JP6360674B2 - ハンダ内のボイドの評価装置及びハンダ内のボイドの評価方法 - Google Patents
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Description
まず、1つの問題点は、ソルダーボールの信頼性を表す指標として、ボイド数とソルダーボールに対するボイドの面積割合のみを用いることである。確かにボイド数が多くなるとBGAの接続不良を招き、ボイドの面積割合が増えた場合にもBGAの接続不良を招くので、これらは評価の指標となり得る。しかし、本発明者は、ボイド数とソルダーボールに対するボイドの面積割合のみを評価の指標とすることは不十分であり、BGAにおいては、むしろボイドがどのような位置に存在するかがより重要であることを見出した。具体的には、本発明者は、ボイドがソルダーボールの中央に位置するほど接合強度への影響が大きいことを見出した。
i:ピクセル番号(1〜N)
pi:ピクセル値(0又は1)
w(ri):重み関数
各ハンダについて、前記評価関数が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価するボイド評価部と、
を備える。
i:ピクセル番号(1〜N)
pi:ピクセル値(0又は1)
w(ri):重み関数
各ハンダについて、前記評価関数の値が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価するステップと、
を含む。
前記各ハンダ内の画像からボイド部分を検出するステップと、
をさらに含んでもよい。
図1は、実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価装置の機能的な構成を示すブロック図である。図2は、実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価装置の物理的な構成を示すブロック図である。
このハンダ内のボイドの評価装置10は、機能的な構成として、評価関数算出部13と、ボイド評価部14と、を備える。なお、画像抽出部11と、ボイド検出部12と、を備えてもよい。画像抽出部11は、2次元X線画像から各ハンダ内の画像を抽出する。ボイド検出部12は、各ハンダ内の画像において、ボイドを検出する。評価関数算出部13は、ハンダ内の画像を構成する各ピクセルについて、そのピクセル値と重み関数w(ri)とを用いて、各ハンダ内の評価関数を算出する。ボイド評価部14は、各ハンダについて、評価関数が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価する。
また、このハンダ内のボイドの評価装置10は、物理的な構成として、CPU21、メモリ22、記憶装置23、入出力部24、表示装置25、インタフェース26を備える。つまり、このハンダ内のボイドの評価装置10は、上記機能的構成を実現するソフトウエアを動作させたパーソナルコンピュータによって実現できる。
実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価装置によれば、高速に、且つ、適切にハンダ中のボイドの自動評価を行うことができる。
なお、実際のハンダボールにおけるボイドの影響は、例えば、ハンダ部分の接合強度が低下するため接続不良として現れる。ハンダ内のボイドによって、ハンダにクラックが生じ、接続不良や、ひいては装置全体の動作不良が生じるものと思われる。実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価装置によって、上記ハンダ部分の接続不良の発生を抑制できる。
<画像抽出部>
画像抽出部11は、2次元X線画像から各ハンダ内の画像を抽出する。以下に、この画像抽出部11における動作を図4から図7を用いて説明する。
1)2次元X線画像
図4は、2次元X線画像の一例である。一般的な2次元X線画像は、例えば、0−255階調のビットマップフォーマットを有する。この2次元X線画像において、ハンダボールは、他の基板部材とよく干渉する。例えば、いくつかのジョイントは閉じたハンダボールを生成する。そこで、干渉する背景の様々な種類の部材を扱うために、強力なセグメント抽出アルゴリズムの使用が望まれる。
2)干渉性部材の除去
図5は、図4の2次元X線画像に基づいて基板の干渉性部材の影響を除去した画像である。この場合、強度の適当なしきい値を自動的に設定して、干渉する背景を減らしてもよい。
図6は、図5の画像に基づいてハンダボールに対応する円検出を行った画像である。ハンダボールの可能性のある位置の抽出は、例えば、円検出アルゴリズムであるハフ変換(Hough transform)を用いて行ってもよい。なお、大きい画像又は濃い画像を扱う場合に、ハフ変換を用いたアルゴリズムは非常に遅くなる場合がある。そこで、元の画像に代えてリサイズした画像で円検出を行って、処理量を減らすことによって円の半径値を得てもよい。また、円検出アルゴリズムは、上記ハフ変換に限られず、他のアルゴリズムを用いてもよい。さらに、ハンダの形状がハンダボールのような円ではなく、四角形等の場合には、他の形状マッチングアルゴリズムを用いればよい。
4)各ハンダ内の画像の抽出
図7は、図6の画像に基づいて検出したハンダボールの画像である。ユーザフレンドリーにするため、例えば、ハフ変換において適用されるデフォルトの半径範囲を広げておいてもよい。その結果、各ボール内の強度分布に基づいて、適切でないボール、つまり、ハンダボールでない箇所が排除されると共に、適切なボール、つまりハンダボールと考えられる部分が最終的に選択される。
