JP6331200B2 - Ultrasound gridded three-dimensional electrified imaging device - Google Patents

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Description

本発明は、映像取得装置に係り、海などの水中において音響信号を送波し、その対象物からの反射波により水の濁度や照度に関わらず広い空間の3次元映像を取得する3次元撮像装置に関する。   The present invention relates to an image acquisition device, which transmits an acoustic signal in water such as the sea and acquires a three-dimensional image of a wide space by a reflected wave from the object regardless of the turbidity or illuminance of water. The present invention relates to an imaging apparatus.

3次元撮像の実現には、基本的には、電極をマトリックス状に2次元配置する必要があり、高分解能装置の実現のためには、多数(10000個程度)の電極が必要となり、実用化が極めて困難となる。   In order to realize three-dimensional imaging, it is basically necessary to arrange electrodes two-dimensionally in a matrix, and in order to realize a high-resolution device, a large number (about 10,000) of electrodes are required and put into practical use. Is extremely difficult.

そこで発明者は、周波数ごとに異なる方向に超音波を掃引照射する1次元配列の送波器を有し、掃引方向と直交する方向に1次元分割した受波器を有する、3次元撮像方式を開発している。   Therefore, the inventor has a three-dimensional imaging method that includes a one-dimensional array of transmitters that sweep and radiate ultrasonic waves in different directions for each frequency, and a receiver that is one-dimensionally divided in a direction orthogonal to the sweep direction. We are developing.

しかし、この方法によると、2次元方向に収束特性を有する2次元収束音響レンズが必要となり、2次元収束音響レンズは重量物となるため、装置の簡易化に困難を感じている。   However, according to this method, a two-dimensional convergent acoustic lens having a convergence characteristic in the two-dimensional direction is required, and the two-dimensional convergent acoustic lens becomes a heavy object, and thus it is difficult to simplify the apparatus.

そこで本発明は、周波数により一次元方向を走査し、1次元配列の受波器により3次元撮像を行う方式において、2次元収束音響レンズを必要としない構成法を提供する。   Therefore, the present invention provides a configuration method that does not require a two-dimensional converging acoustic lens in a method in which a one-dimensional direction is scanned by a frequency and three-dimensional imaging is performed by a one-dimensional array of receivers.

周波数ごとに異なる方向に超音波を掃引照射し、3次元撮像する方式は種々知られている。   Various methods for performing three-dimensional imaging by sweeping and irradiating ultrasonic waves in different directions for each frequency are known.

このような方法による第一の公知例は、特許文献1に示される、周波数ステアリング型2次元音響アレーにより、3次元空間の映像化を行う方法である。   A first known example of such a method is a method of imaging a three-dimensional space using a frequency steering type two-dimensional acoustic array disclosed in Patent Document 1.

この公知例における、2次元音響アレーの最も単純な構成が、図1に示す周波数ステアリング型2次元アレー1であり、音響トランスジューサ素子2、信号電極3、第1配線4、第2配線5、接地電極6及び、信号端子7により構成されている。   The simplest configuration of the two-dimensional acoustic array in this known example is the frequency steering type two-dimensional array 1 shown in FIG. 1, and includes an acoustic transducer element 2, a signal electrode 3, a first wiring 4, a second wiring 5, and a ground. It consists of an electrode 6 and a signal terminal 7.

しかし、図1に示す最も単純な構成においても、多数(UxV)の信号電極3を2次元(マトリックス)状に配置する必要があり、高分解能装置においては、10000個(U:100,V:100)程度の電極数が必要となり、この方式の実用化は困難である。   However, even in the simplest configuration shown in FIG. 1, it is necessary to arrange a large number (UxV) of signal electrodes 3 in a two-dimensional (matrix) form. In a high-resolution apparatus, 10,000 (U: 100, V: It is difficult to put this method to practical use.

周波数ごとに異なる方向に超音波を掃引照射する方法による第二の公知例を、図2に示す。この方式は、発明者らによる特許文献2に示された方式である。   FIG. 2 shows a second known example by a method of sweeping and irradiating ultrasonic waves in different directions for each frequency. This method is the method shown in Patent Document 2 by the inventors.

図2における送波器8は、方位ごとに周波数の異なる超音波を送出し、送波器8の最も簡便な構成法は、発明者らによる公知技術である特許文献3に示されている。   The transmitter 8 in FIG. 2 transmits ultrasonic waves having different frequencies for each direction, and the simplest configuration method of the transmitter 8 is shown in Patent Document 3 which is a known technique by the inventors.

この公知技術による送波器8は、図4に示すように、分極軸方向21が交互に反転して形成されている圧電素子20の両面に、共通電極として、一対の接地電極22と信号電極23を形成する。   As shown in FIG. 4, this known transmitter 8 includes a pair of ground electrodes 22 and signal electrodes as common electrodes on both surfaces of piezoelectric elements 20 formed by alternately reversing polarization axis directions 21. 23 is formed.

この接地電極22と信号電極23の間に、1本の駆動信号25を印加すると、その信号周波数に応じて伝搬媒体9中の異なる方向に超音波波面26を放射し、対象領域10をx軸方向に掃引走査する。   When one drive signal 25 is applied between the ground electrode 22 and the signal electrode 23, the ultrasonic wave front 26 is radiated in different directions in the propagation medium 9 according to the signal frequency, and the target region 10 is moved along the x axis. Sweep scan in direction.

該超音波波面26は、送波器8の形状が棒状であることから、x軸方向には狭くz軸方向には広い扇形超音波ビーム13となる。   The ultrasonic wavefront 26 is a fan-shaped ultrasonic beam 13 that is narrow in the x-axis direction and wide in the z-axis direction because the shape of the transmitter 8 is a rod.

ここでは、超音波波面26が伝搬する方向を超音波波面放射方向24とし、以下、超音波波面26が、x軸(送波器8の配列方向)に対して傾斜する角度をθとし、z軸(仮に鉛直方向とする)に対して傾斜する角度をψとする。   Here, the direction in which the ultrasonic wavefront 26 propagates is referred to as an ultrasonic wavefront radiation direction 24, and hereinafter, the angle at which the ultrasonic wavefront 26 is inclined with respect to the x-axis (arrangement direction of the transmitter 8) is defined as θ. An angle inclined with respect to the axis (assumed to be vertical) is assumed to be ψ.

送波器8の動作原理は図5に示す通りであり、接地電極22と信号電極23の間に、正弦波駆動信号25を印加すると、図5の円弧に示す波面が形成され(実線と破線で位相が180度異なることを示す)、同時刻の隣接した波面の位相が反転しているため、送波器8の法線方向では放射音波が相殺され、傾斜した方向である超音波波面放射方向24に超音波ビームが形成される。   The principle of operation of the transmitter 8 is as shown in FIG. 5. When a sine wave drive signal 25 is applied between the ground electrode 22 and the signal electrode 23, a wavefront indicated by an arc in FIG. 5 is formed (solid line and broken line). The phase of adjacent wavefronts at the same time are inverted, so that the radiated sound wave is canceled out in the normal direction of the transmitter 8 and the ultrasonic wavefront radiation is in the inclined direction. An ultrasonic beam is formed in the direction 24.

図5において、周波数が高い場合には、波長が短い事から、図5のa)に示すように、高周波送波波面27を正面近傍方向へ形成する。一方、周波数が低い場合には、波長が長い事から、図5のb)に示すように、低周波送波波面28をより傾斜した方向へ形成する。   In FIG. 5, when the frequency is high, since the wavelength is short, the high-frequency transmission wavefront 27 is formed in the vicinity of the front surface as shown in a) of FIG. On the other hand, when the frequency is low, since the wavelength is long, the low-frequency transmission wavefront 28 is formed in a more inclined direction as shown in FIG.

振動子ピッチをd0とし、駆動信号の波長をλとすると、音波を放射する角度θ0は数1となる。 Assuming that the transducer pitch is d 0 and the wavelength of the drive signal is λ, the angle θ 0 at which the sound wave is radiated is expressed by Equation 1.

(数1)
θ0=sin-1{λ/(2d0)}
また、素子数をNとして、θ方向に関する遠距離音場指向特性R(θ)は、数2となる。
(Equation 1)
θ 0 = sin −1 {λ / (2d 0 )}
Further, assuming that the number of elements is N, the long-distance sound field directivity characteristic R (θ) in the θ direction is expressed by Formula 2.

(数2)
R(θ)=sin{0.5N(η−γ0)}/sin{0.5(η−γ0)}
η=π、γ0=2πd0 sin(θ)/λ
(Equation 2)
R (θ) = sin {0.5N (η−γ 0 )} / sin {0.5 (η−γ 0 )}
η = π, γ 0 = 2πd 0 sin (θ) / λ

一方、対象物15からの反射音波14は、受波用の2次元収束音響レンズ11により、図3に示す、z軸方向(鉛直方向)に電極が分割された、1次元配列の
受波検出面12上に結像され物体像17となる。
On the other hand, the reflected sound wave 14 from the object 15 is detected in a one-dimensional array in which electrodes are divided in the z-axis direction (vertical direction) shown in FIG. An image is formed on the surface 12 to become an object image 17.

この受波検出面12は圧電材料により構成され、入射音圧を分割素子16上の電気信号に変換する。   The wave detection surface 12 is made of a piezoelectric material, and converts incident sound pressure into an electric signal on the dividing element 16.

ここで、2個の対象物(図示せず)が、z軸方向に対して傾斜する角度ψ(仰角)が同一でx軸方向に対して傾斜する角度θ(方位角)が異なる方向に存在するとし、これら対象物からの反射波面をそれぞれ、図6のa)における、高周波受信波面29および低周波受信波面30とする。   Here, two objects (not shown) have the same angle ψ (elevation angle) tilted with respect to the z-axis direction and have different angles θ (azimuth angles) tilted with respect to the x-axis direction. Then, the reflected wavefronts from these objects are defined as a high-frequency reception wavefront 29 and a low-frequency reception wavefront 30 in a) of FIG.

これら、高周波受信波面29および低周波受信波面30は、z軸方向に対して傾斜する角度ψが同一であることから、2次元収束音響レンズ11により、図6のa)に示すように、全て受波検出面12上における同一の分割素子16上に収束され、単一の分割素子16からの出力信号18へ変換される。   Since the high-frequency reception wavefront 29 and the low-frequency reception wavefront 30 have the same angle ψ that is inclined with respect to the z-axis direction, as shown in FIG. The light is converged on the same dividing element 16 on the wave receiving detection surface 12 and converted into an output signal 18 from the single dividing element 16.

