JP6311894B2 - Threading prevention method in spray application - Google Patents
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Description
この発明は,半導体シリコンチップ,ガラス基板,各種実装基板,および金属部材等の被塗布物の表面に,液体フォトレジスト剤,防湿絶縁剤,表面保護膜,機能性塗布剤等の液体材料を霧化させて薄い成膜を形成するスプレー塗布装置および方法に関し,特に粘度の高い液体材料を用いた場合であっても,いわゆる糸引き現象の発生を未然に防止できるスプレー塗布における糸引き防止方法に関するものである。 In the present invention, liquid materials such as a liquid photoresist agent, a moisture-proof insulating agent, a surface protective film, and a functional coating agent are sprayed on the surface of a semiconductor silicon chip, a glass substrate, various mounting substrates, and metal objects. relates spray coating apparatus and method for forming a thin film formation by reduction, even especially when using a high liquid material viscosity, it relates to the stringing preventing method in a spray coating that can prevent the occurrence of so-called stringiness in advance Is.
半導体シリコン,ガラス基板,実装回路基板には,各種の機能性液体塗布剤や防湿絶縁材料などを部分的に塗布する技術が必須となっている。 Techniques for partially applying various functional liquid coating agents, moisture-proof insulating materials, and the like to semiconductor silicon, glass substrates, and mounted circuit boards are essential.
また最近の高密度実装化した小型回路基板などにおいては,防湿絶縁材料の他に放熱熱伝導性材料や導電性接着剤を局所的に塗布したり,各種の機能性効果を付与させるための液体材料を局部的に塗布することも要求されている。 Also, in recent small circuit boards with high-density mounting, in addition to moisture-proof insulating materials, heat-dissipating heat conductive materials and conductive adhesives are locally applied, and liquids are used to provide various functional effects. There is also a need to apply the material locally.
このような液体材料の部分的ないしは局所的な塗布においては,液体材料の飛散が問題となるので,多くの場合,塗布を要しない領域にマスキングを設けることが必要となり,そのために過大な労力とコストアップにつながる。 In such partial or local application of liquid material, scattering of the liquid material becomes a problem, and in many cases, it is necessary to provide masking in an area where application is not required. It leads to cost increase.
本発明者は,塗膜欠陥となる発泡やたまりの塗膜面を生ずることなしに見切り鮮明な塗布スプレー幅の形成ができ,マスキングを必要とする実装回路基板等へも,マスキングなしに選択的にコーティングすることができる液体材料噴射バルブ(スプレーガン)を提案した(特許文献1)。 The present inventor can form a clear coating spray width without causing foaming or pooled coating surfaces that cause coating film defects, and can be selectively applied to mounted circuit boards that require masking without masking. A liquid material injection valve (spray gun) that can be coated on the surface has been proposed (Patent Document 1).
本発明者は,実装回路基板等へのスプレー塗布についてさらに研究を重ねた結果,凸部に塗布した場合には,乾燥する前に液体塗布材料に垂れが生じ,膜厚が薄くなる傾向があることが分った。この傾向は特に溶剤を多量に含んだ粘度の低い液体塗布材料において顕著で,凹凸の存在にかかわらずできるだけ均一な膜厚にするためには,液体塗布材料の粘度を極力高くしなければならない。 As a result of further research on spray coating on a mounted circuit board, the present inventor has a tendency that the liquid coating material sags before drying, resulting in a thin film thickness when applied to a convex portion. I found out. This tendency is particularly noticeable in low-viscosity liquid coating materials containing a large amount of solvent. In order to obtain a uniform film thickness as much as possible regardless of the presence of irregularities, the viscosity of the liquid coating material must be made as high as possible.
粘度の高い液体塗布材料,特に材料メーカが供給する原液を用いた場合には,吹き付けた液体材料が微粒化せずに吐出口から糸状に出る現象(いわゆる糸引き現象,Generation of Angel Hair)が生じることがある。 When using high-viscosity liquid coating materials, especially undiluted solutions supplied by material manufacturers, the sprayed liquid material does not atomize and the thread exits into a thread shape (so-called stringing phenomenon, Generation of Angel Hair). May occur .
この発明は,原液等の粘度の高い液体塗布材料を用いても,いわゆる糸引き現象を未然に防止するスプレー塗布における糸引き防止方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a stringing prevention method in spray coating that prevents a so-called stringing phenomenon even when a liquid coating material having a high viscosity such as a stock solution is used.
この発明によるスプレー塗布装置は,液体塗布材料を吐出する吐出孔および前記吐出孔から吐出される液体塗布材料を微粒化する圧縮エアーの吹出口を有するスプレーガン(塗布バルブ装置),前記スプレーガンに液体塗布材料を供給する液体塗布材料供給装置,ならびに前記スプレーガンの前記圧縮エアー吹出口に供給する溶剤ミスト混合圧縮エアーを生成して供給する溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置を備えるものである。 A spray coating apparatus according to the present invention includes a spray gun (coating valve apparatus) having a discharge hole for discharging a liquid coating material and a compressed air outlet for atomizing the liquid coating material discharged from the discharge hole. A liquid coating material supply device that supplies a liquid coating material, and a solvent mist mixed compressed air supply device that generates and supplies solvent mist mixed compressed air to be supplied to the compressed air outlet of the spray gun are provided.
一実施態様では,前記溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置が,溶剤タンクと,圧縮エアー供給装置と,前記圧縮エアー供給装置から供給される圧縮エアーにより溶剤タンクからの溶剤を霧化する溶剤ミスト発生装置とを備えているものである。 In one embodiment, the solvent mist mixed compressed air supply device includes a solvent tank, a compressed air supply device, and a solvent mist generator that atomizes the solvent from the solvent tank by compressed air supplied from the compressed air supply device. It is equipped with.
