JP6357752B2 - Manufacturing method of visual reproduction assist device - Google Patents

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本発明は、患者の体内に埋め込まれるデバイスを有する視覚再生補助装置の製造方法に関する The present invention relates to a method of manufacturing a visual reproduction assisting device having a device implanted in a patient's body.

近年、失われた視覚機能の一部を代行する視覚再生補助装置の研究がなされている。例えば、多数の電極と共に眼等の患者の体内に埋め込まれる電子回路を有し、電極を介して電子回路からの電流を出力して患者の視覚に関わる細胞等を刺激する装置が知られている。この種の装置では、電子回路をケースの中に密封することで、患者の体液から電子回路が保護されるものがある。例えば、特許文献1には、設置台と蓋部とが互いに接合されることによって、設置台と蓋部との間に密封される電子回路についての記載がある。   In recent years, research on a visual reproduction assisting device that performs a part of the lost visual function has been made. For example, an apparatus that has an electronic circuit that is embedded in a patient's body, such as the eye, together with a large number of electrodes, and outputs a current from the electronic circuit through the electrodes to stimulate cells related to the patient's vision is known. . In some devices of this type, the electronic circuit is protected from the patient's body fluid by sealing the electronic circuit in a case. For example, Patent Document 1 describes an electronic circuit that is sealed between an installation table and a lid by joining the installation table and the lid.

特開2008−055000号公報JP 2008-055000 A

ところで、電子回路は、高温に曝されると、熱によって破壊されてしまうおそれがある。このため、ケースに施される密封処理は、電子回路に支障が生じない程度の低い温度で行うことができ、良好な気密性が得られる処理であることが望まれる。   By the way, when an electronic circuit is exposed to high temperatures, it may be destroyed by heat. For this reason, the sealing process applied to the case is desired to be a process that can be performed at a low temperature that does not cause trouble in the electronic circuit and that provides good airtightness.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、患者の体内に埋め込まれるケースに、電子回路良好に密封する方法を提供することを技術課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, in a case embedded in the body of a patient, and an object to provide a way to better seal the electronic circuit.

本発明の視覚再生補助装置の製造方法は、生体適合性を持つ本体部に電子回路が取り付けられる取付ステップと、前記本体部と、前記本体部と接合されることによって前記電子回路の収容空間を形成する蓋部と、を接合し、前記本体部および前記蓋部からなる絶縁性のケースに、前記電子回路を前記収容空間内に密封する接合ステップと、含む視覚再生補助装置の製造方法であって、前記接合ステップよりも前に行われる塗布ステップであって、前記本体部における蓋部との接合面、および、前記蓋部における前記本体部との接合面の少なくとも一方に、1μm以下の平均粒径を持つ所定の金属の金属粉末を塗布する塗布ステップを更に含み、前記接合ステップでは、前記金属粉末がそれぞれの接合面の間に介在された前記本体部と前記蓋部とを、100Mpa以上の圧力で加圧しつつ、80°C以上、300°以下の範囲で加熱することにより、前記金属粉末が焼結によってバルク化されて形成される接合層を介して前記本体部と前記蓋部とを互いに接合する、ことを特徴とする。 According to another aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a visual reproduction assisting device comprising: an attachment step in which an electronic circuit is attached to a body part having biocompatibility; A lid part to be formed, and a joining step of sealing the electronic circuit in the housing space in an insulating case composed of the main body part and the lid part. An average of 1 μm or less on at least one of the bonding surface of the main body portion with the lid portion and the bonding surface of the lid portion with the main body portion. The method further includes an application step of applying a metal powder of a predetermined metal having a particle diameter, wherein the metal powder is interposed between the bonding surfaces in the bonding step. The, while pressing at a pressure greater than or equal to 100 Mpa, 80 ° C or higher, by heating in the range of 300 ° or less, the metal powder and the main body portion via a bonding layer formed by being bulked by sintering The lid portion is joined to each other.

本発明によれば、患者の体内に埋め込まれる電子回路がケース内へ良好に密封され易いという効果がある。   According to the present invention, there is an effect that an electronic circuit embedded in a patient's body is easily sealed well in a case.

本実施形態における視覚再生補助装置の概略を示した図である。It is the figure which showed the outline of the visual reproduction assistance apparatus in this embodiment. 体内装置の構成を示した図である。It is the figure which showed the structure of the intracorporeal device. 刺激制御装置の断面図である。It is sectional drawing of a stimulus control apparatus. 患者眼に対する体内装置の装着態様を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the mounting | wearing aspect of the internal apparatus with respect to a patient's eye.

以下、図面を参照しつつ、本発明の例示的な実施形態を説明する。まず、図1を参照して、視覚再生補助装置1の概略構成を説明する。   Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the schematic configuration of the visual reproduction assisting device 1 will be described with reference to FIG.

本実施形態の視覚再生補助装置1は、患者の視覚に関わる細胞を電気的に刺激することで、患者の視覚の再生を促す。図1に示すように、本実施形態において、視覚再生補助装置1は、体外装置10と、体内装置20と、を有している。体外装置10は、外界の情報を取得する。また、体外装置10は、取得した情報を処理して、体内装置20に信号を送信する。一方、本実施形態の体内装置20は、体外装置10から送られてきた信号に基づいて網膜を構成する細胞に電気的な刺激を与える。   The visual reproduction assisting apparatus 1 of the present embodiment prompts the reproduction of the patient's vision by electrically stimulating the cells related to the patient's vision. As shown in FIG. 1, in this embodiment, the visual reproduction assistance device 1 includes an extracorporeal device 10 and an in-vivo device 20. The extracorporeal device 10 acquires information on the outside world. The extracorporeal device 10 processes the acquired information and transmits a signal to the intracorporeal device 20. On the other hand, the in-vivo device 20 of the present embodiment provides electrical stimulation to the cells constituting the retina based on the signal sent from the extracorporeal device 10.

