JP6315683B2 - プリント基板検査装置及びプリント基板検査システム - Google Patents

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Description

本発明は、プリント基板検査装置及びプリント基板検査システムに関する。
従来、基板搬送経路に沿って搬送されるプリント基板を所定の基板停止位置に配置させて、プリント基板への所定の作業を行う装置、及び該プリント基板の位置検出に用いられる基板検出装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、プリント基板を保持して2次元面内を移動するステージをカメラに対して相対移動させながら、プリント基板表面を撮影することにより、プリント基板の検査を行う検査装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。
特開2005−45140号公報 特開2004−317291号公報
上記特許文献2のように、検査装置においてはステージが移動することから、作業者が誤って検査装置内に手を入れないよう、プリント基板の搬入口や搬出口に扉を設けることが好ましい。しかしながら、扉を設けた場合、扉とプリント基板とが接触することによりプリント基板が損傷するおそれがある。
1つの側面では、本発明は、プリント基板と開閉扉との接触を抑制することが可能なプリント基板検査装置及びプリント基板検査システムを提供することを目的とする。
一つの態様では、プリント基板検査装置は、外部から搬入されたプリント基板を検査し、検査後の前記プリント基板を外部へ搬出するプリント基板検査装置であって、前記プリント基板の外部からの搬入及び/又は前記プリント基板の外部への搬出の際に前記プリント基板が通過する開口を開閉する開閉扉と、前記開閉扉が閉状態において存在する位置に、前記プリント基板が位置していないかを検出するとともに、前記開閉扉が閉状態か否かを検出する光反射型のセンサと、前記光反射型のセンサの検出結果に基づいて、前記開閉扉の開閉を制御する制御部と、を備えている。
一つの態様では、プリント基板検査システムは、上記プリント基板検査装置と、前記プリント基板検査装置に対して前記プリント基板を搬入する第1搬送装置と、前記プリント基板検査装置から排出された前記プリント基板を搬送する第2搬送装置と、を備えている。
プリント基板と開閉扉との接触を抑制することができる。
一実施形態に係るプリント基板検査システムの構成を概略的に示す図である。 ステージ部を拡大して示す図である。 プリント基板検査装置の制御系を示すブロック図である。 図4(a)〜図4(c)は、基板搬出検知センサの機能について説明するための図である。 制御装置のハードウェア構成図である。 プリント基板検査装置の処理の概要を示すフローチャートである。 図6のステップS10の具体的処理を示すフローチャートである。 図6のステップS14の具体的処理を示すフローチャートである。 図9(a)〜図9(c)は、図7の処理を説明するための図(その1)である。 図10(a)〜図10(c)は、図7の処理を説明するための図(その2)である。 図11(a)〜図11(c)は、図8の処理を説明するための図(その1)である。 図12(a)、図12(b)は、図8の処理を説明するための図(その2)である。
以下、プリント基板検査システムの一実施形態について、図1〜図12に基づいて詳細に説明する。
図1には、一実施形態にかかるプリント基板検査システム100の概略構成が示されている。図1に示すように、プリント基板検査システム100は、プリント基板検査装置10と、第1搬送装置としての上流側コンベア60と、第2搬送装置としての下流側コンベア70と、を備える。なお、図1等においては、上流側コンベア60と下流側コンベア70によりプリント基板Pが搬送される方向をY軸方向、水平面内でY軸方向に直交する方向をX軸方向、X,Y軸方向に直交する方向をZ軸方向としている。また、以下においては、+Y側を上流側、−Y側を下流側とも呼ぶものとする。
プリント基板検査装置10は、上流側コンベア60によって搬送されてきたプリント基板Pを受け入れ、プリント基板Pの検査を行い、検査が終了したプリント基板Pを下流側コンベア70に受け渡す。
プリント基板検査装置10は、図1に示すように、筐体50と、筐体50内部に設けられた検査部20と、移動部としてのステージ部40と、を備える。
筐体50は、+Y側の壁に形成されたプリント基板の搬入口50aと、−Y側の壁に形成されたプリント基板の搬出口50bと、を有する。搬入口50aは、プリント基板Pの外部からの搬入の際にプリント基板Pが通過する開口であり、該搬入口50a近傍には、搬入口50aを開閉する上流側シャッタ52Aが設けられている。搬出口50bは、プリント基板Pの外部への搬出の際にプリント基板Pが通過する開口であり、該搬出口50b近傍には、搬出口50bを開閉する開閉扉としての下流側シャッタ52Bが設けられている。上流側シャッタ52Aは、図3に示す制御装置30の指示の下、上流側シャッタ開閉部26により上下方向(Z軸方向)に駆動される。下流側シャッタ52Bは、制御装置30の指示の下、下流側シャッタ開閉部28により上下方向(Z軸方向)に駆動される。
