JP6339882B2 - Coating device - Google Patents
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Description
本発明は、塗布装置に関し、特に、試し打ちステーションを備える塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating apparatus, and more particularly, to a coating apparatus including a trial hitting station.
従来、テストフィルムを備える塗布装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。 Conventionally, the coating device provided with a test film is known (for example, refer to patent documents 1).
上記特許文献1には、インクを塗布する塗布部を含むヘッド部と、塗布部によりインクが電子デバイス基材に塗布される前にインクの試し打ちが行われるテストフィルム(試し打ちステーション)と、ヘッド部とは異なる位置に配置された撮像部とを備えた塗布装置が開示されている。この塗布装置は、複数回の試し打ちにより塗布されたインク(複数個のインクの塊)を、撮像部が移動しながら撮像するように構成されている。
In the above-mentioned
しかしながら、上記特許文献1に記載された塗布装置では、複数回の試し打ちにより塗布されたインク(複数個のインクの塊)を撮像部が移動しながら撮像するので、撮像部が移動する分、試し打ちにより塗布されたインクを撮像するのに時間がかかるという問題点がある。
However, in the coating apparatus described in
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、試し打ちにより塗布された塗布剤を撮像するのに時間がかかるのを抑制することが可能な塗布装置を提供することである。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and one object of the present invention is to suppress the time taken to image the coating agent applied by trial strike. It is to provide a possible application device.
この発明の一の局面による塗布装置は、塗布剤を塗布する複数の塗布部を含むヘッド部と、複数の塗布部のそれぞれにより塗布剤が基板に塗布される前に塗布剤の試し打ちが行われる試し打ちステーションと、ヘッド部とは異なる位置に固定され、試し打ちステーションに塗布された塗布剤を撮像する撮像部と、制御部とを備え、試し打ちステーションは、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面を含むとともに、試し打ち面が複数の塗布部の並ぶ方向に沿って移動可能に構成され、制御部は、複数の塗布部のうちの基板に塗布剤を最初に塗布する塗布部から順に1つずつ、あらかじめ決められた量の塗布剤を塗布可能な状態かを判断するように構成されている。 Coating device according to one aspect of the present invention includes a head unit including a plurality of coating part for applying a coating agent, the trial row of coating material before the coating material by each of the plurality of coating portions are applied to the substrate The test hitting station is fixed at a position different from the head portion, and includes an imaging unit that images the coating agent applied to the test hitting station, and a control unit. The test hitting station performs trial hitting of the coating agent. The test striking surface is configured to be movable along the direction in which the plurality of application portions are arranged, and the control unit first applies the coating agent to the substrate among the plurality of application portions. It is configured to determine whether a predetermined amount of the coating agent can be applied one by one in order .
この発明の一の局面による塗布装置では、上記のように、ヘッド部とは異なる位置に固定され、試し打ちステーションに塗布された塗布剤を撮像する撮像部を設ける。これにより、ヘッド部とは異なる位置に固定された撮像部により、試し打ちにより塗布された塗布剤(塗布剤の塊)を撮像することができる。その結果、試し打ちにより塗布された塗布剤を撮像する際に、撮像部が移動する構成と異なり、撮像部が移動しない分、試し打ちにより塗布された塗布剤を撮像するのに時間がかかるのを抑制することができる。 In the coating apparatus according to one aspect of the present invention, as described above, an imaging unit is provided that images the coating agent that is fixed at a position different from the head unit and applied to the trial hitting station. Thereby, it is possible to image the coating agent (a lump of coating agent) applied by trial driving by an imaging unit fixed at a position different from the head unit. As a result, when imaging the coating agent applied by trial strike, unlike the configuration in which the imaging unit moves, it takes time to image the coating agent applied by trial strike because the imaging unit does not move. Can be suppressed.
なお、本発明における塗布剤とは、接着剤、銀ペースト、ハンダなど、電子回路基板などの基板の製造に用いられる基板に対して塗布処理を行う際に使用されるものを示す概念である。 In addition, the coating agent in this invention is a concept which shows what is used when apply | coating a board | substrate used for manufacture of board | substrates, such as an electronic circuit board, such as an adhesive agent, silver paste, solder | pewter.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、撮像部は、試し打ちステーションの下部または側部に固定されている。このように構成すれば、撮像部を固定する場合であっても、試し打ちステーションの上方に撮像部が固定される場合と比べて、塗布部により試し打ちを行った後、試し打ちステーション上方のヘッド部を移動させずに試し打ちを行った位置で塗布剤を撮像することができる。これにより、試し打ちにより塗布された塗布剤を撮像するのに時間がかかるのをより抑制することができる。 In the coating apparatus according to the above aspect, preferably, the imaging unit is fixed to a lower part or a side part of the trial hitting station. If comprised in this way, even if it is a case where an image pick-up part is fixed, compared with the case where an image pick-up part is fixed above a trial hitting station, after performing a test hit by an application part, it is above a test hitting station. The coating agent can be imaged at a position where trial hitting is performed without moving the head portion. Thereby, it can suppress more that it takes time to image the coating agent apply | coated by trial strike.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、撮像部は、移動可能な試し打ち面の下方または側方に固定されている。このように構成すれば、塗布剤が試し打ちされた試し打ち面を容易に新たな試し打ち面に入れ替えることができる。 In the coating apparatus according to the aforementioned aspect preferably, an imaging unit is fixed to the lower or lateral side of the movable the trial surface. If comprised in this way, the trial hitting surface where the coating agent was trial hit can be easily replaced with a new trial hitting surface.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、制御部は、複数の塗布部のそれぞれによる1回の試し打ちによって塗布された塗布剤を撮像部に撮像させ、撮像部により撮像された画像の解析結果に基づいて、塗布条件を変更するとともに、試し打ち面を移動させて再度塗布剤の試し打ちをする制御を行った後、再度試し打ちされた塗布剤を撮像部により撮像する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、試し打ち面の所定領域に塗布剤の試し打ちを行った後、試し打ち面の所定領域と異なる他の領域に試し打ちを行って、塗布条件を変更することができる。これにより、試し打ちを複数回、連続して行って塗布条件を容易に変更することができる。また、1回の試し打ちによって塗布された塗布剤(1つの塗布剤の塊)の画像の解析結果に基づいて、塗布条件を変更することができるので、試し打ちを複数回行って塗布条件を変更する必要がない。その結果、試し打ちに用いられる塗布剤の量を少なくすることができる。 In the coating apparatus according to the aforementioned aspect preferably, control part is once coating material which is applied by the trial of due to each of the plurality of coating part is imaged on the imaging unit, the image captured by the imaging unit Based on the analysis result, the application conditions are changed, and the trial hitting surface is moved to perform trial application of the coating agent again, and then control is performed to image the trial application agent again by the imaging unit. It is configured as follows. If comprised in this way, after performing trial application | coating of the coating agent to the predetermined area | region of a test hitting surface, it can test-apply to another area | region different from the predetermined area | region of a test hitting surface, and can change application | coating conditions. . Thereby, trial application | coating can be performed continuously several times and application conditions can be changed easily. In addition, since the application conditions can be changed based on the analysis result of the image of the coating agent (one coating agent lump) applied by one trial hit, the application conditions can be changed by performing trial hits a plurality of times. There is no need to change. As a result, the amount of the coating agent used for trial hitting can be reduced.