JP6296558B2 - 銅合金およびその製造方法 - Google Patents
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Description
この工程では、亜共晶組成のCu−Zr二元系合金からCu−Zr二元系合金粉末を作製する。この工程では、特に限定されないが、例えば、亜共晶組成のCu−Zr二元系合金から高圧ガスアトマイズ法により合金粉末を作製することが好ましい。このとき、合金粉末の平均粒径は、30μm以下であることが好ましい。この平均粒径は、レーザー回折式粒度分布測定装置を用いて測定するD50粒子径とする。原料としては、5.0at%以上8.0at%以下の範囲でZrを含む銅合金とすることができれば、特に限定されず、合金を用いても、純金属を用いてもよい。このうち、Zrを5.0at%以上8.0at%以下の範囲で含む銅合金を粉末化工程に用いることが好ましい。また、加工性がより低下する、Zrを5.5at%以上、より好ましくは、6.0at%以上の範囲で含む銅合金を用いるものとすれば、本発明を適用する意義が高い。この原料は、Cu及びZr以外を含まないことが望ましい。また、原料に用いる銅合金は、上述したモザイク状の組織を有さないことが好ましい。ここで得られる合金粉末には、急冷によって凝固途中で終結したデンドライトを含むものとしてもよい。このデンドライトは、のちの焼結工程で消滅することがある。
この工程では、平均粒径が30μm以下であり、Zrを5.00at%以上8.00at%以下含有する亜共晶組成のCu−Zr二元系合金粉末を、0.9Tm℃以下の温度(Tm(℃)は合金粉末の融点)となるように直流パルス通電を行うことにより放電プラズマ焼結する処理を行う。この工程では、直流パルスは、例えば、1.0kA〜5kAの範囲、より好ましくは、3kA〜4kAの範囲とすることができる。焼結温度は、0.9Tm℃以下の温度とし、例えば、900℃以下としてもよい。なお、焼結温度の下限値は、放電プラズマ焼結が可能な温度とし、原料組成や粒度、直流パルスの条件により適宜設定するが、例えば、600℃以上としてもよい。最高温度での保持時間は、適宜設定するが、例えば、30分以下、より好ましくは15分以下とすることができる。放電プラズマ焼結時には、合金粉末を加圧することが好ましく、例えば、10MPa以上で加圧することがより好ましく、30MPa以上で加圧することが更に好ましい。こうすれば、緻密な銅合金を得ることができる。加圧方法としては、Cu−Zr二元系合金粉末を黒鉛ダイスに収容し、黒鉛棒により押圧するものとしてもよい。
この工程では、放電プラズマ焼結した銅合金を伸線又は圧延加工する。まず、伸線加工する場合について説明する。伸線加工する工程では、伸線加工度η=A0/A(A0は加工前、Aは加工後の断面積)としたとき、伸線加工度ηが3.0以上で伸線加工を行うものとすることができる。この伸線加工度ηは、4.6以上であることがより好ましく、10.0以上であるものとしてもよい。また、伸線加工度ηは、15.0以下であることが好ましい。この工程では、冷間で伸線するものとしてもよい。ここで、冷間とは、加熱しないことをいい、常温で加工することを示す。このように冷間で伸線加工すると、再結晶することを抑制することができる。あるいは、放電プラズマ焼結した銅合金から伸線材へ加工する途中に焼き鈍しを行うものとしてもよい。焼き鈍しの温度は、例えば、650℃以下とすることができる。伸線方法は特に限定されるものではないが、穴ダイス引き抜きやローラーダイス引き抜きなどとすることができ、軸に平行な方向にせん断力が加わることによって素材にせん断すべり変形が生じるものであることがより好ましい。せん断すべり変形は、ダイスとの接触面で摩擦を受けながらダイス中に材料を引き通す単純せん断変形をすることなどによって与えることができる。この伸線工程では、サイズの異なる複数のダイスを用いて、伸線加工するものとしてもよい。伸線ダイスの孔は円形に限る必要はなく、角線用ダイス、異形用ダイス、チューブ用ダイスなどを用いてもよい。この伸線工程では、線径が1.0mm以下となるように伸線することが好ましく、0.10mm以下となるように伸線することがより好ましく、0.010mm以下となるように伸線することが更に好ましい。このような極細径の線材では、本発明の適用の意義が高い。なお、線径は、加工を容易にする観点から0.003mm以上が好ましい。