検査部20は、撮影装置と、照明装置と、を有する。撮像装置は、筐体50内の所定位置に固定されている。撮影装置は、制御装置30の指示の下、プリント基板Pの表面の所定範囲を撮影する。照明装置は、撮影装置が撮影を行う際に、制御装置30の指示の下、閃光を発光し、プリント基板Pの表面を照明する。
ステージ部40は、図2に拡大して示すように、XYステージ44と、XYステージ44の上面に設けられたコンベア42と、ステージ駆動部22(図3参照)と、コンベア駆動部24(図3参照)と、を有する。
XYステージ44は、制御装置30の指示の下、ステージ駆動部22によりXY方向に駆動される。ステージ駆動部22は、送りねじ方式の駆動装置や、リニアモータ等を含んでいる。
コンベア42は、その上面が−Y方向に移動するように、制御装置30の指示の下、コンベア駆動部24により駆動される。コンベア42は、プリント基板Pを−Y方向に移動させるためのものである。
ステージ部40には、図3に示すようなセンサ群11が設けられている。センサ群11は、基板搬入センサ12と、減速センサ14と、基板停止センサ16と、基板搬出検知センサ18と、を含んでいる。なお、各センサ12,14,16,18は、一例として、図2のように配置されている。
基板搬入センサ12は、XYステージ44の+Y側端部近傍に設けられ、プリント基板Pが上流側コンベア60から搬入されてきたことを検出するためのセンサである。基板搬入センサ12としては、Z軸方向に光を照射する光照射部と、光照射部が照射し、プリント基板Pで反射した光を受光する受光部を有し、受光部における受光量の変化に基づいて、プリント基板Pの存在有無を検出する反射型センサを用いることができる。
減速センサ14は、XYステージ44のY軸方向中央部近傍に設けられ、プリント基板Pの−Y端部がコンベア42中間付近まで移動してきたことを検出するためのセンサである。減速センサ14としては、基板搬入センサ12と同様、反射型センサを用いることができる。
基板停止センサ16は、XYステージ44の−Y端部近傍に設けられ、プリント基板Pがコンベア42(XYステージ44)の−Y端部近傍に位置しているか否かを検出するためのセンサである。基板停止センサ16としては、基板搬入センサ12、減速センサ14と同様、反射型センサを用いることができる。
基板搬出検知センサ18は、XYステージ44の基板停止センサ16下方に設けられており、図4(a)に示すように、筐体50の下流側の搬出口50b近傍に位置した状態で、破線にて示す範囲にプリント基板Pが存在するか否かを検出するセンサである。基板搬出検知センサ18としては、例えば、拡散反射型のセンサを用いることができる。すなわち、基板搬出検知センサ18は、投光部と受光部とを有し、投光部から投光された光が図4(b)に示すようにプリント基板Pにあたって反射し、受光部における受光量が変化した場合に、プリント基板Pが搬出口50b近傍に存在していることを検出する。
なお、基板搬出検知センサ18は、図4(c)に示すように、下流側シャッタ52Bに設けられた反射部材54で反射した光を受光部で受光することで、下流側シャッタ52Bが閉状態であるか否かを検出することもできるようになっている。
なお、センサ群11に含まれる各センサの検出結果は、制御装置30に送信される。制御装置30では、各センサの検出結果を用いて、各種処理を実行する。図5には、制御装置30のハードウェア構成が示されている。この図5に示すように、制御装置30は、CPU(Central Processing Unit)90、ROM(Read Only Memory)92、RAM(Random Access Memory)94、記憶部(ここではHDD(Hard Disk Drive))96、ネットワークインタフェース97、及び可搬型記憶媒体用ドライブ99等を備えている。これら制御装置30の構成各部は、バス98に接続されている。制御装置30では、ROM92あるいはHDD96に格納されているプログラム、或いは可搬型記憶媒体用ドライブ99が可搬型記憶媒体91から読み取ったプログラムをCPU90が実行することにより、図6〜図8の処理が実現される。
(プリント基板検査装置10の処理)
次に、プリント基板検査装置10(制御装置30)の処理について、図6〜図8のフローチャートに沿って、その他図面を適宜参照しつつ詳細に説明する。
