JP6507502B2

JP6507502B2 - Direct drive motor, transfer device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device

Info

Publication number: JP6507502B2
Application number: JP2014137555A
Authority: JP
Inventors: 裕介太田; 逸男渡辺; 和則小泉; 正幸丸山
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2014-07-03
Filing date: 2014-07-03
Publication date: 2019-05-08
Anticipated expiration: 2034-07-03
Also published as: JP2016015854A

Description

本発明は、ダイレクトドライブモータ、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に関する。 The present invention relates to a direct drive motor, a transfer device, an inspection device, a machine tool, and a semiconductor manufacturing device.

ダイレクトドライブモータは、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。ダイレクトドライブモータは、動力を発生するモータ部と、モータ部の回転を検出するレゾルバ（回転検出器）と、モータ部及びレゾルバを保持するハウジングと、を備えている。モータ部は、コイル及びそのコイルを支持するステータコアを含むステータと、永久磁石を含むロータとを有する。コイルは、リード線と接続される。リード線は、コネクタを介して、電力供給部と接続される。 The direct drive motor directly transmits the generated power to the object without passing through the speed reduction mechanism. The direct drive motor includes a motor unit that generates power, a resolver (rotation detector) that detects rotation of the motor unit, and a housing that holds the motor unit and the resolver. The motor unit has a stator including a coil and a stator core supporting the coil, and a rotor including a permanent magnet. The coil is connected to the lead wire. The lead wire is connected to the power supply unit via the connector.

コイルを含むステータと、永久磁石を含むロータとを有するモータの一例が特許文献１及び特許文献２に開示されている。 Examples of a motor having a stator including a coil and a rotor including a permanent magnet are disclosed in Patent Documents 1 and 2.

特開２０００−２５３６０１号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-253601 特開２００４−２１５４７９号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-215479

一般に、ステータのコイルの位相は、レゾルバのコイルの位相に基づいて決定される。ステータのコイルに電力を供給するための複数のリード線がそのステータのコイル上において重なるように配置されると、ダイレクトドライブモータの絶縁性能が低下する可能性がある。また、複数のリード線を配置するための空間をハウジング内部に確保するためにステータコアの厚みを薄くしてしまうと、ダイレクトドライブモータの出力性能が低下する可能性がある。 In general, the phase of the stator coil is determined based on the phase of the resolver coil. If the leads for supplying power to the coils of the stator are arranged to overlap on the coils of the stator, the insulation performance of the direct drive motor may be degraded. In addition, if the thickness of the stator core is reduced to secure a space for arranging a plurality of lead wires inside the housing, the output performance of the direct drive motor may be reduced.

性能が低下したダイレクトドライブモータが、搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置に使用された場合、それら搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置の性能が低下する可能性がある。 If a direct drive motor with degraded performance is used in a transport device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device, the performance of the transport device, inspection device, machine tool, and semiconductor manufacturing device may be degraded. is there.

本発明の態様は、性能の低下を抑制できるダイレクトドライブモータを提供することを目的とする。また、本発明の態様は、性能の低下を抑制できる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置を提供することを目的とする。 An aspect of the present invention aims to provide a direct drive motor capable of suppressing a decrease in performance. Moreover, the aspect of this invention aims at providing the conveying apparatus which can suppress the fall of performance, an inspection apparatus, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus.

本発明の第１の態様は、３相交流により作動するダイレクトドライブモータであって、複数のティースを有するステータコアと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第１相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第２相コイルと、集中巻され前記ティースに支持される複数の第３相コイルと、を有するステータと、前記ステータに対して回転軸を中心に回転可能なロータと、コネクタを介して電力供給部と接続され、前記第１相コイルに電力を供給するための第１リード線と、前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第２相コイルに電力を供給するための第２リード線と、前記コネクタを介して前記電力供給部と接続され、前記第３相コイルに電力を供給するための第３リード線と、を備え、前記第１相コイルと前記第２相コイルと前記第３相コイルとがスター結線され、複数の前記第１相コイルのうち前記第１リード線と接続される第１相コイルが、前記コネクタと対向するように配置され、複数の前記第２相コイルのうち前記第２リード線と接続される第２相コイルが、前記回転軸を中心とする回転方向に関して前記第１リード線と対向する前記第１相コイルの一方に配置され、複数の前記第３相コイルのうち前記第３リード線と接続される第３相コイルが、前記回転軸を中心とする回転方向に関して前記第１リード線と対向する前記第１相コイルの他方に配置される、ダイレクトドライブモータを提供する。 A first aspect of the present invention is a direct drive motor operated by three-phase alternating current, comprising: a stator core having a plurality of teeth; a plurality of first phase coils wound in a concentrated manner and supported by the teeth; A stator having a plurality of second phase coils supported by the teeth, and a plurality of third phase coils wound in a concentrated manner and supported by the teeth, and a rotor rotatable around a rotation axis with respect to the stator A first lead wire for supplying power to the first phase coil, and a first lead wire for supplying power to the first phase coil; and the power supply unit via the connector; A second lead wire for supplying power, and a third lead wire connected to the power supply unit via the connector for supplying power to the third phase coil; The coil, the second phase coil, and the third phase coil are star-connected, and a first phase coil connected to the first lead wire among the plurality of first phase coils faces the connector. The first phase coil disposed so that a second phase coil connected to the second lead wire among the plurality of second phase coils faces the first lead wire in the rotational direction about the rotation axis A third phase coil disposed in one of the plurality of third phase coils and connected to the third lead wire, the third phase coil facing the first lead wire in a rotational direction about the rotation axis; A direct drive motor is provided, which is disposed on the other side of the one-phase coil.

本発明の第１の態様によれば、複数のリード線がコイル上において重なるように配置されることが抑制される。したがって、絶縁性能及び出力性能を含むダイレクトドライブモータの性能の低下が抑制される。 According to the first aspect of the present invention, it is suppressed that a plurality of lead wires are arranged to overlap on the coil. Therefore, the deterioration of the performance of the direct drive motor including the insulation performance and the output performance is suppressed.

本発明の第１の態様において、前記回転方向に関して、前記第１リード線と接続される前記第１相コイルは、前記コネクタと実質的に同じ位置に配置され、前記第１リード線と接続される前記第１相コイルと前記第２リード線と接続される前記第２相コイルとの距離と、前記第１リード線と接続される前記第１相コイルと前記第３リード線と接続される前記第３相コイルとの距離とは、等しくてもよい。 In the first aspect of the present invention, the first phase coil connected to the first lead wire in the rotational direction is disposed at substantially the same position as the connector, and connected to the first lead wire. Distance between the first phase coil and the second phase coil connected to the second lead wire, and the first phase coil connected to the first lead wire and the third lead wire The distance to the third phase coil may be equal.

これにより、複数のリード線がコイル上において重なるように配置されることが抑制され、複数のリード線の長さのばらつき、及びリード線の長大化が抑制される。 As a result, the plurality of lead wires are prevented from being arranged so as to overlap on the coil, and the variation in the lengths of the plurality of lead wires and the lengthening of the lead wires are suppressed.

本発明の第１の態様において、前記ステータコアは、内周コアと、前記内周コアの周囲に配置され前記内周コアと接続される外周コアと、を含み、前記第１相コイル、前記第２相コイル、及び前記第３相コイルは、前記内周コアと前記外周コアとの間に配置されてもよい。 In the first aspect of the present invention, the stator core includes an inner peripheral core, and an outer peripheral core disposed around the inner peripheral core and connected to the inner peripheral core, the first phase coil, the first phase coil The two-phase coil and the third phase coil may be disposed between the inner circumferential core and the outer circumferential core.

これにより、第１相コイル、第２相コイル、及び第３相コイルを、ステータコアの内側に円滑に配置することができる。 Thereby, the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil can be smoothly disposed inside the stator core.

本発明の第１の態様において、前記第１相コイル、前記第２相コイル、及び前記第３相コイルはそれぞれボビンに巻かれ、前記ボビンが前記ティースに支持されてもよい。 In the first aspect of the present invention, the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil may each be wound on a bobbin, and the bobbin may be supported by the teeth.

