JP6347583B2 - 位置又は孔径の検出装置 - Google Patents

Description

この発明は、例えば、テーブルに載せられた検査対象物と検出ノズルとの間のすき間があらかじめ設定した値に保たれているかどうかを検出したり、あるいは所定の容器の液面を検出したり、さらに、貫通する孔の径を検出したりする
位置又は孔径の検出装置に関する。

この種の位置又は孔径の検出装置として、図６に示したものが従来から知られている。この従来の位置又は孔径の検出装置は、圧縮エアを吐出する圧力源Ｐに供給通路１を接続するとともに、この供給通路１にレギュレータ２及び電磁開閉弁３を設けている。そして、上記電磁開閉弁３の下流を分岐通路４，５に分岐し、一方の分岐通路４は、第１検出装置本体ＳＢ１の流入ポート６に接続し、他方の分岐通路５は、第２検出装置本体ＳＢ２の流入ポート７に接続し、これら流入ポート６，７すなわち第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２のそれぞれを、圧力源Ｐに対して並列に接続している。

上記第１検出装置本体ＳＢ１には、上記流入ポート６に対して並列に接続した検出側通路８と比較側通路９とを設けている。
上記検出側通路８には、流入ポート６から下流に向かって順に、検出側固定絞り１０及び流出ポート１１を設けるとともに、この流出ポート１１には検出ノズル１２を接続している。この検出ノズル１２からは圧縮エアが噴出されるが、そのときの検査対象物１３とのすき間によって、そのすき間を流通する流体の圧力損失の大きさが決まることになる。
また、比較側通路９には、上記流入ポート６から下流に向かって順に、比較側固定絞り１４、可変絞りからなる比較側圧力設定手段１５及び流出ポート１６を設けている。

さらに第１検出装置本体ＳＢ１には、差圧検出手段１７を設けているが、この差圧検出手段１７には、検出側通路８における検出側固定絞り１０と検出ノズル１２との間の圧力を導く一方の圧力室１７ａと、比較側通路９における比較側固定絞り１４と比較側圧力設定手段１５との間の圧力を導く他方の圧力室１７ｂとを備えている。そして、この差圧検出手段１７は、上記両圧力室１７ａ,１７ｂの差圧を検出するとともに、検出側通路８の圧力が上記比較側圧力設定手段１５で設定した圧力と等しくなったとき、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間が設定どおり維持されていることになる。

一方、第２検出装置本体ＳＢ２には、上記流入ポート７に対して並列に接続した検出側通路１８と比較側通路１９とを設けている。
上記検出側通路１８には、流入ポート７から下流に向かって順に、検出側固定絞り２０及び流出ポート２１を設けるとともに、この流出ポート２１を、上記第１検出装置本体ＳＢ１の流出ポート１１と検出ノズル１２との間に接続している。すなわち、この検出側通路１８は、検出ノズル１２に対して、第１検出装置本体ＳＢ１の検出側通路８と並列にしている。

したがって、上記検出側固定絞り１０，２０は、検出ノズル１２に対して共通に機能することになる。
このように検出側固定絞り１０，２０が、検出ノズル１２に対して共通に機能すると言うことは、それらの合計開口面積によって制御特性が決められることになる。
また、上記比較側通路１９には、上記流入ポート７から下流に向かって順に、比較側固定絞り２２、比較側圧力設定手段２３及び流出ポート２４を設けている。

さらに、第２検出装置本体ＳＢ２には、差圧検出手段２５を設けているが、この差圧検出手段２５には、検出側通路１８における検出側固定絞り２０と上記検出ノズル１２との間の圧力を導く一方の圧力室２５ａと、比較側通路１９における比較側固定絞り２２と比較側圧力設定手段２３との間の圧力を導く他方の圧力室２５ｂとを備えている。そして、この差圧検出手段２５は、上記差圧検出手段１７と同様に、上記両圧力室２５ａ,２５ｂの差圧を検出するとともに、検出側通路１８の圧力が上記比較側圧力設定手段２３で設定した圧力と等しくなったかどうかを検出する。