図2の構成においては、対象物10の方位θ(x軸方向に対して傾斜する角度)により、照射される信号の周波数が異なる事から、対象物10の水平方向位置は、図3に示すように、素子出力信号18中の信号周波数成分強度19により知られる。   In the configuration of FIG. 2, the frequency of the irradiated signal varies depending on the orientation θ (the angle inclined with respect to the x-axis direction) of the object 10, and therefore the horizontal position of the object 10 is shown in FIG. 3. Thus, it is known from the signal frequency component intensity 19 in the element output signal 18.

一方、2個の対象物(図示せず)が、x軸方向に対して傾斜する角度θ(方位角)が同一で、z軸方向に対して傾斜する角度ψ(仰角)が異なる方向に存在するとし、これら対象物からの反射波面をそれぞれ、図6のb)における、上方受信波面31および下方受信波面32とする。   On the other hand, two objects (not shown) have the same angle θ (azimuth angle) inclined with respect to the x-axis direction, but have different angles ψ (elevation angle) inclined with respect to the z-axis direction. Then, the reflected wavefronts from these objects are respectively referred to as an upper reception wavefront 31 and a lower reception wavefront 32 in FIG.

これら、上方受信波面31及び、下方受信波面32は、z軸方向に対して傾斜する角度ψが異なることから、それぞれ、受波検出面12上における、分割素子16の異なる位置である、素子位置33あるいは素子位置34に収束する。   Since the upper reception wavefront 31 and the lower reception wavefront 32 have different angles ψ inclined with respect to the z-axis direction, element positions that are different positions of the dividing element 16 on the wave reception detection surface 12, respectively. 33 or the element position 34 converges.

したがって、対象物への仰角(角度ψ)は、1次元配列受波検出面12上において、信号が出現する分割素子16の位置として知られ、これら、x軸方向及びz軸方向に対する傾斜角度情報(θ、ψ)により、対象物15の2次元形状が知られる。   Therefore, the elevation angle (angle ψ) to the object is known as the position of the dividing element 16 where the signal appears on the one-dimensional array receiving detection surface 12, and information about the inclination angle with respect to the x-axis direction and the z-axis direction is provided. The two-dimensional shape of the object 15 is known from (θ, ψ).

また、対象物15までの距離(y軸方向)は、超音波の往復時間で知られる事から、これらの3情報により、三次元空間内における計測対象の形状が完全に把握される。   Further, since the distance to the object 15 (y-axis direction) is known from the round-trip time of the ultrasonic wave, the shape of the measurement object in the three-dimensional space is completely grasped by these three pieces of information.

このように、図2の方式においては、受波用2次元収束音響レンズ11に入射した、各反射点からの音響信号は全て、1次元配列受波検出面12上において同位相にて加算され、装置として達成可能な最高の感度を実現することとなる。   As described above, in the method of FIG. 2, all the acoustic signals from the respective reflection points incident on the receiving two-dimensional convergent acoustic lens 11 are added in the same phase on the one-dimensional array receiving detection surface 12. The highest sensitivity achievable as a device will be realized.

しかし、このような動作原理から、図2の従来方式においては、2次元方向に収束特性を有する2次元収束音響レンズ11が、必須の構成要件となる。   However, from such an operating principle, in the conventional method of FIG. 2, the two-dimensional convergent acoustic lens 11 having a convergence characteristic in the two-dimensional direction is an indispensable constituent requirement.

ここで、このような2次元収束音響レンズによる構成においては、高感度化のためにレンズの大口径化必要であり、1次元配列受波検出面12の小面積化のためにはレンズの短焦点化も必要となる。   Here, in the configuration using such a two-dimensional converging acoustic lens, it is necessary to increase the diameter of the lens in order to achieve high sensitivity, and in order to reduce the area of the one-dimensional array receiving / detecting surface 12, it is necessary to shorten the lens. Focusing is also necessary.

これらの要求から、音響レンズは必然的に厚くなり、重量が増加することから、図2に示す従来方式による、装置の簡易化は困難となる。   Due to these requirements, the acoustic lens inevitably becomes thick and increases in weight, so that it is difficult to simplify the apparatus using the conventional method shown in FIG.

特表2007−535195Special table 2007-535195 特公昭52−47697号公報Japanese Examined Patent Publication No. 52-47697 特開昭47−26160公報JP 47-26160 A 特開2010−71967公報JP 2010-71967 A

海洋音響学会編 「海洋音響の基礎と応用」成山堂書店 2004年The Ocean Acoustics Society "Basics and Applications of Ocean Acoustics" Naruyamado Shoten 2004

本発明は、重量物となる2次元収束音響レンズを必要としない、3次元撮像方式を提供する。   The present invention provides a three-dimensional imaging method that does not require a two-dimensional convergent acoustic lens that is a heavy object.

本発明は、周波数により一次元方向を走査する構成において、1次元配列の送波器と1次元配列の受波器により、2次元収束音響レンズを必要としない3次元撮像方式を提供する。   The present invention provides a three-dimensional imaging system that does not require a two-dimensional convergent acoustic lens by using a one-dimensional array of transmitters and a one-dimensional array of receivers in a configuration that scans in a one-dimensional direction according to frequency.

具体的には、本発明に係る超音波3次元計測装置は、音響トランスジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、前記信号処理部は、前記受波器による受信信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、前記送波器は、正面観察構成を備え、該正面観察構成によって前記駆動信号の高周波成分を前記正面を含む正面近傍方向に放射し、前記駆動信号の低周波成分を辺縁方向に放射することを特徴とする。 Specifically, an ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention includes a transmitter in which acoustic transducer elements are arranged in a one-dimensional direction, and a receiver in which receiving elements are arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction. A transmitter, a driving signal of the transmitter, and a signal processing unit, and the transmitter is arranged in a three-dimensional space centered on a front direction orthogonal to the transmitter array axis direction. By emitting ultrasonic waves having different irradiation frequencies corresponding to the azimuth angle with respect to the wave array axis, the signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the wave receiver, thereby transmitting the wave transmitter And an ultrasonic three-dimensional measuring apparatus that obtains azimuth information about each arrangement direction of the receiver and uses the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information in the wave transmitter comprises a front viewing arrangement, the It emits a high frequency component of the drive signals near the front direction including the front by a surface observation configuration, characterized by emitting a low-frequency component of the drive signal to the peripheral direction.

また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、前記送波器配列軸に対して単一の方位角方向に限定されると好適である。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、正面方向からの角度に従い、周波数が低下すると好適である。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、前記送波器と前記受波器とが、一部分を共有すると好適である。
また、本発明に係る他の超音波3次元計測装置は、音響とランジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、前記信号処理部は、前記受波器による受波信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、前記送波器配列方向に関する、前記送波器の幅が前記受波器の幅よりも広いことを特徴とする。
また、本発明に係る他の超音波3次元計測装置は、音響とランジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、前記信号処理部は、前記受波器による受波信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、前記受波器の配列方向に関する、前記送波器の幅が前記受波器の幅よりも狭いことを特徴とする。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、前記送波器は、正面観察構成を備え、該正面観察構成によって前記駆動信号の高周波成分を前記正面を含む正面近傍方向に放射し、前記駆動信号の低周波成分を辺縁方向に放射すると好適である。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、前記送波器配列軸に対して単一の方位角方向に限定されると好適である。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、正面方向からの角度に従い、周波数が低下すると好適である。
また、本発明に係る超音波3次元計測装置において、前記送波器と前記受波器とが、一部分を共有すると好適である。
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, the ultrasonic radiation azimuth from the transmitter at a specific drive signal frequency is limited to a single azimuth direction with respect to the transmitter array axis. It is preferable.
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, it is preferable that the ultrasonic radiation direction from the transmitter with a specific drive signal frequency decreases according to the angle from the front direction.
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, it is preferable that the transmitter and the receiver share a part.
Another ultrasonic three-dimensional measuring apparatus according to the present invention includes a transmitter in which sound and a transducer element are arranged in a one-dimensional direction, and a receiver in which a receiving element is arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction. A transmitter, a driving signal of the transmitter, and a signal processing unit, and the transmitter is arranged in a three-dimensional space centered on a front direction orthogonal to the transmitter array axis direction. The ultrasonic wave having different irradiation frequencies is emitted corresponding to the azimuth angle with respect to the wave array axis, and the signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the receiver, thereby transmitting the wave Direction information about each arrangement direction of the detector and the receiver, and ultrasonic three-dimensional measurement using the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information In the apparatus, with respect to the transmitter arrangement direction, There characterized wider than the width of the receivers.
Another ultrasonic three-dimensional measuring apparatus according to the present invention includes a transmitter in which sound and a transducer element are arranged in a one-dimensional direction, and a receiver in which a receiving element is arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction. A transmitter, a driving signal of the transmitter, and a signal processing unit, and the transmitter is arranged in a three-dimensional space centered on a front direction orthogonal to the transmitter array axis direction. The ultrasonic wave having different irradiation frequencies is emitted corresponding to the azimuth angle with respect to the wave array axis, and the signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the receiver, thereby transmitting the wave Direction information about each arrangement direction of the detector and the receiver, and ultrasonic three-dimensional measurement using the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information In the apparatus, the transmitter in the arrangement direction of the receiver Width being narrower than the width of the receivers.
Further, in the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, the transmitter has a front observation configuration, and the front observation configuration radiates a high-frequency component of the drive signal in the vicinity of the front including the front, It is preferable to radiate the low frequency component of the drive signal in the edge direction.
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, the ultrasonic radiation azimuth from the transmitter at a specific drive signal frequency is limited to a single azimuth direction with respect to the transmitter array axis. It is preferable.
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, it is preferable that the ultrasonic radiation direction from the transmitter with a specific drive signal frequency decreases according to the angle from the front direction.
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to the present invention, it is preferable that the transmitter and the receiver share a part.

本発明により、重量物である2次元収束音響レンズが不要となり、3次元撮像用超音波撮像装置の小型軽量化が可能となる。   According to the present invention, a two-dimensional convergent acoustic lens that is a heavy object is not required, and the ultrasonic imaging apparatus for three-dimensional imaging can be reduced in size and weight.