これにより、第１相コイル、第２相コイル、及び第３相コイルとステータコアとの接続を作業性良く実施することができる。 Thereby, the connection between the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil and the stator core can be implemented with good workability.

本発明の第１の態様において、前記ティースの間のスロットの数は偶数であり、前記ステータは、分数スロット巻線を含んでもよい。 In the first aspect of the present invention, the number of slots between the teeth may be even, and the stator may include a fractional slot winding.

これにより、トルク脈動が小さく、安価なダイレクトドライブモータが提供される。 As a result, an inexpensive direct drive motor with small torque pulsation is provided.

本発明の第１の態様において、前記ロータの回転を検出するアブソリュート方式のレゾルバを含む回転検出器を備えてもよい。 In the first aspect of the present invention, the rotation detector may include an absolute resolver that detects the rotation of the rotor.

これにより、回転検出器の検出結果に基づいて、ロータを目標角度だけ回転させることができる。 Thereby, the rotor can be rotated by the target angle based on the detection result of the rotation detector.

本発明の第２の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により物体を搬送する搬送部と、を備える搬送装置を提供する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a transport apparatus comprising: the direct drive motor of the first aspect; and a transport unit which transports an object by operation of the direct drive motor.

本発明の第２の態様によれば、搬送装置の性能の低下が抑制される。 According to the second aspect of the present invention, deterioration of the performance of the transfer device is suppressed.

本発明の第３の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を検査する検査部と、を備える検査装置を提供する。 A third aspect of the present invention provides an inspection apparatus comprising: the direct drive motor of the first aspect; and an inspection unit which inspects an object moving by operation of the direct drive motor.

本発明の第３の態様によれば、検査装置の性能の低下が抑制される。 According to the third aspect of the present invention, the decrease in the performance of the inspection apparatus is suppressed.

本発明の第４の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を加工する加工部と、を備える工作機械を提供する。 A fourth aspect of the present invention provides a machine tool comprising the direct drive motor of the first aspect and a processing unit for processing an object moved by the operation of the direct drive motor.

本発明の第４の態様によれば、工作機械の性能の低下が抑制される。 According to the fourth aspect of the present invention, the deterioration of the performance of the machine tool is suppressed.

本発明の第５の態様は、第１の態様のダイレクトドライブモータと、前記ダイレクトドライブモータの作動により移動する物体を処理する処理部と、を備える半導体製造装置を提供する。 A fifth aspect of the present invention provides a semiconductor manufacturing apparatus comprising: the direct drive motor of the first aspect; and a processing unit that processes an object moving by operation of the direct drive motor.

本発明の第５の態様によれば、半導体製造装置の性能の低下が抑制される。 According to the fifth aspect of the present invention, the deterioration of the performance of the semiconductor manufacturing apparatus is suppressed.

本発明の態様によれば、性能の低下を抑制できるダイレクトドライブモータが提供される。また、本発明の態様によれば、性能の低下を抑制できる搬送装置、検査装置、工作機械、及び半導体製造装置が提供される。 According to an aspect of the present invention, there is provided a direct drive motor capable of suppressing a decrease in performance. Further, according to an aspect of the present invention, there are provided a transport apparatus, an inspection apparatus, a machine tool, and a semiconductor manufacturing apparatus capable of suppressing a decrease in performance.

図１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータの一例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an example of a direct drive motor according to the present embodiment. 図２は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータの一例を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the direct drive motor according to the present embodiment. 図３は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータのステータの一例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an example of the stator of the direct drive motor according to the present embodiment. 図４は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータのステータの一例を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the stator of the direct drive motor according to the present embodiment. 図５は、本実施形態に係るステータコアの内周コアの一例を示す図である。FIG. 5 is a view showing an example of the inner peripheral core of the stator core according to the present embodiment. 図６は、本実施形態に係るステータコアの外周コアの一例を示す図である。FIG. 6 is a view showing an example of the outer peripheral core of the stator core according to the present embodiment. 図７は、本実施形態に係るコイルの一例を示す図である。FIG. 7 is a view showing an example of a coil according to the present embodiment. 図８は、本実施形態に係るコイルの接続例を模式的に示す図である。FIG. 8 is a view schematically showing a connection example of the coil according to the present embodiment. 図９は、比較例に係るダイレクトドライブモータの一例を示す平面図である。FIG. 9 is a plan view showing an example of a direct drive motor according to a comparative example. 図１０は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える検査装置の一例を示す図である。FIG. 10 is a view showing an example of an inspection apparatus provided with the direct drive motor according to the present embodiment. 図１１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える工作機械の一例を示す図である。FIG. 11 is a view showing an example of a machine tool provided with the direct drive motor according to the present embodiment. 図１２は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータを備える半導体製造装置の一例を示す図である。FIG. 12 is a view showing an example of a semiconductor manufacturing apparatus provided with the direct drive motor according to the present embodiment.

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. The components of each embodiment described below can be combined as appropriate. In addition, some components may not be used.

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１の一例を示す平面図である。図２は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１の一例を示す断面図である。図３は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１のステータ２１の一例を示す平面図である。図４は、本実施形態に係るダイレクトドライブモータ１のステータ２１の一例を示す平面図である。 First Embodiment
The first embodiment will be described. FIG. 1 is a plan view showing an example of a direct drive motor 1 according to the present embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the direct drive motor 1 according to the present embodiment. FIG. 3 is a plan view showing an example of the stator 21 of the direct drive motor 1 according to the present embodiment. FIG. 4 is a plan view showing an example of the stator 21 of the direct drive motor 1 according to the present embodiment.

ダイレクトドライブモータ１は、減速機構を介さずに、発生した動力を対象物にダイレクトに伝達する。本実施形態において、ダイレクトドライブモータ１は、３相交流により作動する３相交流モータである。ダイレクトドライブモータ１は、例えば、搬送装置のアームを駆動する駆動源として使用されるサーボモータを含む。 The direct drive motor 1 directly transmits the generated power to the object without passing through the speed reduction mechanism. In the present embodiment, the direct drive motor 1 is a three-phase alternating current motor operated by three-phase alternating current. The direct drive motor 1 includes, for example, a servomotor used as a drive source for driving an arm of the transport apparatus.

図１及び図２に示すように、ダイレクトドライブモータ１は、対象物を回転させるための動力を発生するモータ部２と、モータ部２の回転を検出する回転検出器３と、モータ部２及び回転検出器３を保持するハウジング４と、モータ部２と接続されるリード線１０と、ダイレクトドライブモータ１を制御する制御装置９とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the direct drive motor 1 includes a motor unit 2 that generates power for rotating an object, a rotation detector 3 that detects the rotation of the motor unit 2, a motor unit 2 and A housing 4 for holding the rotation detector 3, a lead wire 10 connected to the motor unit 2, and a control device 9 for controlling the direct drive motor 1 are provided.

モータ部２は、ステータ２１と、ステータ２１に対して回転可能なロータ２２とを有する。ロータ２２は、回転軸ＡＸを中心に回転する。 The motor unit 2 has a stator 21 and a rotor 22 rotatable with respect to the stator 21. The rotor 22 rotates around the rotation axis AX.

本実施形態において、ダイレクトドライブモータ１は、インナーロータ型である。ステータ２１は、ロータ２２の周囲に配置される。回転軸ＡＸに対して、ステータ２１は、ロータ２２の外側に配置される。 In the present embodiment, the direct drive motor 1 is an inner rotor type. The stator 21 is disposed around the rotor 22. The stator 21 is disposed outside the rotor 22 with respect to the rotation axis AX.