上記のように一つの検出ノズル１２に対して、２つの差圧検出手段１７,２５を設けたのは次の理由からである。
例えば、２種類の検査対象物を見分けるときに、この検査対象物に深さの異なる溝等を形成し、その溝の深さに応じて当該検査対象物を識別することがある。このようなときには、第１検出装置本体ＳＢ１における比較側圧力設定手段１５の開度を、一方の検査対象物に形成した溝深さの検出用に調整し、第２検出装置本体ＳＢ２における比較側圧力設定手段２３の開度を、他方の検査対象物に形成した溝深さの検出用に調整しておく。

そして、検出ノズル１２の設置レベルを一定に保って上記溝深さを検出するが、このときに第１検出装置本体ＳＢ１の差圧検出手段１７における両圧力室１７ａ，１７ｂの圧力が等しくなったときは、一方の検査対象物であると判定し、第２検出装置本体ＳＢ２の差圧検出手段２５における両圧力室２５ａ、２５ｂの圧力が等しくなったときには、他方の検査対象物であると判定するようにしている。
また、高さの異なる２種類の検査対象物についても、上記とほぼ同様にして識別することができる。

さらに、一方の差圧検出手段１７で大きなすき間を検出し、他方の差圧検出手段２５で小さなすき間を検出できるように設定した場合に、次のような３段階のすき間の大きさを検出することができる。なお、このときには、検出側の圧力室と比較側の圧力室との関係が
圧力室１７ａの圧力≧圧力室１７ｂの圧力のとき、差圧検出手段１７がオン
圧力室２５ａの圧力≧圧力室２５ｂの圧力のとき、差圧検出手段２５がオン
となるものとし、差圧検出手段１７，２５のいずれもがオンしていないとき、すき間が最大であるものと設定する。

上記の条件の下で、次のように３段階のすき間の大きさが検出されることになる。
すき間（大）の検出条件
上記圧力室１７ａ，１７ｂ及び２５ａ，２５ｂの圧力の条件が
１７ａ＜１７ｂのとき、差圧検出手段１７がオフ（１）
２５ａ＜２５ｂのとき、差圧検出手段２５がオフ（２）
なお、上記の条件で圧力１７ａの圧力と２５ａの圧力とは常に等しい。そして、１７ｂ＜２５ｂに設定されているので、差圧検出手段１７がオフで、差圧検出手段２５がオンになることはありえない。
したがって、上記の（１）（２）の条件を満たしたときには、すき間（大）を検出したことになる。

すき間（中）の検出条件
上記圧力室１７ａ，１７ｂ及び２５ａ，２５ｂの圧力の条件が
１７ａ≧１７ｂのとき、差圧検出手段１７がオン（３）
２５ａ＜２５ｂのとき、差圧検出手段２５がオフ（４）
すき間（小）の検出条件
上記圧力室１７ａ，１７ｂ及び２５ａ，２５ｂの圧力の条件が
１７ａ≧１７ｂのとき、差圧検出手段１７がオン（５）
２５ａ≧２５ｂのとき、差圧検出手段２５がオン（６）
上記のように上記（１）〜（６）を基にして、すき間（大）（中）（小）を検出することができる。

なお、上記検出側固定絞り１０，２０は検出ノズル１２との間の圧力を安定的に保つために機能し、上記比較側固定絞り１４，２２は比較側圧力設定手段１５，２３との間の圧力を安定的に保つために機能する。
また、検出側固定絞り１０，２０の開口面積が大きくなればなるほど、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間の変化に対して、上記検出側固定絞り１０，２０と検出ノズル１２との間の圧力の変化率すなわちゲインが小さくなる。反対に、検出側固定絞り１０，２０の開口面積が小さくなればなるほど、上記ゲインが大きくなる。