まず、図6のフローチャートに沿って、プリント基板検査装置10(制御装置30)の処理の概要について説明する。図6の処理では、まず、ステップS10において、制御装置30が、プリント基板搬入処理のサブルーチンを実行する。このステップS10では、制御装置30は、上流側コンベア60から搬送されてくるプリント基板Pを受け入れ、XYステージ44上の所定位置にプリント基板Pを位置決めする処理を実行する。具体的には、制御装置30は、図7のフローチャートに沿った処理を実行するが、その詳細については後述する。
次いで、ステップS12では、制御装置30は、検査処理を実行する。この検査処理においては、制御装置30は、プリント基板Pが所定位置に位置決めされたXYステージ44をXY平面内で移動しつつ、検査部20の撮影装置により、プリント基板Pの表面(ハンダの状態等)を撮影することで、検査を実行する。
次いで、ステップS14では、制御装置30が、プリント基板搬出処理を実行する。このステップS14では、制御装置30は、検査が終了したプリント基板Pを下流側コンベア70に受け渡す処理を実行する。具体的には、制御装置30は、図8のフローチャートに沿った処理を実行するが、その詳細については後述する。
次いで、ステップS16では、制御装置30が、終了か否かを判断する。例えば、作業者によって終了指示が出された場合や、検査予定のプリント基板の検査がすべて終了した場合などに、本ステップS16の判断は肯定される。ステップS16の判断が肯定された場合には、制御装置30は、図6の全処理を終了するが、否定された場合には、ステップS10に戻り、次のプリント基板に対する処理(S10〜S14)を実行する。
(プリント基板搬入処理)
次に、制御装置30によるプリント基板搬入処理(S10)について、図7のフローチャートに沿って、その他図面を適宜参照しつつ詳細に説明する。
図7の処理では、まず、ステップS20において、制御装置30は、ステージ駆動部22を介して、XYステージ44を上流側の搬入口50a近傍に移動させる。この場合、図9(a)に示すような位置にXYステージ44が位置決めされる。
次いで、ステップS22では、制御装置30が、上流側シャッタ開閉部26を介して、図9(b)に示すように、上流側シャッタ52Aを開く。なお、このタイミングで、制御装置30は、上流側コンベア60に対して指示を出し、上流側コンベア60によるプリント基板Pのプリント基板検査装置10内への搬送を開始させる。
次いで、ステップS24では、制御装置30が、コンベア駆動部24を介して、コンベア42の駆動を開始する。次いで、ステップS26では、制御装置30が、プリント基板Pが基板搬入センサ12により検出されるまで待機する。すなわち、コンベア42の駆動により、プリント基板Pが図9(c)に示す位置まで移動した段階で、制御装置30は、ステップS28に移行する。
ステップS28に移行すると、制御装置30は、プリント基板Pが減速センサ14により検出されるまで待機する。すなわち、コンベア42の駆動により、プリント基板Pが図10(a)に示す位置まで移動した段階で、制御装置30は、ステップS30に移行する。
ステップS30に移行すると、制御装置30は、コンベア駆動部24を介して、コンベア42を減速する。次いで、ステップS34では、制御装置30が、プリント基板Pが基板停止センサ16により検出されるまで待機する。すなわち、コンベア42の駆動により、プリント基板Pが図10(b)に示す位置(所定位置)まで移動した段階で、制御装置30は、ステップS36に移行する。
ステップS36に移行すると、制御装置30は、コンベア駆動部24の駆動を停止することで、コンベア42を停止させる。なお、本実施形態では、ステップS30において、コンベア42を減速させているので、プリント基板Pが所定位置に達したタイミングでプリント基板Pを停止させ、位置決めすることができる。
次いで、ステップS38では、制御装置30が、上流側シャッタ開閉部26に指示を出し、図10(c)に示すように上流側シャッタ52Aを閉じる。
以上により、プリント基板検査装置10内(XYステージ44上)へのプリント基板Pの搬入が終了する。
(プリント基板搬出処理)
次に、制御装置30によるプリント基板搬出処理(S14)について、図8のフローチャートに沿って、その他図面を参照しつつ詳細に説明する。
図8の処理では、まず、ステップS50において、制御装置30は、ステージ駆動部22を介して、XYステージ44を下流側の搬出口50b近傍に移動させる。この場合、図11(a)に示すような位置にXYステージ44が位置決めされる。
次いで、ステップS52では、制御装置30が、下流側シャッタ開閉部28を介して、図11(b)に示すように、下流側シャッタ52Bを開く。なお、このタイミングで、制御装置30は、下流側コンベア70に駆動を開始させる。
次いで、ステップS54では、制御装置30が、コンベア駆動部24を介して、コンベア42の駆動を開始する。なお、制御装置30は、ステップS50〜54の間に、基板搬出検知センサ18による検知処理を開始しているものとする。