本実施形態において、体外装置10は、バイザー11と、撮影装置12と、外部デバイス13と、送信部14と、を有している。バイザー11は眼鏡形状をしており、図1に示すように、患者の眼前に装着される。また、撮影装置12は、バイザー11の前面に取り付けられており、患者の前方の被写体を撮影する。撮影装置12には、例えば、CCDカメラを用いることができる。   In the present embodiment, the extracorporeal device 10 includes a visor 11, a photographing device 12, an external device 13, and a transmission unit 14. The visor 11 has a glasses shape, and is mounted in front of the patient's eyes as shown in FIG. The imaging device 12 is attached to the front surface of the visor 11 and images a subject in front of the patient. For the imaging device 12, for example, a CCD camera can be used.

外部デバイス13は、データ変調部13aと、バッテリー13bとを有している。バッテリー13bは、視覚再生補助装置1(体外装置10及び体内装置20)の電力を供給する。データ変調部13aは、CPU等の演算制御装置を有しており、撮影装置12で撮影された被写体像を画像処理して、視覚再生のための制御信号を生成する。また、データ変調部13aは、振幅変調等によって、制御信号を電力の伝送信号に重畳させる。その結果、制御信号と電力の伝送信号とが、電磁波として、送信部14の一次コイルから体内装置20側へ伝送(本実施形態では、無線送信)される。なお、送信部14の中心には、後述の受信ユニット30に対する位置固定用の磁石15が取り付けられている。   The external device 13 includes a data modulation unit 13a and a battery 13b. The battery 13b supplies power for the visual reproduction assisting device 1 (the extracorporeal device 10 and the in-vivo device 20). The data modulation unit 13a has an arithmetic control device such as a CPU, and performs image processing on a subject image photographed by the photographing device 12 to generate a control signal for visual reproduction. The data modulator 13a superimposes the control signal on the power transmission signal by amplitude modulation or the like. As a result, the control signal and the power transmission signal are transmitted as electromagnetic waves from the primary coil of the transmission unit 14 to the in-vivo device 20 side (in this embodiment, wireless transmission). In addition, a magnet 15 for fixing a position with respect to a receiving unit 30 described later is attached to the center of the transmission unit 14.

図2(a)及び(b)に示すように、体内装置20は、受信ユニット30および刺激ユニット40等を有している。受信ユニット30は、体外装置10から送信される電磁波を受信する。受信ユニット30は、受信部31と、制御部(第1体内信号出力デバイス)32と、を有する。本実施形態において、受信部31は、体外装置10からの電磁波を受信する二次コイルを有する。制御部32は、受信部31で受信された電磁波から、制御信号と、電力とを抽出する。制御部32で抽出された電力は、体内装置20の各部に供給される。なお、受信ユニット30にも、送信部14の位置固定のための磁石(図示せず)が設けられている。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the in-vivo device 20 includes a receiving unit 30, a stimulation unit 40, and the like. The receiving unit 30 receives an electromagnetic wave transmitted from the extracorporeal device 10. The reception unit 30 includes a reception unit 31 and a control unit (first in-vivo signal output device) 32. In the present embodiment, the receiving unit 31 includes a secondary coil that receives electromagnetic waves from the extracorporeal device 10. The control unit 32 extracts a control signal and electric power from the electromagnetic wave received by the reception unit 31. The electric power extracted by the control unit 32 is supplied to each unit of the in-vivo device 20. The receiving unit 30 is also provided with a magnet (not shown) for fixing the position of the transmission unit 14.

図2(a)に示すように、受信ユニット30には、帰還電極34が取り付けられている。詳細は後述するが、帰還電極34は、刺激ユニット40と患者眼を挟むようにして取り付けられる。帰還電極34には、刺激ユニット40から出力される電流を導くための電圧が印加される。   As shown in FIG. 2A, a feedback electrode 34 is attached to the receiving unit 30. Although details will be described later, the return electrode 34 is attached so as to sandwich the stimulation unit 40 and the patient's eye. A voltage for guiding the current output from the stimulation unit 40 is applied to the return electrode 34.

図2(a)に示すように、受信ユニット30と、刺激ユニット40とは、リード線35によって接続されている。制御部32は、リード線35を介して、刺激ユニット40へ電力を供給すると共に、制御信号を出力する。   As shown in FIG. 2A, the receiving unit 30 and the stimulation unit 40 are connected by a lead wire 35. The control unit 32 supplies power to the stimulation unit 40 via the lead wire 35 and outputs a control signal.

本実施形態において、刺激ユニット40は、網膜を構成する細胞を電気的に刺激する。刺激ユニット40は、電極部50と、刺激制御部(第2体内信号出力デバイス)60と、を有している。本実施形態において、刺激ユニット40は、眼球に設置される。特に、本実施形態では、刺激ユニット40は、その一部が、層状の眼組織の層間(又は、層内)に設置される。例えば、強膜と脈絡膜との間に設置される。   In the present embodiment, the stimulation unit 40 electrically stimulates cells constituting the retina. The stimulation unit 40 includes an electrode unit 50 and a stimulation control unit (second in-vivo signal output device) 60. In the present embodiment, the stimulation unit 40 is installed on the eyeball. In particular, in this embodiment, a part of the stimulation unit 40 is installed between layers (or within layers) of layered eye tissue. For example, it is installed between the sclera and the choroid.