公知例における周波数ステアリング型2次元アレーを示す説明図。Explanatory drawing which shows the frequency steering type two-dimensional array in a well-known example. 第二の公知例を示す説明図。Explanatory drawing which shows a 2nd well-known example. 第二の公知例による受波検出面を示した説明図。Explanatory drawing which showed the received wave detection surface by a 2nd well-known example. 第二の公知例による送波器を示した説明図。Explanatory drawing which showed the transmitter by the 2nd well-known example. 第二の公知例による送波器の動作原理を示した説明図。Explanatory drawing which showed the principle of operation of the transmitter by a 2nd well-known example. 第二の公知例による送受波波面の状況を示した説明図。Explanatory drawing which showed the condition of the transmission / reception wave front by a 2nd well-known example. 単一位相板の構造を示した説明図。(実施例1)Explanatory drawing which showed the structure of the single phase plate. Example 1 θ方向動作に関する全体構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the whole structure regarding (theta) direction operation | movement. 反射波面の同位相位置が圧電材料存在位置と一致する状況を示した説明図。Explanatory drawing which showed the condition where the same phase position of a reflected wave front corresponds with a piezoelectric material presence position. ψ方向動作に関する全体構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the whole structure regarding the (psi) direction operation | movement. 単一位相素子への入射時刻がz軸方向位置に応じて変化する状況を示した説明図。Explanatory drawing which showed the condition where the incident time to a single phase element changes according to a z-axis direction position. r1方向以外にr2,r3の2方向から不要波面を受信する状況を示した説明図。explanatory view showing a situation of receiving the unwanted wave from two directions of r 2, r 3 in addition to r 1 direction. 反転位相板の構造を示した説明図。(実施例2)Explanatory drawing which showed the structure of the inversion phase plate. (Example 2) 受信波面の位相と反転分極の分極軸方向とが必ず一致する状況を示した説明図。Explanatory drawing which showed the condition where the phase of a received wave front and the polarization axis direction of inversion polarization | polarized_light always correspond. r1方向以外にr2方向から不要波面を受信する状況を示した説明図。explanatory view showing a situation of receiving the unwanted wave from the r 2 directions other than r 1 direction. 反転位相板により縦長の送波照射波面を形成する構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the structure which forms a longitudinally long transmission irradiation wavefront with an inversion phase plate. 反転位相板により狭照射波面を形成する構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the structure which forms a narrow irradiation wavefront with an inversion phase plate. 減衰による単一位相板の構成を示す説明図。(実施例3)Explanatory drawing which shows the structure of the single phase plate by attenuation | damping. (Example 3) 散乱による単一位相板の構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure of the single phase plate by scattering. 接地電極による単一位相板の構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the structure of the single phase plate by a ground electrode. 透過による反転位相板の構成を示した説明図。(実施例4)Explanatory drawing which showed the structure of the inversion phase plate by transmission. Example 4 透過による平面構成の反転位相板の構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the structure of the inversion phase plate of the plane structure by transmission. 散乱による構成の反転位相板の構成を示した説明図。Explanatory drawing which showed the structure of the inversion phase plate of the structure by scattering. 90度位相素子による送波ビームの単方向化の構成を示した説明図。(実施例5)Explanatory drawing which showed the structure of the unidirectionalization of the transmission beam by a 90 degree | times phase element. (Example 5) 高インピーダンス垂直反射壁による送受波の単方向化を示した説明図。(実施例6)Explanatory drawing which showed unidirectionalization of the transmission / reception wave by a high impedance vertical reflection wall. (Example 6) 直交配置反転分極板による送受波の単方向化を示した説明図。Explanatory drawing which showed unidirectionalization of the transmission / reception wave by an orthogonal arrangement | positioning polarization plate. 低インピーダンス垂直反射壁による送受波の単方向化を示した説明図。Explanatory drawing which showed unidirectionalization of the transmission / reception wave by a low impedance vertical reflection wall. 傾斜反射板による正面観察構成を示した説明図。(実施例7)Explanatory drawing which showed the front observation structure by an inclined reflecting plate. (Example 7) 傾斜反射板を使用する受波構成の3次元的な全体配置説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of a three-dimensional overall arrangement of a wave receiving configuration using an inclined reflector. 屈折構造物による正面観察構成を示した説明図。(実施例8)Explanatory drawing which showed the front observation structure by a refractive structure. (Example 8) 単一の送波器の動作特性を示した説明図。Explanatory drawing which showed the operating characteristic of the single transmitter. 分割送波器の動作と問題点を示した説明図。Explanatory drawing which showed the operation | movement and problem of a division | segmentation transmitter. 分割送波器により送波し反転位相板により受波する構成を示した説明図。(実施例9)Explanatory drawing which showed the structure which transmits with a division | segmentation transmitter and receives with an inversion phase plate. Example 9 1次元収束音響レンズによる構成を示した説明図。(実施例10)Explanatory drawing which showed the structure by a one-dimensional convergence acoustic lens. (Example 10)

2次元収束音響レンズの不要化を可能とする各種構成を、実施例により以下に詳述する。   Various configurations that can eliminate the need for a two-dimensional convergent acoustic lens will be described in detail below by way of examples.

本発明による第1の実施例においては、図7に示す、単一位相板38を使用することにより、2次元収束音響レンズの不要化を可能とする。   In the first embodiment according to the present invention, the use of a single phase plate 38 shown in FIG. 7 makes it possible to eliminate the need for a two-dimensional convergent acoustic lens.

単一位相板38は、図7に示す、単一位相素子39を、z軸方向に配列した構成と見做され、接地電極43は単一位相板38の背面全面に共通形成される。   The single phase plate 38 is regarded as a configuration in which the single phase elements 39 shown in FIG. 7 are arranged in the z-axis direction, and the ground electrode 43 is formed in common on the entire back surface of the single phase plate 38.

ここで、単一位相素子39は、圧電材料40と非圧電材料41とを交互に配置し、圧電材料40を共通接続して信号電極42とし、信号電極42は信号端子44を有し、分極軸方向21の矢印により示すように、圧電材料40の分極軸は同一方向に整列されている。   Here, in the single phase element 39, the piezoelectric material 40 and the non-piezoelectric material 41 are alternately arranged, and the piezoelectric material 40 is commonly connected to be a signal electrode 42. The signal electrode 42 has a signal terminal 44, and is polarized. As indicated by the arrow in the axial direction 21, the polarization axes of the piezoelectric material 40 are aligned in the same direction.

本実施例の、θ方向動作に関する全体構成を図8に示す。本実施例においては、単一位相板38の水平軸(図7のx軸方向)を、送波器8の中心軸(x軸)と平行に配置させる。また、図7に示す単一位相素子39の配列間隔d1を、送波器8の素子間隔d0と一致させて構成する。 FIG. 8 shows the overall configuration of the present embodiment relating to the operation in the θ direction. In the present embodiment, the horizontal axis (x-axis direction in FIG. 7) of the single phase plate 38 is arranged in parallel with the center axis (x-axis) of the transmitter 8. Further, the arrangement interval d 1 of the single phase elements 39 shown in FIG. 7 is configured to coincide with the element interval d 0 of the transmitter 8.

このような構成において、送波器8の駆動信号周波数を変化させることにより、照射方位θを変化させ、図8に示す、高周波送波波面27および低周波送波波面28を送波する。   In such a configuration, the irradiation direction θ is changed by changing the drive signal frequency of the transmitter 8, and the high-frequency transmission wavefront 27 and the low-frequency transmission wavefront 28 shown in FIG. 8 are transmitted.

ここで、図6のa)と同様に、2個の対象物(図示せず)が、z軸方向に対して傾斜する角度ψ(仰角)が同一で、x軸方向に対して傾斜する角度θ(方位角)が異なる方向に存在するとし、これら対象物からの反射波面をそれぞれ、図8における、高周波受信波面29および低周波受信波面30とする。   Here, similarly to a) of FIG. 6, two objects (not shown) have the same angle ψ (elevation angle) inclined with respect to the z-axis direction and are inclined with respect to the x-axis direction. Assuming that θ (azimuth angles) exist in different directions, the reflected wavefronts from these objects are a high-frequency reception wavefront 29 and a low-frequency reception wavefront 30 in FIG.

これら、高周波受信波面29および低周波受信波面30は、図9に示すように、単一位相板38の水平軸と送波器8の中心軸(x軸)とが平行であり、単一位相素子39の配列間隔d1と送波素子の配列間隔d0とが同一であることから、受信波面の同位相位置が、単一位相素子39における圧電材料40の存在位置と必ず一致する。 As shown in FIG. 9, the high-frequency reception wavefront 29 and the low-frequency reception wavefront 30 have a horizontal axis of the single phase plate 38 and a center axis (x-axis) of the transmitter 8 that are parallel to each other. Since the arrangement interval d 1 of the elements 39 and the arrangement interval d 0 of the transmitting elements are the same, the same phase position of the reception wavefront always matches the position of the piezoelectric material 40 in the single phase element 39.

このため、単一位相素子39は必ず、入射波面29、30の同位相部分のみを電気信号に変換することとなり、どのような角度θ(方位角)から入射する波面に対しても、受信信号を自動的に同位相加算し、信号端子44に出力する。   For this reason, the single phase element 39 always converts only the same phase portion of the incident wavefronts 29 and 30 into an electric signal, and the received signal can be received with respect to the wavefront incident from any angle θ (azimuth angle). Are automatically added to the same phase and output to the signal terminal 44.

従って、単一位相素子39を使用することにより、角度θ(方位角)方向に関する指向性合成処理は不要となる。   Therefore, by using the single phase element 39, the directivity synthesis process relating to the angle θ (azimuth angle) direction becomes unnecessary.

一方、本実施例の、ψ方向動作に関する全体構成は図10となる。   On the other hand, FIG. 10 shows the overall configuration of the present embodiment regarding the ψ direction operation.

図10において、図6のb)に対応する、2個の対象物(図示せず)が、x軸方向に対して傾斜する角度が同一(θ1)で、z軸方向に対して傾斜する角度が異なる方向(ψ1およびψ2)に存在するとし、照射波面46による、これら対象物からの反射波面をそれぞれ、上方受信波面47(ψ1)および正面受信波面48(ψ2=0)とする。 In FIG. 10, two objects (not shown) corresponding to b) in FIG. 6 are inclined with respect to the z-axis direction at the same angle (θ 1 ) with respect to the x-axis direction. Assuming that the angles are present in different directions (ψ 1 and ψ 2 ), the reflected wavefronts from these objects by the irradiation wavefront 46 are respectively the upper reception wavefront 47 (ψ 1 ) and the front reception wavefront 48 (ψ 2 = 0). And

ここで、上方受信波面47は、z軸方向に対して角度ψ1だけ傾斜しているため、図11に示すように、単一位相素子39への入射時刻が、z軸方向位置に応じて変化する。 Here, since the upper reception wavefront 47 is inclined by the angle ψ 1 with respect to the z-axis direction, as shown in FIG. 11, the time of incidence on the single phase element 39 depends on the position in the z-axis direction. Change.

このため、同位相加算を行うためには、単一位相板38からのV個の信号に対し、z軸方向に関する指向性合成処理が必要となる。   For this reason, in order to perform in-phase addition, directivity synthesis processing in the z-axis direction is required for V signals from the single phase plate 38.