ステータ２１は、複数のティース２３及び複数のティース２３を連結するヨーク２４を含むステータコア２５と、ステータコア２５に支持されるコイル２６とを有する。ティース２３は、回転軸ＡＸの周囲に複数配置される。コイル２６は、複数設けられる。コイル２６は、複数のティース２３のそれぞれに支持される。 The stator 21 has a stator core 25 including a plurality of teeth 23 and a yoke 24 connecting the plurality of teeth 23, and a coil 26 supported by the stator core 25. A plurality of teeth 23 are arranged around the rotation axis AX. A plurality of coils 26 are provided. The coil 26 is supported by each of the plurality of teeth 23.

ロータ２２は、回転軸ＡＸの周囲において、等間隔で複数配置された永久磁石を含む。ステータ２１とロータ２２とは、間隙を介して対向する。 The rotor 22 includes permanent magnets arranged at equal intervals around the rotation axis AX. The stator 21 and the rotor 22 face each other via a gap.

図３及び図４に示すように、ステータコア２５は、内周コア２５１と、内周コア２５１の周囲に配置され内周コア２５１と接続される外周コア２５２と、を有する。コイル２６は、内周コア２５１と外周コア２５２との間に配置される。 As shown in FIGS. 3 and 4, the stator core 25 has an inner peripheral core 251 and an outer peripheral core 252 disposed around the inner peripheral core 251 and connected to the inner peripheral core 251. The coil 26 is disposed between the inner circumferential core 251 and the outer circumferential core 252.

図５は、本実施形態に係る内周コア２５１の一例を示す平面図である。内周コア２５１は、回転軸ＡＸの周囲に配置される複数のティース２３と、複数のティース２３を連結するヨーク２４とを有する。複数のティース２３は、ヨーク２４から回転軸ＡＸに対する放射方向に関して外側に向かって突出するように配置される。ティース２３は、回転軸ＡＸの周囲において等間隔で複数配置される。隣り合うティース２３の間にスロット２７が設けられる。 FIG. 5 is a plan view showing an example of the inner peripheral core 251 according to the present embodiment. The inner peripheral core 251 has a plurality of teeth 23 arranged around the rotation axis AX and a yoke 24 connecting the plurality of teeth 23. The plurality of teeth 23 are arranged to project outward from the yoke 24 in the radial direction with respect to the rotation axis AX. A plurality of teeth 23 are arranged at equal intervals around the rotation axis AX. A slot 27 is provided between adjacent teeth 23.

図６は、本実施形態に係る外周コア２５２の一例を示す平面図である。外周コア２５２は、内周コア２５１の外径よりも大きい内径を有する環状の部材である。内周コア２５１と外周コア２５２とは固定される。 FIG. 6 is a plan view showing an example of the outer peripheral core 252 according to the present embodiment. The outer peripheral core 252 is an annular member having an inner diameter larger than the outer diameter of the inner peripheral core 251. The inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252 are fixed.

コイル２６は、集中巻された巻線を含む。集中巻されたコイル２６がティース２３に支持される。１つのティース２３に１つのコイル２６が配置される。集中巻とは、１つのティース２３に巻線を多回数巻いたもの、すなわち、１つのティース２３に１相分の巻線を巻き付けるものをいう。 The coil 26 includes concentratedly wound windings. A concentrated coil 26 is supported by the teeth 23. One coil 26 is disposed on one tooth 23. The concentrated winding means one obtained by winding a winding many times around one tooth 23, that is, winding one phase of winding around one tooth 23.

図７は、本実施形態に係るコイル２６の一例を示す図である。本実施形態において、コイル２６は、ボビン２８に巻かれる。１つのボビン２８に１つのコイル２６が配置される。ボビン２８がティース２３に支持される。コイル２６は、ボビン２８を介して、ティース２３に支持される。すなわち、コイル２６は、ボビン２８に集中巻された状態で、ティース２３に支持される。 FIG. 7 is a view showing an example of the coil 26 according to the present embodiment. In the present embodiment, the coil 26 is wound around the bobbin 28. One coil 26 is disposed on one bobbin 28. The bobbin 28 is supported by the teeth 23. The coil 26 is supported by the teeth 23 via the bobbin 28. That is, the coil 26 is supported by the teeth 23 in a state of being wound around the bobbin 28 in a concentrated manner.

ボビン２８に巻かれたコイル２６が、内周コア２５１のティース２３に挿入される。コイル２６が巻かれたボビン２８がティース２３に支持された後、内周コア２５１と外周コア２５２とが接続される。これにより、コイル２６が、内周コア２５１と外周コア２５２との間に配置される。 The coil 26 wound around the bobbin 28 is inserted into the teeth 23 of the inner peripheral core 251. After the bobbin 28 around which the coil 26 is wound is supported by the teeth 23, the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252 are connected. Thereby, the coil 26 is disposed between the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252.

図１及び図２に示すように、ダイレクトドライブモータ１は、回転検出器３を有する。回転検出器３は、モータ部２の回転を検出する。回転検出器３は、アブソリュート方式のレゾルバを含み、モータ部２のロータ２２の回転を検出する。回転検出器３は、ロータ２２の回転速度、回転方向、及び回転角度の少なくとも一つを検出する。なお、回転検出器３は、アブソリュート方式のレゾルバのみならず、インクリメンタル方式のレゾルバを含んでもよい。 As shown in FIGS. 1 and 2, the direct drive motor 1 has a rotation detector 3. The rotation detector 3 detects the rotation of the motor unit 2. The rotation detector 3 includes an absolute resolver and detects the rotation of the rotor 22 of the motor unit 2. The rotation detector 3 detects at least one of the rotation speed, the rotation direction, and the rotation angle of the rotor 22. The rotation detector 3 may include not only an absolute resolver, but also an incremental resolver.

ハウジング４は、モータ部２及び回転検出器３を保持する。本実施形態において、ハウジング４は、第１ハウジング４１と、回転軸ＡＸに対して第１ハウジング４１の外側に配置される第２ハウジング４２とを含む。第１ハウジング４１は、環状の部材である。第２ハウジング４２は、環状の部材である。本実施形態において、第１ハウジング４１及び第２ハウジング４２はそれぞれ、円筒状の部材である。第１ハウジング４１の中心軸と、第２ハウジング４２の中心軸と、回転軸ＡＸとは、一致する。 The housing 4 holds the motor unit 2 and the rotation detector 3. In the present embodiment, the housing 4 includes a first housing 41 and a second housing 42 disposed outside the first housing 41 with respect to the rotation axis AX. The first housing 41 is an annular member. The second housing 42 is an annular member. In the present embodiment, each of the first housing 41 and the second housing 42 is a cylindrical member. The central axis of the first housing 41, the central axis of the second housing 42, and the rotation axis AX coincide with each other.

ステータ２１は、第２ハウジング４２と接続される。ロータ２２は、第１ハウジング４１と接続される。 The stator 21 is connected to the second housing 42. The rotor 22 is connected to the first housing 41.

第１ハウジング４１と第２ハウジング４２との間に軸受５が配置される。軸受５は、内輪５Ａと、外輪５Ｂと、内輪５Ａと外輪５Ｂとの間に配置される転動体５Ｃとを有する。内輪５Ａは、第１ハウジング４１と接続される。外輪５Ｂは、第２ハウジング４２と接続される。軸受５により、第１ハウジング４１は、第２ハウジング４２に対して、回転軸ＡＸを中心に回転可能に支持される。 The bearing 5 is disposed between the first housing 41 and the second housing 42. The bearing 5 has an inner ring 5A, an outer ring 5B, and rolling elements 5C disposed between the inner ring 5A and the outer ring 5B. The inner ring 5A is connected to the first housing 41. The outer ring 5B is connected to the second housing 42. The first housing 41 is rotatably supported about the rotation axis AX with respect to the second housing 42 by the bearing 5.

本実施形態においは、モータ部２、軸受５、及び回転検出器３は、回転軸ＡＸに対する放射方向に配置される。これにより、回転軸ＡＸと平行な方向に関するダイレクトドライブモータ１の寸法の増大が抑制される。 In the present embodiment, the motor unit 2, the bearing 5, and the rotation detector 3 are disposed in the radial direction with respect to the rotation axis AX. Thereby, the increase in the dimension of the direct drive motor 1 in the direction parallel to the rotation axis AX is suppressed.