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、撮像部は、試し打ち面の下方に固定され、試し打ち面は、シート部材の表面であって、所定の張力が加えられた状態で配置され、試し打ちステーションは、試し打ちが行われた試し打ち面を巻き取ることにより移動させることが可能な巻取部を含み、撮像部は、巻取部により移動可能な試し打ち面の塗布剤を下方から撮像するように構成されている。このように構成すれば、塗布剤を試し打ちした際に試し打ち面が撓んでしまうのを抑制することができる。これにより、試し打ちした際に塗布剤の形状が変形してしまうのを抑制することができる。その結果、塗布剤の試し打ち面と接触する部分の面積を正確に取得することができるので、正確に塗布条件を変更することができる。 In the coating apparatus according to the above aspect , preferably, the imaging unit is fixed below the test hitting surface, and the test hitting surface is a surface of the sheet member and is arranged in a state where a predetermined tension is applied, The test hitting station includes a winding unit that can be moved by winding up the test hitting surface on which the test hitting has been performed, and the imaging unit has a coating agent on the test hitting surface that can be moved by the winding unit downward. It is comprised so that it may image from. If comprised in this way, it can suppress that a test hitting surface will bend when test-applying an application agent. Thereby, it can suppress that the shape of a coating agent deform | transforms when it strikes trial. As a result, the area of the portion of the coating agent that comes into contact with the test striking surface can be obtained accurately, so that the coating conditions can be changed accurately.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、撮像部は、試し打ち面の下方に固定され、試し打ち面は、光を透過可能に構成され、複数の塗布部は、それぞれ、透明または半透明ではない塗布剤を塗布するように構成され、撮像部は、試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている。このように構成すれば、塗布剤が光を透過するのを抑制することができる。その結果、塗布剤の試し打ち面と接触する部分の面積を容易に取得することができる。 In the coating apparatus according to the above aspect , the imaging unit is preferably fixed below the trial hitting surface, the trial hitting surface is configured to transmit light, and the plurality of coating units are each transparent or translucent It is comprised so that the coating agent which is not may be apply | coated, and the imaging part is comprised so that a coating agent may be imaged from the downward direction of a trial hitting surface. If comprised in this way, it can suppress that a coating agent permeate | transmits light. As a result, it is possible to easily obtain the area of the portion that contacts the trial hitting surface of the coating agent.
この場合、好ましくは、試し打ち面よりも上方に配置される照明部をさらに備え、撮像部は、照明部から照明光が照射された状態で試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている。このように構成すれば、試し打ち面の上部からの照明光により、試し打ち面と接触する部分を精度よく撮像することができる。 In this case, preferably, it further includes an illumination unit disposed above the trial hitting surface, and the imaging unit images the coating agent from below the trial hitting surface in a state where illumination light is irradiated from the illumination unit. It is configured. If comprised in this way, the part which contacts a trial hitting surface can be accurately imaged with the illumination light from the upper part of a trial hitting surface.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、試し打ちステーションは、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面を外表面に有するとともに回転することにより試し打ち面が回転方向に移動する試し打ち部を含み、撮像部は、試し打ち部の回転により回転方向に移動される試し打ち面の塗布剤を塗布剤が位置する試し打ち面と対向する方向から撮像するように構成されている。このように構成すれば、試し打ちされた塗布剤の撮像が完了した時点で、直ちに、次の試し打ちを行うことができる。その結果、連続して試し打ちを行う場合に、試し打ちに時間がかかるのを抑制することができる。 In the coating apparatus according to the one aspect , preferably, the test hitting station has a test hitting surface on which the test hitting of the coating agent is performed on the outer surface, and the test hitting unit moves in the rotation direction by rotating. The imaging unit is configured to capture an image of the coating material on the trial striking surface that is moved in the rotation direction by the rotation of the test striking unit from a direction opposite to the test striking surface on which the coating agent is located. If comprised in this way, the next trial strike can be performed immediately at the time of imaging of the coating agent trial striked being completed. As a result, it is possible to suppress the time required for trial hits when performing trial hits continuously.
この場合、好ましくは、塗布剤を除去する塗布剤除去部をさらに備え、塗布剤除去部は、撮像部により試し打ち面の塗布剤が撮像された後、試し打ち部の回転により回転方向に移動される試し打ち面の塗布剤を除去する位置に配置されている。このように構成すれば、塗布剤除去部により試し打ちされた塗布剤を除去して、試し打ち面を再利用することができる。 In this case, preferably, the apparatus further includes a coating agent removing unit that removes the coating agent, and the coating agent removing unit moves in the rotation direction by the rotation of the trial hitting unit after the coating agent on the trial hitting surface is imaged by the imaging unit. It is arranged at a position where the coating agent on the trial hitting surface is removed. If comprised in this way, the coating agent trial-applied by the coating agent removal part can be removed, and a trial hitting surface can be reused.
上記試し打ち面が回転方向に移動する試し打ち部を含む構成において、好ましくは、撮像部は、試し打ち部の回転により回転方向に移動される試し打ち面の塗布剤を撮像するように試し打ち面の側方に固定されている。このように構成すれば、試し打ちステーションの高さを小さくすることができるので、高さ方向において、試し打ちステーションをコンパクトに形成することができる。 In the configuration including the trial hitting portion in which the test hitting surface moves in the rotation direction, the imaging unit preferably takes a trial hitting so as to image the coating agent on the test hitting surface moved in the rotation direction by the rotation of the test hitting portion. It is fixed to the side of the surface. If comprised in this way, since the height of a trial hitting station can be made small, a trial hitting station can be formed compactly in the height direction.
上記一の局面による塗布装置において、好ましくは、撮像部は、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面に対して略垂直な方向と試し打ち面に対して略平行な方向とから、それぞれ、試し打ち面に試し打ちされた塗布剤を撮像可能に構成され、制御部は、試し打ち面に対して略垂直な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の試し打ち面と接触している部分の面積を取得するとともに、試し打ち面に対して略平行な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の試し打ち面からの高さを取得し、面積と高さとから塗布剤の体積を取得するように構成されている。このように構成すれば、塗布剤の面積のみに基づいて塗布量が適正であるか否かを判断する場合よりも、より精度よく塗布剤の塗布量が適正であるか否かを判断することができる。
In the coating apparatus according to the aforementioned aspect, the preferably, an imaging unit, a direction nearly parallel to the direction substantially perpendicular with the trial face against the trial face the trial of the coating agent is carried out, respectively The controller is configured to be able to image the test agent that has been trial hit on the test hit surface, and the control unit comes into contact with the test hit surface of the coating agent based on an image taken from a direction substantially perpendicular to the test hit surface. The height of the coating agent from the trial striking surface is obtained based on the image captured from the direction substantially parallel to the trial striking surface, and the coating agent is obtained from the area and the height. It is comprised so that the volume of may be acquired. If comprised in this way, it will judge whether the application quantity of a coating agent is appropriate more accurately than the case where it is judged whether the application quantity is appropriate only based on the area of a coating agent. Can do.