この関係を示したのが図７である。図７は、検出側固定絞りの開口面積をパラメータにしたグラフで、縦軸が検出側固定絞りと検出ノズル１２と間に発生する圧力を示し、横軸が検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間の大きさを示している。そして、グラフにおける曲線に示した数値が当該固定絞りの開口径（ｍｍ）である。
この図７からも明らかなように、開口径が最も大きな１mmの場合にはゲインが小さくなっている。そして、開口径が0.35ｍｍの場合が、ゲインが最も大きくなるが、実際には、検出ノズル１２の口径や検出するすき間に応じて、固定絞りの最適径が決まる。

しかも、上記比較側圧力設定手段１５は、その構造が、上記検出側固定絞りの開口径に応じて調整しやすい構造になっている。つまり、検出ノズル１２の口径や検出するすき間に応じて、最適なゲインが得られるように、比較側圧力設定手段１５の調整範囲があらかじめ定められている。
したがって、比較側固定絞り１４，２２の開口面積と、検出側固定絞り１０，２０の合計開口面積とは、常に厳密な対応関係を求められる。

特開２００９−３６５９８号公報

上記のようにした従来の位置又は孔径の検出装置では、差圧検出手段１７，２５ごとに検出側固定絞り１０，２０及び比較側圧力設定手段１５，２３を設けなければならないので、構成が複雑になるという問題があった。
また、上記従来の位置又は孔径の検出装置では、一つの検出ノズル１２に対して、検出側固定絞り１０，２０が並列に接続されている。しかし、これら検出側固定絞り１０，２０は、上記したように比較側圧力設定手段１５，２３に対しては、両検出側固定絞り１０，２０が一体になって一つの絞りとして機能しなければならない。

そのために、検出側固定絞り１０，２０の開口面積は、それらの合計値で決まるが、その合計面積を決めるのが検出側固定絞り１０，２０の個々の開口径である。そうなると、例えば、差圧検出手段１７，２５を増やしたり減らしたりするたびに検出側固定絞りの開口径を変更しなければならなくなる。そのために、差圧検出手段の数に応じた固定絞りを備えておかなければならず、その分、在庫すべき部品点数が多くなるとともに、設計の自由度が制約され、しかも設計の難度も大きくなるという問題があった。

この発明の第１の目的は、差圧検出手段を複数設けて多連にした場合でも、比較側圧力設定手段あるいは検出側固定絞りを少なくできる位置又は孔径の検出装置を提供することである。
第２の目的は、多連にしたときに固定絞りの開口面積の管理を簡単にした位置又は孔径の検出装置を提供することである。

この発明は次の構成からなる。
エア供給源に対して複数の比較側通路を並列に接続している。そして、この比較側通路には、比較側固定絞りとその下流側に設けた比較側圧力設定手段とを設けている。さらに、圧力源に一の検出側通路を接続し、この検出側通路には検出側固定絞りを設けるとともに、この検出側固定絞りの下流側に検出ノズルを設けている。そして、上記検出ノズルに対して、他の検出側通路を上記一の検出側通路と並列に接続している。
また、上記検出側通路と同数設けた比較側通路を上記圧力源に対して互いに並列に接続するとともに、これら比較側通路のそれぞれに比較側固定絞り設けている。そして、この比較側固定絞りの下流側には、比較側固定絞りの下流側の圧力を設定するための比較側圧力設定手段を設けている。
さらに、上記比較側通路及び検出側通路を一組として、それら一組の比較側通路及び検出側通路ごとに設け、上記検出側固定絞りと検出ノズルとの間の圧力を導く一方の圧力室及び上記比較側固定絞りと比較側圧力設定手段との間の圧力を導く他方の圧力室を設けた差圧検出手段を備えている。