粉末化工程としての高圧Arガスアトマイズ法で作製したCu−Zr合金粉末を用い、これらを106μm以下に篩い分けした。Zrの含有量は、1at%、3at%、5at%とし、それぞれ実験例1〜3の合金粉末とした。合金粉末の粒度は、島津製作所製レーザー回折式粒度分布測定装置(SALD−3000J)を用いて測定した。この粉末の酸素含有量は0.100mass%であった。焼結工程としてのSPS(放電プラズマ焼結)は、SPSシンテックス(株)製放電プラズマ焼結装置(Model:SPS−3.2MK−IV)を用いて行った。50×50×10mmのキャビティを持つ黒鉛型内に粉末225gを入れ、3kA〜4kAの直流パルス通電を行い、昇温速度0.4K/s、焼結温度1173K(約0.9Tm;Tmは合金の融点)、保持時間15min、加圧30MPaで実験例1〜3の銅合金(SPS材)を作製した。得られたSPS材を切削加工して直径10mm、長さ50mmの丸棒材とし、これを伸線加工した。スウェージング、溝ロールおよびローラーダイスを組み合わせ、923Kでの中間焼鈍を途中6回繰り返しながら、直径1mm(伸線加工度η=4.6)から、最小直径0.037mm(伸線加工度η=11.2)まで冷間線加工を行った。得られたものを実験例1〜3の銅合金伸線材とした。なお、ここでは、伸線加工度η=A0/A(A0は加工前、Aは加工後の断面積)とし、伸線加工度η=0、4.6、5.2、7.0、8.0、10.5および11.2で順次、伸線加工を行った。
銅鋳型鋳造法で銅合金を作製した。Cu−4at%Zr銅合金、Cu−4.5at%Zr銅合金、およびCu−5.89at%Zr銅合金をそれぞれ実験例4〜6とした。まず、上記含有量となるZrと残部CuとからなるCu−Zr二元系合金をArガス雰囲気下でレビテーション溶解した。次に、直径10mmの丸棒状のキャビティを彫り込んだ純銅鋳型に塗型をし、約1200℃の溶湯を注湯して丸棒インゴットを鋳造した。このインゴットについて、マイクロメーターで直径を測定して、直径が10mmであることを確認した。次に、室温まで冷却した丸棒インゴットを常温で、順次穴径が小さくなる20〜40個のダイスに通して伸線後の線材の直径が1mmとなるように伸線加工を行い、実験例4〜6の伸線材を得た。このとき、伸線速度は20m/minとした。この銅合金線材について、マイクロメーターで直径を測定して、直径が1mmであることを確認した。
ミクロ組織の観察は、走査型電子顕微鏡(SEM)と走査型透過電子顕微鏡(STEM)、およびナノビーム電子線回折法(NBD)を用いて行った。
化合物相の同定は、Co−Kα線を用いてX線回折法により行った。
得られた実験例のSPS材および伸線材の電気的性質は、常温においてプローブ式導電率測定および長さ500mmでの四端子法電気抵抗測定によって調べた。導電率はJISH0505に準じて銅合金の体積抵抗を測定し、焼き鈍した純銅の抵抗値(1.7241μΩcm)との比を計算して導電率(%IACS)に換算した。換算には、以下の式を用いた。導電率γ(%IACS)=1.7241÷体積抵抗ρ×100。
また機械的性質は、島津製作所製AG−I(JIS B7721 0.5級)精密万能試験機を用いてJISZ2201に準じて測定した。そして、最大荷重を銅合金線材の初期の断面積で除した値である引張強さを求めた。
実験例3の銅合金に含まれるCu−Zr化合物相に対してヤング率E及びナノインデンテーション法による硬さHの測定を行った。測定装置は、Agilent Technologies社製Nano Indenter XP/DCMを用い、インデンターヘッドとしてXP、圧子をダイヤモンド製バーコビッチ型を用いた。また、解析ソフトはAgilent Technologies社のTest Works4を用いた。測定条件は、測定モードをCSM(連続剛性測定)とし、励起振動周波数を45Hz、励起振動振幅を2nm、歪速度を0.05s-1、押し込み深さを1000nm、測定点数Nを5、測定点間隔を5μm、測定温度を23℃、標準試料をフューズドシリカとした。サンプルをクロスセクションポリッシャ(CP)により断面加工を行い、熱溶融性接着剤を用いて試料台及びサンプルを100℃、30秒加熱してサンプルを試料台に固定し、これを測定装置に装着してCu−Zr化合物相のヤング率E及びナノインデンテーション法による硬さHを測定した。ここでは、5点測定した平均値をヤング率E及びナノインデンテーション法による硬さHとした。
(銅合金粉末)