電極部50は、複数の電極51が基板52上に形成される多電極アレイである。電極51は、格子状の等間隔に、又は、等間隔で互い違いに配列されている。電極51の数は、視覚を再生する際の解像度に応じて決定されればよい。本実施形態では、54個の電極51が基板52上に形成されるものとして説明するが、それ以上、または、それ以下の数の電極51が基板52上に設けられていても良い。電極51は、生体適合性の高い導体で形成される。例えば、金、および白金等の貴金属によって電極51を形成することができる。   The electrode unit 50 is a multi-electrode array in which a plurality of electrodes 51 are formed on a substrate 52. The electrodes 51 are arranged at regular intervals in a grid pattern or alternately at regular intervals. The number of the electrodes 51 should just be determined according to the resolution at the time of visual reproduction. In the present embodiment, 54 electrodes 51 are described as being formed on the substrate 52. However, more or less electrodes 51 may be provided on the substrate 52. The electrode 51 is formed of a highly biocompatible conductor. For example, the electrode 51 can be formed of a noble metal such as gold and platinum.

基板52は、絶縁体で板状に形成されている。基板52は、生体適合性が高い材料で形成されることが好ましい。また、基板52は、眼球の形状に沿うことが好ましい。例えば、基板52は、所要厚で湾曲可能に形成されてもよい。基板52の内部には、複数のリード線52aが設けられている。リード線52aを介して、各々の電極51が、刺激制御部60と電気的に接続される。   The board | substrate 52 is formed in the plate shape with the insulator. The substrate 52 is preferably formed of a material having high biocompatibility. Moreover, it is preferable that the board | substrate 52 follows the shape of an eyeball. For example, the substrate 52 may be formed to be bendable with a required thickness. Inside the substrate 52, a plurality of lead wires 52a are provided. Each electrode 51 is electrically connected to the stimulus control unit 60 via the lead wire 52a.

図2に示すように、本実施形態の刺激制御部60は、電子回路61を有している。本実施形態において、電子回路61は、セラミック基板上に、カスタムIC、コンデンサ、ダイオード等の複数の電子部品を実装する。本実施形態において、電子回路61は、デマルチプレクサであり、後述するリード35を介して制御部32から受け取った制御信号に基づき、電流(本実施形態では、双極性パルス)を各々の電極51に振り分ける。   As shown in FIG. 2, the stimulus control unit 60 of the present embodiment has an electronic circuit 61. In this embodiment, the electronic circuit 61 mounts a plurality of electronic components such as a custom IC, a capacitor, and a diode on a ceramic substrate. In the present embodiment, the electronic circuit 61 is a demultiplexer, and a current (in this embodiment, a bipolar pulse) is supplied to each electrode 51 based on a control signal received from the control unit 32 via a lead 35 described later. Distribute.

また、刺激制御部60は、電子回路61を密封するケース62を有している。ここで、図3を参照して、刺激制御部60の詳細構成を説明する。図3に示すように、刺激制御部60は、電子回路61およびケース62の他、更に、接合層65と、複数の接続端子66とを有する。   The stimulation control unit 60 has a case 62 that seals the electronic circuit 61. Here, the detailed configuration of the stimulus control unit 60 will be described with reference to FIG. As illustrated in FIG. 3, the stimulus control unit 60 includes a bonding layer 65 and a plurality of connection terminals 66 in addition to the electronic circuit 61 and the case 62.

本実施形態において、ケース62は、設置台(本体部)63と、蓋部64とを含む。設置台63の接合面63aと、蓋部64の接合面64aとが接合されることによって、電子回路61の収納空間Cが形成される。設置台63および蓋部64は、いずれも生体適合性を持つ。   In the present embodiment, the case 62 includes an installation base (main body part) 63 and a lid part 64. The storage space C of the electronic circuit 61 is formed by joining the joint surface 63a of the installation base 63 and the joint surface 64a of the lid portion 64. Both the installation base 63 and the lid portion 64 have biocompatibility.

本実施形態において、設置台63上には、電子回路61が取り付けられる。本実施形態において、設置台63には、セラミックの平板が用いられる。設置台63の材質は、セラミックに限定されるものではなく、生体適合性を持つ各種の絶縁体を用いることができる。また、刺激制御部60を体内に長期間設置するため、設置台63には、体内で経年劣化の少ない材質が用いられるとよい。例えば、ガラス、およびサファイア等が上記の条件を満たす。   In the present embodiment, an electronic circuit 61 is attached on the installation base 63. In the present embodiment, a ceramic flat plate is used for the installation base 63. The material of the installation base 63 is not limited to ceramic, and various insulators having biocompatibility can be used. In addition, in order to install the stimulation control unit 60 in the body for a long period of time, it is preferable to use a material with little deterioration over time in the body for the installation base 63. For example, glass, sapphire, etc. satisfy the above conditions.

セラミック表面に生じる凹凸を低減するため、本実施形態では、設置台63の接合面63aが研磨されている。本実施形態の接合面63aには、ラップ処理による研磨の後に、ポリッシュ処理による研磨が行われている。ポリッシュ処理まで行われていると、より好適に接合面63aが平滑化される。なお、電子回路61を密封するうえで求められる精度との関係で、ポリッシュ処理は行われていなくても良い。   In order to reduce unevenness generated on the ceramic surface, in this embodiment, the joint surface 63a of the installation table 63 is polished. The joining surface 63a of this embodiment is polished by a polishing process after being polished by a lapping process. When the polishing process is performed, the joint surface 63a is more preferably smoothed. The polishing process may not be performed in relation to the accuracy required for sealing the electronic circuit 61.

