JP6330307B2 - Spindle device - Google Patents

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Description

本発明は、工作機械に使用される主軸装置に関するものである。   The present invention relates to a spindle device used in a machine tool.

例えば、特許文献1〜4に記載されている工作機械の主軸装置においては、主軸が、転がり軸受の他に、流体軸受によって回転可能に支持されている。   For example, in the spindle device of a machine tool described in Patent Documents 1 to 4, the spindle is rotatably supported by a fluid bearing in addition to the rolling bearing.

特開2000−280102号公報JP 2000-280102 A 特開2004−106091号公報JP 2004-106091 A 特開2002−5164号公報JP 2002-5164 A 特開2011−235404号公報JP 2011-235404 A

ところで、流体を利用した減衰付加軸受を用いることにより、加工によるびびり振動を効果的に抑制することができる。減衰付加軸受には、粘性の高い流体を用いる。一般に、静圧軸受には、安定した剛性(ばね定数に相関あり)を確保する必要があるため、減衰付加軸受に比べて低い粘性の流体を用いる。つまり、減衰付加軸受においては、静圧軸受に比べて、主軸の回転による流体のせん断抵抗が大きくなる。そして、主軸の回転によって流体が繰り返しせん断されることにより、流体が発熱する。流体の発熱によって、主軸の熱変位が生じ、加工精度に影響を及ぼす。   By the way, chatter vibration due to machining can be effectively suppressed by using a damping additional bearing using a fluid. A highly viscous fluid is used for the damping additional bearing. In general, a hydrostatic bearing uses a fluid having a lower viscosity than that of a damping additional bearing because it is necessary to ensure stable rigidity (correlated with a spring constant). That is, in the damping additional bearing, the shear resistance of the fluid due to the rotation of the main shaft is greater than that of the hydrostatic bearing. The fluid is repeatedly sheared by the rotation of the main shaft, so that the fluid generates heat. The heat generated by the fluid causes thermal displacement of the spindle, which affects machining accuracy.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、減衰付加軸受の流体の発熱を抑制しながら主軸の振動を抑制することができる主軸装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a main shaft device that can suppress vibration of the main shaft while suppressing heat generation of fluid of the damping additional bearing.

(請求項1)本手段に係る主軸装置は、工具を保持し、回転駆動される主軸と、前記主軸を回転可能に支持する軸受と、流体が供給されることにより前記主軸の振動を抑制する減衰付加軸受と、前記減衰付加軸受に前記流体を供給し、前記流体の流量を調整可能とする流体供給装置と、前記減衰付加軸受から排出される流体の温度を検出する第一温度センサと、前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度を検出する第二温度センサと、前記第一温度センサにより検出される排出温度と前記第二温度センサにより検出される供給温度との差に基づいて、前記流体供給装置が供給する流体の流量を調整する制御装置とを備える。 (Claim 1) A main spindle device according to the present means suppresses vibration of the main spindle by holding a tool and rotating the main spindle, a bearing that rotatably supports the main spindle, and a fluid. A damping additional bearing, a fluid supply device for supplying the fluid to the damping additional bearing and adjusting the flow rate of the fluid, a first temperature sensor for detecting the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing, A second temperature sensor for detecting a temperature of the fluid supplied from the fluid supply device to the damping additional bearing; an exhaust temperature detected by the first temperature sensor; and a supply temperature detected by the second temperature sensor. And a control device that adjusts the flow rate of the fluid supplied by the fluid supply device based on the difference .

ここで、減衰付加軸受において、流体の粘性が高いため、主軸の回転に伴って流体の温度が供給温度より上昇する。そして、減衰付加軸受における流体の温度が高いほど、減衰係数が低くなる。また、主軸回転速度が高いほど流体の温度の上昇率は高い。一方、主軸回転速度が低いほど流体の温度の上昇率は低い。また、減衰付加軸受を通過する流体の流量が多いほど、減衰付加軸受における流体の温度が供給温度に近づくように作用する。つまり、減衰付加軸受に供給される流体の流量が多いほど、減衰付加軸受における流体の温度を低下させる効果が高くなる。   Here, in the damping additional bearing, since the viscosity of the fluid is high, the temperature of the fluid rises from the supply temperature as the main shaft rotates. The damping coefficient decreases as the temperature of the fluid in the damping additional bearing increases. Further, the rate of increase in the temperature of the fluid is higher as the spindle rotation speed is higher. On the other hand, the rate of increase in the temperature of the fluid is lower as the spindle rotation speed is lower. Further, as the flow rate of the fluid passing through the damping additional bearing increases, the temperature of the fluid in the damping additional bearing acts so as to approach the supply temperature. That is, the greater the flow rate of the fluid supplied to the damping additional bearing, the higher the effect of lowering the temperature of the fluid in the damping additional bearing.

そこで、本手段に係る主軸装置においては、減衰付加軸受から排出される流体の温度(排出温度)に基づいて、減衰付加軸受へ供給する流体の流量を調整する。排出温度は、減衰付加軸受における流体の温度にほぼ等しい。従って、排出温度が高いほど、供給流量を多くすることで、減衰付加軸受における流体の温度を低下させることができる。その結果、主軸の回転速度が変化したとしても、減衰付加軸受における流体の温度を一定範囲内に安定させることができる。つまり、主軸の回転速度に関わりなく、一定範囲の減衰効果を発揮できるため、振動を確実に抑制できる。   Therefore, in the spindle device according to this means, the flow rate of the fluid supplied to the damping additional bearing is adjusted based on the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing (discharge temperature). The discharge temperature is approximately equal to the temperature of the fluid in the damping additional bearing. Therefore, the higher the discharge temperature, the lower the fluid temperature in the damping additional bearing by increasing the supply flow rate. As a result, even if the rotational speed of the main shaft changes, the temperature of the fluid in the damping additional bearing can be stabilized within a certain range. In other words, the damping effect within a certain range can be exhibited regardless of the rotation speed of the main shaft, so that vibration can be reliably suppressed.

本手段に係る主軸装置の好適な実施態様について以下に説明する A preferred embodiment of the spindle device according to this means will be described below .

ここで、減衰付加軸受による減衰効果は、排出温度のみならず、供給温度の影響を受ける。そこで、上記のように、排出温度と供給温度との差に基づいて流体の流量Qを調整することにより、一定範囲の減衰効果を発揮できるため、振動を確実に抑制できる。   Here, the damping effect of the damping additional bearing is affected not only by the discharge temperature but also by the supply temperature. Therefore, as described above, by adjusting the flow rate Q of the fluid based on the difference between the discharge temperature and the supply temperature, the damping effect within a certain range can be exhibited, so that vibration can be reliably suppressed.

(請求項)また、前記制御装置は、前記排出温度または前記差が第一温度閾値を上回った場合に、前記流体の流量を増加させるようにしてもよい。これにより、主軸の回転速度が変化したとしても、減衰付加軸受における減衰効果を一定範囲内に安定させることができる。 (Claim 2 ) Further, the control device may increase the flow rate of the fluid when the discharge temperature or the difference exceeds a first temperature threshold. Thereby, even if the rotational speed of the main shaft changes, the damping effect in the damping additional bearing can be stabilized within a certain range.

(請求項)また、前記制御装置は、前記排出温度または前記差が前記第一温度閾値を上回った後において、前記第一温度閾値より小さな第二温度閾値を下回った場合に、前記流体の流量を減少させるようにしてもよい。一旦、供給流量を増加させた後において、供給流量を減少させるタイミングを規定している。これにより、供給流量を適切な量とすることができる。 (Claim 3 ) Further, the control device, when the discharge temperature or the difference exceeds the first temperature threshold, and falls below a second temperature threshold smaller than the first temperature threshold, The flow rate may be decreased. Once the supply flow rate is increased, the timing for decreasing the supply flow rate is defined. Thereby, supply flow volume can be made into an appropriate quantity.

(請求項)また、前記流体供給装置は、一定温度に維持された前記流体を前記減衰付加軸受へ供給するようにしてもよい。この場合には、排出温度の変化が、減衰係数の変化に相当する。従って、排出温度に基づいて供給流量を変化させることによって、確実に、減衰係数を調整することが可能となる。 (Claim 4 ) Further, the fluid supply device may supply the fluid maintained at a constant temperature to the damping additional bearing. In this case, the change in the discharge temperature corresponds to the change in the attenuation coefficient. Therefore, it is possible to reliably adjust the attenuation coefficient by changing the supply flow rate based on the discharge temperature.