ステータ２１に対してロータ２２が回転することにより、第２ハウジング４２に対して第１ハウジング４１が回転軸ＡＸを中心に回転する。 The rotation of the rotor 22 relative to the stator 21 causes the first housing 41 to rotate about the rotation axis AX relative to the second housing 42.

第１ハウジング４１にワーク（不図示）が接続される。モータ部２の作動により第１ハウジング４１が回転すると、第１ハウジング４１と一緒にワークが回転する。第１ハウジング４１は、モータ部２の作動により回転軸ＡＸを中心に回転する出力軸として機能する。 A work (not shown) is connected to the first housing 41. When the first housing 41 is rotated by the operation of the motor unit 2, the workpiece is rotated together with the first housing 41. The first housing 41 functions as an output shaft that rotates about the rotation axis AX by the operation of the motor unit 2.

なお、ダイレクトモータドライブ１は、回転軸ＡＸと平行な方向に関してハウジング４の一端部（下端部）に配置された第１カバー部材６と、回転軸ＡＸと平行な方向に関してハウジング４の他端部（上端部）に配置された第２カバー部材８とを有する。 The direct motor drive 1 has a first cover member 6 disposed at one end (lower end) of the housing 4 in the direction parallel to the rotation axis AX, and the other end of the housing 4 in the direction parallel to the rotation axis AX. And a second cover member 8 disposed at the (upper end).

複数のコイル２６のそれぞれは、ボビン２８を介して、ティース２３に支持される。本実施形態において、コイル２６は、３０個設けられる。上述のように、本実施形態において、ダイレクトモータドライブ１は、３相交流モータである。制御装置９は、リード線１０を介して、電力供給部（電源）から３相交流をコイル２６に供給する。複数のコイル２６のそれぞれに、３相交流の各相が供給されると、３相回転磁界が生成される。 Each of the plurality of coils 26 is supported by the teeth 23 via the bobbins 28. In the present embodiment, thirty coils 26 are provided. As described above, in the present embodiment, the direct motor drive 1 is a three-phase alternating current motor. The controller 9 supplies a three-phase alternating current to the coil 26 from the power supply unit (power supply) via the lead wire 10. When each phase of the three-phase alternating current is supplied to each of the plurality of coils 26, a three-phase rotating magnetic field is generated.

本実施形態においては、Ｕ相、Ｖ相、及びＷ相の交流がコイル２６に供給される。Ｕ相のコイル２６の数と、Ｖ相のコイル２６の数と、Ｗ相のコイル２６の数とは、等しい。図１に示すように、本実施形態において、Ｕ相のコイル２６は、１０個である。Ｖ相のコイル２６は、１０個である。Ｗ相のコイル２６は、１０個である。 In the present embodiment, U-phase, V-phase, and W-phase alternating currents are supplied to the coil 26. The number of U-phase coils 26, the number of V-phase coils 26, and the number of W-phase coils 26 are equal. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, there are ten U-phase coils 26. The number of V-phase coils 26 is ten. The number of W-phase coils 26 is ten.

以下の説明にいて、１０個のＵ相コイル（第３相コイル）２６のそれぞれを適宜、Ｕ１コイル２６、Ｕ２コイル２６、…、Ｕ１０コイル２６、と称し、１０個のＶ相コイル（第２相コイル）２６のそれぞれを適宜、Ｖ１コイル２６、Ｖ２コイル２６、…、Ｖ１０コイル２６、と称し、１０個のＷ相コイル（第１相コイル）２６のそれぞれを適宜、Ｗ１コイル２６、Ｗ２コイル２６、…、Ｗ１０コイル２６、と称する。 In the following description, each of ten U-phase coils (third phase coil) 26 is referred to as U1 coil 26, U2 coil 26,..., U10 coil 26, and ten V-phase coils (second Each of the phase coils 26 is referred to as V1 coil 26, V2 coil 26,..., V10 coil 26 as appropriate, and each of 10 W phase coils (first phase coil) 26 is appropriately referred to as W1 coil 26, W2 coil 26,... W10 coil 26.

図８は、Ｕ相コイル２６、Ｖ相コイル２６、及びＷ相コイル２６の接続を模式的に示す図である。コイル２６は、リード線１０と接続される。リード線１０は、コネクタ３０を介して、電力供給部３１と接続される。電力供給部３１は、制御装置９に制御される。制御装置９は、リード線１０を介して、電力供給部３１から３相交流をコイル２６に供給する。 FIG. 8 schematically shows connection of U-phase coil 26, V-phase coil 26, and W-phase coil 26. As shown in FIG. The coil 26 is connected to the lead wire 10. The lead wire 10 is connected to the power supply unit 31 via the connector 30. The power supply unit 31 is controlled by the control device 9. The controller 9 supplies a three-phase alternating current from the power supply unit 31 to the coil 26 through the lead wire 10.

リード線１０は、Ｕ相コイル２６に電力を供給するためのリード線１０３と、Ｖ相コイル２６に電力を供給するためのリード線１０２と、Ｗ相コイル２６に電力を供給するためのリード線１０１と、を含む。リード線１０３は、コネクタ３０を介して電力供給部３１と接続される。リード線１０２は、コネクタ３０を介して電力供給部３１と接続される。リード線１０１は、コネクタ３０を介して電力供給部３１と接続される。 The lead wire 10 includes a lead wire 103 for supplying power to the U-phase coil 26, a lead wire 102 for supplying power to the V-phase coil 26, and a lead wire for supplying power to the W-phase coil 26. And 101. The lead wire 103 is connected to the power supply unit 31 via the connector 30. The lead wire 102 is connected to the power supply unit 31 via the connector 30. The lead wire 101 is connected to the power supply unit 31 via the connector 30.

コネクタ３０とは、リード線１０と電力供給部３１とを接続する接続部であり、複数のリード線１０（１０１、１０２、１０３）が集合する部分をいう。コネクタ３０は、ステータ２１の外側に突出するように配置される。 The connector 30 is a connection part which connects the lead wire 10 and the electric power supply part 31, and refers to the part which several lead wire 10 (101, 102, 103) gathers. The connector 30 is arranged to protrude to the outside of the stator 21.

図８に示すように、Ｕ１コイル２６からＵ１０コイル２６は、直列に接続される。Ｖ１コイル２６からＶ１０コイル２６は、直列に接続される。Ｗ１コイル２６からＷ１０コイル２６は、直列に接続される。 As shown in FIG. 8, the U1 coil 26 to the U10 coil 26 are connected in series. The V1 coil 26 to the V10 coil 26 are connected in series. The W1 coil 26 to the W10 coil 26 are connected in series.

Ｕ相コイル２６とＶ相コイル２６とＷ相コイル２６とは、スター結線される。図８に示すように、Ｕ１コイル２６とＶ１コイル２６とＷ１コイル２６とが中性点３２で接続される。 The U-phase coil 26, the V-phase coil 26, and the W-phase coil 26 are star-connected. As shown in FIG. 8, the U1 coil 26, the V1 coil 26, and the W1 coil 26 are connected at a neutral point 32.

複数のＵ相コイル２６のうち、Ｕ１０コイル２６がリード線１０３と接続される。複数のＶ相コイル２６のうち、Ｖ１０コイル２６がリード線１０２と接続される。複数のＷ相コイル２６のうち、Ｗ１０コイル２６がリード線１０１と接続される。 The U10 coil 26 is connected to the lead wire 103 among the plurality of U-phase coils 26. Of the plurality of V-phase coils 26, the V <b> 10 coil 26 is connected to the lead wire 102. Of the plurality of W-phase coils 26, the W 10 coil 26 is connected to the lead wire 101.

図１に示すように、本実施形態においては、複数のＷ相コイル２６のうちリード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６が、コネクタ３０と対向するように配置される。換言すれば、３０個のコイル２６のうち、Ｗ１０コイル２６が、コネクタ３０に最も近い位置に配置される。 As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the W10 coil 26 connected to the lead wire 101 among the plurality of W-phase coils 26 is disposed to face the connector 30. In other words, among the 30 coils 26, the W10 coil 26 is disposed closest to the connector 30.