この場合、好ましくは、光を反射する反射部をさらに備え、撮像部は、試し打ち面の下方または側方から塗布剤を撮像するとともに、試し打ち面の下方および側方に設けられた反射部によって撮像部に導かれた光により塗布剤の側部または下部を撮像するように構成されている。このように構成すれば、1つの撮像部により、試し打ちされた塗布剤の面積と高さとをそれぞれ取得するための2つの画像を撮像することができる。これにより、2つの撮像部により試し打ちされた塗布剤の面積と高さとをそれぞれ取得する場合と異なり、撮像部の数が増えるのを防止することができる。 In this case, preferably, the apparatus further includes a reflection part that reflects light, and the imaging unit images the coating agent from the lower side or the side of the test hitting surface, and the reflection unit provided on the lower side and the side of the test hitting surface. The side part or the lower part of the coating agent is picked up by the light guided to the image pickup part. If comprised in this way, one image part can image two images for acquiring the area and height of the trial-applied coating agent, respectively. Thereby, unlike the case of acquiring the area and height of the coating agent trial-tested by the two imaging units, it is possible to prevent the number of imaging units from increasing.
上記制御部が面積と高さとから塗布剤の体積を取得する構成において、好ましくは、撮像部は、第1撮像部と第2撮像部とを含み、第1撮像部は、試し打ち面の下方に固定され、試し打ち面の下方から塗布剤を撮像し、第2撮像部は、試し打ち面の側方に固定され、試し打ち面の側方から塗布剤を撮像するように構成されている。このように構成すれば、第1撮像部により撮像された画像により試し打ちされた塗布剤の面積を取得し、第2撮像部により撮像された画像により試し打ちされた塗布剤の高さを取得することができる。その結果、1つの撮像部により試し打ちされた塗布剤の面積と高さとを取得するための画像を撮像するために反射部などを設ける場合よりも光学系の構造を簡素化することができる。 In the configuration in which the control unit acquires the volume of the coating agent from the area and the height, preferably, the imaging unit includes a first imaging unit and a second imaging unit, and the first imaging unit is below the test hitting surface. The second imaging unit is fixed to the side of the test hitting surface and is configured to image the coating agent from the side of the test hitting surface. . If comprised in this way, the area of the coating agent trial-tested by the image imaged by the 1st imaging part will be acquired, and the height of the coating agent trial-tested by the image imaged by the 2nd imaging part will be acquired. can do. As a result, the structure of the optical system can be simplified as compared with the case where a reflecting portion or the like is provided in order to capture an image for acquiring the area and height of the coating agent that has been trial hit by one imaging unit.
本発明によれば、上記のように、試し打ちにより塗布された塗布剤を撮像するのに時間がかかるのを抑制することができる。 According to the present invention, as described above, it can be suppressed that it takes time to image the coating agent applied by trial strike.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
まず、図1〜図3を参照して、本発明の第1実施形態における塗布装置(ディスペンサ)110の構造について説明する。
(First embodiment)
First, with reference to FIGS. 1-3, the structure of the coating device (dispenser) 110 in 1st Embodiment of this invention is demonstrated.
塗布装置110は、所定の塗布作業位置P1に搬入されてきたプリント基板200(以下、基板200という)に塗布剤300を塗布する装置である。また、塗布装置110は、基板200に塗布剤300を塗布した後、基板200を実装機(図示せず)などに搬出する。そして、実装機などにおいて、基板200にIC、トランジスタなどの電子部品が実装される。なお、塗布剤300とは、接着剤、銀ペースト、ハンダなど、電子回路基板などの基板の製造に用いられる基板200に対して塗布処理を行う際に使用されるものを示す概念である。また、塗布剤300は、透明または半透明ではない有色のものを用いることが望ましい。
The
図1に示すように、塗布装置110は、基台1と、一対のコンベア2と、支持部3と、一対の支持部4とを備えている。また、図2に示すように、塗布装置110は、エア供給源5と、バルブ6a〜6cと、ヘッド部7と、試し打ちステーション8と、撮像部9と、記憶部10と、CPU11とを備えている。なお、CPU11は、本発明の「制御部」の一例である。
As shown in FIG. 1, the
図1に示すように、一対のコンベア2は、基板200の両端を支持してX1側からX2側に搬送するように構成されている。また、コンベア2は、基板200を塗布作業位置P1で停止させた状態で保持可能に構成されている。
As shown in FIG. 1, the pair of
支持部3は、コンベア2の上方の位置に配置され、搬送方向(X方向)に延びるように構成されている。また、支持部3は、ヘッド部7をX方向に移動可能に支持している。具体的には、支持部3は、モータ31が駆動されることにより、ヘッド部7を支持部3に沿って移動させるように構成されている。
The support part 3 is arrange | positioned in the position above the
また、支持部4は、コンベア2の上方を跨ぐようにして、X方向に垂直なY方向に延びるように構成されている。一対の支持部4は、支持部3をX方向の両側から支持するように構成されている。また、支持部4は、支持部3をY方向に移動可能に支持するように構成されている。具体的には、支持部4は、モータ41が駆動されることにより、支持部4に沿って支持部3を移動させるように構成されている。支持部3および4によって、ヘッド部7は、コンベア2の上方を水平方向(XY方向)に移動可能に構成されている。
Moreover, the support part 4 is comprised so that the upper direction of the
図2に示すように、エア供給源5は、エア供給路51を介して後述する塗布部71a〜71cに接続されている。また、エア供給源5は、一定の圧力でエアをエア供給路51に供給するように構成されている。
As shown in FIG. 2, the
バルブ6aは、ヘッド部7の塗布部71aとエア供給源5との間に設けられている。同様に、バルブ6b(6c)は、塗布部71b(71c)とエア供給源5との間に設けられている。バルブ6a〜6cには、電磁弁などを用いることが可能である。また、バルブ6a〜6cは、CPU11によって、それぞれ独立して、開放状態と閉鎖状態とが切り替え制御されるように構成されている。すなわち、バルブ6a〜6cの開放時間が、CPU11によって制御されている。これにより、塗布部71a〜71cのそれぞれに、独立して、一定の空気圧が供給される時間を変更(調整)することが可能である。
The
ヘッド部7は、コンベア2および後述する試し打ち面812よりも上方(Z1側)に配置されている。ヘッド部7は、塗布部71a〜71cと、照明部72a〜72cと、撮像部73とを含んでいる。
The
塗布部71a〜71cは、それぞれ、塗布剤300を塗布するように構成されている。また、塗布部71a〜71cは、それぞれ、塗布剤300を収容するシリンジにより構成されている。また、塗布部71a〜71cは、それぞれ、エア供給源5から供給された空気圧により、先端のノズルから塗布剤300を吐出するように構成されている。また、塗布部71a〜71cは、それぞれ、異なる量の塗布剤300を吐出するように構成されており、用途に応じて使い分けがされる。なお、図2に示す例では、塗布部71bが使用される状態を示している。また、塗布部71a〜71cは、それぞれ、上下に移動可能に構成されており、塗布剤300を塗布する際には下方(Z2側)に移動するように構成されている。
