JP6303229B2 - 太陽電池及び太陽電池のエミッタ領域の製造方法 - Google Patents
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Description
[項目1]
太陽電池のエミッタ領域の製造方法であって、
前記太陽電池の基板の第1の表面上にN型ドープシリコンナノ粒子の複数の領域を形成する工程と、
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上にP型ドーパント含有層を形成する工程と、
前記P型ドーパント含有層の少なくとも一部をN型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域のそれぞれの少なくとも一部と混合する工程と、を含む、方法。
[項目2]
前記P型ドーパント含有層をN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域と混合する工程の後に、N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域からのN型ドーパントを拡散させ、前記基板内に、対応するN型拡散領域を形成する工程、及び前記P型ドーパント含有層からのP型ドーパントを拡散させ、前記N型拡散領域間の前記基板内に、対応するP型拡散領域を形成する工程を更に含む、項目1に記載の方法。
[項目3]
N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域からのN型ドーパントを拡散させる工程が、前記P型ドーパント含有層と混合された前記ドープシリコンナノ粒子からのある量のP型ドーパントを拡散させる工程を更に含み、前記対応するN型拡散領域が前記量のP型ドーパントを含む、項目2に記載の方法。
[項目4]
前記拡散が、前記混合と同じ加熱操作において実行される、項目2に記載の方法。
[項目5]
前記基板の前記第1の表面が前記太陽電池の背面であり、前記基板の第2の表面が前記太陽電池の受光面であり、前記方法が、
前記N型拡散領域及びP型拡散領域への金属コンタクトを形成する工程を更に含む、項目2に記載の方法。
[項目6]
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域を形成する工程が、およそ5〜100ナノメートルの範囲の平均粒子サイズ及びおよそ10〜50%の範囲の多孔率を有するリンドープシリコンナノ粒子を印刷又はスピンオンコーティングする工程を含む、項目1に記載の方法。
[項目7]
前記P型ドーパント含有層を形成する工程が、N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上に酸化ホウ素(B 2 O 3 )の層を形成する工程を含む、項目1に記載の方法。
[項目8]
B 2 O 3 の前記層を前記形成する工程が、三臭化ホウ素(BBr 3 )及び酸素(O 2 )を堆積させる工程を含む、項目7に記載の方法。
[項目9]
前記N型ドープシリコンナノ粒子が、リンドープシリコンナノ粒子であり、前記P型ドーパント含有層が、ホウ素含有層であり、前記P型ドーパント含有層をN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域と混合する工程が、ホウリンケイ酸ガラス(BPSG)の対応する領域を形成する工程を含む、項目1に記載の方法。
[項目10]
前記混合が、およそ摂氏700〜1100度の範囲の温度でおよそ1〜100分の範囲の期間、実行される、項目1に記載の方法。
[項目11]
項目1に記載の方法に従って製造される太陽電池。
[項目12]
太陽電池のエミッタ領域の製造方法であって、
前記太陽電池の基板の第1の表面上にN型ドープシリコンナノ粒子の複数の領域を形成する工程と、
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上にP型ドーパント含有層を形成する工程と、
前記P型ドーパント含有層上にエッチング耐性層を形成する工程と、
前記基板の第2の表面を粗面化するために前記第1の表面と反対側の前記基板の前記第2の表面をエッチングする工程であって、前記エッチング耐性層は前記エッチングの最中に前記P型ドーパント含有層を保護する、工程と、を含む、方法。
[項目13]
前記P型ドーパント含有層を形成する工程の後に、N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域からのN型ドーパントを拡散させ、前記基板内に、対応するN型拡散領域を形成するため、及び前記P型ドーパント含有層からのP型ドーパントを拡散させ、前記N型拡散領域間の前記基板内に、対応するP型拡散領域を形成するために、前記基板を加熱する工程、を更に含む、項目12に記載の方法。
[項目14]
前記加熱が、およそ摂氏850〜1100度の範囲の温度でおよそ1〜100分の範囲の期間、実行される、項目13に記載の方法。
[項目15]
前記加熱が、前記エッチングの後に実行される、項目13に記載の方法。
[項目16]
前記基板の前記第1の表面が、前記太陽電池の背面であり、前記基板の前記第2の表面が、前記太陽電池の受光面であり、前記方法が、
前記N型拡散領域及びP型拡散領域に金属コンタクトを形成する工程を更に含む、項目13に記載の方法。
[項目17]
前記基板の前記第2の表面をエッチングする工程の後に、前記基板の前記粗面化された第2の表面上に反射防止コーティング層を形成する工程を更に含む、項目12に記載の方法。
[項目18]
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域を形成する工程が、およそ5〜100ナノメートルの範囲の平均粒子サイズ及びおよそ10〜50%の範囲の多孔率を有するリンドープシリコンナノ粒子を印刷又はスピンオンコーティングする工程を含む、項目12に記載の方法。
[項目19]
前記P型ドーパント含有層を形成する工程がホウケイ酸ガラス(BSG)層を形成する工程を含む、項目12に記載の方法。
[項目20]
前記エッチング耐性層を形成する工程が、窒化ケイ素層を形成する工程を含む、項目12に記載の方法。
[項目21]
前記基板が、単結晶シリコン基板であり、前記基板の前記第2の表面をエッチングする工程が、前記第2の表面を水酸化物ベースのウェットエッチング液で処理する工程を含む、項目12に記載の方法。
[項目22]
項目12に記載の方法に従って製造される太陽電池。
[項目23]
太陽電池であって、
前記太陽電池の基板の第1の表面上に配設されるN型ドープシリコンナノ粒子の複数の領域、及び前記基板内の対応するN型拡散領域と、