以上によって、2次元X線画像から各ハンダ内の画像を得ることができる。
ボイド検出部12は、各ハンダ内の画像において、ボイドを検出する。以下に、このボイド検出部12の動作について、図8から図17を用いて説明する。
1)元の画像の強度分布とターゲットヒストグラム
図8は、1つのハンダ内の画像である。図9は、図8の画像について、強度のヒストグラムと、ターゲットヒストグラムとを示すグラフである。
1つのハンダ内の画像中でハンダボール内にボイドが明るく見えたとしても、実際には様々な因子のためにこれらのボイドを検出することは困難であった。例えば、悪い画像コントラスト、ボイドが重なったことによってできる不規則な形状、様々なボイドの大きさ/位置及び他の部材の影響などが因子として挙げられる。図9では、元のハンダ内の画像の強度のヒストグラムに加えて、ターゲットヒストグラムを示している。
2)マッチングヒストグラム等化法を用いた全体的な画像コントラストの強化
図10は、図8の画像について、マッチングヒストグラム等化法を用いて全体的な画像コントラストを強化して得られた画像である。図11は、図10の画像について、強度のヒストグラムと、ターゲットヒストグラムとを示すグラフである。
画像コントラストの品質は、様々なデータ取得の設定に応じて変化する。そのため、まず、入力強度の変換によって、全体的な画像コントラストを強化して、出力強度のヒストグラムをよりよいコントラストを有する所望のターゲットヒストグラムにマッチングさせることができる。
図12は、図10の画像について、適用可能なヒストグラム等化法を用いたローカルコントラストを強化して得られた画像である。図13は、図12の画像について、強度を深さとし、立体的に示す画像である。
元の2次元X線画像の画像コントラストがよくない場合、画像のスムージングの後、コントラスト限定適用ヒストグラム等化法(CLAHE:Contrast Limited Adaptive Histogram Equalization)によって、局所領域のローカルコントラストを向上させてもよい。なお、この場合には、ノイズの増幅を避けるために、コントラストレベルを制御する必要がある。
図14は、連結されたボイドが誤って1つの連結されたボイドとして検出された場合の画像である。図15は、図14の画像について、ウオータシェディング(Water shedding)アルゴリズムの適用によって発見した、連続するボイドを分離する境界を示す概略図である。
各ボイドの境界は、適切なサイズのエッジ検出アルゴリズム(ガウシアンフィルタのラプラシアン:Laplacian of Gaussian filter)を適用することによって効果的に決定すればよい。ときには連続的なボイドが誤って1つの連結されたボイドとして検出されることがある。そこで、ウオータシェディング(Water shedding)アルゴリズムを適用して連続するボイドを分離する境界を見つけることができる。なお、エッジ検出アルゴリズムは、上記ウオータシェディングアルゴリズムに限られず、他のアルゴリズムを用いてもよい。
図16は、図15の画像について、ボイドの部分のみを抽出して連結されたボイドを境界によって分離した図である。図17は、図15の画像について、図16で分離されたボイドを反映させた画像である。
図16では、2次元X線画像について、適切な閾値を設定して二値化し、そのバイナリイメージに含まれる位相幾何学的情報であるベッチ数(Betti numbers)を用いてボイドの検出を行っている。最後に、ボイドの正確な数と面積とを得るために、形態学的な操作を行って連結された箇所を除去し、連結されたボイドを完全に分離する。
以上によって、各ハンダ内のボイドの部分を検出できる。
評価関数算出部13は、各ハンダ内の画像を構成する各ピクセルについて、ボイドに含まれるピクセル値piを1とし、ボイドに含まれないピクセル値piを0とし、ハンダの中心からの距離riについて、ハンダの中心(ri=0)で最大となり、最大半径(ri=r0)で0となる重み関数w(ri)を用いて、ハンダの評価関数を算出する。
この場合、その評価関数は、以下の通りである。
i:ピクセル番号(1〜N)
ri:i番目のピクセルのハンダ中心からの距離
pi:i番目のピクセルのピクセル値(0又は1)
w(ri):重み関数
また、上記ピクセルごとの場合と異なり、ボイドごとに評価を行ってもよい。この場合、各ボイドの面積Sjについて評価を行ってもよい。これは、ボイドの中心にSj個のピクセルが集まっていると仮定して計算してもよい。
この場合、評価関数は、以下の式(3)のようになる。
j:ボイドの番号(1〜M)
rj:j番目のボイドの中心のピクセル
Sj:j番目のボイドの面積、ここではボイドに含まれるピクセルの数として表す。
ここでは、分子において、ボイドに含まれるピクセルについては個々のピクセルではなく、j番目のボイドの中心についてボイドの面積Sjについて処理する。この場合、ボイドに含まれないピクセルについては、上記と同様に面積0として処理するので分子には表れない。一方、分母では、上記式(2)と同様に全てのピクセルについての式となる。一定の大きさのハンダボールを扱う場合には、分母を定数として扱ってもよい。
なお、各ボイドの面積Sjではなく、各ボイドの体積Vjについて評価を行ってもよい。この場合には、評価関数は以下の通りとなる。
j:ボイドの番号(1〜M)
rj:j番目のボイドの中心のピクセル
Vj:j番目のボイドの体積(=4Sj(Sj/π)0.5/3)、Sjは上記のボイドの面積であり、ボイドに含まれるピクセルの数として表す。
なお、ボイドの体積Vj自体を実際に見積もることは困難な場合があるので、面積Sjを用いて表してもよい。
