JP6352953B2 - 光学系の少なくとも１つの素子を作動させる構成体 - Google Patents

Description

本発明は、光学系の少なくとも１つの素子を作動させる構成体に関する。

［関連出願の相互参照］
本願は、いずれも２０１３年３月１３日付けで出願された独国特許出願第ＤＥ１０ ２０１３ ２０４ ３０５．８号及び米国仮出願第６１／７７８，８１０号の優先権を主張する。これらの出願の内容を参照により本明細書に援用する。

本発明による構成体は、例えばマイクロリソグラフィ投影露光装置におけるファセットミラーの作動のために、相互に独立して調整可能である複数の素子（例えば光学素子）を有する光学系で特に有利に用いることができる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、概して、他の光学系（例えば、材料加工用の光学系）、特に複数の素子が狭い設置空間にそれぞれ調整可能に取り付けられたシステムで用いることもできる。

マイクロリソグラフィは、例えば集積回路又はＬＣＤ等の微細構造コンポーネントの製造に用いられる。マイクロリソグラフィプロセスは、照明デバイス及び投影レンズを有するいわゆる投影露光装置で実行される。この場合、照明デバイスにより照明されたマスク（レチクル）を、投影レンズにより、感光層（フォトレジスト）で被覆されて投影レンズの像平面に配置された基板（例えばシリコンウェーハ）に投影することで、マスク構造を基板上の感光コーティングに転写するようにする。

ＥＵＶ用（すなわち、１５ｎｍ未満の波長を有する電磁放射線用）に設計した投影露光装置では、光透過性材料がないことにより、ミラーを結像プロセス用の光学コンポーネントとして用いる。さらに、特にＥＵＶで動作するよう設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスでは、視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーの形態のファセットミラーを光束誘導コンポーネントとして用いることが、例えば特許文献１から知られている。こうしたファセットミラーは、調整の目的で、又は照明角度の特定の分布を実現するために、フレクシャによって傾斜可能であるようそれぞれが設計された複数の個別ミラーから構成される。同時に、（特に相互に対して垂直な）２つの傾斜軸に関する傾斜を実現する必要もある。

ここで実際に生じる問題は、例えばファセットミラーの個別ミラー（又は比較的密集した配置の他の素子）を作動させるために、限られた設置空間しか利用可能でないことである。この空間では、一方では、アクチュエーターに対する力を最小化するためにできるかぎり大きく曲がる継手を実現する必要があり、他方では、例えば投影露光装置の動作中にファセットに作用する熱負荷を放散させる必要もあることが多い。特に、比較的大きな傾斜角（ファセットミラーの個別ミラーの場合は例えば３０ｍｒａｄを超える）を実現すべき用途では、上記境界条件は、継手の設計にとって厳しい課題を示す。この点で、例えばファセットミラーの場合の限られた設置空間が呈する問題は、個別ミラーの作動時に、（各ミラー平面に対して垂直な）ミラー軸に関するそれらの回転及びそれに伴う個別ミラーの衝突を、概して構造設計における追加措置によって回避することが意図される程度にまでなる。

従来技術として、単に例として特許文献２及び特許文献３を参照されたい。

独国特許第１０ ２００８ ００９ ６００号明細書 独国特許第１９９ ０５ ７７９号明細書 独国特許第１０ ２００９ ０４４ ９５７号明細書

本発明の目的は、比較的小さな設置空間で比較的大きな傾斜角を実現することも可能にする、光学系の少なくとも１つの素子を作動させる構成体を提供することである。

この目的は、独立請求項１の特徴に従った構成体によって達成される。

光学系の少なくとも１つの素子を作動させる本発明による構成体であって、相互に異なる少なくとも２つの傾斜軸に関して素子を傾斜させる第１作動ユニット及び第２作動ユニットを有し、
第１作動ユニット及び第２作動ユニットはそれぞれ、素子によって画定された領域外に配置されたフレクシャユニットを有し、
上記フレクシャユニットはそれぞれ、第１回転軸に関して回転可能な第１屈曲要素及び第２回転軸に関して回転可能な第２屈曲要素を有し、
フレクシャユニットのそれぞれについて、２つの関連する回転軸が、光学素子に関与するフレクシャユニットの仮想接続点で交差し、この仮想接続点は、素子によって画定された領域に配置されて素子の回転点を定める構成体。

