JP6308070B2 - Heating device and temperature control program - Google Patents
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Description
本発明は、加熱装置及び温度制御プログラムに関する。 The present invention relates to a heating device and a temperature control program.
従来、例えば、携帯電話機、ノートPC(Personal Computer)、各種通信機器、サーバー等における電子デバイス実装において、プリント基板上の電子部品、例えば、IC(Integrated Circuit)チップのリワークが行われている。電子部品のリワークを行う場合、不良部品を取り外すときや正常部品を再実装するときにはんだを溶融する。はんだを溶融する際は、光を照射して熱を付与する。この際、熱量が足りなければはんだを溶融することができず、熱量が多すぎると、部品の温度が上昇し過ぎて、部品を損傷してしまう。はんだ加熱に必要なエネルギーを付与するために、種々の提案がされている。例えば、エネルギー供給部からの照射のエネルギーを減少させるフィルター部を設け、エネルギー調整部がそのフィルター部を制御することで、はんだ加熱に必要なエネルギーを変動させることが知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, for example, when electronic devices are mounted on a mobile phone, a notebook PC (Personal Computer), various communication devices, a server, and the like, rework of electronic components on a printed circuit board, for example, an IC (Integrated Circuit) chip, is performed. When reworking electronic parts, the solder is melted when a defective part is removed or when a normal part is remounted. When melting the solder, heat is applied by irradiating light. At this time, if the amount of heat is insufficient, the solder cannot be melted. If the amount of heat is too large, the temperature of the component rises too much and the component is damaged. Various proposals have been made to provide energy necessary for solder heating. For example, it is known that a filter unit that reduces the energy of irradiation from the energy supply unit is provided, and the energy adjustment unit controls the filter unit to change the energy required for solder heating (for example, patents) Reference 1).
ところで、昨今の電子機器は、小型化が進み、これに伴って電子部品の高密度実装も進んでいる。電子部品の高密度実装が進行すると、部品間の間隔が狭くなり、リワークの対象となる電子部品周辺の実装レイアウトも複雑化する。この結果、リワークの対象となる部品にのみ光を照射しても、周辺の部品に熱を奪われ、温度分布が不均一になる。温度分布が不均一になると、ある個所では部品に損傷を与える温度に到達してしまったり、その一方で、別の箇所は、はんだ溶融温度に到達していなかったりという事態が生じうる。このような事態を回避するために照射する光のエネルギーを低く設定すると、リワークの対象となる部品の全面でハンダ溶融温度に到達する温度分布を形成するのに長時間を要する。これとは逆に、はんだ溶融までの時間を短縮しようとして、光のエネルギー(光量)を大きくすると、リワークの対象となる部品や、その周辺の部品が部分的に過剰に加熱され、破損する可能性がある。例えば、特許文献1の提案では、リワークの対象となる部品における不均一な加熱状態を解消することは考慮されておらず、改良の余地があった。
By the way, recent electronic devices have been downsized, and along with this, high-density mounting of electronic components is also progressing. As the high-density mounting of electronic components proceeds, the interval between the components becomes narrower, and the mounting layout around the electronic components to be reworked becomes complicated. As a result, even if light is applied only to the parts to be reworked, the surrounding parts are deprived of heat and the temperature distribution becomes non-uniform. If the temperature distribution becomes non-uniform, it may happen that the temperature at which a part is damaged is reached at one point, while the solder melting temperature is not reached at another point. If the energy of the irradiated light is set low in order to avoid such a situation, it takes a long time to form a temperature distribution that reaches the solder melting temperature on the entire surface of the part to be reworked. Conversely, if the light energy (light quantity) is increased in an attempt to shorten the time until the solder melts, the parts to be reworked and surrounding parts may be partially overheated and damaged. There is sex. For example, in the proposal of
1つの側面では、本明細書開示の加熱装置及び温度制御プログラムは、加熱対象部品を均一に加熱することを課題とする。 In one aspect, it is an object of a heating device and a temperature control program disclosed in the present specification to uniformly heat a component to be heated.
本明細書開示の加熱装置は、加熱対象部品に向かって光を発する加熱光源と、前記加熱光源が発する光を通過させる開口部をそれぞれ備えた複数の遮光板と、前記複数の遮光板をそれぞれ回転させる遮光板駆動部と、前記遮光板駆動部により回転駆動される前記複数の遮光板の回転速度を制御し、前記加熱対象部品における加熱箇所毎に設定される必要熱量に合わせて前記複数の遮光板が備える各開口部の重なる範囲を調整する制御部と、を備える。 The heating device disclosed in this specification includes a heating light source that emits light toward a component to be heated, a plurality of light shielding plates each having an opening that allows light emitted from the heating light source to pass, and the plurality of light shielding plates, respectively. The rotation speed of the light shielding plate driving unit to be rotated and the plurality of light shielding plates that are rotationally driven by the light shielding plate driving unit are controlled, and the plurality of the heat shielding plate driving units are set in accordance with the necessary heat amount set for each heating location in the heating target component. And a control unit that adjusts the overlapping range of the openings provided in the light shielding plate.
