JP6353184B2 - Adhesive sheet with protective film, method for producing laminate, and method for producing printed wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、保護フィルム付き接着シート、積層体の製造方法、及びプリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to an adhesive sheet with a protective film, a method for producing a laminate, and a method for producing a printed wiring board.

プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、絶縁層は、例えば、保護フィルム/樹脂組成物層/支持体の層構成を有する保護フィルム付き接着シートを用いて樹脂組成物層を回路基板上に積層した後、樹脂組成物層を硬化させることにより形成することができる(特許文献1)。   As a technique for manufacturing a printed wiring board, a manufacturing method by a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked is known. In the manufacturing method by the build-up method, the insulating layer is, for example, after laminating the resin composition layer on the circuit board using an adhesive sheet with a protective film having a layer configuration of protective film / resin composition layer / support. It can form by hardening a resin composition layer (patent document 1).

配線密度の更なる向上が求められる中で、プリント配線板のビルドアップによる積層数は増加する傾向にあるが、積層数の増加に伴って絶縁層と導体層との熱膨張の差によるクラックや回路歪みの発生が問題となる。斯かるクラックや回路歪みの問題を抑制する技術として、例えば、接着シートの樹脂組成物層における無機充填材の含有量を高めることによって、形成される絶縁層の熱膨張率を低く抑える技術が提案されている(特許文献2)。   While further improvement in wiring density is demanded, the number of layers due to build-up of printed wiring boards tends to increase, but as the number of layers increases, cracks due to differences in thermal expansion between insulating layers and conductor layers Generation of circuit distortion becomes a problem. As a technique for suppressing such problems of cracks and circuit distortion, for example, a technique for reducing the thermal expansion coefficient of the formed insulating layer by increasing the content of the inorganic filler in the resin composition layer of the adhesive sheet is proposed. (Patent Document 2).

特開平11−87927号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-87927 特開2010−202865号公報JP 2010-202865 A

保護フィルム付き接着シートを用いてプリント配線板の絶縁層を効率よく形成する方法として、オートカッター装置と真空ラミネート装置により連続的に絶縁層を形成する方法が提案されている。この方法においては、真空ラミネート装置におけるラミネート処理に先立ち、まずオートカッター装置において、接着シートが回路基板上に仮付される。詳細には、オートカッター装置に設置されたロール状に巻き取られた保護フィルム付き接着シートから回路基板へと保護フィルム付き接着シートを搬送しつつ、その搬送途中において保護フィルムが剥離される。保護フィルムが剥離された接着シートは、その露出した樹脂組成物層側が回路基板と接合するように回路基板上に部分的に加熱圧着される。次いで、回路基板のサイズに応じて接着シートがカットされ、接着シートが回路基板に仮付される。   As a method for efficiently forming an insulating layer of a printed wiring board using an adhesive sheet with a protective film, a method of continuously forming an insulating layer using an auto cutter device and a vacuum laminating device has been proposed. In this method, prior to the laminating process in the vacuum laminating apparatus, first, the adhesive sheet is temporarily attached on the circuit board in the auto cutter apparatus. Specifically, the protective film with the protective film is conveyed from the adhesive sheet with the protective film wound in a roll installed in the auto cutter device to the circuit board, and the protective film is peeled off during the conveyance. The adhesive sheet from which the protective film has been peeled is partially heat-pressed on the circuit board so that the exposed resin composition layer side is bonded to the circuit board. Next, the adhesive sheet is cut according to the size of the circuit board, and the adhesive sheet is temporarily attached to the circuit board.

オートカッター装置と真空ラミネート装置を用いて絶縁層を形成する上記の方法は、絶縁層を連続的かつ正確に形成することができ、本来的にはプリント配線板の生産速度に著しく寄与するものである。しかしながら本発明者らは、斯かる方法に、無機充填材含有量の高い樹脂組成物層を有する接着シートを使用すると、オートカッター装置において保護フィルムを剥離する際に、樹脂組成物層の一部までもが保護フィルムと共に剥離除去されてしまう現象(以下、「樹脂剥がれ」ともいう。)が起こる場合があることを確認した。特に、この樹脂剥がれの現象は、オートカッター装置における接着シートの搬送速度が高くなるにつれて顕著となることを確認した。このように、無機充填材含有量の高い樹脂組成物層を有する接着シートを使用して熱膨張率の低い絶縁層を形成する場合、オートカッター装置を用いる利点(すなわち、プリント配線板の生産速度に寄与)が減殺されていた。   The above-mentioned method of forming an insulating layer using an auto cutter device and a vacuum laminating device can form the insulating layer continuously and accurately, and essentially contributes significantly to the production speed of printed wiring boards. is there. However, when the present inventors use an adhesive sheet having a resin composition layer having a high inorganic filler content in such a method, a part of the resin composition layer is peeled off when the protective film is peeled off in an auto cutter device. It was confirmed that a phenomenon (hereinafter also referred to as “resin peeling”) in which the film is peeled off and removed together with the protective film may occur. In particular, it was confirmed that this phenomenon of resin peeling becomes more prominent as the conveyance speed of the adhesive sheet in the auto cutter device increases. Thus, when forming an insulating layer having a low coefficient of thermal expansion using an adhesive sheet having a resin composition layer having a high inorganic filler content, the advantage of using an autocutter device (that is, the production speed of a printed wiring board) Contributed to) was reduced.

本発明は、無機充填材含有量の高い樹脂組成物層を有すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれを生じない保護フィルム付き接着シートを提供することを課題とする。   This invention makes it a subject to provide the adhesive sheet with a protective film which has a resin composition layer with high inorganic filler content, and does not produce resin peeling at the time of peeling of the protective film in an autocutter apparatus.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度と、樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度との差が特定の範囲にある保護フィルム付き接着シートが、樹脂組成物中の無機充填材の含有量が高い場合にも、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれを生じないことを見出した。   As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that the difference between the peel strength of the protective film for the resin composition layer and the peel strength of the support for the resin composition layer is within a specific range. It was found that even when the content of the inorganic filler in the resin composition is high, the sheet does not peel off when the protective film is peeled off in the auto cutter device.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] 支持体及び該支持体と接合している樹脂組成物層からなる接着シートと、該接着シートの樹脂組成物層と接合するように設けられた保護フィルムとを含む保護フィルム付き接着シートであって、
樹脂組成物層が無機充填材及び熱硬化性樹脂を含み、
樹脂組成物層中の無機充填材の含有量が、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、60質量%以上であり、
樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とが、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たす、保護フィルム付き接着シート。
[2] Sが0.0080kgf/cm以下である、[1]に記載の保護フィルム付き接着シート。
[3] [(樹脂組成物層の最低溶融粘度温度)−10℃]以下の温度条件下で、樹脂組成物層と接合するように保護フィルムを設けて得られる、[1]又は[2]に記載の保護フィルム付き接着シート。
[4] 支持体及び保護フィルムのそれぞれの厚みが5μm〜75μmであり、保護フィルムが支持体よりも薄い、[1]〜[3]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シート。
[5] 支持体がポリエチレンテレフタレートフィルムである、[1]〜[4]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シート。
[6] 支持体が、樹脂組成物層と接合している側の表面に離型層を有する、[1]〜[5]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シート。
[7] 離型層が、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂及びウレタン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤を含む、[6]に記載の保護フィルム付き接着シート。
[8] 保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン及びポリエチレンテレフタレートからなる群から選択される1種以上の材料を含む、[1]〜[7]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シート。
[9] プリント配線板のビルドアップ層用保護フィルム付き接着シートである、[1]〜[8]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シート。
[10] [1]〜[9]のいずれかに記載の保護フィルム付き接着シートがロール状に巻き取られたロール状保護フィルム付き接着シート。
[11] S及びSが長手方向の剥離強度である、[10]に記載のロール状保護フィルム付き接着シート。
[12] 下記工程(a−1)乃至(a−4)を含む、カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体の製造方法。
(a−1)[10]又は[11]に記載のロール状保護フィルム付き接着シートから保護フィルム付き接着シートを搬送しながら、保護フィルムを剥離する工程、
(a−2)樹脂組成物層が露出した接着シートを、樹脂組成物層が回路基板と接合するように配置する工程、
(a−3)接着シートの一部を支持体側から加熱及び加圧することで部分的に接着シートを回路基板に接着する工程、及び
(a−4)接着シートを回路基板のサイズに応じてカッターでカットすることにより、カットされた接着シートを回路基板の表面に設ける工程
[13] 工程(a−1)における搬送速度が1m/分〜20m/分である、[12]に記載の方法。
[14] 下記工程(b−1)及び(b−2)を含む、プリント配線板の製造方法。
(b−1)[12]又は[13]の方法で製造された積層体を加熱及び加圧し、回路基板に接着シートをラミネート処理する工程、及び
(b−2)樹脂組成物層を熱硬化し、絶縁層を形成する工程
That is, the present invention includes the following contents.
[1] An adhesive sheet with a protective film, comprising: an adhesive sheet comprising a support and a resin composition layer bonded to the support; and a protective film provided to be bonded to the resin composition layer of the adhesive sheet Because
The resin composition layer includes an inorganic filler and a thermosetting resin,
The content of the inorganic filler in the resin composition layer is 60% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass,
The peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer satisfy S A −S B ≧ 0.0020 [kgf / cm]. Adhesive sheet with protective film.
[2] S B is equal to or less than 0.0080kgf / cm, the protective film with the adhesive sheet according to [1].
[3] [(1] or [2] obtained by providing a protective film so as to be bonded to the resin composition layer under the following temperature conditions: [(minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer) −10 ° C.]) The adhesive sheet with a protective film as described in 1.
[4] The adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [3], wherein each thickness of the support and the protective film is 5 μm to 75 μm, and the protective film is thinner than the support.
[5] The adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [4], wherein the support is a polyethylene terephthalate film.
[6] The adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [5], wherein the support has a release layer on the surface bonded to the resin composition layer.
[7] The adhesive sheet with a protective film according to [6], wherein the release layer includes one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, and urethane resins.
[8] The adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [7], wherein the protective film includes one or more materials selected from the group consisting of polyethylene, polypropylene, and polyethylene terephthalate.
[9] The adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [8], which is an adhesive sheet with a protective film for a buildup layer of a printed wiring board.
[10] An adhesive sheet with a roll-shaped protective film in which the adhesive sheet with a protective film according to any one of [1] to [9] is wound into a roll.
[11] The adhesive sheet with a roll-shaped protective film according to [10], wherein S A and S B are peel strengths in the longitudinal direction.
[12] A method for manufacturing a laminate including a cut adhesive sheet provided on a surface of a circuit board, including the following steps (a-1) to (a-4).
(A-1) The process of peeling a protective film, conveying an adhesive sheet with a protective film from the adhesive sheet with a roll-shaped protective film as described in [10] or [11],
(A-2) a step of arranging the adhesive sheet from which the resin composition layer is exposed so that the resin composition layer is bonded to the circuit board;
(A-3) a step of partially bonding the adhesive sheet to the circuit board by heating and pressing a part of the adhesive sheet from the support side, and (a-4) a cutter according to the size of the circuit board. Step of providing the cut adhesive sheet on the surface of the circuit board by cutting at [13] The method according to [12], wherein the conveyance speed in step (a-1) is 1 m / min to 20 m / min.
[14] A method for producing a printed wiring board, comprising the following steps (b-1) and (b-2).
(B-1) heating and pressurizing the laminate produced by the method of [12] or [13], and laminating an adhesive sheet on the circuit board; and (b-2) thermosetting the resin composition layer. And forming an insulating layer

本発明によれば、無機充填材含有量の高い樹脂組成物層を有すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれを生じない保護フィルム付き接着シートを提供することができる。これにより、回路歪みの問題を生じないプリント配線板を高い生産速度にて製造することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while having a resin composition layer with high inorganic filler content, the adhesive sheet with a protective film which does not produce resin peeling at the time of peeling of the protective film in an autocutter apparatus can be provided. This makes it possible to manufacture a printed wiring board that does not cause a problem of circuit distortion at a high production rate.

図1は、本発明の保護フィルム付き接着シートの概略端面図である。FIG. 1 is a schematic end view of an adhesive sheet with a protective film of the present invention. 図2は、オートカッター装置による回路基板への接着シートの仮付けを模式的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing temporary attachment of the adhesive sheet to the circuit board by the auto cutter device.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof.

[保護フィルム付き接着シート]
本発明の保護フィルム付き接着シートは、支持体及び該支持体と接合している樹脂組成物層からなる接着シートと、該接着シートの樹脂組成物層と接合するように設けられた保護フィルムとを含み、樹脂組成物層が無機充填材及び熱硬化性樹脂を含み、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量が、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、60質量%以上であり、樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とが、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たすことを特徴とする。
[Adhesive sheet with protective film]
The adhesive sheet with a protective film of the present invention includes an adhesive sheet comprising a support and a resin composition layer bonded to the support, and a protective film provided to be bonded to the resin composition layer of the adhesive sheet. When the resin composition layer contains an inorganic filler and a thermosetting resin, and the content of the inorganic filler in the resin composition layer is 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition layer, 60 The peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer are S A −S B ≧ 0.0020 [kgf / Cm].

図1に、本発明の保護フィルム付き接着シートの概略端面図を示す。本発明の保護フィルム付き接着シート1は、支持体2及び該支持体と接合している樹脂組成物層3からなる接着シート4と、該接着シートの樹脂組成物層と接合するように設けられた保護フィルム5とを含む。   In FIG. 1, the schematic end elevation of the adhesive sheet with a protective film of this invention is shown. The adhesive sheet with protective film 1 of the present invention is provided so as to be bonded to a support 2 and an adhesive sheet 4 composed of a resin composition layer 3 bonded to the support, and a resin composition layer of the adhesive sheet. Protective film 5.

<樹脂組成物層>
本発明の保護フィルム付き接着シートにおいて、樹脂組成物層は、該樹脂組成物層の熱硬化により得られる絶縁層の熱膨張率を低く抑えるために、高い含有量にて無機充填材を含む。詳細には、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、60質量%以上である。絶縁層の熱膨張率を十分に低下させる観点から、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、65質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましい。
<Resin composition layer>
In the adhesive sheet with a protective film of the present invention, the resin composition layer contains an inorganic filler at a high content in order to keep the thermal expansion coefficient of the insulating layer obtained by thermosetting the resin composition layer low. Specifically, the content of the inorganic filler in the resin composition layer is 60% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass. From the viewpoint of sufficiently reducing the coefficient of thermal expansion of the insulating layer, the content of the inorganic filler in the resin composition layer is preferably 65% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass. 70 mass% or more is more preferable.

樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)との差(S−S)を特定範囲とする本発明によれば、無機充填材含有量の高い樹脂組成物層を使用してもオートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれは生じ難い。よって、本発明の保護フィルム付き接着シートにおいては、樹脂剥がれの問題を生ずることなく、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量を更に高めることができる。例えば、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、樹脂組成物層中の無機充填材の含有量は、72質量%以上、74質量%以上、76質量%以上、78質量%以上、80質量%以上、82質量%以上、又は84質量%以上にまで高めてよい。 According to the present invention, the difference (S A -S B ) between the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer is specified. Even if a resin composition layer having a high inorganic filler content is used, the resin is hardly peeled off when the protective film is peeled off in the auto cutter device. Therefore, in the adhesive sheet with a protective film of the present invention, the content of the inorganic filler in the resin composition layer can be further increased without causing the problem of resin peeling. For example, when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass, the content of the inorganic filler in the resin composition layer is 72% by mass or more, 74% by mass or more, 76% by mass or more, and 78% by mass. As mentioned above, you may raise to 80 mass% or more, 82 mass% or more, or 84 mass% or more.

樹脂組成物層中の無機充填材の含有量の上限は、樹脂組成物層の熱硬化により得られる絶縁層の機械強度の観点から、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下、更に好ましくは85質量%以下である。   The upper limit of the content of the inorganic filler in the resin composition layer is when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass from the viewpoint of the mechanical strength of the insulating layer obtained by thermosetting the resin composition layer. Preferably, it is 95 mass% or less, More preferably, it is 90 mass% or less, More preferably, it is 85 mass% or less.

無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、及びジルコン酸カルシウム等が挙げられる。これらの中でも無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等のシリカが特に好適である。またシリカとしては球状シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Examples of the inorganic filler include silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate, Examples include strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate. Among these, silica such as amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica is particularly suitable. Moreover, spherical silica is preferable as the silica. An inorganic filler may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

無機充填材の平均粒径は、樹脂ワニスの粘度調整を可能とし、微細配線形成にも優れるという点で、0.01μm〜2μmの範囲が好ましく、0.05μm〜1.5μmの範囲がより好ましく、0.1μm〜1μmが更に好ましく、0.15μm〜0.7μmが特に好ましい。無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、株式会社堀場製作所製LA−500等を使用することができる。   The average particle size of the inorganic filler is preferably in the range of 0.01 μm to 2 μm, more preferably in the range of 0.05 μm to 1.5 μm, in that the viscosity of the resin varnish can be adjusted and the fine wiring can be formed. 0.1 μm to 1 μm is more preferable, and 0.15 μm to 0.7 μm is particularly preferable. The average particle diameter of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction / scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be created on a volume basis by a laser diffraction particle size distribution measuring device, and the median diameter can be measured as the average particle diameter. As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus, LA-500 manufactured by Horiba, Ltd. can be used.

無機充填材は、耐湿性向上のため、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤などの1種又は2種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3−アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ−31」(ヘキサメチルジシラザン)等が挙げられる。   Inorganic filler is one kind of aminosilane coupling agent, epoxysilane coupling agent, mercaptosilane coupling agent, silane coupling agent, organosilazane compound, titanate coupling agent, etc. for improving moisture resistance. Or it is preferable to process with 2 or more types of surface treating agents. Examples of commercially available surface treatment agents include “KBM403” (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and “KBM803” (3-mercaptopropyltrimethoxy manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Silane), Shin-Etsu Chemical "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "SZ-31" (Hexamethyldisilazane) manufactured by Co., Ltd.

また、表面処理剤による表面処理の程度は、溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後の無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量をもって定量化できる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所製「EMIA−320V」等を使用することができる。   The degree of the surface treatment with the surface treatment agent can be quantified by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler after washing with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent and ultrasonically cleaned at 25 ° C. for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solid, the carbon amount per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. As the carbon analyzer, “EMIA-320V” manufactured by HORIBA, Ltd. can be used.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度及び樹脂組成物層の溶融粘度の上昇を抑える観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 Carbon content per unit surface area of the inorganic filler, from the viewpoint of improving dispersibility of the inorganic filler is preferably 0.02 mg / m 2 or more, 0.1 mg / m 2 or more preferably, 0.2 mg / m 2 The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of suppressing increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity of the resin composition layer, 1 mg / m 2 or less is preferable, 0.8 mg / m 2 or less is more preferable, and 0.5 mg / m 2 or less is more preferable. preferable.

本発明の保護フィルム付き接着シートにおいて、樹脂組成物層は、無機充填材に加えて、熱硬化性樹脂を少なくとも含む。熱硬化性樹脂としては、絶縁層形成用の接着シートにおいて用いられる従来公知の熱硬化性樹脂を用いることができ、中でもエポキシ樹脂が好ましい。樹脂組成物層はさらに、必要に応じて、熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤を含んでいてもよい。
以下、樹脂組成物層の材料として使用し得るエポキシ樹脂、硬化剤、及び添加剤について説明する。
In the adhesive sheet with a protective film of the present invention, the resin composition layer contains at least a thermosetting resin in addition to the inorganic filler. As a thermosetting resin, the conventionally well-known thermosetting resin used in the adhesive sheet for insulating layer formation can be used, and an epoxy resin is especially preferable. The resin composition layer may further contain additives such as a thermoplastic resin, a curing accelerator, a flame retardant, and rubber particles as necessary.
Hereinafter, an epoxy resin, a curing agent, and an additive that can be used as a material for the resin composition layer will be described.

(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、ナフトールノボラックエポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂及びトリメチロール型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
(Epoxy resin)
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol epoxy resin, naphthol novolac epoxy resin, phenol novolac. Type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, alicyclic Epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin and tri Chiroru type epoxy resins. An epoxy resin may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

エポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合に、少なくとも50質量%以上は1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂であるのが好ましい。中でも、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下、「液状エポキシ樹脂」という。)と、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下、「固体状エポキシ樹脂」という。)とを含むことが好ましい。エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用することで、優れた可撓性を有する樹脂組成物層が得られる。このため、該樹脂組成物層を用いて形成される保護フィルム付き接着シートは、取扱い性に優れる。また、樹脂組成物層を硬化して形成される絶縁層の破断強度も向上する。   The epoxy resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. When the nonvolatile component of the epoxy resin is 100% by mass, at least 50% by mass or more is preferably an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Among them, it has two or more epoxy groups in one molecule and has a liquid epoxy resin (hereinafter referred to as “liquid epoxy resin”) at a temperature of 20 ° C. and three or more epoxy groups in one molecule. And a solid epoxy resin at a temperature of 20 ° C. (hereinafter referred to as “solid epoxy resin”). By using a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin in combination as the epoxy resin, a resin composition layer having excellent flexibility can be obtained. For this reason, the adhesive sheet with a protective film formed using the resin composition layer is excellent in handleability. Moreover, the breaking strength of the insulating layer formed by curing the resin composition layer is also improved.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、又はナフタレン型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP4032」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「HP4032D」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、「EXA4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「jER828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂)、「jER807」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂)、「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)、新日鐵化学(株)製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品)等が挙げられる。これらは1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   As the liquid epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, or naphthalene type epoxy resin are preferable, and naphthalene type epoxy resin is more preferable. Specific examples of the liquid epoxy resin include “HP4032” (naphthalene type epoxy resin), “HP4032D” (naphthalene type epoxy resin), “EXA4032SS” (naphthalene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation, Mitsubishi Chemical Corporation. “JER828EL” (bisphenol A type epoxy resin), “jER807” (bisphenol F type epoxy resin), “jER152” (phenol novolak type epoxy resin), “ZX1059” (bisphenol A) manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin). These may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

固体状エポキシ樹脂としては、4官能ナフタレン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、ナフトールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、又はナフチレンエーテル型エポキシ樹脂が好ましく、4官能ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、又はナフチレンエーテル型エポキシ樹脂がより好ましい。固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC(株)製の「HP−4700」(4官能ナフタレン型エポキシ樹脂)、「N−690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「N−695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「HP−7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)、「EXA7311」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、「EXA7310」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、「EXA7311−G3」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂)、日本化薬(株)製の「EPPN−502H」(トリスフェノールエポキシ樹脂)、「NC7000L」(ナフトールノボラックエポキシ樹脂)、「NC3000H」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「NC3000」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「NC3000L」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、東都化成(株)製の「ESN475」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、三菱化学(株)製の「YX4000H」(ビフェニル型エポキシ樹脂)、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂)等が挙げられる。   Examples of solid epoxy resins include tetrafunctional naphthalene type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol epoxy resins, naphthol novolac epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and naphthylene ether type epoxy resins. A tetrafunctional naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, or a naphthylene ether type epoxy resin is more preferable. Specific examples of the solid epoxy resin include “HP-4700” (tetrafunctional naphthalene type epoxy resin), “N-690” (cresol novolac type epoxy resin), “N-695” (cresol) manufactured by DIC Corporation. Novolac type epoxy resin), "HP-7200" (dicyclopentadiene type epoxy resin), "EXA7311" (naphthylene ether type epoxy resin), "EXA7310" (naphthylene ether type epoxy resin), "EXA7311-G3" ( Naphthylene ether type epoxy resin), “EPPN-502H” (trisphenol epoxy resin), “NC7000L” (naphthol novolak epoxy resin), “NC3000H” (biphenyl type epoxy resin), “NC3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (Biphenyl type epoxy resin "NC3000L" (biphenyl type epoxy resin), "NC3100" (biphenyl type epoxy resin), "ESN475" (naphthol novolak type epoxy resin) manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., "ESN485" (naphthol novolak type epoxy resin), Examples thereof include “YX4000H” (biphenyl type epoxy resin), “YX4000HK” (bixylenol type epoxy resin), etc., manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを併用する場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.1〜1:5の範囲が好ましい。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比を斯かる範囲とすることにより、i)接着シートの形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)接着シートの形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)樹脂組成物の硬化物において十分な破断強度を得ることができるなどの効果が得られる。上記i)〜iii)の効果の観点から、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂の量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、1:0.5〜1:4の範囲がより好ましい。   When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the quantitative ratio thereof (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.1 to 1: 5 by mass ratio. preferable. By making the quantity ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin within such a range, i) suitable adhesiveness is obtained when used in the form of an adhesive sheet, ii) when used in the form of an adhesive sheet Sufficient flexibility is obtained, handling properties are improved, and iii) a sufficient breaking strength can be obtained in the cured product of the resin composition. From the viewpoint of the effects i) to iii) above, the quantitative ratio of liquid epoxy resin to solid epoxy resin (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is in the range of 1: 0.5 to 1: 4 by mass ratio. Is more preferable.

エポキシ樹脂の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分100質量%に対して、3質量%〜30質量%が好ましく、5質量%〜25質量%がより好ましく、8質量%〜20質量%が更に好ましく、10質量%〜20質量%が特に好ましい。   The content of the epoxy resin is preferably 3% by mass to 30% by mass, more preferably 5% by mass to 25% by mass, and more preferably 8% by mass to 20% by mass with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition layer. Is more preferable, and 10% by mass to 20% by mass is particularly preferable.

(硬化剤)
硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されないが、例えば、フェノール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、及びシアネートエステル系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
(Curing agent)
The curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin, and examples thereof include phenol-based curing agents, active ester-based curing agents, benzoxazine-based curing agents, and cyanate ester-based curing agents. A hardening | curing agent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

フェノール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ビフェニル型硬化剤、ナフタレン型硬化剤、フェノールノボラック型硬化剤、ナフチレンエーテル型硬化剤、含窒素フェノール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性(剥離強度)の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性(剥離強度)を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂を硬化剤として用いることが好ましい。   As a phenol type hardening | curing agent, a biphenyl type hardening | curing agent, a naphthalene type hardening | curing agent, a phenol novolak type hardening | curing agent, a naphthylene ether type hardening | curing agent, and a nitrogen-containing phenol type hardening | curing agent are preferable from a heat resistant and water-resistant viewpoint. Further, from the viewpoint of adhesion (peel strength) to the conductor layer, a nitrogen-containing phenol-based curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent is more preferable. Among these, from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesiveness (peel strength) to the conductor layer, it is preferable to use a triazine skeleton-containing phenol novolac resin as a curing agent.

フェノール系硬化剤の具体例としては、例えば、ビフェニル型硬化剤のMEH−7700、MEH−7810、MEH−7851(明和化成(株)製)、ナフタレン型硬化剤のNHN、CBN、GPH(日本化薬(株)製)、SN170、SN180、SN190、SN475、SN485、SN495、SN375、SN395(新日鐵化学(株)製)、EXB9500(DIC(株)製)、フェノールノボラック型硬化剤のTD2090(DIC(株)製)、ナフチレンエーテル型硬化剤のEXB−6000(DIC(株)製)、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤のLA3018、LA7052、LA7054、LA1356(DIC(株)製)等が挙げられる。   Specific examples of the phenolic curing agent include, for example, biphenyl type curing agents MEH-7700, MEH-7810, MEH-7851 (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), naphthalene type curing agents NHN, CBN, GPH (Nippon Kasei). (Manufactured by Yakuhin Co., Ltd.), SN170, SN180, SN190, SN475, SN485, SN495, SN375, SN395 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), EXB9500 (manufactured by DIC Corporation), TD2090 (phenol novolak type curing agent) DIC Corporation), naphthylene ether type curing agent EXB-6000 (DIC Corporation), triazine skeleton containing phenolic curing agent LA3018, LA7052, LA7054, LA1356 (DIC Corporation) and the like. It is done.

