JP6274530B2 - Metal substrate surface treatment method - Google Patents

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Description

本発明は、金属基材の表面処理方法に関する。特に、大気雰囲気下において、金属基材に対しカロライジング処理を行う表面処理方法に関する。   The present invention relates to a surface treatment method for a metal substrate. In particular, the present invention relates to a surface treatment method for performing calorizing treatment on a metal substrate in an air atmosphere.

金属基材に対して、新たな特性(耐摩耗性、耐熱性、耐食性等)を付与する、あるいは、表面特性を改善するために、表面処理が行われている。このような表面処理の1つとして、Fe系材料の表面にアルミニウム拡散層を形成するカロライジング処理が行われている(たとえば、特許文献1および2を参照)。   Surface treatment is performed in order to impart new characteristics (abrasion resistance, heat resistance, corrosion resistance, etc.) to the metal substrate or to improve the surface characteristics. As one of such surface treatments, calorizing treatment for forming an aluminum diffusion layer on the surface of the Fe-based material is performed (for example, see Patent Documents 1 and 2).

カロライジング処理では、被処理物(Fe系材料)を、Fe−Al合金粉末と塩化アンモニウム粉末との混合粉末中に埋設し、900〜1050℃程度まで加熱する。加熱により、AlとClとが反応して、AlClの蒸気が発生し、これが被処理物の表面に接触して、被処理物のFeとAlとが置換され、Alが被処理物に拡散する。その結果、Fe−Al合金からなるアルミニウム拡散層が形成される。このFe−Al合金は、耐摩耗性、耐熱性、耐酸化性等に優れているため、このような優れた特性を被処理物に付与することができる。 In the calorizing treatment, an object to be treated (Fe-based material) is embedded in a mixed powder of Fe—Al alloy powder and ammonium chloride powder and heated to about 900 to 1050 ° C. By heating, Al and Cl react to generate AlCl 3 vapor, which comes into contact with the surface of the object to be processed, and the Fe and Al of the object to be processed are replaced, and Al diffuses into the object to be processed. To do. As a result, an aluminum diffusion layer made of an Fe—Al alloy is formed. Since this Fe—Al alloy is excellent in wear resistance, heat resistance, oxidation resistance, and the like, such excellent characteristics can be imparted to the workpiece.

特開2007−17029号公報JP 2007-17029 A 特開2000−141021号公報JP 2000-141012 A

しかしながら、カロライジング処理では、被処理物および混合粉末が充填された容器を密封あるいは半密封処理し、還元雰囲気あるいは真空中において加熱処理を行っている。したがって、容器の密封処理、加熱時の雰囲気調整等が必要となるため、コストが高いという問題があった。   However, in the calorizing process, the container filled with the object to be processed and the mixed powder is sealed or semi-sealed and heat-treated in a reducing atmosphere or in a vacuum. Therefore, there is a problem that the cost is high because the container sealing process, the atmosphere adjustment at the time of heating, and the like are required.

容器を密封あるいは半密封して還元雰囲気あるいは真空中において加熱処理を行う理由は、被処理物および混合粉末中のFe−Al合金粉末の酸化、混合粉末の固化を防ぐためである。   The reason why the container is sealed or semi-sealed and heat treatment is performed in a reducing atmosphere or vacuum is to prevent oxidation of the Fe-Al alloy powder in the object to be processed and the mixed powder and solidification of the mixed powder.

カロライジング処理において、被処理物およびFe−Al合金粉末が酸化すると、アルミニウム拡散層の形成が困難となり、被処理物の表面改質が困難になるという問題があった。また、混合粉末が固化すると、混合粉末中の埋設されている被処理物の回収が困難となるという問題があった。   In the calorizing process, if the object to be processed and the Fe—Al alloy powder are oxidized, it is difficult to form an aluminum diffusion layer and it is difficult to modify the surface of the object to be processed. Further, when the mixed powder is solidified, there is a problem that it is difficult to recover the object to be processed embedded in the mixed powder.

本発明は、上記の状況を鑑みてなされ、カロライジング処理を大気雰囲気下で行っても、被処理物たる金属基材にアルミニウム拡散層を十分に形成できる金属基材の表面処理方法を低コストで提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a low-cost surface treatment method for a metal substrate that can sufficiently form an aluminum diffusion layer on a metal substrate that is an object to be processed even when the calorizing treatment is performed in an air atmosphere. The purpose is to provide in.

カロライジング処理を行う際に用いられる処理剤(Fe−Al合金粉末および塩化アンモニウム粉末との混合粉末)は粉末状であるため、粒子間に空隙が存在し、いわばポーラスな状態である。したがって、このようなポーラス状態の処理剤が酸化された場合、ポーラスな(空隙が存在する)状態のままで酸化されると考えられる。一方、処理剤の酸化が過剰に進めば、粒子同士が固着して処理剤全体が固化してしまうと考えられる。   Since the treatment agent (mixed powder of Fe-Al alloy powder and ammonium chloride powder) used for the calorizing treatment is powdery, there are voids between the particles, so to speak, it is in a porous state. Therefore, when such a treatment agent in a porous state is oxidized, it is considered that it is oxidized in a porous state (where voids exist). On the other hand, if the oxidation of the treatment agent proceeds excessively, it is considered that the particles adhere to each other and the entire treatment agent is solidified.

ところが、本発明者らは、被処理物および処理剤が充填された容器を大気雰囲気下で加熱すると、意外にも、加熱の初期段階において、粉末状の処理剤の表面のみが酸化され、緻密な膜が形成されることを見出した。   However, when the present inventors heat a container filled with an object to be processed and a processing agent in an air atmosphere, surprisingly, only the surface of the powdered processing agent is oxidized in the initial stage of heating, resulting in a dense structure. It was found that a thick film was formed.