この発明によれば、差圧検出手段を複数設けても、検出側通路には検出側固定絞りを一つ設けるだけで足りるので、その分、構成が簡単になる。
また、上記のように差圧検出手段を複数設けても、検出側固定絞りが一つで足りるので、例えば、複数の検出側固定絞りを並列に設けていた従来のものと比べて、固定絞りの開口面積の管理が飛躍的に簡単になる。

第１実施形態の回路図である。 第２実施形態の断面図である。 第３実施形態の回路図である。 第３実施形態の断面図である。 参考例の回路図である。 従来の位置又は孔径の検出装置を示す回路図である。 固定絞りの開口径をパラメータにした特性を示すグラフである。

図１に示した第１実施形態を説明するが、図６で示した従来と同一の構成要素については同一符号を用いて説明する。
圧縮エアを供給するエア供給源Ｐに供給通路１を接続するとともに、この供給通路１にレギュレータ２及び電磁開閉弁３を設けている。そして、上記電磁開閉弁３の下流を分岐通路４，５に分岐し、一方の分岐通路４は、第１検出装置本体ＳＢ１の流入ポート６に接続し、他方の分岐通路５は、第２検出装置本体ＳＢ２の流入ポート７に接続し、これら流入ポート６，７すなわち第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２のそれぞれを、圧力源Ｐに対して並列に接続している。

上記第１検出装置本体ＳＢ１には、上記流入ポート６に対して並列に接続した検出側通路８と比較側通路９とを設けている。
上記検出側通路８には、流入ポート６から下流に向かって順に、検出側固定絞り１０及び流出ポート１１を設けるとともに、この流出ポート１１には検出ノズル１２を接続している。この検出ノズル１２からは圧縮エアが噴出されるが、そのときの検査対象物１３とのすき間によって、そのすき間を流通する流体の圧力損失の大きさが決まることになる。
また、比較側通路９には、上記流入ポート６から下流に向かって順に、比較側固定絞り１４、可変絞りからなる比較側圧力設定手段１５及び流出ポート１６を設けている。

さらに第１検出装置本体ＳＢ１には、差圧検出手段１７を設けているが、この差圧検出手段１７には、検出側通路８における検出側固定絞り１０と検出ノズル１２との間の圧力を導く一方の圧力室１７ａと、比較側通路９における比較側固定絞り１４と比較側圧力設定手段１５との間の圧力を導く他方の圧力室１７ｂとを備えている。そして、この差圧検出手段１７は、上記両圧力室１７ａ,１７ｂの差圧を検出するとともに、検出側通路８の圧力が上記比較側圧力設定手段１５で設定した圧力と等しくなったとき、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間が設定どおり維持されていることになる。

一方、第２検出装置本体ＳＢ２には、上記流入ポート７に接続した比較側通路２６を設け、この比較側通路２６には上記流入ポート７から下流に向かって順に、比較側固定絞り２７、比較側圧力設定手段２８及び流出ポート２９を設けている。
そして、この第２検出装置本体ＳＢ２には検出通路３０を設けている。この検出側通路３０は、第２検出装置本体ＳＢ２に設けた圧力導入ポート３１及び圧力導入通路３２を介して、第１検出装置本体ＳＢ１に設けた検出側固定絞り１０と上記検出ノズル１２との間に接続されている。したがって、上記検出側通路３０は、検出ノズル１２に対して、第１検出装置本体ＳＢ１の検出側通路８と並列に接続されていることになる。

上記のように比較側通路２６と検出側通路３０を設けた第２検出装置本体ＳＢ２には、差圧検出手段３３を設けているが、この差圧検出手段３３には、検出側通路３０に接続された一方の圧力室３３ａと、比較側通路２６に接続された他方の圧力室３３ｂとを設けている。
そして、上記差圧検出手段３３は、上記両圧力室３３ａ,３３ｂの差圧を検出するとともに、検出側通路３０の圧力が上記比較側圧力設定手段２８で設定した圧力と等しくなったかどうかを検出する。
なお、上記検出側固定絞り１０及び比較側固定絞り１４，２７の機能は、各通路の圧力を安定的に保つもので、この点は従来と同じである。