また、本実施形態において、設置台63の接合面63aは、研磨の後にシンター処理(シンタリング)が施されている。ここでいうシンター処理は、設置台63を加熱することによって、設置台63のガラス質を接合面63aの表面側に移動させる熱処理である。設置台63にシンター処理が施されることで、研磨だけでは取り除けない、設置面63の微細な凹み(ボイド)がガラス質で充填される。その結果、接合面63aがいっそう平滑化される。なお、シンター処理では、設置台63が、例えば1000℃程度に加熱される。このため、本実施形態において、接合面63aの研磨およびシンター処理は、設置台63に電子回路61が取り付けられる前に行われる。   In the present embodiment, the joining surface 63a of the installation base 63 is subjected to sintering (sintering) after polishing. The sintering process here is a heat treatment for moving the glass of the installation table 63 to the surface side of the bonding surface 63a by heating the installation table 63. By performing the sintering process on the installation table 63, fine cavities (voids) on the installation surface 63, which cannot be removed only by polishing, are filled with glass. As a result, the joint surface 63a is further smoothed. In the sintering process, the installation base 63 is heated to about 1000 ° C., for example. For this reason, in this embodiment, the grinding | polishing and sintering process of the joint surface 63a are performed before the electronic circuit 61 is attached to the installation base 63. FIG.

また、設置台63の接合面63aには、メタライズ処理によって、金属薄膜(金属層、本実施形態では、金(Au)の薄膜)が形成されている。後述するように、本実施形態の接合層65は金属によって形成されるので、金属薄膜を介在させることで、非金属である設置台63と金属の接合層65との接合強度が確保されると共に、両者の界面における気密性を高めることができる。本実施形態において、金属薄膜は、シンター処理後の設置台63に対して、真空蒸着法、スパッタ法、又は活性金属法等、周知のメタライズ処理によって形成される。   Further, a metal thin film (metal layer, in this embodiment, a thin film of gold (Au)) is formed on the joint surface 63a of the installation base 63 by metallization. As will be described later, since the bonding layer 65 of this embodiment is formed of metal, the bonding strength between the non-metal mounting base 63 and the metal bonding layer 65 is ensured by interposing a metal thin film. The airtightness at the interface between the two can be improved. In the present embodiment, the metal thin film is formed by a well-known metallization process such as a vacuum deposition method, a sputtering method, or an active metal method on the setting table 63 after the sintering process.

また、図3に示すように、設置台63には、電子回路61の取り付け面から反対の面に貫通して、複数の接続端子66が設けられている。一部の接続端子66は、基板52内のリード線52aを介して、電極51と各々独立に接続される。残りの接続端子66は、リード線35を介して、制御部32と接続される。このような接続端子66によって、電子回路61はケース62に封入された状態で、外部のデバイスと接続される。   Further, as shown in FIG. 3, the installation base 63 is provided with a plurality of connection terminals 66 penetrating from the mounting surface of the electronic circuit 61 to the opposite surface. Some of the connection terminals 66 are independently connected to the electrode 51 via lead wires 52 a in the substrate 52. The remaining connection terminals 66 are connected to the control unit 32 via the lead wires 35. With such connection terminals 66, the electronic circuit 61 is connected to an external device in a state of being enclosed in the case 62.

本実施形態において、接続端子66は、白金(Pt)で形成される。接続端子66は、白金以外の生体適合性を持つ導体(例えば、金等の貴金属)で形成されてもよいが、生体内で電気分解され難い白金が特に好ましい。なお、接続端子66は、設置台63を貫く導電性ビア部分66bと、ケース62の外側に露出する端子部分66aとを有しているが、このうち、生体に触れ得る端子部分66aだけが白金で形成されていてもよい。   In the present embodiment, the connection terminal 66 is made of platinum (Pt). The connection terminal 66 may be formed of a biocompatible conductor other than platinum (for example, a noble metal such as gold), but platinum that is not easily electrolyzed in vivo is particularly preferable. The connection terminal 66 has a conductive via portion 66b that penetrates the installation base 63 and a terminal portion 66a that is exposed to the outside of the case 62. Of these, only the terminal portion 66a that can touch the living body is platinum. May be formed.

本実施形態において、蓋部64には、電子回路61を収納するための窪み64bが形成されている。蓋部64は、電子回路61を覆うようにして設置台63と接合される。蓋部64は、ガラス、サファイア、又は、所定のセラミック等の生体適合性を持ち、体内での経年劣化が少ない材質によって形成されることが好ましい。本実施形態の蓋部64には、ガラスが用いられている。   In the present embodiment, the lid portion 64 is formed with a recess 64 b for accommodating the electronic circuit 61. The lid portion 64 is joined to the installation base 63 so as to cover the electronic circuit 61. The lid portion 64 is preferably formed of a material having biocompatibility such as glass, sapphire, or a predetermined ceramic and having little aging deterioration in the body. Glass is used for the lid portion 64 of the present embodiment.

蓋部64の接合面64aにも、金属の接合層65との接合強度、および気密性を確保するため、設置台63の接合面63aと同様の金属薄膜が形成されている。   A metal thin film similar to the bonding surface 63a of the installation base 63 is also formed on the bonding surface 64a of the lid portion 64 in order to ensure bonding strength with the metal bonding layer 65 and airtightness.