Each of the
照明部72a〜72cは、それぞれ、塗布部71a〜71cの下端(先端)に設けられている。また、照明部72a〜72cは、たとえばLEDにより構成されている。
The
撮像部73は、基板200表面のフィデューシャルマークを認識するように構成されている。また、撮像部73の下端(先端)には、照明部73aが設けられている。
The
試し打ちステーション8は、平面視(図1参照)において、基板200の塗布作業位置P1の近傍に配置されている。また、試し打ちステーション8は、巻取部811と、試し打ち面812とを含む試し打ち部81により主に構成されている。試し打ちステーション8は、塗布部71a〜71cにより塗布剤300が基板200に塗布される前に塗布剤300の試し打ちを行うために設けられている。この試し打ちによって、塗布部71a〜71cから、予め決められた適正量の塗布剤300が塗布されているか否かを確認することが可能である。
The
巻取部811は、モータ(M)を含んでいる。また、巻取部811は、試し打ちが行われた試し打ち面812を移動させることが可能なように構成されている。具体的には、巻取部811は、試し打ち面812を所定量ずつR1方向に巻き取ることが可能なように構成されている。
The winding
試し打ち面812は、塗布剤300の試し打ちが行われるように構成されている。また、試し打ち面812は、光を透過可能な紙やフィルムなどのシート部材812aの表面によって構成されている。また、試し打ち面812(シート部材812a)は、ロール状に巻き取られており、巻き芯側の端部と反対側(X1側)の端部が巻取部811に接続されている。また、試し打ち面812の試し打ち位置Tの近傍の部分は、所定の張力が加えられた状態で略水平方向(X方向)に延びるように配置されている。また、塗布剤300が試し打ちされた試し打ち面812は、巻取部811によって巻き取られる。また、ロール状に巻き取られ試し打ち面812がなくなると、取り外して新品のものに交換される。つまり、この試し打ち面812は、使い捨てである。
The
撮像部9は、たとえばCCD(Charge Coupled Device)カメラにより構成されている。また、撮像部9は、ヘッド部7とは異なる位置に固定されている。具体的には、撮像部9は、試し打ちステーション8の下部(試し打ち面812の下方)(Z2側)の位置に固定されている。詳細には、撮像部9は、試し打ち位置Tの直下の位置に固定されるとともに、試し打ち位置Tを撮像視野領域に収めるように構成されている。また、撮像部9は、側面(Y方向)からみて、試し打ち位置T近傍において略水平方向(X方向)に延びるように配置された試し打ち面812のX方向の略中央の位置に固定されている。また、撮像部9は、試し打ち面812に塗布された塗布剤300を下方(Z2側)から撮像するように構成されている。また、撮像部9は、照明部72a(72b、72c)から照明光が照射された状態で塗布剤300を撮像するように構成されている。なお、図2に示す例では、1回目および2回目に試し打ちされた塗布剤300が適正量でないと判断されたため、3回目に試し打ちされた(1回目および2回目とは塗布条件を変更して試し打ちされた)塗布剤300を撮像する状態を示している。
The
記憶部10には、塗布装置110を制御する際に用いられるプログラムや塗布剤300の適正量に関する情報などが記憶されている。
The
CPU11は、記憶部10に記憶されている所定のプログラムに基づいて、塗布装置110全体の制御を行う。また、CPU11は、塗布部71a〜71cに塗布剤300の試し打ちを行わせて、塗布部71a〜71cが予め決められた量の塗布剤300を適正に塗布可能な状態であるか否かを判断するように構成されている。
The
詳細には、CPU11は、塗布部71a(71b、71c)による1回の試し打ちによって塗布された塗布剤300(1つの塊の塗布剤300)を撮像部9に撮像させ、撮像部9により撮像された画像の解析(試し打ちされた塗布剤300が適正量であるか否かの解析)を行うように構成されている。また、CPU11は、この解析結果(試し打ちされた塗布剤300が適正量であるか否かの解析結果)に基づいて、塗布条件を変更する制御を行うよう構成されている。そして、CPU11は、試し打ちされた塗布剤300の塗布量が適正でない場合には、試し打ち面812を所定量R1方向に移動させて、塗布条件が変更された状態で、再度塗布剤300の試し打ちをする制御を行うように構成されている。そして、CPU11は、再度試し打ちされた塗布剤300を撮像部9により撮像する制御を行うように構成されている。このように、試し打ちが複数回行われる場合、平面視において、ヘッド部7は初期位置(1回目に試し打ちを行った位置)から移動しない。
Specifically, the
次に、図2および図3を参照して、第1実施形態による塗布装置110のCPU11により実行される塗布量適性判断処理フローについて説明する。塗布量適性判断処理は、たとえば所定数(所定ロット)の基板200を製造する際において、最初の基板200に塗布剤300を塗布する前に実施される。また、以下では、塗布部71bについての塗布量適性判断処理を行う場合について説明する。塗布部71a(71c)についての塗布量適性判断処理も塗布部71bについての塗布量適性判断処理と同様であるので、説明は省略する。
Next, with reference to FIG. 2 and FIG. 3, the application amount suitability determination processing flow executed by the
図3に示すように、ステップS1において、CPU11は、ヘッド部7を試し打ちステーション8の上方に移動する処理を行う。すなわち、塗布部71bを試し打ち位置Tの上方に移動させる。
As shown in FIG. 3, in step S <b> 1, the
次に、ステップS2において、CPU11は、試し打ちを実行させる処理を行う。具体的には、CPU11は、ヘッド部7の塗布部71bを下方(Z2側)に移動させ、現在の設定に基づいて試し打ち面812に試し打ちを実行させる。
Next, in step S2, the
次に、ステップS3において、CPU11は、撮像部9に試し打ちされた塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分を撮像させる処理を行う。具体的には、CPU11は、試し打ち面812の下方(Z2側)からシート部材812aを介して、試し打ち位置Tの塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分(下面画像)を撮像部9に撮像させる。この際、撮像部9は、1回の試し打ちによって塗布された塗布剤300(1つの塊の塗布剤300)を撮像する。
Next, in step S <b> 3, the
次に、ステップS4において、CPU11は、塗布剤300の面積を取得する処理を行う。具体的には、CPU11は、ステップS3において撮像された画像に基づいて、塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積を取得する。
Next, in step S <b> 4, the
次に、ステップS5において、CPU11は、塗布剤300の塗布量が適正であるか否かを判断する処理を行う。具体的には、CPU11は、ステップS4において取得された面積を、記憶部10に予め記憶されている塗布剤300の適正量の情報(適正面積)に照らし合わせることによって、塗布剤300の塗布量が適正であるか否かを判断する。この際、CPU11は、塗布部71bによる1回の試し打ちによって塗布された塗布剤300(1つの塊の塗布剤300)の画像から塗布量が適正であるか否の判断を行う。CPU11は、塗布剤300の塗布量が適正である場合には、ステップS8に処理を進める。一方、CPU11は、塗布剤300の塗布量が適正でない場合には、ステップS6に処理を進める。
Next, in step S5, the
ステップS6に進んだ場合には、CPU11は、塗布条件を変更する処理を行う。具体的には、CPU11は、試し打ちされた塗布剤300の塗布量(面積)が適正量(適正面積)よりも少ない(小さい)場合には、バルブ6bの開放時間を長くし、試し打ちされた塗布剤300の塗布量が適正量よりも多い場合には、バルブ6bの開放時間を短くする制御を行う。
When the process proceeds to step S6, the
次に、ステップS7において、CPU11は、試し打ち面812を移動させる処理を行う。具体的には、CPU11は、試し打ち面812のうち塗布剤300が試し打ちされていない部分が試し打ち位置Tに配置されるように、巻取部811に試し打ち面812(シート部材812a)を巻き取らせる。その後、CPU11は、ステップS2に処理を戻す。
Next, in step S <b> 7, the
また、ステップS8に進んだ場合には、CPU11は、基板200に対して塗布を開始させる処理を行う。具体的には、CPU11は、塗布装置110の外部から内部に搬入され、所定の塗布作業位置P1に固定的に保持されている基板200の上方(Z1側)にヘッド部7を移動させる。そして、CPU11は、適正量の塗布剤300を塗布可能である塗布部71bにより、基板200に対して塗布作業を開始する。また、CPU11は、試し打ち面812のうち塗布剤300が試し打ちされていない部分が試し打ち位置Tに配置されるように、巻取部811に試し打ち面812を巻き取らせる。その後、CPU11は、塗布量適性判断処理を終了する。
When the process proceeds to step S8, the
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。 In the first embodiment, the following effects can be obtained.