この指向性合成処理は非特許文献1に詳述されていて、一例としては、図11に示す垂直指向性合成部37において、遅延回路49の遅延時間端子50を上方受信波面47の傾斜角ψ1に対応して選択することにより受信信号51における信号の時間差あるいは位相差を補償し、補償された信号を同位相加算することにより行われる。 This directivity synthesis process is described in detail in Non-Patent Document 1. As an example, in the vertical directivity synthesis unit 37 shown in FIG. 11, the delay time terminal 50 of the delay circuit 49 is connected to the inclination angle ψ of the upper reception wavefront 47. By selecting corresponding to 1 , the time difference or phase difference of the signal in the received signal 51 is compensated, and the compensated signal is added in the same phase.

この指向性合成処理により、角度ψ1だけ傾斜した上方受信波面47は上方受信出力52として出力され、正面方向受信波面48は、正面受信出力53として、それぞれ独立に出力される。 By this directivity synthesis processing, the upper reception wavefront 47 inclined by the angle ψ 1 is output as the upper reception output 52, and the front reception wavefront 48 is output independently as the front reception output 53.

したがって、これらx軸方向及びz軸方向に対する傾斜角度情報(θ、ψ)により、対象物15の2次元形状が知られる。   Therefore, the two-dimensional shape of the object 15 is known from the tilt angle information (θ, ψ) with respect to the x-axis direction and the z-axis direction.

また、対象物15までの距離(y軸方向)は、超音波の往復時間で知られる事から、これらの3情報により、三次元空間内における計測対象の形状が完全に把握され、本実施例による1次元配列の単一位相板38により、音響レンズを必要としない3次元撮像が実現されることとなる。   In addition, since the distance to the object 15 (y-axis direction) is known from the round-trip time of the ultrasonic wave, the shape of the measurement object in the three-dimensional space is completely grasped by these three pieces of information. The three-dimensional imaging which does not require an acoustic lens is realized by the single-phase plate 38 of the one-dimensional arrangement.

以上の処理は、全て同位相の信号加算であり、水平方向(x軸方向)および、垂直方向(z軸方向)の種々の位置から受信される、高周波受信波面29、低周波受信波面30、上方受信波面47および、正面方向受信波面48の全てが、同位相加算され最大の受信信号52、53として出力される。   The above processes are all in-phase signal addition, and are received from various positions in the horizontal direction (x-axis direction) and the vertical direction (z-axis direction), the high-frequency reception wavefront 29, the low-frequency reception wavefront 30, All of the upper reception wavefront 47 and the front reception wavefront 48 are subjected to the same phase addition and output as maximum reception signals 52 and 53.

但し、図7に示す単一位相板38によると、受波面積の半分が非圧電性であり、この部分に入射した音波は感度に貢献しない。   However, according to the single phase plate 38 shown in FIG. 7, half of the receiving area is non-piezoelectric, and the sound wave incident on this portion does not contribute to sensitivity.

また、単一位相素子39の場合には、図12のa)に示すように、正面方向(r3方向)からの波面も同位相加算されるため、目的とするr1方向からの超音波波面26以外に、r2,r3の計2方向から不要波面54および、正面不要波面55を受信してしまう。 Further, in the case of a single phase element 39, as shown in a) of Figure 12, since the wavefront is also in phase addition from the front direction (r 3 direction), ultrasonic wave from r 1 a target direction In addition to the wavefront 26, the unnecessary wavefront 54 and the front unnecessary wavefront 55 are received from a total of two directions, r 2 and r 3 .

ここで、送波器8を使用すると、分極軸反転の効果により、図12のb)に示すように、正面不要波面55の原因となるr3方向へは放射しないため、r2方向への不要応答である不要波面54のみが問題となる。 Here, by using the wave transmitter 8, the effect of the polarization axis reversed, as shown in b) of Figure 12, since the to r 3 direction causes the front unwanted wavefront 55 does not radiate, to r 2 direction Only the unnecessary wavefront 54 which is an unnecessary response becomes a problem.

このため、単一位相板38および、送波器8による構成においては、r2方向への不要応答を抑圧する手段が必要となるが、r2方向への不要放射抑圧は、音波吸収壁の設置等、以下に述べる種々の手法により実現される。 Therefore, single phase plate 38 and, in the arrangement according transmitters 8, it is necessary means for suppressing unwanted response to r 2 directions, unnecessary radiation suppression to r 2 direction, the sound absorption walls It is realized by various methods described below, such as installation.

垂直指向性合成部37における遅延回路49は、通常のアナログ遅延線あるいは、A/D変換器とディジタルメモリーの組み合わせにより容易に実現される。   The delay circuit 49 in the vertical directivity synthesis unit 37 is easily realized by a normal analog delay line or a combination of an A / D converter and a digital memory.

図7に示す単一位相板38によると、受波面積の半分が非圧電性であり、この部分に入射した音波は無効となり、受信信号強度に貢献しない。   According to the single phase plate 38 shown in FIG. 7, half of the receiving area is non-piezoelectric, and the sound wave incident on this portion becomes invalid and does not contribute to the received signal intensity.

そこで本発明による第2の実施例においては、図13に示す反転位相板56を使用する。   Therefore, in the second embodiment according to the present invention, an inversion phase plate 56 shown in FIG. 13 is used.

反転位相板56は、反転位相素子57を、z軸方向に配列した構成と見做され、接地電極43は反転位相板56の背面全面に共通形成される。   The inversion phase plate 56 is regarded as a configuration in which the inversion phase elements 57 are arranged in the z-axis direction, and the ground electrode 43 is commonly formed on the entire back surface of the inversion phase plate 56.

ここで、反転位相素子57は、分極軸方向21が交互に反転している反転分極圧電材料58を使用し、反転分極圧電材料58を共通接続して信号電極42とし、信号電極42は信号端子44を有する。   Here, the inversion phase element 57 uses an inversion polarization piezoelectric material 58 in which the polarization axis directions 21 are alternately inverted, and the inversion polarization piezoelectric material 58 is commonly connected to form a signal electrode 42, and the signal electrode 42 is a signal terminal. 44.

本実施例の、反転位相板56による撮像法においては、図14に示すように、反転位相板56の水平軸を、送波器8の中心軸(x軸)と平行に配置させ、さらに、反転位相素子57の分極軸反転周期d2を、送波器8の素子間隔d0を、一致させて構成する。 In the imaging method using the inverting phase plate 56 of the present embodiment, as shown in FIG. 14, the horizontal axis of the inverting phase plate 56 is arranged in parallel with the center axis (x axis) of the transmitter 8, The polarization axis inversion period d 2 of the inversion phase element 57 is configured to match the element interval d 0 of the transmitter 8.

このような構成において、送波器8の駆動信号周波数を変化させることにより、照射方位θを変化させ、図14に示す、高周波送波波面27および低周波送波波面28を送波し、対象物からの反射波を反転位相板56により受波する。   In such a configuration, by changing the driving signal frequency of the transmitter 8, the irradiation direction θ is changed, and the high-frequency transmission wavefront 27 and the low-frequency transmission wavefront 28 shown in FIG. The reflected wave from the object is received by the inversion phase plate 56.

ここで、図6のa)と同様に、2個の対象物(図示せず)が、z軸方向に対して傾斜する角度ψ(仰角)が同一で、x軸方向に対して傾斜する角度θ(方位角)が異なる方向に存在するとし、これら対象物からの反射波面をそれぞれ、図14における、高周波受信波面29および低周波受信波面30とする。   Here, similarly to a) of FIG. 6, two objects (not shown) have the same angle ψ (elevation angle) inclined with respect to the z-axis direction and are inclined with respect to the x-axis direction. Assuming that θ (azimuth angles) exist in different directions, the reflected wavefronts from these objects are defined as a high-frequency reception wavefront 29 and a low-frequency reception wavefront 30 in FIG.

これら、高周波受信波面29および低周波受信波面30は、単一位相板38の水平軸と送波器8の中心軸(x軸)とが平行であり、単一位相素子39の配列間隔d1と送波素子の配列間隔d0とが同一であることから、図14に示すように、高周波受信波面29および、低周波受信波面30の位相と、反転位相素子57における反転分極圧電材料58の分極軸方向21とが必ず一致する。 In these high-frequency reception wavefront 29 and low-frequency reception wavefront 30, the horizontal axis of the single phase plate 38 and the center axis (x-axis) of the transmitter 8 are parallel, and the arrangement interval d 1 of the single phase elements 39. 14 and the arrangement interval d 0 of the transmission elements are the same, as shown in FIG. 14, the phases of the high-frequency reception wavefront 29 and the low-frequency reception wavefront 30 and the inversion polarization piezoelectric material 58 of the inversion phase element 57 The polarization axis direction 21 always matches.

このため、単一位相素子39は必ず、高周波受信波面29および、低周波受信波面30の逆位相部分を位相反転し、全て同位相の電気信号に変換する。   For this reason, the single phase element 39 always inverts the opposite phase portions of the high-frequency reception wavefront 29 and the low-frequency reception wavefront 30 and converts them all into electrical signals having the same phase.

従って、どのような角度θ(方位角)から入射する波面に対しても、反転位相素子57は受信信号を自動的に同位相加算し、信号端子44に出力する。   Therefore, the inverting phase element 57 automatically adds the received signals in the same phase for any wavefront incident from any angle θ (azimuth angle) and outputs it to the signal terminal 44.

このことから、反転位相素子57を使用することにより、角度θ(方位角)方向に関する指向性合成処理は不要となる。   For this reason, by using the inverting phase element 57, directivity synthesis processing in the direction of the angle θ (azimuth angle) becomes unnecessary.

一方、鉛直面内に関しては、図11と同様に、反転位相板56をz軸方向にV分割して形成した、反転位相素子57の各受信信号51を、遅延回路49により指向性合成処理することにより、鉛直(ψ)方向の方位分解能が形成される。   On the other hand, with respect to the vertical plane, similarly to FIG. 11, each delay signal 49 of the inverting phase element 57 formed by dividing the inverting phase plate 56 in the z-axis direction is subjected to directivity synthesis processing by the delay circuit 49. Thus, the azimuth resolution in the vertical (ψ) direction is formed.

したがって、これらx軸方向及びz軸方向に対する傾斜角度情報不(θ、ψ)により、対象物15の2次元形状が知られる。   Therefore, the two-dimensional shape of the object 15 is known from the information on the inclination angle with respect to the x-axis direction and the z-axis direction (θ, ψ).

また、対象物15までの距離(y軸方向)は、超音波の往復時間で知られる事から、これらの3情報により、三次元空間内における計測対象の形状が完全に把握され、本実施例による1次元配列の単一位相板38により、音響レンズを必要としない3次元撮像が実現されることとなる。   In addition, since the distance to the object 15 (y-axis direction) is known from the round-trip time of the ultrasonic wave, the shape of the measurement object in the three-dimensional space is completely grasped by these three pieces of information. The three-dimensional imaging which does not require an acoustic lens is realized by the single-phase plate 38 of the one-dimensional arrangement.