導体層との密着性(剥離強度)の観点から、活性エステル系硬化剤も好ましい。硬化剤として活性エステル系硬化剤を用いると、該絶縁層表面に十分な剥離強度を呈する導体層をもたらすことができる。活性エステル系硬化剤の具体例としては、DIC(株)製の「EXB−9460」、「HPC−8000」、三菱化学(株)製の「DC808」、「YLH1030」等が挙げられる。   From the viewpoint of adhesion (peel strength) to the conductor layer, an active ester curing agent is also preferable. When an active ester type curing agent is used as the curing agent, a conductor layer exhibiting sufficient peel strength can be provided on the surface of the insulating layer. Specific examples of the active ester curing agent include “EXB-9460” and “HPC-8000” manufactured by DIC Corporation, “DC808” and “YLH1030” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P−d」、「F−a」等が挙げられる。   Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include “HFB2006M” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd., “Pd” and “Fa” manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3−メチレン−1,5−フェニレンシアネート)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルフェニルシアネート)、4,4’−エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2−ビス(4−シアネート)フェニルプロパン、1,1−ビス(4−シアネートフェニルメタン)、ビス(4−シアネート−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,3−ビス(4−シアネートフェニル−1−(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4−シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4−シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。   Examples of cyanate ester-based curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo (3-methylene-1,5-phenylene cyanate), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4. '-Ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis (4-cyanate) phenylpropane, 1,1-bis (4-cyanatephenylmethane), bis (4-cyanate-3,5-dimethyl) Bifunctional cyanate resins such as phenyl) methane, 1,3-bis (4-cyanatephenyl-1- (methylethylidene)) benzene, bis (4-cyanatephenyl) thioether, and bis (4-cyanatephenyl) ether, phenol Novolac and K Examples include polyfunctional cyanate resins derived from sol novolac, prepolymers in which these cyanate resins are partly triazines, etc. Specific examples of cyanate ester curing agents include “PT30” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. “PT60” (both phenol novolac-type polyfunctional cyanate ester resins), “BA230” (prepolymer in which a part or all of bisphenol A dicyanate is triazine-modified), and the like.

エポキシ樹脂と硬化剤との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2〜1:2の範囲が好ましく、1:0.5〜1:1.5の範囲がより好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性が向上する。   The amount ratio of the epoxy resin and the curing agent is preferably a ratio of [total number of epoxy groups of the epoxy resin]: [total number of reactive groups of the curing agent] in the range of 1: 0.2 to 1: 2. A range of 1: 0.5 to 1: 1.5 is more preferable. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group or the like, and varies depending on the type of the curing agent. Moreover, the total number of epoxy groups of the epoxy resin is a value obtained by dividing the value obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups of the curing agent is: The value obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent is the total value for all curing agents. By making the quantity ratio of an epoxy resin and a hardening | curing agent into such a range, the heat resistance of the hardened | cured material of a resin composition improves.

一実施形態において、本発明の保護フィルム付き接着シートに含まれる樹脂組成物層は、上述の無機充填材、エポキシ樹脂、及び硬化剤を含む。樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)が所望の範囲にある保護フィルム付き接着シートを製造する観点から、樹脂組成物層は、無機充填材としてシリカを、エポキシ樹脂として液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との混合物(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂の質量比は1:0.1〜1:5、好ましくは1:0.5〜1:4)を、硬化剤として含窒素フェノール系硬化剤(好ましくはトリアジン骨格含有フェノール系硬化剤)及び活性エステル系硬化剤からなる群から選択される1種以上を、それぞれ含むことが好ましい。斯かる特定の成分を組み合わせて含む樹脂組成物層に関しても、無機充填材、エポキシ樹脂、及び硬化剤の好適な含有量は上述のとおりであるが、中でも、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%としたとき、無機充填材の含有量が60質量%〜95質量%、エポキシ樹脂の含有量が3質量%〜30質量%であることが好ましく、無機充填材の含有量が60質量%〜90質量%、エポキシ樹脂の含有量が5質量%〜25質量%であることがより好ましい。硬化剤の含有量については、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数と、硬化剤の反応基の合計数との比が、1:0.2〜1:2になるように含有させることが好ましく、1:0.5〜1:1.5になるように含有させることがより好ましい。 In one Embodiment, the resin composition layer contained in the adhesive sheet with a protective film of this invention contains the above-mentioned inorganic filler, an epoxy resin, and a hardening | curing agent. From the viewpoint of producing an adhesive sheet with a protective film in which the peel strength (S A and S B ) of the support and the protective film with respect to the resin composition layer is in a desired range, the resin composition layer contains silica as an inorganic filler, Mixture of liquid epoxy resin and solid epoxy resin as epoxy resin (mass ratio of liquid epoxy resin: solid epoxy resin is 1: 0.1 to 1: 5, preferably 1: 0.5 to 1: 4) Preferably, each of the curing agents contains at least one selected from the group consisting of a nitrogen-containing phenol curing agent (preferably a triazine skeleton-containing phenol curing agent) and an active ester curing agent. Regarding the resin composition layer containing a combination of such specific components, the preferred contents of the inorganic filler, the epoxy resin, and the curing agent are as described above. Among these, the nonvolatile component in the resin composition is 100%. When the content is mass%, the content of the inorganic filler is preferably 60% by mass to 95% by mass, the content of the epoxy resin is preferably 3% by mass to 30% by mass, and the content of the inorganic filler is 60% by mass. It is more preferable that it is -90 mass% and content of an epoxy resin is 5 mass%-25 mass%. About content of a hardening | curing agent, it is preferable to make it contain so that ratio of the total number of the epoxy groups of an epoxy resin and the total number of the reactive groups of a hardening | curing agent may be 1: 0.2-1: 2, It is more preferable to make it contain so that it may become 1: 0.5-1: 1.5.

樹脂組成物層は、必要に応じて、さらに熱可塑性樹脂、硬化促進剤、難燃剤及びゴム粒子等の添加剤を含んでいてもよい。   The resin composition layer may further contain additives such as a thermoplastic resin, a curing accelerator, a flame retardant, and rubber particles as necessary.

熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、及びポリスルホン樹脂等が挙げられる。熱可塑性樹脂は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Examples of the thermoplastic resin include phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyethersulfone resin, and polysulfone resin. A thermoplastic resin may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は8,000〜70,000の範囲が好ましく、10,000〜60,000の範囲がより好ましく、20,000〜60,000の範囲が更に好ましい。熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として(株)島津製作所製LC−9A/RID−6Aを、カラムとして昭和電工(株)製Shodex K−800P/K−804L/K−804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。   The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is preferably in the range of 8,000 to 70,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and still more preferably in the range of 20,000 to 60,000. The weight average molecular weight in terms of polystyrene of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-reduced weight average molecular weight of the thermoplastic resin is LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P / K- manufactured by Showa Denko KK as a column. 804L / K-804L can be measured at a column temperature of 40 ° C. using chloroform or the like as a mobile phase, and can be calculated using a standard polystyrene calibration curve.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱化学(株)製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、東都化成(株)製の「FX280」及び「FX293」、三菱化学(株)製の「YL7553」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene Examples thereof include phenoxy resins having a skeleton and one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. Specific examples of the phenoxy resin include “1256” and “4250” (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin), “YX8100” (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin), and “YX6954” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). In addition, “FX280” and “FX293” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., “YL7553”, “YL6794”, “YL7213” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, YL7290 "," YL7482 ", etc. are mentioned.

ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業(株)製の電化ブチラール4000−2、5000−A、6000−C、6000−EP、積水化学工業(株)製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ、KSシリーズ、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。   Specific examples of the polyvinyl acetal resin include: Electric Butyral 4000-2, 5000-A, 6000-C, 6000-EP manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., S-Lec BH Series, BX Series manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. KS series, BL series, BM series, etc. are mentioned.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化(株)製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006−37083号公報記載のもの)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002−12667号公報及び特開2000−319386号公報等に記載のもの)等の変性ポリイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyimide resin include “Rika Coat SN20” and “Rika Coat PN20” manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. Specific examples of the polyimide resin include linear polyimide obtained by reacting a bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, a diisocyanate compound and a tetrabasic acid anhydride (described in JP-A-2006-37083), a polysiloxane skeleton. Examples thereof include modified polyimides such as containing polyimide (described in JP-A No. 2002-12667 and JP-A No. 2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡績(株)製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業(株)製のポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド「KS9100」、「KS9300」等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。   Specific examples of the polyamide-imide resin include “Bilomax HR11NN” and “Bilomax HR16NN” manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of the polyamideimide resin also include modified polyamideimides such as polysiloxane skeleton-containing polyamideimides “KS9100” and “KS9300” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学(株)製の「PES5003P」等が挙げられる。   Specific examples of the polyethersulfone resin include “PES5003P” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ(株)製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。   Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone “P1700” and “P3500” manufactured by Solvay Advanced Polymers Co., Ltd.

熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分100質量%に対して、0.1質量%〜10質量%であることが好ましい。熱可塑性樹脂の含有量を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の粘度が適度となり、厚みや性状の均一な樹脂組成物層を形成することができると共に、後述するプリント配線板の製造時に基板上への配線パターンの埋め込みが容易となる。熱可塑性樹脂の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分100質量%に対して、0.5質量%〜5質量%であることがより好ましい。   It is preferable that content of a thermoplastic resin is 0.1 mass%-10 mass% with respect to 100 mass% of non-volatile components in a resin composition layer. By setting the content of the thermoplastic resin in such a range, the viscosity of the resin composition becomes appropriate, and a resin composition layer having a uniform thickness and properties can be formed. It is easy to embed a wiring pattern on the substrate. As for content of a thermoplastic resin, it is more preferable that it is 0.5 mass%-5 mass% with respect to 100 mass% of non-volatile components in a resin composition layer.

硬化促進剤としては、例えば、有機ホスフィン化合物、イミダゾール化合物、アミンアダクト化合物、及び3級アミン化合物などが挙げられる。硬化促進剤の含有量は、エポキシ樹脂と硬化剤の不揮発成分合計量を100質量%としたとき、0.05質量%〜3質量%の範囲で使用することが好ましい。硬化促進剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Examples of the curing accelerator include organic phosphine compounds, imidazole compounds, amine adduct compounds, and tertiary amine compounds. The content of the curing accelerator is preferably used in the range of 0.05% by mass to 3% by mass when the total amount of nonvolatile components of the epoxy resin and the curing agent is 100% by mass. A hardening accelerator may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。樹脂組成物層中の難燃剤の含有量は特に限定はされないが、樹脂組成物層中の不揮発成分100質量%に対して、0.5質量%〜10質量%が好ましく、1質量%〜9質量%がより好ましく、1.3質量%〜8質量%が更に好ましい。   Examples of the flame retardant include an organic phosphorus flame retardant, an organic nitrogen-containing phosphorus compound, a nitrogen compound, a silicone flame retardant, and a metal hydroxide. A flame retardant may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together. The content of the flame retardant in the resin composition layer is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass to 10% by mass with respect to 100% by mass of the non-volatile component in the resin composition layer, and 1% by mass to 9%. % By mass is more preferable, and 1.3% by mass to 8% by mass is even more preferable.

ゴム粒子としては、例えば、樹脂組成物層を形成する際に使用する有機溶剤に溶解せず、上述のエポキシ樹脂、硬化剤、及び熱可塑性樹脂などとも相溶しないものが使用される。このようなゴム粒子は、一般には、ゴム成分の分子量を有機溶剤や樹脂に溶解しないレベルまで大きくし、粒子状とすることで調製される。   As the rubber particles, for example, those that do not dissolve in the organic solvent used when forming the resin composition layer and are incompatible with the above-described epoxy resin, curing agent, thermoplastic resin, and the like are used. Such rubber particles are generally prepared by increasing the molecular weight of the rubber component to a level at which it does not dissolve in an organic solvent or resin and making it into particles.

ゴム粒子としては、例えば、コアシェル型ゴム粒子、架橋アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、架橋スチレンブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子などが挙げられる。コアシェル型ゴム粒子は、コア層とシェル層とを有するゴム粒子であり、例えば、外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、内層のコア層がゴム状ポリマーで構成される2層構造、又は外層のシェル層がガラス状ポリマーで構成され、中間層がゴム状ポリマーで構成され、コア層がガラス状ポリマーで構成される3層構造のものなどが挙げられる。ガラス状ポリマー層は、例えば、メチルメタクリレート重合物などで構成され、ゴム状ポリマー層は、例えば、ブチルアクリレート重合物(ブチルゴム)などで構成される。ゴム粒子は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Examples of the rubber particles include core-shell type rubber particles, cross-linked acrylonitrile butadiene rubber particles, cross-linked styrene butadiene rubber particles, and acrylic rubber particles. The core-shell type rubber particles are rubber particles having a core layer and a shell layer. For example, a two-layer structure in which an outer shell layer is made of a glassy polymer and an inner core layer is made of a rubbery polymer, or Examples include a three-layer structure in which the outer shell layer is made of a glassy polymer, the intermediate layer is made of a rubbery polymer, and the core layer is made of a glassy polymer. The glassy polymer layer is made of, for example, methyl methacrylate polymer, and the rubbery polymer layer is made of, for example, butyl acrylate polymer (butyl rubber). A rubber particle may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

ゴム粒子の平均粒径は、好ましくは0.005μm〜1μmの範囲であり、より好ましくは0.2μm〜0.6μmの範囲である。ゴム粒子の平均粒径は、動的光散乱法を用いて測定することができる。例えば、適当な有機溶剤にゴム粒子を超音波などにより均一に分散させ、濃厚系粒径アナライザー(FPAR−1000;大塚電子(株)製)を用いて、ゴム粒子の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。ゴム粒子の含有量は、樹脂組成物層中の不揮発成分100質量%に対し、好ましくは1質量%〜10質量%であり、より好ましくは2質量%〜5質量%である。   The average particle size of the rubber particles is preferably in the range of 0.005 μm to 1 μm, more preferably in the range of 0.2 μm to 0.6 μm. The average particle diameter of the rubber particles can be measured using a dynamic light scattering method. For example, rubber particles are uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves, etc., and a particle size distribution of rubber particles is created on a mass basis using a concentrated particle size analyzer (FPAR-1000; manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). And it can measure by making the median diameter into an average particle diameter. The content of the rubber particles is preferably 1% by mass to 10% by mass and more preferably 2% by mass to 5% by mass with respect to 100% by mass of the nonvolatile component in the resin composition layer.

本発明の保護フィルム付き接着シートに含まれる樹脂組成物層は、必要に応じて、他の添加剤を含んでいてもよく、斯かる他の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物、並びに有機フィラー、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、着色剤及び硬化性樹脂等の樹脂添加剤等が挙げられる。   The resin composition layer contained in the adhesive sheet with a protective film of the present invention may contain other additives as necessary. Examples of such other additives include organic copper compounds and organic zinc. Examples include organic metal compounds such as compounds and organic cobalt compounds, and resin fillers such as organic fillers, thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion-imparting agents, colorants, and curable resins.

樹脂組成物層の厚みは、3μm〜100μmが好ましく、5μm〜80μmがより好ましく、20μm〜60μmが更に好ましい。   The thickness of the resin composition layer is preferably 3 μm to 100 μm, more preferably 5 μm to 80 μm, and still more preferably 20 μm to 60 μm.