(請求項)また、前記第二温度閾値は、前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度以上の値に設定されるようにしてもよい。排出温度が供給温度を下回ることはないため、第二温度閾値を供給温度以上の値に設定することで、供給流量が少なくなりすぎることを防止できる。 (Claim 5 ) The second temperature threshold value may be set to a value equal to or higher than the temperature of the fluid supplied from the fluid supply device to the damping additional bearing. Since the discharge temperature does not fall below the supply temperature, it is possible to prevent the supply flow rate from becoming too low by setting the second temperature threshold to a value equal to or higher than the supply temperature.

(請求項6)本手段に係る主軸装置は、工具を保持し、回転駆動される主軸と、前記主軸を回転可能に支持する軸受と、流体が供給されることにより前記主軸の振動を抑制する減衰付加軸受と、前記減衰付加軸受に前記流体を供給し、前記流体の流量を調整可能とする流体供給装置と、前記減衰付加軸受から排出される流体の温度を検出する第一温度センサと、前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度を検出する第二温度センサと前記第一温度センサにより検出される排出温度および前記第二温度センサにより検出される供給温度に基づいて減衰係数相当値を算出し、前記減衰係数相当値が第一係数閾値を下回った場合に、前記流体供給装置が供給する流体の流量を増加させる制御装置と、を備える
ここで、減衰付加軸受において、流体の粘性が高いため、主軸の回転に伴って流体の温度が供給温度より上昇する。そして、減衰付加軸受における流体の温度が高いほど、減衰係数が低くなる。また、主軸回転速度が高いほど流体の温度の上昇率は高い。一方、主軸回転速度が低いほど流体の温度の上昇率は低い。また、減衰付加軸受を通過する流体の流量が多いほど、減衰付加軸受における流体の温度が供給温度に近づくように作用する。つまり、減衰付加軸受に供給される流体の流量が多いほど、減衰付加軸受における流体の温度を低下させる効果が高くなる。
そこで、本手段に係る主軸装置においては、減衰付加軸受から排出される流体の温度(排出温度)と第二温度センサにより検出される供給温度とに基づいて、減衰付加軸受へ供給する流体の流量を増加させる。排出温度は、減衰付加軸受における流体の温度にほぼ等しい。従って、排出温度が高いほど、供給流量を多くすることで、減衰付加軸受における流体の温度を低下させることができる。その結果、主軸の回転速度が変化したとしても、減衰付加軸受における流体の温度を一定範囲内に安定させることができる。つまり、主軸の回転速度に関わりなく、一定範囲の減衰効果を発揮できるため、振動を確実に抑制できる。
(Claim 6) The spindle device according to this means suppresses vibration of the spindle by holding a tool and rotating the spindle, a bearing that rotatably supports the spindle, and a fluid. A damping additional bearing, a fluid supply device for supplying the fluid to the damping additional bearing and adjusting the flow rate of the fluid, a first temperature sensor for detecting the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing, a second temperature sensor for detecting the temperature of the fluid supplied to the damping additional bearing from the fluid supply apparatus, the supply temperature detected by the first temperature wherein the second temperature sensor and contact discharge temperature detected by the sensor And a controller that increases the flow rate of the fluid supplied by the fluid supply device when the attenuation coefficient equivalent value is less than a first coefficient threshold value.
Here, in the damping additional bearing, since the viscosity of the fluid is high, the temperature of the fluid rises from the supply temperature as the main shaft rotates. The damping coefficient decreases as the temperature of the fluid in the damping additional bearing increases. Further, the rate of increase in the temperature of the fluid is higher as the spindle rotation speed is higher. On the other hand, the rate of increase in the temperature of the fluid is lower as the spindle rotation speed is lower. Further, as the flow rate of the fluid passing through the damping additional bearing increases, the temperature of the fluid in the damping additional bearing acts so as to approach the supply temperature. That is, the greater the flow rate of the fluid supplied to the damping additional bearing, the higher the effect of lowering the temperature of the fluid in the damping additional bearing.
Therefore, in the spindle device according to this means, the flow rate of the fluid supplied to the damping additional bearing based on the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing (discharge temperature) and the supply temperature detected by the second temperature sensor. Increase. The discharge temperature is approximately equal to the temperature of the fluid in the damping additional bearing. Therefore, the higher the discharge temperature, the lower the fluid temperature in the damping additional bearing by increasing the supply flow rate. As a result, even if the rotational speed of the main shaft changes, the temperature of the fluid in the damping additional bearing can be stabilized within a certain range. In other words, the damping effect within a certain range can be exhibited regardless of the rotation speed of the main shaft, so that vibration can be reliably suppressed.

ここで、減衰付加軸受における減衰係数は、流体の供給温度と排出温度とにより算出することができる。つまり、減衰係数相当値が第一係数閾値を下回った場合に流体の流量を増加させることにより、主軸の回転速度が変化したとしても、減衰効果を確実に一定範囲内に安定させることができる。   Here, the damping coefficient in the damping additional bearing can be calculated from the supply temperature and discharge temperature of the fluid. In other words, by increasing the fluid flow rate when the damping coefficient equivalent value is below the first coefficient threshold value, the damping effect can be reliably stabilized within a certain range even if the rotational speed of the main shaft changes.

本手段に係る主軸装置の好適な実施態様について以下に説明する。
(請求項)また、前記制御装置は、前記減衰係数相当値が前記第一係数閾値を下回った後において、前記減衰係数相当値が前記第一係数閾値より大きな第二係数閾値を上回った場合に、前記流体の流量を減少させるようにしてもよい。一旦、供給流量を増加させた後において、供給流量を減少させるタイミングを規定している。これにより、供給流量を適切な量とすることができる。
A preferred embodiment of the spindle device according to this means will be described below.
(Claim 7 ) Further, the control device, when the attenuation coefficient equivalent value falls below the first coefficient threshold value, and the attenuation coefficient equivalent value exceeds a second coefficient threshold value greater than the first coefficient threshold value. In addition, the flow rate of the fluid may be decreased. Once the supply flow rate is increased, the timing for decreasing the supply flow rate is defined. Thereby, supply flow volume can be made into an appropriate quantity.

(請求項)また、前記制御装置は、前記流体供給装置により供給される流量を予め設定された上限値以下としてもよい。多量の流体を供給しなければ、減衰付加軸受における流体の温度が低下しないような状況であれば、他の手段を講じる必要がある。そこで、上限値を設定しておき、上限値以下の範囲において流量調整を行うこととするとよい。 (Claim 8 ) Further, the control device may set the flow rate supplied by the fluid supply device to be equal to or lower than a preset upper limit value. If a large amount of fluid is not supplied, other measures must be taken if the temperature of the fluid in the damping additional bearing does not decrease. Therefore, it is preferable to set an upper limit value and adjust the flow rate in a range equal to or lower than the upper limit value.

(請求項)また、前記制御装置は、前記流体供給装置により供給される流量を予め設定された下限値以上としてもよい。仮に、流体温度が上昇しないときに供給流量をゼロとした場合に、その後に、流体温度が上昇する状態になったとする。この場合、供給流量がゼロの状態から増加することになる。しかし、流量がゼロから増加する場合には、流量がゼロでない状態から増加する場合に比べて、減衰効果が安定しにくくなる。そこで、供給流量の下限値を設定しておき、下限値以上の範囲において流量調整を行うこととするとよい。 (Claim 9 ) Further, the control device may set the flow rate supplied by the fluid supply device to a predetermined lower limit value or more. If the supply flow rate is set to zero when the fluid temperature does not rise, then the fluid temperature rises. In this case, the supply flow rate increases from the zero state. However, when the flow rate increases from zero, the attenuation effect is less stable than when the flow rate increases from a non-zero state. Therefore, it is preferable to set a lower limit value of the supply flow rate and adjust the flow rate in a range equal to or higher than the lower limit value.