本願において、光学素子に関与するフレクシャユニットの「仮想接続点」は、物理的機械的接続がなく、機能のみを与える（すなわちここでは、素子の回転点の提供）点を意味するものとして理解すべきであり、実際の物理的機械的接続は他の場所で（特に、素子によって画定された領域外で）行われる。

本発明は、例えばファセットミラーの個別ミラー等の素子の作動において相互に異なる（特に、相互に対して垂直な）２つの傾斜軸に関する傾斜運動を、これらの傾斜軸が素子によって画定された領域に（例えば、該当のファセットミラーのファセット平面内に）あるが、（ある状況下では、さらに後述するように、フレクシャユニット等の機械的接続のために直接アクセス不可能である）この領域に作動ユニットの機械的接続点を配置する必要がないように実現するという概念に特に基づく。正確には、傾斜に役立つ作動ユニットのフレクシャユニットの屈曲要素自体が、素子によって画定された領域外に配置されるのに対して、上述したような意味での作動ユニットの仮想接続点のみが、素子によって画定された領域にそれぞれある。

結果として、例えば、さらより具体的に以下で説明するように、玉継手の効果が仮想接続点で達成されるが、このような玉継手を素子の領域に配置することは回避され、このような玉継手に伴う空間要件も回避される。

さらに、同じくさらにより具体的に説明するように、本発明は、さらに別の軸に関する（例えば、ファセットミラーの場合、各ミラー平面に対して垂直なミラー軸に関する）回転運動の所望の阻止、すなわち、ｚ軸に関する回転を表すいわゆるＲｚ自由度の固定が達成され、これは、すでに本発明による機構自体の直接的な結果として得られ、したがって付加的な阻止要素及びそれらに伴う付加的な剛性が必要ないことにより、設置空間の大幅な節約を達成できるという概念を含む。

この点で、本発明は、例えばファセットミラー等の相互に独立して調整可能な複数の素子を有する光学系において、相互に独立した２つの傾斜運動（ｘ軸及びｙ軸に関する回転をそれぞれ表す自由度Ｒｘ及びＲｙに対応する）のみが対象であるか又は望ましいことを特に利用するが、本構成体の適当な設計を考えると、他の自由度を本発明に従って用いて、特に所望の傾斜運動（すなわち、自由度Ｒｘ及びＲｙの作動）の実現がこのさらなる自由度Ｒｚの固定を特に伴うようにすることができる。この点で、本発明は、残りの（４）自由度のうち２自由度のみが、すなわちｘ軸又はｙ軸に関する回転に関与するＲｘ及びＲｙ自由度が能動的に設定されているか又は作動可能であるように、支持ユニットによって２自由度での固定をまず達成するという概念を特に含む。

本発明は、光学素子の作動に限定されない。正確には、本発明は、さらに他の実施形態では、例えばセンサー等の他の素子の作動のために用いることもできる。

一実施形態では、第１屈曲要素は、板ばね要素として形成される。このような板ばね要素は、後述するように本発明による機構においてアクチュエーターユニット側で必要とされる捩れ機能を、すでにそれ自体で与えることができるという利点を有する。しかしながら、板ばね要素に、回転機能又は捩れ機能を与えるためにフレクシャユニット（付加的なフレクシャユニット）を設けることもできる。