<支持体>
支持体としては、プラスチック材料からなるフィルムが好適に用いられる。プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下、「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下、「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミドなどが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。好適な一実施形態において、支持体は、ポリエチレンテレフタレートフィルムである。
<Support>
A film made of a plastic material is preferably used as the support. Examples of the plastic material include polyesters such as polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PET”) and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as “PEN”), polycarbonate (hereinafter referred to as “PET”). PC ”), acrylic such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, polyimide and the like. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable. In a preferred embodiment, the support is a polyethylene terephthalate film.

支持体は、樹脂組成物層と接合する側の表面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。また、接着シートを回路基板にラミネート処理した後に支持体を剥離可能とするため、支持体としては、樹脂組成物層と接合する側の表面に離型層を有する離型層付き支持体を使用するのが好ましい。   The support may be subjected to a mat treatment or a corona treatment on the surface to be joined to the resin composition layer. Also, in order to make the support peelable after the adhesive sheet is laminated on the circuit board, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer is used as the support. It is preferable to do this.

離型層付き支持体を用いる場合、オートカッター装置において、保護フィルム付き接着シートを搬送する過程で、支持体と樹脂組成物層との間に剥離(浮き)が起こり易くなる。剥離が発生した場合、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれの問題が発生し易くなるなどの不具合を生じる。このような支持体と樹脂組成物層との間の剥離を抑制するためには、保護フィルム付き接着シートにおける樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)は、好ましくは0.0055kgf/cm以上、より好ましくは0.0060kgf/cm以上、さらに好ましくは0.0065kgf/cm以上、特に好ましくは0.0070kgf/cm以上、0.0080kgf/cm以上、0.0090kgf/cm以上、0.0100kgf/cm以上、0.0110kgf/cm以上、0.0120kgf/cm以上、0.0130kgf/cm以上、又は0.0140kgf/cm以上である。かかる剥離強度の上限は特に設定されず、接着シートを回路基板にラミネート処理した後に支持体が剥離可能であればよく、一般的には0.2kgf/cm以下の範囲に収まることとなる。なお本発明において、樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)とは、支持体を樹脂組成物層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度(90度ピール強度)をいう。樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)は、支持体を樹脂組成物層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度を引っ張り試験機で測定することにより求めることができる。引っ張り試験機としては、例えば(株)TSE製のAC−50C−SL等が挙げられる。本発明におけるSの値は、実施例記載の方法に従って測定した値である。 When using a support body with a release layer, in an autocutter apparatus, in the process of conveying an adhesive sheet with a protective film, peeling (floating) easily occurs between the support body and the resin composition layer. When peeling occurs, there arises a problem such that a problem of resin peeling easily occurs when the protective film is peeled off in the auto cutter device. In order to suppress such peeling between the support and the resin composition layer, the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer in the adhesive sheet with a protective film is preferably 0.0055 kgf / cm or more, more preferably 0.0060 kgf / cm or more, further preferably 0.0065 kgf / cm or more, particularly preferably 0.0070 kgf / cm or more, 0.0080 kgf / cm or more, 0.0090 kgf / cm or more, 0.0100 kgf. / Cm or more, 0.0110 kgf / cm or more, 0.0120 kgf / cm or more, 0.0130 kgf / cm or more, or 0.0140 kgf / cm or more. The upper limit of the peel strength is not particularly set, and it is sufficient that the support can be peeled after the adhesive sheet is laminated on the circuit board, and generally falls within the range of 0.2 kgf / cm or less. In the present invention, the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer is the peel strength (90 ° when the support is peeled in the direction perpendicular to the resin composition layer (90 ° direction)). Peel strength). Peel strength of support for the resin composition layer (S A), by measuring in the tensile tester peel strength when peeled off in the vertical direction (90 ° direction) to support the resin composition layer Can be sought. Examples of the tensile tester include AC-50C-SL manufactured by TSE Corporation. The value of S A in the present invention is a value measured according to the method described in Examples.

離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、接着シートを回路基板にラミネート処理した後に支持体を剥離可能にし、かつ、保護フィルム付き接着シートにおける樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)が上記好ましいとなるようなものであれば特に限定はされない。好適な離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、及びウレタン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。なお、離型層に汎用されるシリコーン系離型剤は、一般に離型性に優れており、これを主成分とする離型層を使用した場合、保護フィルム付き接着シートにおける樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)を上記好ましい範囲とするのが困難な場合がある。ただし、メチルセルロース、エチルセルロース、アセチルセルロース等のセルロース誘導体やアルキド樹脂等を配合することにより、シリコーン系離型剤の離型性を調整することができるため、かかる離型性の調整によって、支持体の剥離強度(S)を上記好ましい範囲とし得る離型層を調製してもよい。
なお、離型層付き支持体における離型層の厚みは、通常、0.01μm〜1μm程度であり、好ましくは0.01μm〜0.2μmである。
The release agent used for the release layer of the support with a release layer is such that the support can be peeled after the adhesive sheet is laminated on the circuit board, and the support for the resin composition layer in the adhesive sheet with a protective film is provided. There is no particular limitation as long as the peel strength (S A ) of the body is preferable. Suitable release agents include, for example, one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, and urethane resins. In addition, the silicone-based mold release agent widely used for the mold release layer is generally excellent in mold release properties, and when a mold release layer containing this as a main component is used, the resin composition layer in the adhesive sheet with a protective film is used. It may be difficult to set the peel strength (S A ) of the support within the preferred range. However, the release property of the silicone release agent can be adjusted by blending cellulose derivatives such as methyl cellulose, ethyl cellulose, and acetyl cellulose, alkyd resins, and the like. peel strength (S a) may be prepared release layer may be a described preferred ranges.
In addition, the thickness of the release layer in the support with a release layer is usually about 0.01 μm to 1 μm, preferably 0.01 μm to 0.2 μm.

本発明において、離型層付き支持体は、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック(株)製の「SK−1」、「AL−5」、「AL−7」などが挙げられる。   In the present invention, a commercially available product may be used as the support with a release layer. Commercially available products include, for example, “SK-1”, “AL-5”, and “AL-7” manufactured by Lintec Corporation, which are PET films having a release layer mainly composed of an alkyd resin release agent. Or the like.

上記剥離強度(S)は支持体の厚みが大きいほど増大する傾向にある。しかしながら、支持体の厚みが大きすぎると、オートカッター装置においてバキューム吸着による搬送が困難となるなど、連続生産が困難となる傾向にある。また、支持体の厚みが小さすぎると、剥離強度が小さくなりすぎる傾向にあり、また回路基板の表面に仮付けされた接着シートがロール状に巻かれる(カールする)現象が起こるなど、連続生産が困難となる傾向にある。従って、本発明において、支持体の厚みは、5μm〜75μmの範囲が好ましく、10μm〜60μmの範囲がより好ましく、20μm〜50μmの範囲がさらに好ましく、20μm〜45μmの範囲がさらにより好ましく、23μm〜40μmの範囲が特に好ましい。なお、本発明における支持体の厚みは、支持体が離型層付き支持体である場合、離型層付き支持体全体の厚みである。 The peel strength (S A ) tends to increase as the thickness of the support increases. However, if the thickness of the support is too large, continuous production tends to be difficult, for example, it becomes difficult to carry by vacuum suction in the auto cutter device. Also, if the thickness of the support is too small, the peel strength tends to be too small, and the adhesive sheet temporarily attached to the surface of the circuit board is rolled up (curled), resulting in continuous production. Tend to be difficult. Therefore, in the present invention, the thickness of the support is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm, further preferably in the range of 20 μm to 50 μm, still more preferably in the range of 20 μm to 45 μm, and even more preferably in the range of 23 μm to A range of 40 μm is particularly preferred. In addition, the thickness of the support body in this invention is the thickness of the whole support body with a release layer, when a support body is a support body with a release layer.

<保護フィルム>
保護フィルムは、オートカッター装置に接着シートをセットする際に樹脂組成物層表面を物理的ダメージから守り、またゴミ等の異物付着を防止するなどの利点がある。保護フィルムの材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン、PET、PEN等のポリエステル、ポリカーボネート(PC)、ポリイミド等が挙げられる。好適な一実施形態において、保護フィルムは、ポリエチレン、ポリプロピレン及びポリエチレンテレフタレートからなる群から選択される1種以上の材料を含む。
<Protective film>
The protective film has advantages such as protecting the surface of the resin composition layer from physical damage when the adhesive sheet is set in the auto cutter device, and preventing foreign matter such as dust from adhering. Examples of the material for the protective film include polyolefins such as polyethylene, polypropylene, and polyvinyl chloride, polyesters such as PET and PEN, polycarbonate (PC), and polyimide. In a preferred embodiment, the protective film includes one or more materials selected from the group consisting of polyethylene, polypropylene, and polyethylene terephthalate.

保護フィルムは、支持体と同様に、樹脂組成物層と接合する側の表面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。また、保護フィルムは、樹脂組成物層と接合する側の表面に離型層を有していてもよい。樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)は、剥離強度Sとの関係でS−S≧0.0020[kgf/cm]を満たす限り特に限定されないが、実用的な観点から、0.0080kgf/cm以下が好ましく、0.0070kgf/cm以下がより好ましく、0.0060kgf/cm以下がさらに好ましく、0.0050kgf/cm以下がよりさらに好ましく、0.0040kgf/cm以下が特に好ましい。かかる剥離強度の下限は特に設定されず、接着シートを保護するために密着しさえすればよく、一般的には0.0010kgf/cm以上の範囲に収まることとなる。なお本発明において、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とは、保護フィルムを樹脂組成物層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度(90度ピール強度)をいう。樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)は、保護フィルムを樹脂組成物層に対して垂直方向(90度方向)に引き剥がしたときの剥離強度を引っ張り試験機で測定することにより求めることができる。引っ張り試験機としては、Sの測定と同様に、例えば(株)TSE製のAC−50C−SL等が挙げられる。本発明におけるSの値は、実施例記載の方法に従って測定した値である。 Similarly to the support, the protective film may be subjected to mat treatment or corona treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer. Moreover, the protective film may have a release layer on the surface on the side to be bonded to the resin composition layer. Peel strength of the protective film to the resin composition layer (S B) is not particularly limited as long as it satisfies the S A -S B ≧ 0.0020 [kgf / cm] in relation to the peel strength S A, practical point of view Therefore, 0.0080 kgf / cm or less is preferable, 0.0070 kgf / cm or less is more preferable, 0.0060 kgf / cm or less is more preferable, 0.0050 kgf / cm or less is more preferable, and 0.0040 kgf / cm or less is particularly preferable. preferable. The lower limit of the peel strength is not particularly set, and it is sufficient that the adhesive sheet is in close contact to protect the adhesive sheet, and generally falls within the range of 0.0010 kgf / cm or more. In the present invention, the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer is the peel strength (90 ° when the protective film is peeled in the direction perpendicular to the resin composition layer (90 ° direction)). Peel strength). Peel strength of the protective film to the resin composition layer (S B) by measuring in the tensile tester peel strength when peeled off in the vertical direction (90 ° direction) a protective film on the resin composition layer Can be sought. The tensile tester, similarly to the measurement of S A, for example, (Corporation) AC-50C-SL, etc. manufactured by TSE and the like. The value of S B in the present invention is a value measured according to the method described in Examples.

保護フィルムの厚みは、5μm〜75μmの範囲が好ましく、5μm〜30μmの範囲がより好ましい。   The thickness of the protective film is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 5 μm to 30 μm.

本発明の保護フィルム付き接着シートにおいて、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれを防止する観点から、樹脂組成物に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とは、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たすことが重要である。オートカッター装置における保護フィルム付き接着シートの搬送速度が高い条件下においても樹脂剥がれの問題を防止する観点から、樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とは、S−S≧0.0022[kgf/cm]を満たすことがより好ましく、S−S≧0.0025[kgf/cm]、S−S≧0.0030[kgf/cm]、S−S≧0.0035[kgf/cm]、S−S≧0.0040[kgf/cm]、S−S≧0.0045[kgf/cm]、S−S≧0.0050[kgf/cm]、S−S≧0.0055[kgf/cm]、又はS−S≧0.0060[kgf/cm]を満たすことがさらに好ましい。かかるS−Sの上限は特に設定されないが、一般的にはS−S≦0.20[kgf/cm]、S−S≦0.020[kgf/cm]などの範囲に収まることとなる。 In the adhesive sheet with a protective film of the present invention, from the viewpoint of preventing resin peeling at the time of peeling of the protective film in the auto cutter device, the peeling strength (S A ) of the support with respect to the resin composition and the protective film against the resin composition layer It is important that the peel strength (S B ) satisfies S A −S B ≧ 0.0020 [kgf / cm]. From the viewpoint of preventing the problem of resin peeling even under conditions where the conveying speed of the adhesive sheet with a protective film in the auto cutter device is high, the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the protection against the resin composition layer The peel strength (S B ) of the film more preferably satisfies S A −S B ≧ 0.0022 [kgf / cm], and S A −S B ≧ 0.0025 [kgf / cm], S A − S B ≧ 0.0030 [kgf / cm], S A −S B ≧ 0.0035 [kgf / cm], S A −S B ≧ 0.0040 [kgf / cm], S A −S B ≧ 0. 0045 [kgf / cm], S A -S B ≧ 0.0050 [kgf / cm], S A -S B ≧ 0.0055 [kgf / cm], or S A -S B ≧ 0.0060 [kgf / cm] cm] Are more preferable. The upper limit of S A -S B is not particularly set, but generally ranges such as S A -S B ≦ 0.20 [kgf / cm], S A -S B ≦ 0.020 [kgf / cm], etc. Will fit in.

本発明の保護フィルム付き接着シートにおいて、支持体及び保護フィルムのそれぞれの厚みは、上記のとおり5μm〜75μmの範囲であることが好ましい。樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)との差(S−S)を特定範囲とする観点から、保護フィルムは支持体よりも薄いことが好ましい。支持体の厚みをDとし、保護フィルムの厚みをDとするとき、D/Dの比は、1未満が好ましく、0.9以下がより好ましく、0.8以下がさらに好ましく、0.7以下が特に好ましい。 In the adhesive sheet with a protective film of the present invention, the thickness of each of the support and the protective film is preferably in the range of 5 μm to 75 μm as described above. From the viewpoint of setting the difference (S A -S B ) between the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer, the protective film is It is preferably thinner than the support. The thickness of the support and D A, when the thickness of the protective film and D B, the ratio of D B / D A is preferably less than 1, more preferably 0.9 or less, more preferably 0.8 or less, 0.7 or less is particularly preferable.

