to the rotor 22 of the direct drive motor 1a. The table 202 supports the object W1 to be inspected. The table 202 is rotated by the operation of the direct drive motor 1a. As the table 202 rotates, the object W1 supported by the table 202 moves.

検査部３０１は、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により移動する物体Ｗ１を検査する。本実施形態において、検査部３０１は、テーブル２０２に支持された物体Ｗ１の画像を取得するカメラを含む。カメラ３０２で撮影された物体Ｗ１の画像に基づいて、物体Ｗ１の検査が実施される。 The inspection unit 301 inspects the moving object W1 by the operation of the direct drive motor 1a. In the present embodiment, the inspection unit 301 includes a camera that acquires an image of the object W1 supported by the table 202. Based on the image of the object W1 captured by the camera 302, the inspection of the object W1 is performed.

搬送装置２００は、カメラ３０２の視野領域に物体Ｗ１を移動する。カメラ３０２は、搬送装置２００により視野領域に配置された物体Ｗ１の画像を取得する。 The transport apparatus 200 moves the object W1 to the field of view of the camera 302. The camera 302 acquires an image of the object W1 arranged in the visual field area by the transport device 200.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ１をカメラ３０２の視野領域に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、検査装置３００の検査精度を向上させることができる。また、検査装置３００の性能の向上を実現することができる。 According to the present embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W1 to the visual field region of the camera 302 with high positioning accuracy. Therefore, the inspection accuracy of the inspection apparatus 300 can be improved. In addition, the performance of the inspection apparatus 300 can be improved.

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 <Third Embodiment>
A third embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図８は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１ａを備える工作機械４００の一例を示す図である。工作機械４００は、加工対象の物体Ｗ２を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ２を加工する加工部４０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１ａと、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により物体Ｗ２を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１ａは、工作機械４００のベース部材４０２に接続される。 FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a machine tool 400 including the direct drive motor 1a described in the above embodiment. The machine tool 400 includes a transport device 200 that transports an object W2 to be processed, and a processing unit 401 that processes the object W2. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1a and a transport unit (table) 201 that transports the object W2 by the operation of the direct drive motor 1a. The direct drive motor 1 a is connected to the base member 402 of the machine tool 400.

テーブル２０２は、ダイレクトドライブモータ１ａのロータ２２と接続される。物体Ｗ２は、テーブル２０２に支持される。テーブル２０２は、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により回転する。テーブル２０２が回転することにより、そのテーブル２０２に支持されている物体Ｗ２は移動する。 The table 202 is connected to the rotor 22 of the direct drive motor 1a. The object W2 is supported by the table 202. The table 202 is rotated by the operation of the direct drive motor 1a. As the table 202 rotates, the object W2 supported by the table 202 moves.

加工部４０１は、ダイレクトドライブモータ１ａの作動により移動する物体Ｗ２を加工する。本実施形態において、加工部４０１は、テーブル２０２に支持された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載するロボットアームを含む。 The processing unit 401 processes the moving object W2 by the operation of the direct drive motor 1a. In the present embodiment, the processing unit 401 includes a robot arm that mounts the component B on the object W2 supported by the table 202.

搬送装置２００は、ロボットアーム４０２の可動範囲に物体Ｗ２を移動する。ロボットアーム４０２は、搬送装置２００により可動範囲に配置された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載する。 The transport apparatus 200 moves the object W <b> 2 to the movable range of the robot arm 402. The robot arm 402 mounts the component B on the object W2 arranged in the movable range by the transport device 200.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ２をロボットアーム４０２の可動範囲に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、工作機械４００の加工精度を向上させることができる。また、工作機械４００の性能の向上を実現することができる。 According to this embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W <b> 2 to the movable range of the robot arm 402 with high positioning accuracy. Therefore, the processing accuracy of the machine tool 400 can be improved. In addition, the performance of the machine tool 400 can be improved.