一実施形態によれば、第１屈曲要素は第１ヒンジ点を有する。

一実施形態によれば、素子の所定位置において、第１回転軸は素子によって画定された領域に対して垂直に延びる。

一実施形態によれば、第２屈曲要素は板ばね要素として形成される。

一実施形態によれば、第２屈曲要素は第２ヒンジ点を有する。

一実施形態によれば、素子の所定位置において、第２回転軸は素子によって画定された領域に対して角度αで延び、０＜α＜９０°である。

一実施形態によれば、２つの傾斜軸は相互に対して垂直である。

一実施形態によれば、本構成体は、屈曲点において素子に関節接合された支持ユニットも有する。

一実施形態によれば、第１作動ユニット、第２作動ユニット、及び支持ユニットは、作動ユニットの一方の並進運動が、他方の作動ユニットの仮想接続点及び支持ユニットの屈曲点によって画定された傾斜軸に関する素子の傾斜運動を伴うよう構成される。

一実施形態によれば、支持ユニットの屈曲点はいずれの場合も位置決め固定されたままである。

一実施形態によれば、支持ユニットは２つの固定二脚支柱を有するバイポッドとして形成される。これにより、２自由度での（例えば光学）素子の固定を単純な方法で達成しておくことができ、支持ユニットに割り当てられて位置決め固定されている屈曲点を２つの二脚支柱の支柱ヘッドによって定めることが可能である。

別の実施形態によれば、支持ユニットは、３つの固定支柱を有するトライポッドとして形成される。

一実施形態によれば、支持ユニットは、冷却流体（例えば水）用の少なくとも１つの冷却チャネルを有する。したがって、支持ユニットは、各（例えば光学）素子（例えば、ファセットミラーの個別ミラー）に冷却流体を輸送する役割をさらに果たすことができる。

一実施形態によれば、本構成体は、各屈曲要素のためのガイドも有し、これは、各屈曲要素の直線状の又は円弧状に湾曲した運動経路を任意にもたらすよう構成される。各屈曲要素の運動経路に関するこのような「切り替え可能な」ガイドには、各光学系の設計の完了後に、（例えばファセットミラー内の該当の個別ミラーの）既存の寄生的運動の補償を単純な方法でさらに達成でき、光学系の基礎設計に再度介入する必要がないという利点がある。この点で、ガイドは、さらにより詳細に後述するように、各屈曲要素の運動経路を変更するための２つの長さ可変のフレクシャ支柱を特に有し得る。

一実施形態によれば、光学系は、相互に独立して調整可能な複数の素子を有する。この場合、多くの用途で個々の（例えば光学）素子（例えば、ファセットミラーの個別ミラー）が比較的「密集していること」に関して、本発明により達成される利点が特に生まれる。

したがって、一実施形態によれば、光学系はファセットミラー、特に視野ファセットミラーである。

本発明は、本発明による構成体を有する投影露光装置にも関する。投影露光装置は、特にＥＵＶで動作するよう設計され得る。

本発明のさらに他の構成は、説明及び従属請求項から得ることができる。

添付図面を参照した好ましい例示的な実施形態に基づき、本発明を以下でより詳細に説明する。

第１実施形態に基づいて本発明による概念を説明するための概略図を示す。 本発明のさらに別の実施形態を説明するための概略図を示す。 本発明のさらに別の実施形態を説明するための概略図を示す。 本発明のさらに別の実施形態を説明するための概略図を示す。 ＥＵＶで動作するよう設計されたリソグラフィ投影露光装置の概略図を示す。

本発明の基礎となる概念を図１〜図３を参照して以下で説明する。図１及び図２の基本図が、本発明による構成体によって達成される機能を説明する役割を果たすと共に、これを実現する際に生じる問題及び本発明による概念の実現に向けた個々の思考過程を説明する役割も果たすにすぎない一方で、本発明の実現の可能性の１つが図３に基づいて説明されることを、ここで指摘しておく。