次に、接合層65について説明する。接合層65は、設置台63と蓋部64との接合処理によって形成される。この接合処理は、設置台63の接合面63aと蓋部64の接合面64aとの間に1μm以下の平均粒径を持つ所定の金属の金属粉末(金属粉末の焼結体)を介在させ、その金属粉末が加熱されることによって行われる。   Next, the bonding layer 65 will be described. The bonding layer 65 is formed by a bonding process between the installation base 63 and the lid portion 64. In this bonding process, a metal powder of a predetermined metal having an average particle diameter of 1 μm or less (a sintered body of metal powder) is interposed between the bonding surface 63a of the installation table 63 and the bonding surface 64a of the lid portion 64, This is done by heating the metal powder.

金属粉末は、事前に、設置台63の接合面63a、および、蓋部64の接合面64aの少なくとも一方に塗布される。金属粉末の塗布は、金属粉末と有機溶剤等との混合体(金属ペースト)を、接合面63a,64aに塗布することによって行われてもよい。接合面63a,64aに塗布される金属粉末には、生体適合性を持つ金属を用いることができる。本実施形態では、金(Au)の金属粉末が用いられる。また、接合面63a,64aに塗布される金属粉末は、平均粒径が1μm以下のものを用いることができる。本実施形態では、0.3μm以上、且つ、0.5μm以下の平均粒径を持つ金の金属粉末が用いられる。なお、本実施形態における平均粒径は、光透過式遠心沈降法によって得られる金属粒子の粒度分布に基づいて得ることができる。平均粒径には、例えば、粒度分布の積算値の50パーセントでの粒径が用いられてもよい。   The metal powder is applied in advance to at least one of the joint surface 63a of the installation base 63 and the joint surface 64a of the lid portion 64. Application | coating of metal powder may be performed by apply | coating the mixture (metal paste) of metal powder, an organic solvent, etc. to joining surface 63a, 64a. A metal having biocompatibility can be used as the metal powder applied to the joining surfaces 63a and 64a. In the present embodiment, gold (Au) metal powder is used. The metal powder applied to the joining surfaces 63a and 64a can be one having an average particle size of 1 μm or less. In the present embodiment, a gold metal powder having an average particle diameter of 0.3 μm or more and 0.5 μm or less is used. In addition, the average particle diameter in this embodiment can be obtained based on the particle size distribution of the metal particles obtained by the light transmission centrifugal sedimentation method. As the average particle size, for example, the particle size at 50 percent of the integrated value of the particle size distribution may be used.

金属粉末の材料となる所定の金属は、必ずしも金に限定されるものではない。所定の金属は、生体適合性を持ち、且つ、平均粒径1μm以下の粉末から焼結体を形成したときに、金属のバルク体の融点以下の温度(例えば、300℃以下)で加熱しつつ、加圧することによって、焼結による緻密化(バルク化)が進行する金属であればよい。例えば、金属粉末の粒径を適宜調節することにより、金、銀、プラチナ、パラジウム等の貴金属が用いられてもよい。なお、金属粉末は、上記の条件に該当する2種類以上の金属の混合粉末であってもよい。   The predetermined metal used as the material of the metal powder is not necessarily limited to gold. The predetermined metal has biocompatibility and is heated at a temperature not higher than the melting point of the metal bulk body (for example, 300 ° C. or lower) when a sintered body is formed from a powder having an average particle diameter of 1 μm or less. Any metal may be used as long as it is pressed and densified (bulked) by sintering. For example, noble metals such as gold, silver, platinum, and palladium may be used by appropriately adjusting the particle size of the metal powder. The metal powder may be a mixed powder of two or more kinds of metals that meet the above conditions.

本実施形態では、蓋部64の接合面64aに対して金属粉末が塗布される。その後、電気炉等を用いて所定の温度で、一定時間、蓋部64が加熱される。これにより、金属粉末同士が互いの接触部分で溶融して適度に結合され、金属粉末の焼結体が形成される。なお、焼結時の加熱温度は、80℃〜300℃とするのが好ましい。80℃未満では、金属粒子の点接触が生じ難く、適正な焼結体が得られないからである。一方、300℃を超える温度で加熱すると、金属粒子同士が強固に結合しすぎてしまい、その後の処理で、蓋部64が設置台63側と接合し難くなってしまう。なお、金属ペーストを蓋部64に塗布した場合は、焼結体の形成後、蓋部64を乾燥させて、残存する有機溶剤を除去する工程が行われるとよい。   In the present embodiment, metal powder is applied to the joint surface 64 a of the lid portion 64. Thereafter, the lid 64 is heated at a predetermined temperature using an electric furnace or the like for a predetermined time. Thereby, metal powders fuse | melt at a mutual contact part, are couple | bonded moderately, and the sintered compact of metal powder is formed. In addition, it is preferable that the heating temperature at the time of sintering shall be 80 to 300 degreeC. If it is less than 80 ° C., point contact of metal particles hardly occurs, and an appropriate sintered body cannot be obtained. On the other hand, when heated at a temperature exceeding 300 ° C., the metal particles are excessively bonded to each other, and the lid 64 is difficult to be joined to the installation base 63 side in the subsequent processing. In addition, when apply | coating a metal paste to the cover part 64, after forming a sintered compact, the process of drying the cover part 64 and removing the remaining organic solvent is good.