本発明の保護フィルム付き接着シートは、例えば、下記工程(1)及び(2)を含む製造方法により製造することができる。
(1)支持体と接合するように樹脂組成物層を設けて接着シートを形成する工程、
(2)上記(1)で得た接着シートの樹脂組成物層と接合するように保護フィルムを設ける工程
The adhesive sheet with a protective film of the present invention can be produced, for example, by a production method including the following steps (1) and (2).
(1) A step of forming an adhesive sheet by providing a resin composition layer so as to be bonded to a support,
(2) The process of providing a protective film so that it may join with the resin composition layer of the adhesive sheet obtained by said (1).

工程(1)において、樹脂組成物層は、公知の方法で、支持体と接合するように設けることができる。例えば、溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーターなどの塗布装置を用いて支持体表面に塗布し、樹脂ワニスを乾燥させて樹脂組成物層を設けることができる。   In the step (1), the resin composition layer can be provided by a known method so as to be bonded to the support. For example, preparing a resin varnish in which a resin composition is dissolved in a solvent, applying the resin varnish to a support surface using a coating device such as a die coater, and drying the resin varnish to provide a resin composition layer Can do.

樹脂ワニスの調製に用いる溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン及びシクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド及びN−メチルピロリドン等のアミド系溶媒等を挙げることができる。溶剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。   Solvents used for preparing the resin varnish include, for example, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate, cellosolve and butylcarbi Examples thereof include carbitols such as Tol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone. A solvent may be used individually by 1 type or may use 2 or more types together.

樹脂ワニスの乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の乾燥方法により実施してよい。樹脂組成物層中に溶剤が多く残留すると、硬化後に膨れが発生する原因となるため、樹脂組成物中の残留溶剤量が通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。
樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)との差(S−S)を特定範囲とする観点から、樹脂組成物中の残留溶剤量が、より好ましくは0.2質量%〜5質量%の範囲、さらに好ましくは0.5質量%〜4.5質量%の範囲、特に好ましくは1.6質量%〜4.0質量%の範囲となるように乾燥させる。
The resin varnish may be dried by a known drying method such as heating or hot air blowing. If a large amount of solvent remains in the resin composition layer, it may cause swelling after curing. Therefore, the resin composition layer is dried so that the amount of residual solvent in the resin composition is usually 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. .
From the viewpoint of setting the difference (S A -S B ) between the peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer to a specific range, the resin composition The amount of residual solvent is more preferably in the range of 0.2% by mass to 5% by mass, further preferably in the range of 0.5% by mass to 4.5% by mass, particularly preferably 1.6% by mass to 4.% by mass. Dry to a range of 0% by mass.

樹脂ワニスの乾燥条件は、形成される樹脂組成物層の最低溶融粘度温度に影響を与える。樹脂組成物の配合組成にもよるが、一実施形態では、樹脂組成物層の最低溶融粘度温度が、好ましくは60℃〜170℃の範囲、より好ましくは70℃〜160℃の範囲、さらに好ましくは80℃〜150℃の範囲となるように乾燥させる。ここで、樹脂組成物層の「最低溶融粘度温度」とは、樹脂組成物層が最低溶融粘度を示すときの温度をいう。また、樹脂組成物層の「最低溶融粘度」とは、樹脂組成物層の樹脂が溶融した際に樹脂組成物層が呈する最低の粘度をいう。詳細には、一定の昇温速度で樹脂組成物層を加熱して樹脂を溶融させると、初期の段階は溶融粘度が温度上昇とともに低下し、その後、ある温度を超えると温度上昇とともに溶融粘度が上昇するが、「最低溶融粘度」とは、かかる極小点の溶融粘度をいう。樹脂組成物層の最低溶融粘度温度は、動的粘弾性法により測定することができる。具体的には、樹脂組成物層の最低溶融粘度温度は、測定開始温度60℃、昇温速度5℃/分及び振動数1Hz、ひずみ1degの条件で動的粘弾性測定を行うことにより得ることができる。動的粘弾性測定装置としては、例えば、(株)ユー・ビー・エム社製の「Rheosol−G3000」が挙げられる。   The drying conditions of the resin varnish affect the minimum melt viscosity temperature of the formed resin composition layer. Depending on the composition of the resin composition, in one embodiment, the minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer is preferably in the range of 60 ° C to 170 ° C, more preferably in the range of 70 ° C to 160 ° C, and still more preferably. Is dried so as to be in the range of 80 ° C to 150 ° C. Here, the “minimum melt viscosity temperature” of the resin composition layer refers to a temperature at which the resin composition layer exhibits the minimum melt viscosity. The “minimum melt viscosity” of the resin composition layer refers to the lowest viscosity exhibited by the resin composition layer when the resin of the resin composition layer is melted. Specifically, when the resin composition layer is heated at a constant temperature increase rate to melt the resin, the initial stage of the melt viscosity decreases with increasing temperature, and then, when the temperature exceeds a certain temperature, the melt viscosity decreases with increasing temperature. The “minimum melt viscosity” refers to the melt viscosity at such a minimum point. The minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer can be measured by a dynamic viscoelastic method. Specifically, the minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer is obtained by performing dynamic viscoelasticity measurement under the conditions of a measurement start temperature of 60 ° C., a heating rate of 5 ° C./min, a frequency of 1 Hz, and a strain of 1 deg. Can do. Examples of the dynamic viscoelasticity measuring apparatus include “Rheosol-G3000” manufactured by UBM Co., Ltd.

溶剤の種類及び樹脂組成物の配合組成にもよるが、好ましくは50℃〜150℃の温度にて3分〜10分の間、より好ましくは65℃〜140℃の温度にて3分〜10分の間、更に好ましくは70℃〜120℃の温度にて3分〜8分の間樹脂ワニスを乾燥させることにより樹脂組成物層を形成することができる。なお、上記の残留溶剤量及び/又は最低溶融粘度温度を達成し得る限りにおいて、上記範囲とは異なる乾燥温度、乾燥時間を採用してもよい。   Depending on the type of solvent and the composition of the resin composition, the temperature is preferably 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes, more preferably 65 ° C. to 140 ° C. for 3 minutes to 10 minutes. The resin composition layer can be formed by drying the resin varnish for 3 minutes to 8 minutes at a temperature of 70 ° C. to 120 ° C. for 3 minutes to 8 minutes. In addition, as long as said residual solvent amount and / or minimum melt viscosity temperature can be achieved, you may employ | adopt drying temperature and drying time different from the said range.

工程(2)において、工程(1)で得た接着シートの樹脂組成物層と接合するように保護フィルムを設ける。   In the step (2), a protective film is provided so as to be bonded to the resin composition layer of the adhesive sheet obtained in the step (1).

樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)が所望の範囲にある保護フィルム付き接着シートが得られ易い観点から、工程(2)においては、ロールやプレス圧着等で保護フィルムを接着シートの樹脂組成物層にラミネート処理することが好ましい。 Peel strength of the support and the protective film (S A and S B) from easily viewpoint protective film with adhesive sheet was obtained in the desired range for the resin composition layer, in the step (2), roll or press bonding, etc. It is preferable to laminate the protective film on the resin composition layer of the adhesive sheet.

工程(2)におけるラミネート処理において、圧着圧力は、通常0.02kgf/cm〜11kgf/cm(0.196×10N/m〜107.9×10N/m)の範囲であり、好ましくは0.03kgf/cm〜5kgf/cm(0.294×10N/m〜78.4×10N/m)の範囲、より好ましくは0.04kgf/cm〜2kgf/cm(0.392×10N/m〜49×10N/m)の範囲である。 In the laminating process in the step (2), the pressure is usually in the range of 0.02 kgf / cm 2 to 11 kgf / cm 2 (0.196 × 10 4 N / m 2 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ). Preferably in the range of 0.03 kgf / cm 2 to 5 kgf / cm 2 (0.294 × 10 4 N / m 2 to 78.4 × 10 4 N / m 2 ), more preferably 0.04 kgf / cm in the range of 2 ~2kgf / cm 2 (0.392 × 10 4 N / m 2 ~49 × 10 4 N / m 2).

樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)が所望の範囲にある保護フィルム付き接着シートを製造するにあたり、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−10℃]以下の温度条件にて工程(2)を実施することが好ましい。支持体や保護フィルムと樹脂組成物層との十分な密着性を得ると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれを防止する観点から、工程(2)は、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−20℃]以下の温度条件にて実施することがより好ましく、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−80℃]〜[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−30℃]の範囲の温度条件にて実施することがさらに好ましく、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−55℃]〜[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−30℃]の範囲の温度条件にて実施することが特に好ましい。 In producing an adhesive sheet with a protective film in which the peel strength (S A and S B ) of the support and the protective film with respect to the resin composition layer is in a desired range, [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer −10 ° C.] It is preferable to implement a process (2) on the following temperature conditions. From the viewpoint of obtaining sufficient adhesion between the support or the protective film and the resin composition layer, and preventing the resin from peeling when the protective film is peeled off in the auto cutter device, the step (2) is [minimum of the resin composition layer]. More preferably, it is carried out under the following temperature conditions: [Minimum Melt Viscosity Temperature of Resin Composition Layer—80 ° C.] to [Minimum Melt Viscosity Temperature of Resin Composition Layer—30 ° C.] More preferably, it is carried out under a temperature condition within the range, and is carried out under a temperature condition ranging from [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer−55 ° C.] to [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer−30 ° C.]. It is particularly preferable to do this.

樹脂組成物層の組成にもよるが、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)が所望の範囲にある保護フィルム付き接着シートを製造する観点から、
工程(1)において、樹脂組成物中の残留溶剤量が0.2質量%〜5質量%の範囲及び樹脂組成物層の最低溶融粘度温度が60℃〜170℃の範囲となるように樹脂ワニスを乾燥して樹脂組成物層を形成し、かつ、工程(2)において、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−80℃]〜[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−10℃]の範囲の温度にて、圧着圧力0.02kgf/cm〜11kgf/cm(0.196×10N/m〜107.9×10N/m)の範囲の条件で、樹脂組成物層と接合するように保護フィルムを設けることが好ましく、
工程(1)において、樹脂組成物中の残留溶剤量が0.5質量%〜4.5質量%の範囲及び樹脂組成物層の最低溶融粘度温度が70℃〜160℃の範囲となるように樹脂ワニスを乾燥して樹脂組成物層を形成し、かつ、工程(2)において、[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−55℃]〜[樹脂組成物層の最低溶融粘度温度−20℃]の範囲の温度にて、圧着圧力0.04kgf/cm〜2kgf/cm(0.392×10N/m〜49×10N/m)の範囲の条件で、樹脂組成物層と接合するように保護フィルムを設けることがより好ましい。
Depending on the composition of the resin composition layer, from the viewpoint of peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B) to produce a adhesive sheet with protective films in the desired range,
In step (1), the resin varnish is adjusted so that the amount of residual solvent in the resin composition is in the range of 0.2% by mass to 5% by mass and the minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer is in the range of 60 ° C to 170 ° C. Is dried to form a resin composition layer, and in the step (2), the [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer −80 ° C.] to the [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer −10 ° C.]. Resin composition under conditions of pressure bonding pressure of 0.02 kgf / cm 2 to 11 kgf / cm 2 (0.196 × 10 4 N / m 2 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ) at a temperature in the range. It is preferable to provide a protective film so as to join the physical layer,
In step (1), the amount of residual solvent in the resin composition is in the range of 0.5 mass% to 4.5 mass%, and the minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer is in the range of 70 ° C. to 160 ° C. The resin varnish is dried to form a resin composition layer, and in the step (2), [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer −55 ° C.] to [minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer −20 ° C. ] At a temperature in the range of 0.04 kgf / cm 2 to 2 kgf / cm 2 (0.392 × 10 4 N / m 2 to 49 × 10 4 N / m 2 ), and the resin composition. It is more preferable to provide a protective film so as to be bonded to the physical layer.

工程(2)の後、得られた保護フィルム付き接着シートをロール状に巻き取ることで、ロール状の保護フィルム付き接着シートを製造することができる。ロール状の保護フィルム付き接着シートは、後述する積層体及びプリント配線板の製造方法に用いることができる。なお、ロール状の保護フィルム付き接着シートにおいて、その長手方向が、後述する積層体及びプリント配線板の製造方法におけるMD方向に対応する。よって、ロール状の保護フィルム付き接着シートにおいて、少なくとも長手方向の剥離強度が、上記のS及びSの関係を満たすことが好ましい。 A roll-shaped adhesive sheet with a protective film can be manufactured by winding the obtained adhesive sheet with a protective film into a roll after the step (2). A roll-shaped adhesive sheet with a protective film can be used for the manufacturing method of the laminated body and printed wiring board which are mentioned later. In addition, in a roll-shaped adhesive sheet with a protective film, the longitudinal direction corresponds to the MD direction in the manufacturing method of the laminated body and printed wiring board mentioned later. Therefore, in the roll-shaped adhesive sheet with a protective film, it is preferable that at least the peel strength in the longitudinal direction satisfies the relationship of the above S A and S B.

上記の保護フィルム付き接着シートの製造方法は、ロール状に巻き取られた支持体から支持体を連続的に搬送し、樹脂ワニスの塗布及び乾燥により支持体上に樹脂組成物層を形成した後、樹脂組成物層と接合するように保護フィルム(ロール状に巻き取られた保護フィルムを利用し得る)を設けることにより、連続的に実施することができる。   The manufacturing method of said adhesive film with a protective film is after conveying a support body from the support body wound up by roll shape, and forming a resin composition layer on a support body by application | coating and drying of a resin varnish. By providing a protective film (a protective film wound in a roll shape can be used) so as to be joined to the resin composition layer, it can be carried out continuously.

本発明の保護フィルム付き接着シートは、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれを生じさせず、回路歪みの問題を生じないプリント配線板を高い生産速度にて製造することが可能となるため、プリント配線板のビルドアップ層用保護フィルム付き接着シートとして好適である。   Since the adhesive sheet with a protective film of the present invention does not cause the resin peeling at the time of peeling the protective film in the auto cutter device, it becomes possible to produce a printed wiring board that does not cause a problem of circuit distortion at a high production rate. It is suitable as an adhesive sheet with a protective film for a buildup layer of a printed wiring board.

[カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体の製造方法]
本発明のロール状保護フィルム付き接着シートを用いて、カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体(以下、単に「積層体」ともいう。)を連続的に製造することができる。
[Manufacturing Method of Laminate with Cut Adhesive Sheet on Surface of Circuit Board]
Using the adhesive sheet with a roll-shaped protective film of the present invention, a laminate in which the cut adhesive sheet is provided on the surface of the circuit board (hereinafter also simply referred to as “laminate”) can be continuously produced. it can.