この発明によるスプレー塗布方法は,ノズルの吐出孔から吐出される液体塗布材料を,その近傍の吹出口から吹出される圧縮エアーにより微粒化するスプレーガンを用い,溶剤ミストを発生させ,この溶剤ミストが混入した圧縮エアーを前記吹出口に供給して液体塗布材料を微粒化するものである。 In the spray coating method according to the present invention, a solvent mist is generated by using a spray gun for atomizing a liquid coating material discharged from a discharge hole of a nozzle by compressed air blown from a blower outlet in the vicinity thereof. Compressed air mixed with is supplied to the air outlet to atomize the liquid coating material.
好ましい実施態様では,流体塗布材料として液体塗布材料の原液を用いる(ことができる)。 In a preferred embodiment, a stock solution of liquid coating material can be used as the fluid coating material.
液体塗布材料の原液とは,液体塗布材料を吐出する吐出孔およびこの吐出孔から吐出される液体塗布材料を微粒化する圧縮エアーの吹出口を有するスプレーガン(塗布バルブ装置)を用い,液体塗布材料として原液を用い,かつ前記吹出口から圧縮エアーのみを吹出させた場合に,糸引き現象が発生してしまう程度に粘度の高い液体塗布材料を指す。一般的には液体塗布材料メーカーが販売する塗布材料で溶剤で希釈する前の材料である。メーカーは液中の固形分濃度を調整した上で液体塗布材料を販売している。液体塗布材料の原液については組成物の配合比率や,濃度についての特別の定めはなく,粘度,固形分比率はまちまちであり,同種類の塗布液材料であってもメーカーや型式が違えば原液の配合組成も相違するが,おおよそその粘度は 200〜1000センチポイズ程度で,その体積固形分比率は20〜70%程度のものが大半である。 Liquid coating material undiluted solution uses a spray gun (coating valve device) having a discharge hole for discharging the liquid coating material and a compressed air outlet for atomizing the liquid coating material discharged from the discharge hole. This refers to a liquid coating material having a viscosity high enough to cause a stringing phenomenon when a stock solution is used as a material and only compressed air is blown out from the outlet. Generally, it is a material before being diluted with a solvent by a coating material sold by a liquid coating material manufacturer. Manufacturers sell liquid coating materials after adjusting the solids concentration in the liquid. There are no special provisions regarding the composition ratio and concentration of the composition for liquid coating material stocks, and the viscosity and solid content ratios vary. Even if the same type of coating liquid material is used, the stock solution However, the viscosities are about 200-1000 centipoise, and the volume solid content is about 20-70%.
この発明によると,スプレーガンから吐出する液体塗布材料を微粒化する圧縮エアーとして溶剤ミスト混合(含有)圧縮エアーを用いているので,液体塗布材料は微粒化する過程で溶剤ミストにより希釈され,スプレーされる。したがって,液体塗布材料として原液を用いたとしても,この発明による溶剤ミスト混合圧縮エアーを用いなかったならば発生したであろう糸引き現象の発生を未然に防止することができる。溶剤ミストにより若干希釈されるとはいえスプレーされた塗布材料は依然として高い粘度を保有しているので,凹凸面に塗布した場合にも,垂れ,流れ等の発生が回避され,膜厚を厚く保持することができる。ノズルの詰りも発生しにくい。圧縮エアーにミスト化した溶剤を混合しているから,最低限の溶剤の使用量で済み,使用溶剤量を削減できる。このため,乾燥も速くなり,短い乾燥時間ですむ。 According to the present invention, since the solvent mist mixed (contained) compressed air is used as the compressed air for atomizing the liquid coating material discharged from the spray gun, the liquid coating material is diluted with the solvent mist in the process of atomization and sprayed. Is done. Therefore, even if the stock solution is used as the liquid coating material, it is possible to prevent the occurrence of the stringing phenomenon that would occur if the solvent mist mixed compressed air according to the present invention was not used. Although the sprayed coating material still has a high viscosity even though it is slightly diluted with solvent mist, it prevents dripping and flow even when applied to uneven surfaces, and keeps the film thickness thick. can do. No clogging of nozzles. Since the misted solvent is mixed with compressed air, the minimum amount of solvent used is sufficient, and the amount of solvent used can be reduced. This speeds up drying and requires a short drying time.
好ましい実施態様では,前記圧縮エアー吹出口に導かれる溶剤ミスト混合圧縮エアーに旋回流を形成させるスクリューアダプターが,前記スプレーガンの圧縮エアー供給路に設けられている。これにより,特許文献1に記載のように,見切り鮮明でかつ細い線幅の塗膜形成が可能となる。
In a preferred embodiment, a screw adapter for forming a swirl flow in the solvent mist mixed compressed air guided to the compressed air outlet is provided in the compressed air supply path of the spray gun. As a result, as described in
図1はスプレー塗布システムの全体的構成の概要を示すものである。 FIG. 1 shows an outline of the overall configuration of the spray coating system.