第1実施形態では、上記のように、ヘッド部7とは異なる位置に固定され、試し打ちステーション8に塗布された塗布剤300を撮像する撮像部9を設ける。これにより、ヘッド部7とは異なる位置に固定された撮像部9により、試し打ちにより塗布された塗布剤300(塗布剤300の塊)を撮像することができる。その結果、試し打ちにより塗布された塗布剤300を撮像する際に、撮像部9が移動する構成と異なり、撮像部9が移動しない分、試し打ちにより塗布された塗布剤300を撮像するのに時間がかかるのを抑制することができる。
In the first embodiment, as described above, the
また、第1実施形態では、試し打ちステーション8の下部に撮像部9を固定する。これにより、撮像部9を固定する場合であっても、試し打ちステーション8の上方に撮像部9が固定される場合と比べて、塗布部71a〜71cにより試し打ちを行った後、試し打ちステーション8上方のヘッド部7を移動させずに試し打ちを行った位置で塗布剤300を撮像することができる。その結果、試し打ちにより塗布された塗布剤300を撮像するのに時間がかかるのをより抑制することができる。
In the first embodiment, the
また、第1実施形態では、試し打ち面812を移動可能に構成し、移動可能な試し打ち面812の下方に撮像部9を固定する。これにより、塗布剤300が試し打ちされた試し打ち面812を容易に新たな試し打ち面812に入れ替えることができる。
In the first embodiment, the
また、第1実施形態では、塗布部71a〜71cによる1回の試し打ちによって塗布された塗布剤300を撮像部9に撮像させ、撮像部9により撮像された画像の解析結果に基づいて、塗布条件を変更するとともに、試し打ち面812を移動させて再度塗布剤300の試し打ちをする制御を行った後、再度試し打ちされた塗布剤300を撮像部9により撮像する制御を行うようにCPU11を構成する。これにより、試し打ち面812の所定領域に塗布剤300の試し打ちを行った後、試し打ち面812の所定領域と異なる他の領域に試し打ちを行って、塗布条件を変更することができる。その結果、試し打ちを複数回、連続して行って塗布条件を容易に変更することができる。また、1回の試し打ちによって塗布された塗布剤300(1つの塗布剤300の塊)の画像の解析結果に基づいて、塗布条件を変更することができるので、試し打ちを複数回行って塗布条件を変更する必要がない。その結果、試し打ちに用いられる塗布剤300の量を少なくすることができる。
Moreover, in 1st Embodiment, the
また、第1実施形態では、試し打ち面812の下方に撮像部9を固定し、所定の張力が加えられた状態でシート部材812aの表面である試し打ち面812を配置する。また、試し打ちが行われた試し打ち面812を巻き取ることにより移動させることが可能な巻取部811を含むように試し打ちステーション8を構成する。また、巻取部811により移動可能な試し打ち面812の塗布剤300を下方から撮像するように撮像部9を構成する。これにより、塗布剤300を試し打ちした際に試し打ち面812が撓んでしまうのを抑制することができる。その結果、試し打ちした際に塗布剤300の形状が変形してしまうのを抑制することができる。これにより、塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積を正確に取得することができる。
In the first embodiment, the
また、第1実施形態では、試し打ち面812の下方に撮像部9を固定する。また、光を透過可能に試し打ち面812を構成し、透明または半透明ではない塗布剤300を塗布するように塗布部71a〜71cを構成する。これにより、塗布剤300が光を透過するのを抑制することができる。その結果、塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積を容易に取得することができる。
In the first embodiment, the
また、第1実施形態では、試し打ち面812よりも上方に照明部72a〜72cを配置する。また、照明部72a〜72cから照明光が照射された状態で試し打ち面812の下方から塗布剤300を撮像するように撮像部9を構成する。これにより、試し打ち面812の上部からの照明光により、試し打ち面812に写る塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積を精度よく撮像することができる。
In the first embodiment, the
(第2実施形態)
以下、図4および図5を参照して、本発明の第2実施形態による塗布装置120の構成について説明する。
(Second Embodiment)
Hereinafter, the configuration of the
この第2実施形態では、試し打ち面812の試し打ち位置Tの近傍の部分が略水平方向に延びるように配置されている第1実施形態と異なり、円柱形状の試し打ち部181の外表面に試し打ち面912が設けられている塗布装置120について説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成については同じ符号を用いるとともに、説明を省略する。
In the second embodiment, unlike the first embodiment in which the portion in the vicinity of the test hitting position T of the
図4に示すように、第2実施形態による塗布装置120には、円柱形状の試し打ち部181と、撮像部9と、照明部9aとを含む試し打ちステーション18が設けられている。
As shown in FIG. 4, the
試し打ち部181は、駆動部911と、試し打ち面912と、塗布剤除去部913とを含んでいる。また、試し打ち部181は、概略的には円柱形状に形成されている。試し打ち部181は、駆動部911が駆動することにより、Y方向に平行な軸線周りに回転するように構成されている。
The
駆動部911は、モータ(M)を含んでいる。また、駆動部911は、R1方向に回転可能に構成されている。
The
試し打ち面912は、試し打ち部181の外表面に設けられている。また、試し打ち面912は、駆動部911が駆動することにより、R1方向に回転するように構成されている。また、塗布部71a(71bまたは71c)により、上方(Z1側)から試し打ち面912の試し打ち位置Tに試し打ちが行われる。また、試し打ち面912は、光の反射率が低い樹脂または金属などにより形成されている。
The
塗布剤除去部913は、試し打ち部181の下部(Z2側)に配置されている。また、塗布剤除去部913は、塗布剤300を除去するように構成されている。具体的には、塗布剤除去部913は、ヘラ状(板状)の部材であり、先端部が試し打ち面912に当接するように配置されている。これにより、試し打ち面912の塗布剤300が撮像部9により撮像された後、試し打ち部181の回転によりR1方向に移動される試し打ち面912の塗布剤300を除去することが可能である。これにより、試し打ち面912を再利用することが可能である。
The coating
撮像部9は、試し打ち面912の側方(X1側)に固定されている。また、撮像部9は、試し打ち部181の高さ方向(Y方向)の略中央の高さ位置に配置されている。これにより、撮像部9は、塗布剤300が位置する試し打ち面912と対向する方向(塗布剤300の試し打ち面912と接触している部分と反対側(X1側))から、試し打ち面912の塗布剤300を撮像部9により撮像することが可能である。
The
撮像部9は、試し打ち部181側(X2側)に照明部9aが取り付けられている。また、撮像部9は、照明部9aから照明光が照射された状態で塗布剤300をX1側から撮像するように構成されている。なお、第2実施形態では、塗布部71a〜71cの下端に照明部72a〜72cが設けられている第1実施形態と異なり、塗布部71a〜71cには照明部は設けられていない。なお、第1実施形態では試し打ち面812(シート部材812a)を透過した透過光を用いて塗布剤300の撮像を行ったが、第2実施形態では塗布剤300により反射された反射光を用いて撮像を行う。
The
次に、図4および図5を参照して、第2実施形態による塗布装置120のCPU111により実行される塗布量適性判断処理フローについて説明する。なお、第1実施形態と同様の処理については、説明を省略する。
Next, with reference to FIG. 4 and FIG. 5, the application amount suitability determination processing flow executed by the
図5を参照して、CPU111は、ステップS2の後、ステップS11において、試し打ち部181を回転させる処理を行う。具体的には、CPU111は、ステップS2において、塗布剤300が試し打ち位置Tに試し打ちされている試し打ち部181をR1方向に90度回転させる。この結果、塗布剤300の試し打ち面912と接触している部分と反対側の部分が撮像部9の正面に配置される。これにより、塗布量が適性であるか否かが判断される塗布剤300が撮像部9の正面に配置される。
Referring to FIG. 5, after step S <b> 2, the
次に、ステップS12において、CPU111は、撮像部9に試し打ちされた塗布剤300の上部(頂面画像)を撮像させる処理を行う。これにより、塗布量が適性であるか否かが判断される塗布剤300の平面的な画像が取得される。その後、CPU111は、処理をステップS4に進める。
Next, in step S <b> 12, the
なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。 In addition, the other structure of 2nd Embodiment is the same as that of the said 1st Embodiment.