また、図13に示す反転位相板56は、受波口径全体が圧電性であり、入射した全ての音波が受信信号の強度に貢献することとなる。   Further, in the inversion phase plate 56 shown in FIG. 13, the entire receiving aperture is piezoelectric, and all incident sound waves contribute to the intensity of the received signal.

ここで、図15のa)に示す反転位相素子57は、超音波波面26と不要波面54に応答し、図15のb)に示す分極軸反転による送波器8も同様に、超音波波面26と不要波面54に応答する。   Here, the inversion phase element 57 shown in a) of FIG. 15 responds to the ultrasonic wavefront 26 and the unnecessary wavefront 54, and the transmitter 8 by the polarization axis inversion shown in FIG. 26 and the unwanted wavefront 54.

従って、反転位相板56と分極軸反転による送波器8を組み合わせる構成の場合には、不要波面54は抑圧されないため、送波器と受波器を個別に具備する効果は、単一位相板38の場合に比して、減殺される。   Therefore, in the case of the configuration in which the inversion phase plate 56 and the transmitter 8 by polarization axis inversion are combined, the unnecessary wavefront 54 is not suppressed, and thus the effect of separately providing the transmitter and the receiver is the single phase plate. It is reduced compared to 38.

このため、反転位相板56の場合には、図16のように、送信信号源59を信号端子44の一部へ接続することにより、送波器8と同様に、縦長の部分送波照射波面60を形成する構成も可能となる。   For this reason, in the case of the inversion phase plate 56, the transmission signal source 59 is connected to a part of the signal terminal 44 as shown in FIG. The structure which forms 60 is also possible.

さらに、図17に示すように、反転位相板56上の全信号端子44を、遅延回路49による遅延時間制御により駆動すると、z軸方向にも狭い狭照射波面61、62の形成も可能となる。   Furthermore, as shown in FIG. 17, when all the signal terminals 44 on the inverting phase plate 56 are driven by the delay time control by the delay circuit 49, it is possible to form narrow irradiation wavefronts 61 and 62 that are also narrow in the z-axis direction. .

このように、反転位相板56による場合には、反転位相板56を送受兼用とすることにより、専用の送波器を不要とする構成も可能である。   As described above, in the case of using the inversion phase plate 56, a configuration in which a dedicated wave transmitter is not required by using the inversion phase plate 56 for both transmission and reception is also possible.

また、反転位相板56と分極軸反転による送波器8を組み合わせる構成の場合においても、図15のa),b)と同様に、r2方向への不要波面54は残存するため、r2方向への不要波面54に対する遮蔽処理あるいは、送波器8における送波方向の単一化等の対策が必要となる。 In the case of a structure combining wave transmitter 8 and an inverted phase plate 56 due to the polarization axis reversed, as with a), b) in FIG. 15, since the unnecessary wave front 54 of the r 2 direction remains, r 2 It is necessary to take measures such as shielding the unwanted wavefront 54 in the direction or unifying the transmission direction in the transmitter 8.

単一位相板の各種構成法を実施例により説明する。   Various construction methods of the single phase plate will be described with reference to examples.

減衰による単一位相板の構成を図18に示す。   The configuration of a single phase plate by attenuation is shown in FIG.

図18に示す、減衰単一位相板63は、圧電材料64上に、吸音材65を配置することにより実現される。   The attenuation single phase plate 63 shown in FIG. 18 is realized by arranging a sound absorbing material 65 on the piezoelectric material 64.

この構成によると、逆位相部分は減衰することから、同位相加算が実現する。この構成は、周波数走査型の送波器としても利用できる   According to this configuration, since the antiphase portion is attenuated, in-phase addition is realized. This configuration can also be used as a frequency scanning type transmitter.

散乱による単一位相板の構成を図19に示す。   A configuration of a single phase plate by scattering is shown in FIG.

散乱単一位相板66は、圧電材料64上に、音響インピーダンスが伝搬媒体9と異なる散乱体67を配置することにより実現される。   The scattering single phase plate 66 is realized by disposing a scatterer 67 having an acoustic impedance different from that of the propagation medium 9 on the piezoelectric material 64.

この構成によると、逆位相波面部分が散乱信号45として後方散乱されることから、同位相加算が実現する。   According to this configuration, since the antiphase wavefront part is backscattered as the scattered signal 45, in-phase addition is realized.

この構成は、周波数走査型の送波器としても利用できる。   This configuration can also be used as a frequency scanning type transmitter.

接地電極による単一位相板の構成を図20に示す。   The configuration of a single phase plate using ground electrodes is shown in FIG.

接地電極単一位相板68は、圧電材料64上に、間歇型接地電極69を配置し、この間歇型接地電極69を接地結線70により共通接続することにより実現される。   The ground electrode single phase plate 68 is realized by disposing an intermittent ground electrode 69 on the piezoelectric material 64 and commonly connecting the intermittent ground electrode 69 by a ground connection 70.

この構成によると、間歇型接地電極69の存在位置の信号が信号端子44に出力されることから、同位相加算が実現する。   According to this configuration, since the signal at the position where the intermittent ground electrode 69 exists is output to the signal terminal 44, in-phase addition is realized.

この構成は、周波数走査型の送波器としても利用できる   This configuration can also be used as a frequency scanning type transmitter.

反転位相板の各種構成法を実施例により説明する。   Various construction methods of the inversion phase plate will be described with reference to examples.

本実施例における、透過による反転位相板の構成を図21に示す。   FIG. 21 shows the configuration of the inversion phase plate by transmission in this example.

透過反転位相板71は、圧電材料64上に、透過材72を間歇的に配置する。   The transmission reversal phase plate 71 has a transmission material 72 disposed intermittently on the piezoelectric material 64.

ここで、透過材72の音速を伝搬媒体9の音速と異なる材質とし、透過信号と直達信号間に半波長の位相差を形成することにより、同位相加算を実現する。   Here, the sound velocity of the transmission material 72 is made of a material different from the sound velocity of the propagation medium 9, and a half-wave phase difference is formed between the transmission signal and the direct signal, thereby realizing the same phase addition.

両透過信号間に、半波長の位相差を形成するのに要する透過材72の厚さtは、伝搬媒体9中の音速をc0、透過材72中の音速をc1とし、c1<c0とすると、使用する信号の中心周波数をf0として、数3となる。 The thickness t of the transmissive material 72 required to form a half-wave phase difference between the two transmitted signals is c 0 where the sound velocity in the propagation medium 9 is c 0 , the sound velocity in the transmissive material 72 is c 1, and c 1 < Assuming c 0 , the center frequency of the signal to be used is f 0 and Equation 3 is obtained.

(数3)
t/c1-t/c0=1/(2f0)
f0t(1/c1-1/c0)=1/2
(Equation 3)
t / c 1 -t / c 0 = 1 / (2f 0 )
f 0 t (1 / c 1 -1 / c 0 ) = 1/2

ここで、伝搬媒体9中の波長をλ0(=c0/f0)、透過材72中の波長をλ1(=c1/f0)、波長の比をn(=λ01=c0/c1)とすると、数3は数4となる。 Here, the wavelength in the propagation medium 9 is λ 0 (= c 0 / f 0 ), the wavelength in the transmission material 72 is λ 1 (= c 1 / f 0 ), and the wavelength ratio is n (= λ 0 / λ If 1 = c 0 / c 1 ), Equation 3 becomes Equation 4.

(数4)
t(1/λ1-1/λ0)=1/2
t(λ01-1)= λ0/2
t=(1/2)λ0/(n-1)
(Equation 4)
t (1 / λ 1 -1 / λ 0 ) = 1/2
t (λ 0 / λ 1 -1 ) = λ 0/2
t = (1/2) λ 0 / (n-1)

ここで、具体例として、c0 :水(1500m/s)、c1 :シリコンゴム(1000m/s)、λ0:1mm(1.5MHz)とすると、t=(1/2)λ0/(n-1)=(1/2)1/(1.5-1)=1(mm)となり、約1mmのシリコンゴムにより半波長の位相差を形成する。 Here, as a specific example, assuming that c 0 is water (1500 m / s), c 1 is silicon rubber (1000 m / s), and λ 0 is 1 mm (1.5 MHz), t = (1/2) λ 0 / ( n-1) = (1/2) 1 / (1.5-1) = 1 (mm), and a half-wave phase difference is formed by silicon rubber of about 1 mm.

この構成は、周波数走査型の送波器としても利用できる。   This configuration can also be used as a frequency scanning type transmitter.

透過による平面構成の反転位相板である透過平面反転位相板73の構成は、図22に示すように、圧電材料64上に、高音速材料74と低音速材料75とを交互に配置することにより、透過信号間に半波長の位相差を形成し同位相加算を実現する。   As shown in FIG. 22, the transmission plane reversal phase plate 73, which is a plane configuration reversal phase plate by transmission, is configured by alternately arranging a high sound velocity material 74 and a low sound velocity material 75 on a piezoelectric material 64. Then, a half-wave phase difference is formed between the transmitted signals to realize the same phase addition.

この構成において、半波長の位相差を形成するのに必要となる厚さt’は、高音速材料74の音速をc2、低音速材料75の音速をc1、周波数をf0とし、c1<c2とすると、数5となる。 In this configuration, the thickness t ′ required to form the half-wave phase difference is such that the sound velocity of the high sonic material 74 is c 2 , the sound velocity of the low sonic material 75 is c 1 , the frequency is f 0, and c If 1 <c 2 , Equation 5 is obtained.

(数5)
t'/c1-t'/c2=1/(2f0)
f0t'(1/c1-1/c2)=1/2
(Equation 5)
t '/ c 1 -t' / c 2 = 1 / (2f 0 )
f 0 t '(1 / c 1 -1 / c 2 ) = 1/2

ここで、低音速材料75中の波長をλ1(=c1/f0)、高音速材料74中の波長をλ2(=c2/f0)、波長の比をn’(=λ20=c2/c1)とすると、数5は数6となる。 Here, the wavelength in the low acoustic velocity material 75 is λ 1 (= c 1 / f 0 ), the wavelength in the high acoustic velocity material 74 is λ 2 (= c 2 / f 0 ), and the wavelength ratio is n ′ (= λ 2 / λ 0 = c 2 / c 1 ), Equation 5 becomes Equation 6.