本発明の第一実施形態における主軸装置の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of the main axis | shaft apparatus in 1st embodiment of this invention. 図1に示す減衰付加軸受の拡大軸方向断面図である。FIG. 2 is an enlarged axial sectional view of the damping additional bearing shown in FIG. 1. 図1に示す制御装置にて実行される流量調整処理のフローチャートである。It is a flowchart of the flow volume adjustment process performed with the control apparatus shown in FIG. 図1に示す主軸装置において、主軸の回転速度を(a)に示すように変化させ、かつ、(b)に示すように流体の供給流量を調整しない場合に、減衰付加軸受からの流体の排出温度を(c)に示し、減衰係数相当値を(d)に示す。In the spindle apparatus shown in FIG. 1, when the rotational speed of the spindle is changed as shown in (a) and the fluid supply flow rate is not adjusted as shown in (b), the fluid is discharged from the damping additional bearing. The temperature is shown in (c), and the attenuation coefficient equivalent value is shown in (d). 主軸の回転速度を(a)に示すように変化させたときに、図3に示す流量調整処理が実行される場合において、減衰付加軸受への供給流量を(b)に示し、減衰付加軸受からの流体の排出温度を(c)に示し、減衰係数相当値を(d)に示す。When the flow rate adjustment process shown in FIG. 3 is executed when the rotational speed of the main shaft is changed as shown in FIG. 3A, the supply flow rate to the damping additional bearing is shown in FIG. The discharge temperature of the fluid is shown in (c), and the damping coefficient equivalent value is shown in (d). 本発明の第二実施形態における主軸装置の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of the main axis | shaft apparatus in 2nd embodiment of this invention. 本発明の第三実施形態における制御装置にて実行される流量調整処理のフローチャートである。It is a flowchart of the flow volume adjustment process performed with the control apparatus in 3rd embodiment of this invention. 本発明の第四実施形態における制御装置にて実行される減衰係数算出処理のフローチャートである。It is a flowchart of the attenuation coefficient calculation process performed with the control apparatus in 4th embodiment of this invention.

以下、本発明の主軸装置1を具体化した第一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
<第一実施形態>
(1.主軸装置の構成)
図1に示すように、主軸装置1は、ハウジング10、主軸20、モータ30、複数の転がり軸受41〜44、減衰付加軸受50、流体供給装置60、第一温度センサ71、および制御装置80を備えている。
Hereinafter, a first embodiment in which the spindle device 1 of the present invention is embodied will be described with reference to the drawings.
<First embodiment>
(1. Configuration of spindle device)
As shown in FIG. 1, the spindle device 1 includes a housing 10, a spindle 20, a motor 30, a plurality of rolling bearings 41 to 44, a damping additional bearing 50, a fluid supply device 60, a first temperature sensor 71, and a control device 80. I have.

ハウジング10は、中空筒状に形成され、その中に主軸20を保持する。主軸20はモータ30によって回転駆動され、主軸20の先端側(図1の左側)には工具21が保持される。モータ30は、ハウジング10の筒内に配置されており、ハウジング10に固定されたステータ31および主軸20に固定されたロータ32を備えて構成されている。   The housing 10 is formed in a hollow cylindrical shape, and holds the main shaft 20 therein. The main shaft 20 is rotationally driven by a motor 30, and a tool 21 is held on the tip end side (left side in FIG. 1) of the main shaft 20. The motor 30 is disposed in a cylinder of the housing 10 and includes a stator 31 fixed to the housing 10 and a rotor 32 fixed to the main shaft 20.

転がり軸受41〜44は、ハウジング10に対して主軸20を回転可能に支持するものである。転がり軸受41〜43は、例えば玉軸受を適用し、モータ30よりも工具21側に配置される。一方、転がり軸受44は、例えば、ころ軸受を適用し、モータ30より工具21の反対側(後端側)に配置される。すなわち、転がり軸受41〜44は、モータ30を軸方向中央に挟むように配置される。   The rolling bearings 41 to 44 support the main shaft 20 rotatably with respect to the housing 10. As the rolling bearings 41 to 43, for example, ball bearings are applied, and the rolling bearings 41 to 43 are arranged closer to the tool 21 than the motor 30. On the other hand, the rolling bearing 44 is, for example, a roller bearing and is disposed on the opposite side (rear end side) of the tool 21 from the motor 30. That is, the rolling bearings 41 to 44 are arranged so as to sandwich the motor 30 in the center in the axial direction.

減衰付加軸受50は、流体(例えば油)が供給されることにより主軸20の振動を抑制するものである。減衰付加軸受50は、主として減衰効果を発揮し、静圧軸受のように支持剛性を確保するための軸受とは異なる。つまり、主軸装置1において、転がり軸受41〜44が支持剛性を確保する部位として機能するのに対して、減衰付加軸受50は減衰性能を高める部位として機能する。   The damping additional bearing 50 suppresses the vibration of the main shaft 20 when a fluid (for example, oil) is supplied. The damping additional bearing 50 mainly exhibits a damping effect and is different from a bearing for securing support rigidity like a hydrostatic bearing. That is, in the spindle device 1, the rolling bearings 41 to 44 function as a part for ensuring the supporting rigidity, whereas the damping additional bearing 50 functions as a part for improving the damping performance.

減衰付加軸受50は、転がり軸受41〜44よりも工具21側に設けられている。従って、減衰付加軸受50は、加工によって発生する工具21の振動を効果的に抑制する。減衰付加軸受50は、図2に示すように、減衰付加部51、流体供給路52、ドレイン53、エア供給環状溝54およびエア供給路55を備えている。なお、図2において、実線にて示す矢印は流体の流れる方向を表し、一点破線にて示す矢印はエアの流れる方向を表している。   The damping additional bearing 50 is provided closer to the tool 21 than the rolling bearings 41 to 44. Therefore, the damping additional bearing 50 effectively suppresses the vibration of the tool 21 generated by machining. As shown in FIG. 2, the damping additional bearing 50 includes a damping adding portion 51, a fluid supply path 52, a drain 53, an air supply annular groove 54, and an air supply path 55. In FIG. 2, an arrow indicated by a solid line indicates a direction in which the fluid flows, and an arrow indicated by a dashed line indicates the direction in which the air flows.

減衰付加部51は、減衰付加軸受50の内周面のうち、主軸20の外周面との周方向の環状の隙間により形成されている。なお、減衰付加部51には、周方向に断続的な凹所が形成されるようにしてもよい。減衰付加部51に流体が供給されることにより、主軸20の振動を抑制する減衰効果が発揮される。   The damping addition portion 51 is formed by an annular gap in the circumferential direction with the outer circumferential surface of the main shaft 20 among the inner circumferential surface of the damping addition bearing 50. In addition, you may make it the intermittent addition part 51 form an intermittent recess in the circumferential direction. By supplying the fluid to the damping adding portion 51, a damping effect for suppressing the vibration of the main shaft 20 is exhibited.

流体供給路52の一端に、流体供給装置60が接続されている。流体供給装置60から供給される流体が、流体供給路52を介して導出口52aから減衰付加部51に導出される。導出口52aは、減衰付加軸受50の内周面の周方向に1つ以上形成されている。   A fluid supply device 60 is connected to one end of the fluid supply path 52. The fluid supplied from the fluid supply device 60 is led out from the lead-out port 52 a to the attenuation adding unit 51 through the fluid supply path 52. One or more outlets 52 a are formed in the circumferential direction of the inner peripheral surface of the damping additional bearing 50.

ドレイン53は、減衰付加軸受50の内周面の周方向全周に亘る環状溝によって形成され、流体供給路52の導出口52aよりも工具21側に設けられるドレイン環状溝53aおよび導出口52aよりも工具21の反対側に設けられるドレイン環状溝53bを備えている。減衰付加部51から流体がドレイン環状溝53a,53bよりドレイン53に導入され、ドレイン53を介して流体を溜めておく図示しないタンクへ、流体が導出される。   The drain 53 is formed by an annular groove over the entire circumference in the circumferential direction of the inner peripheral surface of the damping additional bearing 50, and from the drain annular groove 53 a and the outlet 52 a provided closer to the tool 21 than the outlet 52 a of the fluid supply path 52. Is also provided with a drain annular groove 53 b provided on the opposite side of the tool 21. The fluid is introduced from the damping addition portion 51 into the drain 53 through the drain annular grooves 53 a and 53 b, and the fluid is led to a tank (not shown) that stores the fluid through the drain 53.