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。 In the second embodiment, the following effects can be obtained.
第2実施形態では、上記のように、ヘッド部7とは異なる位置に固定され、試し打ちステーション18に塗布された塗布剤300を撮像する撮像部9を設ける。これにより、第1実施形態と同様に、試し打ちにより塗布された塗布剤300を撮像するのに時間がかかるのを抑制することができる。
In the second embodiment, as described above, the
また、第2実施形態では、塗布剤300の試し打ちが行われる試し打ち面912を外表面に有するとともに回転することにより試し打ち面912がR1方向に移動する試し打ち部181を含む試し打ちステーション18を設ける。また、試し打ち部181の回転によりR1方向に移動される試し打ち面912の塗布剤300を塗布剤300が位置する試し打ち面912と対向する方向から撮像するように撮像部9を構成する。これにより、試し打ちされた塗布剤300の撮像が完了した時点で、直ちに、次の試し打ちを行うことができる。その結果、連続して試し打ちを行う場合に、試し打ちに時間がかかるのを抑制することができる。
Further, in the second embodiment, the test hitting station including the
また、第2実施形態では、撮像部9により試し打ち面912の塗布剤300が撮像された後、試し打ち部181の回転によりR1方向に移動される試し打ち面912の塗布剤300を除去する位置に塗布剤除去部913を設ける。これにより、塗布剤除去部913により試し打ちされた塗布剤300を除去して、試し打ち面912を再利用することができる。
Further, in the second embodiment, after the
また、第2実施形態では、試し打ち部181の回転によりR1方向に移動される試し打ち面912の塗布剤300を撮像するように試し打ち面912の側方に撮像部9を固定する。これにより、試し打ちステーション18の高さを小さくすることができるので、高さ方向において、試し打ちステーション18をコンパクトに形成することができる。
In the second embodiment, the
なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。 The remaining effects of the second embodiment are similar to those of the aforementioned first embodiment.
(第3実施形態)
以下、図6〜図9を参照して、本発明の第3実施形態による塗布装置130の構成について説明する。
(Third embodiment)
Hereinafter, the configuration of the
この第3実施形態では、試し打ちされた塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積のみを取得する第1実施形態と異なり、試し打ちされた塗布剤300の体積を取得する塗布装置130について説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成については同じ符号を用いるとともに、説明を省略する。
In the third embodiment, unlike the first embodiment in which only the area of the portion of the trial-applied
図6に示すように、第3実施形態による塗布装置130には、試し打ち部81と、照明部813と、反射部814a〜814c(図7参照)とを含む試し打ちステーション28が設けられている。また、試し打ち部81は、巻取部811と、試し打ち面812とにより主に構成されている。
As shown in FIG. 6, the
図7に示すように、照明部813は、撮像部9の固定位置に対して、反射部814aとは反対側(Y1側)に配置されている。また、照明部813は、塗布量が適正であるか否かが判断される塗布剤300の側方(Y1側)から照明光を照射するように構成されている。
As illustrated in FIG. 7, the
反射部814aおよび814bは、試し打ち面812の側方(Y2側)に設けられている。また、反射部814aおよび814bは、(全反射)ミラーにより構成されている。また、反射部814cは、撮像部9と試し打ち面812との間の位置であって、撮像部9の直上の位置に配置されている。また、反射部814cは、反射面に照射された光I2を反射するとともに、背面側(上側、Z1側)から入射した光I1を反射面から出射するハーフミラーにより構成されている。また、反射部814aおよび814bは、試し打ち面812の側方から下方に照明部813から照射された光I2を導くように構成されている。これにより、撮像部9に光I1と光I2とが導かれる。詳細には、反射部814aおよび814bは、照明部813から試し打ち面812に試し打ちされた塗布剤300に向けて照射された光I2を反射部814cに導く。そして、反射部814cによって、反射部814aおよび814bによって反射された光I2と、背面側(上側、Z1側)から入射した光I1とが、反射面を介して下側(Z2側)の撮像部9に入射する。また、反射部814cでは、光I1の透過領域と、光I2の反射領域とに区画されている。たとえば、反射部814cのうちY1側の半分で光I1が透過し、Y2側の半分で光I2が反射する。この結果、図8に示すように、撮像部9では、塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分(塗布剤300の下部)の画像910と、側部(側面)の画像920とで、画面(画角)を2分割した画像930が取得される。
The reflecting
図7に示すように、撮像部9は、照明部72a(72b、72c)から照明光が照射された状態で塗布剤300を下方(Z2側)から撮像するように構成されている。これにより、撮像部9は、試し打ち面812に対して略垂直な方向から、試し打ち面812に試し打ちされた塗布剤300を撮像可能に構成されている。また、撮像部9は、照明部813から照明光が照射された状態で塗布剤300を側方(Y2側)から撮像するように構成されている。これにより、撮像部9は、試し打ち面812に対して略平行な方向から、試し打ち面812に試し打ちされた塗布剤300を撮像可能に構成されている。
As shown in FIG. 7, the
CPU211は、試し打ち面812に対して略垂直な方向(Z2側)から撮像された画像910(試し打ち面812と接触する部分の画像910)に基づいて、塗布剤300の試し打ち面812と接触している部分の面積S1(図8参照)を取得するように構成されている。また、CPU211は、試し打ち面812に対して略平行な方向(Y2側)から撮像された画像920(側部の画像920)に基づいて、塗布剤300の試し打ち面812からの高さh1(図8参照)を取得するように構成されている。そして、CPU211は、取得した面積S1と高さh1とに基づいて、面積S1と高さh1とを乗じる演算を行うことにより、塗布剤300の体積V1を取得するように構成されている。
The
次に、図8および図9を参照して、第3実施形態による塗布装置130のCPU211により実行される塗布量適性判断処理フローについて説明する。なお、第1実施形態と同様の処理については、説明を省略する。
Next, with reference to FIG. 8 and FIG. 9, the coating amount suitability determination processing flow executed by the
図9を参照して、CPU211は、ステップS2の後、ステップS21において、撮像部9に試し打ちされた塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分、および、試し打ちされた塗布剤300の側部を撮像させる処理を行う。これにより、図8に示すように、塗布量が適性であるか否かが判断される塗布剤300の下方から見た画像910(試し打ち面812と接触する部分の画像910)と側方から見た画像920とが同時に取得される。
Referring to FIG. 9, after step S <b> 2, the
図9に示すように、次に、ステップS22において、CPU211は、塗布剤300の体積V1を取得する処理を行う。具体的には、CPU211は、ステップS21において撮像された画像910から、塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分の面積S1(試し打ち面812と当接している部分の面積S1、図8参照)を取得する。また、CPU211は、ステップS21において撮像された画像920から、塗布剤300の試し打ち面812からの高さh1(図8参照)を取得する。そして、CPU211は、取得された面積S1および高さh1から、塗布剤300の体積V1(S1×h1×1/3(円錐として近似)、図8参照)を取得する。
As shown in FIG. 9, next, in step S <b> 22, the
次に、ステップS23において、CPU211は、塗布量が適正であるか否かを判断する。具体的には、CPU211は、ステップS22において取得された体積V1を、記憶部10に予め記憶されている塗布剤300の適正量(適正体積)の情報に照らし合わせて、体積V1が適正であるか否かを判断する。CPU211は、体積V1が適正であると判断した場合には、ステップS8に処理を進める。一方、CPU211は、体積V1が適正であると判断しない場合には、ステップS6に処理を進める。
Next, in step S23, the
なお、第3実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。 The remaining configuration of the third embodiment is similar to that of the aforementioned first embodiment.