次いで、ステップS56では、制御装置30は、プリント基板Pが基板停止センサ16により検出されなくなるまで待機する。すなわち、図11(c)に示すように、プリント基板Pがコンベア42から下流側コンベア70にほぼ受け渡された段階で、制御装置30は、ステップS58に移行する。
ステップS58に移行すると、制御装置30が、プリント基板Pが基板搬出検知センサ18により検出されなくなるまで待機する。すなわち、図12(a)に示すように、プリント基板Pが搬出口50bを完全に通過し、プリント基板Pと下流側シャッタ52Bとが干渉しない位置(接触しない位置)まで移動した段階で、制御装置30は、ステップS60に移行する。
ステップS60に移行すると、制御装置30は、コンベア駆動部24の駆動を停止することで、コンベア42を停止させる。次いで、ステップS62では、制御装置30が、上流側シャッタ開閉部26に指示を出し、図12(b)に示すように下流側シャッタ52Bを閉じる。なお、下流側シャッタ52Bが閉まったか否かは、前述のように、基板搬出検知センサ18を図4(c)のように用いて検知するようにしてもよい。これにより、下流側シャッタ52Bが閉じているか否かを検出するための専用のセンサを用意しなくてもよくなるため、部品点数の削減及び装置のコスト低減を図ることができる。
以上により、プリント基板検査装置10内(XYステージ44上)からのプリント基板Pの搬出が終了する。
以上、詳細に説明したように、本実施形態によると、プリント基板検査装置10は、プリント基板Pの外部への搬出の際にプリント基板Pが通過する搬出口50bを開閉する下流側シャッタ52Bと、下流側シャッタ52Bが閉状態において存在する位置にプリント基板Pが位置しているか否かを検出する基板搬出検知センサ18と、基板搬出検知センサ18の検出結果に基づいて、下流側シャッタ52Bの開閉を制御する制御装置30と、を備えている。これにより、プリント基板検査装置10内に作業者が手を入れないように下流側シャッタ52Bを設けた場合において、プリント基板Pと下流側シャッタ52Bとの接触を抑制することが可能となる。例えば、下流側コンベア70側においてプリント基板が詰まり、基板停止センサ16によりプリント基板が検出されないにもかかわらず、下流側シャッタ52Bと接触する位置にプリント基板Pが位置しているような場合でも、下流側シャッタ52Bとプリント基板Pとの接触を防止することができる。
また、本実施形態によると、基板搬出検知センサ18は、光反射型(拡散反射型)のセンサであり、下流側シャッタ52Bと接触する位置にプリント基板Pが位置しているか否かを検出するほか、下流側シャッタ52Bが閉塞されているか否かを検出する。これにより、下流側シャッタ52Bが閉じているか否かを検出するための専用のセンサを用意しなくてもよくなるため、部品点数の削減及び装置のコスト低減を図ることができる。また、本実施形態では、基板搬出検知センサ18として比較的検出範囲の広い拡散反射型のセンサを用いることで、例えば、切り欠き等が形成されたプリント基板であっても誤検出を少なくすることができる。
また、本実施形態によると、プリント基板検査システム100は、プリント基板検査装置10と、上流側コンベア60と、下流側コンベア70とを備えているので、プリント基板Pが搬送経路(上流側コンベア60及び下流側コンベア70を含む)を搬送されている間に、検査を実行することが可能となる。
なお、上記実施形態では、搬入口50a及び搬出口50bを開閉する開閉扉がシャッタである場合について説明したが、これに限られるものではない。その他の開閉可能な扉を採用しても良い。
また、上記実施形態では、下流側シャッタ52Bとプリント基板Pとの接触を回避するために、基板搬出検知センサ18を用いる場合について説明したが、これに代えて、又はこれとともに、上流側シャッタ52Aとプリント基板Pとの接触を回避するために、基板搬出検知センサ18と同様のセンサを用いることとしてもよい。
なお、上記実施形態では、XYステージ44の一部に基板搬出検知センサ18を設ける場合について説明したが、これに限らず、筐体50内の所定箇所に基板搬出検知センサ18を設けることとしてもよい。
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、処理装置が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体(ただし、搬送波は除く)に記録しておくことができる。
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたDVD(Digital Versatile Disc)、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)などの可搬型記録媒体の形態で販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送されるごとに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