高圧Arガスアトマイズ法で作製したCu−5at%Zr合金粉末(これはその後106μm以下に篩分けした)の断面SEM−BEI像を図2に示す.粒子径は36μmであった。急冷によって凝固途中で終結したと思われるデンドライトが観察された。2次DAS(Dendrite Arm Spacing)を任意の4ヶ所で測定し、その平均値を求めると0.81μmであった。この値は、銅鋳型鋳造法で作製したCu−4at%Zr合金の2.7μmに比べて1桁小さく、急冷効果を示している。この粉末では、多少凝集した状態が観察されたが、噴霧チャンバー壁への衝突で生じるフレーク状のものは取り除かれて少なかった。Cu−1、Cu−3、Cu−5at%Zr合金粉末の平均粒子径は、それぞれ26μm、23μmおよび19μm、標準偏差は0.25μm、0.28μmおよび0.32μmであった。どの組成の粒子径も、測定限界の1μmから106μmまでの範囲でほぼ対数正規分布していた。次に、Cu−5at%Zr合金粉末をX線回折法で調べた結果を図3に示す。母相であるα−Cu相と共晶相内のCu5Zr化合物相のX線回折ピークが観測された。また、これ以外に、Cu−Zr系化合物相としては、Cu9Zr2と思われる回折ピークが若干量観測された。
図4は、Cu−Zr合金粉末をSPSした角板のSEM−BEI像であり、図4(a)がCu−1at%Zr合金、図4(b)がCu−3at%Zr合金、図4(c)がCu−5at%Zr合金である。図4に示したSPS材の組織は、均一で緻密な二相組織となっていた。これは、特許文献2〜4にある銅鋳型鋳造法で作製したCu−Zr合金の鋳造組織とは異なるものである。このような二相組織は、こののちに伸線加工又は圧延加工を行う上で良好な加工性を期待することができる。これは急冷された粉末粒子をSPSによる固相結合して生成した組織での最大の特徴といえる。また、実験例3のSPS材の各相をSEM−EDX分析すると、灰色の母相内ではCuと痕跡程度のZrが検出され、α−Cu相であることが分かった。一方、白色の第二相内で分析したZrの量は16.9at%であった。実験例3のSPS材では、化学量論的にもCu5Zr化合物相(Zr比は16.7at%)とよく一致し、第二相はCu5Zr化合物を含むことが分かった。すなわち、粉末材で観察されたCu5Zr化合物相は、SPS後も維持されていた。また、図4に示したCu−1、3、5at%Zr合金のSPS材の比重をアルキメデス法に測定した結果、それぞれ8.92、8.85および8.79であり、SPS材は十分、緻密化していることがわかった。
直径10mmのCu−1、3、5at%Zr合金のSPS材を断線することなく、伸線加工度η=4.6、直径1mmまで伸線加工することができた。銅鋳型鋳造法で作製した5at%のZrを含む銅合金においては、伸線加工がしにくいのに対し、SPS材では伸線加工することができた。なお、今回の銅鋳型鋳造法で作製した5.89at%のZrを含む銅合金(実験例6)では、断線が生じ、伸線加工できなかった。図8は、伸線加工度η=4.6の銅合金伸線材のSEM−BEI像である。図8に示すように、Cu相とCu5Zr化合物相とが伸線軸(D.A.)方向にそれぞれ伸長した組織が観察された。なお、図8に点在する黒点は研磨材の残存であり、ボイドの発生などは観察されなかった。図9は、伸線加工度η=4.6のCu−5at%Zr銅合金伸線材の引張強度、0.2%耐力および導電率の測定結果である。引張強度と0.2%耐力は、どちらも3回測定した平均値とした。伸線材の引張強度、0.2%耐力は、いずれもSPS材よりも高かった。これはSPS材の二相組織からせん断変形によってCu5Zr化合物自体の変形と分断が起こり、さらに緻密な二相分散組織に変化したためと考えられる。一方、同程度の加工度で伸線加工した、銅鋳型鋳造法で作製したCu−4at%Zr銅合金伸線材に比して、Cu−5at%Zr銅合金伸線材の値は低かった。これは、前者がCu相と共晶相とがせん断変形し、層状組織が発達しているのに対し、本材の組織ではCu5Zr化合物単相がせん断変形を強いられ、その変形能に違いがあるため、層状組織の発達が遅れるものと考えられる。さらに、伸線材の導電率は、SPS材よりも高かった。これは、SPS材で見られたネットワーク状のCu相がせん断変形によって伸長したため、互いの接触長さが増えることにより導電率が増加したものと考えられた。これらの導電率は、同程度の加工度で伸線加工した、銅鋳型鋳造法で作製したCu−4at%Zr銅合金伸線材に比べても、約10%IACS高くなっていた。このように、SPS材から伸線加工したCu−1、3、5at%Zr銅合金は、銅鋳型鋳造材から伸線加工する場合よりも高い導電率を持つ線材を得ることができることがわかった。