スプレー塗布システム10のハウジング19は機台19A上に設けられ,前面に作業口10Aを有している。ハウジング19内には塗装の対象物9が置かれる。対象物9の上方には,塗布バルブ装置20(スプレーガン(装置))が配置され,この塗布バルブ装置20はロボット装置14によって支持され,かつX,Y,Z方向の3次元方向に移動可能である。ハウジング19の上部前面には,制御盤,表示ランプ,動作用圧縮エアー圧力調整器24A, 124,霧化用圧縮エアー圧力調整器 123A等が配置される。ハウジング19の側面の中間の高さ位置には,制御装置(コンピュータ・システム)11およびCRT表示装置12が設けられている。スプレー塗布システム10の側方には,塗布液用圧送タンク(液体塗布材料貯留タンク)21,溶剤用送圧タンク(溶剤貯留タンク)(溶剤タンク)121が置かれる。
The
図2は液体塗布材料(塗布液),動作用圧縮エアー,溶剤,溶剤霧化用圧縮エアーおよび溶剤ミスト含有霧化用圧縮エアーの配管系統を示す。 FIG. 2 shows a piping system for liquid coating material (coating liquid), compressed air for operation, solvent, compressed air for solvent atomization, and compressed air for atomization containing solvent mist.
塗布バルブ装置20には,液体塗布材料タンク21から液体塗布材料(塗布液)圧送ホース22を通して液体塗布材料(塗布液)が供給される。また,後述する溶剤ミスト発生装置(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)120 から溶剤ミスト含有(混合)霧化用エアーホース23を通して溶剤ミスト混合圧縮エアーが塗布バルブ装置20に供給され,塗布バルブ装置20からは,塗布液が溶剤ミスト含有(混合)圧縮エアーによって微粒化されて形成された塗布材料スプレーが噴射される。塗布バルブ装置20から吐出される塗布材料は,溶剤ミストを含んだ圧縮エアーによって微粒化される(わずかに希釈される)ので,供給される液体塗布材料が原液であったとしてもいわゆる糸引きの発生が防止されるとともに,吐出孔における詰りの発生が回避される。
A liquid application material (application liquid) is supplied from the liquid
溶剤ミスト発生装置120には,溶剤タンク121から溶剤圧送ホース122 を経て溶剤が,また溶剤霧化用圧縮エアーホース123 を経て圧縮空気が供給され,溶剤のミストが発生し,ホース23を経て,塗布バルブ装置20に供給される。塗布バルブ装置20および溶剤ミスト発生装置120にはそれぞれ,動作用圧縮エアーホース24,124を経て動作用圧縮エアーが供給される。この配管系統のさらに詳しい説明は後述する。溶剤ミスト混合(含有)圧縮エアー供給装置は,溶剤ミスト発生装置120,この発生装置120に圧縮エアー(動作圧縮エアー)を供給するエアーホース123,エアーリレーバルブ128,圧力調整器123A,溶剤タンク121等により構成される。塗布材料供給装置は,液体塗布材料タンク21,圧力調整器21A,ホース22等から構成される。
塗布バルブ装置20の構成について,図3から図10を参照して以下に詳述する。
The configuration of the
図3および図4は塗布バルブ装置20の全体的構成を示す縦断面図であり,図3は吐出孔(ノズル孔)が閉じ,塗布バルブ装置20が液吐出動作を停止している状態を示し,図4は,吐出孔が開き,液を吐出している状態を示す。図5は,液体吐出ノズルおよびエクステンション部分の拡大図であり,液吐出状態(図4に対応)を示している。図6は図5のVI−VI線に沿う拡大断面端面図である。図7および図8は液体吐出ノズルを中心とする部分をさらに拡大して示すものであり,図7は液吐出動作停止状態(図3相当),図8は液吐出状態(図4相当)を示している。
3 and 4 are longitudinal sectional views showing the overall configuration of the
図3および図4において,塗布バルブ装置20のやや下部の位置にフルイドボディ30があり,このフルイドボディ30から下方に向ってエクステンション部40を経て液体吐出ノズル51に至る。フルイドボディ30の上部は駆動部となっている。
3 and 4, the
拡大した図5および図6を参照してフルイドボディ30とエクステンション部40について述べる。フルイドボディ30には,液体塗布材料導入孔31と圧縮霧化エアー(空気)導入孔34とが横方向に形成されている。導入孔31には液体塗布材料供給管32が接続されている。導入孔34には圧縮霧化エアー供給管35が接続されている。フルイドボディ30のこれらの導入孔31,34と交叉しない箇所を,図4の下から上に向って,貫通する複数本のボルト(図示略)によってフルイドボディ30はその上方のシリンダジョイント61に固定されている。
The
塗布バルブ装置20の圧縮霧化エアー導入孔34には,溶剤ミスト含有霧化エアーホース23を通して,溶剤ミスト発生装置120 から溶剤ミスト含有(混合)圧縮霧化エアーが供給されるので,この用法に限っていえば,導入孔34は溶剤ミスト含有(混合)圧縮霧化エアー導入孔34と称すべきであるが,塗布バルブ装置20それ自体は他の用途にも使用可能であるから,導入孔34を一般的に圧縮霧化エアー導入孔と呼ぶこととする。圧縮霧化エアーは,溶剤ミスト含有(混合)圧縮霧化エアーを含む概念である。このことは圧縮エアー供給管35,圧縮エアー供給路43にもあてはまる。
The solvent mist-containing (mixed) compressed atomized air is supplied from the solvent
液体塗布材料導入孔31は,フルイドボディ30の中心部において下方に曲って延びている(この部分を中心孔33という)。中心孔33の横断面は円形である。圧縮霧化エアー導入孔34もまた,中心孔33とは離隔した位置で下方に曲って延びている(この部分を連通孔36という)。中心孔33内には,中心孔33の内面との間に間隙をあけて液体吐出ニードル50が通っている。フルイドボディ30の中心孔33よりも上部にはOリングを含む軸受部37が設けられている。ニードル50は軸受部37のOリングによって気密を保って上下動自在に支持されている。
The liquid coating
フルイドボディ30の下部にはボス30Aが下方に突出して形成され,このボス30Aに下方に伸びるエクステンション外管42の上端部が螺合により固定されている。フルイドボディ30の中心孔33の下部内面に雌ねじが形成され,この雌ねじにエクステンション内管41の上端部の雄ねじが螺合して固定されている。ニードル50はエクステンション内管41の内面との間にわずかの間隙をあけて通り,下方に延びている。エクステンション内管41とエクステンション外管42との間には断面円環状の圧縮エアー供給路43が形成されている。圧縮エアー供給路43は連通孔36により圧縮エアー導入孔34につながっている。
A
エクステンション内管41の下端部には吐出ノズル51が螺合により固定されている。吐出ノズル51は中心部に断面円形の吐出孔51Aを有し,この吐出孔51Aは先端にいくほど細くなっている。他方,液体吐出ニードル50の断面は円形であり,その先端部50Aは先端にいくほど細くなり,先端が尖っている。この先端部50Aの断面も円形である。ニードル50が進出した状態では,図7に示すように,ニードル50の先端部50Aの一部はノズル51の吐出孔51Aよりも外方(下方)に突出し,先端部50Aの大部分はノズル51の吐出孔51Aの内面にぴったりと密着し,液体塗布材料の吐出を停止させる(液吐出動作停止状態)。
A
ニードル50が退入した状態では,図8に示すように,ニードル50の先端部50Aの外面と吐出ノズル51の吐出孔51Aの内面との間に間隙が生じ,液体塗布材料の吐出(噴出)が可能な状態となる(吐出動作状態)。ニードル先端部50Aとノズルの吐出孔51Aとの間の間隙の大きさは(これを開度という)吐出する液体の量(塗布幅)を制御するパラメータの一つである。
In the state in which the
エクステンション外管42の先端部(下端部)にはエアーキャップ52が螺合により固定されている。エアーキャップ52は吐出ノズル51の全体を間隙をあけて覆い,内面に噴出する圧縮エアーを収束させる収束内壁53を有し,先端にノズル51の吐出孔51Aよりも大きい圧縮エアー吹出口52Aがあけられている。さらに,エアーキャップ52には,ニードルカバー54が螺合により固定されている。ニードルカバー54は外方に向って開いている。
An
エクステンション内管41と外管42との先端部において,これらの間の圧縮エアー供給路43内には,スクリューアダプター45が収められ,固定(たとえば接着)されている。スクリューアダプター45は図9および図10に拡大して示すように,周面に5つのスクリュー溝46が形成されたもので,これらのスクリュー溝46は軸方向に15〜25度の傾斜角度を有している。そして,中心には内管41がぴったり入る孔47があけられている。このスクリューアダプター45は,供給路43内を流れる(溶剤ミスト含有)霧化圧縮エアーに旋回流を形成させ,ノズル51の吐出孔51Aとニードル50の先端部50Aとの間隙から吐出する液体の微粒化を促進させる。
A
すなわち,圧力調整された(後述する)液体塗布材料は供給管32,導入孔31,中心孔33を経て,エクステンション内管41内のニードル50との間の間隙を通って吐出ノズル51に供給される。一方,圧力調整されかつ溶剤ミストが混入された圧縮霧化エアーは,供給管35,導入孔34,連通孔36を経てエクステンション内管41と外管42との間の圧縮エアー供給路43に供給され,スクリューアダプター45により旋回流エアーとなって,吐出ノズル51を覆うエアーキャップ52内に吹き出す。吐出ノズル51から吐出される液体の霧化粒子は,エアーキャップ52の内壁53に沿ってその周囲を収束しながら旋回する溶剤ミスト含有圧縮エアーによって一定幅に収束され,噴出流スプレーパターンSPを形成する。旋回する溶剤ミスト含有圧縮エアーはノズル51から噴出する液体に溶剤ミストを振り掛けながらその霧化を促進し,かつ霧化粒子の飛散を防止する。
That is, the pressure-adjusted liquid coating material (described later) is supplied to the
スクリューアダプター45は,主に,ノズル51から噴出する霧化粒子を収束させて塗布幅を制限する働きをする。いわゆる糸引きの防止は圧縮霧化エアーに代えて溶剤ミスト含有圧縮霧化エアーを用いることにより達成される。したがって,糸引きの発生防止の目的のためにはスクリューアダプター45は必ずしも必要ではないので,スクリューアダプターを持たない塗布バルブ装置も適用可能である。
The
次に主に,図3,図4を参照して液体吐出ニードル50の駆動部について説明する。
Next, the drive unit of the
シリンダジョイント61の上に,ジョイント62,さらにその上にシリンダ63が一直線上に配置され,かつこれらはボルト(図示略)により相互に固定的に連結されている。シリンダ63の上にリニアアクチュエータ70が配置され,ボルトによりシリンダ63に固定されている。リニアアクチュエータ70は吐出ノズル51の開度を制御するものである。リニアアクチュエータ70から下方に進退自在に突出するアジャスタシャフト71は一種のストッパとして働き,その下端面の位置が開度を決定する。
On the cylinder joint 61, a joint 62 and a
シリンダ63の内部にはピストン64が摺動自在に収められており,ピストン64の中心にピストン棒65が固定されている。ピストン棒65の下部はニードル50の上部とカップリング66により固定的に連結(結合)されている。ピストン棒65の上部はピストン64を突き抜け,上端部にピストンキャップ68が設けられている。ピストンキャップ68はアジャスタシャフト71の下端面に接しうる位置にある。カップリング66はシリンダジョイント61内に形成された円筒孔内を上下動自在である。シリンダ63内のコイルスプリング69がピストン64を常時下方に付勢している。シリンダ63の内部(ピストン64の下方の空間)には,ジョイント62に設けられた圧縮エアー供給管67から供給される圧縮エアーがジョイント62内の供給孔を通して送られる。
A
リニアアクチュエータは,たとえばモータとモータの回転をアジャスタシャフト71の軸方向運動(移動)に変換する機構(たとえば,モータによって回転されるボールねじとボールねじに嵌合するナット)とを含む。 The linear actuator includes, for example, a motor and a mechanism that converts rotation of the motor into axial movement (movement) of the adjuster shaft 71 (for example, a ball screw rotated by the motor and a nut fitted to the ball screw).
シリンダ63内に圧縮エアーが供給されていない状態では,図3に示すように,スプリング69の力によってピストン64が下方に押され,ピストン64はジョイント62に接している。この状態では,ピストン64に固定されたピストン棒65にカップリング66により連結されたニードル50が下降した位置にあり,ニードル50の先端部50Aは吐出ノズル51を閉じている(図7に示す状態)。
In a state where compressed air is not supplied into the
圧縮エアーが供給されると,図4に示されるように,ピストン64はスプリング69の付勢力に抗して上昇し,これによりピストン棒65も上昇して,キャップ68がアジャスタシャフト71の下端面に当って止る。したがって,ニードル50の上昇はアジャスタシャフト71の下端面の位置によって定まる。ニードル50の下端部50Aの外周面は吐出ノズル51の吐出孔51A内面から離れ,液体が吐出する(図8に示す状態)。吐出ノズル51の開度はアジャスタシャフト71の下端面の位置によって定まる。すなわち,吐出ノズル51の開度はリニアアクチュエータ70によって制御される。
When compressed air is supplied, as shown in FIG. 4, the
図11は上述した塗布バルブ装置(液体塗布材料噴射バルブ装置)と,これに溶剤含有ミストを供給する溶剤ミスト発生装置(溶剤ミスト噴射バルブ装置)とを示すものである。また,図12は溶剤ミスト発生装置の主要部を拡大して示すものである。この実施例の溶剤ミスト発生装置は,溶剤を吐出する吐出孔(ノズル)と吐出孔から吐出される溶剤を微粒化(霧化)する圧縮エアーの吹出口を有するという点で一種のスプレーガンであり,その基本的構造は塗布バルブ装置20と同じであるので(エクステンション部40やスクリューアダプター45がない点で異なる部分もあるが),以下では,上述したものと重複する説明を省略する。
FIG. 11 shows the above-described coating valve device (liquid coating material injection valve device) and a solvent mist generating device (solvent mist injection valve device) for supplying solvent-containing mist thereto. FIG. 12 shows an enlarged main part of the solvent mist generator. The solvent mist generator of this embodiment is a kind of spray gun in that it has a discharge hole (nozzle) for discharging the solvent and a compressed air outlet for atomizing (atomizing) the solvent discharged from the discharge hole. The basic structure is the same as that of the coating valve device 20 (although there are some differences in the absence of the
フルイドボディ130において,溶剤導入孔131は,フルイドボディ130 の中心部を下方にのびる中心孔133に連通している。中心孔133の下部内には導出管141 が固定されている。中心孔133と導出管141の内部は連通している。導出管141の下端部に吐出ノズル151が螺合されて固定されている。ノズル151の先端が溶剤吐出孔である。中心孔133,導出孔141 内部およびノズル151内を溶剤吐出ニードル150がその周囲に若干の溶剤通路をあけて上下動自在に通っている。ニードル150の先端部は先端にいくほど細くなり,ニードル150が進退することによりノズル151の吐出孔が開閉される。
In the
フルイドボディ130の下部にはエゼクター(エジェクター)ブロック140が螺合により固定されている。エゼクターブロック140内には噴出路143となる空間が形成され,この空間は下部において吹出口143Aとして開口している。またこの空間内に導出管141,ノズル151が入り,その周囲が圧縮霧化エアーが通る噴出路143となっている。フルイドボディ130 の圧縮霧化エアー導入孔134は連通孔136により噴出路143につながっている。導入孔134には圧縮霧化エアー供給管135を通して圧縮霧化エアーが導入される。
An
ニードル150が上昇すると,供給管132から供給される溶剤がニードル150と中心孔133,導出管141,ノズル151の内面との間の空間(間隙)を通ってノズル151 先端の吐出孔から噴出する。これと同時に,供給管135に供給される圧縮エアーが連通孔136から噴出路143 を経てノズル吐出孔の周囲の吹出口 143Aから噴出し,溶剤を霧化する。これにより,溶剤ミストを含有した(混合した)圧縮エアーがエゼクターブロック140 から噴出する。エゼクターブロック140に継手155により接続されたホース23を通して,噴出された溶剤ミスト含有霧化用圧縮エアーは塗布バルブ装置20の圧縮霧化エアー供給管35に供給される。ニードル150を進出させればノズル151の吐出孔が閉塞され,溶剤の噴出が停止する。このとき,圧縮エアーの供給も停止するとよい。
When the
ニードル150の上部はシリンダジョイント161内においてカップリング166 によりピストン棒165の下部に連結され,ピストン棒165の上部はシリンダ163内のピストン164に固定されている。ピストン164はコイルスプリング169により下方に付勢されている。したがって常時は,ピストン164は下降位置にあり,ピストン棒165を通してニードル150 も下降し,ノズル151の吐出孔を閉じている。圧縮空気供給管167に動作用圧縮空気が導入されると,ピストン164が上昇し,これに伴ってピストン棒165,ニードル150が上昇し,ノズル151の吐出孔が開き,上述のように溶剤が圧縮エアーとともに噴霧する。ピストン164 にはキャップ168が嵌められており,このキャップ168がシリンダ163 の上部に設けられた調整ねじ(ストッパ)170の下端に当り,ピストン164の上昇位置が規制される。調整ねじ170 を廻してその先端部をシリンダ内163で進退させることができ,これにより,ノズル151の吐出孔の開度が定まる。
The upper portion of the
図2に戻って,2つのバルブ装置20,120のニードル50,150を開閉する動作用圧縮エアーのオン,オフは,塗布動作用電磁弁26,霧化動作用電磁弁127 によって制御される。すなわち,コンプレッサ等(図示略)から供給される圧縮エアーはエアフィルター28A,ミストセパレータ28Bを経て,ホース(配管)126,27に分岐する。ホース126に供給される圧縮エアーは電磁弁127が開いたときに動作用圧縮エアー圧力調整器124Aを経てホース124 により,溶剤ミスト発生装置としてのバルブ装置120の動作用圧縮エアー供給管167に供給される。同じようにホース27に供給された圧縮エアーは電磁弁26が開いたときに塗布バルブ装置20の動作用圧縮エアー供給管67に供給される。
Returning to FIG. 2, ON / OFF of the compressed air for operation for opening and closing the
溶剤ミスト発生装置としてのバルブ装置120 に供給される霧化用圧縮エアーはホース27から分岐するホースに接続されたエアーリレーバルブ128 ,霧化用圧縮エアー圧力調整器123Aを経てホース123により供給管135に供給される。エアーリレーバルブ128は,電磁弁127が開いたときにホース129を経て供給される圧縮エアーにより開放される。このエアーリレーバルブ128は電磁弁127等からの油類,異物の混入を防止するためのものである。
The atomized compressed air supplied to the
溶剤用圧送タンク121には溶剤用圧力調整器121Aが設けられ,ホース27,25を経て供給される圧縮エアーがこの圧力調整器121Aで圧力調整されてタンク121内に加えられ,タンク121内の溶剤がホース122を経てバルブ装置120の溶剤供給管132に給送される。同じように,塗布液用圧送タンク21には塗布液用圧力調整器21Aが設けられ,ホース27,25を経て供給される圧縮エアーがこの圧力調整器21Aで圧力調整されてタンク21内に加えられ,タンク21内の塗布液がホース22,塗布液流量計22Aを経てバルブ装置20の塗布液供給管32に供給される。
The solvent
図13から図15は溶剤ミスト発生装置の他の実施例を示している。これはいわゆるルブリケータを利用したものである。 13 to 15 show another embodiment of the solvent mist generator. This utilizes a so-called lubricator.
溶剤ミスト発生装置220はタンク221を備え,このタンク221 内に溶剤が貯えられる。タンク221にはその蓋としてルブリケータボディ222が設けられ,このボディ222 は下部に筒状部222Aを有している。筒状部222Aの内周面に形成された雌ねじにタンク221 上縁の雄ねじが螺合して,ボディ222がタンク221に固定される。ボディ222は圧縮エアーの入口223と出口224とを有している。この入口223と出口224との間のエアー通路にダンパ支持体225が固定されている。ダンパ支持体225は入口223,出口224に連なる通路227を有し,この通路227に弾性体よりなるダンパ226がその一側で固定されている。入口223 から入った圧縮エアーは通路227内でダンパ226を振動させながら通過し,出口224に向って流れていく。
The
ダンパ支持体225には,入口223側からタンク221内に向う細いエアー通路228が形成され,通路228の出口部分に送止弁229が設けられている。したがって,入口223 に供給されるエアーの一部は通路228を経てタンク221内に供給され,タンク221 内の溶剤を押圧する。ダンパ支持体225から下方に向ってパイプ237が延びている。圧縮された溶剤はパイプ237 を上昇し,途中の送止弁237Aを経てダンパ支持体225およびボディ222に形成された通路238をさらに上昇していく。
A
ボディ222にはその上部に外側ケース230と内側ケース231 が取付けられる。これらのケース230,231は上端が半球状に閉じられ,内側ケース231の外面と外側ケース230の内面との間に空間が形成される。外側ケース230はそのねじ部230Aがボディ222の取付部230Bの雌ねじに螺合されて固定される。通路238を上昇した溶剤は内外ケース231,230 の間の空間内を満たす。内側ケース231の上端には下方に向って突出する筒体231Aが形成され,この筒体231Aの下端は開口している。内外ケース231,230間の空間を上昇した溶剤は筒体231Aから滴下する。
An
ボディ222には,筒体231Aから滴下する溶剤が落下する位置に小さな孔233 があけられている。この孔233の下方には,支持体225の上部の一部による棚部234 が形成されている。溶剤は孔233からこの棚部234の上に載る。ダンパ226 を振動させて通路を通る圧縮空気の流れによってこの溶剤が霧化するので,出口224 からは溶剤の霧化ミストを含む圧縮空気が勢いよく噴出することになる。なお,溶剤はボディ222に設けられた溶剤供給口236からタンク221内に供給される。
A
上記以外にもさまざまな霧化器(装置)が溶剤ミスト発生装置として利用可能である。 In addition to the above, various atomizers (devices) can be used as the solvent mist generator.
図16および図17は液体塗布材料のスプレー状態を示している。図16は糸引きが発生していない良好なスプレー霧化状態を示している(SPで示す)。図17は液体材料が微粒化せずに糸状(AHで示す)に出る糸引きスプレー状態を示している。 16 and 17 show the spray state of the liquid coating material. FIG. 16 shows a good spray atomization state where no stringing has occurred (indicated by SP). FIG. 17 shows a string drawing spray state in which the liquid material is not atomized but appears in a thread form (indicated by AH).
上述したように塗布バルブ装置(スプレーガン)において,圧縮エアー吹出口に,溶剤混合圧縮エアーを供給すると,液体塗布材料として粘度の高い原液を用いたとしても,図17に示すような糸引き現状が発生しない。 As described above, when solvent-compressed compressed air is supplied to the compressed air outlet in a coating valve device (spray gun), even if a high-viscosity stock solution is used as the liquid coating material, the stringing status as shown in FIG. Does not occur.
図18は基板に電子(電気)部品をハンダ付けした状態を示している。基板300 の裏面(B面)に電子部品301のピン足302 が突出し,その下部にハンダ303(図19,20)が付けられている。
FIG. 18 shows a state where electronic (electrical) components are soldered to the substrate. A
図19,20は基板300の裏面に液体塗布材料をスプレー塗布した状態を示している。基板300の面上で30μ(ミクロン)の厚さの膜厚(符号400 で示す)になるように塗布するものとする。図19は,液体塗布材料として粘度の高い原液を用い溶剤混合圧縮エアーを供給する方法で塗布した様子を示している。ピン足302 の上端面や側面にも,かなりの膜厚で(10μ以上,5μ以上)塗布されている(符号401,402で示す)。図20は,液体塗布材料を糸引きが発生しない程度に溶剤であらかじめ希釈し,圧縮エアー吸出口に溶剤を混合しない単なる圧縮エアーを供給した場合に形成される塗膜を示している。塗布材料が希釈されているので流れやすく,ピン足の上端面や側面の塗膜の厚さはきわめて薄い(2μ以下)。
19 and 20 show a state in which the liquid coating material is spray-coated on the back surface of the
表1は被塗物としてプリント基板の半田面側(裏面,B面)で,乾燥膜厚30μm を形成した場合において,本発明の方法と従来の代表的方法との比較結果を示すものである。防湿絶縁材(コンフォーマルコーティング)日東シンコー製エレップコート(型式LSS520MH)を使用した。 Table 1 shows a comparison result between the method of the present invention and the conventional representative method when a dry film thickness of 30 μm is formed on the solder surface side (back surface, B surface) of the printed circuit board as an object to be coated. . A moisture-proof insulating material (conformal coating) made by Nitto Shinko Elep Coat (model LSS520MH) was used.
この表の意味するところは図19,図20を参照すれば明らかと思われるが,若干説明を付け加えておく。 The meaning of this table seems to be clear with reference to FIGS. 19 and 20, but a little explanation is added.
乾燥時間における乾燥は指触乾燥という意味(溶剤が残ってなく,手で触って,組付け作業しても支障ない乾燥状態)である。 Drying during the drying time means dry to the touch (dry state where there is no solvent left and it can be touched by hand and installed without any problems).
塗布先端部の方向性とは,塗布ガンノズル先端部の吐出方向性を意味する,基板防湿塗布においては,通常は通常塗布ガンのノズルは,水平に設置した基板面にその上から下方向にする。下からとは,基板の下方向からノズルを上向きにして塗布すること。横からとは,基板を垂直に立てて,それに対し塗布ノズルが横から基板に吹き付ける塗布。 The direction of the tip of the coating means the direction of discharge at the tip of the coating gun nozzle. In substrate moisture-proof coating, the nozzle of the coating gun is usually placed downward on the horizontal surface of the substrate. . From below, apply from below the substrate with the nozzle facing up. From the side, the coating is done by spraying the substrate from the side while the substrate is standing vertically.
塗着効率は,塗布液の基板への付着量/塗布液使用量である。 The coating efficiency is the amount of coating solution applied to the substrate / the amount of coating solution used.
管理メンテ性の定義は,塗布性能を維持するための塗布バルブ及び付属機器の日常点検清掃作業時間と難易度を下記の基準で決めた。 The management maintainability was defined by the following criteria for the time and difficulty of daily inspection and cleaning of the application valve and accessories to maintain the application performance.
連続自動塗布可能であり,塗布材料の特別な粘度管理要しなく安定塗布可能を◎。
連続自動塗布可能であるが,塗布材料の粘度管理をしないとNG製品が出るおそれある場合。自動粘度調整器が必要。自動塗布終了後に,各自動機器のメンテナンス,点検作業が必須を○。
連続自動塗布中で,一時停止して塗布バルブの一部又はある箇所を清掃,調整する手作業時間が必要。さらに自動塗布終了後に,各自動機器のメンテナンス,点検作業が必須を△。
Continuous automatic application is possible, and stable application is possible without special viscosity control of coating material.
When continuous automatic application is possible, but there is a risk that NG products may be produced unless the viscosity of the coating material is controlled. Requires automatic viscosity adjuster. ○ After maintenance of automatic application, maintenance and inspection work for each automatic device is indispensable.
During continuous automatic application, manual work time is required to temporarily stop and clean or adjust a part or part of the application valve. Furthermore, it is essential to maintain and inspect each automatic device after the completion of automatic application.
以上をまとめると,この発明によると乾燥時間は200%以上の短縮が可能となり,溶剤使用料は60%以上削減でき,さらに鋭角凸部膜厚は200%以上改善した。 In summary, according to the present invention, the drying time can be shortened by 200% or more, the solvent usage fee can be reduced by 60% or more, and the acute convex film thickness is improved by 200% or more.
9 対象物
10 スプレー塗布システム
14 ロボット装置
19 ハウジング
20 塗布バルブ装置(スプレーガン(装置))
21 塗布液用送圧タンク(液体塗布材料貯留タンク)(液体塗布材料タンク)(液体塗布材料供給装置)
21A 塗布液用圧力調整器(液体塗布材料供給装置)
22 液体塗布材料(塗布液)圧送ホース(液体塗布材料供給装置)
23 溶剤ミスト含有霧化用エアーホース
24A,124A 動作用圧縮エアー圧力調整器
24,124 動作用圧縮エアーホース
26 塗布動作用電磁弁
30,130 フルイドボディ
30A ボス
31 塗布材料導入孔
32 塗布材料供給管
33,133 中心孔
34 圧縮霧化エアー(空気)導入孔
35 圧縮霧化エアー供給管
36 連通孔
37 軸受部
40 エクステンション部
41 エクステンション内管
42 エクステンション外管
43 圧縮エアー供給路
45 スクリューアダプター
46 スクリュー溝
47 孔
50 液体吐出ニードル
50A ニードル先端部
51 吐出ノズル
51A 液体塗布材料吐出孔
52 エアキャップ
52A 圧縮エアー吹出口
53 収束内壁
54 ニードルカバー
60 駆動部
61 シリンダジョイント
62 ジョイント
63,163 シリンダ
64,164 ピストン
65,165 ピストン棒
66 カップリング
67 圧縮空気供給管
68 ピストンキャップ
69 コイルスプリング
70 リニアアクチュエータ
71 アジャスタシャフト
120,220 溶剤ミスト発生装置(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)
121 溶剤用送圧タンク(溶剤貯留タンク,溶剤タンク)(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)
121A 溶剤用圧力調整器
122 溶剤圧送ホース
123 溶剤霧化用圧縮エアーホース(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)
123A 霧化用圧縮エアー圧力調整器(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)
124A 動作用圧縮エアー圧力調整器
127 霧化動作用電磁弁
128 エアーリレーバルブ(溶剤ミスト混合圧縮エアー供給装置)
131 溶剤導入孔
132 溶剤供給管
134 導入孔
136 連通孔
140 エゼクター
141 導出管
143 噴出路
143A 吹出口
150 溶剤吐出ニードル
151 吐出ノズル
167 動作用圧縮エアー供給管
170 調整ねじ
300 基板
301 電子部品
302 ピン足
400,401,402 塗布膜
9 Object
10 Spray application system
14 Robotic equipment
19 Housing
20 Application valve device (spray gun (device))
21 Pressure tank for coating liquid (Liquid coating material storage tank) (Liquid coating material tank) (Liquid coating material supply device)
21A Coating liquid pressure regulator (Liquid coating material supply device)
22 Liquid coating material (coating liquid) pressure hose (liquid coating material supply device)
23 Air hose for atomization containing solvent mist
24A, 124A Compressed air pressure regulator for operation
24,124 Compressed air hose for operation
26 Solenoid valve for dispensing operation
30, 130 Fluid body
30A boss
31 Coating material introduction hole
32 Coating material supply pipe
33,133 Central hole
34 Compressed atomization air (air) introduction hole
35 Compressed atomizing air supply pipe
36 Communication hole
37 Bearing
40 Extension section
41 Extension inner pipe
42 Extension outer tube
43 Compressed air supply path
45 Screw adapter
46 Screw groove
47 holes
50 Liquid discharge needle
50A Needle tip
51 Discharge nozzle
51A Liquid application material discharge hole
52 Air cap
52A Compressed air outlet
53 Converging inner wall
54 Needle cover
60 Drive unit
61 Cylinder joint
62 Joint
63,163 cylinders
64, 164 piston
65,165 Piston rod
66 coupling
67 Compressed air supply pipe
68 Piston cap
69 Coil spring
70 Linear actuator
71 Adjuster shaft
120,220 Solvent mist generator (solvent mist mixed compressed air supply device)
121 Pressure tank for solvent (solvent storage tank, solvent tank) (solvent mist mixed compressed air supply device)
121A Solvent pressure regulator
122 Solvent pressure hose
123 Compressed air hose for solvent atomization (solvent mist mixed compressed air supply device)
123A Compressed air pressure regulator for atomization (solvent mist mixed compressed air supply device)
124A Compressed air pressure regulator for operation
127 Solenoid valve for atomization operation
128 Air relay valve (solvent mist mixed compressed air supply device)
131 Solvent introduction hole
132 Solvent supply pipe
134 Introduction hole
136 communication hole
140 Ejector
141 Outlet tube
143 Outlet
143A outlet
150 Solvent dispensing needle
151 Discharge nozzle
167 Compressed air supply pipe for operation
170 Adjustment screw
300 substrates
301 Electronic components
302 pin feet
400, 401, 402 Coating film
Claims (3)
ノズルの吐出孔内を進退するニードルの先端部が該ノズル吐出孔よりも外方に突出可能で,ニードルの先端部外面と吐出口内面との間の間隙を通して吐出される液体塗布材料を,その近傍の圧縮エアー吹出口から吹出される圧縮エアーにより微粒化するスプレーガンを用い,
溶剤ミストを発生させ,この溶剤ミストが混入した圧縮エアーを前記吹出口に供給して液体塗布材料を微粒化する,スプレー塗布における糸引き防止方法。 A method for preventing the occurrence of stringing phenomenon in spray coating ,
The tip of the needle that advances and retreats in the discharge hole of the nozzle can protrude outward from the nozzle discharge hole, and a liquid coating material that is discharged through the gap between the outer surface of the needle tip and the inner surface of the discharge port Using a spray gun that atomizes by compressed air blown out from a nearby compressed air outlet,
A method for preventing stringing in spray coating, wherein solvent mist is generated, and compressed air mixed with the solvent mist is supplied to the outlet to atomize the liquid coating material.
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