上記のようにした第１実施形態では、第１検出装置本体ＳＢ１に設けた検出側固定絞り１０と検出ノズル１２との間の圧力が、検出装置本体ＳＢ１における差圧検出手段１７の一方の圧力室１７ａと、検出装置本体ＳＢ２における差圧検出手段３３の一方の圧力室３３ａとの両方に導かれるので、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間に応じて、上記両圧力室１７ａ，３３ａに導かれる圧力の生成条件が同じになる。

このように、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間に応じて、上記両圧力室１７ａ，３３ａに導かれる圧力の生成条件が同じになるので、例えば、検出ノズル１２と検査対象物１３とのすき間に応じて発生する圧力と、上記比較側圧力設定手段１５，２８で設定した圧力とによって、検査対象物１３を識別することができる。
結局、一つの検出ノズル１２で、複数の検査対象物１３を識別するとき、検出ノズル１２と検査対象物１３間の圧力を上記差圧検出手段の一方の圧力室１７ａ，３３ａに導く圧力の生成条件が同じであってもよいことになる。このような観点から、この第１実施形態では、一つの検出側固定絞り１０だけで足りるようにしたものである。

次に、図２に示した第２実施形態を説明するが、この実施形態において、図１に示した第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付して説明する。そして、この第２実施形態は、第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２以外に通路ブロック３４を設けている。この通路ブロック３４は、図１の圧力源Ｐに接続する流入ポート３５を形成するとともに、この流入ポート３５を３本の分岐通路３６〜３８に分岐している。
上記のようにした通路ブロック３４には、第１検出装置本体ＳＢ１と第２検出装置本体ＳＢ２とを連接させている。

上記第１検出装置本体ＳＢ１には、一方の圧力室１７ａ及び他方の圧力室１７ｂを備えた差圧検出手段１７を設けている。そして、上記一方の圧力室１７ａは検出側通路８に設けた検出側固定絞り１０を介して分岐通路３６に連通させている。また、他方の圧力室１７ｂは比較側通路９に設けた比較側固定絞り１４を介して分岐通路３７に連通させている。
さらに、上記一方の圧力室１７ａは、流出ポート１１を介して検出ノズル１２に接続し、他方の圧力室１７ｂは、可変絞りからなる比較側圧力設定手段１５を介して流出ポート１６に連通させている。

上記の構成から明らかなように、この第２実施形態においては、両圧力室１７ａ及び１７ｂのそれぞれが、検出側通路８及び比較側通路９の一部を兼ねていることになる。
また、上記第２検出装置本体ＳＢ２には、一方の圧力室３３ａ及び他方の圧力室３３ｂを備えた差圧検出手段３３を設けている。そして、上記一方の圧力室３３ａは検出側通路３０を、通路部材からなる圧力導入通路３２を介して、第１検出装置本体ＳＢ１に設けた差圧検出手段１７の一方の圧力室１７ａに接続している。ただし、上記検出側通路３０は、第１実施形態の圧力導入ポート３１を兼ねたものになっている。

そして、上記したように差圧検出手段１７の一方の圧力室１７ａは、流出ポート１１を介して検出ノズル１２に連通しているので、圧力室１７ａ及び３３ａは、検出ノズル１２に対して並列に接続されることになる。
なお、図中符号３９は、差圧検出手段３３における一方の圧力室３３ａの圧力を検出するための圧力計である。
上記のようにした第２実施形態の機能は、第１実施形態と同じであり、検出側固定絞り１０は一つで足りることになる。