本明細書開示の温度制御プログラムは、加熱対象部品における加熱箇所毎に必要熱量を設定し、設定された前記必要熱量に合わせて、加熱光源が発する光を通過させる開口部をそれぞれ備えた複数の遮光板の回転速度を設定し、前記開口部の重なる範囲を調整することによって、前記加熱光源が発する光の透過量を調整して前記加熱箇所毎に必要熱量を付与する、処理をコンピュータに実行させる。 The temperature control program disclosed in the present specification sets a necessary heat amount for each heating portion in a heating target component, and a plurality of openings each having an opening through which light emitted from a heating light source passes according to the set necessary heat amount. Set the rotation speed of the light shielding plate and adjust the range where the openings overlap, thereby adjusting the amount of light transmitted by the heating light source and giving the necessary amount of heat to each heating location. Let
本明細書開示の加熱装置及び温度制御プログラムによれば、加熱対象部品を均一に加熱することができる。 According to the heating device and the temperature control program disclosed in this specification, it is possible to uniformly heat the component to be heated.
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, in the drawings, the dimensions, ratios, and the like of each part may not be shown so as to completely match the actual ones. Further, depending on the drawings, components that are actually present may be omitted for convenience of explanation, or dimensions may be exaggerated from the actual drawing.
(実施形態)
まず、図1乃至図7を参照しつつ、本実施形態の加熱装置10の概略構成について説明する。図1は実施形態の加熱装置10の概略構成を示す説明図である。図2は実施形態の加熱装置10が備えるコンピュータ11のハードウェア構成を示す図である。コンピュータ11は、制御部の一例である。図3は実施形態の加熱装置10が備える第1遮光板31及び第2遮光板32を示す説明図である。図4は実施形態におけるICチップ2の測温地点を示す説明図である。ICチップ2は、加熱対象部品の一例である。図5は第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aの重複状態を示す説明図である。図6(A)は第1遮光板が備える開口部と第2遮光板が備える開口部との基準となる重複状態を示す説明図であり、図6(B)は第1遮光板が備える開口部と第2遮光板が備える開口部との重複範囲が大きくなった状態を示す説明図であり、図6(C)は第1遮光板が備える開口部と第2遮光板が備える開口部との重複範囲が小さくなった状態を示す説明図である。図7(A)は第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aとの重複範囲が大きくなったときの照射光Rを示す説明図であり、図7(B)は第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aとの重複範囲が小さくなったときの照射光Rを示す説明図である。
(Embodiment)
First, a schematic configuration of the
図1を参照すると、本実施形態の加熱装置10の加熱対象となっているのは、基板1に実装されたICチップ2である。ICチップ2は、はんだ2aを介して基板1上に実装されている。ICチップ2の周囲には、他の電子部品3、4が実装されている。なお、本実施形態では、ICチップ2を加熱対象部品としているが、他の部品を加熱対象とすることもできる。加熱装置10は、制御部として機能するコンピュータ(以下、PCという)11を備える。図2を参照すると、PC11のハードウェア構成が概略的に示されている。図2に示すように、PC11は、CPU(Central Processing Unit)41、ROM(Read Only Memory)42、RAM(Random Access Memory)43、記憶部(ここではHDD(Hard Disk Drive))44を備える。また、PC11は、入出力インターフェイス45、及び可搬型記憶媒体用ドライブ46等を備えている。これらPC11の構成各部は、バス48に接続されている。PC11では、ROM42あるいはHDD44に格納されているプログラム、或いは可搬型記憶媒体用ドライブ46が可搬型記憶媒体47から読み取ったプログラムをCPU41が実行し、加熱制御部12や機構制御部13の機能が実現される。ここで、プログラムには温度制御プログラムが含まれる。
Referring to FIG. 1, an
加熱装置10は、加熱対象部品であるICチップ2に向かって光を発する加熱光源20を備える。加熱光源20は、電球20aとこの電球20aが発する光を反射させる反射板20bとを含む。電球20aは、ハロゲンランプである。加熱光源20は、電気的にPC11、具体的に、加熱制御部12に接続されている。本実施形態の加熱光源20は、単位時間当たり一定の光量を発するように設定されているが、出力調整により光量を調整できるようにしてもよい。加熱装置10は、温度センサ21を備える。温度センサ21は、ICチップ2の温度を測定する。図4を参照すると、ICチップ2上には、5か所の測温地点p0〜p4が設定されている。温度センサ21は、これらの5か所について、別個に測温することができる。温度センサ21は、電気的にPC11に接続されている。なお、5か所の測温地点p0〜p4については、後に詳述する。