また、図１に示すように、本実施形態においては、複数のＶ相コイル２６のうちリード線１０２と接続されるＶ１０コイル２６が、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関してＷ１０コイル２６の一方に配置され、複数のＵ相コイル２６のうちリード線１０３と接続されるＵ１０コイル２６が、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関してＷ１０コイル２６の他方に配置される。 Further, as shown in FIG. 1, in the present embodiment, one of the plurality of V-phase coils 26 connected to the lead wire 102 is one of the W10 coils 26 with respect to the rotational direction about the rotation axis AX. The U10 coil 26 connected to the lead wire 103 among the plurality of U-phase coils 26 is disposed at the other of the W10 coils 26 in the rotational direction about the rotation axis AX.

本実施形態において、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、Ｗ１０コイル２６とＶ１０コイル２６との距離と、Ｗ１０コイル２６とＵ１０コイル２６との距離とは、等しい。 In the present embodiment, the distance between the W10 coil 26 and the V10 coil 26 and the distance between the W10 coil 26 and the U10 coil 26 are equal with respect to the rotational direction about the rotation axis AX.

本実施形態において、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、リード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６は、コネクタ３０と実質的に同じ位置に配置される。回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関してコネクタ３０の位置を０度位置とした場合、Ｗ１０コイル２６は、実質的に、０度位置に配置される。 In the present embodiment, the W10 coil 26 connected to the lead wire 101 is disposed at substantially the same position as the connector 30 with respect to the rotation direction around the rotation axis AX. When the position of the connector 30 is set to the 0 degree position with respect to the rotation direction around the rotation axis AX, the W10 coil 26 is substantially disposed at the 0 degree position.

回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、リード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６が配置される位置と、リード線１０２と接続されるＶ１０コイル２６が配置される位置とがなす角度は、６０度である。回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、リード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６が配置される位置と、リード線１０３と接続されるＵ１０コイル２６が配置される位置とがなす角度は、６０度である。すなわち、コネクタ３０の位置を０度位置とした場合、Ｖ１０コイル２６は、実質的に、＋６０度位置に配置され、Ｕ１０コイル２６は、実質的に、−６０度位置に配置される。 The angle between the position at which the W10 coil 26 connected to the lead wire 101 is arranged and the position at which the V10 coil 26 connected to the lead wire 102 is arranged with respect to the rotational direction about the rotation axis AX is 60 Degrees. The angle between the position at which the W10 coil 26 connected to the lead wire 101 is arranged and the position at which the U10 coil 26 connected to the lead wire 103 is arranged with respect to the rotational direction about the rotation axis AX is 60 Degrees. That is, when the position of the connector 30 is 0 degrees, the V10 coil 26 is substantially disposed at the +60 degree position, and the U10 coil 26 is disposed substantially at the -60 degree position.

なお、図１においては、図面を見やすくするために、リード線１０１の一部、リード線１０２の一部、及びリード線１０３の一部が、ステータ２１（ハウジング４）の外側に配置されている。実際には、リード線１０１、リード線１０２、及びリード線１０３は、ハウジング４の内部において、コイル２６上に配置される。 In FIG. 1, in order to make the drawing easy to see, a part of the lead wire 101, a part of the lead wire 102, and a part of the lead wire 103 are disposed outside the stator 21 (housing 4). . In practice, the lead wire 101, the lead wire 102 and the lead wire 103 are disposed on the coil 26 inside the housing 4.

本実施形態において、ティース２３の数は３０個であり、隣り合うティース２３の間のスロット２７の数も３０個である。Ｕ相コイル２６が配置されるティース２３の数は１０個であり、隣り合うティース２３の間のスロット２７の数も１０個である。Ｖ相コイル２６が配置されるティース２３の数は１０個であり、隣り合うティース２３の間のスロット２７の数も１０個である。Ｗ相コイル２６が配置されるティース２３の数は１０個であり、隣り合うティース２３の間のスロット２７の数も１０個である。すなわち、本実施形態において、ティース２３の数、及びスロット２７の数は、偶数である。 In the present embodiment, the number of teeth 23 is thirty, and the number of slots 27 between adjacent teeth 23 is also thirty. The number of teeth 23 on which the U-phase coil 26 is disposed is ten, and the number of slots 27 between adjacent teeth 23 is also ten. The number of teeth 23 on which the V-phase coil 26 is disposed is ten, and the number of slots 27 between adjacent teeth 23 is also ten. The number of teeth 23 on which W-phase coil 26 is disposed is ten, and the number of slots 27 between adjacent teeth 23 is also ten. That is, in the present embodiment, the number of teeth 23 and the number of slots 27 are even.

本実施形態において、ステータ２１は、分数スロット巻線（分数スロット集中巻線）を含む。分数スロット巻線とは、毎極毎相のスロット数ｑが分数となるものをいう。毎極毎相のスロット数ｑとは、ステータコア２１のスロット２７の数Ｎを、モータ相数ｍ及びモータ極数Ｐで割った値をいう。すなわちＰ＝Ｎ／（ｍ・Ｐ）＝ａ＋（ｂ／ｃ）である。但し、ａ、ｂ、ｃは整数、（ｂ／ｃ）は既約分数である。 In the present embodiment, the stator 21 includes a fractional slot winding (fractional slot concentrated winding). A fractional slot winding is one in which the number of slots q in each pole per phase is a fraction. The number of slots q in each pole per phase is a value obtained by dividing the number N of slots 27 in the stator core 21 by the number m of motor phases and the number P of motor poles. That is, P = N / (m · P) = a + (b / c). However, a, b and c are integers and (b / c) is an irreducible fraction.

本実施形態においては、スロット２７の数Ｎは３０であり、モータ相数ｍは３であり、毎極毎相のスロット数ｑは分数となる。 In the present embodiment, the number N of slots 27 is 30, the number m of motor phases is 3, and the number q of slots in each pole per phase is a fraction.

以上説明したように、本実施形態によれば、集中巻された複数のＵ相コイル２６、複数のＶ相コイル２６、及び複数のＷ相コイル２６が設けられ、それらＵ相コイル２６とＶ相コイル２６とＷ相コイル２６とがスター結線される場合において、リード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６がコネクタ３０と対向するように配置され、リード線１０２と接続されるＶ１０コイル２６が、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関してＷ１０コイル２６の一方に配置され、リード線１０３と接続されるＵ１０コイル２６が、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関してＷ１０コイル２６の他方に配置されるようにしたので、ダイレクトドライブモータ１の性能の低下を抑制することができる。 As described above, according to the present embodiment, the plurality of U-phase coils 26, the plurality of V-phase coils 26, and the plurality of W-phase coils 26 wound in a concentrated manner are provided. When the coil 26 and the W-phase coil 26 are star-connected, the W10 coil 26 connected to the lead wire 101 is disposed to face the connector 30, and the V10 coil 26 connected to the lead wire 102 is rotated. The U10 coil 26 disposed on one side of the W10 coil 26 in the rotational direction about the axis AX and connected to the lead wire 103 is disposed on the other side of the W10 coil 26 in the rotational direction about the rotational axis AX Because of this, it is possible to suppress the deterioration of the performance of the direct drive motor 1.

図９は、比較例に係るダイレクトドライブモータの一例を示す平面図である。リード線１０１と接続されるＷ１０コイル２６、リード線１０２と接続されるＶ１０コイル２６、及びリード線１０３と接続されるＵ１０コイル２６のいずれも、コネクタ３０から離れた位置に配置されている。なお、図９において、図面を見やすくするために、リード線１０１の一部、リード線１０２の一部、及びリード線１０３の一部が、ステータ２１（ハウジング４）の外側に配置されている。実際には、リード線１０１、リード線１０２、及びリード線１０３は、ハウジング４の内部において、コイル２６上に配置される。 FIG. 9 is a plan view showing an example of a direct drive motor according to a comparative example. The W10 coil 26 connected to the lead wire 101, the V10 coil 26 connected to the lead wire 102, and the U10 coil 26 connected to the lead wire 103 are all disposed at positions away from the connector 30. In FIG. 9, in order to make the drawing easy to see, a part of the lead wire 101, a part of the lead wire 102, and a part of the lead wire 103 are disposed outside the stator 21 (housing 4). In practice, the lead wire 101, the lead wire 102 and the lead wire 103 are disposed on the coil 26 inside the housing 4.