この緻密な膜は、処理剤と大気との界面に形成されており、処理剤の内部への大気の侵入を遮断する。換言すれば、少なくとも被処理物およびその近傍に存在する処理剤は当該膜により密閉される。その結果、処理剤の内部に埋設された被処理物(金属基材)および処理剤は大気中の酸素により酸化されず、大気雰囲気下であってもカロライジング処理を行うことができるという知見を得た。   This dense film is formed at the interface between the treatment agent and the atmosphere, and blocks the entry of the atmosphere into the treatment agent. In other words, at least the object to be processed and the treatment agent present in the vicinity thereof are sealed by the film. As a result, it has been found that the object to be processed (metal base material) and the processing agent embedded in the processing agent are not oxidized by oxygen in the atmosphere, and can be calorized even in an air atmosphere. Obtained.

本発明は、このような知見に基づき、上記の課題を解決してなされたものである。   The present invention has been made by solving the above problems based on such knowledge.

すなわち、本発明の態様は、
(1)金属基材がFe−Al合金粉末と塩化アンモニウム粉末とを含有し、アルミナ粉末を含まない処理剤中に埋設されて容器内部に充填された容器を準備する準備工程と、
前記容器を加熱して、前記金属基材の表層部にアルミニウム拡散層を形成するカロライジング処理工程と、を有し、
前記カロライジング処理工程は大気雰囲気下で行われ、前記アルミニウム拡散層を形成する前に、前記処理剤と大気との界面に緻密な膜を形成することを特徴とする金属基材の表面処理方法である。
(2)前記緻密な膜が、前記処理剤に含まれるアルミニウムと大気中の酸素との反応により得られるアルミナを含むことを特徴とする(1)に記載の金属基材の表面処理方法である。
(3)前記カロライジング処理において、加熱時の最高温度が650〜1000℃の範囲内であることを特徴とする(1)または(2)に記載の金属基材の表面処理方法である。
(4)前記準備工程において、前記金属基材および前記処理剤が充填された前記容器を密封または半密封状態とすることを特徴とする(1)から(3)のいずれかに記載の金属基材の表面処理方法である。
(5)前記容器が加熱炉の筐体であることを特徴とする(1)から(4)のいずれかに記載の金属基材の表面処理方法である。
(6)前記容器がるつぼであることを特徴とする(1)から(4)のいずれかに記載の金属基材の表面処理方法である。
(7)前記処理剤全体を100質量%とすると、前記Fe−Al合金粉末の割合が、85〜99.9質量%であることを特徴とする(1)から(6)のいずれかに記載の金属基材の表面処理方法である。
(8)前記金属基材がFe系材料であることを特徴とする(1)から(7)のいずれかに記載の金属基材の表面処理方法である。
That is, the aspect of the present invention is
(1) A preparation step of preparing a container in which a metal base material contains Fe-Al alloy powder and ammonium chloride powder and is embedded in a treatment agent not containing alumina powder and filled inside the container;
A calorizing treatment step of heating the container and forming an aluminum diffusion layer on a surface layer portion of the metal substrate,
The calorizing treatment step is performed in an air atmosphere, and before forming the aluminum diffusion layer, a dense film is formed at the interface between the treatment agent and the air, and the metal substrate surface treatment method is characterized in that It is.
(2) The metal substrate surface treatment method according to (1), wherein the dense film contains alumina obtained by a reaction between aluminum contained in the treatment agent and oxygen in the atmosphere. .
(3) In the calorizing treatment, the metal substrate surface treatment method according to (1) or (2), wherein a maximum temperature during heating is in a range of 650 to 1000 ° C.
(4) The metal substrate according to any one of (1) to (3), wherein in the preparation step, the container filled with the metal base material and the treatment agent is sealed or semi-sealed. This is a surface treatment method for a material.
(5) The metal substrate surface treatment method according to any one of (1) to (4), wherein the container is a casing of a heating furnace.
(6) The metal substrate surface treatment method according to any one of (1) to (4), wherein the container is a crucible.
(7) If the total amount of the treatment agent is 100% by mass, the proportion of the Fe—Al alloy powder is 85 to 99.9% by mass, according to any one of (1) to (6) This is a surface treatment method for a metal substrate.
(8) The surface treatment method for a metal substrate according to any one of (1) to (7), wherein the metal substrate is an Fe-based material.

本発明によれば、カロライジング処理を大気雰囲気下で行っても、被処理物たる金属基材にアルミニウム拡散層を十分に形成できる金属基材の表面処理方法を低コストで提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it performs calorizing processing in air | atmosphere atmosphere, the surface treatment method of the metal base material which can fully form an aluminum diffusion layer in the metal base material which is a to-be-processed object can be provided at low cost. .

図1は、本実施形態に係る表面処理方法において、被処理物および処理剤を容器に充填する方法を説明するための模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a method of filling a container with a workpiece and a treatment agent in the surface treatment method according to the present embodiment. 図2は、図1におけるII部分の拡大図であって、処理剤の表面に緻密な膜が形成されるメカニズムを説明するための模式図である。FIG. 2 is an enlarged view of a portion II in FIG. 1 and is a schematic diagram for explaining a mechanism by which a dense film is formed on the surface of the treatment agent. 図3は、本実施形態に係る表面処理方法において、容器として横型の加熱炉を用いた場合に、緻密な膜が形成される場所を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a place where a dense film is formed when a horizontal heating furnace is used as a container in the surface treatment method according to the present embodiment. 図4は、本実施形態に係る表面処理方法において、容器として横型の加熱炉を用いた場合に、被処理物および処理剤を容器に充填する方法を説明するための模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a method of filling an object to be processed and a processing agent into a container when a horizontal heating furnace is used as the container in the surface treatment method according to the present embodiment. 図5は、本発明の実施例に係る試料断面の金属顕微鏡写真およびSEM写真である。FIG. 5 is a metal micrograph and SEM photograph of a sample cross section according to an example of the present invention. 図6は、本発明の実施例に係る試料断面の金属顕微鏡写真およびSEM写真である。FIG. 6 is a metal micrograph and SEM photograph of a sample cross section according to an example of the present invention.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき、以下の順序で詳細に説明する。
1.金属基材の表面処理方法
1−1 準備工程
1−2 カロライジング処理工程
1−3 表面処理後の金属基材
2.本実施形態の効果
3.変形例
Hereinafter, the present invention will be described in detail in the following order based on embodiments shown in the drawings.
1. 1. Surface treatment method of metal substrate 1-1 Preparatory step 1-2 Calorizing treatment step 1-3 Metal substrate after surface treatment Effect of the present embodiment 3. Modified example

(1.金属基材の表面処理方法)
本実施形態に係る金属基材の表面処理方法は、Fe系材料からなる金属基材に対して、大気雰囲気下でカロライジング処理を行う。以下、当該表面処理方法について具体的に説明する。
(1. Surface treatment method of metal substrate)
In the metal substrate surface treatment method according to the present embodiment, a calorizing treatment is performed in an air atmosphere on a metal substrate made of an Fe-based material. Hereinafter, the surface treatment method will be specifically described.