The
加熱装置10は、加熱光源20が発する光を通過させる開口部31a、32aをそれぞれ備えた複数の遮光板、すなわち、第1遮光板31及び第2遮光板32を備える。また、加熱装置10は、第1遮光板31と第2遮光板32をそれぞれ回転させる遮光板駆動部30を備える。遮光板駆動部30は第1遮光板31を回転駆動する第1回転機構部30aと第2遮光板32を回転駆動する第2回転機構部30bを含む。遮光板駆動部30は、電気的にPC11、具体的に、機構制御部13に接続されている。第1遮光板31は、第1回転機構部30aが備える回転板30a1を介して回転駆動される。第1遮光板31と回転板30a1とは、摩擦による駆動としているが、歯車を用いた駆動としてもよい。第2遮光板32は、第2回転機構部30bが備える回転板30b1を介して回転駆動される。第2遮光板32と回転板30b1とは、摩擦による駆動としているが、歯車を用いた駆動としてもよい。
The
つぎに図1を参照し、第1遮光板31及び第2遮光板32について説明する。第1遮光板31及び第2遮光板32は、加熱光源20とICチップ2との間に配置されている。第1遮光板31と第2遮光板32とは、上下方向に重ねられた状態で配置されている。第1遮光板31及び第2遮光板32はそれぞれエンコーダを備えており、後に詳説する角度θA、角度θBを把握できるようになっている。図3を参照すると、第1遮光板31は、円板の一部に扇形の開口部31aが形成されている。開口部31aの扇形状は、角度θ0と幅W0によって規定されている。幅W0は、ほぼ図1に示すスポット幅Wsに相当する。本実施形態における第1遮光板31と第2遮光板32とは、同一物であるため、第2遮光板32についての説明は省略する。なお、各遮光板の外形形状は、円形に限定されるものではなく、開口部の形状も扇形状に限定されない。開口部は、例えば、複数の透孔が形成された、いわゆるパンチングメタルであってもよい。また、必ずしも、第1遮光板と第2遮光板とが同一でなくてもよく、異なる遮光板を採用してもよい。要は、それぞれ開口部を備える複数の遮光板の位相の組み合わせを変更することにより、ICチップ2に到達する光量を所望の光量に調整できればよい。なお、3枚以上の遮光板を用いることもできるが、基本的には、2枚の遮光板を準備し、それぞれの回転速度の制御により、所望の光量を実現することができる。
Next, the first
つぎに、図4を参照すると、ICチップ2上には、5か所の測温地点が設定されている。ICチップ2上には、便宜上、90°毎に線分L1〜L4が設定されている。ICチップ2の中心部に測温地点p0が設定されている。そして、線分L1〜L4によって区画された4つの領域毎に測温地点p1〜p4が設定されている。具体的に、測温地点p1は、角度0°方向に沿う線分L1と角度90°方向に沿う線分L2とによって囲まれた領域に設定されている。測温地点p2は、角度90°方向に沿う線分L2と角度180°方向に沿う線分L3とによって囲まれた領域に設定されている。測温地点p3は、角度180°方向に沿う線分L3と角度270°方向に沿う線分L4とによって囲まれた領域に設定されている。測温地点p4は、角度270°方向に沿う線分L4と角度0°方向に沿う線分L1とによって囲まれた領域に設定されている。本実施形態では、これらのそれぞれの領域を加熱箇所として設定する。
Next, referring to FIG. 4, five temperature measuring points are set on the
加熱装置10は、このような加熱箇所毎に必要熱量を付与する。加熱箇所に付与される熱量は、第1遮光板31に設けられた開口部31aと第2遮光板32に設けられた開口部32aを通過した透過光量と、その走査速度によって決定される。必要熱量は、ICチップ2全体を均一に加熱するために領域毎に設定される。本実施例では、ICチップ2の中心部に設定した測温地点p0との温度差に基づき、その温度差を解消するために必要とされる熱量が算出される。加熱装置10は、遮光板駆動部30により回転駆動される第1遮光板31及び第2遮光板32の回転速度を制御する。これにより、加熱装置10は、ICチップ2における加熱箇所毎に設定される必要熱量に合わせて第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aとが重なる範囲を調整する。
The
ここで、図5〜図7を参照しつつ、第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aとが重なる範囲(光路Sの面積)の調整について説明する。図5を参照すると、第1遮光板31と第2遮光板32とが重ねられている。このとき、第1遮光板31が備える開口部31aの中心位置は、角度0°を原点とした反時計回りの角度θAによって表わされる。また、第2遮光板32が備える開口部32aの中心位置は、角度0°を原点とした反時計回りの角度θBによって表わされる。本実施形態において、第1遮光板31及び第2遮光板32の回転方向は、反時計回りに設定されている。そして、第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aは、それぞれ回転方向に沿って延びている。すなわち、開口部31aと開口部32aは、それぞれ扇形状となっている。第1遮光板31が備える開口部31aの回転方向に沿う位置は、第2遮光板32が備える開口部32aよりも先行する状態とされている。すなわち、本実施形態において、角度θAは、角度θBよりも大きく設定されている。このように、角度θAと角度θBとをずらすことにより、原点からの角度がθとなる位置が中心位置となる光路Sが形成される。なお、説明をわかりやすくするため、図面中、光路Sはハッチングを付して示されている。
Here, with reference to FIG. 5 to FIG. 7, adjustment of a range (area of the optical path S) in which the