図９に示す例において、コイル２６上において、３本のリード線１０（１０１、１０２、１０３）が一緒に配置される部分が生じる。コイル２６に電力を供給するための複数のリード線１０がコイル２６上において重なるように配置されると、ダイレクトドライブモータ１の絶縁性能が低下する可能性がある。また、複数のリード線１０を配置するための空間をハウジング４内部に確保する必要がある。その空間を確保するために、中心軸ＡＸと平行な方向にハウジング４を大きくすると、ダイレクトドライブモータ１の大型化をもたらす。また、空間を確保するために、ステータコア２５の厚みを薄くしてしまうと、ダイレクトドライブモータ１の出力性能（出力トルク）が低下する可能性がある。 In the example shown in FIG. 9, on the coil 26, a portion in which the three lead wires 10 (101, 102, 103) are arranged together is generated. If a plurality of lead wires 10 for supplying power to the coil 26 are arranged to overlap on the coil 26, the insulation performance of the direct drive motor 1 may be degraded. In addition, it is necessary to secure a space for disposing the plurality of lead wires 10 inside the housing 4. If the housing 4 is enlarged in the direction parallel to the central axis AX to secure the space, the direct drive motor 1 is enlarged. In addition, if the thickness of the stator core 25 is reduced to secure a space, the output performance (output torque) of the direct drive motor 1 may be reduced.

また、図９に示した例では、Ｗ１０コイル２６とコネクタ３０との間のリード線１０１の長さと、Ｖ１０コイル２６とコネクタ３０との間のリード線１０２の長さと、Ｕ１０コイル２６とコネクタ３０との間のリード線１０３の長さとが異なる。すなわち、リード線１０１とリード線１０２とリード線１０３とで、長さにばらつきがある。 Further, in the example shown in FIG. 9, the length of the lead wire 101 between the W10 coil 26 and the connector 30, the length of the lead wire 102 between the V10 coil 26 and the connector 30, the U10 coil 26 and the connector 30 And the length of the lead 103 between them is different. That is, the lengths of the lead wire 101, the lead wire 102, and the lead wire 103 vary.

本実施形態によれば、コイル２６上において、複数のリード線１０が一緒に配置されることが抑制される。したがって、リード線１０の重なりに起因する絶縁破壊の発生を抑制することができ、ダイレクトドライブモータ１の絶縁性能の低下を抑制することができる。 According to the present embodiment, the arrangement of the lead wires 10 together on the coil 26 is suppressed. Therefore, the occurrence of dielectric breakdown due to the overlapping of the lead wires 10 can be suppressed, and the decrease in the insulation performance of the direct drive motor 1 can be suppressed.

また、本実施形態によれば、中心軸ＡＸと平行な方向に関するダイレクトドライブモータ１の大型化を抑制しつつ、ステータコア２５の厚みを厚くすることができる。したがって、ダイレクトドライブモータ１の出力トルクの向上を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the thickness of the stator core 25 can be increased while suppressing the upsizing of the direct drive motor 1 in the direction parallel to the central axis AX. Therefore, the output torque of the direct drive motor 1 can be improved.

また、本実施形態によれば、少なくとも、Ｖ１０コイル２６とコネクタ３０との間のリード線１０２の長さと、Ｕ１０コイル２６とコネクタ３０との間のリード線１０３の長さとの均一化を図ることができる。したがって、各相の抵抗のばらつきを抑制でき、相電流のばらつきも抑制できるので、安定したトルク特性を得ることができる。 Further, according to the present embodiment, at least the length of the lead 102 between the V10 coil 26 and the connector 30 and the length of the lead 103 between the U10 coil 26 and the connector 30 can be equalized. Can. Therefore, the variation in resistance of each phase can be suppressed, and the variation in phase current can also be suppressed, so that stable torque characteristics can be obtained.

また、本実施形態によれば、複数のリード線１０（１０１、１０２、１０３）のうち、いずれか１つのリード線１０の長さが過度に長くなることが抑制されるので、各相の抵抗値を小さくできる。したがって、ダイレクトドライブモータ１の回転特性の向上を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the length of any one lead wire 10 among the plurality of lead wires 10 (101, 102, 103) is suppressed from being excessively long, so the resistance of each phase is suppressed. You can reduce the value. Therefore, the rotational characteristics of the direct drive motor 1 can be improved.

また、本実施形態によれば、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、Ｗ１０コイル２６は、コネクタ３０と実質的に同じ位置に配置され、Ｗ１０コイル２６とＶ１０コイル２６との距離と、Ｗ１０コイル２６とＵ１０コイル２６との距離とは、実質的に等しい。本実施形態においては、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、Ｗ１０コイル２６が配置される位置とＶ１０コイル２６が配置される位置とがなす角度は、６０度であり、回転軸ＡＸを中心とする回転方向に関して、Ｗ１０コイル２６が配置される位置とＵ１０コイル２６が配置される位置とがなす角度は、６０度である。これにより、複数のリード線１０がコイル２６上において重なるように配置されることが抑制され、複数のリード線１０の長さのばらつき、及びリード線１０の長大化が抑制される。また、複数のリード線１０（１０１、１０２、１０３）のうち、いずれか１つのリード線１０の長さが過度に長くなることが抑制される。 Further, according to the present embodiment, the W10 coil 26 is disposed substantially at the same position as the connector 30 with respect to the rotational direction about the rotation axis AX, and the distance between the W10 coil 26 and the V10 coil 26 The distance between the coil 26 and the U10 coil 26 is substantially equal. In the present embodiment, the angle between the position at which the W10 coil 26 is disposed and the position at which the V10 coil 26 is disposed is 60 degrees with respect to the rotation direction about the rotation axis AX, and is centered on the rotation axis AX. The angle between the position where the W10 coil 26 is disposed and the position where the U10 coil 26 is disposed is 60 degrees with respect to the direction of rotation. As a result, the plurality of lead wires 10 are prevented from being arranged so as to overlap on the coil 26, and the variation in the lengths of the plurality of lead wires 10 and the lengthening of the lead wires 10 are suppressed. Further, the length of any one of the plurality of lead wires 10 (101, 102, 103) is prevented from being excessively long.

また、本実施形態によれば、ステータコア２５は、内周コア２５１と、内周コア２５１の周囲に配置され内周コア２５１と接続される外周コア２５２と、を含む。これにより、内周コア２５１及び外周コア２５２の少なくとも一方に設けられたティース２３にコイル２６を挿入した後、内周コア２５１と外周コア２５２との接続することによって、Ｕ相コイル２６、Ｖ相コイル２６、及びＷ相コイル２６を、内周コア２５１と外周コア２５２との間に円滑に配置することができる。 Further, according to the present embodiment, the stator core 25 includes the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252 disposed around the inner peripheral core 251 and connected to the inner peripheral core 251. Thus, after inserting the coil 26 into the teeth 23 provided on at least one of the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252, the U-phase coil 26, V-phase are connected by connecting the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252. The coil 26 and the W-phase coil 26 can be smoothly disposed between the inner peripheral core 251 and the outer peripheral core 252.

また、本実施形態によれば、Ｕ相コイル２６、Ｖ相コイル２６、及びＷ相コイル２６は、それぞれボビン２８に巻かれ、そのボビン２８がティース２３に支持される。これにより、Ｕ相コイル２６、Ｖ相コイル２６、及びＷ相コイル２６と、ステータコア２５との接続を作業性良く実施することができる。 Further, according to the present embodiment, the U-phase coil 26, the V-phase coil 26, and the W-phase coil 26 are respectively wound around the bobbins 28, and the bobbins 28 are supported by the teeth 23. Thereby, the connection between U-phase coil 26, V-phase coil 26, and W-phase coil 26, and stator core 25 can be implemented with good workability.

