JP6340989B2 - 熱伝導式ガス分析計 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 48
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 40
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 40
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 244
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 20
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 description 13
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005504 petroleum refining Methods 0.000 description 1
- -1 petroleum refining Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Description
基準ガスが封入された基準室と、
測定対象ガスを含むサンプルガスを所定方向に噴射するガス噴射方向調整部と、
ガス噴射方向調整部により噴射方向が調整されたサンプルガスが流通するガス流通路と、
ガス流通路と連通するバイパスと、
バイパスを介して連通する測定室と、
を有し、基準室の基準ガスと測定室のサンプルガスとの熱伝導率の差を利用してガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計であって、
ガス噴射方向調整部は、その噴射方向がバイパスへ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整可能であり、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性にすることを特徴とする熱伝導式ガス分析計とする。
請求項1に記載の熱伝導式ガス分析計において、
前記ガス噴射方向調整部は、前記ガス流通路と垂直に連通するガス導入流路内に挿通されて回転可能な円筒体であって先端の開口がこの円筒体の中心軸に対して略垂直に形成され、前記ガス噴射方向調整部を回転させることで先端の開口をバイパスの開口へ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整することを特徴とする熱伝導式ガス分析計とする。
操作部40は、耐圧防爆容器10の前面下部に設けられ、ゼロ調整、スパン校正、リニアライズ校正などの各種操作設定を行うことができる。
調整方法であるが、例えば図2に示すガスセンサユニット70に連結部材52のみを連結し、このガスセンサユニット70および連結部材52により形成される貫通孔52aおよびガス導入流路72に、ガス噴射方向調整部73を予め決定されている所定角度となるように挿入すれば調整が完了であり、その後の工程の製造を行うことで、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性とした熱伝導式ガス分析計とすることができる。
(1)開口73aの噴射方向を変えることで、バイパス108に流入するサンプルガスの量を変えることができ、測定対象ガスの種類や、測定濃度範囲が異なる場合においても応答特性が一定の特性となるような調整が可能となり、測定対象ガスの種類や、濃度域で寸法の異なる部品を複数用意することなく部品の種類を作成することを可能とした。
10:耐圧防爆容器
11,12:取付孔
20:表示部
30:窓
40:操作部
50:導入側配管接続機構
51:配管継手本体
51a:大径穴部
51b:小径穴部
51c:フランジ部
52:連結部材
52a:貫通孔
52b:鍔部
52c:雄ねじ部
53:袋ナット
54:フレームアレスタ
55:Cリング
56:雄ねじ部
57:Oリング
58:雄ねじ部
60:排出側配管接続機構
61:配管継手本体
62:連結部材
63:袋ナット
64:フレームアレスタ
70:ガスセンサユニット
71:装着部
72:ガス導入流路
73:ガス噴射方向調整部
73a:開口
74:ガス排出流路
101:基準室
102:測定室
103,104:白金線
105,106:熱線素子
107:ガス流通路
108,109:バイパス
110,111:外部固定抵抗
112:定電流源
113:DCアンプ
Claims (2)
- 基準ガスが封入された基準室と、
測定対象ガスを含むサンプルガスを所定方向に噴射するガス噴射方向調整部と、
ガス噴射方向調整部により噴射方向が調整されたサンプルガスが流通するガス流通路と、
ガス流通路と連通するバイパスと、
バイパスを介して連通する測定室と、
を有し、基準室の基準ガスと測定室のサンプルガスとの熱伝導率の差を利用してガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計であって、
ガス噴射方向調整部は、その噴射方向がバイパスへ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整可能であり、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性にすることを特徴とする熱伝導式ガス分析計。 - 請求項1に記載の熱伝導式ガス分析計において、
前記ガス噴射方向調整部は、前記ガス流通路と垂直に連通するガス導入流路内に挿通されて回転可能な円筒体であって先端の開口がこの円筒体の中心軸に対して略垂直に形成され、前記ガス噴射方向調整部を回転させることで先端の開口をバイパスの開口へ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整することを特徴とする熱伝導式ガス分析計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014165782A JP6340989B2 (ja) | 2014-08-18 | 2014-08-18 | 熱伝導式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014165782A JP6340989B2 (ja) | 2014-08-18 | 2014-08-18 | 熱伝導式ガス分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016042054A JP2016042054A (ja) | 2016-03-31 |
JP6340989B2 true JP6340989B2 (ja) | 2018-06-13 |
Family
ID=55591869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014165782A Active JP6340989B2 (ja) | 2014-08-18 | 2014-08-18 | 熱伝導式ガス分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6340989B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109387544B (zh) * | 2018-09-03 | 2021-01-15 | 中国辐射防护研究院 | 高放废液贮罐氢气混合气体爆炸源项估算方法 |
CN109164134B (zh) * | 2018-10-22 | 2023-11-28 | 洛阳三隆安装检修有限公司 | 一种提高热导式氢气分析仪分析准确度的系统 |
CN109884118B (zh) * | 2019-04-02 | 2023-08-29 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种基于升温法的爆容自动测试系统及方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62259049A (ja) * | 1986-03-31 | 1987-11-11 | Shimadzu Corp | 熱伝導率式ガス分析計の測定室の構造 |
JPH0620996Y2 (ja) * | 1988-01-25 | 1994-06-01 | 三菱自動車工業株式会社 | 排気ガスサンプル取出し装置 |
JPH0755485Y2 (ja) * | 1990-02-28 | 1995-12-20 | 三菱自動車工業株式会社 | 排気ガス分割装置付きミニダイリューショントンネル装置 |
JP2914080B2 (ja) * | 1993-04-09 | 1999-06-28 | 三菱自動車工業株式会社 | 自動車用排出ガスサンプリング装置 |
JPH1114572A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Tokyo Gas Co Ltd | ガス分析装置 |
JP2000292322A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Ono Sokki Co Ltd | 抽出希釈装置及びサンプル採取装置 |
JP5409076B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-02-05 | 株式会社堀場製作所 | 熱伝導率センサ |
JP5385657B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-01-08 | 株式会社堀場製作所 | ガスセンサ |
-
2014
- 2014-08-18 JP JP2014165782A patent/JP6340989B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016042054A (ja) | 2016-03-31 |
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