つぎに、図6(A)〜図6(C)を参照して、光路Sの面積が変化する様子について説明する。まず、図6(A)を参照すると、角度θAが角度θBよりも大きく設定され、開口部31aと開口部32aとがずれた状態で第1遮光板31の回転速度と第2遮光板32の回転速度を共に速度ω0で回転する様子が例示されている。ここで、ω0は、例えば速度ω0=100rpmに設定されているとする。
Next, how the area of the optical path S changes will be described with reference to FIGS. 6 (A) to 6 (C). First, referring to FIG. 6A, the angle θA is set to be larger than the angle θB, and the rotational speed of the first
そして、光路Sの面積を拡大したいときは、図6(B)に示すように、第1遮光板31の回転速度を速度ω0に維持し、第2遮光板32の回転速度を速度ω1に増速する。そして、所定時間経過後に再び速度ω0に戻す。ここで、例えば、速度ω1=150rpmとする。第2遮光板32が速度ω1で回転している間は、第2遮光板32が備える開口部32aと第1遮光板31が備える開口部31aとの重複範囲が拡大し、その結果、光路Sの面積が拡大する。図7(A)には、光路Sを通過した透過光Rを示している。透過光Rが拡大すると単位時間あたりにICチップ2に付与されるエネルギーは増大する。なお、第2遮光板32の回転速度を一旦ω1に増速した後、再び速度ω0に戻すのは、所望の光路Sの面積を維持するためである。すなわち、第1遮光板31の回転速度と第2遮光板32の回転速度に差があると、光路Sの面積が変化するため、これを回避するためである。
When it is desired to enlarge the area of the optical path S, as shown in FIG. 6B, the rotational speed of the first
一方、光路Sの面積を縮小したいときは、図6(C)に示すように、第1遮光板31の回転速度を速度ω0に維持し、第2遮光板32の回転速度を速度ω2に減速する。そして、所定時間経過後に再び速度ω0に戻す。ここで、例えば、速度ω2=50rpmとする。第2遮光板32が速度ω2で回転している間は、第2遮光板32が備える開口部32aと第1遮光板31が備える開口部31aとの重複範囲が減少し、その結果、光路Sの面積が縮小する。図7(B)には、光路Sを通過した透過光Rを示している。このように、透過光Rが縮小すると単位時間あたりにICチップ2に付与されるエネルギーは減少する。なお、第2遮光板32の回転速度を一旦ω2に減速した後、再び速度ω0に戻すのは、所望の光路Sの面積を維持するためである。この点は、光路Sの面積を拡大する場合と同様である。
On the other hand, when it is desired to reduce the area of the optical path S, as shown in FIG. 6C, the rotational speed of the first
このように、本実施形態の加熱装置は、第1遮光板31と、第2遮光板32とを相対的に異なる速度で回転させることで、第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aの重なる範囲を調整することができる。なお、開口部31aと開口部32aとの重なる範囲、すなわち、光路Sの面積を変更するときは、第1遮光板31と第2遮光板32との回転速度が相対的に異なっていればよい。上述の例では、第1遮光板31の回転速度をω0で固定し、第2遮光板32の回転速度を変更することで、回転速度が相対的に異なる状態を創出しているが、この例に限られるものではない。例えば、光路Sの面積を拡大したいときに、第2遮光板32の回転速度を増速するだけでなく、第1遮光板31の回転速度を減速すれば、短時間で所望の面積に到達することができる。光路Sの面積を縮小したいときは、これとは逆に、第2遮光板32の回転速度を減速するだけでなく、第1遮光板31の回転速度を増速すれば、短時間で光路Sの面積を縮小することができる。
As described above, the heating device of the present embodiment rotates the first
このような光路Sの面積の変更は、ICチップ2の領域毎に行われる。具体的に、線分L1〜線分L4を通過する毎に行われる。例えば、光路Sが線分L1を超えるタイミングで測温地点p1の測温結果に基づいた光路Sの面積となるように回転速度の調整が行われる。同様に、光路Sが線分L2を超えるタイミングで測温地点p2の測温結果に基づいた光路Sの面積となるように回転速度の調整が行われる。以下、測温地点p3、p4に対しても、同様に回転速度の調整が行われる。
Such a change in the area of the optical path S is performed for each area of the
以上説明したように、第1遮光板31が備える開口部31aと第2遮光板32が備える開口部32aとが重なる範囲(光路Sの面積)の調整が行われる。ところで、ICチップ2に付与される熱量は、光路Sを通過した透過光量と、その走査速度によって決定されるため、加熱装置10を稼働させるときには、第1遮光板31と第2遮光板32の絶対速度を併せて決定する。すなわち、第1遮光板31と第2遮光板32の回転速度が高速であるほど、透過光Rの加熱箇所の通過時間(走査時間)は短くなる。これとは逆に、第1遮光板31と第2遮光板32の回転速度が低速であるほど、透過光Rの加熱箇所の通過時間(走査時間)は短くなる。
As described above, the range (area of the optical path S) in which the
つぎに、加熱装置10の制御の一例につき、図8乃至図12を参照しつつ説明する。図8は実施形態の加熱装置1により行われる温度制御の一例を示すフロー図である。図9は温度差Δtnから回転速度ωBnを算出する際に参照されるマップの一例である。図10は回転速度ωBnから待機時間Twnを算出する際に参照されるマップの一例である。図11は回転条件テーブルの一例である。図12は第1遮光板31及び第2遮光板32の回転速度の変化が、ICチップ2の一領域の温度変化に与える影響を示すグラフである。
Next, an example of control of the