(数6)
t'(1/λ1-1/λ2)=1/2
t'(λ2/λλ1-1)=λ2/2
t'=(1/2)λ2/(n-1)
(Equation 6)
t '(1 / λ 1 -1 / λ 2 ) = 1/2
t '(λ 2 / λλ 1 -1) = λ 2/2
t '= (1/2) λ 2 / (n-1)

ここで、具体例として、c2 :エポキシ(2500m/s)、c1 :シリコンゴム(1000m/s)、λ2:1mm(2.5MHz)とすると、t’=(1/2)λ2/(n-1)=(1/2)1/(2.5-1)=1/3(mm)となり、約0.3mmのエポキシとシリコンゴムの交互配置により、半波長の位相差を形成する。 Here, as a specific example, assuming that c 2 is epoxy (2500 m / s), c 1 is silicon rubber (1000 m / s), and λ 2 is 1 mm (2.5 MHz), t ′ = (1/2) λ 2 / (n-1) = (1/2) 1 / (2.5-1) = 1/3 (mm), and a half-wave phase difference is formed by alternately arranging about 0.3 mm of epoxy and silicon rubber.

この構成によると、表面形状が平面となり、使用時の信頼性が向上するすると同時に、貼付材料の厚さが薄くなり、材料中の音波減衰が軽減される。   According to this configuration, the surface shape becomes a flat surface, and the reliability during use is improved. At the same time, the thickness of the adhesive material is reduced, and sound wave attenuation in the material is reduced.

この構成は、周波数走査型の送波器としても利用できる   This configuration can also be used as a frequency scanning type transmitter.

散乱による構成の反転位相板の構成を図23に示す。   FIG. 23 shows the configuration of an inversion phase plate configured by scattering.

散乱反転位相板76は、圧電材料64上に、棒状の、高音響インピーダンス散乱体77と低音響インピーダンス散乱体78とをx軸方向に交互に配置し、面状の1次元回折格子を形成する。   The scattering inversion phase plate 76 has rod-like high acoustic impedance scatterers 77 and low acoustic impedance scatterers 78 arranged alternately on the piezoelectric material 64 in the x-axis direction to form a planar one-dimensional diffraction grating. .

このような散乱体による散乱波面は交互に位相反転し、全て同位相となることから、散乱平行平面波79を形成し、同位相加算が実現される。   Since the scattered wavefronts of such scatterers are alternately phase-inverted and all have the same phase, a scattered parallel plane wave 79 is formed, and the same-phase addition is realized.

この構成は、本実施例に限られるものではなく、入射方向への後方散乱波を利用する構成、あるいは、周波数走査型の送波器として利用する構成も可能である。   This configuration is not limited to the present embodiment, and a configuration using a backscattered wave in the incident direction or a configuration using a frequency scanning type transmitter is also possible.

単一位相板38あるいは、反転位相板56による構成においては、送波ビームの単方向化が必須となるが、ここでは図24に示す、90度位相素子による送波ビームの単方向化を実施例により説明する。   In the configuration using the single phase plate 38 or the inversion phase plate 56, unidirectional transmission beam is indispensable. Here, the unidirectional transmission beam is implemented by the 90 degree phase element as shown in FIG. This will be explained with an example.

本実施例においては、送波器8として、発明者らにより特許文献3に示された公知技術である、図24の90度位相素子80を併用することにより、目的とする超音波波面26のみを送波する。   In the present embodiment, only the target ultrasonic wavefront 26 is obtained by using the 90-degree phase element 80 of FIG. 24, which is a known technique disclosed in Patent Document 3 by the inventors, as the transmitter 8. To transmit.

図24に示すように、90度位相素子80は、同一分極軸方向の領域に第1分割信号電極81および、第2分割信号電極82を有し、それぞれを第1駆動信号線83、第2駆動信号線84に共通接続する。   As shown in FIG. 24, the 90-degree phase element 80 has a first divided signal electrode 81 and a second divided signal electrode 82 in a region in the same polarization axis direction. The drive signal line 84 is commonly connected.

ここで、信号発生器(図示せず)により、互いに90度の位相差を有する駆動信号S0および、S90を発生し、駆動信号S0を第1駆動信号線83に印加し、駆動信号S90を第2駆動信号線84に印加する。 Here, a signal generator (not shown) generates drive signals S 0 and S 90 having a phase difference of 90 degrees from each other, applies the drive signal S 0 to the first drive signal line 83, and drives the drive signal. S 90 is applied to the second drive signal line 84.

この信号印加法と分極軸反転の作用とにより、90度位相素子80の各素子から、位相差90度の4相信号が送波され、r2方向への不要信号である不要波面54の放射は抑圧され、目的方向r1への超音波波面26のみが形成される。 By the action of the polarization axis reversed this signal application method, from the elements of the 90-degree phase device 80 is transmitting four-phase signals having a phase difference of 90 degrees, the radiation of the unnecessary wave front 54 is unnecessary signal to the r 2 direction Is suppressed, and only the ultrasonic wavefront 26 in the target direction r 1 is formed.

従って、単一位相板38あるいは、反転位相板56のような、装置規模の制約上、目的方向以外からの不要信号も同時に受信してしまう、不十分な受信構成においても、送波器として90度位相素子80を使用することにより、目的信号r1方向の反射体のみを検出する装置として完成される。 Therefore, even in an insufficient reception configuration such as the single phase plate 38 or the inversion phase plate 56 that receives unnecessary signals from other than the target direction at the same time due to the limitation of the device scale, it is 90 as a transmitter. By using the phase element 80, the device for detecting only the reflector in the direction of the target signal r 1 is completed.

この、90度位相素子80は、駆動信号の接続位置を交換し、第1駆動信号線83に駆動信号S90を接続し、第2駆動信号線84に駆動信号S0を接続することにより、r2方向のみへ送波する動作に変更することができる。 The 90-degree phase element 80 exchanges drive signal connection positions, connects the drive signal S 90 to the first drive signal line 83, and connects the drive signal S 0 to the second drive signal line 84. r The operation can be changed to transmit in only two directions.

単一位相板38あるいは、反転位相板56による構成においては、送波ビームの単方向化が必須となるが、ここでは垂直壁反射による送受波の単方向化を実施例により説明する。   In the configuration using the single phase plate 38 or the inversion phase plate 56, unidirectional transmission waves are indispensable. Here, unidirectional transmission / reception by vertical wall reflection will be described with reference to an embodiment.

この実施例は、図25のa)における圧電素子20の位置Aに、図25のb)に示す、音響インピーダンスが媒質9よりも高い材料により構成された高インピーダンス垂直反射壁85を、x軸に対して直交配置することにより、不要波面54の伝搬方向を反転させ、同相反転波面35とすることにより、合成目的波面86のみの送波を可能とする。   In this embodiment, a high-impedance vertical reflection wall 85 made of a material having an acoustic impedance higher than that of the medium 9 shown in FIG. By arranging them orthogonally to each other, the propagation direction of the unnecessary wavefront 54 is inverted, and the in-phase inversion wavefront 35 is used, so that only the synthesis target wavefront 86 can be transmitted.

この構成によると、さらに、実装素子87の他に、鏡像素子88が形成され、実効的に2倍の口径となることから、解像度も2倍となる効果を有する。   According to this configuration, in addition to the mounting element 87, the mirror image element 88 is formed, and the diameter is effectively doubled, so that the resolution is also doubled.

ここで、図26に示すように、媒質9の音響インピーダンスよりも高い音響インピーダンスの圧電材料により構成された、一対の直交配置反転分極板89、90を、図25のa)における位置Aに対応する直交関係位置に配置し、直交配置反転分極板90を駆動すると、直交配置反転分極板89が図25のb)における高インピーダンス垂直反射壁85として動作し、図25のb)と同様に、図26における単一の合成目的波面86のみを送波し、実効口径も直交配置反転分極板90単体の口径に対してほぼ2倍となる。   Here, as shown in FIG. 26, a pair of orthogonally arranged inverted polarization plates 89 and 90 made of a piezoelectric material having an acoustic impedance higher than the acoustic impedance of the medium 9 corresponds to the position A in FIG. When the orthogonal arrangement inversion polarization plate 90 is driven, the orthogonal arrangement inversion polarization plate 89 operates as the high-impedance vertical reflection wall 85 in b) of FIG. 25, and similarly to b) of FIG. Only the single composite target wavefront 86 in FIG. 26 is transmitted, and the effective aperture is almost twice as large as the aperture of the orthogonally arranged reverse polarization plate 90 alone.

この構成において、逆に、直交配置反転分極板89を使用すると、正面(y”軸)方向に関して対称となる方向の観察が可能となる。   In contrast, in this configuration, when the orthogonally arranged reverse polarization plate 89 is used, it is possible to observe a direction that is symmetric with respect to the front (y ″ axis) direction.

また、図27のa)における、圧電素子20の中間位置Bに、音響インピーダンスが媒質9よりも低い材料により構成された低インピーダンス垂直反射壁91を配置することにより、不要波面54の伝搬方向を反転させ、逆相相反転波面36とすることにより、合成目的波面86のみを送波する。   In addition, by arranging a low impedance vertical reflecting wall 91 made of a material whose acoustic impedance is lower than that of the medium 9 at the intermediate position B of the piezoelectric element 20 in FIG. By reversing and making a reverse phase inversion wavefront 36, only the synthesis target wavefront 86 is transmitted.

この構成によると、図25と同様に、実装素子92の他に、逆位相の鏡像素子93が形成され、実効的に2倍の口径となり、解像度も2倍となる。   According to this configuration, similarly to FIG. 25, in addition to the mounting element 92, the anti-phase mirror image element 93 is formed, effectively doubling the aperture and doubling the resolution.

この場合には、音響インピーダンスが媒質9よりも低い材料であり、垂直反射壁91が軽量化される。   In this case, the acoustic impedance is lower than that of the medium 9, and the vertical reflection wall 91 is reduced in weight.

この垂直壁反射による構成は、本発明における受波器としても利用できる。   This configuration by vertical wall reflection can also be used as a receiver in the present invention.

さらに、この構成は、本発明方式に限らず、音響レンズ方式など、他の周波数走査型の超音波撮像装置にも、一般的に広く利用可能である。   Further, this configuration is not limited to the method of the present invention, and can be widely used for other frequency scanning ultrasonic imaging devices such as an acoustic lens method.

通常の、単一位相板38あるいは、反転位相板56による構成においては、正面方向(y軸方向)に対して大きく傾斜した方向の波面が対象となり、正面近傍方向は観察できない。   In the normal configuration with the single phase plate 38 or the inverted phase plate 56, the wavefront in the direction greatly inclined with respect to the front direction (y-axis direction) is a target, and the direction near the front cannot be observed.

以下、傾斜反射板による正面観察構成につき詳細に説明する   Hereinafter, the front observation configuration using the inclined reflector will be described in detail.