次に、電子回路61が取り付けられた設置台63が蓋部64と重ね合わせられたうえで、焼結体が加熱されつつ加圧される。焼結体を構成する金属粉末は、塑性変形しつつ結合し、設置台63と蓋部64とを接合する接合層65が形成される。その結果、ケース62の収納空間Cに、電子回路61が密封される。このとき、80℃〜300℃程度の温度で焼結体が加熱された場合に、良好な接合層65が得られやすい。80℃未満では、接合が得られ難く、300℃以上では、冷却時に接合層65が熱歪の影響を受けやすいからである。また、本実施形態では、加熱時に100Mpa以上の圧力を加えることによって、焼結体の緻密化を良好に進めることができる。焼結体に加える圧力が高いほど接合層65を良好に得ることができるが、約200Mpaよりも高い圧力では、加圧による効果は一定になる。焼結体への加熱および加圧によって得られる接合層65は、高純度の金属のバルク体である。それ故、接合層65は、高温で(金属の融点付近まで)加熱しない限り、再溶融することはない。よって、上記の方法で設置台63と蓋部64とが接合された場合、ケース62内の気密性が保持されやすい。このように、電子回路61は、気密性の高いケース62に収納される。なお、本発明者が行ったヘリウムリーク試験においては、本実施形態のケース62と同様の構成を有するサンプルが、1.0×10−13Pa・m/S以下の高い気密性能を示す場合もあった。 Next, after the installation base 63 to which the electronic circuit 61 is attached is overlapped with the lid portion 64, the sintered body is pressurized while being heated. The metal powder constituting the sintered body is bonded while being plastically deformed, and a joining layer 65 for joining the installation base 63 and the lid portion 64 is formed. As a result, the electronic circuit 61 is sealed in the storage space C of the case 62. At this time, when the sintered body is heated at a temperature of about 80 ° C. to 300 ° C., a good bonding layer 65 is easily obtained. If the temperature is lower than 80 ° C., bonding is difficult to obtain, and if it is 300 ° C. or higher, the bonding layer 65 is easily affected by thermal strain during cooling. Moreover, in this embodiment, densification of a sintered compact can be favorably advanced by applying a pressure of 100 Mpa or more during heating. The higher the pressure applied to the sintered body, the better the bonding layer 65 can be obtained. However, at a pressure higher than about 200 Mpa, the effect of pressurization becomes constant. The bonding layer 65 obtained by heating and pressing the sintered body is a bulk body of high-purity metal. Therefore, unless the bonding layer 65 is heated at a high temperature (to the vicinity of the melting point of the metal), it does not remelt. Therefore, when the installation base 63 and the lid part 64 are joined by the above method, the airtightness in the case 62 is easily maintained. Thus, the electronic circuit 61 is accommodated in the case 62 with high airtightness. In the helium leak test conducted by the present inventor, a sample having the same configuration as the case 62 of the present embodiment exhibits a high airtight performance of 1.0 × 10 −13 Pa · m 3 / S or less. There was also.

ところで、接合時の加熱温度は、電子回路61の耐熱温度に対して十分低く設定することが好ましい。接合時の加熱温度が低いほど、接合時の熱の影響で電子回路61が破壊されてしまう可能性を低減できるからである。   By the way, it is preferable that the heating temperature at the time of bonding is set sufficiently lower than the heat resistance temperature of the electronic circuit 61. This is because the lower the heating temperature at the time of bonding, the lower the possibility that the electronic circuit 61 will be destroyed due to the influence of heat at the time of bonding.

図4を参照して、眼内装置20の患者眼への取り付け態様を例示する。眼内装置20は、図4に示すように、脈絡膜E2上に電極51を設置して、網膜E1を構成する細胞を刺激することができる。この場合、電極51が形成された基板52の先端部が、強膜E3の一部を切開することで作製されたポケットに差し込まれることで、刺激ユニット40が患者眼に設置される。帰還電極34は、前眼部寄りの位置に置かれる。よって、網膜E1は電極51と帰還電極34との間に位置することとなる。帰還電極34に電圧を印加しつつ、刺激制御部60からの電流が電極51を介して出力されることで、刺激電流を効率的に網膜に貫通させて、網膜に電気的な刺激を好適に与えることができる。   With reference to FIG. 4, the attachment aspect to the patient's eye of the intraocular apparatus 20 is illustrated. As shown in FIG. 4, the intraocular device 20 can stimulate the cells constituting the retina E1 by installing the electrode 51 on the choroid E2. In this case, the stimulation unit 40 is placed on the patient's eye by inserting the distal end portion of the substrate 52 on which the electrode 51 is formed into a pocket created by cutting a part of the sclera E3. The return electrode 34 is placed at a position closer to the anterior segment. Therefore, the retina E1 is located between the electrode 51 and the return electrode 34. While applying a voltage to the feedback electrode 34, the current from the stimulation control unit 60 is output via the electrode 51, so that the stimulation current efficiently penetrates the retina, and electrical stimulation is suitably applied to the retina. Can be given.

以上説明したように、本実施形態の視覚再生補助装置1によれば、電子回路61は、設置台63と蓋部64との接合によって形成されるケース62の収納空間Cに密封されている。ここで、設置台63と蓋部64とは、互いの接合面63a,64aの間に介在させた1μm以下の平均粒径を持つ所定の金属の金属粉末(本実施形態では、金の粉末)を焼結によってバルク化して形成される接合層65によって接合されている。前述したように、接合層65の形成は、金属のバルク体の融点温度よりも十分に低い温度下で行われ得る。このため、例えば、電子回路61が密封の際に熱によって破壊されてしまうことが抑制される。また、電子回路61を封入するケース62の大きさは、ケース62の接合時にケース62から電子回路61に伝わる熱量が大きいほど、大きなマージンを持たせる必要があると考えられる。前述のように、本実施形態の視覚再生補助装置1では、ケース62の接合が低温下で行われてもよい。このため、例えば、小型のケース62でも、電子回路61が良好に密封され易い。   As described above, according to the visual reproduction assistance device 1 of the present embodiment, the electronic circuit 61 is sealed in the storage space C of the case 62 formed by joining the installation base 63 and the lid portion 64. Here, the installation base 63 and the lid portion 64 are metal powders of a predetermined metal having an average particle diameter of 1 μm or less interposed between the joint surfaces 63a and 64a (in this embodiment, gold powder). Are bonded together by a bonding layer 65 formed by sintering. As described above, the bonding layer 65 can be formed at a temperature sufficiently lower than the melting point temperature of the metal bulk body. For this reason, for example, the electronic circuit 61 is prevented from being destroyed by heat during sealing. The size of the case 62 enclosing the electronic circuit 61 is considered to require a larger margin as the amount of heat transferred from the case 62 to the electronic circuit 61 when the case 62 is joined. As described above, in the visual reproduction assistance device 1 of the present embodiment, the case 62 may be joined at a low temperature. For this reason, for example, even in the small case 62, the electronic circuit 61 is easily sealed well.