また、本実施形態によれば、ティース２３の間のスロット２７の数は偶数であり、ステータ２１は、分数スロット巻線を含む。これにより、トルク脈動が小さく、安価なダイレクトドライブモータ１が提供される。すなわち、分数スロットは、毎極毎相のスロット数ｑが整数となる整数スロットに比べて、以下の点で優れている。１つの相に属するコイル２６のロータの極に対する位相がそれぞれ異なっているために基本波に対する巻線係数の値をあまり下げずに、しかも高調波の影響を効果的に小さくすることができる。これにより、トルク脈動の少ないダイレクトドライブモータ１を提供できる。また、トルク脈動を下げるためのスキュー等の構造をとる必要がなく、製作工数を少なくできる。また、整数スロットで、スキューを施したモータに比較してトルクを増加することができる。 Further, according to the present embodiment, the number of slots 27 between the teeth 23 is an even number, and the stator 21 includes a fractional slot winding. As a result, an inexpensive direct drive motor 1 with low torque pulsation is provided. That is, fractional slots are superior to the integer slots in which the number of slots q of each pole and each phase is an integer in the following points. Since the phases of the coils 26 belonging to one phase with respect to the rotor poles are different from each other, it is possible to effectively reduce the influence of the harmonics without significantly reducing the value of the winding coefficient for the fundamental wave. Thereby, the direct drive motor 1 with little torque pulsation can be provided. Further, it is not necessary to adopt a structure such as a skew for reducing the torque pulsation, and the number of manufacturing steps can be reduced. Also, torque can be increased at integer slots compared to skewed motors.

また、本実施形態によれば、ロータ２２の回転を検出するアブソリュート方式のレゾルバを含む回転検出器３が設けられる。回転検出器３の検出結果は、制御装置９に出力される。これにより、制御装置９は、回転検出器３の検出結果に基づいて、ロータ２２を目標角度だけ回転させることができる。したがって、ワークを所期の位置に配置（位置決め）することができる。 Further, according to the present embodiment, the rotation detector 3 including the absolute type resolver for detecting the rotation of the rotor 22 is provided. The detection result of the rotation detector 3 is output to the control device 9. Thereby, the control device 9 can rotate the rotor 22 by a target angle based on the detection result of the rotation detector 3. Therefore, the work can be arranged (positioned) at a desired position.

なお、本実施形態においては、内周コア２５１にティース２３が設けられることとした。外周コア２５２にティース２３が設けられてもよい。以下の実施形態においても同様である。 In the present embodiment, the teeth 23 are provided on the inner peripheral core 251. The teeth 23 may be provided on the outer peripheral core 252. The same applies to the following embodiments.

なお、本実施形態においては、コイル２６がボビン２８に巻かれ、そのボビン２８がティース２３に支持されることとした。ボビン２８は省略されてもよい。すなわち、コイル２６がティース２３に直接的に支持（集中巻）されてもよい。以下の実施形態においても同様である。 In the present embodiment, the coil 26 is wound around the bobbin 28, and the bobbin 28 is supported by the teeth 23. The bobbin 28 may be omitted. That is, the coil 26 may be directly supported (concentrated winding) on the teeth 23. The same applies to the following embodiments.

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 Second Embodiment
The second embodiment will be described. In the following description, the component parts identical or equivalent to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図１０は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える検査装置３００の一例を示す図である。検査装置３００は、検査対象の物体Ｗ１を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ１を検査する検査部３０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、ダイレクトドライブモータ１の作動により物体Ｗ１を搬送する搬送部２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１は、検査装置３００のベース部材３０２に接続される。 FIG. 10 is a view showing an example of an inspection apparatus 300 provided with the direct drive motor 1 described in the above embodiment. The inspection device 300 includes a transport device 200 that transports the object W1 to be inspected, and an inspection unit 301 that inspects the object W1. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1 and a transport unit 201 that transports the object W 1 by the operation of the direct drive motor 1. The direct drive motor 1 is connected to the base member 302 of the inspection apparatus 300.

搬送部２０１は、ダイレクトドライブモータ１のロータ２２と接続されたテーブルを含む。テーブル２０１は、検査対象の物体Ｗ１を支持する。テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により回転する。テーブル２０１が回転することにより、そのテーブル２０１に支持されている物体Ｗ１は移動する。 The transport unit 201 includes a table connected to the rotor 22 of the direct drive motor 1. The table 201 supports an object W1 to be inspected. The table 201 is rotated by the operation of the direct drive motor 1. As the table 201 rotates, the object W1 supported by the table 201 moves.

検査部３０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により移動する物体Ｗ１を検査する。本実施形態において、検査部３０１は、テーブル２０１に支持された物体Ｗ１の画像を取得するカメラを含む。カメラ３０１で撮影された物体Ｗ１の画像に基づいて、物体Ｗ１の検査が実施される。 The inspection unit 301 inspects the object W <b> 1 moving by the operation of the direct drive motor 1. In the present embodiment, the inspection unit 301 includes a camera that acquires an image of the object W1 supported by the table 201. The inspection of the object W1 is performed based on the image of the object W1 captured by the camera 301.

搬送装置２００は、カメラ３０１の視野領域に物体Ｗ１を移動する。カメラ３０１は、搬送装置２００により視野領域に配置された物体Ｗ１の画像を取得する。 The transport apparatus 200 moves the object W1 to the field of view of the camera 301. The camera 301 acquires an image of the object W <b> 1 disposed in the visual field area by the conveyance device 200.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ１をカメラ３０１の視野領域に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、検査装置３００の検査精度の低下が抑制される。また、検査装置３００の性能の低下が実現される。 According to the present embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W1 to the field of view of the camera 301 with high positioning accuracy. Therefore, the fall of the test | inspection precision of the test | inspection apparatus 300 is suppressed. In addition, the performance of the inspection apparatus 300 is reduced.

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 Third Embodiment
A third embodiment will be described. In the following description, the component parts identical or equivalent to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図１１は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える工作機械４００の一例を示す図である。工作機械４００は、加工対象の物体Ｗ２を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ２を加工する加工部４０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、ダイレクトドライブモータ１の作動により物体Ｗ２を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１は、工作機械４００のベース部材４０２に接続される。 FIG. 11 is a view showing an example of a machine tool 400 provided with the direct drive motor 1 described in the above embodiment. The machine tool 400 includes a transport device 200 that transports an object W2 to be processed, and a processing unit 401 that processes the object W2. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1 and a transport unit (table) 201 that transports an object W2 by the operation of the direct drive motor 1. The direct drive motor 1 is connected to the base member 402 of the machine tool 400.

テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１のロータ２２と接続される。物体Ｗ２は、テーブル２０１に支持される。テーブル２０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により回転する。テーブル２０１が回転することにより、そのテーブル２０１に支持されている物体Ｗ２は移動する。 The table 201 is connected to the rotor 22 of the direct drive motor 1. The object W2 is supported by the table 201. The table 201 is rotated by the operation of the direct drive motor 1. As the table 201 rotates, the object W2 supported by the table 201 moves.

加工部４０１は、ダイレクトドライブモータ１の作動により移動する物体Ｗ２を加工する。本実施形態において、加工部４０１は、テーブル２０１に支持された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載するロボットアームを含む。 The processing unit 401 processes the object W2 that is moved by the operation of the direct drive motor 1. In the present embodiment, the processing unit 401 includes a robot arm that mounts the component B on the object W2 supported by the table 201.