次に、図３，４に示した第３実施形態について説明するが、この実施形態において、図１に示した第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付して説明する。この第３実施形態は、第１実施形態における第１検出装置本体ＳＢ１に設けた検出側固定絞り１０を、上記第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２から切り離して別に設けたものである。
すなわち、上記供給通路１には、分岐通路４，５とは別に分岐通路４０を接続するとともに、この分岐通路４０に、第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２とは別の絞り本体ＯＢを設けている。この絞り本体ＯＢには検出側通路４１を設けるとともに、この検出側通路４１に検出側固定絞り４２を設けている。
そして、この絞り本体ＯＢに設けた検出側通路４１には、上記検出ノズル１２を接続している。

また、この第３実施形態においても、上記各実施形態と同様の第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２を設け、これら第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２には、比較側通路９，２６、比較側固定絞り１４，２７、比較側圧力設定手段１５，２８及び流出ポート１６，２９を設けている。
さらに、上記第１，２検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２には、差圧検出手段１７，３３を設けるとともに、この差圧検出手段１７，３３の一方の圧力室１７ａ，３３ａには圧力導入ポート４３，４４を介して上記検出ノズル１２と検査対象物１３との間に発生する圧力が導かれ、他方の圧力室１７ｂ，３３ｂには比較側通路９，２６における比較側固定絞り１４，２７と比較側圧力設定手段１５，２８間の圧力が導かれるようにしている。

なお、図中符号４５は、供給通路１と分岐通路４０との接続ポイントよりも下流側に設けた電磁開閉弁である。
そして、上記図３に示した回路図の要部を具体的に示したのが、図４である。この図４において、絞り本体ＯＢに設けた検出側通路４１及び第２検出装置本体ＳＢ２の圧力導入ポート４４を、第１検出装置本体ＳＢ１の一方の圧力室１７ａ及びその圧力導入ポート４３を介して検出ノズル１２に接続した点に特徴を有する。
上記のようにした第３実施形態の各構成要素の機能は、第１，２実施形態の場合と同様である。

次に、図５に示した参考例を説明するが、この参考例において、図１に示した第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付して説明する。第１検出装置本体ＳＢ１は、第１実施形態と同じ構成なので、第１実施形態と同一符号を用い、その詳細な説明を省略する。ただし、この参考例においては、差圧検出手段１７の一方の圧力室１７ａにおける圧力を検出する圧力計４５を設けている。

上記第２，３検出装置本体ＳＢ２，ＳＢ３は、それらの流入ポート４６，４７を、上記圧力源Ｐに対して、上記第１検出装置本体ＳＢ１の流入ポート６と並列に接続している。つまり、この参考例においては、上記供給通路１に対して分岐する分岐通路４，５以外に分岐通路４８を設け、これら分岐通路４，５，４８を介して上記各流入ポート６，４６，４７を、上記のように並列に接続している。

上記のようにした第２，３検出装置本体ＳＢ２，ＳＢ３は、流入ポート４６，４７に検出側通路４９，５０を接続するとともに、この検出側通路４９，５０に検出側固定絞り５１，５２を設けている。また、この検出側通路４９，５０には、流出ポート５３，５４を介して検出ノズル５５，５６を接続している。
さらに、上記第２，３検出装置本体ＳＢ２，ＳＢ３には、差圧検出手段５７，５８を設けるとともに、この差圧検出手段５７，５８の一方の圧力室５７ａ，５８ａを、上記検出側固定絞り５１，５２と検出ノズル５５，５６との間の圧力が導かれるようにしている。

また、上記差圧検出手段５７，５８の他方の圧力室５７ｂ，５８ｂは、第２，３検出装置本体ＳＢ２，ＳＢ３に形成した圧力導入ポート５９，６０及びこの圧力導入ポート５９，６０に接続した圧力導入通路６１，６２を介して、第１検出装置本体ＳＢ１の比較側通路９の圧力が導入されるようにしている。
なお、図中符号６３，６４は、第２，３検出装置本体ＳＢ２，ＳＢ３に設けた圧力計で、上記一方の圧力室５７ａ、５８ａの圧力を測定するものである。