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上に配設され、N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上に配設されるP型ドーパント含有層、及び前記N型拡散領域間の前記基板内の対応するP型拡散領域と、
前記P型ドーパント含有層上に配設されるエッチング耐性層と、
前記エッチング耐性層、前記P型ドーパント含有層、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域を貫き、前記N型拡散領域まで配設される金属コンタクトの第1のセットと、
前記エッチング耐性層及び前記P型ドーパント含有層を貫き、前記P型拡散領域まで配設される金属コンタクトの第2のセットと、を含む、太陽電池。
[項目24]
前記第1の表面と反対側の、前記基板の粗面化された第2の表面を更に含む、項目23に記載の太陽電池。
[項目25]
前記基板の前記第1の表面が、前記太陽電池の背面であり、前記基板の前記第2の表面が、前記太陽電池の受光面である、項目24に記載の太陽電池。
[項目26]
前記基板の前記粗面化された第2の表面上に配設される反射防止コーティング層を更に含む、項目24に記載の太陽電池。
[項目27]
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域が、およそ5〜100ナノメートルの範囲の平均粒子サイズを有するリンドープシリコンナノ粒子を含む、項目23に記載の太陽電池。
[項目28]
前記P型ドーパント含有層が、ホウケイ酸ガラス(BSG)の層である、項目23に記載の太陽電池。
[項目29]
前記エッチング耐性層が、窒化ケイ素層である、項目23に記載の太陽電池。
[項目30]
前記基板が、単結晶シリコン基板である、項目23に記載の太陽電池。
Claims (11)
- 太陽電池のエミッタ領域の製造方法であって、
前記太陽電池の基板の第1の表面上にN型ドープシリコンナノ粒子の複数の領域を形成する工程と、
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上にP型ドーパント含有層を形成する工程と、
前記P型ドーパント含有層の少なくとも一部をN型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域のそれぞれの少なくとも一部と混合する工程と、を含む、方法。 - 前記P型ドーパント含有層をN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域と混合する工程の後に、N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域からのN型ドーパントを拡散させ、前記基板内に、対応するN型拡散領域を形成する工程、及び前記P型ドーパント含有層からのP型ドーパントを拡散させ、前記N型拡散領域間の前記基板内に、対応するP型拡散領域を形成する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
- N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域からのN型ドーパントを拡散させる工程が、前記P型ドーパント含有層と混合された前記ドープシリコンナノ粒子からのある量のP型ドーパントを拡散させる工程を更に含み、前記対応するN型拡散領域が前記量のP型ドーパントを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記拡散が、前記混合と同じ加熱操作において実行される、請求項2に記載の方法。
- 前記基板の前記第1の表面が前記太陽電池の背面であり、前記基板の第2の表面が前記太陽電池の受光面であり、前記方法が、
前記N型拡散領域及びP型拡散領域への金属コンタクトを形成する工程を更に含む、請求項2に記載の方法。 - N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域を形成する工程が、およそ5〜100ナノメートルの範囲の平均粒子サイズ及びおよそ10〜50%の範囲の多孔率を有するリンドープシリコンナノ粒子を印刷又はスピンオンコーティングする工程を含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記P型ドーパント含有層を形成する工程が、N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上、及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上に酸化ホウ素(B2O3)の層を形成する工程を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 太陽電池であって、
前記太陽電池の基板の第1の表面上に配設されるN型ドープシリコンナノ粒子の複数の領域、及び前記基板内の対応するN型拡散領域と、
N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域上に配設され、N型ドープシリコンナノ粒子の前記領域間の前記基板の前記第1の表面上に配設されるP型ドーパント含有層、及び前記N型拡散領域間の前記基板内の対応するP型拡散領域であり、前記P型ドーパント含有層の少なくとも一部は前記N型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域のそれぞれの少なくとも一部と混合される、前記P型ドーパント含有層及び前記P型拡散領域と、
前記P型ドーパント含有層及びN型ドープシリコンナノ粒子の前記複数の領域を貫き、前記N型拡散領域まで配設される金属コンタクトの第1のセットと、
前記P型ドーパント含有層を貫き、前記P型拡散領域まで配設される金属コンタクトの第2のセットと、を含む、太陽電池。 - 前記第1の表面と反対側の、前記基板の粗面化された第2の表面を更に含む、請求項8に記載の太陽電池。
- 前記基板の前記第1の表面が、前記太陽電池の背面であり、前記基板の前記第2の表面が、前記太陽電池の受光面である、請求項9に記載の太陽電池。
- 前記P型ドーパント含有層上に配設されるエッチング耐性層を更に含み、
前記金属コンタクトの第1のセット及び第2のセットは、更に前記エッチング耐性層を貫く、請求項8から10のいずれか一項に記載の太陽電池。
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