上述した実施形態は本発明の好適な実施の例である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。
なお、以上の実施形態の説明に関して、更に以下の付記を開示する。
(付記1) 外部から搬入されたプリント基板を検査し、検査後の前記プリント基板を外部へ搬出するプリント基板検査装置であって、
前記プリント基板の外部からの搬入及び/又は前記プリント基板の外部への搬出の際に前記プリント基板が通過する開口を開閉する開閉扉と、
前記開閉扉が閉状態において存在する位置に、前記プリント基板が位置しているか否かを検出するセンサと、
前記センサの検出結果に基づいて、前記開閉扉の開閉を制御する制御部と、
を備えるプリント基板検査装置。
(付記2) 前記センサは、光反射型のセンサであり、
前記開閉扉が閉状態において存在する位置に、前記プリント基板が位置しているか否かを検出するとともに、前記開閉扉が閉塞されているか否かを検出することを特徴とする付記1に記載のプリント基板検査装置。
(付記3) 前記プリント基板を保持して移動する移動部と、
前記移動部が前記プリント基板を保持して移動している間に、前記プリント基板を撮影する検査部と、を更に備える付記1又は2に記載のプリント基板検査装置。
(付記4) 付記1又は2に記載のプリント基板検査装置と、
前記プリント基板検査装置に対して前記プリント基板を搬入する第1搬送装置と、
前記プリント基板検査装置から排出された前記プリント基板を搬送する第2搬送装置と、
を備えるプリント基板検査システム。
(付記5) 前記第1搬送装置及び/又は前記第2搬送装置は、前記プリント基板検査装置の前記制御部からの指示を受信して、前記プリント基板を搬送することを特徴とする付記4に記載のプリント基板検査システム。
10 プリント基板検査装置
18 基板搬出検知センサ(センサ)
20 検査部
30 制御部
40 ステージ部(移動部)
50b 搬出部(開口)
52B 下流側シャッタ(開閉扉)
60 上流側コンベア(第1搬送装置)
70 下流側コンベア(第2搬送装置)
100 プリント基板検査システム
P プリント基板

Claims (3)

  1. 外部から搬入されたプリント基板を検査し、検査後の前記プリント基板を外部へ搬出するプリント基板検査装置であって、
    前記プリント基板の外部からの搬入及び/又は前記プリント基板の外部への搬出の際に前記プリント基板が通過する開口を開閉する開閉扉と、
    前記開閉扉が閉状態において存在する位置に、前記プリント基板が位置していないかを検出するとともに、前記開閉扉が閉状態か否かを検出する光反射型のセンサと、
    前記光反射型のセンサの検出結果に基づいて、前記開閉扉の開閉を制御する制御部と、
    を備えるプリント基板検査装置。
  2. 前記光反射型のセンサは、拡散反射型のセンサである、ことを特徴とする請求項1に記載のプリント基板検査装置。
  3. 請求項1又は2に記載のプリント基板検査装置と、
    前記プリント基板検査装置に対して前記プリント基板を搬入する第1搬送装置と、
    前記プリント基板検査装置から排出された前記プリント基板を搬送する第2搬送装置と、
    を備えるプリント基板検査システム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07102450B2 (ja) * 1990-11-29 1995-11-08 松下電器産業株式会社 リフロー装置
JP4601872B2 (ja) * 2001-07-19 2010-12-22 パナソニック株式会社 回路基板加工機の回路基板検出方法及び回路基板検出装置
JP2004226127A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 On Denshi Kk 基板検査方法
JP4893727B2 (ja) * 2008-11-05 2012-03-07 パナソニック株式会社 基板搬送装置、電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置の作業方法
JP5791456B2 (ja) * 2011-10-06 2015-10-07 富士機械製造株式会社 基板搬送制御システム及び部品実装ライン用工程機
JP5912552B2 (ja) * 2012-01-12 2016-04-27 ヤマハ発動機株式会社 X線検査装置

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