特に、視覚再生補助装置1は、電子回路61の気密性が高く、ケース内に水(水蒸気)が侵入しにくいので、電子回路61は水分によって劣化し難い。それ故、体内に電子回路61(刺激ユニット50)を埋め込んだ状態で、電子回路61が長期間安定に動作しやすい。   In particular, the visual reproduction assisting device 1 has a high airtightness of the electronic circuit 61, and water (water vapor) hardly enters the case, so that the electronic circuit 61 is hardly deteriorated by moisture. Therefore, the electronic circuit 61 tends to operate stably for a long period of time with the electronic circuit 61 (stimulation unit 50) embedded in the body.

また、本実施形態の視覚再生補助装置1によれば、セラミック素材の設置台63の接合面63aには、シンター処理が施されている。シンター処理によって接合面63aの表面が平滑化されるので、金属粉末(金属粉末の焼結体)を用いた接合処理の際に、接合層65と接合面63aとの間に隙間が生じ難い。よって、視覚再生補助装置1では、良好に電子回路61が密封され易い。   Moreover, according to the visual reproduction auxiliary device 1 of the present embodiment, the sintering process is performed on the joint surface 63a of the ceramic material installation base 63. Since the surface of the joining surface 63a is smoothed by the sintering process, a gap is hardly generated between the joining layer 65 and the joining surface 63a in the joining process using the metal powder (sintered metal powder). Therefore, in the visual reproduction assistance device 1, the electronic circuit 61 is easily sealed well.

更に、本実施形態において、シンター処理は、事前にポリッシュ処理の行われた接合面63aに対して施される。その結果、きわめて平滑な接合面63aに対して接合層65が接合されるので、視覚再生補助装置1では、いっそう良好に電子回路61が密封される。   Furthermore, in the present embodiment, the sintering process is performed on the joint surface 63a that has been previously polished. As a result, since the bonding layer 65 is bonded to the extremely smooth bonding surface 63a, the electronic circuit 61 is sealed even better in the visual reproduction assistance device 1.

以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、様々な変形が可能であることは勿論である。   As described above, the present invention has been described based on the embodiment, but the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.

例えば、上記実施形態では、ケース62の設置台63と蓋部64とが、互いに異なる素材で形成される場合について説明した。しかし、設置台63および蓋部64は、同一の素材によって形成されてもよい。設置台63および蓋部64は、それぞれ、接合処理時の加熱によって熱膨張する。このとき、常温から接合処理時の温度までの範囲における設置台63と蓋部64との熱膨張係数の差が大きいほど、冷却時に接合層65に歪が生じ易く、電子回路61が良好に密封され難くなる。これに対し、設置台63および蓋部64が同一の素材によって形成されていると、両者に同程度の膨張が生じるため、接合層65に歪が生じ難く、電子回路61が良好に密封され易い。また、設置台63と蓋部64とが、互いに異なる素材で形成される場合であっても、常温から接合処理時の温度までの範囲における熱膨張係数が各素材で近ければ、接合時の熱膨張に起因する歪が接合層65に生じ難く、電子回路61を良好に密封できる。   For example, in the above-described embodiment, the case where the installation base 63 and the lid portion 64 of the case 62 are formed of different materials has been described. However, the installation base 63 and the lid part 64 may be formed of the same material. The installation table 63 and the lid part 64 are thermally expanded by heating during the bonding process. At this time, the larger the difference in the thermal expansion coefficient between the installation base 63 and the lid 64 in the range from room temperature to the temperature during the bonding process, the more easily the bonding layer 65 is distorted during cooling, and the electronic circuit 61 is sealed better. It becomes difficult to be done. On the other hand, when the installation base 63 and the lid portion 64 are formed of the same material, the same degree of expansion occurs in both, so that the bonding layer 65 is hardly distorted and the electronic circuit 61 is easily sealed well. . Further, even when the installation base 63 and the lid portion 64 are formed of different materials, if the thermal expansion coefficients in the range from room temperature to the temperature during the bonding process are close to each material, the heat during the bonding Strain due to expansion hardly occurs in the bonding layer 65, and the electronic circuit 61 can be sealed well.

なお、上記実施形態では、電極51を眼球に設置し、網膜を構成する細胞を刺激したが、これに限るものではない。患者の視覚に関わる細胞又は組織を刺激して、患者の視覚の再生を促す構成であればよい。例えば、電極が、視神経および大脳皮質等に設置されてもよい。   In the above embodiment, the electrode 51 is placed on the eyeball and the cells constituting the retina are stimulated. However, the present invention is not limited to this. Any structure may be used as long as it stimulates the cells or tissues related to the patient's vision to promote the reproduction of the patient's vision. For example, electrodes may be placed on the optic nerve, cerebral cortex, and the like.