エア供給環状溝54は、減衰付加軸受50の内周面の周方向全周に亘る環状の凹溝によって形成され、ドレイン環状溝53aよりも工具21側に配設されるエア環状溝54aおよびドレイン環状溝53bよりも工具21の反対側に配設されるエア環状溝54bによって構成されている。エア供給環状溝54は、図示しないエアポンプからエア供給路55を介して供給されたエアを減衰付加部51に導出するものである。導出されたエアは、流体が減衰付加部51から工具21側または軸受41〜44側へ流体が排出されることを防止するエアシールを構成する。   The air supply annular groove 54 is formed by an annular concave groove over the entire circumference in the circumferential direction of the inner peripheral surface of the damping additional bearing 50, and the air annular groove 54a and the drain disposed closer to the tool 21 than the drain annular groove 53a. It is comprised by the air annular groove 54b arrange | positioned on the opposite side of the tool 21 rather than the annular groove 53b. The air supply annular groove 54 guides the air supplied from an air pump (not shown) through the air supply path 55 to the attenuation adding portion 51. The derived air constitutes an air seal that prevents the fluid from being discharged from the damping addition portion 51 to the tool 21 side or the bearings 41 to 44 side.

流体供給装置60は、減衰付加軸受50に流体を供給し、流体の流量Qを調整可能とするものである。流体供給装置60は、流体をタンクから吸入して吐出するポンプ、および、ポンプから吐出される流体を減衰付加軸受50側に供給する流量を調整する流量調整弁を備える。流体供給装置60による流量の調整は、流量調整弁による流量の調整によって行われる。なお、ポンプによる吐出圧を調整することによっても、流体供給装置60が減衰付加軸受50へ供給する流量を調整することが可能である。   The fluid supply device 60 supplies fluid to the damping additional bearing 50 so that the flow rate Q of the fluid can be adjusted. The fluid supply device 60 includes a pump that sucks and discharges fluid from a tank, and a flow rate adjusting valve that adjusts a flow rate of supplying fluid discharged from the pump to the damping additional bearing 50 side. The flow rate adjustment by the fluid supply device 60 is performed by adjusting the flow rate by the flow rate adjustment valve. The flow rate supplied from the fluid supply device 60 to the damping additional bearing 50 can also be adjusted by adjusting the discharge pressure by the pump.

第一温度センサ71は、ドレイン環状溝53a,53bからタンクに接続される流路のうち、ドレイン環状溝53a,53bに近い位置に配置される。そして、第一温度センサ71は、減衰付加部51から排出される流体の温度Tout(排出温度)を検出する。   The 1st temperature sensor 71 is arrange | positioned in the position close | similar to the drain annular grooves 53a and 53b among the flow paths connected to a tank from the drain annular grooves 53a and 53b. The first temperature sensor 71 detects the temperature Tout (discharge temperature) of the fluid discharged from the attenuation adding unit 51.

制御装置80は、演算処理を実行するCPU部と、プログラムなどを保存するROMやRAMなどの記憶部と、情報を交換するための入出力部とを備えて構成されている。制御装置80は、第一温度センサ71により検出される排出温度Toutに基づいて、流体供給装置60が減衰付加軸受50へ供給する流体の流量Qを調整する。具体的には、制御装置80は、排出温度Toutに基づいて流量Qの値を設定し、その値を制御信号として流体供給装置60に送信する。   The control device 80 includes a CPU unit that executes arithmetic processing, a storage unit such as a ROM or a RAM that stores programs, and an input / output unit that exchanges information. The control device 80 adjusts the flow rate Q of the fluid that the fluid supply device 60 supplies to the damping additional bearing 50 based on the discharge temperature Tout detected by the first temperature sensor 71. Specifically, the control device 80 sets a value of the flow rate Q based on the discharge temperature Tout, and transmits the value to the fluid supply device 60 as a control signal.

(2.減衰付加軸受による減衰効果の説明)
減衰付加部51が発揮する減衰効果について説明する。減衰付加部51が高い減衰効果を発揮するために、減衰付加軸受50に供給される流体は、一般的な静圧軸受に比べて粘度の高いものを用いる。そして、減衰付加部51における流体は、減衰付加部51の内周面と主軸20の外周面との間に存在する。つまり、主軸20の回転によって、流体は、せん断されることにより発熱する。特に、粘度が高いため、発熱量が大きくなる。
(2. Explanation of damping effect by damping additional bearing)
The attenuation effect exhibited by the attenuation adding unit 51 will be described. In order for the damping addition part 51 to exhibit a high damping effect, the fluid supplied to the damping addition bearing 50 is higher in viscosity than a general hydrostatic bearing. The fluid in the attenuation adding portion 51 exists between the inner peripheral surface of the attenuation adding portion 51 and the outer peripheral surface of the main shaft 20. That is, as the main shaft 20 rotates, the fluid generates heat by being sheared. In particular, since the viscosity is high, the calorific value is increased.

つまり、主軸20の回転に伴って、減衰付加部51における流体の温度Tが供給温度Tinより上昇する。そして、減衰付加部51における流体の温度Tが高いほど、減衰付加部51による減衰係数が低くなり、減衰効果は小さくなる。このように、減衰付加部51における流体の温度Tに応じて、減衰付加部51による減衰効果が変化する。   That is, as the main shaft 20 rotates, the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 increases from the supply temperature Tin. As the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 is higher, the attenuation coefficient by the attenuation adding unit 51 becomes lower, and the attenuation effect becomes smaller. As described above, the attenuation effect of the attenuation adding unit 51 changes according to the fluid temperature T in the attenuation adding unit 51.

また、主軸20の回転速度が高いほど流体の温度Tの上昇率は高い。一方、主軸20の回転速度が低いほど流体の温度Tの上昇率は低い。従って、流体の供給温度Tinおよび流体の供給流量Qを一定とした場合には、主軸20の回転速度が高いほど、減衰付加部51による減衰効果は小さくなる。   Moreover, the rate of increase of the temperature T of the fluid is higher as the rotational speed of the main shaft 20 is higher. On the other hand, the lower the rotational speed of the main shaft 20, the lower the increase rate of the fluid temperature T. Therefore, when the fluid supply temperature Tin and the fluid supply flow rate Q are constant, the damping effect of the damping adding portion 51 becomes smaller as the rotational speed of the main shaft 20 is higher.

また、減衰付加部51を通過する流体の流量が多いほど、減衰付加部51における流体の温度Tが供給温度Tinに近づくように作用する。つまり、減衰付加部51に供給される流体の流量Qが多いほど、減衰付加部51における流体の温度Tを低下させる効果が高くなる。   Further, as the flow rate of the fluid passing through the attenuation adding unit 51 increases, the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 acts so as to approach the supply temperature Tin. That is, as the flow rate Q of the fluid supplied to the attenuation adding unit 51 is increased, the effect of lowering the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 becomes higher.

従って、主軸20の回転速度が高くなることによって、減衰付加部51における流体の温度Tが上昇した場合に、減衰付加部51に供給される流体の流量Qを増加すれば、一定範囲の減衰効果を発揮できる。   Accordingly, when the fluid temperature T in the damping addition unit 51 rises due to an increase in the rotational speed of the main shaft 20, if the flow rate Q of the fluid supplied to the damping addition unit 51 is increased, a certain range of damping effect is obtained. Can be demonstrated.

(3.制御装置による流量調整処理)
制御装置80による流量調整処理について、図3を参照して説明する。制御装置80は、第一温度センサ71により検出された排出温度Toutに基づいて、流量Qを調整する。このとき、制御装置80は、予め設定された下限値Qminおよび上限値Qmaxの範囲内で、供給流量Qを調整する。
(3. Flow rate adjustment processing by the control device)
The flow rate adjustment processing by the control device 80 will be described with reference to FIG. The control device 80 adjusts the flow rate Q based on the discharge temperature Tout detected by the first temperature sensor 71. At this time, the control device 80 adjusts the supply flow rate Q within a range of preset lower limit value Qmin and upper limit value Qmax.

現在の流量Qが下限値Qminに等しく(S1:Y)、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1以下の場合には(S2:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。一方、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1より高い場合には(S2:Y)、制御装置80は、流量Qを増加させる(S3)。   When the current flow rate Q is equal to the lower limit value Qmin (S1: Y) and the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 (S2: N), the control device 80 maintains the current flow rate Q. On the other hand, when the discharge temperature Tout is higher than the first temperature threshold Tht1 (S2: Y), the control device 80 increases the flow rate Q (S3).