図１の基本図によれば、素子を作動させる構成体は、例示的な実施形態ではそれぞれバイポッド１２０及び１３０として構成された２つの作動ユニットを備える。２つの固定二脚支柱１１１、１１２を有するさらに別のバイポッド１１０が、光学素子１０１のさらなる位置決定の役割を果たし、したがって以下で支持ユニットと称する。バイポッド１１０の代わりに、３つの固定二脚支柱を有するトライポッドを設けることもできる。２つの作動ユニットを形成する上記バイポッド１２０及び１３０はそれぞれ、図１の基本図では、対で（すなわち、同じバイポッド１２０又は１３０内で）調整可能な二脚支柱１２１、１２２及び１３１、１３２を有する。実際には、図１によれば、二脚支柱１２１、１２２及び１３１、１３２はそれぞれ、一定の長さを有し、それぞれに割り当てられた支持ベース１２３又は１３３によって図示の座標系のｚ方向に変位可能である。二脚支柱１２１、１２２及び１３１、１３２は、同じバイポッド１２０又は１３０内で一緒に長さ調整可能であるものとしてそれぞれ設計することもできる。図１によれば、２つの作動ユニットの二脚支柱１２１、１２２、１３１、１３２及び同じく支持ユニットの二脚支柱１１１、１１２はそれぞれ、屈曲点Ｇ１１、Ｇ１２、又はＧ１３で光学素子１０１に関節接合される。これらの屈曲点のうち、支持ユニットを形成するバイポッド１１０に割り当てられた屈曲点Ｇ１３は位置決め固定されており、その理由は、図１に示すように、二脚支柱１１１、１１２が「固定世界（fixed world）」に接続固定されており、残りの位置決め自由度が、バイポッド１２０及び１３０それぞれの（別個に長さ調整可能でない）二脚支柱１２１、１２２及び１３１、１３２の配置によって妨げられるからである。

図１に示す構成体では、原理上、２つの作動ユニットの一方又はバイポッド１２０、１３０に割り当てられた２つの支持ベースの一方の並進運動又は変位が、他方の作動ユニット及び支持ユニットの屈曲点によって定められた傾斜軸（図１に破線で表し、それぞれ「Ａ１」及び「Ａ２」で示す）に関する光学素子１０１の傾斜運動を必然的に伴うことになり得る。実際には、ｚ方向の支持ベース１２３の並進運動が、傾斜軸Ａ２に関する光学素子１０１の傾斜運動を伴う一方で、ｚ方向の支持ベース１３３の並進運動が、傾斜軸Ａ１に関する光学素子１０１の傾斜運動を伴う。ここで、支持ユニット１１０が光学素子１０１に関節接合される屈曲点Ｇ１３が位置決め固定されていることにより、ｚ軸に関する光学素子１０１の傾斜運動も回転も起こらない。個別ミラーの形態の複数の光学素子１０１を有するファセットミラーの場合、これは、各ミラー軸に関する個別ミラーの回転及びそれに伴うミラー素子の衝突が、付加的な阻止要素を必要とせずに確実に回避されることを意味する。

しかしながら、本発明による被作動素子が、図１に示すようなバイポッド１２０及び１３０を設置空間の理由だけで実現できない光学素子１０１、特に例えばマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明デバイスにおけるファセットミラーの個別ミラーであることに留意すべきである。

図２は、本発明による概念の実現に向けたさらに別の思考過程を説明する役割を果たす。図２からの構造が図１からのものと異なるのは、２つの作動ユニット２２０、２３０がバイポットとしてではなく板ばね要素２２１及び２３１の形態で構成されている点であり、板ばね要素２２１及び２３１はそれぞれ、屈曲点Ｇ２１及びＧ２２それぞれを設けるために光学素子２０１の領域に取り付けられた玉継手ヘッド２２２及び２３２を有する。さらに、図１からの支持ベース１２３及び１３３から類推して、板ばね要素２２１及び２３１はｚ方向に作動させることができ、その目的で、例えばローレンツモーター等の適当なアクチュエーターが用いられ得る。結果として、図２に示す構成体は、図１からの構成体と同じ機能を与えるものであり、すなわち、ｚ方向の板ばね要素２２１及び２３１の作動が、他方の板ばね要素を有する作動ユニット２２０又は２３０によって画定された傾斜軸に関する光学素子２０１の傾斜運動を伴う一方で、それと同時に、やはり位置決め固定されている屈曲点Ｇ２３の結果として、ｚ軸に関する望ましくない傾斜運動が回避される。