上記のようにした参考例は、第１〜３実施形態と異なり、各第１〜３検出装置本体ＳＢ１，ＳＢ２，ＳＢ３に設けた検出側通路８，４９，５０ごとに検出ノズル１２，５５，５６を設けるとともに、これら検出ノズル１２，５５，５６に接続した検出側通路８，４９，５０のそれぞれに検出側固定絞り１０，５１，５２を設けている。
つまり、上記比較側圧力設定手段１５を、各検出ノズル１２，５５，５６に対して共通にして、比較側圧力設定手段１５に至る過程の比較側固定絞り１４を一つで足りるようにしたものである。

結局、検査対象物１３，６５，６６を識別するとき、一つの比較側圧力設定手段１５で、検出ノズル１２と検査対象物１３，６５，６６間の圧力を設定できるようにしたもので、上記差圧検出手段１７，５７，５８の他方の圧力室１７ｂ，５７ｂ，５８ｂには、比較側圧力設定手段１５で発生した圧力損失分の圧力が導かれる。したがって、上記差圧検出手段１７，５７，５８の他方の圧力室１７ｂ，５７ｂ，５８ｂには、同じ圧力が導かれることになる。

なお、上記第１〜３実施形態では、従来例と同様に３段階のすき間（大）（中）（小）を検出できる。
また、第１〜３実施形態及び参考例では、検出ノズル１２，５５，５６と検査対象物１３，６５，６６とのすき間を検出するものとして説明したが、例えば、容器の底部に検出ノズルを開口させたり、その検出ノズルを容器の底部に水没させたりして、当該容器に入れた液体の液面の水位を検出する装置にも、この発明を用いることができる。
この場合には、容器内の液面に応じて、検出ノズルに作用する水圧が変化するが、この変化を差圧検出手段１７，５７，５８が検出して、上記液面の水位を特定できることになる。
さらに、第１〜３実施形態及び参考例は、検査対象物に形成された貫通孔の孔径の大小を検出することもできる。この場合には、検出ノズル１２，５５，５６を、検査対象物に形成された貫通孔に上記検出ノズル１２，５５，５６を密着させて、それら大小を検出することになる。

テーブル上に載せられた検査対象物の種類を識別するのに最適である。

Ｐ 圧力源
８，１８，３０，４１，４９，５０ 検出側通路
９，１９，２６ 比較側通路
１０，２０，５１，５２ 検出側固定絞り
１２，５５，５６ 検出ノズル
１３，６５，６６ 検査対象物
１４，２２，２７ 比較側固定絞り
１５，２８ 比較側圧力設定手段
１７，３３，５７，５８ 差圧検出手段

Claims (1)

1. 圧縮エアを供給するエア供給源に接続した一の検出側通路と、
   上記一の検出側通路に設け、この検出側通路の圧力を保持するための検出側固定絞りと、
   上記検出側固定絞りと、上記検出側固定絞りの下流側に設けられた検出ノズルとの間に連通するとともに、上記検出ノズルに対して、上記一の検出側通路と並列に接続された他の検出側通路と、
   上記圧力源に対して互いに並列に接続するとともに、上記検出側通路と同数設けた比較側通路と、
   これら比較側通路のそれぞれに設けた比較側固定絞りと、
   上記比較側固定絞りの下流側に設け、この比較側固定絞りの下流側の圧力を設定するための比較側圧力設定手段と、
   上記比較側通路及び検出側通路を一組として、それら一組の比較側通路及び検出側通路ごとに設け、上記検出側固定絞りと検出ノズルとの間の圧力を導く一方の圧力室及び上記比較側固定絞りと比較側圧力設定手段との間の圧力を導く他方の圧力室を設けた差圧検出手段とを備え、
   上記検出ノズルを検査対象部に近づけたとき、上記差圧検出手段が上記両圧力室の差圧を検出する位置又は孔径の検出装置。

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