第3実施形態では、以下のような効果を得ることができる。 In the third embodiment, the following effects can be obtained.
第3実施形態では、上記のように、ヘッド部7とは異なる位置に固定され、試し打ちステーション28に塗布された塗布剤300を撮像する撮像部9を設ける。これにより、第1実施形態と同様に、試し打ちにより塗布された塗布剤300を撮像するのに時間がかかるのを抑制することができる。
In the third embodiment, as described above, the
また、第3実施形態では、試し打ち部81に対して略垂直な方向と試し打ち部81に対して略平行な方向とから、それぞれ、試し打ち部81に試し打ちされた塗布剤300を撮像可能に撮像部9を構成する。また、試し打ち部81に対して略垂直な方向から撮像された画像910に基づいて、塗布剤300の試し打ち部81と接触している部分の面積S1を取得するとともに、試し打ち部81に対して略平行な方向から撮像された画像920に基づいて、塗布剤300の試し打ち部81からの高さh1を取得し、面積S1と高さh1とから塗布剤300の体積V1を取得するようにCPU211を構成する。これにより、塗布剤300の面積S1のみに基づいて塗布量が適正であるか否かを判断する場合よりも、より精度よく塗布剤300の塗布量が適正であるか否かを判断することができる。
Further, in the third embodiment, the
また、第3実施形態では、試し打ち部81の下方から塗布剤300を撮像するとともに、試し打ち部81の下方および側方に設けられた反射部814a〜814cによって試し打ち部81の側方から下方の撮像部9に導かれた光により塗布剤300の側部を撮像するように撮像部9を構成する。これにより、1つの撮像部9により、試し打ちされた塗布剤300の面積S1と高さh1とをそれぞれ取得するための2つの画像910および920を撮像することができる。このため、2つの撮像部9により試し打ちされた塗布剤300の面積S1と高さh1とをそれぞれ取得する場合と異なり、撮像部9の数が増えるのを防止することができる。
In the third embodiment, the
なお、第3実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。 The remaining effects of the third embodiment are similar to those of the aforementioned first embodiment.
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での変更(変形例)が含まれる。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiment but by the scope of claims, and further includes meanings equivalent to the scope of claims and modifications (variants) within the scope.
たとえば、上記第1〜第3実施形態では、撮像部9をヘッド部7とは異なる位置として、試し打ちステーション8、18または28の下部または側部に固定する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッド部に接触しない位置であれば、試し打ちステーションの上方または斜め上方に撮像部を固定してもよい。
For example, in the first to third embodiments, the example in which the
また、上記第1および第3実施形態では、巻取部811により巻き取られるロール状の試し打ち面812を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シート状の試し打ち面であってもよい。
Moreover, in the said 1st and 3rd embodiment, although the roll-shaped
また、上記第1〜第3実施形態では、照明部72a〜72c、9aまたは813を設け、照明光を用いて塗布剤300を撮像する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、照明部を設けずに、自然光により塗布剤を撮像してもよい。
Moreover, in the said 1st-3rd embodiment, although the
また、上記第2実施形態では、円柱形状の試し打ち部181を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、円柱形状以外の、柱体状の試し打ち部であってもよい。また、筒状の試し打ち部であってもよい。
In the second embodiment, the cylindrical
また、上記第2実施形態では、撮像部9を試し打ち部181の側部に設けたが、本発明はこれに限られない。本発明では、撮像部を試し打ち部の下部に設けてもよい。これにより、平面視において、試し打ちステーションをコンパクトに形成することができる。
Moreover, in the said 2nd Embodiment, although the
また、上記第3実施形態では、試し打ち面812の下部の撮像部9により試し打ち面812の下方から塗布剤300の試し打ち面812と接触する部分を直接撮像するとともに、試し打ち面812の側方に設けられた反射部814aおよび814bと、下方に設けられた反射部814cとによって試し打ち面812の側方から下方の撮像部9に導かれた光により塗布剤300の側部を間接的に撮像する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、試し打ち面の側方の撮像部により試し打ち面の側方から塗布剤の側部を直接撮像するとともに、試し打ち面の下方および側方に設けられた反射部によって試し打ち面の下方から側方の撮像部に導かれた光により塗布剤の試し打ち面と接触する部分を間接的に撮像してもよい。
In the third embodiment, the
また、上記第3実施形態では、1つの撮像部9により、試し打ちされた塗布剤の試し打ち面と接触する部分および側部を撮像する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図10に示す変形例のように、塗布装置140に2つの撮像部(第1撮像部109a、第2撮像部109b)を設け、試し打ち面の下方に固定された第1撮像部109aにより、試し打ち面の下方から塗布剤を撮像し、試し打ち面の側方に固定された第2撮像部109bにより、試し打ち面の側方から塗布剤を撮像してもよい。これにより、1つの撮像部により、試し打ちされた塗布剤の試し打ち面と接触する部分および側部を撮像する場合と異なり反射部を設ける必要がないので、反射部により構成される光学系を簡素化することができる。
In the third embodiment, an example is shown in which one
また、上記第1〜第3実施形態では、塗布部71a〜71cを空気圧で動作させる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、塗布部を機械式の動作手段によって動作させてもよい。
Moreover, in the said 1st-3rd embodiment, although the example which operates the
また、上記第1〜第3実施形態では、バルブ6a〜6cの開放時間を変更することにより、塗布部71a〜71cにより塗布される塗布剤300の量を変更する例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、バルブ6a〜6cの開放時間は変更せずに、エア供給源5からエア供給路51に供給される空気圧を変更して、塗布部71a〜71cにより塗布される塗布剤300の量を変更してもよい。
Moreover, although the said 1st-3rd embodiment showed the example which changes the quantity of the
また、上記第1〜第3実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、たとえば、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。 In the first to third embodiments, for convenience of explanation, the processing of the control unit has been described using a flow-driven flow that performs processing in order along the processing flow. For example, the processing operation of the control unit May be performed by event-driven (event-driven) processing that executes processing in units of events. In this case, it may be performed by a complete event drive type or a combination of event drive and flow drive.