しかしながら、本発明による被作動素子が光学素子１０１であり、素子１０１の光学的に有効な領域として素子１０１によって画定された領域自体に機械的にアクセス不可能であることにも留意しなければならない。

次に、図３は、本発明による概念の実現の可能性を説明するための概略図を示す。こが図２からのものと異なるのは、２つの作動ユニット（図２の２２０及び２３０）において玉継手ヘッドが用いられず、その代わりに各作動ユニット（そのうち１つの作動ユニット３２０のみを図３に示す）がそれぞれ２つの屈曲要素３２１、３２２を有するフレクシャユニット３２０を有し、これらの屈曲要素３２１、３２２又は関連の回転軸Ｒ１、Ｒ２（図３に破線で表す）が、図１からの屈曲点Ｇ１１及びＧ１２の位置に（結果として機械的にアクセス不可能な領域に）仮想接続点Ｇ３１を共同で定める点である。

図３の例示的な実施形態では、屈曲要素３２１は、板ばねとして形成され、両矢印で示す捩れ機能を有し、それにより第１回転軸Ｒ１が定められる。水平方向に延びる第２屈曲要素３２２も同様に、板ばねとして形成されるが、第２屈曲要素３２２又はそこに設けられたヒンジ継手３２２ａによって定められた第２回転軸Ｒ２が素子１０１によって画定された領域に対して角度αで延びる程度まで傾けられ、ここで０＜α＜９０°である。

図３に示す実施形態では、必要な回転機能が付加的なヒンジ継手３２１ａ、３２２ａによって実現されるが、こうしたヒンジ継手は原理上任意であり、適当な構成では本物の板ばね３２１及び３２２で回転機能又は捩れ機能を与えておくこともできる。

図３に同様に示すように、各フレクシャユニット３２０について、２つの関連する回転軸Ｒ１及びＲ２が、光学素子１０１に関与するフレクシャユニット３２０の仮想接続点Ｇ３１で交差し、この仮想接続点Ｇ３１は、素子１０１によって画定された領域に配置され、素子１０１の回転点を定める。結果として、玉継手の効果が、このようにして２つの作動ユニットそれぞれの屈曲要素３２１、３２２によってある程度模倣されるか、又は図３の位置Ｇ３１に回転点がある「仮想玉継手」が実現され、回転軸Ｒ１、Ｒ２は、第１屈曲要素３２１の回転軸Ｒ１（図３で鉛直に延びる）及び第２屈曲要素３２２の回転軸Ｒ２（図３で水平に延びる）によって形成される。このように、光学素子１０１の領域に作動ユニットの機械的接続点を配置する必要なく、図１の傾斜軸Ａ１及びＡ２を光学素子１０１の領域で実現することが可能となる。

換言すれば、図３に示す本発明の実現において、図１に示すように、屈曲点Ｇ３１は光学素子１０１の領域内に（例えば、該当のファセットミラーのファセット平面内に）あり続けるが、図３から分かるように、屈曲要素３２０及び関連する可能性のあるヒンジ継手３２１ａ及び３２２ａが光学素子１０１のこの領域外に配置されることで、結果として玉継手の効果が得られても、玉継手が伴う空間要件を回避することができる。

一方が図３のＧ３１に対応する図１からの２つの点Ｇ１１及びＧ１２のそれぞれに関して、こうして得られる図３に示すような屈曲要素３２０の対応の配置では、結果として２つの有効回転軸Ｒ１、Ｒ２が仮想接続点Ｇ３１を定めるか又は回転点を生み出し、図３によれば水平に延びる屈曲要素３２２が傾斜軸Ａ１又はＡ２の下に通っており、図３で鉛直に延びる屈曲要素３２１が図１の支持ベース１２３又は１３３の代わりになる。