また、現在の流量Qが下限値Qminより多く上限値Qmaxより少ない場合であって(S1:N、S4:Y)、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1より高い場合には(S5:Y)、制御装置80は、流量Qを増加させる(S6)。一方、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1以下であって(S5:N)、さらに排出温度Toutが第二温度閾値Tht2より低い場合には(S7:Y)、制御装置80は、流量Qを減少させる(S8)。また、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1以下であって(S5:N)、さらに第二温度閾値Tht2以上の場合には(S7:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。ここで、第二温度閾値Tht2は、第一温度閾値Tht1より小さな値である。   Further, when the current flow rate Q is larger than the lower limit value Qmin and smaller than the upper limit value Qmax (S1: N, S4: Y), and the discharge temperature Tout is higher than the first temperature threshold value Tht1 (S5: Y). The control device 80 increases the flow rate Q (S6). On the other hand, when the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 (S5: N) and the discharge temperature Tout is lower than the second temperature threshold Tht2 (S7: Y), the control device 80 sets the flow rate Q to Decrease (S8). In addition, when the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 (S5: N) and is equal to or higher than the second temperature threshold Tht2 (S7: N), the control device 80 maintains the current flow rate Q. . Here, the second temperature threshold value Tht2 is a value smaller than the first temperature threshold value Tht1.

また、現在の流量Qが上限値Qmaxに等しく(S4:N)、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1より高い場合には(S9:Y)、主軸20の回転を停止する(S10)。一方、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1以下であって(S9:N)、さらに排出温度Toutが第二温度閾値Tht2より低い場合には(S11:Y)、制御装置80は、流量Qを減少させる(S12)。また、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1以下であって(S9:N)、さらに第二温度閾値Tht2以上の場合には(S11:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。   When the current flow rate Q is equal to the upper limit value Qmax (S4: N) and the discharge temperature Tout is higher than the first temperature threshold Tht1 (S9: Y), the rotation of the main shaft 20 is stopped (S10). On the other hand, when the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 (S9: N) and the discharge temperature Tout is lower than the second temperature threshold Tht2 (S11: Y), the control device 80 sets the flow rate Q to Decrease (S12). Further, when the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 (S9: N) and is equal to or higher than the second temperature threshold Tht2 (S11: N), the control device 80 maintains the current flow rate Q. .

つまり、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回った場合には(S2,S5)、流量Qを増加させる(S3,S6)。ただし、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回った場合であっても、流量Qが上限値Qmaxの場合には(S9)、流量Qを増加させるのではなく、主軸20の回転を停止する(S10)。また、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回った後において、排出温度Toutが第二温度閾値Tht2を下回った場合には(S7,S11)、流量Qを減少させる(S8,S12)。   That is, when the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold Tht1 (S2, S5), the flow rate Q is increased (S3, S6). However, even when the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold Tht1, if the flow rate Q is the upper limit value Qmax (S9), the rotation of the spindle 20 is stopped instead of increasing the flow rate Q. (S10). If the discharge temperature Tout falls below the second temperature threshold Tht2 after the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold Tht1 (S7, S11), the flow rate Q is decreased (S8, S12).

(4.減衰効果の比較)
次に、上述したように、制御装置80によって流量Qを調整した場合と、調整しない場合とについて、減衰効果を比較する。説明の容易化のため、流量Qを調整せずに一定とした場合について図4を参照して説明した後に、流量Qを調整した場合について図5を参照して説明する。
(4. Comparison of damping effect)
Next, as described above, the damping effect is compared between the case where the flow rate Q is adjusted by the control device 80 and the case where the flow rate Q is not adjusted. For ease of explanation, the case where the flow rate Q is kept constant without being adjusted will be described with reference to FIG. 4, and then the case where the flow rate Q is adjusted will be described with reference to FIG.

図4(a)に示すように、主軸20の回転速度をゼロ→N1→N3→N4→ゼロに変化させた場合を例に挙げる。ここで、N1>N2>N3>ゼロの関係からなる。このとき、図4(b)に示すように、減衰付加軸受50に供給される流量Qは、下限値Qminのままとする。   As shown in FIG. 4A, a case where the rotational speed of the main shaft 20 is changed from zero → N1 → N3 → N4 → zero will be described as an example. Here, the relationship is N1> N2> N3> zero. At this time, as shown in FIG. 4B, the flow rate Q supplied to the damping additional bearing 50 is kept at the lower limit value Qmin.

時刻T1以前においては、減衰付加部51において流体が発熱しないため、排出温度Toutは、供給温度Tinに等しくなる。時刻T1において主軸20の回転速度がN1に増加すると、減衰付加部51における流体が発熱するため、図4(c)に示すように、排出温度Toutが増加する。時刻T2において主軸20の回転速度がN1からN3に低下すると、排出温度Toutは低下する。続いて、時刻T3において主軸20の回転速度がN3からN2へ増加すると、排出温度Toutは再び増加する。そして、時刻T4において主軸20の回転速度がゼロになると、排出温度Toutは再び供給温度Tinに等しくなる。   Prior to time T1, since the fluid does not generate heat in the attenuation adding unit 51, the discharge temperature Tout becomes equal to the supply temperature Tin. When the rotational speed of the main shaft 20 increases to N1 at time T1, the fluid in the attenuation adding portion 51 generates heat, and thus the discharge temperature Tout increases as shown in FIG. When the rotational speed of the main shaft 20 decreases from N1 to N3 at time T2, the discharge temperature Tout decreases. Subsequently, when the rotational speed of the main shaft 20 increases from N3 to N2 at time T3, the discharge temperature Tout increases again. When the rotational speed of the main shaft 20 becomes zero at time T4, the discharge temperature Tout becomes equal to the supply temperature Tin again.

上記にように排出温度Toutが変化する場合に、減衰係数相当値Caは、図4(d)に示すように変化する。ここで、減衰係数相当値Caは、実際の減衰係数に相当する値であって、演算によって得られる値である。減衰係数相当値Caは、減衰付加部51における圧力分布と、減衰付加部51における流体の粘度とによって算出される。減衰付加部51における流体の粘度は、供給温度Tinと排出温度Toutとによって算出される。   When the discharge temperature Tout changes as described above, the attenuation coefficient equivalent value Ca changes as shown in FIG. Here, the attenuation coefficient equivalent value Ca is a value corresponding to an actual attenuation coefficient and obtained by calculation. The attenuation coefficient equivalent value Ca is calculated from the pressure distribution in the attenuation adding unit 51 and the viscosity of the fluid in the attenuation adding unit 51. The viscosity of the fluid in the attenuation adding unit 51 is calculated by the supply temperature Tin and the discharge temperature Tout.

図4(d)に示すように、減衰係数相当値Caは、供給温度Tinが一定であるため、排出温度Toutを反転させた挙動を示す。つまり、減衰係数相当値Caは、時刻T1において低下し、時刻T2において上昇し、時刻T3において再び低下し、時刻T4において上昇する。   As shown in FIG. 4D, the attenuation coefficient equivalent value Ca shows a behavior in which the discharge temperature Tout is inverted because the supply temperature Tin is constant. That is, the attenuation coefficient equivalent value Ca decreases at time T1, increases at time T2, decreases again at time T3, and increases at time T4.

このように、減衰付加部51に供給される流量Qが一定の場合に、主軸20の回転速度が変化すると、減衰係数相当値Caが変化する。つまり、主軸20の回転速度が変化すると、減衰効果が変化してしまう。   As described above, when the flow rate Q supplied to the attenuation adding unit 51 is constant, when the rotation speed of the main shaft 20 changes, the attenuation coefficient equivalent value Ca changes. That is, when the rotational speed of the main shaft 20 changes, the attenuation effect changes.

次に、制御装置80による上記処理を行う場合について、図5を参照して説明する。図5(a)は、図4(a)と同一である。図5(c)の時刻T1の直後において、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回るため、図5(b)に示すように、流量Qが増加する。流量Qの増加直後には、排出温度Toutは、一旦低下するが、再び第一温度閾値Tht1を上回る。そのため、流量Qがさらに増加する。その直後において、さらに流量Qが増加されて、上限値Qmaxに達する。その後は、時刻T2までの間、排出温度Toutは第一温度閾値Tht1以下であって、第二温度閾値Tht2以上であるため、流量Qは上限値Qmaxを維持する。   Next, a case where the above-described processing is performed by the control device 80 will be described with reference to FIG. FIG. 5A is the same as FIG. Immediately after time T1 in FIG. 5C, the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold Tht1, so that the flow rate Q increases as shown in FIG. 5B. Immediately after the increase in the flow rate Q, the discharge temperature Tout once decreases, but again exceeds the first temperature threshold Tht1. Therefore, the flow rate Q further increases. Immediately thereafter, the flow rate Q is further increased and reaches the upper limit value Qmax. Thereafter, since the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 and equal to or higher than the second temperature threshold Tht2 until time T2, the flow rate Q maintains the upper limit value Qmax.