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 <Fourth embodiment>
A fourth embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図９は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１ａを備える半導体製造装置５００の一例を示す図である。半導体製造装置５００は、処理対象の物体Ｗ３を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ３を処理する処理部５０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１ａと、物体Ｗ３を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１ａは、半導体製造装置５００のベース部材５０２に接続される。 FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a semiconductor manufacturing apparatus 500 including the direct drive motor 1a described in the above embodiment. The semiconductor manufacturing apparatus 500 includes a transport apparatus 200 that transports an object W3 to be processed, and a processing unit 501 that processes the object W3. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1a and a transport unit (table) 201 that transports the object W3. The direct drive motor 1 a is connected to the base member 502 of the semiconductor manufacturing apparatus 500.

半導体製造装置５００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置である。半導体製造装置５００は、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための物体である。 The semiconductor manufacturing apparatus 500 is a semiconductor device manufacturing apparatus capable of manufacturing semiconductor devices. The semiconductor manufacturing apparatus 500 is used in at least a part of a semiconductor device manufacturing process. The object W3 is an object for manufacturing a semiconductor device.

本実施形態において、物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｗ３から半導体デバイスが製造される。物体Ｗ３は、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｗ３にデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。 In the present embodiment, the object W3 is a substrate for manufacturing a semiconductor device. A semiconductor device is manufactured from the object W3. The object W3 may include a semiconductor wafer or a glass plate. A semiconductor device is manufactured by forming a device pattern (wiring pattern) on the object W3.

半導体製造装置５００は、搬送装置２００により処理位置に配置された物体Ｗ３に対して、処理部５０１を用いて、デバイスパターンを形成するための処理を行う。 The semiconductor manufacturing apparatus 500 performs a process for forming a device pattern on the object W <b> 3 arranged at the processing position by the transport apparatus 200 using the processing unit 501.

例えば、半導体製造装置５００が、投影光学系を介してデバイスパターンの像を物体Ｗ３に投影する露光装置を含む場合、処理部５０１は、投影光学系を含み、処理位置は、投影光学系５０２から射出される露光光の照射位置を含む。 For example, when the semiconductor manufacturing apparatus 500 includes an exposure apparatus that projects an image of a device pattern onto the object W3 via the projection optical system, the processing unit 501 includes the projection optical system, and the processing position is from the projection optical system 502. It includes the irradiation position of the emitted exposure light.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ３を処理部５０１の処理位置に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、半導体製造装置５００の処理精度を向上させることができる。また、半導体製造装置５００の性能の向上を実現することができる。 According to the present embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W3 to the processing position of the processing unit 501 with high positioning accuracy. Therefore, the processing accuracy of the semiconductor manufacturing apparatus 500 can be improved. In addition, the performance of the semiconductor manufacturing apparatus 500 can be improved.

なお、上述の各実施形態においては、ダイレクトドライブモータ１ａがインナーロータ型であることとした。ダイレクトドライブモータ１ａは、アウターロータ型でもよい。 In each of the above-described embodiments, the direct drive motor 1a is an inner rotor type. The direct drive motor 1a may be an outer rotor type.

１，１ａダイレクトドライブモータ
２モータ部
３回転検出器
４ハウジング
５軸受
５Ａ静止輪
５Ｂ回転輪
５Ｃ転動体
６第１保護用カバー部材（金属製）
６ａ第１保護用カバー部材（樹脂製）
７絶縁用カバー部材（樹脂製）
７ａリード線引出口
８第２保護用カバー部材（金属製）
１０リード線
１１第１支持部材
１２第２支持部材
１３永久磁石
１４巻線
２１ステータ
２２ロータ
２３ティース
２４ヨーク
２５ステータコア
２６コイル
２７スロット
２８ボビン
３０コネクタ
４１第１ハウジング
４２第２ハウジング
２００搬送装置
２０１搬送部
２０２テーブル
２５１内周コア
２５２外周コア
３００検査装置
３０１検査部
３０２カメラ
４００工作機械
４０１加工部
４０２ロボットアーム
５００半導体製造装置
５０１処理部
５０２投影光学系
ＡＸ回転軸
Ｃ１，Ｃ２空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1a Direct drive motor 2 Motor part 3 Rotation detector 4 Housing 5 Bearing 5A Stationary wheel 5B Rotating wheel 5C Rolling element 6 1st protection cover member (made of metal)
6a First protective cover member (made of resin)
7 Insulation cover member (made of resin)
7a Lead wire outlet 8 Second protective cover member (made of metal)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lead wire 11 1st support member 12 2nd support member 13 Permanent magnet 14 Winding 21 Stator 22 Rotor 23 Teeth 24 Yoke 25 Stator core 26 Coil 27 Slot 28 Bobbin 30 Connector 41 1st housing 42 2nd housing 200 Conveyance device 201 Conveyance Unit 202 Table 251 Inner core 252 Outer core 300 Inspection device 301 Inspection unit 302 Camera 400 Machine tool 401 Processing unit 402 Robot arm 500 Semiconductor manufacturing device 501 Processing unit 502 Projection optical system AX Rotating axis C1, C2 Space