上述の実施形態のそれぞれにおいて、支持ユニットは、２つの固定支柱を有するバイポッド（図１の「１１０」又は図２の「２１０」）として、又は３つの固定支柱を有するトライポッドとして構成され得る。さらに、当該支持ユニットは、冷却流体を該当の素子又はミラー素子へ輸送するためにさらに用いることができ、その目的で、支持ユニット又は支柱はそれぞれ、１つ又は複数の冷却チャネルを有し得る。

図１〜図３に基づいて上述した屈曲要素又は板ばね要素のためのガイドの有利な構成を、図４を参照して以下で説明する。このガイドは、任意に又は運動学のパラメーターを単に変えることによって、各屈曲要素又は板ばね要素（ここでは点Ｐで表す）の厳正直線運動と点Ｐの（場合によってはわずかな）弧状運動との間で「切り替える」ことが可能であるよう作られる。図４によれば、この役割を果たすのはフレクシャ要素４４０であり、これは、相互に独立して長さが可変であるフレクシャ支柱４４１、４４２によって概略的に示される「固定世界」に一端部で接続され、他端部で点Ｐに接続される。

フレクシャ支柱４４１及び４４２が伸張又は圧縮し、点Ｐの位置を変えないように要素４４０が類似して適応する結果として、図４に示す構造において点Ｐの軌道が（任意に正又は負のｙ方向の運動成分を有する）直線運動又は弧状運動に対応する。これによって点Ｐ又は作動ユニットの各屈曲要素の上記運動経路間の切り替えが可能となることには、各光学系の設計の完了後でも、光学系の基礎設計に再度介入する必要なく既存の寄生的運動の補償を単純な方法でなおも達成できるという利点がある。特に、本発明をファセットミラーの形態の光学系に適用する場合、これによって、ファセットミラー内の該当の個別ミラーの望ましくない寄生的運動を発見して補償できる。

図５は、例として本発明を実現することができるＥＵＶで動作するよう設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の構造を単に概略的に示す。

図５に示すマイクロリソグラフィ投影露光装置１は、照明デバイス２及び投影レンズ３を有し、照明デバイスは投影レンズ３の物体平面ＯＰを照明する。プラズマ放射源４により生成されたＥＵＶ照明光は、集光ミラー５を経由して中間焦平面ＩＭＩへ進み、そこから上述の実施形態による作動のための構成体を有する構成にされ得る視野ファセットミラー６を経由して、瞳ファセットミラー７へ進む。瞳ファセットミラー７から、照明光はミラー８〜１０を備えた転写光学ユニットを経由して物体平面ＯＰへ進み、物体平面ＯＰには、描写すべき構成を有するマスク（レチクル）が形成される。マスク構造は、投影レンズ３を経由して投影レンズ３の結像面ＩＰに取り付けられた基板（ウェーハ）の感光コーティングに転写される。

本発明を特定の実施形態に基づいて説明してきたが、多くの変形形態及び代替的な実施形態が、例えば個々の実施形態の特徴の組み合わせ及び／又は交換により当業者には明らかである。したがって、当業者には言うまでもなく、このような変形形態及び代替的な実施形態も本発明に包含され、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲及びその均等物の制約によってのみ限定される。

Claims (21)