(1−1 準備工程)
まず、カロライジング処理の被処理物である金属基材を準備する。金属基材はFe系材料またはNi系材料から構成され、本実施形態では、金属基材はFe系材料である。Fe系材料は、Feおよび不可避的不純物から構成されていてもよいし、Feが主成分である材料であってもよい。Fe系材料には、Fe以外に、C、Cr、Ni等の公知の合金元素が含まれていてもよい。また、金属基材は、当該金属基材が用いられる用途に応じて種々の形状を有しており、特に制限されない。
(1-1 Preparation process)
First, a metal substrate that is an object to be calorized is prepared. The metal substrate is composed of an Fe-based material or a Ni-based material, and in this embodiment, the metal substrate is an Fe-based material. The Fe-based material may be composed of Fe and inevitable impurities, or may be a material mainly composed of Fe. In addition to Fe, the Fe-based material may contain known alloy elements such as C, Cr, and Ni. Moreover, the metal base material 1 has various shapes according to the use for which the metal base material is used, and is not particularly limited.

続いて、図1に示すように、準備した金属基材1が、Fe−Al合金粉末と塩化アンモニウム(NHCl)粉末との混合粉末を有する処理剤5中に埋設されるように容器としての加熱炉の筐体10(炉心管)内に充填する。「金属基材を処理剤中に埋設する」とは、当該筐体10内において、金属基材1の表面全体が処理剤5と接触して覆われるように、金属基材1を処理剤5中に配置することをいう。充填容器の内部に対して、処理剤および被処理物が占める容積割合は、大気が占める容積がある程度確保されていれば、特に制限されない。 Subsequently, as shown in FIG. 1, the prepared metal substrate 1 is used as a container so as to be embedded in a treatment agent 5 having a mixed powder of Fe—Al alloy powder and ammonium chloride (NH 4 Cl) powder. Is filled in the casing 10 (core tube) of the heating furnace. “Embed the metal substrate in the treatment agent” means that the metal substrate 1 is treated with the treatment agent 5 so that the entire surface of the metal substrate 1 is covered with the treatment agent 5 in the housing 10. This means placing it inside. The volume ratio occupied by the processing agent and the object to be processed with respect to the inside of the filling container is not particularly limited as long as the volume occupied by the atmosphere is secured to some extent.

容器の材質は、Fe−Al合金よりも酸化されにくい材質であればよいが、Fe−Al合金は酸素と反応しやすいので、種々の材質を使用することができる。たとえば、Fe系材料であってもよい。なお、後述するカロライジング処理時に、処理剤が膨張するので、その膨張により破損しない程度の強度を有する材質であることが好ましい。本実施形態では、酸化物セラミックスから構成されていることが好ましく、耐火材料として用いられるアルミナ、ムライト等が例示される。   The material of the container may be any material that is less likely to be oxidized than the Fe—Al alloy, but various materials can be used because the Fe—Al alloy easily reacts with oxygen. For example, an Fe-based material may be used. In addition, since a processing agent expand | swells at the time of the calorizing process mentioned later, it is preferable that it is a material which has the intensity | strength of the grade which is not damaged by the expansion | swelling. In this embodiment, it is preferable to be comprised from oxide ceramics, and the alumina, mullite, etc. which are used as a refractory material are illustrated.

本実施形態では、金属基材1および処理剤5を充填した後、筐体10の開口部をグラスウール20等により塞いで、筐体10内部を半密封状態とする。「半密封状態」とは、カロライジング処理における加熱により、筐体内部の温度を均一に保てる程度の気密性が保たれている状態をいう。このような半密封状態とすることにより、筐体外部と筐体内部との間の大気の流通もある程度制限される。その結果、筐体内部への酸素の供給が制限され処理剤の表面の過剰な酸化が生じにくいため、好ましい。このような半密封状態は、筐体10の開口部に蓋を載せることでも実現することができる。   In this embodiment, after filling the metal base material 1 and the treatment agent 5, the opening of the housing 10 is closed with glass wool 20 or the like to make the inside of the housing 10 semi-sealed. The “semi-sealed state” refers to a state in which airtightness is maintained so that the temperature inside the housing can be kept uniform by heating in the calorizing process. By adopting such a semi-sealed state, air circulation between the outside of the housing and the inside of the housing is also restricted to some extent. As a result, the supply of oxygen to the inside of the casing is limited, and excessive oxidation of the surface of the treatment agent is unlikely to occur, which is preferable. Such a semi-sealed state can also be realized by placing a lid on the opening of the housing 10.

筐体内部を密封状態としてもよいが、密封処理にはコスト等が掛かるため、より簡便な手段を用いることにより容易に実現可能な半密封状態とすることが好ましい。なお、筐体内部を密封する場合には、内部を真空状態とする必要はなく、大気が存在している状態で密封すればよい。後述するが、むしろ、筐体内部には、ある程度の酸素が存在している必要がある。   The inside of the housing may be sealed. However, since the sealing process is costly, it is preferable that the housing be in a semi-sealed state that can be easily realized by using simpler means. Note that when the inside of the housing is sealed, the inside does not need to be in a vacuum state, and the housing may be sealed in the presence of the atmosphere. As will be described later, rather, a certain amount of oxygen needs to be present inside the housing.

本実施形態では、処理剤は、少なくとも、Fe−Al合金粉末および塩化アンモニウム(NHCl)粉末を有していればよい。本発明の効果が得られる範囲であれば、これらの粉末以外の粉末が含まれていてもよいが、アルミナ粉末を添加すると、後述するように処理剤表面に緻密な膜が形成されないため、処理剤は、アルミナ粉末を含有せず、また、Fe−Al合金粉末および塩化アンモニウム(NHCl)粉末のみからなることが好ましい。
In the present embodiment, the treatment agent only needs to have at least Fe—Al alloy powder and ammonium chloride (NH 4 Cl) powder. As long as the effects of the present invention can be obtained, powders other than these powders may be included. However, when alumina powder is added, a dense film is not formed on the surface of the treatment agent as described later. The agent preferably does not contain alumina powder, and consists only of Fe—Al alloy powder and ammonium chloride (NH 4 Cl) powder.

また、処理剤全体の合計質量を100質量%とした場合に、Fe−Al合金粉末が占める割合は、85〜99.9質量%が好ましい。このような範囲とすることにより、後述するが、加熱時に大気雰囲気下において、処理剤内部および被処理物への大気の接触を遮断できる程度に緻密な膜を処理剤の表面に形成することができる。   Moreover, when the total mass of the whole processing agent is 100% by mass, the proportion of the Fe—Al alloy powder is preferably 85 to 99.9% by mass. By setting it in such a range, as will be described later, in the atmosphere during heating, a dense film can be formed on the surface of the treatment agent to the extent that the contact with the atmosphere inside the treatment agent and the object to be treated can be blocked it can.

さらに、Fe−Al合金粉末における、Fe−Al合金中のAlの割合は公知の割合とすればよく、たとえば、10〜90質量%である範囲が例示される。このような範囲とすることにより、Alの拡散を効率的に行うことができる。   Furthermore, the proportion of Al in the Fe—Al alloy in the Fe—Al alloy powder may be a known proportion, and an example is a range of 10 to 90 mass%. By setting it as such a range, Al can be diffused efficiently.

(1−2 カロライジング処理工程)
続いて、金属基材1および処理剤5が充填された加熱炉を加熱してカロライジング処理を行う。このとき、加熱炉内部の雰囲気は調整せず、大気雰囲気とする。
(1-2 Calorizing treatment process)
Subsequently, the heating furnace filled with the metal substrate 1 and the treatment agent 5 is heated to perform calorizing treatment. At this time, the atmosphere inside the heating furnace is not adjusted and is set to an air atmosphere.

加熱が進行すると、図2に示すように、処理剤5と大気70との界面Iにおいて、処理剤5に含まれているFe−Al合金粉末のAlと大気70中の酸素とが反応して、当該界面Iにおいて、所定の厚みを有するアルミナ膜5aが形成される。このアルミナ膜5aは、当該界面全体を覆うように緻密な酸化膜として形成される。   As the heating proceeds, as shown in FIG. 2, Al in the Fe—Al alloy powder contained in the treatment agent 5 reacts with oxygen in the atmosphere 70 at the interface I between the treatment agent 5 and the atmosphere 70. At the interface I, an alumina film 5a having a predetermined thickness is formed. The alumina film 5a is formed as a dense oxide film so as to cover the entire interface.

具体的には、粒子間の空隙が存在する処理剤粉末の表面が大気70中の酸素により酸化され、緻密な酸化膜5aが当該界面I全体に形成される。すなわち、表面の酸化前には、大気70の流通が可能な程度にポーラスであった部分が、表面の酸化後には、処理剤5内部に大気70が侵入することを防止できる程度に緻密な膜5aに変質する。   Specifically, the surface of the treatment agent powder having voids between particles is oxidized by oxygen in the atmosphere 70, and a dense oxide film 5a is formed on the entire interface I. That is, a portion that was porous to the extent that the atmosphere 70 can be circulated before the surface oxidation is dense enough to prevent the atmosphere 70 from entering the treatment agent 5 after the surface oxidation. It changes to 5a.

このような緻密な膜5aが形成されることにより、緻密な膜5aよりも内側の部分は大気70から遮断された密閉空間となる。この密閉空間には、被処理物およびその近傍に存在している処理剤が充填されているので、加熱が進行すると、通常のカロライジング処理が行われる。すなわち、被処理物(金属基材)の表層部にAlが拡散して、アルミニウム拡散層が形成される。   By forming such a dense film 5a, a portion inside the dense film 5a becomes a sealed space cut off from the atmosphere 70. Since this sealed space is filled with the object to be processed and the processing agent present in the vicinity thereof, a normal calorizing process is performed as the heating proceeds. That is, Al diffuses in the surface layer portion of the object to be processed (metal base material) to form an aluminum diffusion layer.

処理剤の表面のみに、上記のアルミナ膜が緻密な膜として形成される詳細な理由は不明であるが、Fe−Al合金が酸素と反応しやすいこと、容器内の酸素量等が考えられる。   Although the detailed reason why the alumina film is formed as a dense film only on the surface of the treatment agent is unknown, it is considered that the Fe—Al alloy easily reacts with oxygen, the amount of oxygen in the container, and the like.

なお、加熱炉は縦型を用いることが好ましい。すなわち、加熱炉の開口部が天地方向にあることが好ましい。図3に示すように、加熱炉が横型である場合、開口部が横方向にあるため、アルミナ膜5aが開口部と加熱炉上部に形成されてしまい、縦型の場合よりも、被処理物1の取り出しが困難となってしまうからである。   The heating furnace is preferably a vertical type. That is, it is preferable that the opening of the heating furnace is in the vertical direction. As shown in FIG. 3, when the heating furnace is a horizontal type, since the opening is in the horizontal direction, the alumina film 5a is formed on the opening and the upper part of the heating furnace, so that the object to be processed is more than the case of the vertical type. This is because it becomes difficult to take out 1.

加熱時の昇温速度は、本実施形態では、500℃未満までは、4〜20℃/分の範囲内であることが好ましく、500℃以上は、1〜18℃/分の範囲内であることが好ましい。   In the present embodiment, the heating rate during heating is preferably in the range of 4 to 20 ° C./min until less than 500 ° C., and 500 ° C. or more is in the range of 1 to 18 ° C./min. It is preferable.

また、加熱時の最高温度は、Alを金属基材に十分に拡散させるために、650℃以上であることが好ましく、880℃以上であることがより好ましい。また、形成されるアルミニウム拡散層に生じるクラックを防止する観点から、加熱時の最高温度は、1000℃以下であることが好ましく、900℃以下であることがより好ましい。   In addition, the maximum temperature during heating is preferably 650 ° C. or higher, and more preferably 880 ° C. or higher, in order to sufficiently diffuse Al into the metal substrate. Further, from the viewpoint of preventing cracks generated in the formed aluminum diffusion layer, the maximum temperature during heating is preferably 1000 ° C. or less, and more preferably 900 ° C. or less.

さらに、最高温度での保持時間は、Alを金属基材に十分に拡散させるために、6時間以上20時間以下とすることが好ましい。   Furthermore, the holding time at the maximum temperature is preferably 6 hours or more and 20 hours or less in order to sufficiently diffuse Al into the metal substrate.

最高温度で所定時間保持した後、冷却する。アルミニウム拡散層に生じるクラックを防止する観点から、冷却は自然冷却または徐冷を行えばよい。冷却後、加熱炉からカロライジング処理された金属基材(被処理物)を取り出す。このとき、処理剤の表面には、アルミナ膜が形成されているので、これを除去する。アルミナ膜の内側の処理剤(Fe−Al合金粉末および塩化アンモニウム粉末の混合粉末)は粉末状を維持しており、粉末粒子同士が固着した固化状態ではない。   Hold at maximum temperature for a predetermined time and then cool. From the viewpoint of preventing cracks generated in the aluminum diffusion layer, the cooling may be natural cooling or slow cooling. After cooling, the metal base material (object to be processed) subjected to calorizing treatment is taken out from the heating furnace. At this time, since the alumina film is formed on the surface of the treatment agent, it is removed. The treatment agent (mixed powder of Fe—Al alloy powder and ammonium chloride powder) inside the alumina film maintains a powder form and is not in a solidified state in which the powder particles are fixed to each other.

したがって、大気雰囲気下においてカロライジング処理を行ったにもかかわらず、処理剤中に埋設された金属基材を容易に取り出すことができる。さらには、カロライジング処理後の処理剤を粉末として回収できるため、当該処理剤を、カロライジング処理の処理剤として再利用することも可能である。処理剤を再利用することにより、カロライジング処理に要するコストをさらに低減することができる。   Therefore, the metal substrate embedded in the treatment agent can be easily taken out despite the calorizing treatment in the air atmosphere. Furthermore, since the treatment agent after the calorizing treatment can be recovered as a powder, the treatment agent can be reused as a treatment agent for the calorizing treatment. By reusing the treatment agent, the cost required for the calorizing treatment can be further reduced.

(1−3 表面処理後の金属基材)
上記の表面処理方法により得られる金属基材は、表層部にアルミニウム拡散層が形成されている。このアルミニウム拡散層は、金属基材の表層部に存在していた金属元素(たとえば、Fe)の一部がAlに置換されることにより形成された層であるため、金属基材と一体化されている。
(1-3 metal substrate after surface treatment)
As for the metal base material obtained by said surface treatment method, the aluminum diffusion layer is formed in the surface layer part. Since this aluminum diffusion layer is a layer formed by substituting a part of the metal element (for example, Fe) existing in the surface layer portion of the metal base material with Al, it is integrated with the metal base material. ing.

アルミニウム拡散層の厚みは、光学顕微鏡または電子顕微鏡により観察される金属基材とアルミニウム拡散層とのコントラスト差に基づいて測定してもよいし、EPMA等により測定された所定の元素分布に基づいて測定してもよい。アルミニウム拡散層の厚みは、ほぼカロライジング処理条件に依存するので、所望の特性に応じて、処理条件を変化させて当該厚みを制御すればよい。本実施形態では、アルミニウム拡散層の厚みは数μmから100μm程度である。   The thickness of the aluminum diffusion layer may be measured based on a contrast difference between the metal substrate and the aluminum diffusion layer observed by an optical microscope or an electron microscope, or based on a predetermined element distribution measured by EPMA or the like. You may measure. Since the thickness of the aluminum diffusion layer substantially depends on the calorizing treatment conditions, the thickness may be controlled by changing the treatment conditions according to desired characteristics. In this embodiment, the thickness of the aluminum diffusion layer is about several μm to 100 μm.

また、アルミニウム拡散層は、さらに、アルミニウム拡散層から金属基材に向かう方向(深さ方向)において、表面層および中間層の2つの層として観察される場合がある。表面層および中間層はいずれもAlが拡散して形成された層であるが、表面層と中間層との違いは、Alの拡散の度合いの違い、結晶構造の違い等によるものである。具体的には、どちらの層も、Fe−Al合金(金属間化合物、固溶体等)から主に構成されており、表面層においては、Alの存在量が多く、かつ深さ方向にほぼ一定の分布を有しており、中間層では、金属基材側に向かうにつれ、Alの存在量が減少している。すなわち、深さ方向において、Alの存在量は次第に減少する傾向にあり、アルミニウム拡散層は傾斜組成を有している。   Further, the aluminum diffusion layer may be further observed as two layers of a surface layer and an intermediate layer in the direction (depth direction) from the aluminum diffusion layer toward the metal substrate. Both the surface layer and the intermediate layer are layers formed by diffusing Al. The difference between the surface layer and the intermediate layer is due to the difference in the degree of Al diffusion, the difference in crystal structure, and the like. Specifically, both layers are mainly composed of an Fe-Al alloy (intermetallic compound, solid solution, etc.), and the surface layer has a large amount of Al and is almost constant in the depth direction. In the intermediate layer, the abundance of Al decreases toward the metal substrate side. That is, in the depth direction, the abundance of Al tends to gradually decrease, and the aluminum diffusion layer has a gradient composition.

中間層の硬度は、表面層の硬度と金属基材の硬度との間の値を示し、熱膨張係数も、表面層の熱膨張係数と金属基材の熱膨張係数との間の値を示す。したがって、中間層は、表面層と金属基材との間の緩衝の役割を果たすことができ、表面層と金属基材との硬度差および熱膨張係数差に起因するクラックの発生を抑制することができる。   The hardness of the intermediate layer indicates a value between the hardness of the surface layer and the hardness of the metal substrate, and the thermal expansion coefficient also indicates a value between the thermal expansion coefficient of the surface layer and the thermal expansion coefficient of the metal substrate. . Therefore, the intermediate layer can serve as a buffer between the surface layer and the metal substrate, and suppresses the occurrence of cracks due to the difference in hardness and thermal expansion coefficient between the surface layer and the metal substrate. Can do.

本実施形態では、アルミニウム拡散層がFe−Al合金であるため、母材である金属基材よりも硬度が高く、金属基材に優れた耐摩耗性をもたらす。また、高温環境下では、大気中の酸素と反応してアルミニウム拡散層の表面にアルミナを形成するため、優れた耐熱性および耐酸化性を金属基材にもたらす。   In this embodiment, since the aluminum diffusion layer is an Fe—Al alloy, the hardness is higher than that of the metal base material as the base material, and the metal base material has excellent wear resistance. Further, in a high temperature environment, it reacts with oxygen in the atmosphere to form alumina on the surface of the aluminum diffusion layer, thereby providing excellent heat resistance and oxidation resistance to the metal substrate.

さらに、アルミニウム拡散層が中間層を有している場合には、表面層におけるクラックの発生を抑制でき、表面層の剥離等を抑制することができる。   Furthermore, when the aluminum diffusion layer has an intermediate layer, generation of cracks in the surface layer can be suppressed, and peeling of the surface layer can be suppressed.

(2.本実施形態の効果)
本実施形態では、被処理物である金属基材と処理剤とが充填された加熱炉を加熱することにより、処理剤と大気との界面において、処理剤の表面が酸化されて、緻密なアルミナ膜が形成される。一旦形成されたアルミナ膜は大気の進入を遮断するため、アルミナ膜の内側に配置されている被処理物および処理剤には酸素が到達しない。したがって、被処理物およびその近傍に存在している処理剤は酸化されず、大気雰囲気下でカロライジング処理を行っても、被処理物(金属基材)の表層部にAlを十分に拡散させることができる。その結果、表層部が良好な耐摩耗性、耐熱性、耐酸化性等を有するように改質された金属基材を得ることができる。
(2. Effects of this embodiment)
In this embodiment, by heating a heating furnace filled with a metal base material to be processed and a processing agent, the surface of the processing agent is oxidized at the interface between the processing agent and the atmosphere, and dense alumina is obtained. A film is formed. Since the alumina film once formed blocks the entry of air, oxygen does not reach the object to be processed and the treatment agent disposed inside the alumina film. Therefore, the treatment object and the treatment agent present in the vicinity thereof are not oxidized, and Al is sufficiently diffused in the surface layer portion of the treatment object (metal substrate) even when the calorizing treatment is performed in the air atmosphere. be able to. As a result, it is possible to obtain a metal base material modified so that the surface layer portion has good wear resistance, heat resistance, oxidation resistance, and the like.

しかも、従来のカロライジング処理のように、雰囲気を中性あるいは還元性雰囲気に調整する必要はなく、大気中で行うことができるため、雰囲気を調整する装置および工程を省略することができる。その結果、金属基材の表面処理に要するコストを低減することができる。   In addition, unlike the conventional calorizing treatment, it is not necessary to adjust the atmosphere to a neutral or reducing atmosphere, and since it can be performed in the air, the apparatus and process for adjusting the atmosphere can be omitted. As a result, the cost required for the surface treatment of the metal substrate can be reduced.

さらに、カロライジング処理後に被処理物を取り出す際に、アルミナ膜を除去すれば、アルミナ膜の内側では処理剤は固化することなく粉末状を維持しているので、被処理物を容易に取り出すことができる。また、アルミナ膜を除去すれば、カロライジング処理に用いた処理剤の大部分を、処理前と同様に粉末状として回収できるため、次回のカロライジング処理に処理剤として再利用することができる。   Furthermore, if the alumina film is removed when the workpiece is taken out after the calorizing treatment, the treatment agent is maintained in powder form without solidifying inside the alumina membrane, so that the workpiece can be easily taken out. Can do. Further, if the alumina film is removed, most of the treatment agent used for the calorizing treatment can be recovered as a powder as before the treatment, and can be reused as the treatment agent for the next calorizing treatment.

このような発明の効果は、上述したように、粒子間に空隙が存在している粉末の表面を酸化させて、緻密な膜を形成するという容易に想到し得ない手法を採用することにより、得ることができる。たとえば、処理剤中にアルミナ粉末を含有させて、カロライジング処理した場合、カロライジング処理が行われる温度では、アルミナ粉末は緻密な状態で焼結しないため、上述したような、大気の侵入を防止できる程度に緻密な膜は形成できない。
As described above, the effect of such an invention is to oxidize the surface of the powder in which voids exist between particles and to adopt a technique that cannot be easily conceived to form a dense film, Can be obtained. For example, by incorporating an alumina powder in the treatment agent, calorizing treated if, at temperatures calorizing process is performed, since the alumina powder is not sintered in dense state, as described above, the atmospheric intrusion It is impossible to form a film as dense as possible.

(3.変形例)
上記の実施形態では、加熱炉の筐体(炉心管)内部に被処理物および処理剤を充填し、カロライジング処理を行ったが、被処理物および処理剤を充填したるつぼを、加熱炉内部に載置してカロライジング処理を行ってもよい。るつぼに被処理物および処理剤を充填する方法、用いる処理剤等は、上記の実施形態と同様にすればよい。また、「るつぼ」とは、被処理物および処理剤を充填できるように構成された容器状の部材をいう。
(3. Modified examples)
In the above-described embodiment, the object to be processed and the processing agent are filled into the casing (core tube) of the heating furnace, and the calorizing process is performed. The calorizing treatment may be carried out by placing it on the surface. The method of filling the crucible with the object to be processed and the treatment agent, the treatment agent to be used, etc. may be the same as in the above embodiment. “Crucible” refers to a container-like member configured to be filled with an object to be processed and a processing agent.

加熱炉が横型である場合には、被処理物の取り出しを容易とするために、図4に示すように、るつぼを用いてカロライジング処理することが好ましい。   When the heating furnace is a horizontal type, it is preferable to perform a calorizing treatment using a crucible as shown in FIG. 4 in order to facilitate removal of the object to be processed.

上記の実施形態では、大気雰囲気下でカロライジング処理を行ったが、容器の大きさ、処理剤量等を制御すれば、大気雰囲気下よりも酸素分圧が高い雰囲気においても、カロライジング処理は可能であると考えられる。   In the above embodiment, calorizing treatment was performed in an air atmosphere, but by controlling the size of the container, the amount of the treatment agent, etc., the calorizing treatment is performed even in an atmosphere having a higher oxygen partial pressure than in the air atmosphere. It is considered possible.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention.

以下、本発明をさらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described based on further detailed examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例では、金属基材として、SUS310Sからなるパイプ(外径27.2mm×内径13.2mm×長さ10mm)を用いた。この金属基材を、処理剤と共に縦型の加熱炉内に配置した。加熱炉内部は、高さ180mmまで処理剤を充填し、高さが90mmとなる位置に金属基材を固定して埋設した。処理剤および被処理物の充填体積は、加熱炉内部の容積に対して、80%程度であった。また、加熱炉の開口部にはグラスウールを配置した。その結果、加熱炉内部には、大気が存在しており、グラスウールにより、加熱炉内部は半密封状態となっていた。   In the examples, a pipe made of SUS310S (outer diameter 27.2 mm × inner diameter 13.2 mm × length 10 mm) was used as the metal substrate. This metal substrate was placed in a vertical heating furnace together with the treatment agent. The inside of the heating furnace was filled with a treatment agent to a height of 180 mm, and a metal substrate was fixed and buried at a position where the height was 90 mm. The filling volume of the treatment agent and the object to be treated was about 80% with respect to the volume inside the heating furnace. Glass wool was disposed in the opening of the heating furnace. As a result, air was present inside the heating furnace, and the inside of the heating furnace was in a semi-sealed state by glass wool.

処理剤は、99.5質量%のFe−Al合金粉末と0.5質量%の塩化アンモニウム粉末との混合粉末を用いた。また、Fe−Al合金粉末中のAlは50質量%であった。   As the treating agent, a mixed powder of 99.5% by mass of Fe—Al alloy powder and 0.5% by mass of ammonium chloride powder was used. Moreover, Al in the Fe—Al alloy powder was 50 mass%.

続いて、この金属基材を加熱して大気雰囲気下においてカロライジング処理を行った。カロライジング処理の処理条件は、500℃に到達するまでは、8℃/分とし、500℃から最高温度までの昇温速度を3.75℃/分とし、最高温度および保持時間は表1に示す条件とし、冷却条件は自然冷却とした。   Subsequently, the metal substrate was heated and calorized in an air atmosphere. The calorizing treatment conditions were 8 ° C./min until reaching 500 ° C., the rate of temperature increase from 500 ° C. to the maximum temperature was 3.75 ° C./min, and the maximum temperature and holding time are shown in Table 1. The cooling conditions were natural cooling.

カロライジング処理後に、加熱炉の開口部に配置したグラスウールを除去すると、処理剤の表面が白い膜で覆われていることが確認できた。この白い膜を除去して、カロライジング処理後の金属基材(SUS310S製パイプ)を加熱炉から取り出し、以下のようにして試料を作製した。まず、パイプを環状に切断し、さらに露出した断面を扇状に切断して、当該断面を樹脂に埋め込んだ。これを研磨して酸洗浄を行い試料とした。   After the calorizing treatment, when the glass wool arranged at the opening of the heating furnace was removed, it was confirmed that the surface of the treatment agent was covered with a white film. The white film was removed, and the metal base material (SUS310S pipe) after the calorizing treatment was taken out of the heating furnace, and a sample was prepared as follows. First, the pipe was cut into an annular shape, the exposed cross section was cut into a fan shape, and the cross section was embedded in resin. This was polished and acid cleaned to prepare a sample.

なお、取り出し時に除去した白い膜を粉砕して、X線回折を行ったところ、アルミナに起因するピークが観察され、当該白い膜はアルミナから構成されていることが確認できた。   In addition, when the white film | membrane removed at the time of taking out was grind | pulverized and X-ray diffraction was performed, the peak resulting from an alumina was observed and it has confirmed that the said white film | membrane was comprised from the alumina.

得られた試料について、金属顕微鏡(Nikon社製LV−100)および走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジー社製TM−300)を用いて、パイプの外表面に相当する部分と、その近傍と、を観察し、表面層および中間層の厚みを観察像におけるコントラスト差に基づいて測定した。観察像を図5および6に示し、厚みの測定結果を表1に示す。   About the obtained sample, using a metal microscope (LV-100 manufactured by Nikon) and a scanning electron microscope (TM-300 manufactured by Hitachi High-Technology), a portion corresponding to the outer surface of the pipe and the vicinity thereof The thickness of the surface layer and the intermediate layer was measured based on the contrast difference in the observed image. The observation images are shown in FIGS. 5 and 6, and the thickness measurement results are shown in Table 1.