Claims

A bearing portion composed of a bearing having a stationary ring and a rotating ring;
A stator core having a plurality of teeth and a bobbin supported by the teeth and wound with a winding;
A stator that supports the stationary ring;
A rotor having a plurality of permanent magnets , supported by the rotating wheel , and provided rotatably with respect to the stator;
A rotation detector for detecting rotation of the rotor;
The rotation detector, the bearing, the permanent magnet of the rotor, and the stator are arranged in order in the same plane orthogonal to the axial direction and radially outward with respect to the rotational axis of the rotor. A metal housing that holds the annular stator and the annular bearing portion on one side of the member at a radial interval ; and
A first cover member made of a resin having electrical insulation, which is an annular member;
A second cover member made of a resin having electrical insulation, which is an annular member;
Equipped with a,
The first cover member is fixed in a state of being fitted into one of the bobbins in the axial direction,
The second cover member is fixed in a state of being fitted into the other axial direction of the bobbin, and is provided between the bobbin and the housing,
Between the winding and the first cover member and between the winding and the second cover member, heat dissipation grease is filled,
Direct drive motor.

The direct drive motor according to claim 1, wherein a minimum axial width of the teeth is larger than a maximum axial width of the bearing portion.

The direct drive motor according to claim 2, wherein a position occupied by the maximum axial width portion of the bearing portion in the axial direction is within a range of a position occupied by the axial minimum width portion of the teeth in the axial direction.

The direct drive motor according to claim 2 or 3, wherein an axial minimum width portion of the teeth is defined in a range of 25% to 50% with respect to an axial height of the direct drive motor.

An inner rotor type direct drive motor having the rotor inside the stator,
The housing is
An annular stator housing in which the stator is held at the radially outer edge of the stator core, the bearing is held at the radially inner edge of the stationary ring, and the rotation detector is provided at the radially inner edge;
An annular rotor housing in which the rotor is formed at a radially outer edge, and the bearing is held by the radially outer edge of the rotating wheel;
The direct drive motor as described in any one of Claim 1 to 4 containing these.

The bearing is direct drive motor according to any one of claims 1 to 5 is a cross roller bearing.

The direct drive motor according to any one of claims 1 to 6 , wherein the bearing portion includes a plurality of the bearings stacked in a plurality of stages in the axial direction.

The stator core includes an annular member, said plurality of teeth protruding from members of the circular ring in the radial direction according to any one of claims 1 constructed integrally formed 7 Direct Drive motor.

The direct drive motor according to any one of claims 1 to 8 ,
A transport unit for transporting an object by operation of the direct drive motor;
A transport apparatus comprising:

The direct drive motor according to any one of claims 1 to 8 ,
An inspection unit for inspecting an object moving by the operation of the direct drive motor;
An inspection apparatus comprising:

The direct drive motor according to any one of claims 1 to 8 ,
A machining section for machining an object that moves by the operation of the direct drive motor;
Machine tool equipped with.

The direct drive motor according to any one of claims 1 to 8 ,
A processing unit for processing an object moving by the operation of the direct drive motor;
A semiconductor manufacturing apparatus comprising: