JP6293368B2 - 透明導電性基板及びその製造方法、並びに、透明導電性基板の製造装置 - Google Patents
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Description
本願は、2015年4月24日に日本に出願された特願2015−089296号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
これに対して、メタルメッシュを電磁波シールドとして利用する場合は、メッシュの配置等を工夫することによりシールド特性を向上できるという長所がある反面、光透過性が犠牲になったり、モアレが生じやすい等の問題を抱えていた。
図7A〜図7Dは、ITO全面形成膜の上にメタルメッシュを積層した構成の一例を示す図であり、図7Aは全体を示す平面図、図7Bは領域P5の拡大図、図7C及び図7Dは線分Z−Zにおける断面図を示している。図7A〜図7Dにおいて、符号101は可撓性基材(基板)、符号102は透明導電膜、符号103は金属膜である。
メッシュ状等の特定パターン形状からなる金属膜を形成する際に生じる、このような問題を解決する手法の開発が期待されていた。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記中間膜は、透過率が99(%)以上の部材で構成されてもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記中間膜は、比抵抗値が10000(μΩ・cm)以下であってもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記中間膜は、エッチング・ストッパー層であってもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記中間膜は、前記金属膜に開口部を形成する際に用いるエッチング液に対して、エッチング速度が1(nm/min)以下であってもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、メッシュ状に形成されてもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、トラック状に形成されてもよい。
本発明の第一態様に係る透明導電性基板においては、前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、額縁状に形成されてもよい。
<第一実施形態>
図1A〜図1Dは、本実施形態における透明導電性基板を模式的に示す図であり、図1Aは全体平面図、図1Bは領域P1の拡大平面図、図1C及び図1Dは図1Bにおける線分A−Aの断面図、を各々表している。特に、図1Cは、エッチング後の透明導電性基板を示す断面図であり、図1Dは、エッチング前の透明導電性基板を示す断面図である。
このような透明導電性基板は、図1A〜図1Dに示すように、可撓性部材からなる基体101の上に透明導電膜102、中間膜M1、金属膜103が順に積層されてなる。図1A〜図1Dは金属膜103がメッシュ状をなす一例であり、図1Aに示すように、透明導電膜102e(102)の上に配された金属膜103e(103)がメッシュ状の形状とされている。この金属膜103e(103)は、外部のGNDに接地される。
また、中間膜の比抵抗値は、透明導電膜や金属膜、中間膜の材質や膜厚、各膜が接続する面積にもよるが、10000(μΩ・cm)以下であれば、透明導電膜と金属膜との間の導通の確保に十分である。
工程1:後述するスパッタリング装置(たとえば図5)を用いて、「可撓性部材101f上に、透明導電膜102f/中間膜M1f/金属膜103fが順に積層されてなる透明導電性基板S1f」を形成し、大気雰囲気中に搬出する(図2A)。
工程2:金属膜103fのパターニングを行うために、金属膜103fの表面に所定形状にパターニングされたレジスト層Rを形成する(図2B)。以下では、レジスト層Rを形成した透明導電性基板S1fのことを、処理対象物とも呼ぶ。
工程4:所定時間後、エッチングを停止する(図2D)。処理対象物S1m2に帯する噴霧を停止するか、エッチング液から処理対象物S1m2を引き上げる。図2Dは前者の場合を表している。このとき、レジスト層が配置されていなかった領域では、中間膜が露呈された状態となる。
工程5:処理対象物S1m2を洗浄しエッチング液を除去した後、レジスト層を取り除くことにより、本発明の実施形態に係る透明導電性基板S1e(S1)が得られる。
図3A〜図3Dは、本発明の実施形態に係る透明導電性基板の他の一例を模式的に示す図であり、図3Aは全体平面図、図3Bは領域P2の拡大平面図、図3C及び図3Dは図3Bにおける線分B−Bの断面図、を各々表している。特に、図3Cは、エッチング後の透明導電性基板を示す断面図であり、図3Dは、エッチング前の透明導電性基板を示す断面図である。