加熱装置10において行われる温度制御は、まず、加熱対象部品であるICチップ2における加熱箇所毎に必要熱量を設定する。そして、設定された必要熱量に合わせて、加熱光源が発する光を通過させる開口部をそれぞれ備えた複数の遮光板の回転速度を設定し、開口部の重なる範囲を調整することによって、加熱光源が発する光の透過量(透過光量)を調整する。これにより、加熱箇所毎に必要熱量が付与される。
In the temperature control performed in the
ここで、温度制御に用いられるパラメータについて、まとめて説明すると以下の通りである。
ωA:第1遮光板の回転速度
ωB:第2遮光板の回転速度
ωA0:第1遮光板の初期回転速度(定数)
ωB0:第2遮光板の初期回転速度(定数)
ωBn[n=1〜4]:加熱箇所毎の必要熱量に応じた第2遮光板の回転速度
t0:ICチップ表面中央の温度
tn[n=1〜4]:ICチップ表面外縁部の温度
Δtn[n=1〜4]:ICチップ表面中央と各外縁の温度差
θA:第1遮光板の原点から開口部中心までの角度
θB:第2遮光板の原点から開口部中心までの角度
θn[n=1〜4]:ICチップ表面外縁部の温度測定箇所に対応したωBの変更開始角度(定数)
p1:θ1=0°、p2:θ2=90°、
p3:θ3=180°、p4:θ4=270°
Twn[n=1〜4]:ωBn変更後の待機時間
T:加熱時間
Te:加熱時間(定数)
Here, the parameters used for the temperature control are collectively described as follows.
ωA: rotational speed of the first light shielding plate ωB: rotational speed of the second light shielding plate ωA0: initial rotational speed (constant) of the first light shielding plate
ωB0: initial rotation speed of the second light shielding plate (constant)
ωBn [n = 1 to 4]: The rotation speed of the second light-shielding plate according to the required amount of heat for each heating location
t0: IC chip surface center temperature tn [n = 1 to 4]: IC chip surface outer edge temperature Δtn [n = 1 to 4]: Temperature difference between IC chip surface center and each outer edge θA: First light shielding plate Angle from the origin to the center of the opening θB: Angle from the origin of the second light shielding plate to the center of the opening θn [n = 1 to 4]: Change start angle of ωB corresponding to the temperature measurement location on the outer edge of the IC chip surface ( constant)
p1: θ1 = 0 °, p2: θ2 = 90 °,
p3: θ3 = 180 °, p4: θ4 = 270 °
Twn [n = 1 to 4]: Standby time after changing ωBn T: Heating time Te: Heating time (constant)
加熱装置10による温度制御は、温度制御プログラムの実行により実施される。まず、ステップS1では、初期条件設定がされる。初期条件に含まれるのは、第1遮光板31の初期回転速度ωA0、第2遮光板32の初期回転速度ωB0及び加熱時間Teである。加熱時間Teは、加熱光源20による加熱の継続時間であり、はんだ2aを溶解し、ICチップ2を基板1から取り外す作業が完了するまで加熱光源20による加熱を継続する趣旨の下に設定されている。
The temperature control by the
ステップS1に引き続き行われるステップS2では、第1遮光板31及び第2遮光板32の回転を開始する。そして、ステップS3において加熱光源20による加熱が開始される。すなわち、電球20aがON状態とされる。なお、ステップS3では、加熱時間Tの計時が開始される。ステップS3の処理の後は、ステップS4へ進む。ここで、ステップS4へ移行するのと並行してステップS15及びステップS16の措置を開始する。ステップS15及びステップS16の措置は、ステップS4以下の措置とは独立して別個に行われる措置である。具体的に、温度センサ21により温度測定を実施し、その測定結果に基づいて、図11に例示する回転条件テーブルを随時更新する。ステップS15で行われる温度測定は、p0〜p4までの5か所に対して行われる。
In step S2 performed subsequent to step S1, rotation of the first
ステップS4では、角度θA及び角度θBを測定する。ステップS4に引き続き行われるステップS5では、第2遮光板32の回転速度ωBを変更する箇所に到達したか否かを判断する。具体的に、角度θAが線分L1に一致するθ=0°、線分L2に一致するθ=90°、線分L3に一致するθ=180°、線分L4に一致するθ=270°となったか否かが判断される。本実施形態において、加熱箇所は、4か所設定されているため、各パラメータにおけるnは、1〜4までとなる。そして、n=1、n=2、n=3及びn=4毎に同時並行的に処理が行われる。すなわち、ステップS5の処理も、n=1、n=2、n=3及びn=4の場合について、同時並行的に処理されている。例えば、n=1に対する処理の場合は、ステップS5において角度θAが線分L1を超えたか否かが判断され、n=2に対する処理の場合は、ステップS5において角度θAが線分L2を超えたか否かが判断される。n=3に対する処理の場合は、ステップS5において角度θAが線分L3を超えたか否かが判断され、n=4に対する処理の場合は、ステップS5において角度θAが線分L4を超えたか否かが判断される。ステップS5でYesと判断したときは、ステップS6へ進む。一方、ステップS5でNoと判断したときは、ステップS4からの処理を繰り返す。
In step S4, the angle θA and the angle θB are measured. In step S5, which is performed subsequent to step S4, it is determined whether or not the position where the rotational speed ωB of the second
なお、角度θAとの比較によって光路Sが所望の位置に到達したか否かを判断しているのは、第1遮光板31が備える開口部31aが、第2遮光板32が備える開口部32aよりも先行した状態とされていることを考慮したものである。すなわち、角度θAが線分L1等を通過したか否かを判断することにより第2遮光板32の回転速度の変更に備えやすいことを考慮したものである。
Note that it is determined whether or not the optical path S has reached a desired position by comparison with the angle θA because the
ステップS5に引き続き行われるステップS6では、回転条件テーブルにアクセスし、加熱箇所に対応した回転条件ωBn、Twnを読み込む。ここで、ωBnの算出について説明する。ωBnは、n=1〜4について行われるが、ここでは、まず、n=1の場合について説明する。ステップS15での温度測定の結果、中心部の測温地点p0の温度が200℃であり、測温地点p1の温度が202℃であったとすると、Δt1、すなわち、t1−t0は+2℃である。このΔt1を図9に示すマップに当て嵌めて、ωB1を算出する。同様に、n=2の場合には、Δt2はt2−t0によって算出され、Δt2は−2℃となる。このΔt2を図9に示すマップに当て嵌めて、ωB2を算出する。ωB3及びωB4についても同様の手順で算出する。なお、温度差Δtnと回転速度ωBnとは、比例関係になっている。すなわち、温度差Δtnが+(プラス)となるときは、回転速度ωBnは小さくする、すなわち、減速する。一方、温度差Δtnが−(マイナス)となるときは、回転速度ωBnは、大きくなる、すなわち、増速する。 In step S6, which is performed subsequent to step S5, the rotation condition table is accessed, and the rotation conditions ωBn and Twn corresponding to the heating location are read. Here, calculation of ωBn will be described. ωBn is performed for n = 1 to 4. Here, first, the case of n = 1 will be described. As a result of the temperature measurement in step S15, if the temperature at the central temperature measurement point p0 is 200 ° C. and the temperature at the temperature measurement point p1 is 202 ° C., Δt1, that is, t1−t0 is + 2 ° C. . This Δt1 is applied to the map shown in FIG. 9 to calculate ωB1. Similarly, when n = 2, Δt2 is calculated by t2−t0, and Δt2 is −2 ° C. This Δt2 is applied to the map shown in FIG. 9 to calculate ωB2. The same procedure is used for ωB3 and ωB4. Note that the temperature difference Δtn and the rotation speed ωBn are in a proportional relationship. That is, when the temperature difference Δtn becomes + (plus), the rotational speed ωBn is decreased, that is, decelerated. On the other hand, when the temperature difference Δtn becomes − (minus), the rotational speed ωBn increases, that is, increases.
また、待機時間Twnも、n=1〜4のそれぞれの場合について算出する。待機時間Twnは、第2遮光板32の初期の回転速度ωB0から変更された回転速度ωBnを維持する時間である。待機時間Twnは、図10に例示するマップに回転速度ωBnを当て嵌めることによって算出する。回転速度ωBnと待機時間Twnとは、反比例の関係にある。
The standby time Twn is also calculated for each case of n = 1-4. The standby time Twn is a time for maintaining the rotation speed ωBn changed from the initial rotation speed ωB0 of the second
このようにして算出される回転速度ωBn、待機時間Twnは、随時回転条件テーブルに反映され、更新された値が、読み込まれる。 The rotation speed ωBn and the standby time Twn calculated in this way are reflected in the rotation condition table at any time, and updated values are read.
ステップS6に引き続き行われるステップS7では、回転速度ωBが変更される。すなわち、ωB=ωBnに設定される。そして、ステップS8では、待機時間Twnだけ回転速度ωBnの状態が維持する。そして、ステップS9では、第2遮光板32の回転速度ωBを初期値であるωB0に戻す。すなわち、第2遮光板32の回転速度を第1遮光板31の回転速度と一致させる。
In step S7 performed subsequent to step S6, the rotational speed ωB is changed. That is, ωB = ωBn is set. In step S8, the rotational speed ωBn is maintained for the standby time Twn. In step S9, the rotational speed ωB of the second
ステップS9に引き続き行われるステップS10では、t0、tnが規定値te以上となったか否かを判断する。ここで、規定値teは、はんだ溶融温度である。ステップS10でYesと判断したときは、ステップS11へ進む。一方、ステップS10でNoと判断したときは、ステップS4からの処理を繰り返す。 In step S10, which is performed subsequent to step S9, it is determined whether or not t0 and tn are equal to or greater than a specified value te. Here, the specified value te is the solder melting temperature. When it is determined Yes in step S10, the process proceeds to step S11. On the other hand, when it is determined No in step S10, the processing from step S4 is repeated.
ステップS11では、ステップS3において計時が開始された加熱時間Tが予め定めた加熱時間Teが経過したか否かを判断する。すなわち、加熱開始から経過した時間Tが予め定めた加熱時間Te以上となったか否かを判断する。ステップS11でYesと判断したときは、ステップS12へ進む。一方、ステップS12でNoと判断したときは、ステップS4からの処理を繰り返す。なお、本実施形態における加熱時間Teは、加熱光源2による加熱を開始してからの時間として規定しているが、例えば、規定値teに到達してからの経過時間として設定してもよい。また、加熱時間Teの経過を待たずにICチップ2を基板1から取り外すことができたときには、ICチップ2の取り外しが完了した時点でステップS11におけるYes判定を行うようにしてもよい。
In step S11, it is determined whether or not the heating time Te for which the timing has been started in step S3 has passed a predetermined heating time Te. That is, it is determined whether or not the time T elapsed from the start of heating is equal to or longer than a predetermined heating time Te. When it is determined Yes in step S11, the process proceeds to step S12. On the other hand, when it is determined No in step S12, the processing from step S4 is repeated. The heating time Te in the present embodiment is defined as the time after the heating by the
ステップS12では、温度測定を終了し、ステップS12に引き続き行われるステップS13では、加熱光源20による加熱を終了する。そして、ステップS14では、第1遮光板31及び第2遮光板32の回転を停止する。
In step S12, the temperature measurement is finished, and in step S13, which is performed subsequent to step S12, the heating by the
以上説明したように加熱装置10により、温度制御を行いながらICチップ2を加熱することにより、ICチップ2を均一に加熱することができる。すなわち、ICチップ2の一部が素子の損傷温度tbを上回ったり、はんだ溶融温度teを下回った状態となったりすることを回避することができる。図12を参照すると、測温地点p1における温度の上昇の様子が示されている。すなわち、測温地点p1の温度t1が中心部の測温地点p1の温度t0よりも低い状態が観測されたときに、第2遮光板32の回転速度ωBを増速する。これにより、測温地点p1に付与される熱量が増加し、温度t1が上昇する。そして、温度t1が温度t0を上回るようになると、第2遮光板32の回転速度ωBを減速する。このような動作を繰り返しながら所定の温度範囲(te℃〜tb℃)に到達するまで加熱が継続される。このような動作が、p2〜p4に対しても同時並行的に行われる。この結果、ICチップ2の全域が均一に所望の温度まで加熱される。
As described above, the
なお、加熱対象部品に照射する光の量を調整する手段として、複数の遮光板を準備し、遮光板毎に開口部の面積や形状を異ならせ、これらの組み合わせによって所望の開口状態を実現することが考えられる。しかしながら、このような構成であると、遮光板の組み合わせを変更する際に、遮光板の切り替えに時間がかかり、温度制御における応答性が低い。また、基板における実装レイアウトや環境変化に対応させるために膨大な種類の遮光板を準備しなければならない問題もある。本実施形態の加熱装置10であれば、複数の遮光板の回転速度の組み合わせを変更するだけで、所望の開口状態を実現し、光量を調整して、必要熱量を付与することができる。
In addition, as a means for adjusting the amount of light irradiated to the component to be heated, a plurality of light shielding plates are prepared, the area and shape of the opening are made different for each light shielding plate, and a desired opening state is realized by combining these. It is possible. However, with such a configuration, when changing the combination of the light shielding plates, it takes time to switch the light shielding plates, and the responsiveness in temperature control is low. There is also a problem that a huge number of types of light shielding plates must be prepared in order to cope with mounting layouts and environmental changes on the substrate. If it is the
以上の説明では、ICチップ2を基板1から取り外すときの制御について説明したが、ICチップ2を基板1に再実装する際にも、同様の手順でICチップ2を均一に加熱し、はんだを溶融することができる。
In the above description, the control for removing the
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、処理装置が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体(ただし、搬送波は除く)に記録しておくことができる。 The above processing functions can be realized by a computer. In that case, a program describing the processing contents of the functions that the processing apparatus should have is provided. By executing the program on a computer, the above processing functions are realized on the computer. The program describing the processing contents can be recorded on a computer-readable recording medium (except for a carrier wave).
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたDVD(Digital Versatile Disc)、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)などの可搬型記録媒体の形態で販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。 When the program is distributed, for example, it is sold in the form of a portable recording medium such as a DVD (Digital Versatile Disc) or a CD-ROM (Compact Disc Read Only Memory) on which the program is recorded. It is also possible to store the program in a storage device of a server computer and transfer the program from the server computer to another computer via a network.
プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送されるごとに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。 The computer that executes the program stores, for example, the program recorded on the portable recording medium or the program transferred from the server computer in its own storage device. Then, the computer reads the program from its own storage device and executes processing according to the program. The computer can also read the program directly from the portable recording medium and execute processing according to the program. Further, each time the program is transferred from the server computer, the computer can sequentially execute processing according to the received program.
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。 Although the preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiment, and various modifications, within the scope of the gist of the present invention described in the claims, It can be changed.
1 基板
2 ICチップ
2a はんだ
10 加熱装置
11 制御部(コンピュータ)
12 加熱制御部
13 機構制御部
20 加熱光源
21 温度センサ
30 遮光板駆動部
30a 第1回転機構部
30a1 回転板
30b 第2回転機構部
30b1 回転板
31 第1遮光板
31a 開口部
32 第2遮光板
32a 開口部
S 光路
R 透過光
p0〜p4 測温地点
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記加熱光源が発する光を通過させる開口部をそれぞれ備えた複数の遮光板と、
前記複数の遮光板をそれぞれ回転させる遮光板駆動部と、
前記遮光板駆動部により回転駆動される前記複数の遮光板の回転速度を制御し、前記加熱対象部品における加熱箇所毎に設定される必要熱量に合わせて前記複数の遮光板が備える各開口部の重なる範囲を調整する制御部と、
を、備える加熱装置。 A heating light source that emits light toward the component to be heated;
A plurality of light shielding plates each having an opening through which light emitted from the heating light source passes;
A light shielding plate driving section for rotating the plurality of light shielding plates,
The rotational speed of the plurality of light shielding plates that are rotationally driven by the light shielding plate driving unit is controlled, and the openings of the plurality of light shielding plates provided in the plurality of light shielding plates according to the required heat amount set for each heating location in the heating target component. A control unit for adjusting the overlapping range;
A heating device.
前記第1遮光板と、前記第2遮光板とを相対的に異なる速度で回転させることで、前記第1遮光板が備える開口部と前記第2遮光板が備える開口部の重なる範囲を調整する請求項1に記載の加熱装置。 The plurality of light shielding plates include a first light shielding plate and a second light shielding plate,
By rotating the first light-shielding plate and the second light-shielding plate at relatively different speeds, an overlapping range of the opening provided in the first light-shielding plate and the opening provided in the second light-shielding plate is adjusted. The heating apparatus according to claim 1.
前記第2遮光板は、前記第1遮光板の回転速度と等速で回転する状態から一旦回転速度を増速することによって前記第1遮光板が備える開口部と前記第2遮光板が備える開口部とが重なる範囲を拡大し、前記第1遮光板の回転速度と等速で回転する状態から一旦回転速度を減速することによって前記第1遮光板が備える開口部と前記第2遮光板が備える開口部とが重なる範囲を縮小する請求項2に記載の加熱装置。 The opening provided in the first light-shielding plate and the opening provided in the second light-shielding plate each extend along the rotation direction, and the position of the opening provided in the first light-shielding plate along the rotation direction is It is in a state preceding the opening provided in the second light shielding plate,
The second light-shielding plate has an opening provided in the first light-shielding plate and an opening provided in the second light-shielding plate by temporarily increasing the rotational speed from a state where the second light-shielding plate rotates at the same speed as the rotation speed of the first light-shielding plate. The first light-shielding plate includes an opening and the second light-shielding plate provided by enlarging a range where the first light-shielding plate overlaps and decelerating the rotational speed from a state where the first light-shielding plate rotates at a constant speed. The heating apparatus according to claim 2, wherein a range in which the opening overlaps is reduced.
設定された前記必要熱量に合わせて、加熱光源が発する光を通過させる開口部をそれぞれ備えた複数の遮光板の回転速度を設定し、
前記開口部の重なる範囲を調整することによって、前記加熱光源が発する光の透過量を調整して前記加熱箇所毎に必要熱量を付与する、
処理をコンピュータに実行させる温度制御プログラム。 Set the required amount of heat for each heating point in the part to be heated,
In accordance with the set required heat amount, set the rotation speed of a plurality of light shielding plates each having an opening through which light emitted from a heating light source passes,
By adjusting the overlapping range of the openings, the amount of light transmitted from the heating light source is adjusted to give the necessary amount of heat for each heating location,
A temperature control program that causes a computer to execute processing.
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