なお、受信ユニット30の構成の全部又は一部が、刺激ユニット40の刺激制御部60に含まれていても良い。このとき、刺激制御部60が、患者眼から(即ち、電極部50から)離れた位置に配置されていてもよい。   Note that all or part of the configuration of the receiving unit 30 may be included in the stimulation control unit 60 of the stimulation unit 40. At this time, the stimulus control unit 60 may be arranged at a position away from the patient's eye (that is, from the electrode unit 50).

なお、上記実施形態では、メタライズ処理によって設置台63に形成される金属薄膜には、接合層65と同じ素材(上記実施形態では金)が用いられる場合について説明したが、両者を互いに異なる素材によって形成してもよい。   In the above embodiment, the case where the same material (gold in the above embodiment) as the bonding layer 65 is used for the metal thin film formed on the mounting base 63 by the metallization process has been described. It may be formed.

1 視覚再生補助装置
51 電極
61 電子回路
62 ケース
63 設置台
64 蓋部
65 接合層
66 接続端子
C 収納空間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Visual reproduction auxiliary | assistance apparatus 51 Electrode 61 Electronic circuit 62 Case 63 Installation stand 64 Cover part 65 Joining layer 66 Connection terminal C Storage space

Claims (3)

生体適合性を持つ本体部に電子回路が取り付けられる取付ステップと、
前記本体部と、前記本体部と接合されることによって前記電子回路の収容空間を形成する蓋部と、を接合し、前記本体部および前記蓋部からなる絶縁性のケースに、前記電子回路を前記収容空間内に密封する接合ステップと、
を含む視覚再生補助装置の製造方法であって、
前記接合ステップよりも前に行われる塗布ステップであって、前記本体部における蓋部との接合面、および、前記蓋部における前記本体部との接合面の少なくとも一方に、1μm以下の平均粒径を持つ所定の金属の金属粉末を塗布する塗布ステップを更に含み、
前記接合ステップでは、前記金属粉末がそれぞれの接合面の間に介在された前記本体部と前記蓋部とを、100Mpa以上の圧力で加圧しつつ、80°C以上、300°以下の範囲で加熱することにより、前記金属粉末が焼結によってバルク化されて形成される接合層を介して前記本体部と前記蓋部とを互いに接合する、ことを特徴とする、視覚再生補助装置の製造方法。
An attachment step in which an electronic circuit is attached to the main body having biocompatibility;
The main body part and a lid part that forms a housing space for the electronic circuit by being joined to the main body part are joined, and the electronic circuit is mounted on an insulating case composed of the main body part and the lid part. A joining step for sealing in the accommodation space;
A method of manufacturing a visual reproduction assisting device including:
It is an application step performed before the joining step, and an average particle diameter of 1 μm or less is provided on at least one of a joint surface of the main body portion with the lid portion and a joint surface of the lid portion with the main body portion. A coating step of applying a metal powder of a predetermined metal having
In the joining step, the metal powder is heated in a range of 80 ° C. or more and 300 ° or less while pressurizing the main body part and the lid part interposed between the joining surfaces at a pressure of 100 Mpa or more. By doing so, the said main-body part and the said cover part are mutually joined through the joining layer formed by the said metal powder being bulked by sintering, The manufacturing method of the visual reproduction assistance apparatus characterized by the above-mentioned.
前記塗布ステップでは、前記蓋部の接合面に対して前記金属粉末を塗布し、
更に、前記接合ステップよりも前に、前記前記金属粉末が塗布された前記蓋部を加熱し、前記金属粉末による焼結体を形成する、事前加熱ステップを、更に含む請求項1記載の視覚再生補助装置の製造方法。
In the application step, the metal powder is applied to the joint surface of the lid,
The visual reproduction according to claim 1, further comprising a pre-heating step of heating the lid portion to which the metal powder is applied to form a sintered body by the metal powder before the joining step. A manufacturing method of an auxiliary device.
前記本体部の接合面に対する研磨およびシンタリングが、前記取付ステップよりも前に行われる請求項1又は2記載の視覚再生補助装置の製造方法。   The method for manufacturing a visual regeneration assisting device according to claim 1, wherein polishing and sintering for the joint surface of the main body are performed before the attaching step.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108172553A (en) * 2018-01-17 2018-06-15 杭州暖芯迦电子科技有限公司 A kind of encapsulating structure and its packaging method of retina Using prosthesis chip
JP2020016812A (en) * 2018-07-27 2020-01-30 真一 芦田 Ophthalmic device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08253373A (en) * 1995-03-15 1996-10-01 Toshiba Corp Production of vacuum airtight vessel sealant, vacuum airtight vessel, and ceramic-metal junction body
JP3954142B2 (en) * 1997-01-08 2007-08-08 ペンタックス株式会社 Method of joining ceramics and metal
JP3875613B2 (en) * 2001-10-05 2007-01-31 日本特殊陶業株式会社 Method of manufacturing ceramic member for bonding, ceramic member for bonding, vacuum switch, and vacuum vessel
JP4087244B2 (en) * 2002-12-20 2008-05-21 電気化学工業株式会社 Method for modifying ceramics
JP2010172667A (en) * 2009-02-02 2010-08-12 Nidek Co Ltd Hermetic sealing method for electronic element, functional device unit for biological implantation using the method, and visual restoration aiding apparatus
JP2011160984A (en) * 2010-02-09 2011-08-25 Nidek Co Ltd Visual sense regeneration assisting apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7120470B2 (en) 2019-10-08 2022-08-17 株式会社デンソー semiconductor equipment

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