図3A〜図3Dの透明導電性基板S2では、金属膜203が、中間膜M2上において、開口部を備えることにより、トラック状を形成している点のみ、図1A〜図1Dと異なる。図3A〜図3Dは、周回するトラック状の金属膜203が2周分配置された構成例を示しているが、金属膜203の周回数や、周回する金属膜203の幅、離間距離等は、必要に応じて決定される。この場合も、金属膜203e(203)は全て、外部のGNDに接地される。
図4A〜図4Dは、本発明に係る透明導電性基板の他の一例を模式的に示す図であり、図4Aは全体平面図、図4Bは領域P3の拡大平面図、図4C及び図4Dは図4Bにおける線分C−Cの断面図、を各々表している。特に、図4Cは、エッチング後の透明導電性基板を示す断面図であり、図4Dは、エッチング前の透明導電性基板を示す断面図である。
図4A〜図4Dの透明導電性基板S3では、金属膜303が、中間膜M3上において、開口部を備えることにより、基体の端部を含む額縁状を形成している点のみ、図1A〜図1Dと異なる。図4A〜図4Dにおいて、額縁状の金属膜303の幅等は、必要に応じて決定される。この場合も、金属膜303e(303)は、外部のGNDに接地される。
以下では、上述した工程1で用意した透明導電性基板S1、すなわち、「可撓性部材(PETフィルム)101f上に、透明導電膜(ITO)102f/中間膜(GIT)M1f/金属膜(Al)103fが順に積層されてなる」透明導電性基板S1f、の作製方法について説明する。
つまり、図5に示す製造装置は、前記透明導電膜を形成する第一成膜空間sp1、前記中間膜を形成する第二成膜空間sp2、及び、前記金属膜を形成する第三成膜空間sp3を少なくとも備えている。前記基体が移動する方向において、前記第二成膜空間sp2が、前記第一成膜空間sp1と前記第三成膜空間sp3との間に配置されている。
上述した透明導電膜と中間膜と金属膜酸化膜の代表的な作製条件を表1に示す。また、メッシュ状の金属膜を形成する場合(図1A〜図1D及び図2A〜図2D)の代表的なエッチング工程の処理条件を表2に示す。
表1に示すような、透明導電膜と中間膜と金属膜酸化膜の代表的な作製条件は、図5の製造装置に限定されるものではなく、たとえば、図6に示すようなマルチチャンバ型の製造装置でも達成することができる。
まず、基板は、外部からロード室(L)201に搬入される。そして、ロード室において減圧下で一定時間待機した後に、加熱室(H)202内に搬送され、所望の温度にて熱処理(脱ガス処理)が行われる。
Claims (10)
- 可撓性部材からなる基体の一面に、アモルファスである透明導電膜、中間膜、金属膜が順に積層されてなる透明導電性基板であって、
前記金属膜は1つ以上の開口部を備えており、前記中間膜が該開口部が底面を構成しており、
前記中間膜の屈折率は、前記透明導電膜の屈折率の同等以下である透明導電性基板。 - 前記中間膜は、透過率が99(%)以上の部材からなる請求項1に記載の透明導電性基板。
- 前記中間膜は、比抵抗値が10000(μΩ・cm)以下である請求項1に記載の透明導電性基板。
- 前記中間膜は、エッチング・ストッパー層である請求項1に記載の透明導電性基板。
- 前記中間膜は、前記金属膜に開口部を形成する際に用いるエッチング液に対して、エッチング速度が1(nm/min)以下である請求項4に記載の透明導電性基板。
- 前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、メッシュ状に形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の透明導電性基板。
- 前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、トラック状に形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の透明導電性基板。
- 前記金属膜は、前記中間膜上において、前記開口部を備えることにより、額縁状に形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の透明導電性基板。
- 可撓性部材からなる基体の一面に、アモルファスである透明導電膜、中間膜、金属膜が順に積層されてなる透明導電性基板の製造方法であって、
前記金属膜の上面に所望の空隙パターンを有するマスクを設けて、該空隙パターンを通して該金属膜をエッチング処理する工程を含み、
前記中間膜として、前記透明導電膜の屈折率の同等以下である屈折率を有する膜を用いる透明導電性基板の製造方法。 - 可撓性部材からなる基体の一面に、アモルファスである透明導電膜、中間膜、金属膜が順に積層されてなる透明導電性基板の製造装置であって、
前記透明導電膜を形成する第一成膜空間、前記中間膜を形成する第二成膜空間、前駆金属膜を形成する第三成膜空間を少なくとも備え、
前記基体が移動する方向において、前記第二成膜空間が、前記第一成膜空間と前記第三成膜空間との間に配置されており、
前記第二成膜空間では、前記中間膜として、前記透明導電膜の屈折率の同等以下である屈折率を有する膜を形成する透明導電性基板の製造装置。
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