すなわち、本発明の積層体の製造方法は、下記工程(a−1)乃至(a−4)を含む。
(a−1)本発明のロール状保護フィルム付き接着シートから保護フィルム付き接着シートを搬送しながら、保護フィルムを剥離する工程、
(a−2)樹脂組成物層が露出した接着シートを、樹脂組成物層が回路基板と接合するように配置する工程、
(a−3)接着シートの一部を支持体側から加熱及び加圧することで部分的に接着シートを回路基板に接着する工程、及び
(a−4)接着シートを回路基板のサイズに応じてカッターでカットすることにより、カットされた接着シートを回路基板の表面に設ける工程
That is, the manufacturing method of the laminated body of this invention includes the following process (a-1) thru | or (a-4).
(A-1) The process of peeling a protective film, conveying an adhesive sheet with a protective film from the adhesive sheet with a roll-shaped protective film of this invention,
(A-2) a step of arranging the adhesive sheet from which the resin composition layer is exposed so that the resin composition layer is bonded to the circuit board;
(A-3) a step of partially bonding the adhesive sheet to the circuit board by heating and pressing a part of the adhesive sheet from the support side, and (a-4) a cutter according to the size of the circuit board. The process of providing the cut adhesive sheet on the surface of the circuit board by cutting with

本発明の積層体の製造方法は、オートカッター装置を用いて実施することができる。以下、図2を参照しつつ、本発明の積層体の製造方法の一実施形態を説明する。   The manufacturing method of the laminated body of this invention can be implemented using an auto cutter apparatus. Hereinafter, an embodiment of the method for producing a laminate of the present invention will be described with reference to FIG.

まず回路基板6の幅に予めスリットされたロール状保護フィルム付き接着シート11を、オートカッター装置10にセットする。図2においては、回路基板6の片面(図2において上面)に接着シート4を設ける態様を示し、回路基板6の上方に1本のロール状保護フィルム付き接着シート11がセットされている。以下においては、斯かる図2の記載に基づいて、回路基板6の片面に接着シート4を設ける態様について説明するが、回路基板6の下方にも1本のロール状保護フィルム付き接着シート11をさらにセットし、回路基板6の両面に接着シート4を設けてもよい。   First, the adhesive sheet 11 with a roll-shaped protective film slit in advance in the width of the circuit board 6 is set in the auto cutter device 10. FIG. 2 shows an embodiment in which the adhesive sheet 4 is provided on one side (the upper surface in FIG. 2) of the circuit board 6, and one adhesive sheet 11 with a roll-shaped protective film is set above the circuit board 6. In the following, an embodiment in which the adhesive sheet 4 is provided on one side of the circuit board 6 will be described based on the description of FIG. 2, but one adhesive sheet 11 with a roll-shaped protective film is also provided below the circuit board 6. Further, the adhesive sheet 4 may be provided on both sides of the circuit board 6 by setting.

工程(a−1)において、本発明のロール状保護フィルム付き接着シート11から保護フィルム付き接着シート1を搬送しながら、保護フィルム5を剥離する。   In the step (a-1), the protective film 5 is peeled while the adhesive sheet 1 with a protective film is conveyed from the adhesive sheet 11 with a roll-shaped protective film of the present invention.

例えば、保護フィルム付き接着シート1が保護フィルム取り出し具13を通過する際に接着シート4から保護フィルム5を剥離することができる。剥離された保護フィルム5は保護フィルム巻き取りロール12により回収することができる。なお、保護フィルム取り出し具13の形状、機構は、本発明の保護フィルム付き接着シートを用いる限り特に限定されないが、一般的には円柱状、角柱状である。また、図2に示すように、保護フィルム付き接着シート1の搬送方向に対し略直角方向(すなわち、搬送方向に対し90±45度方向)に保護フィルム5を取り出すことができるような形状、機構であるとより容易に剥離することができる。好適な一実施形態において、保護フィルム取り出し具13は、保護フィルム取り出し角度が90±45度の角柱の形状を有する。   For example, the protective film 5 can be peeled from the adhesive sheet 4 when the adhesive sheet with protective film 1 passes through the protective film take-out tool 13. The peeled protective film 5 can be collected by the protective film take-up roll 12. The shape and mechanism of the protective film take-out tool 13 are not particularly limited as long as the adhesive sheet with a protective film of the present invention is used, but are generally cylindrical or prismatic. In addition, as shown in FIG. 2, a shape and mechanism that allows the protective film 5 to be taken out in a direction substantially perpendicular to the conveying direction of the adhesive sheet 1 with the protective film (that is, 90 ± 45 degrees direction with respect to the conveying direction). When it is, it can peel more easily. In a preferred embodiment, the protective film removal tool 13 has a prismatic shape with a protective film removal angle of 90 ± 45 degrees.

保護フィルム5が剥離されて樹脂組成物層が露出した接着シート4は、回路基板6へと搬送される。   The adhesive sheet 4 from which the protective film 5 is peeled and the resin composition layer is exposed is conveyed to the circuit board 6.

工程(a−1)における保護フィルム付き接着シート11(あるいは接着シート4)の搬送速度は、本発明の保護フィルム付き接着シートを用いる限り特に限定されない。プリント配線板の生産速度の向上に寄与する観点から、上記搬送速度は1m/分以上であることが好ましい。   The conveyance speed of the adhesive sheet with a protective film 11 (or adhesive sheet 4) in the step (a-1) is not particularly limited as long as the adhesive sheet with a protective film of the present invention is used. From the viewpoint of contributing to an improvement in the production speed of the printed wiring board, the transport speed is preferably 1 m / min or more.

本発明の保護フィルム付き接着シートは、搬送速度が高い条件下でも保護フィルム剥離時の樹脂剥がれを生じない。よって、上記搬送速度は2m/分以上であってもよく、3m/分以上であってもよく、4m/分以上であってもよく、5m/分以上とすることもできる。   The adhesive sheet with a protective film of the present invention does not cause the resin to peel off when the protective film is peeled off even under a high conveying speed. Therefore, the conveyance speed may be 2 m / min or more, 3 m / min or more, 4 m / min or more, or 5 m / min or more.

本発明において、工程(a−1)における保護フィルム付き接着シート11(あるいは接着シート4)の搬送速度は、後段のプロセス速度に応じて1m/分〜20m/分の範囲で所望の速度を選択することができる。このように本発明は、プリント配線板の生産速度に著しく寄与するものである。   In the present invention, the transport speed of the protective film-attached adhesive sheet 11 (or adhesive sheet 4) in the step (a-1) is selected in the range of 1 m / min to 20 m / min according to the subsequent process speed. can do. Thus, the present invention significantly contributes to the production speed of the printed wiring board.

なお、工程(a−1)における保護フィルム付き接着シート11(あるいは接着シート4)の搬送手段は特に限定されず、例えば、支持体側からバキューム吸着で吸い付けることにより接着シートを固定した後、機械的に行うことができる。   In addition, the conveyance means of the adhesive sheet 11 with a protective film (or adhesive sheet 4) in the step (a-1) is not particularly limited. For example, after fixing the adhesive sheet by suction from the support side by vacuum suction, Can be done automatically.

工程(a−2)において、樹脂組成物層が露出した接着シート4を、樹脂組成物層が回路基板6と接合するように配置する。例えば、コンベア装置15により搬送される回路基板6に対して、誘導ロール16及び17により接着シート4を位置合わせすることができる。   In the step (a-2), the adhesive sheet 4 from which the resin composition layer is exposed is disposed so that the resin composition layer is bonded to the circuit board 6. For example, the adhesive sheet 4 can be aligned by the guide rolls 16 and 17 with respect to the circuit board 6 conveyed by the conveyor device 15.

なお、本発明において、「回路基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成されたものをいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「回路基板」に含まれる。   In the present invention, the “circuit board” is mainly patterned on one or both sides of a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. This means that a conductor layer (circuit) is formed. Further, when the printed wiring board is manufactured, an inner layer circuit board of an intermediate product on which an insulating layer and / or a conductor layer is to be formed is also included in the “circuit board” in the present invention.

工程(a−3)において、接着シート4の一部を支持体側から加熱及び加圧することで部分的に接着シート4を回路基板6に接着する。   In the step (a-3), the adhesive sheet 4 is partially bonded to the circuit board 6 by partially heating and pressing a part of the adhesive sheet 4 from the support side.

例えば、回路基板6の送り方向において前方の一部(図2において回路基板6の右側の一部)のうち、ラミネート処理を必要とする回路に重なっていない不要部分において、接着シート4の一部を接触式ヒーター装置18等により支持体側から加熱及び加圧することで、部分的に接着シート4を回路基板6に接着することができる。   For example, a part of the adhesive sheet 4 in an unnecessary part that does not overlap with a circuit that requires a lamination process among a part in the front in the feeding direction of the circuit board 6 (a part on the right side of the circuit board 6 in FIG. 2). The adhesive sheet 4 can be partially bonded to the circuit board 6 by heating and pressurizing from the support side by the contact heater device 18 or the like.

樹脂組成物層に使用した樹脂組成物とその溶融粘度特性にもよるが、通常60℃〜130℃(好ましくは60℃〜120℃)の温度にて、1秒間〜20秒間(好ましくは5秒間〜15秒間)程度、部分的に接着シート4を回路基板6に圧着する。圧着時の圧力は、好ましくは0.02kgf/cm〜0.25kgf/cm(0.196N/m〜2.45N/m)の範囲、より好ましくは0.05kgf/cm〜0.20kgf/cm(0.49N/m〜1.96N/m)の範囲である。 Although depending on the resin composition used for the resin composition layer and its melt viscosity characteristics, the temperature is usually 60 ° C. to 130 ° C. (preferably 60 ° C. to 120 ° C.) for 1 second to 20 seconds (preferably 5 seconds). The adhesive sheet 4 is partially bonded to the circuit board 6 for about 15 seconds). The pressure during pressure bonding is preferably in the range of 0.02 kgf / cm 2 to 0.25 kgf / cm 2 (0.196 N / m 2 to 2.45 N / m 2 ), more preferably 0.05 kgf / cm 2 to 0. .20 kgf / cm 2 (0.49 N / m 2 to 1.96 N / m 2 ).

工程(a−4)において、接着シート4を回路基板6のサイズに応じてカッター14でカットすることにより、カットされた接着シートを回路基板の表面に設ける。   In the step (a-4), the adhesive sheet 4 is cut with a cutter 14 in accordance with the size of the circuit board 6 to provide the cut adhesive sheet on the surface of the circuit board.

カットする際、樹脂組成物の切りカス(レジンチップ)が発生するのを低減する目的で、40℃〜80℃の範囲で加温されたカッターバックアップヒーターが設置されていることが好ましい。   When cutting, it is preferable that a cutter backup heater heated in the range of 40 ° C. to 80 ° C. is installed for the purpose of reducing the occurrence of cutting residue (resin chips) of the resin composition.

上記の工程(a−1)乃至(a−4)は全て、オートカッター装置内で連続的に実施することができる。市販されているオートカッター装置としては、例えば、伯東(株)製ドライフィルムラミネーターMachシリーズ、新栄機工(株)オートカッターFAC500、SAC−500/600などが挙げられる。   All the above steps (a-1) to (a-4) can be carried out continuously in the auto cutter device. Examples of commercially available autocutter devices include dry film laminator Mach series manufactured by Hakuto Co., Ltd., Shinei Kiko Co., Ltd. autocutter FAC500, SAC-500 / 600, and the like.

本発明の方法により製造される積層体は、カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体であり、これは、カットされた接着シートが回路基板の表面に仮付けされた積層体である。   The laminate manufactured by the method of the present invention is a laminate in which the cut adhesive sheet is provided on the surface of the circuit board, and this is a laminate in which the cut adhesive sheet is temporarily attached to the surface of the circuit board. Is the body.

[プリント配線板の製造方法]
上記で得られた、カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体を用いて、プリント配線板を製造することができる。
[Method of manufacturing printed wiring board]
A printed wiring board can be manufactured using the laminate obtained by the above and having the cut adhesive sheet provided on the surface of the circuit board.

本発明のプリント配線板の製造方法は、下記工程(b−1)及び(b−2)を含む。
(b−1)本発明の方法で製造された積層体を加熱及び加圧し、回路基板に接着シートをラミネート処理する工程、及び
(b−2)樹脂組成物層を熱硬化し、絶縁層を形成する工程
The method for producing a printed wiring board of the present invention includes the following steps (b-1) and (b-2).
(B-1) heating and pressurizing the laminate produced by the method of the present invention, and laminating an adhesive sheet on the circuit board; and (b-2) thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer. Forming process

工程(b−1)は、本発明の方法で製造された積層体を加熱及び加圧し、回路基板に接着シートをラミネート処理する工程である。かかる工程(b−1)において、接着シートの全体を回路基板の表面にラミネート処理する。   Step (b-1) is a step of heating and pressing the laminate produced by the method of the present invention and laminating an adhesive sheet on the circuit board. In this step (b-1), the entire adhesive sheet is laminated on the surface of the circuit board.

積層体の加熱及び加圧は、例えば、加熱されたSUS鏡板等の金属板を支持体側からプレスすることにより行うことができる。この場合、金属板を直接プレスするのではなく、回路基板の回路凹凸に接着シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスを行うのが好ましい。   The laminated body can be heated and pressurized by, for example, pressing a heated metal plate such as a SUS mirror plate from the support side. In this case, it is preferable not to press the metal plate directly, but to press through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive sheet sufficiently follows the circuit irregularities of the circuit board.

プレス温度は、好ましくは70℃〜140℃の範囲であり、プレス圧力は好ましくは1kgf/cm〜11kgf/cm(9.8×10N/m〜107.9×10N/m)の範囲で行われる。 The pressing temperature is preferably in the range of 70 ° C. to 140 ° C., and the pressing pressure is preferably 1 kgf / cm 2 to 11 kgf / cm 2 (9.8 × 10 4 N / m 2 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ).

工程(b−1)において、好ましくは20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下で積層体を加熱及び加圧する。   In the step (b-1), the laminate is preferably heated and pressurized under a reduced pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less.

ラミネート処理の後に、好ましくは、金属板による熱プレスにより、ラミネート処理された接着シートの平滑化処理を行う。該平滑化処理は、常圧下(大気圧下)で、加熱されたSUS鏡板等の金属板により、接着シートを加熱および加圧することにより行われる。加熱および加圧条件は、上記ラミネート処理と同様の条件とすることができる。   After the laminating process, preferably, the laminated adhesive sheet is smoothed by hot pressing with a metal plate. The smoothing treatment is performed by heating and pressurizing the adhesive sheet with a heated metal plate such as a SUS mirror plate under normal pressure (atmospheric pressure). The heating and pressurizing conditions can be the same conditions as in the laminating process.