7 ヘッド部
8、18、28 試し打ちステーション
9 撮像部
11、111、211 CPU(制御部)
71a〜71c 塗布部
72a〜72c、813 照明部
81、181 試し打ち部
109a 第1撮像部(撮像部)
109b 第2撮像部(撮像部)
110、120、130、140 塗布装置
200 基板
300 塗布剤
811 巻取部
812、912 試し打ち面
812a シート部材
814a〜814c 反射部
910 画像
913 塗布剤除去部
920 画像
h1 高さ
R1 回転方向
S1 面積
V1 体積
7
71a to
109b Second imaging unit (imaging unit)
110, 120, 130, 140
Claims (13)
前記複数の塗布部のそれぞれにより塗布剤が基板に塗布される前に塗布剤の試し打ちが行われる試し打ちステーションと、
前記ヘッド部とは異なる位置に固定され、前記試し打ちステーションに塗布された塗布剤を撮像する撮像部と、
制御部とを備え、
前記試し打ちステーションは、塗布剤の試し打ちが行われる試し打ち面を含むとともに、前記試し打ち面が前記複数の塗布部の並ぶ方向に沿って移動可能に構成され、
前記制御部は、前記複数の塗布部のうちの前記基板に塗布剤を最初に塗布する塗布部から順に1つずつ、あらかじめ決められた量の塗布剤を塗布可能な状態かを判断するように構成されている、塗布装置。 A head part including a plurality of application parts for applying the coating agent;
A test hitting station in which a test hit of the coating agent is performed before the coating agent is applied to the substrate by each of the plurality of application portions;
An imaging unit that is fixed at a position different from the head unit and that images the coating agent applied to the trial hitting station ;
A control unit,
The test hitting station includes a test hitting surface on which a test hit of the coating agent is performed, and the test hitting surface is configured to be movable along a direction in which the plurality of application portions are arranged,
The control unit determines whether a predetermined amount of the coating agent can be applied one by one from the coating unit that first applies the coating agent to the substrate among the plurality of coating units. An applicator configured .
前記試し打ち面は、シート部材の表面であって、所定の張力が加えられた状態で配置され、
前記試し打ちステーションは、試し打ちが行われた前記試し打ち面を巻き取ることにより移動させることが可能な巻取部を含み、
前記撮像部は、前記巻取部により移動可能な前記試し打ち面の塗布剤を下方から撮像するように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の塗布装置。 The imaging unit is fixed below the trial hitting surface,
The test striking surface is a surface of the sheet member and is arranged in a state where a predetermined tension is applied,
The test hitting station includes a winding unit that can be moved by winding the test hitting surface on which the test hit has been performed,
The imaging unit, the is configured to image the coating agent of the the trial surface movable from below by the winding section, coating apparatus according to any one of claims 1-4.
前記試し打ち面は、光を透過可能に構成され、
前記複数の塗布部は、それぞれ、透明または半透明ではない塗布剤を塗布するように構成され、
前記撮像部は、前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の塗布装置。 The imaging unit is fixed below the trial hitting surface,
The test hitting surface is configured to transmit light,
Each of the plurality of application portions is configured to apply an application agent that is not transparent or translucent,
The imaging unit, the are from below the the trial surface is configured to image the coating material, the coating apparatus according to any one of claims 1-5.
前記撮像部は、前記照明部から照明光が照射された状態で前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項6に記載の塗布装置。 It further comprises an illumination part arranged above the test hitting surface,
The said imaging part is a coating device of Claim 6 comprised so that an application agent may be imaged from the downward direction of the said test hitting surface in the state irradiated with the illumination light from the said illumination part.
前記撮像部は、前記試し打ち部の回転により回転方向に移動される前記試し打ち面の塗布剤を塗布剤が位置する前記試し打ち面と対向する方向から撮像するように構成されている、請求項3または4に記載の塗布装置。 The test hitting station includes a test hitting part in which the test hitting surface is moved in the rotation direction by rotating while having the test hitting surface on the outer surface where the test hitting of the coating agent is performed,
The imaging unit is configured to capture an image of the coating material on the test striking surface that is moved in the rotation direction by rotation of the test striking unit from a direction facing the test striking surface on which the coating agent is located. Item 5. The coating apparatus according to Item 3 or 4.
前記塗布剤除去部は、前記撮像部により前記試し打ち面の塗布剤が撮像された後、前記試し打ち部の回転により回転方向に移動される前記試し打ち面の塗布剤を除去する位置に配置されている、請求項8に記載の塗布装置。 It further includes a coating agent removing unit that removes the coating agent,
The coating agent removing unit is arranged at a position to remove the coating agent on the trial hitting surface that is moved in the rotation direction by rotation of the trial hitting unit after the imaging agent has imaged the coating agent on the trial hitting surface. The coating device according to claim 8.
前記制御部は、前記試し打ち面に対して略垂直な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の前記試し打ち面と接触している部分の面積を取得するとともに、前記試し打ち面に対して略平行な方向から撮像された画像に基づいて、塗布剤の前記試し打ち面からの高さを取得し、前記面積と前記高さとから塗布剤の体積を取得するように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布装置。 Before SL imaging unit, and a direction substantially parallel to the direction substantially perpendicular to the the trial face against the trial face the trial of the coating agent is carried out, it is respectively, out trial on the trial hitting surface It is configured to be able to image the coating,
The control unit acquires an area of a portion of the coating agent that is in contact with the test hitting surface based on an image captured from a direction substantially perpendicular to the test hitting surface, and the test hitting surface. On the other hand, the height of the coating agent from the test hitting surface is acquired based on an image captured from a substantially parallel direction, and the volume of the coating agent is acquired from the area and the height. The coating apparatus of any one of Claims 1-3.
前記撮像部は、前記試し打ち面の下方または側方から塗布剤を撮像するとともに、前記試し打ち面の下方および側方に設けられた前記反射部によって前記撮像部に導かれた光により塗布剤の側部または下部を撮像するように構成されている、請求項11に記載の塗布装置。 It further includes a reflection part that reflects light,
The imaging unit images the coating agent from below or from the side of the trial hitting surface, and the coating agent by light guided to the imaging unit by the reflecting unit provided below and side of the trial hitting surface The coating device according to claim 11, wherein the coating device is configured to take an image of a side portion or a lower portion.
前記第1撮像部は、前記試し打ち面の下方に固定され、前記試し打ち面の下方から塗布剤を撮像し、
前記第2撮像部は、前記試し打ち面の側方に固定され、前記試し打ち面の側方から塗布剤を撮像するように構成されている、請求項11に記載の塗布装置。 The imaging unit includes a first imaging unit and a second imaging unit,
The first imaging unit is fixed below the trial hitting surface, images the coating agent from below the trial hitting surface,
The coating apparatus according to claim 11, wherein the second imaging unit is fixed to a side of the test hitting surface and configured to image a coating agent from a side of the test hitting surface.
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