本実施例においては、図28に示す、傾斜反射板94を使用することにより、受信波面26、不要波面54の伝搬方向を変換し、正面近傍波面95、正面近傍不要波面96とする。   In the present embodiment, by using the inclined reflector 94 shown in FIG. 28, the propagation directions of the reception wavefront 26 and the unnecessary wavefront 54 are converted into a front vicinity wavefront 95 and a front vicinity unnecessary wavefront 96.

ここで、変換対象とする波面の入射角をθ1とし、この波面を正面方向からの波面へ変換するために必要とされる、傾斜反射板94の頂角ε1は、数7により与えられる。 Here, the incident angle of the wavefront to be converted is θ 1, and the apex angle ε 1 of the inclined reflector 94 required to convert the wavefront into the wavefront from the front direction is given by Equation 7. .

(数7)
ε1=(π/4-θ1)/2
(Equation 7)
ε 1 = (π / 4-θ 1 ) / 2

傾斜反射板94を使用する受波構成の、3次元的な全体配置を、図29に示す。   FIG. 29 shows a three-dimensional overall arrangement of a wave receiving configuration using the inclined reflector 94.

この動作は、送波においても同様であり、反転位相板56の代わりに、図24の90度位相素子80を使用すると、単方向送波となるため、正面近傍不要波面96の有効利用が可能となり、正面方向近傍の左右視野に対する、選択的な送波が可能となる。   This operation is the same also in the transmission, and if the 90-degree phase element 80 in FIG. Thus, selective transmission with respect to the left and right visual fields in the vicinity of the front direction becomes possible.

通常の、単一位相板38あるいは、反転位相板56による構成においては、正面方向(y軸方向)に対して大きく傾斜した方向の波面が対象となり、正面方向は観察できない。   In the normal configuration with the single phase plate 38 or the inverted phase plate 56, the wavefront in the direction greatly inclined with respect to the front direction (y-axis direction) is targeted, and the front direction cannot be observed.

以下、本実施例により、屈折構造物による正面観察構成につき詳細に説明する Hereinafter, according to the present embodiment, a front observation configuration using a refractive structure will be described in detail.

本実施例においては、図30に示す、屈折構造物97を使用することにより、受信波面26、不要波面54の伝搬方向を変換し、正面近傍波面95、正面近傍不要波面96とする。   In the present embodiment, by using the refractive structure 97 shown in FIG. 30, the propagation directions of the reception wavefront 26 and the unnecessary wavefront 54 are converted into a front vicinity wavefront 95 and a front vicinity unnecessary wavefront 96.

ここで、変換対象とする波面の入射角をθ1とし、この波面を正面方向からの波面へ変換するための屈折構造物97の頂角ε2は、伝搬媒体9中の音速をc0、屈折構造物97中の音速をc1として、数8の関係となる。 Here, the incident angle of the wavefront to be converted is θ 1, and the apex angle ε 2 of the refractive structure 97 for converting the wavefront into the wavefront from the front direction is the sound velocity in the propagation medium 9 c 0 , The speed of sound in the refractive structure 97 is c 1 and the relationship of Equation 8 is established.

(数8)
(π/4-α)+ε21
sinα/sinε2=c1/c0
(Equation 8)
(π / 4-α) + ε 2 = θ 1
sinα / sinε 2 = c 1 / c 0

数8の関係から、屈折構造物97の頂角ε2は、数9の根により与えられる。 From the relationship of Equation 8, the apex angle ε 2 of the refractive structure 97 is given by the root of Equation 9.

(数9)
ε2-sin-1(c1sinε2/c0)=θ1-π/4
(Equation 9)
ε 2 -sin -1 (c 1 sinε 2 / c 0) = θ 1 -π / 4

送波においても、このような屈折構造物97により、同様に正面近傍方向への送波が可能となる。   Also in the transmission, such a refracting structure 97 can similarly transmit in the direction near the front.

また、反転位相板56の代わりに、図24の90度位相素子80を使用すると、単方向送波となるため、正面方向近傍の左右視野に対する、選択的な送波が可能となる。   Further, when the 90-degree phase element 80 of FIG. 24 is used instead of the inversion phase plate 56, unidirectional transmission is performed, and therefore selective transmission can be performed with respect to the left and right visual fields near the front direction.

周波数走査法においては、距離分解能の改善が課題となる。   In the frequency scanning method, improvement of distance resolution is a problem.

本実施例においては、発明者らによる、特許文献4に示された公知技術である分割送波器を使用する。この分割送波器と、単一位相板38あるいは反転位相板56との併用構成により距離分解能の改善を図る。   In the present embodiment, a split transmitter, which is a known technique disclosed in Patent Document 4 by the inventors, is used. The combined use of this divided transmitter and the single phase plate 38 or the inverted phase plate 56 improves the distance resolution.

図31のa)に示す、単一の送波器8を、分極区域数の半数以上の波数からなる駆動信号
98により駆動すると、図31のb)に示す良好な指向特性となるが、長い駆動信号98を使用するため、距離分解能が低下する。
When a single transmitter 8 shown in a) of FIG. 31 is driven by a drive signal 98 having a wave number of half or more of the number of polarization sections, the directivity characteristic shown in b) of FIG. Since the drive signal 98 is used, the distance resolution is reduced.

そこで、例えば、図32のa)に示すように、送波器8を2分割し分割送波器99とすると、分割駆動信号100の所要波数が半分となり、距離分解能が2倍に向上する。   Therefore, for example, as shown in a) of FIG. 32, when the transmitter 8 is divided into two to form the divided transmitter 99, the required wave number of the divided drive signal 100 is halved and the distance resolution is doubled.

しかし、この構成においては、図32のa)においてr’,r”として示す不要波面により、図32のb)に示す不要応答r’,r”等が出現し、指向特性が劣化する。   However, in this configuration, unnecessary responses r ′, r ″ and the like shown in FIG. 32 b appear due to unnecessary wavefronts shown as r ′, r ″ in FIG. 32 a, and the directivity characteristics deteriorate.

そこで本発明においては、一例として、図33のa)に示すように、分割送波器99により送波し、反転位相板56により受波する構成とし、反転位相板56の幅WU’を、分割送波器99における単一の分割口径幅WUと一致させる。 Therefore, in the present invention, as an example, as shown in a) of FIG. 33, the transmission is performed by the division transmitter 99 and is received by the inverting phase plate 56, and the width W U ′ of the inverting phase plate 56 is set. And the single divided aperture width W U in the divided transmitter 99.

図33のa)に示す構成による指向特性は、方位分解能は送波指向性と受波指向性の積となることから、不要応答が抑圧され、図33のb)に示す良好な特性となる。   The directivity by the configuration shown in FIG. 33 a) is a product of the transmission directivity and the reception directivity in the azimuth resolution, so that the unnecessary response is suppressed and the good characteristic shown in b) of FIG. 33 is obtained. .

このように、分割送波器99により送波し、単一位相板38あるいは反転位相板56により受波する構成により、高い方位分解能を維持したままで、距離分解能の改善が可能となる。   As described above, the configuration in which the wave is transmitted by the divided transmitter 99 and received by the single phase plate 38 or the inverted phase plate 56 can improve the distance resolution while maintaining a high azimuth resolution.

また、方位分解能は送波指向性と受波指向性の積となることから、面状の受波器と棒状の送波器とによる構成においては、一般的に、送波器の大口径化による方位分解能の向上が装置構成上有利である。   In addition, since the azimuth resolution is the product of the transmission directivity and the reception directivity, the configuration of a planar receiver and a rod-shaped transmitter generally increases the diameter of the transmitter. The improvement of the azimuth resolution by this is advantageous in terms of the device configuration.

本実施例においては、図34に示すように、周波数走査方向に直交する方向にのみ収束特性を有する1次元収束音響レンズ101を使用することにより、上方受信波面47および、正面方向受信波面48は、z軸方向に対して傾斜する角度ψが異なることから、それぞれ、上方受信出力52および、正面受信出力53として分離して出力される。   In the present embodiment, as shown in FIG. 34, by using a one-dimensional convergent acoustic lens 101 having a convergence characteristic only in a direction orthogonal to the frequency scanning direction, the upper reception wavefront 47 and the front reception wavefront 48 are Since the angle ψ tilted with respect to the z-axis direction is different, the upper reception output 52 and the front reception output 53 are output separately.

このため、鉛直指向性合成部37が不要となる。   For this reason, the vertical directivity synthesis unit 37 becomes unnecessary.

ここで、通常の矩形開口とすると、1次元収束音響レンズ101の厚さは、2次元収束音響レンズ11の半分となり、軽量化が可能である。   Here, assuming a normal rectangular opening, the thickness of the one-dimensional convergent acoustic lens 101 is half that of the two-dimensional convergent acoustic lens 11, and the weight can be reduced.

以上の実施例においては、対象物が遠方にあるとして、入射波を平面波として説明したが、近傍に存在する対象物からの球面波も、2次元収束音響レンズの利用により平面波に変換できることから、本発明は、このような実施例に限られるものではなく、近傍対象物の高分解能撮像にも適用可能であることは、当業者には容易に理解可能である。   In the above embodiment, the incident wave is described as a plane wave assuming that the object is far away, but since a spherical wave from an object existing in the vicinity can also be converted into a plane wave by using a two-dimensional convergent acoustic lens, Those skilled in the art can easily understand that the present invention is not limited to such an embodiment but can be applied to high-resolution imaging of a near object.

また、図11に示す実施例においては、鉛直指向性合成部37における遅延時間端子50の選択位置を直線状としているが、本発明はこのような実施例に限られるものではなく、選択位置を凹面状とすることにより、一次元収束音響レンズとの併用等により、近傍対象物の高分解能撮像にも適用可能であることは、当業者には容易に理解可能である。   Further, in the embodiment shown in FIG. 11, the selection position of the delay time terminal 50 in the vertical directivity synthesis unit 37 is linear, but the present invention is not limited to such an embodiment, and the selection position is changed. It can be easily understood by those skilled in the art that the concave surface can be applied to high-resolution imaging of a near object by using it together with a one-dimensional convergent acoustic lens.

本発明によると、簡便な装置により、超音波による3次元撮像が実現される。   According to the present invention, three-dimensional imaging using ultrasound is realized by a simple device.