さらに、表面層、中間層および金属基材部分について、微少硬さ試験機(明石製作所製HM−124)を用いて、マイクロビッカース硬度を測定した。結果を表1に示す。   Furthermore, about the surface layer, the intermediate | middle layer, and the metal base material part, micro Vickers hardness was measured using the microhardness tester (Akashi Seisakusho HM-124). The results are shown in Table 1.

図5および6より、最高温度が650〜950℃である場合には、アルミニウム拡散層としての表面層1aが形成されていることが確認できた。特に、750〜950℃である場合には、アルミニウム拡散層としての表面層1aおよび中間層1bの2層が形成されていることが確認できた。また、表1より、表面層1aおよび中間層1bのビッカース硬度は母材1cのビッカース硬度よりも高く、さらに、中間層1bのビッカース硬度は、表面層1aのビッカース硬度とSUS310S(母材1c)のビッカース硬度との間にあることが確認できた。したがって、この中間層の存在により、表面層1aにおけるクラックの発生を抑制できると考えられる。   5 and 6, it was confirmed that the surface layer 1a as the aluminum diffusion layer was formed when the maximum temperature was 650 to 950 ° C. In particular, when the temperature was 750 to 950 ° C., it was confirmed that two layers of the surface layer 1a and the intermediate layer 1b as the aluminum diffusion layer were formed. Further, from Table 1, the Vickers hardness of the surface layer 1a and the intermediate layer 1b is higher than the Vickers hardness of the base material 1c, and the Vickers hardness of the intermediate layer 1b is equal to the Vickers hardness of the surface layer 1a and SUS310S (base material 1c). It was confirmed that it was between Vickers hardness. Therefore, it is considered that the occurrence of cracks in the surface layer 1a can be suppressed by the presence of the intermediate layer.

本発明に係る表面処理方法では、上述したように、カロライジング処理を大気雰囲気で行うことができる。したがって、雰囲気を調整する装置、真空装置等を用いる必要がなく、低コストでカロライジング処理を行うことができる。また、カロライジング処理に用いる処理剤が、処理後に固化せず、粉末状で回収できるため、処理剤を再利用することができ、より低コストでカロライジング処理を行うことができる。   In the surface treatment method according to the present invention, as described above, the calorizing treatment can be performed in an air atmosphere. Therefore, it is not necessary to use a device for adjusting the atmosphere, a vacuum device, or the like, and calorizing treatment can be performed at low cost. Further, since the treatment agent used for the calorizing treatment does not solidify after the treatment and can be recovered in a powder form, the treatment agent can be reused and the calorizing treatment can be performed at a lower cost.

1…金属基材(被処理物)
1a…表面層
1b…中間層
1c…母材
5…処理剤
5a…緻密な膜(アルミナ膜)
10…容器又は加熱炉筐体
20…グラスウール
30…発熱体
40…るつぼ
41…ふた
70…大気
1 ... Metal substrate (object to be treated)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a ... Surface layer 1b ... Intermediate layer 1c ... Base material 5 ... Treatment agent 5a ... Dense film (alumina film)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Container or heating furnace housing | casing 20 ... Glass wool 30 ... Heat generating body 40 ... Crucible 41 ... Lid 70 ... Air | atmosphere

Claims (8)

金属基材がFe−Al合金粉末と塩化アンモニウム粉末とを含有し、アルミナ粉末を含まない処理剤中に埋設されて容器内部に充填された容器を準備する準備工程と、
前記容器を加熱して、前記金属基材の表層部にアルミニウム拡散層を形成するカロライジング処理工程と、を有し、
前記カロライジング処理工程は大気雰囲気下で行われ、前記アルミニウム拡散層を形成する前に、前記処理剤と大気との界面に緻密な膜を形成することを特徴とする金属基材の表面処理方法。
A preparatory step of preparing a container in which the metal base material contains Fe-Al alloy powder and ammonium chloride powder and is embedded in a treatment agent not containing alumina powder and filled inside the container;
A calorizing treatment step of heating the container and forming an aluminum diffusion layer on a surface layer portion of the metal substrate,
The calorizing treatment step is performed in an air atmosphere, and before forming the aluminum diffusion layer, a dense film is formed at the interface between the treatment agent and the air, and the metal substrate surface treatment method is characterized in that .
前記緻密な膜が、前記処理剤に含まれるアルミニウムと大気中の酸素との反応により得られるアルミナを含むことを特徴とする請求項1に記載の金属基材の表面処理方法。   The surface treatment method for a metal substrate according to claim 1, wherein the dense film includes alumina obtained by a reaction between aluminum contained in the treatment agent and oxygen in the atmosphere. 前記カロライジング処理において、加熱時の最高温度が650〜1000℃の範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の金属基材の表面処理方法。   3. The surface treatment method for a metal substrate according to claim 1, wherein in the calorizing treatment, a maximum temperature during heating is in a range of 650 to 1000 ° C. 3. 前記準備工程において、前記金属基材および前記処理剤が充填された前記容器を密封または半密封状態とすることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の金属基材の表面処理方法。   The surface of the metal substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein in the preparation step, the container filled with the metal substrate and the processing agent is sealed or semi-sealed. Processing method. 前記容器が加熱炉の筐体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の金属基材の表面処理方法。   The surface treatment method for a metal substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the container is a casing of a heating furnace. 前記容器がるつぼであることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の金属基材の表面処理方法。   The surface treatment method for a metal substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein the container is a crucible. 前記処理剤の合計を100質量%とすると、前記Fe−Al合金粉末の割合が、85〜99.9質量%であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の金属基材の表面処理方法。   The metal according to any one of claims 1 to 6, wherein a ratio of the Fe-Al alloy powder is 85 to 99.9 mass% when a total amount of the treatment agents is 100 mass%. A substrate surface treatment method. 前記金属基材がFe系材料であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の金属基材の表面処理方法。   The surface treatment method for a metal substrate according to any one of claims 1 to 7, wherein the metal substrate is an Fe-based material.
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