搬送装置２００は、ロボットアーム４０１の可動範囲に物体Ｗ２を移動する。ロボットアーム４０１は、搬送装置２００により可動範囲に配置された物体Ｗ２に部品Ｂを搭載する。 The transport apparatus 200 moves the object W2 to the movable range of the robot arm 401. The robot arm 401 mounts the component B on the object W2 disposed in the movable range by the transfer device 200.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ２をロボットアーム４０１の可動範囲に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、工作機械４００の加工精度の低下が抑制される。また、工作機械４００の性能の低下が実現される。 According to the present embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W2 within the movable range of the robot arm 401 with high positioning accuracy. Therefore, the reduction in the processing accuracy of the machine tool 400 is suppressed. In addition, the performance of the machine tool 400 is reduced.

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。 Fourth Embodiment
A fourth embodiment will be described. In the following description, the component parts identical or equivalent to those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図１２は、上述の実施形態で説明したダイレクトドライブモータ１を備える半導体製造装置５００の一例を示す図である。半導体製造装置５００は、処理対象の物体Ｗ３を搬送する搬送装置２００と、物体Ｗ３を処理する処理部５０１とを備えている。搬送装置２００は、ダイレクトドライブモータ１と、物体Ｗ３を搬送する搬送部（テーブル）２０１とを備えている。ダイレクトドライブモータ１は、半導体製造装置５００のベース部材５０２に接続される。 FIG. 12 is a view showing an example of a semiconductor manufacturing apparatus 500 provided with the direct drive motor 1 described in the above embodiment. The semiconductor manufacturing apparatus 500 includes a transport apparatus 200 that transports an object W3 to be processed, and a processing unit 501 that processes the object W3. The transport apparatus 200 includes a direct drive motor 1 and a transport unit (table) 201 that transports an object W3. The direct drive motor 1 is connected to the base member 502 of the semiconductor manufacturing apparatus 500.

半導体製造装置５００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置である。半導体製造装置５００は、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための物体である。 The semiconductor manufacturing apparatus 500 is a semiconductor device manufacturing apparatus capable of manufacturing a semiconductor device. The semiconductor manufacturing apparatus 500 is used in at least a part of a manufacturing process of a semiconductor device. The object W3 is an object for manufacturing a semiconductor device.

本実施形態において、物体Ｗ３は、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｗ３から半導体デバイスが製造される。物体Ｗ３は、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｗ３にデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。 In the present embodiment, the object W3 is a substrate for manufacturing a semiconductor device. A semiconductor device is manufactured from the object W3. The object W3 may include a semiconductor wafer or may include a glass plate. A semiconductor device is manufactured by forming a device pattern (wiring pattern) on the object W3.

半導体製造装置５００は、搬送装置２００により処理位置に配置された物体Ｗ３に対して、処理部５０１を用いて、デバイスパターンを形成するための処理を行う。 The semiconductor manufacturing apparatus 500 performs processing for forming a device pattern on the object W3 disposed at the processing position by the transport apparatus 200 using the processing unit 501.

例えば、半導体製造装置５００が、投影光学系を介してデバイスパターンの像を物体Ｗ３に投影する露光装置を含む場合、処理部５０１は、投影光学系を含み、処理位置は、投影光学系５０１から射出される露光光の照射位置を含む。 For example, when the semiconductor manufacturing apparatus 500 includes an exposure apparatus that projects an image of a device pattern onto the object W3 via the projection optical system, the processing unit 501 includes the projection optical system, and the processing position is from the projection optical system 501. It includes the irradiation position of the exposure light to be emitted.

本実施形態によれば、搬送装置２００は、物体Ｗ３を処理部５０１の処理位置に高い位置決め精度で移動可能である。そのため、半導体製造装置５００の処理精度の低下が抑制される。また、半導体製造装置５００の性能の低下が実現される。 According to the present embodiment, the transport apparatus 200 can move the object W3 to the processing position of the processing unit 501 with high positioning accuracy. Therefore, the decrease in the processing accuracy of the semiconductor manufacturing apparatus 500 is suppressed. In addition, the performance reduction of the semiconductor manufacturing apparatus 500 is realized.

なお、上述の各実施形態においては、ダイレクトドライブモータ１がインナーロータ型であることとした。ダイレクトドライブモータ１は、アウターロータ型でもよい。 In each of the above-described embodiments, the direct drive motor 1 is of the inner rotor type. The direct drive motor 1 may be an outer rotor type.

１ダイレクトドライブモータ
２モータ部
３回転検出器
４ハウジング
５軸受
５Ａ内輪
５Ｂ外輪
５Ｃ転動体
６第１カバー部材
８第２カバー部材
９制御装置
１０リード線
２１ステータ
２２ロータ
２３ティース
２４ヨーク
２５ステータコア
２６コイル
２７スロット
２８ボビン
３０コネクタ
３１電力供給部
３２中性点
４１第１ハウジング
４２第２ハウジング
２００搬送装置
２５１内周コア
２５２外周コア
３００検査装置
３０１検査部
４００工作機械
４０１加工部
５００半導体製造装置
５０１処理部
ＡＸ回転軸 Reference Signs List 1 direct drive motor 2 motor unit 3 rotation detector 4 housing 5 bearing 5A inner ring 5B outer ring 5C rolling element 6 first cover member 8 second cover member 9 control device 10 lead wire 21 stator 22 rotor 23 teeth 23 yoke 24 stator core 26 coil 27 slot 28 bobbin 30 connector 31 power supply unit 32 neutral point 41 first housing 42 second housing 200 conveying device 251 inner peripheral core 252 outer peripheral core 300 inspection device 301 inspection unit 400 machine tool 401 processing unit 500 semiconductor manufacturing device 501 processing Part AX rotation axis

Claims

A direct drive motor operated by three-phase alternating current,
A stator core having a plurality of teeth, a plurality of first phase coils concentratedly wound and supported by the teeth, a plurality of second phase coils centrally wound and supported by the teeth, and centrally wound supported by the teeth A stator having a plurality of third phase coils;
A rotor rotatable about a rotation axis with respect to the stator;
A first lead wire connected to a power supply unit via a connector for supplying power to the first phase coil;
A second lead wire connected to the power supply unit via the connector for supplying power to the second phase coil;
A third lead wire connected to the power supply unit via the connector for supplying power to the third phase coil;
Equipped with
One end of the plurality of first phase coils connected in series, one end of the plurality of second phase coils connected in series, and one end of the plurality of third phase coils connected in series are star connected And
The first lead wire is electrically connected to the other end of the plurality of first phase coils connected in series;
The second lead wire is electrically connected to the other end of the plurality of second phase coils connected in series;
The third lead wire is electrically connected to the other end of the plurality of third phase coils connected in series;
The first lead wire does not overlap the second lead wire and the third lead wire , and one or more of the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil. Pass over the coil and pull out to the connector,
The second lead wire does not overlap with the first lead wire and the third lead wire , and one or more coils of the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil. Through the top and pulled out to the connector,
The third lead wire does not overlap the first lead wire and the second lead wire, and one or more of the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil may be used. Pass over the coil and pull out to the connector,
The second lead wire, across the first lead, said the third lead wire is disposed on the opposite side, the first phase coil, the second phase coil, and the third phase coil Each wound on a bobbin,
The bobbin is supported by the teeth,
A direct drive motor except a bus bar which is insert-molded to a resin in the first lead wire, the second lead wire and the third lead wire .

The number of slots between the teeth is even,
The stator, direct drive motor according to claim 1 comprising a fractional-slot winding.

Direct drive motor according to claim 1 comprising a resolver absolute method of detecting the rotation of the pre-Symbol rotor.

A direct drive motor according to any one of claims 1 to 3 ;
A transport unit that transports an object by the operation of the direct drive motor;
A transport device comprising:

A direct drive motor according to any one of claims 1 to 3 ;
An inspection unit which inspects a moving object by operation of the direct drive motor;
Inspection device provided with

A direct drive motor according to any one of claims 1 to 3 ;
A processing unit for processing an object to be moved by the operation of the direct drive motor;
Machine tool equipped with

A direct drive motor according to any one of claims 1 to 3 ;
A processing unit that processes an object that is moved by the operation of the direct drive motor;
Semiconductor manufacturing apparatus provided with