ラミネート処理(及び平滑化処理)は、市販されている真空ラミネーターによって連続的に行うことができる。市販されている真空ラミネーターとしては、例えば、(株)名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、ニチゴー・モートン(株)製バキュームアップリケーター等が挙げられる。   The laminating process (and the smoothing process) can be continuously performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of the commercially available vacuum laminator include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nichigo Morton, and the like.

ラミネート処理(及び平滑化処理)の後、支持体を剥離して樹脂組成物層を露出させる。あるいは、支持体の剥離は、工程(b−2)の後に実施してもよい。支持体の剥離は、手動で剥離してもよく、自動剥離装置により機械的に剥離してもよい。   After the laminating process (and smoothing process), the support is peeled off to expose the resin composition layer. Or you may implement peeling of a support body after a process (b-2). The support may be peeled off manually or mechanically by an automatic peeling device.

工程(b−2)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。   In the step (b-2), the resin composition layer is thermoset to form an insulating layer.

工程(b−2)における樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、一般に硬化温度は170℃〜190℃の範囲、硬化時間は15分間〜60分間の範囲とすることができる。   The thermosetting conditions of the resin composition layer in the step (b-2) vary depending on the type of the resin composition, but generally the curing temperature is in the range of 170 ° C. to 190 ° C., and the curing time is in the range of 15 minutes to 60 minutes. It can be.

本発明のプリント配線板の製造方法は、絶縁層に穴あけする穴あけ工程、該絶縁層を粗化処理する粗化工程、粗化された絶縁層表面にメッキにより導体層を形成するメッキ工程、及び導体層に回路を形成する回路形成工程をさらに含んでもよい。これらの工程は、当業者に公知である、プリント配線板の製造に用いられている各種方法に従って行うことができる。   The method for producing a printed wiring board of the present invention includes a drilling step for drilling an insulating layer, a roughening step for roughening the insulating layer, a plating step for forming a conductor layer by plating on the surface of the roughened insulating layer, and A circuit forming step of forming a circuit on the conductor layer may be further included. These steps can be performed according to various methods used for manufacturing a printed wiring board, which are known to those skilled in the art.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

まず各種測定方法・評価方法について説明する。 First, various measurement methods and evaluation methods will be described.

<剥離強度の測定>
(1)樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)の測定
実施例及び比較例で製造したロール状保護フィルム付き接着シートを、長手方向に縦長になるように幅30mm、長さ100mmにカットした後、保護フィルムを剥離して、測定試料を得た。得られた試料の樹脂組成物層側表面に幅25mm、長さ95mmの両面テープ(ニチバン株式会社製「ナイスタック」)を貼り付け、幅27mm、長さ100mmにカットした高級厚口用紙(株式会社ジツタ製「こな雪210(超厚)」)に接着した。支持体の一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温(23℃)下、50mm/分の速度で垂直方向に支持体を30mmを引き剥がした時の荷重を測定し、剥離強度Sを求めた。測定には、引っ張り試験機((株)TSE製「AC−50C−SL」)を使用した。
<Measurement of peel strength>
(1) Measurement of peel strength (S A ) of support for resin composition layer 30 mm wide and 100 mm long adhesive sheet with roll-shaped protective film produced in Examples and Comparative Examples is vertically long in the longitudinal direction. Then, the protective film was peeled off to obtain a measurement sample. A high-end thick paper (stock) with a 25 mm wide and 95 mm long double-sided tape (“Nystack” manufactured by Nichiban Co., Ltd.) attached to the surface of the obtained resin composition layer side and cut to a width of 27 mm and a length of 100 mm It was adhered to “Kona Snow 210 (super-thick)” manufactured by JITTA. Gripping in the jaws peel off the end of the support was measured a load at the time of peeling off the 30mm support vertically at room temperature (23 ° C.) under, 50 mm / min to determine the peel strength S A . For the measurement, a tensile testing machine (“AC-50C-SL” manufactured by TSE Co., Ltd.) was used.

(2)樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)の測定
実施例及び比較例で製造したロール状保護フィルム付き接着シートを、長手方向に縦長になるように、幅30mm、長さ100mmにカットし、測定試料を得た。得られた試料の支持体側表面に幅25mm、長さ95mmの両面テープ(ニチバン株式会社製「ナイスタック」)を貼り付け、幅27mm、長さ100mmにカットした高級厚口用紙(株式会社ジツタ製「こな雪210(超厚)」)に接着した。保護フィルムの一端を剥がしてつかみ具で掴み、室温(23℃)下、50mm/分の速度で垂直方向に保護フィルムを30mm引き剥がした時の荷重を測定し、剥離強度Sを求めた。測定には、引っ張り試験機((株)TSE製の「AC−50C−SL」)を使用した。
(2) Measurement of peel strength (S B ) of protective film for resin composition layer 30 mm width and length of adhesive sheet with roll-shaped protective film produced in Examples and Comparative Examples so as to be vertically long in the longitudinal direction Cut to 100 mm to obtain a measurement sample. A high-end cardboard paper (manufactured by JITTA CORPORATION) with a double-sided tape having a width of 25 mm and a length of 95 mm (“Nystack” manufactured by Nichiban Co., Ltd.) attached to the surface of the support of the obtained sample and cut to a width of 27 mm and a length of 100 mm "Kona snow 210 (super-thick)"). Grasp one end of the peeled jaws of the protective film to measure the load when peeling off 30mm pull the protective film in the vertical direction at room temperature (23 ° C.) under, 50 mm / min to determine the peel strength S B. For the measurement, a tensile tester (“AC-50C-SL” manufactured by TSE Co., Ltd.) was used.

<オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれの評価>
実施例及び比較例で製造したロール状保護フィルム付き接着シートを、オートカッター装置(新栄機工(株)製、「SAC−500」)にセットした。本評価においては、回路基板の上下に1本ずつロール状保護フィルム付き接着シートをセットした。
ロール状保護フィルム付き接着シートから、搬送速度5m/分にて保護フィルム付き接着シートを搬送しながら、保護フィルムを剥離した。樹脂組成物層の露出した接着シートを、その樹脂組成物層が内層回路基板(510×340mmサイズ、0.6mm厚)と接合するように、内層回路基板の両面に、連続して30枚(片面当たり)、仮付けを行った(仮付け時の内層回路基板の搬送速度2m/分、仮付け温度100℃、仮付け時間10秒、仮付け圧力0.15kgf/cm)。
仮付け時の状態を観察し、下記評価基準に従って、保護フィルム剥離時の樹脂剥がれの評価を行った。
評価基準:
○:異常なし(樹脂剥がれなし)
×:樹脂剥がれあり
<Evaluation of resin peeling at the time of protective film peeling in an auto cutter device>
The adhesive sheet with a roll-shaped protective film produced in Examples and Comparative Examples was set in an auto cutter device (manufactured by Shinei Kiko Co., Ltd., “SAC-500”). In this evaluation, the adhesive sheet with a roll-shaped protective film was set one by one on the upper and lower sides of the circuit board.
The protective film was peeled off from the adhesive sheet with a roll-shaped protective film while conveying the adhesive sheet with a protective film at a conveyance speed of 5 m / min. 30 sheets of the adhesive sheet with the resin composition layer exposed are continuously provided on both surfaces of the inner circuit board so that the resin composition layer is bonded to the inner circuit board (510 × 340 mm size, 0.6 mm thickness) ( Temporary attachment was performed (per one side) (conveying speed of the inner layer circuit board at the time of temporary attachment 2 m / min, temporary attachment temperature 100 ° C., temporary attachment time 10 seconds, temporary attachment pressure 0.15 kgf / cm 2 ).
The state at the time of temporary attachment was observed, and according to the following evaluation criteria, evaluation of resin peeling at the time of peeling the protective film was performed.
Evaluation criteria:
○: No abnormality (no resin peeling)
×: Resin peeling

<樹脂組成物層の最低溶融粘度温度の測定>
実施例及び比較例で製造したロール状保護フィルム付き接着シートにおける樹脂組成物層の最低溶融粘度温度は、動的粘弾性測定装置((株)ユー・ビー・エム社製、「Rheosol−G3000」)を使用して測定した。試料樹脂組成物量1gについて、直径18mmのパラレルプレートを使用して、開始温度60℃から200℃まで昇温速度5℃/分にて昇温し、測定温度間隔2.5℃、振動数1Hz、ひずみ1degの条件にて最低溶融粘度時の温度を測定した。
<Measurement of minimum melt viscosity temperature of resin composition layer>
The minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer in the adhesive sheet with a roll-shaped protective film manufactured in Examples and Comparative Examples is a dynamic viscoelasticity measuring device ("Reosol-G3000" manufactured by UBM Co., Ltd.). ). About 1 g of the sample resin composition, using a parallel plate with a diameter of 18 mm, the temperature was raised from a starting temperature of 60 ° C. to 200 ° C. at a heating rate of 5 ° C./minute, a measurement temperature interval of 2.5 ° C., a frequency of 1 Hz, The temperature at the lowest melt viscosity was measured under the condition of strain of 1 deg.

<実施例1>
下記の方法に従ってロール状保護フィルム付き接着シートを製造した。
<Example 1>
An adhesive sheet with a roll-shaped protective film was produced according to the following method.

(樹脂ワニスの調製)
ナフタレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量144、DIC(株)製「EXA4032SS」)6質量部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(エポキシ当量190、三菱化学(株)製「YX4000HK」)12質量部、及びビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量約290、日本化薬(株)製「NC3000H」)9質量部を、メチルエチルケトン(MEK)4質量部及びソルベントナフサ25質量部の混合溶剤に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、活性エステル硬化剤(活性基当量約223、DIC(株)製「EXB−9460S−65T」、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)45質量部、フェノキシ樹脂(重量平均分子量35000、三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEK溶液)5質量部、硬化促進剤として4−ジメチルアミノピリジンの5質量%のMEK溶液5質量部、及びフェニルアミノシラン(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理した球形シリカ((株)アドマテックス製「SC2500SQ」、平均粒子径0.5μm、単位面積当たりのカーボン量0.39mg/m)160質量部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを調製した。
(Preparation of resin varnish)
6 parts by mass of naphthalene type epoxy resin (epoxy equivalent 144, “EXA4032SS” manufactured by DIC Corporation), 12 parts by mass of bixylenol type epoxy resin (epoxy equivalent 190, “YX4000HK” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and biphenyl type epoxy 9 parts by mass of a resin (epoxy equivalent of about 290, “NC3000H” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was dissolved in a mixed solvent of 4 parts by mass of methyl ethyl ketone (MEK) and 25 parts by mass of solvent naphtha with stirring. After cooling to room temperature, 45 parts by mass of an active ester curing agent (active group equivalent of about 223, “EXB-9460S-65T” manufactured by DIC Corporation, 65% by mass of a non-volatile component in toluene), phenoxy resin ( Weight average molecular weight 35000, Mitsubishi Chemical Corporation “YL7553BH30”, 5 parts by mass of MEK solution having a solid content of 30% by mass, 5 parts by mass of 5% by mass of 4-dimethylaminopyridine as a curing accelerator, and phenyl Spherical silica surface-treated with aminosilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM573”) (“SC2500SQ” manufactured by Admatechs Co., Ltd.), average particle size 0.5 μm, carbon amount per unit area 0.39 mg / m 2 ) 160 parts by mass was mixed and uniformly dispersed with a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish.

(接着シートの調製)
支持体としてアルキド樹脂系離型層付きポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ38μm、リンテック(株)製、「AL5」)を用意した。上記で得た樹脂ワニスを、該支持体の離型層側表面に、ダイコーターにて均一に塗布し、80℃〜105℃(平均90℃)で4.5分間乾燥させて樹脂組成物層を形成した。樹脂組成物層は、厚み30μm、残留溶剤量2.5質量%、最低溶融粘度温度115℃であった。
(Preparation of adhesive sheet)
A polyethylene terephthalate film (thickness: 38 μm, manufactured by Lintec Corporation, “AL5”) with an alkyd resin release layer was prepared as a support. The resin varnish obtained above is uniformly applied to the release layer side surface of the support with a die coater and dried at 80 ° C. to 105 ° C. (average 90 ° C.) for 4.5 minutes to obtain a resin composition layer Formed. The resin composition layer had a thickness of 30 μm, a residual solvent amount of 2.5 mass%, and a minimum melt viscosity temperature of 115 ° C.

(ロール状保護フィルム付き接着シートの製造)
上記で得た接着シートの樹脂組成物層側表面に、保護フィルムとしてポリプロピレンフィルム(王子特殊紙(株)製、「アルファンMA−411」の平滑面側、厚み15μm)を、常圧下、60℃、圧着圧力0.06kgf/cmにてラミネート処理し、保護フィルム付き接着シートを製造した。得られた保護フィルム付き接着シートをロール状に巻き取った(巻き取り長50m)。得られたロール状体を幅507mmにスリットして、ロール状保護フィルム付き接着シートを2本得た。
(Manufacture of adhesive sheet with roll-shaped protective film)
A polypropylene film (manufactured by Oji Specialty Paper Co., Ltd., “Alphan MA-411”, smooth surface side, thickness 15 μm) as a protective film on the resin composition layer side surface of the adhesive sheet obtained above, under normal pressure, 60 Lamination was performed at 0 ° C. and pressure bonding pressure of 0.06 kgf / cm 2 to produce an adhesive sheet with a protective film. The obtained adhesive sheet with a protective film was wound into a roll (winding length: 50 m). The obtained roll-shaped body was slit to a width of 507 mm to obtain two adhesive sheets with a roll-shaped protective film.

得られたロール状保護フィルム付き接着シートについて、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)を測定すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれについて評価した。結果を表1に示す。 The obtained adhesive sheet with a roll protective film, as well as measuring the peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B), the peeling resin during protective film peeling in the automatic cutting device evaluation did. The results are shown in Table 1.

<実施例2>
保護フィルムとして、ポリプロピレンフィルムに代えてアルキド樹脂系離型層付きポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ25μm、リンテック(株)製、「AL5」)を使用した以外は実施例1と同様にして、ロール状保護フィルム付き接着シートを2本得た。
得られたロール状保護フィルム付き接着シートについて、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)を測定すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれについて評価した。結果を表1に示す。
<Example 2>
In the same manner as in Example 1, except that a polyethylene terephthalate film with a alkyd resin release layer (thickness 25 μm, manufactured by Lintec Corporation, “AL5”) was used as the protective film instead of the polypropylene film, roll-shaped protection Two adhesive sheets with a film were obtained.
The obtained adhesive sheet with a roll protective film, as well as measuring the peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B), the peeling resin during protective film peeling in the automatic cutting device evaluation did. The results are shown in Table 1.