1. 光学系の少なくとも１つの素子（１０１）を作動させる構成体であって、相互に異なる少なくとも２つの傾斜軸（Ａ１、Ａ２）に関して前記素子（１０１）を傾斜させる第１作動ユニット及び第２作動ユニットを有し、
   前記第１作動ユニット及び前記第２作動ユニットはそれぞれ、前記素子（１０１）によって画定された領域外に配置されたフレクシャユニット（３２０）を有し、
   前記フレクシャユニット（３２０）はそれぞれ、第１回転軸（Ｒ１）に関して回転可能な第１屈曲要素（３２１）及び第２回転軸（Ｒ２）に関して回転可能な第２屈曲要素（３２２）を有し、
   前記フレクシャユニット（３２０）のそれぞれについて、２つの関連する前記回転軸（Ｒ１、Ｒ２）が、前記光学素子（１０１）に関与する前記フレクシャユニット（３２０）の仮想接続点（Ｇ３１）で交差し、該仮想接続点（Ｇ３１）は、前記素子（１０１）によって画定された領域に配置されて前記素子（１０１）の回転点を定める構成体。
2. 請求項１に記載の構成体において、前記第１屈曲要素（３２１）は、板ばね要素として形成されることを特徴とする構成体。
3. 請求項１又は２に記載の構成体において、前記第１屈曲要素（３２１）は、第１ヒンジ継手（３２１ａ）を有することを特徴とする構成体。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成体において、前記素子（１０１）の所定位置で、前記第１回転軸（Ｒ１）は、前記素子（１０１）によって画定された領域に対して垂直に延びることを特徴とする構成体。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の構成体において、前記第２屈曲要素（３２２）は、板ばね要素として形成されることを特徴とする構成体。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の構成体において、前記第２屈曲要素（３２２）は、第２ヒンジ継手（３２２ａ）を有することを特徴とする構成体。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の構成体において、前記素子（１０１）の所定位置で、前記第２回転軸（Ｒ２）は、前記素子（１０１）によって画定された領域に対して角度（α）で延び、０＜α＜９０°であることを特徴とする構成体。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の構成体において、２つの前記傾斜軸（Ａ１、Ａ２）は相互に対して垂直であることを特徴とする構成体。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の構成体において、該構成体は、屈曲点（Ｇ１３）で前記素子（１０１）に関節接合された支持ユニットも有する構成体。
10. 請求項９に記載の構成体において、前記第１作動ユニット、前記第２作動ユニット、及び前記支持ユニットは、前記作動ユニットの一方の並進運動が、他方の前記作動ユニットの前記仮想接続点（Ｇ３１）及び前記支持ユニットの前記屈曲点（Ｇ１３）によって画定された傾斜軸（Ａ１、Ａ２）に関する前記素子（１０１、２０１）の傾斜運動を伴うよう構成される構成体。
11. 請求項９又は１０に記載の構成体において、前記支持ユニットの前記屈曲点（Ｇ１３）は、いずれの場合も位置決め固定されたままであることを特徴とする構成体。
12. 請求項９〜１１のいずれか１項に記載の構成体において、前記支持ユニットは、２つの固定支柱（１１１、１１２）を有するバイポッド（１１０）として形成されることを特徴とする構成体。
13. 請求項９〜１１のいずれか１項に記載の構成体において、前記支持ユニットは、３つの固定支柱を有するトライポッドとして形成されることを特徴とする構成体。
14. 請求項９〜１３のいずれか１項に記載の構成体において、前記支持ユニットは、冷却流体用の少なくとも１つの冷却チャネルを有することを特徴とする構成体。
15. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載の構成体において、該構成体は、各前記屈曲要素（３２１、３２２）のためのガイドも有し、該ガイドは、各前記屈曲要素（３２１、３２２）の直線状の又は円弧状に湾曲した運動経路を任意にもたらすよう構成されることを特徴とする構成体。
16. 請求項１５に記載の構成体において、前記ガイドは、各前記屈曲要素（３２１、３２２）の前記運動経路を変更するための２つの長さ可変のフレクシャ支柱（４４１、４４２）を有することを特徴とする構成体。
17. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の構成体において、前記光学系は、相互に独立して調整可能な複数の素子（１０１）を有することを特徴とする構成体。
18. 請求項１〜１７のいずれか１項に記載の構成体において、前記光学系はファセットミラー（６、７）であることを特徴とする構成体。
19. 請求項１〜１８のいずれか１項に記載の構成体において、前記光学系は、マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系であることを特徴とする構成体。
20. 請求項１〜１９のいずれか１項に記載の構成体を有する投影露光装置。
21. 請求項２０に記載の投影露光装置において、該投影露光装置は、１５ｎｍ未満の作動波長で動作するよう設計されることを特徴とする投影露光装置。

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