ボイド評価部14は、各ハンダについて、評価関数が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価する。
図18は、2次元X線画像に含まれる複数のハンダボールについて、各ハンダボール内のボイドを示す画像の一例である。図19は、相対的に影響の大きいボイドのみを示すように設定を行って得られた画像の一例である。図18及び図19は、それぞれ2次元X線画像に含まれる複数のハンダボール内の画像である。各ハンダ内には、検出されたボイドが示されている。
従来、例えば、ハンダ内におけるボイドが及ぼす影響の重大性の指標として、ボイドの数、ボイドの面積とハンダボールの面積との比を用いていた。
これに対して、実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価装置によれば、影響の大きいボイドを考慮する重み関数を用いた評価関数を算出することによって、従来方法と比べて、各ハンダ内においてボイドの影響を高速に、且つ、的確に評価することができる。
この実施の形態1に係るボイドの評価方法では、ボイドのBGA中心からの距離riについての重み関数w(ri)によって重み付けした評価関数によって、ハンダ内のボイドの評価を行うことを特徴とする。
図3は、実施の形態1に係るハンダ内のボイドの評価方法のフローチャートである。このハンダ内のボイドの評価方法は、以下のステップを含む。
(a)2次元X線画像から各ハンダ内の画像を抽出する(S01)。
(b)各ハンダ内の画像について、ボイドを検出する(S02)。
(c)各ハンダ内の画像を構成する各ピクセルについて、ボイドに含まれるピクセル値を1とし、ボイドに含まれないピクセル値を0とし、ハンダの中心からの距離riについて、各ハンダの中心(ri=0)で最大となり、最大半径(ri=r0)で0となる重み関数w(ri)を用いて、評価関数を算出する(S03)。
評価関数としては、例えば、以下の式で表される。
i:ピクセル番号(1〜N)
ri:i番目のピクセルのハンダ中心からの距離
pi:i番目のピクセルのピクセル値(0又は1)
w(ri):重み関数
(d)各ハンダについて、評価関数の値が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価する(S04)。
以上によって、各ハンダ内のボイドを高速に、且つ、適切に自動評価できる。
(効果)
本発明に係るハンダ内のボイドの評価方法によれば、ハンダ中のボイドを、高速に、且つ、適切に自動評価を行うことができる。
上記ハンダ内のボイドの評価方法の各ステップをコンピュータに実行させて、ハンダ内のボイドの評価を行うための、ハンダ内ボイド評価用コンピュータプログラムとすることができる。また、このハンダ内ボイド評価用コンピュータプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納してもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体は、例えば、フレキシブルディスク、磁気テープ等の磁気記録媒体、コンパクトディスク(CD)、デジタル・バーサタイル・ディスク(DVD)、ブルーレイ(登録商標)ディスク(BD)等の光記録媒体、光磁気記録媒体、USBメモリ、フラッシュメモリ等の半導体記憶媒体等のいずれであってもよい。
11 画像抽出部
12 ボイド検出部
13 評価関数算出部
14 ボイド評価部
21 CPU
22 メモリ
23 記憶装置
24 入出力部
25 表示装置
26 インタフェース
Claims (4)
- 2次元X線画像から各ハンダ内の画像を抽出する画像抽出部と、
前記ハンダ内の画像について、ボイドを検出するボイド検出部と、
前記ハンダ内の画像に含まれる各ボイドについて、ハンダの中心からの距離r j について、ハンダの中心(r j =0)で最大となり、最大半径(r j =r0)で0となるj番目のボイドについての重み関数(r 0 −r j )V j を用いて、下記のハンダの評価関数を算出する評価関数算出部と、
i:ピクセル番号(1〜N)
j:ボイドの番号(1〜M)
rj:j番目のボイドの中心のピクセル
V j :j番目のボイドの体積
各ハンダについて、前記評価関数が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価するボイド評価部と、
を備えた、ハンダ内のボイドの評価装置。 - 2次元X線画像から各ハンダ内の画像を抽出するステップと、
前記各ハンダ内の画像からボイド部分を検出するステップと、
前記ハンダ内の画像に含まれる各ボイドについて、ハンダの中心からの距離r j について、ハンダの中心(r j =0)で最大となり、最大半径(r j =r0)で0となるj番目のボイドについての重み関数(r 0 −r j )V j を用いて、下記のハンダの評価関数を算出するステップと、
i:ピクセル番号(1〜N)
j:ボイドの番号(1〜M)
rj:j番目のボイドの中心のピクセル
V j :j番目のボイドの体積
各ハンダについて、前記評価関数の値が相対的に大きいほどボイドの影響が大きいと評価するステップと、
を含む、ハンダ内のボイドの評価方法。 - 請求項2に記載のハンダ内のボイドの評価方法の各ステップをコンピュータに実行させて、ハンダ内のボイドの評価を行うための、ハンダ内ボイド評価用コンピュータプログラム。
- 請求項3に記載の前記ハンダ内ボイド評価用コンピュータプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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