続いて、時刻T2の直後において、主軸20の回転速度の低下に伴って、排出温度Toutが第二温度閾値Tht2より低くなる。そうすると、流量Qは、一段階減少する。流量Qの減少直後には、排出温度Toutは、一旦増加するが、再び第二温度閾値Tht2を下回る。そのため、流量Qはさらに減少する。その後は、時刻T3までの間、排出温度Toutは第一温度閾値Tht1以下であって、第二温度閾値Tht2以上であるため、流量Qは維持される。   Subsequently, immediately after time T2, the discharge temperature Tout becomes lower than the second temperature threshold Tht2 as the rotational speed of the main shaft 20 decreases. Then, the flow rate Q decreases by one step. Immediately after the decrease in the flow rate Q, the discharge temperature Tout once increases, but again falls below the second temperature threshold Tht2. Therefore, the flow rate Q further decreases. Thereafter, until the time T3, the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 and equal to or higher than the second temperature threshold Tht2, so the flow rate Q is maintained.

続いて、時刻T3の直後において、主軸20の回転速度の増加に伴って、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1より高くなる。そうすると、流量Qは一段階増加する。その後は、時刻T4までの間、排出温度Toutは第一温度閾値Tht1以下であって、第二温度閾値Tht2以上であるため、流量Qは維持される。   Subsequently, immediately after time T3, the discharge temperature Tout becomes higher than the first temperature threshold Tht1 as the rotational speed of the main shaft 20 increases. Then, the flow rate Q increases by one step. Thereafter, until the time T4, the discharge temperature Tout is equal to or lower than the first temperature threshold Tht1 and equal to or higher than the second temperature threshold Tht2, so the flow rate Q is maintained.

続いて、時刻T4の直後において、主軸20の回転速度がゼロになるため、排出温度Toutが第二温度閾値Tht2より低くなる。そうすると、流量Qは一段階減少し、その後においても排出温度Toutは第二温度閾値Tht2より低いため、流量Qは下限値Qminになる。   Subsequently, immediately after time T4, the rotational speed of the main shaft 20 becomes zero, so that the discharge temperature Tout becomes lower than the second temperature threshold Tht2. Then, the flow rate Q decreases by one step, and the discharge temperature Tout is lower than the second temperature threshold Tht2 even after that, so the flow rate Q becomes the lower limit value Qmin.

排出温度Toutが高いほど供給する流量Qを多くすることで、減衰付加部51における流体の温度Tを低下させることができる。そして、図5(c)に示すように、主軸20の回転速度が変化したとして、排出温度Toutが一定範囲内に安定する。従って、減衰付加部51における流体の温度Tを一定範囲内に安定させることができる。つまり、主軸20の回転速度に関わりなく、一定範囲の減衰効果を発揮できるため、振動を確実に抑制できる。   By increasing the flow rate Q to be supplied as the discharge temperature Tout is higher, the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 can be lowered. Then, as shown in FIG. 5C, assuming that the rotation speed of the main shaft 20 has changed, the discharge temperature Tout is stabilized within a certain range. Therefore, the temperature T of the fluid in the attenuation adding unit 51 can be stabilized within a certain range. In other words, the damping effect within a certain range can be exhibited regardless of the rotational speed of the main shaft 20, so that vibration can be reliably suppressed.

特に、上記のように、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回った場合に、流体の流量Qを増加させることにより、容易にかつ確実に、上記効果を奏する。ここで、流体供給装置60が一定の温度Tinに維持された流体を減衰付加軸受50に供給している。そのため、排出温度Toutを用いた流量Qの調整であっても、確実に減衰係数を一定範囲内に調整することが可能となる。   In particular, as described above, when the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold value Tht1, the above-described effect can be obtained easily and reliably by increasing the fluid flow rate Q. Here, the fluid supply device 60 supplies the fluid maintained at a constant temperature Tin to the damping additional bearing 50. Therefore, even when the flow rate Q is adjusted using the discharge temperature Tout, the attenuation coefficient can be reliably adjusted within a certain range.

また、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1を上回った後において、第二温度閾値Tht2を下回った場合に、流体の流量Qを減少させた。つまり、供給流量Qを減少させるタイミングを規定している。これにより、供給する流量Qを適切な量とすることができる。   In addition, after the discharge temperature Tout exceeds the first temperature threshold Tht1, the fluid flow rate Q is decreased when it falls below the second temperature threshold Tht2. That is, the timing for reducing the supply flow rate Q is defined. Thereby, the flow volume Q to supply can be made into an appropriate quantity.

また、制御装置80は、流体供給装置60により供給される流量Qを予め設定された上限値Qmax以下とした。多量の流体を供給しなければ、減衰付加軸受50における流体の温度Tが低下しないような状況であれば、他の手段を講じる必要がある。本実施形態においては、上記場合に、主軸20を停止させることとした。   Further, the control device 80 sets the flow rate Q supplied by the fluid supply device 60 to be equal to or lower than a preset upper limit value Qmax. If a large amount of fluid is not supplied, it is necessary to take other means if the temperature T of the fluid in the damping additional bearing 50 does not decrease. In the present embodiment, the main shaft 20 is stopped in the above case.

また、制御装置80は、流体供給装置60により供給される流量Qを予め設定された下限値Qmin以上とした。仮に、流体の温度Tが上昇しないときに供給流量Qをゼロとした場合に、その後に、流体の温度Tが上昇する状態になったとする。この場合、供給流量Qがゼロの状態から増加することになる。しかし、流量Qがゼロから増加する場合には、流量Qがゼロでない状態から増加する場合に比べて、減衰効果が安定しにくくなる。そこで、供給流量Qの下限値Qminを設定しておくことで、減衰効果を安定させることができる。   Further, the control device 80 sets the flow rate Q supplied by the fluid supply device 60 to be equal to or higher than a preset lower limit value Qmin. If the supply flow rate Q is set to zero when the fluid temperature T does not rise, then the fluid temperature T rises thereafter. In this case, the supply flow rate Q increases from a zero state. However, when the flow rate Q increases from zero, the damping effect is less stable than when the flow rate Q increases from a non-zero state. Therefore, by setting the lower limit value Qmin of the supply flow rate Q, the damping effect can be stabilized.

また、第二温度閾値Tht2は、流体供給装置60から減衰付加軸受50へ供給される流体の温度Tin以上の値に設定した。排出温度Toutが供給温度Tinを下回ることはないため、第二温度閾値Tht2を供給温度Tin以上の値に設定することで、供給流量Qが少なくなりすぎることを防止できる。   The second temperature threshold Tht2 is set to a value equal to or higher than the temperature Tin of the fluid supplied from the fluid supply device 60 to the damping additional bearing 50. Since the discharge temperature Tout does not fall below the supply temperature Tin, the supply flow rate Q can be prevented from becoming too low by setting the second temperature threshold Tht2 to a value equal to or higher than the supply temperature Tin.

<第二実施形態>
上記実施形態においては、排出温度Toutが第一温度閾値Tht1より高い場合に流量Qを増加させ、排出温度Toutが第二温度閾値Tht2より低い場合に流量Qを減少させることとした。この他に、排出温度Toutを、排出温度Toutと供給温度Tinとの差ΔTに置換することもできる。この場合、第一温度閾値Tht1および第二温度閾値Tht2は、排出温度Toutと供給温度Tinとの差ΔTに応じた値に置換することになる。
<Second embodiment>
In the above embodiment, the flow rate Q is increased when the discharge temperature Tout is higher than the first temperature threshold Tht1, and the flow rate Q is decreased when the discharge temperature Tout is lower than the second temperature threshold Tht2. In addition, the discharge temperature Tout can be replaced with a difference ΔT between the discharge temperature Tout and the supply temperature Tin. In this case, the first temperature threshold value Tht1 and the second temperature threshold value Tht2 are replaced with values corresponding to the difference ΔT between the discharge temperature Tout and the supply temperature Tin.