これは、同じ合金組成であっても、SPS法によりネットワーク状につながるα−Cu相とその中でモザイク状に分散するCu5Zr化合物単相との二相組織を生成することから生じた結果であり、この線材の大きな特徴であるものと考えられた。なお、Cu−14.2at%Zr合金のSPS材についても同様に伸線加工を試みたが、加工性が極めて低く伸線加工できなかった。例えば、Zrの含有量が8.6at%を超えると(図1の二元系状態図参照)、CuとCu−Zr化合物との共晶相(主相)の中にCu−Zr化合物が存在する組織構造となり、伸線や圧延などの加工性が極端に低下するものと推察された。
Claims (6)
- 銅合金であって、
Zrを5.00at%以上8.00at%以下含有し、CuとCu−Zr化合物とを含み、残部は銅と不可避的不純物からなり、
前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相が、共晶相を含むことなく、断面視したときに10μm以下の前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相の結晶が分散したモザイク状の組織を有し、
亜共晶組成のCu−Zr二元系合金粉末を放電プラズマ焼結したのち伸線加工され、前記伸線方向に伸長した前記モザイク状の組織を有する、銅合金。 - 銅合金であって、
Zrを5.00at%以上8.00at%以下含有し、CuとCu−Zr化合物とを含み、残部は銅と不可避的不純物からなり、
前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相が、共晶相を含むことなく、断面視したときに10μm以下の前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相の結晶が分散したモザイク状の組織を有し、
亜共晶組成のCu−Zr二元系合金粉末を放電プラズマ焼結したのち圧延加工され、前記圧延方向に扁平した前記モザイク状の組織を有する、銅合金。 - 前記Cu−Zr化合物は、Cu5Zr、Cu9Zr2及びCu8Zr3のうち少なくとも1以上である、請求項1又は2に記載の銅合金。
- CuとCu−Zr化合物とを含む銅合金の製造方法であって、
Zrを5.00at%以上8.00at%以下含有し残部は銅と不可避的不純物からなる亜共晶組成のCu−Zr二元系合金を用い高圧ガスアトマイズ法により平均粒径が30μm以下のCu−Zr二元系合金粉末を作製する粉末化工程と、
前記亜共晶組成のCu−Zr二元系合金粉末を、0.9Tm℃以下の温度(Tm(℃)は前記合金粉末の融点)で直流パルス通電を行うことにより放電プラズマ焼結し、前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相が、共晶相を含むことなく、断面視したときに10μm以下の前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相の結晶が分散したモザイク状の組織を有する銅合金を得る焼結工程と、
前記焼結工程のあと、前記放電プラズマ焼結された銅合金を伸線加工する伸線工程と、
を含む銅合金の製造方法。 - 前記伸線工程では、伸線加工度η=A0/A(A0は加工前、Aは加工後の断面積)としたとき、伸線加工度ηが3.0以上で伸線加工を行う、請求項4に記載の銅合金の製造方法。
- CuとCu−Zr化合物とを含む銅合金の製造方法であって、
Zrを5.00at%以上8.00at%以下含有し残部は銅と不可避的不純物からなる亜共晶組成のCu−Zr二元系合金を用い高圧ガスアトマイズ法により平均粒径が30μm以下のCu−Zr二元系合金粉末を作製する粉末化工程と、
前記亜共晶組成のCu−Zr二元系合金粉末を、0.9Tm℃以下の温度(Tm(℃)は前記合金粉末の融点)で直流パルス通電を行うことにより放電プラズマ焼結し、前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相が、共晶相を含むことなく、断面視したときに10μm以下の前記Cuと前記Cu−Zr化合物との2相の結晶が分散したモザイク状の組織を有する銅合金を得る焼結工程と、
前記焼結工程のあと、前記放電プラズマ焼結された銅合金を500℃以下で圧延加工を行う圧延工程と、
を含む銅合金の製造方法。
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