<実施例3>
下記の方法に従ってロール状保護フィルム付き接着シートを製造した。
<Example 3>
An adhesive sheet with a roll-shaped protective film was produced according to the following method.

(樹脂ワニスの調製)
ビスフェノール型エポキシ樹脂(エポキシ当量約165、新日鐵化学(株)製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品)5部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(エポキシ当量約190、三菱化学(株)製「YX4000HK」)10部、ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量約290、日本化薬(株)製「NC3000H」)10部、及びフェノキシ樹脂(重量平均分子量35000、三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEK溶液)10部を、ソルベントナフサ30部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却した後、そこへ、活性エステル化合物(活性基当量約223、DIC(株)製「HPC−8000−65T」、不揮発分65質量%のトルエン溶液)10部、トリアジン含有クレゾール系硬化剤(水酸基当量151、DIC(株)製「LA−3018−50P」、固形分50質量%のメトキシプロパノール溶液)10部、硬化促進剤(4−ジメチルアミノピリジン、固形分2質量%のMEK溶液)3.5部、難燃剤(三光(株)製「HCA−HQ」、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−10−ヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナンスレン−10−オキサイド、平均粒径2μm)2部、フェニルアミノシラン(信越化学工業(株)製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ((株)アドマテックス製「SOC1」、平均粒径0.24μm、単位面積当たりのカーボン量0.36mg/m)110部、を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを調製した。
(Preparation of resin varnish)
5 parts of bisphenol type epoxy resin (epoxy equivalent of about 165, “ZX1059” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., 1: 1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type), bixylenol type epoxy resin (epoxy equivalent of about 190, 10 parts "YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, 10 parts biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent of about 290, "NC3000H" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and phenoxy resin (weight average molecular weight 35000, Mitsubishi Chemical Corporation) ) 10 parts of “YL7553BH30” manufactured by MEK solution having a solid content of 30% by mass was dissolved in 30 parts of solvent naphtha with stirring. After cooling to room temperature, 10 parts of an active ester compound (active group equivalent: about 223, “HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, toluene solution with a nonvolatile content of 65% by mass), triazine-containing cresol-based curing 10 parts of an agent (hydroxyl equivalent 151, “LA-3018-50P” manufactured by DIC Corporation, methoxypropanol solution having a solid content of 50% by mass), curing accelerator (4-dimethylaminopyridine, MEK solution having a solid content of 2% by mass) ) 3.5 parts, flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide , 2 parts of average particle size), spherical silica (ADMATEX Co., Ltd.) surface-treated with phenylaminosilane (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) "SOC1", average particle size 0.24 .mu.m, carbon amount per unit area 0.36mg / m 2) 110 parts, were mixed and uniformly dispersed in a high-speed rotary mixer to prepare a resin varnish.

(接着シートの調製)
支持体としてアルキド樹脂系離型層付きポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ38μm、リンテック(株)製、「AL5」)を用意した。上記で得た樹脂ワニスを、該支持体の離型層側表面に、ダイコーターにて均一に塗布し、80℃〜110℃(平均95℃)で4分間乾燥させて樹脂組成物層を形成した。樹脂組成物層は、厚み30μm、残留溶剤量2.9質量%、最低溶融粘度温度119℃であった。
(Preparation of adhesive sheet)
A polyethylene terephthalate film (thickness: 38 μm, manufactured by Lintec Corporation, “AL5”) with an alkyd resin release layer was prepared as a support. The resin varnish obtained above is uniformly applied to the release layer side surface of the support with a die coater and dried at 80 ° C. to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 4 minutes to form a resin composition layer. did. The resin composition layer had a thickness of 30 μm, a residual solvent amount of 2.9% by mass, and a minimum melt viscosity temperature of 119 ° C.

(ロール状保護フィルム付き接着シートの製造)
上記で得た接着シートを用いて、実施例1と同様にして、ロール状保護フィルム付き接着シートを2本得た。
(Manufacture of adhesive sheet with roll-shaped protective film)
Using the adhesive sheet obtained above, two adhesive sheets with a roll-shaped protective film were obtained in the same manner as in Example 1.

得られたロール状保護フィルム付き接着シートについて、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)を測定すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれについて評価した。結果を表1に示す。 The obtained adhesive sheet with a roll protective film, as well as measuring the peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B), the peeling resin during protective film peeling in the automatic cutting device evaluation did. The results are shown in Table 1.

<比較例1>
樹脂ワニスの乾燥条件を80℃〜110℃(平均95℃)で5.5分間とし、厚み30μm、残留溶剤量1.5質量%、最低溶融粘度温度130℃の樹脂組成物層を得た点、並びに保護フィルムのラミネート処理温度を70℃とした点以外は実施例1と同様にして、ロール状保護フィルム付き接着シートを2本得た。
得られたロール状保護フィルム付き接着シートについて、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)を測定すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれについて評価した。結果を表1に示す。
<Comparative Example 1>
The resin varnish was dried at 80 ° C. to 110 ° C. (average 95 ° C.) for 5.5 minutes to obtain a resin composition layer having a thickness of 30 μm, a residual solvent amount of 1.5% by mass, and a minimum melt viscosity temperature of 130 ° C. In addition, two adhesive sheets with a roll-shaped protective film were obtained in the same manner as in Example 1 except that the protective film was laminated at a temperature of 70 ° C.
The obtained adhesive sheet with a roll protective film, as well as measuring the peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B), the peeling resin during protective film peeling in the automatic cutting device evaluation did. The results are shown in Table 1.

<比較例2>
保護フィルムとして、ポリプロピレンフィルムに代えてアルキド樹脂系離型層付きポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ38μm、リンテック(株)製、「AL5」)を使用した以外は実施例1と同様にして、ロール状保護フィルム付き接着シートを2本得た。
得られたロール状保護フィルム付き接着シートについて、樹脂組成物層に対する支持体及び保護フィルムの剥離強度(S及びS)を測定すると共に、オートカッター装置における保護フィルム剥離時の樹脂剥がれについて評価した。結果を表1に示す。
<Comparative example 2>
In the same manner as in Example 1, except that a polyethylene terephthalate film with a alkyd resin release layer (thickness 38 μm, manufactured by Lintec Corporation, “AL5”) was used as the protective film instead of the polypropylene film, roll-shaped protection Two adhesive sheets with a film were obtained.
The obtained adhesive sheet with a roll protective film, as well as measuring the peel strength of the support and the protective film to the resin composition layer (S A and S B), the peeling resin during protective film peeling in the automatic cutting device evaluation did. The results are shown in Table 1.

Figure 0006353184
Figure 0006353184

樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とが、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たさない比較例1、2の保護フィルム付き接着シートは、オートカッター装置における保護フィルム剥離時に樹脂剥がれが生じた。一方、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たす実施例1、2、3の保護フィルム付き接着シートは、接着シートの搬送速度が5m/分と高い条件下においても保護フィルム剥離時に樹脂剥がれは生じなかった。 The peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer do not satisfy S A −S B ≧ 0.0020 [kgf / cm]. As for the adhesive sheet with a protective film of Comparative Examples 1 and 2, resin peeling occurred when the protective film was peeled off in the auto cutter device. On the other hand, the adhesive sheet with a protective film of Examples 1, 2, and 3 satisfying S A -S B ≧ 0.0020 [kgf / cm] is a protective film even under conditions where the conveyance speed of the adhesive sheet is as high as 5 m / min. No resin peeling occurred during peeling.

1 保護フィルム付き接着シート
2 支持体
3 樹脂組成物層
4 接着シート
5 保護フィルム
6 回路基板
10 オートカッター装置
11 ロール状保護フィルム付き接着シート
12 保護フィルム巻き取りロール
13 保護フィルム取り出し具
14 カッター
15 コンベア装置
16、17 誘導ロール
18 接触式ヒーター
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adhesive sheet with protective film 2 Support body 3 Resin composition layer 4 Adhesive sheet 5 Protective film 6 Circuit board 10 Auto cutter device 11 Adhesive sheet with roll-shaped protective film 12 Protective film take-up roll 13 Protective film take-out tool 14 Cutter 15 Conveyor Device 16, 17 Induction roll 18 Contact heater

Claims (12)

支持体及び該支持体と接合している樹脂組成物層からなる接着シートと、該接着シートの樹脂組成物層と接合するように設けられた保護フィルムとを含む、オートカッター装置による保護フィルムの剥離を行うプリント配線板のビルドアップ層用保護フィルム付き接着シートであって、
樹脂組成物層が無機充填材及び熱硬化性樹脂を含み、
樹脂組成物層中の無機充填材の含有量が、樹脂組成物層中の不揮発成分を100質量%としたとき、60質量%以上であり、
樹脂組成物層に対する支持体の剥離強度(S)と、樹脂組成物層に対する保護フィルムの剥離強度(S)とが、S−S≧0.0020[kgf/cm]を満たし、S が0.0010kgf/cm以上0.0080kgf/cm以下であり、
支持体が、樹脂組成物層と接合している側の表面に離型層を有し、
保護フィルムが支持体よりも薄い、保護フィルム付き接着シート。
An adhesive sheet comprising a support and a resin composition layer bonded to the support, and a protective film provided so as to be bonded to the resin composition layer of the adhesive sheet . It is an adhesive sheet with a protective film for a build-up layer of a printed wiring board for peeling ,
The resin composition layer includes an inorganic filler and a thermosetting resin,
The content of the inorganic filler in the resin composition layer is 60% by mass or more when the nonvolatile component in the resin composition layer is 100% by mass,
The peel strength (S A ) of the support with respect to the resin composition layer and the peel strength (S B ) of the protective film with respect to the resin composition layer satisfy S A −S B ≧ 0.0020 [kgf / cm] , S B is equal to or less than 0.0010kgf / cm or more 0.0080kgf / cm,
The support has a release layer on the surface on the side bonded to the resin composition layer,
An adhesive sheet with a protective film in which the protective film is thinner than the support.
−S ≧0.0022[kgf/cm]である、請求項1に記載の保護フィルム付き接着シート。 The adhesive sheet with a protective film according to claim 1, wherein S A −S B ≧ 0.0022 [kgf / cm] . 支持体及び保護フィルムのそれぞれの厚みが5μm〜75μmである、請求項1又は2に記載の保護フィルム付き接着シート。   The adhesive sheet with a protective film according to claim 1 or 2, wherein each thickness of the support and the protective film is 5 µm to 75 µm. 支持体がポリエチレンテレフタレートフィルムである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の保護フィルム付き接着シート。   The adhesive sheet with a protective film according to any one of claims 1 to 3, wherein the support is a polyethylene terephthalate film. 離型層が、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂及びウレタン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の保護フィルム付き接着シート。   The adhesive sheet with a protective film according to any one of claims 1 to 4, wherein the release layer contains one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, and urethane resins. 保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン及びポリエチレンテレフタレートからなる群から選択される1種以上の材料を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の保護フィルム付き接着シート。   The adhesive sheet with a protective film according to any one of claims 1 to 5, wherein the protective film contains one or more materials selected from the group consisting of polyethylene, polypropylene, and polyethylene terephthalate. 請求項1〜のいずれか1項に記載の保護フィルム付き接着シートがロール状に巻き取られたロール状保護フィルム付き接着シート。 The adhesive sheet with a roll-shaped protective film by which the adhesive sheet with a protective film of any one of Claims 1-6 was wound up in roll shape. 及びSが長手方向の剥離強度である、請求項に記載のロール状保護フィルム付き接着シート。 S A and S B are the peel strength in the longitudinal direction, the rolled protective film with adhesive sheet according to claim 7. 下記工程(1)及び(2)を含む、請求項1〜のいずれか1項に記載の保護フィルム付き接着シートの製造方法。
(1)支持体と接合するように、樹脂組成物層を設けて接着シートを形成する工程、
(2)上記(1)で得た接着シートの樹脂組成物層と接合するように、[(樹脂組成物層の最低溶融粘度温度)−10℃]以下の温度条件下で保護フィルムを設ける工程
The manufacturing method of the adhesive sheet with a protective film of any one of Claims 1-6 including following process (1) and (2).
(1) a step of forming an adhesive sheet by providing a resin composition layer so as to be bonded to a support;
(2) A step of providing a protective film under the temperature condition of [(minimum melt viscosity temperature of the resin composition layer) −10 ° C.] so as to be bonded to the resin composition layer of the adhesive sheet obtained in (1) above.
下記工程(a−1)乃至(a−4)を含む、カットされた接着シートが回路基板の表面に設けられた積層体の製造方法。
(a−1)請求項又はに記載のロール状保護フィルム付き接着シートから保護フィルム付き接着シートを搬送しながら、保護フィルムを剥離する工程、
(a−2)樹脂組成物層が露出した接着シートを、樹脂組成物層が回路基板と接合するように配置する工程、
(a−3)接着シートの一部を支持体側から加熱及び加圧することで部分的に接着シートを回路基板に接着する工程、及び
(a−4)接着シートを回路基板のサイズに応じてカッターでカットすることにより、カットされた接着シートを回路基板の表面に設ける工程
The manufacturing method of the laminated body in which the cut adhesive sheet was provided in the surface of the circuit board including the following process (a-1) thru | or (a-4).
(A-1) The process of peeling a protective film, conveying an adhesive sheet with a protective film from the adhesive sheet with a roll-shaped protective film of Claim 7 or 8 ,
(A-2) a step of arranging the adhesive sheet from which the resin composition layer is exposed so that the resin composition layer is bonded to the circuit board;
(A-3) a step of partially bonding the adhesive sheet to the circuit board by heating and pressing a part of the adhesive sheet from the support side, and (a-4) a cutter according to the size of the circuit board. The process of providing the cut adhesive sheet on the surface of the circuit board by cutting with
工程(a−1)における搬送速度が1m/分〜20m/分である、請求項10に記載の方法。 The method of Claim 10 that the conveyance speed in a process (a-1) is 1 m / min-20 m / min. 下記工程(b−1)及び(b−2)を含む、プリント配線板の製造方法。
(b−1)請求項10又は11の方法で製造された積層体を加熱及び加圧し、回路基板に接着シートをラミネート処理する工程、及び
(b−2)樹脂組成物層を熱硬化し、絶縁層を形成する工程
The manufacturing method of a printed wiring board including the following process (b-1) and (b-2).
(B-1) heating and pressing the laminate produced by the method of claim 10 or 11 , laminating an adhesive sheet on the circuit board, and (b-2) thermosetting the resin composition layer, Step of forming an insulating layer
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