この場合の第二実施形態における主軸装置1は、第一実施形態における主軸装置1に対して、流体供給装置60が減衰付加軸受50に供給する流体の温度Tin(供給温度)を検出する第二温度センサ72を備える。なお、図6において、上記実施形態と同一構成については、同一符号を付して、詳細な説明を省略する。   In this case, the spindle device 1 according to the second embodiment detects the temperature Tin (supply temperature) of the fluid that the fluid supply device 60 supplies to the damping additional bearing 50 with respect to the spindle device 1 according to the first embodiment. A temperature sensor 72 is provided. In FIG. 6, the same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

従って、第一温度センサ71により検出される排出温度Toutと第二温度センサ72により検出される供給温度Tinとの差ΔTを算出して、当該差Δと第一温度閾値Tht1または第二温度閾値Tht2とを比較することにより、流量Qを調整する。これにより、第一実施形態と同様の効果を奏する。   Accordingly, a difference ΔT between the discharge temperature Tout detected by the first temperature sensor 71 and the supply temperature Tin detected by the second temperature sensor 72 is calculated, and the difference Δ and the first temperature threshold Tht1 or the second temperature threshold are calculated. The flow rate Q is adjusted by comparing with Tht2. Thereby, there exists an effect similar to 1st embodiment.

<第三実施形態>
次に、第三実施形態における制御装置80にて実行される流量調整処理について、図7を参照して説明する。
<Third embodiment>
Next, the flow rate adjustment process executed by the control device 80 in the third embodiment will be described with reference to FIG.

制御装置80は、第一温度センサ71により検出された排出温度Toutに基づいて、減衰係数相当値Caを算出する。減衰係数相当値Caの算出は、上述したように、減衰付加部51における圧力分布と、減衰付加部51における流体の粘度とによって算出される。減衰付加部51における流体の粘度は、供給温度Tinと排出温度Toutとによって算出される。ただし、本実施形態においては、供給温度Tinは一定温度に維持されたものとするため、減衰係数相当値Caは、排出温度Toutに基づいて算出できる。そして、制御装置80は、算出した減衰係数相当値Caに基づいて、流量Qを調整する。   The control device 80 calculates an attenuation coefficient equivalent value Ca based on the discharge temperature Tout detected by the first temperature sensor 71. As described above, the attenuation coefficient equivalent value Ca is calculated based on the pressure distribution in the attenuation adding unit 51 and the viscosity of the fluid in the attenuation adding unit 51. The viscosity of the fluid in the attenuation adding unit 51 is calculated by the supply temperature Tin and the discharge temperature Tout. However, in the present embodiment, since the supply temperature Tin is maintained at a constant temperature, the attenuation coefficient equivalent value Ca can be calculated based on the discharge temperature Tout. Then, the control device 80 adjusts the flow rate Q based on the calculated attenuation coefficient equivalent value Ca.

ここで、当該処理は第一係数閾値Thc1と第二係数閾値Thc2を用いるが、これらThc1,Thc2は、図5(d)に示す。第二係数閾値Thc2は、第一係数閾値Thc1より大きい。   Here, the processing uses the first coefficient threshold value Thc1 and the second coefficient threshold value Thc2, and these Thc1 and Thc2 are shown in FIG. The second coefficient threshold Thc2 is larger than the first coefficient threshold Thc1.

現在の流量Qが下限値Qminに等しく(S21:Y)、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1以上の場合には(S22:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。一方、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1より小さい場合には(S22:Y)、制御装置80は、流量Qを増加させる(S23)。   When the current flow rate Q is equal to the lower limit value Qmin (S21: Y) and the attenuation coefficient equivalent value Ca is greater than or equal to the first coefficient threshold value Thc1 (S22: N), the control device 80 maintains the current flow rate Q. . On the other hand, when the attenuation coefficient equivalent value Ca is smaller than the first coefficient threshold value Thc1 (S22: Y), the control device 80 increases the flow rate Q (S23).

また、現在の流量Qが下限値Qminより多く上限値Qmaxより少ない場合であって(S21:N、S24:Y)、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1より小さい場合には(S25:Y)、制御装置80は、流量Qを増加させる(S26)。一方、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1以上であって(S25:N)、さらに減衰係数相当値Caが第二係数閾値Thc2より大きい場合には(S27:Y)、制御装置80は、流量Qを減少させる(S28)。また、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1以上であって(S25:N)、さらに第二係数閾値Thc2以下の場合には(S27:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。   Further, when the current flow rate Q is larger than the lower limit value Qmin and smaller than the upper limit value Qmax (S21: N, S24: Y), and the attenuation coefficient equivalent value Ca is smaller than the first coefficient threshold value Thc1, (S25: Y), the control device 80 increases the flow rate Q (S26). On the other hand, if the attenuation coefficient equivalent value Ca is equal to or greater than the first coefficient threshold value Thc1 (S25: N) and the attenuation coefficient equivalent value Ca is greater than the second coefficient threshold value Thc2 (S27: Y), the control device 80 The flow rate Q is decreased (S28). When the attenuation coefficient equivalent value Ca is equal to or greater than the first coefficient threshold value Thc1 (S25: N) and further equal to or less than the second coefficient threshold value Thc2 (S27: N), the control device 80 sets the current flow rate Q to maintain.

また、現在の流量Qが上限値Qmaxに等しく(S24:N)、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1より小さい場合には(S29:Y)、主軸20の回転を停止する(S30)。一方、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1以上であって(S29:N)、さらに減衰係数相当値Caが第二係数閾値Thc2より大きい場合には(S31:Y)、制御装置80は、流量Qを減少させる(S32)。また、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1以上であって(S29:N)、さらに第二係数閾値Thc2以下の場合には(S31:N)、制御装置80は、現在の流量Qを維持する。   Further, when the current flow rate Q is equal to the upper limit value Qmax (S24: N) and the damping coefficient equivalent value Ca is smaller than the first coefficient threshold value Thc1 (S29: Y), the rotation of the spindle 20 is stopped (S30). . On the other hand, when the attenuation coefficient equivalent value Ca is equal to or greater than the first coefficient threshold value Thc1 (S29: N) and the attenuation coefficient equivalent value Ca is greater than the second coefficient threshold value Thc2 (S31: Y), the control device 80 The flow rate Q is decreased (S32). When the attenuation coefficient equivalent value Ca is equal to or greater than the first coefficient threshold Thc1 (S29: N) and further equal to or less than the second coefficient threshold Thc2 (S31: N), the control device 80 sets the current flow rate Q to maintain.

つまり、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1を下回った場合には(S22,S25)、流量Qを増加させる(S23,S26)。ただし、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1を下回った場合であっても、流量Qが上限値Qmaxの場合には(S29)、流量Qを増加させるのではなく、主軸20の回転を停止する(S30)。また、減衰係数相当値Caが第一係数閾値Thc1を下回った後において、減衰係数相当値Caが第二係数閾値Thc2を上回った場合には(S27,S31)、流量Qを減少させる(S28,S32)。   That is, when the attenuation coefficient equivalent value Ca falls below the first coefficient threshold value Thc1 (S22, S25), the flow rate Q is increased (S23, S26). However, even when the damping coefficient equivalent value Ca is less than the first coefficient threshold value Thc1, if the flow rate Q is the upper limit value Qmax (S29), the rotation of the spindle 20 is not increased, but the flow rate Q is not increased. Stop (S30). If the attenuation coefficient equivalent value Ca exceeds the second coefficient threshold value Thc2 after the attenuation coefficient equivalent value Ca falls below the first coefficient threshold value Thc1 (S27, S31), the flow rate Q is decreased (S28, S31). S32).

制御装置80が上記処理を行う場合には、図5(d)に示すような挙動を示す。つまり、第一実施形態と同様の効果を奏する。   When the control device 80 performs the above processing, the behavior shown in FIG. That is, the same effect as the first embodiment is obtained.