1 周波数ステアリング型2次元アレー
2 音響トランスジューサ素子
3 信号電極
4 第1配線
5 第2配線
6 接地電極
7 信号端子
8 送波器
9 伝搬媒体
10 対象領域
11 2次元収束音響レンズ
12 1次元配列受波検出面
13 扇形超音波ビーム
14 反射音波
15 対象物
16 分割素子
17 物体像
18 素子出力信号
19 信号周波数成分強度
20 圧電素子
21 分極軸方向
22 接地電極
23 信号電極
24 超音波波面放射方向
25 駆動信号
26 超音波波面
27 高周波送波波面
28 低周波送波波面
29 高周波受信波面
30 低周波受信波面
31 上方受信波面
32 下方受信波面
33 素子位置
34 素子位置
35 同相反転波面
36 逆相反転波面
37 鉛直指向性合成部
38 単一位相板
39 単一位相素子
40 圧電材料
41 非圧電材料
42 信号電極
43 接地電極
44 信号端子
45 散乱信号
46 照射波面
47 上方受信波面
48 正面方向受信波面
49 遅延回路
50 遅延時間端子
51 受信信号
52 上方受信出力
53 正面受信出力
54 不要波面
55 正面不要波面
56 反転位相板
57 反転位相素子
58 反転分極圧電材料
59 送信信号源
60 部分送波照射波面
61 狭照射波面
62 狭照射波面
63 減衰単一位相板
64 圧電材料
65 吸音材
66 散乱単一位相板
67 散乱体
68 接地電極単一位相板
69 間歇型接地電極
70 接地結線
71 透過反転位相板
72 透過材
73 透過平面反転位相板
74 高音速材料
75 低音速材料
76 散乱反転位相板
77 高音響インピーダンス散乱体
78 低音響インピーダンス散乱体
79 散乱平行平面波
80 90度位相素子
81 第1分割信号電極
82 第2分割信号電極
83 第1駆動信号線
84 第2駆動信号線
85 高インピーダンス垂直反射壁
86 合成目的波面
87 実装素子
88 鏡像素子
89 直交配置反転分極板
90 直交配置反転分極板
91 低インピーダンス垂直反射壁
92 実装素子
93 鏡像素子
94 傾斜反射板
95 正面近傍波面
96 正面近傍不要波面
97 屈折構造物
98 駆動信号
99 分割送波器
100 分割駆動信号
101 1次元収束音響レンズ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Frequency steering type two-dimensional array 2 Acoustic transducer element 3 Signal electrode 4 1st wiring 5 2nd wiring 6 Ground electrode 7 Signal terminal 8 Transmitter 9 Propagation medium 10 Target area 11 Two-dimensional convergent acoustic lens 12 One-dimensional array receiving Detection surface 13 Fan-shaped ultrasonic beam 14 Reflected sound wave 15 Object 16 Dividing element 17 Object image 18 Element output signal 19 Signal frequency component intensity 20 Piezoelectric element 21 Polarization axis direction 22 Ground electrode 23 Signal electrode 24 Ultrasonic wavefront radiation direction 25 Drive signal 26 Ultrasonic wavefront 27 High frequency transmission wavefront 28 Low frequency transmission wavefront 29 High frequency reception wavefront 30 Low frequency reception wavefront 31 Upper reception wavefront 32 Lower reception wavefront 33 Element position 34 Element position 35 In-phase inversion wavefront 36 Reverse phase inversion wavefront 37 Vertical pointing Synthetic unit 38 Single phase plate 39 Single phase element 40 Piezoelectric material 4 Non-piezoelectric material 42 Signal electrode 43 Ground electrode 44 Signal terminal 45 Scattered signal 46 Irradiation wavefront 47 Upper reception wavefront 48 Front reception wavefront 49 Delay circuit 50 Delay time terminal 51 Reception signal 52 Upper reception output 53 Front reception output 54 Unwanted wavefront 55 Front Unnecessary wavefront 56 Inverted phase plate 57 Inverted phase element 58 Inverted polarization piezoelectric material 59 Transmission signal source 60 Partially transmitted irradiation wavefront 61 Narrow irradiation wavefront 62 Narrow irradiation wavefront 63 Attenuating single phase plate 64 Piezoelectric material 65 Sound absorbing material 66 Scattering single phase Plate 67 Scatterer 68 Ground electrode single phase plate 69 Intermittent ground electrode 70 Ground connection 71 Transmission reversal phase plate 72 Transmission material 73 Transmission plane reversal phase plate 74 High sound speed material 75 Low sound speed material 76 Scattering reversal phase plate 77 High acoustic impedance Scatterer 78 Low acoustic impedance scatterer 79 Scattered parallel plane wave 8 0 90 degree phase element 81 1st divided signal electrode 82 2nd divided signal electrode 83 1st drive signal line 84 2nd drive signal line 85 High impedance vertical reflection wall 86 Synthetic target wavefront 87 Mounting element 88 Mirror image element 89 Orthogonal arrangement inversion polarization Plate 90 Orthogonal arrangement inversion polarization plate 91 Low impedance vertical reflection wall 92 Mounting element 93 Mirror image element 94 Inclined reflection plate 95 Front near wavefront 96 Front near unnecessary wavefront 97 Refraction structure 98 Drive signal 99 Divided transmitter 100 Divided drive signal 101 1 Dimensional convergence acoustic lens

Claims (10)

音響トランスジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、
前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、
前記信号処理部は、前記受波器による受信信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、
前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、
前記送波器は、正面観察構成を備え、該正面観察構成によって前記駆動信号の高周波成分を前記正面を含む正面近傍方向に放射し、前記駆動信号の低周波成分を辺縁方向に放射することを特徴とする超音波3次元計測装置。
A transmitter in which acoustic transducer elements are arranged in a one-dimensional direction; a receiver in which wave receiving elements are arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction; a drive signal for the transmitter; and a signal processing unit; Have
The transmitter radiates ultrasonic waves having different irradiation frequencies corresponding to the azimuth angle with respect to the transmitter array axis, in a three-dimensional space centered on the front direction orthogonal to the transmitter array axis direction,
The signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the receiver to obtain azimuth information related to each arrangement direction of the transmitter and the receiver,
In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus using the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information,
The transmitter has a front observation configuration , and the front observation configuration radiates a high frequency component of the drive signal in the vicinity of the front including the front, and radiates a low frequency component of the drive signal in a marginal direction. Ultrasonic three-dimensional measuring device characterized by
請求項1に記載の超音波3次元計測装置において、
特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、前記送波器配列軸に対して単一の方位角方向に限定されることを特徴とする超音波3次元計測装置。
The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 1,
An ultrasonic three-dimensional measurement apparatus, wherein an ultrasonic radiation direction from the transmitter at a specific drive signal frequency is limited to a single azimuth direction with respect to the transmitter array axis.
請求項1に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 1,
特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、正面方向からの角度に従い、周波数が低下することを特徴とする超音波3次元計測装置。  The ultrasonic three-dimensional measuring apparatus, wherein the ultrasonic radiation azimuth from the transmitter at a specific drive signal frequency decreases according to an angle from the front direction.
請求項1に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 1,
前記送波器と前記受波器とが、一部分を共有することを特徴とする超音波3次元計測装置。  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus, wherein the transmitter and the receiver share a part.
音響トランジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、  A transmitter in which acoustic transducer elements are arranged in a one-dimensional direction, a receiver in which wave receiving elements are arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction, a drive signal for the transmitter, and a signal processing unit And
前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、  The transmitter radiates ultrasonic waves having different irradiation frequencies corresponding to the azimuth angle with respect to the transmitter array axis, in a three-dimensional space centered on the front direction orthogonal to the transmitter array axis direction,
前記信号処理部は、前記受波器による受波信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、  The signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the receiver, thereby obtaining azimuth information relating to each arrangement direction of the transmitter and the receiver,
前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、  In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus using the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information,
前記送波器配列方向に関する、前記送波器の幅が前記受波器の幅よりも広いことを特徴とする超音波3次元計測装置。  An ultrasonic three-dimensional measurement apparatus characterized in that a width of the transmitter with respect to the transmitter arrangement direction is wider than a width of the receiver.
音響トランジューサ素子を1次元方向に配列した送波器と、送波器配列軸方向と直交する方向に受波素子を配列した受波器と、前記送波器の駆動信号と、信号処理部とを有し、  A transmitter in which acoustic transducer elements are arranged in a one-dimensional direction, a receiver in which wave receiving elements are arranged in a direction orthogonal to the transmitter arrangement axis direction, a drive signal for the transmitter, and a signal processing unit And
前記送波器は、前記送波器配列軸方向に直交する正面方向を中心とする三次元空間に、前記送波器配列軸に対する方位角に対応して照射周波数の異なる超音波を放射し、  The transmitter radiates ultrasonic waves having different irradiation frequencies corresponding to the azimuth angle with respect to the transmitter array axis, in a three-dimensional space centered on the front direction orthogonal to the transmitter array axis direction,
前記信号処理部は、前記受波器による受波信号の同位相加算及び周波数分析を行うことにより、前記送波器及び前記受波器の各配列方向に関する方位情報を取得し、  The signal processing unit performs in-phase addition and frequency analysis of the received signal by the receiver, thereby obtaining azimuth information relating to each arrangement direction of the transmitter and the receiver,
前記駆動信号の印加時刻から前記受波器への受信信号入射時刻までの超音波伝搬時間を距離情報とする超音波3次元計測装置において、  In the ultrasonic three-dimensional measurement apparatus using the ultrasonic propagation time from the application time of the drive signal to the reception signal incident time to the receiver as distance information,
前記受波器の配列方向に関する、前記送波器の幅が前記受波器の幅よりも狭いことを特徴とする超音波3次元計測装置。  An ultrasonic three-dimensional measurement apparatus, wherein a width of the transmitter with respect to an arrangement direction of the receiver is narrower than a width of the receiver.
請求項5又は6に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 5 or 6,
前記送波器は、正面観察構成を備え、該正面観察構成によって前記駆動信号の高周波成分を前記正面を含む正面近傍方向に放射し、前記駆動信号の低周波成分を辺縁方向に放射することを特徴とする超音波3次元計測装置。  The transmitter has a front observation configuration, and the front observation configuration radiates a high frequency component of the drive signal in the vicinity of the front including the front, and radiates a low frequency component of the drive signal in a marginal direction. An ultrasonic three-dimensional measuring apparatus characterized by the above.
請求項7に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 7,
特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、前記送波器配列軸に対して単一の方位角方向に限定されることを特徴とする超音波3次元計測装置。  An ultrasonic three-dimensional measurement apparatus, wherein an ultrasonic radiation direction from the transmitter at a specific drive signal frequency is limited to a single azimuth direction with respect to the transmitter array axis.
請求項7に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 7,
特定の駆動信号周波数による前記送波器からの超音波放射方位が、正面方向からの角度に従い、周波数が低下することを特徴とする超音波3次元計測装置。  The ultrasonic three-dimensional measuring apparatus, wherein the ultrasonic radiation azimuth from the transmitter at a specific drive signal frequency decreases according to an angle from the front direction.
請求項7に記載の超音波3次元計測装置において、  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus according to claim 7,
前記送波器と前記受波器とが、一部分を共有することを特徴とする超音波3次元計測装置。  The ultrasonic three-dimensional measurement apparatus, wherein the transmitter and the receiver share a part.
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