<第四実施形態>
次に、第四実施形態における主軸装置1は、図6に示す第二実施形態における主軸装置1と同様である。つまり、主軸装置1は、第一実施形態における主軸装置1に対して、流体供給装置60が減衰付加軸受50に供給する流体の温度Tin(供給温度)を検出する第二温度センサ72を備える。
<Fourth embodiment>
Next, the spindle device 1 in the fourth embodiment is the same as the spindle device 1 in the second embodiment shown in FIG. That is, the spindle device 1 includes a second temperature sensor 72 that detects the temperature Tin (supply temperature) of the fluid that the fluid supply device 60 supplies to the damping additional bearing 50 with respect to the spindle device 1 in the first embodiment.

この場合、制御装置80は、図8に示すように、第一温度センサ71により検出される排出温度Toutと、第二温度センサ72により検出される供給温度Tinとを取得する(S41)。続いて、制御装置80は、排出温度Toutと供給温度Tinとに基づいて、減衰係数相当値Caを算出する(S42)。そして、制御装置80は、第三実施形態にて説明したように、算出した減衰係数相当値Caを用いて、供給する流量Qを調整する。   In this case, as shown in FIG. 8, the control device 80 acquires the discharge temperature Tout detected by the first temperature sensor 71 and the supply temperature Tin detected by the second temperature sensor 72 (S41). Subsequently, the control device 80 calculates an attenuation coefficient equivalent value Ca based on the discharge temperature Tout and the supply temperature Tin (S42). Then, as described in the third embodiment, the control device 80 adjusts the supplied flow rate Q by using the calculated attenuation coefficient equivalent value Ca.

供給温度Tinが変化する場合には、検出した供給温度Tinを用いて減衰係数相当値Caを算出することで、実際の減衰係数に近い値を得ることができる。そして、算出した減衰係数相当値Caを用いて流量Qを調整するため、より確実に減衰係数を安定させることができる。つまり、より安定した減衰効果が得られる。   When the supply temperature Tin changes, a value close to the actual attenuation coefficient can be obtained by calculating the attenuation coefficient equivalent value Ca using the detected supply temperature Tin. Since the flow rate Q is adjusted using the calculated attenuation coefficient equivalent value Ca, the attenuation coefficient can be stabilized more reliably. That is, a more stable attenuation effect can be obtained.

1:主軸装置、 20:主軸、 21:工具、 41−44:転がり軸受、 50:減衰付加軸受、 51:減衰付加部、 52:流体供給路、 53:ドレイン、 60:流体供給装置、 71:第一温度センサ、 72:第二温度センサ、 80:制御装置、 Ca:減衰係数相当値、 Q:供給流量、 Qmax:上限値、 Qmin:下限値、 Tin:供給温度、 Tout:排出温度、 Tht1:第一温度閾値、 Tht2:第二温度閾値、 Thc1:第一係数閾値、 Thc2:第二係数閾値 1: spindle device, 20: spindle, 21: tool, 41-44: rolling bearing, 50: damping addition bearing, 51: damping addition section, 52: fluid supply path, 53: drain, 60: fluid supply device, 71: First temperature sensor 72: Second temperature sensor 80: Control device Ca: Decay coefficient equivalent value Q: Supply flow rate Qmax: Upper limit value Qmin: Lower limit value Tin: Supply temperature Tout: Discharge temperature Tht1 : First temperature threshold value, Tht2: Second temperature threshold value, Thc1: First coefficient threshold value, Thc2: Second coefficient threshold value

Claims (9)

工具を保持し、回転駆動される主軸と、
前記主軸を回転可能に支持する軸受と、
流体が供給されることにより前記主軸の振動を抑制する減衰付加軸受と、
前記減衰付加軸受に前記流体を供給し、前記流体の流量を調整可能とする流体供給装置と、
前記減衰付加軸受から排出される流体の温度を検出する第一温度センサと、
前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度を検出する第二温度センサと、
前記第一温度センサにより検出される排出温度と前記第二温度センサにより検出される供給温度との差に基づいて、前記流体供給装置が供給する流体の流量を調整する制御装置と、
を備える、主軸装置。
A spindle that holds the tool and is driven to rotate;
A bearing that rotatably supports the main shaft;
A damping additional bearing that suppresses vibration of the main shaft by being supplied with fluid;
A fluid supply device for supplying the fluid to the damping additional bearing and making the flow rate of the fluid adjustable;
A first temperature sensor for detecting the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing;
A second temperature sensor for detecting the temperature of the fluid supplied from the fluid supply device to the damping additional bearing;
A control device for adjusting the flow rate of the fluid supplied by the fluid supply device based on the difference between the discharge temperature detected by the first temperature sensor and the supply temperature detected by the second temperature sensor ;
A spindle device comprising:
前記制御装置は、前記排出温度または前記差が第一温度閾値を上回った場合に、前記流体の流量を増加させる、請求項1に記載の主軸装置。 The spindle device according to claim 1, wherein the control device increases the flow rate of the fluid when the discharge temperature or the difference exceeds a first temperature threshold. 前記制御装置は、前記排出温度または前記差が前記第一温度閾値を上回った後において、前記第一温度閾値より小さな第二温度閾値を下回った場合に、前記流体の流量を減少させる、請求項に記載の主軸装置。 The control device decreases the flow rate of the fluid when the discharge temperature or the difference falls below a second temperature threshold smaller than the first temperature threshold after the discharge temperature or the difference exceeds the first temperature threshold. 2. The spindle device according to 2 . 前記流体供給装置は、一定温度に維持された前記流体を前記減衰付加軸受へ供給する、請求項またはに記載の主軸装置。 The spindle device according to claim 2 or 3 , wherein the fluid supply device supplies the fluid maintained at a constant temperature to the damping additional bearing. 前記第二温度閾値は、前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度以上の値に設定される、請求項に記載の主軸装置。 4. The spindle device according to claim 3 , wherein the second temperature threshold is set to a value equal to or higher than a temperature of a fluid supplied from the fluid supply device to the damping additional bearing. 工具を保持し、回転駆動される主軸と、
前記主軸を回転可能に支持する軸受と、
流体が供給されることにより前記主軸の振動を抑制する減衰付加軸受と、
前記減衰付加軸受に前記流体を供給し、前記流体の流量を調整可能とする流体供給装置と、
前記減衰付加軸受から排出される流体の温度を検出する第一温度センサと、
前記流体供給装置から前記減衰付加軸受へ供給される流体の温度を検出する第二温度センサと
前記第一温度センサにより検出される排出温度および前記第二温度センサにより検出される供給温度に基づいて減衰係数相当値を算出し、前記減衰係数相当値が第一係数閾値を下回った場合に、前記流体供給装置が供給する流体の流量を増加させる制御装置と、
を備える、主軸装置。
A spindle that holds the tool and is driven to rotate;
A bearing that rotatably supports the main shaft;
A damping additional bearing that suppresses vibration of the main shaft by being supplied with fluid;
A fluid supply device for supplying the fluid to the damping additional bearing and making the flow rate of the fluid adjustable;
A first temperature sensor for detecting the temperature of the fluid discharged from the damping additional bearing;
A second temperature sensor for detecting the temperature of the fluid supplied from the fluid supply device to the damping additional bearing ;
Wherein calculating an attenuation factor equivalent value based on the supply temperature detected by the first temperature wherein the second temperature sensor and contact discharge temperature detected by the sensor, when the attenuation coefficient corresponding value is below the first coefficient threshold A control device for increasing the flow rate of the fluid supplied by the fluid supply device ;
A spindle device comprising:
前記制御装置は、前記減衰係数相当値が前記第一係数閾値を下回った後において、前記減衰係数相当値が前記第一係数閾値より大きな第二係数閾値を上回った場合に、前記流体の流量を減少させる、請求項に記載の主軸装置。 When the damping coefficient equivalent value exceeds a second coefficient threshold value greater than the first coefficient threshold value after the damping coefficient equivalent value falls below the first coefficient threshold value, the control device controls the flow rate of the fluid. The spindle apparatus according to claim 6 , which is reduced. 前記制御装置は、前記流体供給装置により供給される流量を予め設定された上限値以下とする、請求項1〜の何れか一項に記載の主軸装置。 The spindle device according to any one of claims 1 to 7 , wherein the control device sets a flow rate supplied by the fluid supply device to a preset upper limit value or less. 前記制御装置は、前記流体供給装置により供給される流量を予め設定された下限値以上とする、請求項1〜の何れか一項に記載の主軸装置。 The spindle device according to any one of claims 1 to 8 , wherein the control device sets a flow rate supplied by the fluid supply device to a predetermined lower limit value or more.
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